JP3274283B2 - Color filter for liquid crystal display - Google Patents
Color filter for liquid crystal displayInfo
- Publication number
- JP3274283B2 JP3274283B2 JP16183494A JP16183494A JP3274283B2 JP 3274283 B2 JP3274283 B2 JP 3274283B2 JP 16183494 A JP16183494 A JP 16183494A JP 16183494 A JP16183494 A JP 16183494A JP 3274283 B2 JP3274283 B2 JP 3274283B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mark
- color filter
- liquid crystal
- crystal display
- color
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置に
内蔵されるカラーフィルターに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter incorporated in a color liquid crystal display.
【0002】[0002]
【従来の技術】カラー液晶表示装置に求められる課題と
して、画素の開口率を大きくして高輝度化および低消費
電力化を追求することがある。その方策の一つとして、
薄膜トランジスタ(以下TFTという)基板側にブラッ
クマトリックスを形成する方法がある。これによれば、
従来のようにTFT基板と、ブラックマトリックスを形
成したカラーフィルター基板との貼り合わせ誤差を考慮
したアライメントマージンをブラックマトリックス部に
取る必要がなく、開口率を上げることに貢献する。2. Description of the Related Art A problem demanded of a color liquid crystal display device is to pursue higher luminance and lower power consumption by increasing the aperture ratio of pixels. As one of the measures,
There is a method of forming a black matrix on a thin film transistor (hereinafter referred to as TFT) substrate side. According to this,
Unlike the related art, there is no need to provide an alignment margin in the black matrix portion in consideration of a bonding error between the TFT substrate and the color filter substrate on which the black matrix is formed, which contributes to increasing the aperture ratio.
【0003】ところで、従来はカラーフィルター基板上
に形成するアライメントマーク等のマーク類はブラック
マトリックスに使われるクロム膜で形成していたため、
マークのパターン形状(直線性)が良く、セル化時の貼
り合わせは容易であった。しかしながら、TFT基板側
にブラックマトリックスを形成する場合、カラーフィル
ター基板側ではカラーフィルターの赤、緑、青のいずれ
かでマークを形成する必要がある。そこで、例えば1色
目の赤色で入色すると、図2に示すように、素ガラスに
直接形成するためガラスからのハレーション等によりフ
リンジ5等の形状の悪いマーク3が形成され、セル化工
程でのアライメントエラーが起こりやすくなり問題であ
った。Conventionally, marks such as alignment marks formed on a color filter substrate are formed of a chromium film used for a black matrix.
The mark pattern shape (linearity) was good, and bonding at the time of cell formation was easy. However, when a black matrix is formed on the TFT substrate side, it is necessary to form a mark using any of red, green, and blue color filters on the color filter substrate side. For example, when the first color red is applied, as shown in FIG. 2, a mark 3 having an inferior shape such as a fringe 5 is formed by halation or the like from the glass because the mark 3 is formed directly on the elementary glass. Alignment errors tend to occur, which is a problem.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な問題を考慮し、マーク形状が良好で、セル化時のアラ
イメントエラーが起こらないマークを備えた、ブラック
マトリックスを持たないカラーフィルターを提供するこ
とを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above-described problems, and has been developed to provide a color filter having a mark shape having a good mark shape and having no alignment error at the time of cell formation and having no black matrix. The purpose is to provide.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、ブ
ラックマトリクスを形成した薄膜トランジスタ基板とブ
ラックマトリックスを持たないカラーフィルター基板と
を貼り合わせてカラー液晶表示装置を製造する際の前記
カラーフィルター基板において、セル化工程での両基板
の貼り合わせ時に用いるアライメントマークが、アライ
メントマーク形成部に、予め赤色にて該アライメントマ
ークのサイズより大きめの四角形あるいは円形等の形状
に形成されたベースパターンの上に、青色にてマーク形
状のパターンを積層し減色混合による紫色マークを形成
してなることを特徴とする液晶表示装置用カラーフィル
ターである。より詳細には、カラーフィルター用ガラス
基板上の、セル化工程での貼り合わせ用のアライメント
マーク形成部に、予め赤色にて、マークのサイズより大
きめの四角形あるいは円形等のベースパターンを、カラ
ーフィルター部のパターンと共に形成する。次いで緑色
にてカラーフィルター部のパターンを形成し、最後に青
色にて、カラーフィルター部のパターンと共にアライメ
ントマークのパターンを前記の赤色膜によるベースパタ
ーン上に積層して形成する。That SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is, blanking
A thin-film transistor substrate with a rack matrix
Color filter board without rack matrix
When manufacturing a color liquid crystal display device by bonding
In a color filter substrate, an alignment mark used for bonding both substrates in the cell forming process is formed in the alignment mark forming portion in a base previously formed in red and in a shape such as a square or a circle larger than the size of the alignment mark. on the pattern, a color filter for a liquid crystal display device characterized by comprising forming a purple marks by laminating subtractive mixing pattern of the mark shape at blue. More specifically, a base pattern such as a square or a circle larger than the size of the mark is previously colored in red on the alignment mark forming portion for bonding in the cell forming process on the color filter glass substrate. It is formed together with the pattern of the part. Next, a pattern of a color filter portion is formed in green, and finally, in blue, an alignment mark pattern is formed by laminating the pattern of the color filter portion on the base pattern of the red film.
【0006】[0006]
【作用】以上のような構成とすれば、下部層の赤色レジ
ストが500nm付近までの短波長領域を吸収するため、青
色レジストでマークのパターンを形成する際、ハレーシ
ョン防止の役割を果たし、形状の良好なマークのパター
ンが得られる。With the above structure, the red resist in the lower layer absorbs the short-wavelength region up to around 500 nm. A good mark pattern is obtained.
【0007】[0007]
【実施例】以下に本発明の一実施例を順を追って説明す
る。ガラス基板上にフォトリソグラフィーにより顔料分
散レジストからなる各色フィルターを形成するが、ま
ず、赤色レジスト(フジハント社製、商品名「CR- 200
0」)を用いて全面に1.0〜2.0μmの厚さにスピンコー
トし、70℃、20分の条件でプレベークを行う。次いでフ
ォトマスクを介して120mJ/cm2で露光を行い、上記レジ
ストの専用現像液を用いて現像し、230℃、60分の条件
でポストベークを行う。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below step by step. Each color filter made of a pigment-dispersed resist is formed on a glass substrate by photolithography. First, a red resist (trade name “CR-200” manufactured by Fuji Hunt Co.)
0 ”), spin-coat the entire surface to a thickness of 1.0 to 2.0 μm, and perform pre-baking at 70 ° C. for 20 minutes. Next, exposure is performed at 120 mJ / cm 2 through a photomask, the resist is developed using a dedicated developer, and post-baking is performed at 230 ° C. for 60 minutes.
【0008】ここで赤色用のフォトマスク(以下「赤
版」のように表記する)上には、後で緑版および青版を
合わせるための図1に示す色合わせマーク2用のパター
ンと、TFTデバイスの組み立てに必要なマーク3を形
成すべきエリアにマーク3より十分に大きめの四角形も
しくは円形のパターン4用のパターンとを形成してお
く。なお、前記パターン4の形状は、マーク3のサイズ
より大きめであれば、任意の形状を用いることができ
る。[0008] Here in the photo mask for the red (hereafter referred to as "red version") on the, and the pattern for color matching mark 2 shown in FIG. 1 for a later time to match the green version and blue version, A square or circular pattern 4 which is sufficiently larger than the mark 3 is formed in an area where the mark 3 necessary for assembling the TFT device is to be formed. The pattern 4 may have any shape as long as it is larger than the size of the mark 3.
【0009】次いで緑色レジスト(フジハント社製、商
品名「CG-2000」)を用いて同様に緑版のパターンを形
成する。最後に青色レジスト(フジハント社製、商品名
「CB-2000」)を用いて同様に青版のパターンを形成す
るが、ここで青版にはTFTデバイスの組み立てに必要
なマーク3用のパターンを形成しておき、図1に示すよ
うに予め赤色レジストにて形成されているパターン4の
上にマーク3が積層して形成されるようにする。Next, a green plate pattern is similarly formed using a green resist (trade name “CG-2000” manufactured by Fuji Hunt Co.). Finally, a blue resist pattern is similarly formed using a blue resist (trade name “CB-2000” manufactured by Fuji Hunt Company). Here, the pattern for the mark 3 necessary for assembling the TFT device is formed on the blue resist. The mark 3 is formed on the pattern 4 previously formed of a red resist as shown in FIG.
【0010】このようにしてできたカラーフィルターを
用いてTFT基板と貼り合わせ、セル化する工程におい
ては、マーク形状が良好なためアライメントエラーが起
こらず、精度の高い液晶セルが得られた。[0010] In the step of bonding to the TFT substrate by using the color filter thus formed and forming a cell, an alignment error does not occur because the mark shape is good, and a liquid crystal cell with high accuracy is obtained.
【0011】[0011]
【発明の効果】以上の様なカラーフィルターによれば、
ブラックマトリックスを持たないカラーフィルター基板
にあっても、形状の良好なパターンが得られ、しかも赤
色と青色との減色混合により紫色のマークが得られるた
めセル化時のアライメントが容易となり、精度が良く、
エラーのない位置合わせができる。According to the above color filter,
Even in the color filter substrate having no black matrix, a good pattern can be obtained shape, yet the alignment at the time of cell assembling order mark purple is obtained becomes easy by subtractive color mixing of the red and blue, the accuracy well,
Error-free alignment is possible.
【0012】[0012]
【図1】本発明のカラーフィルターに用いるアライメン
トマークの一実施例を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing one embodiment of an alignment mark used for a color filter of the present invention.
【図2】従来のアライメントマークの一例を示す説明図
である。FIG. 2 is an explanatory view showing an example of a conventional alignment mark.
1 ガラス基板 2 色合わせマーク 3 マーク 4 パターン 5 フリンジ 1 Glass substrate 2 Color matching mark 3 Mark 4 Pattern 5 Fringe
Claims (1)
ジスタ基板とブラックマトリックスを持たないカラーフ
ィルター基板とを貼り合わせてカラー液晶表示装置を製
造する際の前記カラーフィルター基板において、セル化
工程での両基板の貼り合わせ時に用いるアライメントマ
ークが、アライメントマーク形成部に、予め赤色にて該
アライメントマークのサイズより大きめの四角形あるい
は円形等の形状に形成されたベースパターンの上に、青
色にてマーク形状のパターンを積層し減色混合による紫
色マークを形成してなることを特徴とする液晶表示装置
用カラーフィルター。1. A thin film transistor having a black matrix formed thereon.
Color board without the register substrate and black matrix
To form a color liquid crystal display device.
In the color filter substrate at the time of manufacturing, the alignment mark used at the time of bonding the two substrates in the cell forming step has a shape such as a square or a circle which is larger than the size of the alignment mark in red in advance in the alignment mark forming portion. A color filter for a liquid crystal display device, comprising: a blue mark-shaped pattern laminated on a base pattern formed on the base pattern formed as described above to form a purple mark by subtractive color mixing.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16183494A JP3274283B2 (en) | 1994-07-14 | 1994-07-14 | Color filter for liquid crystal display |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16183494A JP3274283B2 (en) | 1994-07-14 | 1994-07-14 | Color filter for liquid crystal display |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0829614A JPH0829614A (en) | 1996-02-02 |
JP3274283B2 true JP3274283B2 (en) | 2002-04-15 |
Family
ID=15742820
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16183494A Expired - Fee Related JP3274283B2 (en) | 1994-07-14 | 1994-07-14 | Color filter for liquid crystal display |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3274283B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3538073B2 (en) | 1999-07-29 | 2004-06-14 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | Active matrix type liquid crystal display device having a color layer on a substrate side on which a TFT is mounted and a method of manufacturing the same |
KR100808466B1 (en) * | 2001-07-30 | 2008-03-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Array substrate for liquid crystal display device and manufacturing method thereof |
JP4214876B2 (en) * | 2003-09-29 | 2009-01-28 | セイコーエプソン株式会社 | Color filter substrate, method for manufacturing color filter substrate, device for manufacturing color filter substrate, liquid crystal device, and method for manufacturing liquid crystal device |
-
1994
- 1994-07-14 JP JP16183494A patent/JP3274283B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0829614A (en) | 1996-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW523629B (en) | Color liquid crystal panels and color liquid crystal visual display units | |
CN101071217B (en) | Liquid crystal display manufacturing method | |
US20010049064A1 (en) | Photo mask for fabricating a thin film transistor liquid crystal display | |
JP2007004111A (en) | Liquid crystal display device and manufacturing method thereof | |
CN108535909A (en) | The production method and BPS type array substrates of BPS type array substrates | |
JP2007219557A (en) | Method for manufacturing liquid crystal display device | |
WO2017117835A1 (en) | Liquid crystal display panel, and array substrate and method for manufacturing same | |
WO2019075900A1 (en) | Liquid crystal display panel and fabrication method therefor | |
JPH10268321A (en) | Manufacture of electrode substrate | |
JP3274283B2 (en) | Color filter for liquid crystal display | |
JP2002341355A (en) | Method of manufacturing liquid crystal display device and array substrate as well as liquid crystal display device | |
JP2006510052A (en) | Liquid crystal display with post spacer and its manufacture | |
JP2000098126A (en) | Production of color filter | |
US6621539B2 (en) | Reflective type LCD and method of manufacturing the same | |
JP2000338506A (en) | Liquid crystal display device and its production | |
JP2000162643A (en) | Liquid crystal display device and its manufacture | |
TW591698B (en) | Thin film transistor array substrate and photolithography process and mask design thereof | |
JPH08327996A (en) | Liquid crystal display manufacturing method | |
TW574556B (en) | Method for fabricating a liquid crystal display device | |
US6743555B2 (en) | Exposure mask for liquid crystal display device and exposure method thereof | |
JP2002350864A (en) | Method for manufacturing liquid crystal display device | |
JPH08278497A (en) | Color filter and its production | |
KR100400163B1 (en) | Method for manufacturing low reflection color filter substrate | |
TWI302338B (en) | Method of manufacturing color filter plate | |
JPH03136021A (en) | Manufacturing method of color LCD panel |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |