JP3271482B2 - Solder ball mounting device and solder ball mounting method - Google Patents

Solder ball mounting device and solder ball mounting method

Info

Publication number
JP3271482B2
JP3271482B2 JP19855095A JP19855095A JP3271482B2 JP 3271482 B2 JP3271482 B2 JP 3271482B2 JP 19855095 A JP19855095 A JP 19855095A JP 19855095 A JP19855095 A JP 19855095A JP 3271482 B2 JP3271482 B2 JP 3271482B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solder ball
work
template
solder
mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP19855095A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH08118005A (en
Inventor
省二 酒見
輝明 西中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP19855095A priority Critical patent/JP3271482B2/en
Publication of JPH08118005A publication Critical patent/JPH08118005A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3271482B2 publication Critical patent/JP3271482B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/741Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
    • H01L24/742Apparatus for manufacturing bump connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/11Manufacturing methods
    • H01L2224/113Manufacturing methods by local deposition of the material of the bump connector
    • H01L2224/1133Manufacturing methods by local deposition of the material of the bump connector in solid form
    • H01L2224/11334Manufacturing methods by local deposition of the material of the bump connector in solid form using preformed bumps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01004Beryllium [Be]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01005Boron [B]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01033Arsenic [As]
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3478Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ワークに設けられた複
数の電極に、半田ボールを移載する半田ボール搭載装置
及び半田ボール搭載方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solder ball mounting apparatus and method for transferring solder balls to a plurality of electrodes provided on a work.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子部品や基板など、半田ボール
を用いて端子そのものを形成したり、又は端子の接続を
行う技術が実現されるに至っている。そして、半田ボー
ルをワークの電極に移載する技術として、次のようなも
のが知られている。即ち、ワークの電極の個数分だけの
吸引孔が設けられた吸着ヘッドを用意し、この吸着ヘッ
ドを半田ボールを多数収納したボール溜りに挿入し、吸
引孔に1個ずつ半田ボールを吸着して、ワークへ移載す
るというものである。
2. Description of the Related Art In recent years, techniques for forming terminals themselves or connecting terminals using solder balls, such as electronic parts and substrates, have been realized. The following is known as a technique for transferring a solder ball to an electrode of a work. That is, a suction head provided with suction holes by the number of electrodes of a work is prepared, and this suction head is inserted into a ball pool containing a large number of solder balls, and the suction balls are sucked one by one into the suction holes. And transfer it to the work.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな吸着ヘッドを用いた移載方法では、第1に、吸引孔
に半田ボールを吸着する際、半田ボールは非常に柔らか
いものであるので、半田ボールの変形を生じやすく、第
2に、吸引孔に半田ボールが強く吸着され、ワークに半
田ボールを載置しようとする際、半田ボールが吸引孔か
ら外れなくなることが多く、移載ミスを招きやすいとい
う問題点がある。
However, in the transfer method using such a suction head, first, when the solder ball is sucked into the suction hole, the solder ball is very soft. Second, the solder balls tend to be deformed. Second, the solder balls are strongly attracted to the suction holes, and when the solder balls are to be mounted on the work, the solder balls often do not come off from the suction holes. There is a problem that it is easy.

【0004】そこで本発明は、移載ミスの少ない半田ボ
ール搭載装置及び半田ボール搭載方法を提供することを
目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a solder ball mounting apparatus and a solder ball mounting method with few transfer errors.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の半田ボール搭載
装置は、半田ボールが載置されるべき複数の電極が形成
されたワークを、電極が上向きとなるように位置決めす
るワーク位置決め部と、電極に一対一に対応する複数の
貫通孔が設けられ、かつこれらの貫通孔が電極上に位置
するように支持されるテンプレートと、半田ボールを落
下可能に収納する半田ボール収納部と、半田ボール収納
部をテンプレート上においてらせん運動させながら水平
移動させる移動手段とを備える。
According to the present invention, there is provided a solder ball mounting apparatus, comprising: a work positioning section for positioning a work having a plurality of electrodes on which solder balls are to be mounted, such that the electrodes face upward; A template in which a plurality of through-holes corresponding to the electrodes are provided one by one, and the through-holes are supported so as to be positioned on the electrodes; a solder ball storage section for storing the solder balls in a droppable manner; and a solder ball. Moving means for horizontally moving the storage unit while making a spiral movement on the template.

【0006】[0006]

【作用】上記構成において、半田ボール収納部がテンプ
レート上をらせん運動しながら水平移動することによ
り、半田ボールはテンプレートの貫通孔内へ自重により
落下して入り込む。また貫通孔は、ワークの電極上に位
置しているので、半田ボールが貫通孔へ入り込みさえす
れば、半田ボールは電極上へ載置されることとなる。こ
こで半田ボールには吸引力などの特別の外力は作用して
いないので、変形を生じたり電極上への移載を妨げられ
ることはない。
In the above construction, the solder ball is horizontally moved while spirally moving on the template, so that the solder ball falls into the through hole of the template by its own weight and enters. Further, since the through-hole is located on the electrode of the work, the solder ball is mounted on the electrode as long as the solder ball enters the through-hole. Here, no special external force such as a suction force is applied to the solder balls, so that there is no possibility of deformation or transfer on the electrodes.

【0007】[0007]

【実施例】次に図面を参照しながら本発明の実施例を説
明する。図1は本発明の一実施例における半田ボール搭
載装置の斜視図、図2は本発明の一実施例における半田
ボール搭載装置の正面図、図3は本発明の一実施例にお
ける半田ボール搭載装置の平面図、図4は本発明の一実
施例における半田ボール搭載装置の一部拡大断面図であ
る。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of a solder ball mounting device according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of the solder ball mounting device according to one embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a solder ball mounting device according to one embodiment of the present invention. FIG. 4 is a partially enlarged sectional view of the solder ball mounting apparatus according to one embodiment of the present invention.

【0008】図1中、1は基台、Aは基台1上に設けら
れ、電子部品や基板などのワーク2を位置決めするワー
ク位置決め部である。ワーク位置決め部Aについては、
後に図2を参照しながら詳述する。図3において、4は
薄板状をなし、半田ボール3が通過できるようにするた
めに半田ボール3よりやや大径の貫通孔4aが複数個開
けられたテンプレートである。これら貫通孔4aは、ワ
ーク2における半田ボール3の配置に一対一に対応付け
て形成されている。また4bはテンプレート4の縁部を
保持する枠である。貫通孔4aは、テンプレート4の中
央部の搭載エリア4dに集中して形成されている。また
テンプレート4の周辺部には貫通孔4aが形成されてい
ない待機エリア4cが設定されている。
In FIG. 1, 1 is a base, and A is a work positioning unit provided on the base 1 for positioning a work 2 such as an electronic component or a substrate. Regarding the work positioning part A,
Details will be described later with reference to FIG. In FIG. 3, reference numeral 4 denotes a template having a thin plate shape and having a plurality of through holes 4a slightly larger in diameter than the solder balls 3 so that the solder balls 3 can pass therethrough. These through holes 4a are formed in one-to-one correspondence with the arrangement of the solder balls 3 in the work 2. Reference numeral 4b denotes a frame for holding the edge of the template 4. The through holes 4a are formed in a concentrated manner in the mounting area 4d at the center of the template 4. Further, a standby area 4c in which the through hole 4a is not formed is set in a peripheral portion of the template 4.

【0009】図1において、Bはテンプレート4を保持
するテンプレート保持部である。テンプレート保持部B
のうち、5,6はY方向に延び、かつ支柱7(基台1に
立設されている)によって支持されるテンプレートガイ
ドである。このテンプレートガイド5,6は枠4bを下
方から支持し、テンプレートガイド5,6に装着された
クランプ機構(図示せず)によって枠4bすなわちテン
プレート4を保持する。一方のテンプレートガイド5に
は、Y方向に延び、Yモータ8により回転する送りねじ
9が回転自在に軸支されている。送りねじ9には、X方
向に延びる移動フレーム10と一体的に連結された送り
ナット11が螺合している。移動フレーム10の両端部
は、テンプレートガイド5,6上にY方向へ摺動自在に
装着されている。12は移動フレーム10にX方向移動
自在に取付けられ、かつ上下に開口部を備えた角筒状を
なし、内部に半田ボール3を収納する半田ボール収納
部、13は半田ボール収納部12を移動フレーム10に
対してX方向に移動させるXモータ、14はテンプレー
トガイド6に支持され、半田ボール収納部12に半田ボ
ール3を投入する半田ボール補充タンクである。半田ボ
ール収納部12はテンプレート4上に当接または、半田
ボール3の直径よりも小さなすき間をあけて、テンプレ
ート4上に位置している。このため、テンプレート4と
半田ボール収納部12の間から半田ボール3が出てくる
ことはない。
In FIG. 1, B is a template holding unit for holding a template 4. Template holding unit B
Among them, 5 and 6 are template guides that extend in the Y direction and are supported by columns 7 (standing on the base 1). The template guides 5, 6 support the frame 4b from below, and hold the frame 4b, that is, the template 4, by a clamp mechanism (not shown) mounted on the template guides 5, 6. A feed screw 9 that extends in the Y direction and is rotated by a Y motor 8 is rotatably supported on one template guide 5. A feed nut 11 integrally connected to a moving frame 10 extending in the X direction is screwed to the feed screw 9. Both ends of the moving frame 10 are slidably mounted on the template guides 5 and 6 in the Y direction. Reference numeral 12 denotes a solder ball storage part which is attached to the moving frame 10 so as to be movable in the X direction and has openings at upper and lower sides, and stores the solder balls 3 therein, and 13 moves the solder ball storage part 12. An X motor 14 that moves in the X direction with respect to the frame 10 is a solder ball replenishing tank that is supported by the template guide 6 and throws the solder balls 3 into the solder ball storage unit 12. The solder ball storage portion 12 is located on the template 4 with a contact with the template 4 or with a gap smaller than the diameter of the solder ball 3. Therefore, the solder balls 3 do not come out from between the template 4 and the solder ball storage unit 12.

【0010】したがって、Yモータ8、Xモータ13を
駆動し、半田ボール収納部12を半田ボール補充タンク
14の真下に位置させ、半田ボール3を半田ボール収納
部12に投入し、Xモータ13、Yモータ8を作動する
ことにより、図3の矢印で示すように、半田ボール収納
部12をテンプレート4上において円を描くように水平
移動させることができる。即ちYモータ8、Xモータ1
3が半田ボール収納部12の移動手段に対応する。図3
の矢印で示すように半田ボール収納部12を搭載エリア
4d内で水平移動させると、図4に示すように、半田ボ
ール収納部12内の半田ボール3は、テンプレート4上
を転がって1個ずつ貫通孔4aに落下し、ワーク2の電
極2aに1個ずつ載置される。なお、図4の矢印Mは、
半田ボール収納部12の進行方向を示す。因みに、ワー
ク2の電極2aには予めフラックスを塗布しておく。
Therefore, the Y motor 8 and the X motor 13 are driven to position the solder ball storage section 12 directly below the solder ball replenishing tank 14, and the solder balls 3 are thrown into the solder ball storage section 12; By operating the Y motor 8, the solder ball storage unit 12 can be horizontally moved on the template 4 in a circular manner as indicated by the arrow in FIG. 3. That is, Y motor 8, X motor 1
Reference numeral 3 corresponds to a means for moving the solder ball storage unit 12. FIG.
When the solder ball storage section 12 is horizontally moved in the mounting area 4d as shown by the arrow, the solder balls 3 in the solder ball storage section 12 roll on the template 4 and are moved one by one as shown in FIG. It falls into the through hole 4a and is placed one by one on the electrode 2a of the work 2. The arrow M in FIG.
3 shows a traveling direction of the solder ball storage unit 12. Incidentally, a flux is applied to the electrode 2a of the work 2 in advance.

【0011】次に図2を参照しながら、ワーク位置決め
部Aについて説明する。図2中、21は図1に示すよう
に基台1上に載置され、Xモータ22により駆動される
Xテーブル、23はXテーブル21上に載置され、Yモ
ータ24により駆動されるYテーブルである。25はY
テーブル23上に取付けられたプレート23aに回転自
在に軸支される第1の送りねじ、26は同様に軸支さ
れ、第1の送りねじ25と同じねじ部を有する第2の送
りねじである。第1の送りねじ25、第2の送りねじ2
6の下部にはそれぞれタイミングプーリ27、タイミン
グプーリ28が軸着され、タイミングプーリ27、タイ
ミングプーリ28にはタイミングベルト29が調帯され
ている。また第1の送りねじ25、第2の送りねじ26
の上部には第1の昇降板31に回転自在かつ昇降不能に
軸支される送りナット30が螺合している。さらに、第
1の送りねじ25にはプレート23aの下面に固定され
る第1のZモータ32の回転力が歯車列33を介して伝
動されるようなっている。したがって、第1のZモータ
32を駆動すると、歯車列33、タイミングプーリ2
7、タイミングベルト29、タイミングプーリ28を介
して、第1の送りねじ25、第2の送りねじ26を回転
させることができ、これにより第1の昇降板31が矢印
N1方向に昇降するものである。
Next, the work positioning section A will be described with reference to FIG. In FIG. 2, reference numeral 21 denotes an X table mounted on the base 1 as shown in FIG. 1 and driven by an X motor 22. Reference numeral 23 denotes a Y table mounted on the X table 21 and driven by a Y motor 24. It is a table. 25 is Y
A first feed screw 26 rotatably supported by a plate 23a mounted on the table 23 is a second feed screw similarly rotatably supported and having the same thread portion as the first feed screw 25. . First feed screw 25, second feed screw 2
A timing pulley 27 and a timing pulley 28 are mounted on the lower part of the shaft 6 respectively, and a timing belt 29 is tuned to the timing pulley 27 and the timing pulley 28. In addition, the first feed screw 25, the second feed screw 26
A feed nut 30 rotatably supported by the first lifting plate 31 so as to be rotatable and unable to move up and down is screwed into the upper portion of the feeding nut 30. Further, the rotation force of the first Z motor 32 fixed to the lower surface of the plate 23 a is transmitted to the first feed screw 25 via a gear train 33. Therefore, when the first Z motor 32 is driven, the gear train 33, the timing pulley 2
7, the first feed screw 25 and the second feed screw 26 can be rotated via the timing belt 29 and the timing pulley 28, whereby the first lift plate 31 moves up and down in the arrow N1 direction. is there.

【0012】第1の昇降板31には、昇降ガイド34、
昇降ガイド35が立設され、昇降ガイド34の上部には
第1のブロック36が固定されると共に、昇降ガイド3
5の上部には第2のブロック37が固定されている。ま
た第1のブロック36の上部には矢印N3方向にスライ
ド自在なクランパ38が設けられている。そして、クラ
ンパ38の上面と第2のブロック37の上面とはテンプ
レート4の下受け部としての機能を有するものであり、
同一レベルとなるようにしてある。また、第1のブロッ
ク36の図2左部には、そのロッド40が図2の左方向
を向くようにスライドシリンダ39が固定され、ロッド
40の先端部は、連杆41を介してクランパ38の図2
左部に連結されている。したがって、スライドシリンダ
39を駆動して、ロッド40を突没させると、クランパ
38を矢印N3方向に移動させることができ、これによ
り、クランパ38と第2のブロック37の間に存在する
ワーク2の側部を接離自在にクランプすることができ
る。また、第1のブロック36、第2のブロック37の
対向する部分に、ワーク2を図2の紙面垂直方向に搬送
するコンベア42、コンベア43が設けられている。
The first lift plate 31 has a lift guide 34,
An elevating guide 35 is erected, and a first block 36 is fixed above the elevating guide 34 and the elevating guide 3
A second block 37 is fixed to an upper part of the fifth block 5. A clamper 38 slidable in the direction of arrow N3 is provided above the first block 36. The upper surface of the clamper 38 and the upper surface of the second block 37 have a function as a lower receiving portion of the template 4.
The same level is set. A slide cylinder 39 is fixed to the left side of the first block 36 in FIG. 2 so that the rod 40 faces leftward in FIG. Figure 2 of
It is connected to the left part. Therefore, when the slide cylinder 39 is driven to cause the rod 40 to protrude and retract, the clamper 38 can be moved in the direction of the arrow N3. The side part can be clamped so as to be able to freely contact and separate. A conveyor 42 and a conveyor 43 for transporting the work 2 in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 2 are provided at portions facing the first block 36 and the second block 37.

【0013】昇降ガイド34、昇降ガイド35には、ベ
アリング45を介して第2の昇降板44が矢印N2方向
に昇降自在に案内され、第1の昇降板31には送りナッ
ト46が回転自在に軸支されている。また第1の昇降板
31の下部には歯車列48を介して送りナット46を回
転させる第2のZモータ47が固定されており、送りナ
ット46には軸受50によって上部が第2の昇降板44
に回転自在に軸支される第3の送りねじ49が螺合して
いる。さらに、第2の昇降板44の上面であって、ワー
ク2の真下にあたる位置にワーク2の下面を吸着するた
めの吸引管52が設けられた吸着ブロック51が固定さ
れている。したがって、第2のZモータ47を駆動する
と、歯車列48を介して送りナット46及び第3の送り
ねじ49を回転させることができ、これにより、第2の
昇降板44及び吸着ブロック51を第1の昇降板31に
対して矢印N2方向に昇降させることができる。勿論、
半田ボール3の移載が終了したら、第1のZモータ32
を作動して、ワーク2を下降させ、搬出する。
A second elevating plate 44 is guided by the elevating guide 34 and the elevating guide 35 via a bearing 45 so as to be able to ascend and descend in the direction of an arrow N2, and a feed nut 46 is rotatably supported by the first elevating plate 31. It is pivoted. A second Z motor 47 for rotating the feed nut 46 is fixed to a lower portion of the first elevating plate 31 via a gear train 48, and an upper portion of the feed nut 46 is supported by a bearing 50 on the second elevating plate. 44
A third feed screw 49 that is rotatably supported by the first screw is screwed. Further, a suction block 51 provided with a suction pipe 52 for sucking the lower surface of the work 2 is fixed to a position on the upper surface of the second elevating plate 44 directly below the work 2. Therefore, when the second Z motor 47 is driven, the feed nut 46 and the third feed screw 49 can be rotated via the gear train 48, whereby the second lifting plate 44 and the suction block 51 are moved to the second position. The first lifting plate 31 can be raised and lowered in the arrow N2 direction. Of course,
When the transfer of the solder balls 3 is completed, the first Z motor 32
Is operated to lower the work 2 and carry it out.

【0014】次に本実施例の半田ボール搭載装置の動作
について説明する。まずワーク2をワーク位置決め部A
のコンベア42,43に受け取り、吸着ブロック51を
上昇させてワーク2の下面に当接させてワーク2の上面
の高さを調節する。次にクランパ38と第2のブロック
37側へ移動させてワーク2をクランパ38と第2のブ
ロック37の間にはさみ込み、次いで吸着ブロック51
と吸着してワーク2を保持する。
Next, the operation of the solder ball mounting device of the present embodiment will be described. First, the work 2 is moved to the work positioning section A.
Then, the suction block 51 is raised and brought into contact with the lower surface of the work 2 to adjust the height of the upper surface of the work 2. Next, the workpiece 2 is moved to the clamper 38 and the second block 37 side so that the work 2 is sandwiched between the clamper 38 and the second block 37, and then the suction block 51.
And the work 2 is held.

【0015】ワーク2を保持したらXモータ22,Yモ
ータ24を駆動してワーク2をテンプレート4の下方へ
移動させワーク2の電極をテンプレート4の貫通孔4a
の位置に合わせる。その後、第1のZモータ32を駆動
させてワーク2をテンプレート4の底面に接触する直前
まで接近させる。
When the work 2 is held, the X motor 22 and the Y motor 24 are driven to move the work 2 below the template 4, and the electrodes of the work 2 are connected to the through holes 4a of the template 4.
To the position. Thereafter, the first Z motor 32 is driven to bring the work 2 close to just before contacting the bottom surface of the template 4.

【0016】次に、半田ボール収納部12を図3の矢印
で示すように搭載エリア4d上をらせん運動させながら
移動させる。すると半田ボール収納部12内の半田ボー
ル3はテンプレート4上を転がりながら貫通孔4aに1
個ずつ落下し、テンプレート4の下方に位置決めされて
いるワーク2の電極2a上に搭載される。電極2a上に
は予めフラックスが塗布されており、搭載された半田ボ
ール3は、このフラックスの粘着力によって電極2a上
に接着する。これにより半田ボール3が電極2aから位
置ずれするのを防止する。
Next, the solder ball storage section 12 is moved while spirally moving on the mounting area 4d as shown by the arrow in FIG. Then, the solder ball 3 in the solder ball storage part 12 rolls on the template 4 and is inserted into the through hole 4a.
Each of the workpieces 2 is dropped and mounted on the electrode 2 a of the work 2 positioned below the template 4. A flux is applied on the electrode 2a in advance, and the mounted solder balls 3 adhere to the electrode 2a by the adhesive force of the flux. This prevents the solder ball 3 from being displaced from the electrode 2a.

【0017】以上のようにすべての貫通孔4aに半田ボ
ール3を落下させたら半田ボール収納部12を待機エリ
ア4cへ移動させる。その後第1のZモータ32を駆動
してワーク2を下降させて半田ボール3をテンプレート
4の貫通孔4aから退避させ、クランパ38によるワー
ク2のクランプ及び吸着ブロック51による吸着を解除
し、コンベア42,43によって半田ボール3が搭載さ
れたワーク2を次のリフロー工程へ搬出する。半田ボー
ル3は、このリフロー工程で加熱して溶融した後、冷却
して固化することにより電極2a上に半田バンプを形成
する。
When the solder balls 3 are dropped into all the through holes 4a as described above, the solder ball storage section 12 is moved to the standby area 4c. Thereafter, the first Z motor 32 is driven to lower the work 2 to retreat the solder ball 3 from the through hole 4 a of the template 4, the clamp of the work 2 by the clamper 38 and the suction by the suction block 51 are released, and the conveyor 42. , 43 carry out the work 2 on which the solder balls 3 are mounted to the next reflow process. The solder ball 3 is heated and melted in this reflow step, then cooled and solidified to form a solder bump on the electrode 2a.

【0018】以上の動作をくり返すことによりワーク2
への半田ボール3の搭載を連続して行なう。この間、半
田ボール収納部12の半田ボール3はしだいに少なくな
るので半田ボール3を待機エリア4cの上方の半田ボー
ル補充タンク14より補充する。半田ボール3の残量
は、センサを用いて半田ボール収納部12内の半田ボー
ル3を検出して判定したり、半田ボール3の搭載を行な
ったワークの枚数をカウントして判定するようにしても
よい。
By repeating the above operation, the work 2
The mounting of the solder balls 3 on the substrate is performed continuously. During this time, the number of the solder balls 3 in the solder ball storage section 12 gradually decreases, so the solder balls 3 are replenished from the solder ball replenishment tank 14 above the standby area 4c. The remaining amount of the solder ball 3 is determined by detecting the solder ball 3 in the solder ball storage section 12 using a sensor or by counting the number of works on which the solder ball 3 is mounted. Is also good.

【0019】なお本実施例ではテンプレート4を不動と
し、ワーク2側を昇降させるようにしたが、ワーク2を
不動としてテンプレート4や半田ボール収納部12を昇
降させるようにしても差支えない。また半田ボール収納
部12の形状や動作は本実施例に限定されるものではな
い。
In the present embodiment, the template 4 is immovable and the work 2 is moved up and down. However, the work 2 may be immovable and the template 4 and the solder ball housing 12 are moved up and down. Further, the shape and operation of the solder ball storage section 12 are not limited to the present embodiment.

【0020】[0020]

【発明の効果】本発明は、複数の貫通孔が形成されたテ
ンプレートを用い、各々の貫通孔をワークの電極に位置
合わせしてテンプレート上を半田ボール収納部をらせん
運動させながら水平移動させるようにしているので、テ
ンプレートの貫通孔に半田ボールを1個づつ確実に落下
させてワークの電極上に確実に搭載することができる。
According to the present invention, there is provided a tape having a plurality of through holes formed therein.
Position each through hole at the work electrode
Spiral solder ball storage on template
Because it is moving horizontally while exercising,
Solder balls fall one by one into the through hole of the plate
Thus, it can be securely mounted on the electrode of the work.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例における半田ボール搭載装置
の斜視図
FIG. 1 is a perspective view of a solder ball mounting device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例における半田ボール搭載装置
の正面図
FIG. 2 is a front view of a solder ball mounting device according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例における半田ボール搭載装置
の平面図
FIG. 3 is a plan view of a solder ball mounting device according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例における半田ボール搭載装置
の一部拡大断面図
FIG. 4 is a partially enlarged cross-sectional view of a solder ball mounting device according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 ワーク 2a 電極 3 半田ボール 4 テンプレート 4a 貫通孔 8 Yモータ 12 半田ボール収納部 13 Xモータ A ワーク位置決め部 2 Work 2a Electrode 3 Solder Ball 4 Template 4a Through Hole 8 Y Motor 12 Solder Ball Storage 13 X Motor A Work Positioning Part

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−21437(JP,A) 特開 平7−254777(JP,A) 特開 平6−77635(JP,A) 特開 平7−202403(JP,A) 特開 平7−307561(JP,A) 特開 平8−300613(JP,A) 特開 昭51−65057(JP,A) 実公 昭63−58(JP,Y2) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B23K 3/06 H01L 21/60 H05K 3/34 Continuation of the front page (56) References JP-A-5-21437 (JP, A) JP-A-7-254777 (JP, A) JP-A-6-77635 (JP, A) JP-A-7-202403 (JP) JP-A-7-307561 (JP, A) JP-A-8-300613 (JP, A) JP-A-51-65057 (JP, A) JP-A-63-58 (JP, Y2) (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) B23K 3/06 H01L 21/60 H05K 3/34

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】半田ボールが載置されるべき複数の電極が
形成されたワークを、前記電極が上向きとなるように位
置決めするワーク位置決め部と、前記電極に一対一に対
応する複数の貫通孔が設けられ、かつこれらの貫通孔が
前記電極上に位置するように支持されるテンプレート
と、半田ボールを落下可能に収納する半田ボール収納部
と、前記半田ボール収納部を前記テンプレート上におい
らせん運動させながら水平移動させる移動手段とを備
えることを特徴とする半田ボール搭載装置。
A work positioning section for positioning a work on which a plurality of electrodes on which solder balls are to be mounted are formed so that the electrodes face upward; and a plurality of through holes corresponding to the electrodes on a one-to-one basis. Are provided and the through holes are supported so as to be positioned on the electrodes; a solder ball storage portion for storing the solder balls in a droppable manner; and a spiral movement of the solder ball storage portion on the template. And a moving means for horizontally moving the solder ball.
【請求項2】前記ワーク位置決め部は、前記テンプレー
トに対してワークを水平方向及び上下方向へ移動させる
ように構成されていることを特徴とする請求項1記載の
半田ボール搭載装置。
2. The solder ball mounting apparatus according to claim 1, wherein said work positioning unit is configured to move the work in a horizontal direction and a vertical direction with respect to said template.
【請求項3】半田ボール収納部に半田ボールを補充する
半田ボール補充手段を備えたことを特徴とする請求項1
記載の半田ボール搭載装置。
3. A solder ball replenishing means for replenishing a solder ball in a solder ball storage portion.
The solder ball mounting device as described in the above.
【請求項4】複数の半田ボールをワークの複数の電極に
搭載する半田ボールの搭載装置であって、 前記複数の電極に対応する複数の位置に、半田ボールを
1個だけ収納可能な貫通孔が形成された搭載エリアと前
記貫通孔が形成されていない待機エリアを備えたテンプ
レートと、 底面に開口部が形成され、内部に複数の半田ボールを収
納する半田ボール収納部と、 前記待機エリアから前記搭載エリアにかけて前記テンプ
レートの上面に沿って前記半田ボール収納部を移動
せ、且つ搭載エリア上でらせん運動させながら水平移動
させる移動手段と、 前記テンプレートの下方でワークを保持し、ワークの電
極をこのテンプレートの貫通孔に位置合わせするワーク
位置決め部を備えたことを特徴とする半田ボール搭載装
置。
4. A solder ball mounting device for mounting a plurality of solder balls on a plurality of electrodes of a work, wherein a through-hole capable of storing only one solder ball at a plurality of positions corresponding to the plurality of electrodes. A template having a mounting area in which a through-hole is not formed and a mounting area in which a through-hole is formed, an opening is formed in the bottom surface, and a solder ball storage section for storing a plurality of solder balls therein; and moving of the solder ball container along the upper surface of the template toward the mounting area
Moving means for performing horizontal movement while performing a spiral movement on a mounting area, and a work positioning portion for holding a work below the template and aligning an electrode of the work with a through hole of the template. A solder ball mounting device.
【請求項5】前記ワーク位置決め部は、前記テンプレー
トに対してワークを水平方向及び上下方向へ移動させる
ように構成されていることを特徴とする請求項4記載の
半田ボール搭載装置。
5. The solder ball mounting apparatus according to claim 4, wherein said work positioning unit is configured to move the work in a horizontal direction and a vertical direction with respect to said template.
【請求項6】前記待機エリアにおいて前記半田ボール収
納部に半田ボールを補充する半田ボール補充手段を備え
たことを特徴とする請求項4記載の半田ボール搭載装
置。
6. The solder ball mounting device according to claim 4, further comprising a solder ball replenishing means for replenishing the solder ball in the solder ball storage section in the standby area.
【請求項7】複数の半田ボールをワークの複数の電極に
搭載する半田ボールの搭載方法であって、 前記複数の電極に対応する複数の位置に半田ボールを1
個だけ収納可能な貫通孔が形成されたテンプレートの下
方に、前記電極と前記貫通孔とを位置合わせしてワーク
を保持する工程と、底面に開孔部が形成され、かつ前記
テンプレートの上面に沿って移動する半田ボール収納部
の内部に半田ボールを収納し、この半田ボール収納部を
前記テンプレート上をらせん運動させながら水平移動さ
せることにより前記貫通孔に半田ボールを1個づつ落下
させて前記電極に搭載する工程と、 前記テンプレートとワークを相対的に昇降させて前記電
極に搭載された半田ボールを前記貫通孔から退避させる
ことを特徴とする半田ボール搭載方法。
7. A method of mounting a plurality of solder balls on a plurality of electrodes of a work, the method comprising mounting the solder balls at a plurality of positions corresponding to the plurality of electrodes.
A step of aligning the electrode and the through hole to hold a work below the template in which only a through hole that can be stored therein is formed, and an opening formed in the bottom surface, and
Solder ball storage that moves along the top surface of the template
The solder ball is stored inside the
A step of dropping the solder balls one by one into the through-hole by horizontally moving while spirally moving on the template, and mounting the solder balls on the electrode; Solder balls are retracted from the through holes.
【請求項8】前記ワークの電極には、予めフラックスが
塗布されていることを特徴とする請求項7記載の半田ボ
ール搭載方法。
8. The method according to claim 7, wherein a flux is applied to the electrodes of the work in advance.
【請求項9】複数の半田ボールをワークの複数の電極に
搭載する半田ボールの搭載方法であって、 前記複数の電極に対応する複数の位置に半田ボールを1
個だけ収納可能な貫通が形成された搭載エリアと前記
貫通孔が形成されていない待機エリアを備えたテンプレ
ートを保持しておき、このテンプレートの下方に前記ワ
ークをワークの電極と前記貫通孔の位置を位置合わせし
た状態で保持する工程と、 底面に開口部が形成され、かつ前記テンプレートの上面
に沿って移動する半田ボール収納部に半田ボールを収納
し、この半田ボールを前記搭載エリア上をらせん運動さ
せながら水平移動させることにより前記貫通孔に半田ボ
ールを落下させてワークの電極に半田ボールを搭載する
工程と、 前記半田ボール収納部を前記待機エリアへ移動させる工
程と、 前記ワークを下降させて前記電極に搭載された半田ボー
ルを前記貫通孔から退避させることを特徴とする半田ボ
ール搭載方法。
9. A solder ball mounting method for mounting a plurality of solder balls on a plurality of electrodes of a work, wherein the solder balls are provided at a plurality of positions corresponding to the plurality of electrodes.
A template having a mounting area in which only through- holes can be stored and a standby area in which the through-hole is not formed is held, and below the template, the work is placed between the work electrode and the through-hole. Holding the aligned position, solder balls are stored in a solder ball storage portion having an opening formed in the bottom surface and moving along the upper surface of the template, and the solder balls are placed on the mounting area . Spiral movement
Moving the solder ball to the standby area by dropping the solder ball into the through-hole by horizontally moving the solder ball on the electrode of the work; and A method of mounting a solder ball, wherein the solder ball mounted on the electrode is retracted from the through hole.
【請求項10】前記ワークの電極には、予めフラックス
が搭載されていることを特徴とする請求項記載の半田
ボール搭載方法。
10. The solder ball mounting method according to claim 9 , wherein a flux is previously mounted on the electrode of the work.
【請求項11】前記待機位置へ移動してきた前記半田ボ
ール収納部に対して半田ボールを補充することを特徴と
する請求項記載の半田ボール搭載方法。
11. The solder ball mounting method according to claim 9 , wherein the solder balls are replenished to the solder ball storage portion moved to the standby position.
JP19855095A 1994-08-30 1995-08-03 Solder ball mounting device and solder ball mounting method Expired - Lifetime JP3271482B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19855095A JP3271482B2 (en) 1994-08-30 1995-08-03 Solder ball mounting device and solder ball mounting method

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20510694 1994-08-30
JP6-205106 1994-08-30
JP19855095A JP3271482B2 (en) 1994-08-30 1995-08-03 Solder ball mounting device and solder ball mounting method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08118005A JPH08118005A (en) 1996-05-14
JP3271482B2 true JP3271482B2 (en) 2002-04-02

Family

ID=26511044

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19855095A Expired - Lifetime JP3271482B2 (en) 1994-08-30 1995-08-03 Solder ball mounting device and solder ball mounting method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3271482B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7607559B2 (en) 2007-06-06 2009-10-27 Shibuya Kogyo Co., Ltd. Conductive ball arraying apparatus

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998009332A1 (en) * 1996-08-27 1998-03-05 Nippon Steel Corporation Semiconductor device provided with low melting point metal bumps and process for producing same
JP4484648B2 (en) * 1996-08-27 2010-06-16 新日鉄マテリアルズ株式会社 Wafer and semiconductor device manufacturing method, and flip chip bonding method
US6107181A (en) 1997-09-08 2000-08-22 Fujitsu Limited Method of forming bumps and template used for forming bumps
JP3402172B2 (en) * 1998-01-05 2003-04-28 松下電器産業株式会社 Apparatus and method for mounting conductive ball
US6320158B1 (en) 1998-01-29 2001-11-20 Fujitsu Limited Method and apparatus of fabricating perforated plate
US7003874B1 (en) 1998-09-03 2006-02-28 Micron Technology, Inc. Methods of bonding solder balls to bond pads on a substrate
JP4959056B2 (en) * 1999-03-17 2012-06-20 ノバテック エスア Filling device and method for filling a ball into an aperture in a ball receiving element
JP4598240B2 (en) 1999-06-24 2010-12-15 アスリートFa株式会社 Ball mounting apparatus and ball mounting method
JP3959336B2 (en) * 2002-11-08 2007-08-15 ユー・エム・シー・ジャパン株式会社 Bump ball crimping device
TWI273666B (en) * 2004-06-30 2007-02-11 Athlete Fa Corp Method and device for mounting conductive ball
JP4557821B2 (en) * 2005-06-30 2010-10-06 アスリートFa株式会社 Apparatus and method for arranging fine particles
JP4822105B2 (en) * 2005-11-30 2011-11-24 澁谷工業株式会社 Conductive ball array device
JP4766242B2 (en) * 2005-11-30 2011-09-07 澁谷工業株式会社 Conductive ball array device
JP4993904B2 (en) * 2005-12-05 2012-08-08 アスリートFa株式会社 Conductive ball mounting method, apparatus, and control method thereof
JP4793689B2 (en) * 2006-04-28 2011-10-12 澁谷工業株式会社 Conductive ball array device
DE102007019568B4 (en) * 2006-04-28 2015-08-13 Shibuya Kogyo Co., Ltd. Leitkugel arrangement device
JP4904521B2 (en) * 2006-04-28 2012-03-28 澁谷工業株式会社 Conductive ball array device
TWI408756B (en) * 2006-07-12 2013-09-11 Athlete Fa Corp Ball filling device and method
JP5078485B2 (en) * 2007-07-26 2012-11-21 アスリートFa株式会社 Method for mounting conductive balls on a substrate
JP2008153648A (en) * 2007-11-29 2008-07-03 Athlete Fa Kk Ball feeding method, and ball feeding equipment
JP5299754B2 (en) * 2008-09-03 2013-09-25 アスリートFa株式会社 Method for mounting conductive balls on a substrate
JP5297268B2 (en) * 2009-05-29 2013-09-25 アスリートFa株式会社 How to arrange fine particles
JP5685162B2 (en) * 2011-08-22 2015-03-18 アスリートFa株式会社 Conductive ball mounting device
KR101274487B1 (en) * 2012-07-17 2013-06-13 재단법인 한국조명연구원 Pcb soldering apparatus for input/output lead-wire
KR101287819B1 (en) * 2012-08-16 2013-07-26 김병권 Cutting machine for forming slope in circular, elliptical or curved shaped plate by gas
JP2013034019A (en) * 2012-11-09 2013-02-14 Athlete Fa Kk Method of mounting conductive ball on substrate
JP5813715B2 (en) * 2013-09-13 2015-11-17 アスリートFa株式会社 Method for mounting conductive balls on a substrate
JP6538161B2 (en) * 2015-05-12 2019-07-03 株式会社Fuji Solder ball supply device
JP6813772B2 (en) * 2016-10-14 2021-01-13 澁谷工業株式会社 Micro ball mounting device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7607559B2 (en) 2007-06-06 2009-10-27 Shibuya Kogyo Co., Ltd. Conductive ball arraying apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08118005A (en) 1996-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3271482B2 (en) Solder ball mounting device and solder ball mounting method
US5655704A (en) Method and apparatus for mounting soldering balls onto electrodes of a substrate or a comparable electronic component
JP3024457B2 (en) Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method
US4985107A (en) Component location device and method for surface-mount printed circuit boards
JP2000323898A (en) Equipment for correcting flatness of printed circuit board of surface mounting machine
JP2004303797A (en) Packaging method of electronic component
JP4232861B2 (en) Solder ball mounting method
JP4012647B2 (en) Solder ball mounting method and apparatus
JP3092471B2 (en) Screen printing device and screen printing method
JP4233190B2 (en) Solder ball mounting method and apparatus
JPH07307344A (en) Bonding equipment for solder balls
JP3191800B2 (en) Screen printing device and screen printing method
JP3303837B2 (en) Screen printing apparatus and screen printing method
JP3175737B2 (en) Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method
JP3341632B2 (en) Mounting device for conductive balls
CN115446537B (en) Chip variable-pitch combined welding method
CN217127510U (en) Spacing release subassembly and have tin spraying machine of this subassembly
JP3303836B2 (en) Screen printing apparatus and screen printing method
JP3221434B2 (en) Screen printing device and screen printing method
JP2000308845A (en) Method and device for applying viscous liquid
JP3303838B2 (en) Screen printing apparatus and screen printing method
JP3137113B2 (en) Screen printing device and screen printing method
JP2007149825A (en) Flux transferring device
JP3243982B2 (en) Conductive ball mounting method and electronic component manufacturing method
JP3233137B2 (en) Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080125

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090125

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090125

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100125

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100125

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110125

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120125

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130125

Year of fee payment: 11

EXPY Cancellation because of completion of term