JP3269910B2 - Porcelain capacitor and method of manufacturing the same - Google Patents

Porcelain capacitor and method of manufacturing the same

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JP3269910B2 JP08390594A JP8390594A JP3269910B2 JP 3269910 B2 JP3269910 B2 JP 3269910B2 JP 08390594 A JP08390594 A JP 08390594A JP 8390594 A JP8390594 A JP 8390594A JP 3269910 B2 JP3269910 B2 JP 3269910B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、1又は2以上の誘電体
磁器層を少なくとも2以上の内部電極によって各々挟持
させてなる単層又は積層構造の磁器コンデンサ及びその
製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic capacitor having a single-layer or multilayer structure in which one or more dielectric ceramic layers are sandwiched by at least two or more internal electrodes, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、積層磁器コンデンサを製造するに
は、次のような方法が用いられている。即ち、ドクター
ブレード法等によりセラミックグリーンシートを作成
し、このグリーンシート上に内部電極となる金属粉末の
ペーストを印刷し、これらを複数枚積み重ねて熱圧着
し、1300℃以上の自然雰囲気中で焼成して焼結体を
作り、内部電極と導通する外部電極を焼結体の端面に焼
き付けていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, the following method has been used for manufacturing a laminated ceramic capacitor. That is, a ceramic green sheet is prepared by a doctor blade method or the like, a paste of metal powder to be used as an internal electrode is printed on the green sheet, a plurality of these are stacked and thermocompressed, and fired in a natural atmosphere of 1300 ° C. or more. In this way, a sintered body was produced, and an external electrode that is electrically connected to the internal electrode was baked on the end face of the sintered body.

【0003】ここで、パラジウム、白金、銀−パラジウ
ム等の貴金属は上記製造条件下でもセラミックと接触し
て酸化したり、セラミックと直接反応を起こさないた
め、内部電極の材料としてこれまで多くの積層磁器コン
デンサに使用されていたが、高価であるためコスト高の
最大の原因になっていた。
[0003] Here, noble metals such as palladium, platinum and silver-palladium do not oxidize upon contact with the ceramic or directly react with the ceramic even under the above-mentioned manufacturing conditions. It was used for porcelain capacitors, but was expensive and was the biggest cause of high cost.

【0004】この様な問題を解決する手段として、内部
電極の材料に卑金属を用いることが試みられている。し
かるに、内部電極の材料として、例えば、ニッケルを用
いると、自然雰囲気中の焼成で酸化され、セラミックと
容易に反応するため内部電極を形成することが出来なく
なる。この様な卑金属の酸化を防止するために、還元雰
囲気中で焼成を行わなければならないが、還元雰囲気中
で焼成するとセラミックは著しく還元されてしまい、コ
ンデンサとして機能しなくなる。
As a means for solving such a problem, an attempt has been made to use a base metal as the material of the internal electrode. However, if, for example, nickel is used as the material of the internal electrode, it is oxidized by firing in a natural atmosphere and easily reacts with the ceramic, so that the internal electrode cannot be formed. In order to prevent such oxidation of the base metal, firing must be performed in a reducing atmosphere. However, when firing is performed in a reducing atmosphere, the ceramic is significantly reduced and does not function as a capacitor.

【0005】そこで、この様な問題を解決するため、本
件特許出願人は次に述べる公開公報に開示されているよ
うな多数の誘電体磁器組成物を提案した。
In order to solve such a problem, the present applicant has proposed a number of dielectric ceramic compositions as disclosed in the following publication.

【0006】例えば、特開平5−270904号公報に
は、(1−α)((Bak-(x+y)MxLy)OkTiO2 +α(R1-zR'z)O
3/2 (但し、MはMg及び/又はZn、LはCa及び/
又はSr、RはLa,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm及
びEuから選択された1種又は2種以上の元素、R’は
Sc,Y,Gd,Dy,Ho,Er及びYbから選択さ
れた1種又は2種以上の元素)からなる基本成分と、L
2 O,SiO2 及びMO(但し、MOはBaO,Ca
O及びSrOから選択された1種又は2種以上の酸化
物)からなる添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示
されている。
For example, JP-A-5-270904 discloses (1−α) ((Ba k− (x + y) M x L y ) O k TiO 2 + α (R 1−z R ′ z ) O
3/2 (where M is Mg and / or Zn, L is Ca and / or
Or Sr and R are one or more elements selected from La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm and Eu, and R 'is selected from Sc, Y, Gd, Dy, Ho, Er and Yb. A basic component consisting of one or more elements)
i 2 O, SiO 2 and MO (where MO is BaO, Ca
A dielectric porcelain composition comprising an additional component comprising one or more oxides selected from O and SrO) is disclosed.

【0007】また、特開平5−270905号公報に
は、(1−α)(Bak-(x+y)MxLy)OkTiO2 +α(R1-zR'z)O3/2
(但し、MはMg及び/又はZn、LはCa及び/又は
Sr、RはLa,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm及びE
uから選択された1種又は2種以上の元素、R’はS
c,Y,Gd,Dy,Ho,Er及びYbから選択され
た1種又は2種以上の元素)からなる基本成分と、B2
3 ,SiO2 及びMO(但し、MOはBaO,CaO
及びSrOから選択された1種又は2種以上の酸化物)
からなる添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示され
ている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 5-270905 discloses that (1-α) (Ba k− (x + y) M x L y ) O k TiO 2 + α (R 1−z R ′ z ) O 3/2
(However, M is Mg and / or Zn, L is Ca and / or Sr, R is La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm and E
one or more elements selected from u, R ′ is S
one or more elements selected from c, Y, Gd, Dy, Ho, Er and Yb), and B 2
O 3 , SiO 2 and MO (where MO is BaO, CaO
And one or more oxides selected from SrO)
And an additive component comprising:

【0008】これら開示されている誘電体磁器組成物
は、非酸化性雰囲気中における1200℃以下の焼成で
磁器コンデンサを得ることが出来、その比誘電率が30
00以上、誘電損失tanδが2.5%以下、抵抗率ρ
が4×106 MΩ・cm以上であり、かつ比誘電率の温
度変化率が−55℃〜125℃で−15%〜+15%
(25℃を基準)、−25℃〜85℃で−10%+10
%(20℃を基準)の範囲にすることができるものであ
る。
[0008] These disclosed dielectric porcelain compositions can be used to produce porcelain capacitors by firing at 1200 ° C or lower in a non-oxidizing atmosphere, and have a relative dielectric constant of 30.
00, dielectric loss tan δ is 2.5% or less, resistivity ρ
Is not less than 4 × 10 6 MΩ · cm, and the temperature change rate of the relative dielectric constant is −15% to + 15% at −55 ° C. to 125 ° C.
(Based on 25 ° C), -10% + 10 at -25 ° C to 85 ° C
% (Based on 20 ° C.).

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】近年、電子回路の小型
化、高密度化にともない磁器コンデンサも小型大容量の
ものが強く求められている。その一つの手法として、積
層磁器コンデンサが知られており、その誘電体グリーン
シートの薄膜化、又はその積層数の増加により大容量化
することが試みられている。しかしながら、積層磁器コ
ンデンサにおいて、その誘電体磁器層を薄膜化すること
は、単位厚みあたりの交流電圧が増すことになり、誘電
損失(tanδ)が大きくなる。そこで、本発明は、上
記各公報に開示されている誘電体磁器組成物よりも更
に、誘電損失の交流電圧特性が良好な誘電体磁器組成物
を備えた磁器コンデンサを提供することにある。
In recent years, as electronic circuits have become smaller and more dense, there has been a strong demand for small and large-capacity porcelain capacitors. As one of the methods, a laminated ceramic capacitor is known, and attempts have been made to increase the capacity by reducing the thickness of the dielectric green sheet or increasing the number of layers. However, in the laminated ceramic capacitor, making the dielectric ceramic layer thinner increases the AC voltage per unit thickness and increases the dielectric loss (tan δ). Therefore, an object of the present invention is to provide a ceramic capacitor provided with a dielectric ceramic composition having better AC voltage characteristics of dielectric loss than the dielectric ceramic compositions disclosed in the above publications.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項1及び請求項2記載の発明は、誘電体磁器組成物から
なる1又は2以上の誘電体磁器層と、この誘電体磁器層
を挟持している少なくとも2以上の内部電極とを備えた
磁器コンデンサにおいて、前記誘電体磁器組成物が、1
00.0重量部の基本成分と、0.2〜5.0重量部の
添加成分との混合物を焼成したものからなり、前記基本
成分が、(1−γ)(Bak-(x+y)MxLy)OkTiO2 +γ(R1-zR'z)O
3/2+αAO5/2+βD(但し、MはMg及び/又はZn、L
はCa及び/又はSr、RはLa,Ce,Pr,Nd,
Pm,Sm及びEuから選択された1種又は2種以上の
元素、R’はSc,Y,Gd,Tb,Dy,Ho,E
r,Tm,Yb及びLuから選択された1種又は2種以
上の元素、AはP及び/又はV、DはCr,Mn,F
e,Co及びNiから選択された1種又は2種以上の酸
化物、α,β,γ,k,x,y及びzは、 0.0005≦α≦0.01 0.0005≦β≦0.01 0.002≦γ≦0.06 1.00≦k≦1.05 0≦x<0.10 0≦y≦0.05 0.01≦x+y≦0.10 0.5≦z≦0.9 を満足する数値)で表わされる物質からなる。
According to the first and second aspects of the present invention, there are provided one or more dielectric ceramic layers comprising a dielectric ceramic composition, A ceramic capacitor comprising at least two internal electrodes sandwiched therebetween, wherein the dielectric ceramic composition comprises:
A mixture of 00.0 parts by weight of a basic component and 0.2 to 5.0 parts by weight of an additive component is calcined, and the basic component is represented by the formula (1−γ) (Ba k− (x + y ) M x L y ) O k TiO 2 + γ (R 1-z R ' z ) O
3/2 + αAO 5/2 + βD (where M is Mg and / or Zn, L
Is Ca and / or Sr, R is La, Ce, Pr, Nd,
One or more elements selected from Pm, Sm and Eu, and R 'is Sc, Y, Gd, Tb, Dy, Ho, E
one or more elements selected from r, Tm, Yb and Lu, A is P and / or V, D is Cr, Mn, F
e, one or more oxides selected from Co and Ni, α, β, γ, k, x, y and z are 0.0005 ≦ α ≦ 0.01 0.0005 ≦ β ≦ 0 .01 0.002 ≦ γ ≦ 0.06 1.00 ≦ k ≦ 1.05 0 ≦ x <0.10 0 ≦ y ≦ 0.05 0.01 ≦ x + y ≦ 0.10 0.5 ≦ z ≦ 0 .9 that satisfies .9).

【0011】ここで、基本成分の組成式中におけるA成
分の割合、すなわちαの値は、0.0005≦α≦0.
01の範囲が好ましい。αの値が0.0005未満で
は、交流電圧200V/mmにおける誘電損失tanδ
が3.0%を越えてしまい、αの値が0.01を越える
と抵抗率ρが4.0×106 MΩ・cmより小さくな
り、静電容量の温度変化率△C-55 ,△C125 が−15
%〜+15%から外れ、△C-25 ,△C85が−10%〜
+10%から外れてしまうが、αの値が0.0005≦
α≦0.01の範囲では所望の電気的特性を有するもの
が得られるためである。
Here, the ratio of the component A in the composition formula of the basic component, that is, the value of α is 0.0005 ≦ α ≦ 0.
A range of 01 is preferred. When the value of α is less than 0.0005, the dielectric loss tan δ at an AC voltage of 200 V / mm
Exceeds 3.0%, and when the value of α exceeds 0.01, the resistivity ρ becomes smaller than 4.0 × 10 6 MΩ · cm, and the temperature change rate of the capacitance { C −55 , △ } . C 125 is -15
% To + 15%, △ C -25 and △ C 85 are -10% to
Although it deviates from + 10%, the value of α is 0.0005 ≦
This is because a material having desired electric characteristics can be obtained in the range of α ≦ 0.01.

【0012】なお、A成分のPとVはほぼ同様に働き、
0.0005≦α≦0.01を満足する範囲ではPとV
のうち一方又は両方を使用することが出来る。
Incidentally, P and V of the A component work almost in the same way,
P and V in a range satisfying 0.0005 ≦ α ≦ 0.01
One or both can be used.

【0013】また、基本成分の組成式中におけるD成分
の割合、すなわちβの値は、0.0005≦β≦0.0
1の範囲が好ましい。βの値が0.0005未満では、
交流電圧200V/mmにおける誘電損失tanδが
3.0%を越えてしまい、βの値が0.01を越えると
比誘電率が3300より小さくなるが、βの値が0.0
005≦β≦0.01の範囲では所望の電気特性を有す
るものが得られるためである。
The ratio of the D component in the composition formula of the basic component, that is, the value of β is 0.0005 ≦ β ≦ 0.0
A range of 1 is preferred. If the value of β is less than 0.0005,
The dielectric loss tan δ at an AC voltage of 200 V / mm exceeds 3.0%, and when the value of β exceeds 0.01, the relative dielectric constant becomes smaller than 3300.
This is because in the range of 005 ≦ β ≦ 0.01, one having desired electrical characteristics can be obtained.

【0014】なお、D成分であるCr,Mn,Fe,C
o及びNiの酸化物はそれぞれほぼ同様に働き、これら
から選択された一つを使用しても、又は複数を組み合わ
せて使用しても同様な効果が得られるものである。
The D components, Cr, Mn, Fe, C
The oxides of o and Ni work almost in the same way, and the same effect can be obtained by using one selected from these or by using a combination of two or more.

【0015】また、基本成分の組成式中におけるγの値
は、0.002≦γ≦0.06の範囲が好ましい。γの
値が0.002未満では、静電容量の温度変化率△C
-55 が−15%〜+15%から外れ、△C-25 が−10
%〜+10%から外れてしまい、またγの値が0.06
を越えると緻密な焼結体が得られなくなってしまうが、
γの値が0.002≦γ≦0.06の範囲では所望の電
気的特性を有する緻密な焼結体が得られるためである。
The value of γ in the composition formula of the basic component is preferably in the range of 0.002 ≦ γ ≦ 0.06. When the value of γ is less than 0.002, the temperature change rate of the capacitance ΔC
-55 deviates from -15% to + 15%, ΔC -25 decelerates to -10
% To + 10%, and the value of γ is 0.06
If it exceeds, a dense sintered body cannot be obtained,
When the value of γ is in the range of 0.002 ≦ γ ≦ 0.06, a dense sintered body having desired electric characteristics can be obtained.

【0016】また、kの値は、1.00≦k≦1.05
の範囲が好ましい。kの値が1.00未満では、抵抗率
ρが4.0×106 MΩ・cmより小さくなり、静電容
量の温度変化率△C-55 ,△C125 が−15%〜+15
%から外れ、△C-25 ,△C85が−10%〜+10%か
ら外れてしまい、またkの値が1.05を越えると緻密
な焼結体が得られなくなってしまうが、kの値が1.0
0≦k≦1.05の範囲では所望の電気的特性を有する
緻密な焼結体が得られるためである。
The value of k is 1.00 ≦ k ≦ 1.05
Is preferable. When the value of k is less than 1.00, the resistivity ρ becomes smaller than 4.0 × 10 6 MΩ · cm, and the temperature change rates ΔC −55 and ΔC 125 of the capacitance become −15% to +15.
%, ΔC -25 and ΔC 85 deviate from −10% to + 10%, and if the value of k exceeds 1.05, a dense sintered body cannot be obtained. Value is 1.0
This is because a dense sintered body having desired electrical characteristics can be obtained in the range of 0 ≦ k ≦ 1.05.

【0017】また、x+yの値は、0.01≦x+y≦
0.10の範囲が好ましい。x+yの値が0.01未満
では、静電容量の温度変化率△C-55 が−15%〜+1
5%から外れ、x+yの値が0.10を越えると、静電
容量の温度変化率△C85が−10%〜+10%から外れ
てしまうが、x+yの値が0.010≦x+y≦0.1
0の範囲では所望の電気的特性を有する緻密な焼結体が
得られるためである。
The value of x + y is 0.01 ≦ x + y ≦
A range of 0.10 is preferred. If the value of x + y is less than 0.01, the temperature change rate ΔC −55 of the capacitance is −15% to +1.
When the value of x + y exceeds 0.10 and the value of x + y exceeds 0.10, the temperature change rate ΔC 85 of the capacitance deviates from −10% to + 10%, but the value of x + y is 0.010 ≦ x + y ≦ 0. .1
This is because in the range of 0, a dense sintered body having desired electric characteristics can be obtained.

【0018】ただし、x+y≦0.10であっても、y
≦0.05が好ましい。x+y≦0.10が満足してい
ても、yの値が0.05を越えると静電容量の温度変化
率△C85が−10%〜+10%から外れてしまうためで
ある。
However, even if x + y ≦ 0.10, y
≦ 0.05 is preferred. This is because, even if x + y ≦ 0.10 is satisfied, when the value of y exceeds 0.05, the temperature change rate ΔC 85 of the capacitance deviates from −10% to + 10%.

【0019】なお、M成分のMgとZn及びL成分のC
aとSrはほぼ同様に働き、0≦x≦0.10を満足す
る範囲ではMgとZnのうち一方又は両方を使用するこ
と、また0≦y≦0.05を満足する範囲でCaとSr
のうちの一方又は両方を使用することが出来る。
Incidentally, Mg and Zn of the M component and C and C of the L component
a and Sr work almost in the same way, and use one or both of Mg and Zn in a range satisfying 0 ≦ x ≦ 0.10, and Ca and Sr in a range satisfying 0 ≦ y ≦ 0.05.
One or both can be used.

【0020】また、zの値は、0.5≦z≦0.9の範
囲が好ましい。zの値が0.5未満ではtanδが2.
5%を越えてしまい、交流電圧200V/mmにおける
誘電損失tanδが3.0%を越えてしまい、抵抗率ρ
が4.0×106 MΩ・cmより小さくなり、静電容量
の温度変化率△C-55 が−15%〜+15%から外れ、
△C-25 ,△C85が−10%〜+10%から外れ、zの
値が0.9を越えると比誘電率が3300以下になって
しまうが、0.5≦z≦0.9の範囲では、所望の電気
的特性を有するものが得られるためである。
The value of z is preferably in the range of 0.5 ≦ z ≦ 0.9. When the value of z is less than 0.5, tan δ is 2.
5%, the dielectric loss tan δ at an AC voltage of 200 V / mm exceeds 3.0%, and the resistivity ρ
Becomes smaller than 4.0 × 10 6 MΩ · cm, and the temperature change rate ΔC- 55 of the capacitance deviates from −15% to + 15%.
When ΔC -25 and ΔC 85 deviate from -10% to + 10% and the value of z exceeds 0.9, the relative dielectric constant becomes 3300 or less. This is because in the range, a material having desired electric characteristics can be obtained.

【0021】なお、R成分のLa,Ce,Pr,Nd,
Pm,Sm及びEu、また、R’成分のSc,Y,G
d,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb及びLuはそ
れぞれほゞ同様に働き、これ等から選択された1つを使
用しても、又は複数を使用しても同様な結果が得られる
ものである。
The R components La, Ce, Pr, Nd,
Pm, Sm and Eu, and R, component Sc, Y, G
Each of d, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu works almost in the same way, and the same result can be obtained by using one selected from these or by using a plurality of them. Things.

【0022】ただし、zの値は、R成分及びR’成分の
それぞれが1種又は複数種のいずれの場合においても、
0.5≦z≦0.9の範囲にすることが望ましい。
However, the value of z is determined as follows when the R component and the R ′ component are each one kind or plural kinds.
It is desirable to set the range of 0.5 ≦ z ≦ 0.9.

【0023】なお、基本成分のx,y,z及びkは、前
述した基本成分の組成式の各元素の原子数、すなわちT
iの原子数を1とした場合の各元素の原子数の割合を示
す。また、α及びβは、前述した基本成分の組成式の各
酸化物の原子数、すなわち、前述した基本成分の組成式
のうち(1−γ)(Bak-(x+y)MxLy)OkTiO2 +γ(R1-zR'z)O
3/2 の分子数を1とした場合の各酸化物の原子数の割合
を示す。
The basic components x, y, z and k are the number of atoms of each element in the composition formula of the basic component, ie, T
The ratio of the number of atoms of each element when the number of atoms of i is 1 is shown. Α and β are the number of atoms of each oxide in the above-described basic component composition formula, that is, (1−γ) (Ba k− (x + y) M × L y ) O k TiO 2 + γ (R 1-z R ' z ) O
The ratio of the number of atoms of each oxide when the number of molecules of 3/2 is 1 is shown.

【0024】また、基本成分を得るための出発原料を、
実施例で示したもの以外の、例えばBaO,SrO,C
aOなどの酸化物又は水酸化物又はその他の化合物とし
てもよい。
The starting materials for obtaining the basic components are
For example, BaO, SrO, C other than those shown in the embodiment
An oxide such as aO, a hydroxide, or another compound may be used.

【0025】次に、添加成分としては、Li2 O−Si
2 −MO及びB23 −SiO2−MOのいずれか一
方又は両方を使用することができる。添加成分の添加量
は、100重量部の基本成分に対し、0.2〜5重量部
の範囲が好ましい。添加成分の添加量が0.2重量部未
満の場合には、焼成温度が1250℃であっても緻密な
焼結体が得られず、また、添加成分の添加量が5重量部
を越える場合には、比誘電率が3300未満となり、静
電容量の温度変化率△C-55 が−15%〜+15%から
外れるが、添加成分が0.2〜5重量部の範囲にある場
合は、所望の電気的特性を有する緻密な焼結体が得られ
るためである。
Next, as an additive component, Li 2 O—Si
Either or both of O 2 -MO and B 2 O 3 -SiO 2 -MO can be used. The addition amount of the additional component is preferably in the range of 0.2 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the basic component. If the amount of the additional component is less than 0.2 parts by weight, a dense sintered body cannot be obtained even at a firing temperature of 1250 ° C., and the amount of the additional component exceeds 5 parts by weight. Has a relative dielectric constant of less than 3300, and the temperature change rate ΔC −55 of the capacitance deviates from −15% to + 15%, but when the additive component is in the range of 0.2 to 5 parts by weight, This is because a dense sintered body having desired electric characteristics can be obtained.

【0026】そして、請求項1記載の発明は、前記添加
成分がLi2 OとSiO2 とMO(但し、MOはBa
O,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択された
1種又は2種以上の酸化物)とからなり、前記Li2
と前記SiO2 と前記MOとの組成範囲が、これらの組
成をモル%で示す三角図における、前記Li2 Oが1モ
ル%、前記SiO2 が80モル%、前記MOが19モル
%の組成を示す第一の点Aと、前記Li2 Oが1モル
%、前記SiO2 が39モル%、前記MOが60モル%
の組成を示す第二の点Bと、前記Li2 Oが30モル
%、前記SiO2 が30モル%、前記MOが40モル%
の組成を示す第三の点Cと、前記Li2 Oが50モル
%、前記SiO2 が50モル%、前記MOが0モル%の
組成を示す第四の点Dと、前記Li2 Oが20モル%、
前記SiO2 が80モル%、前記MOが0モル%の組成
を示す第五の点Eとをこの順に結ぶ5本の直線で囲まれ
た領域内のものである。
According to the first aspect of the present invention, the additive component is Li 2 O, SiO 2 and MO (where MO is Ba).
O, it becomes from SrO, CaO, 1 or more kinds of oxide selected from MgO and ZnO) and the Li 2 O
In the triangular diagram in which the composition range of SiO 2 and MO is represented by mol%, the composition is 1 mol% of Li 2 O, 80 mol% of SiO 2 , and 19 mol% of MO. And the first point A indicating that the Li 2 O is 1 mol%, the SiO 2 is 39 mol%, and the MO is 60 mol%
A second point B indicating the composition of the above, and the Li 2 O is 30 mol%, the SiO 2 is 30 mol%, and the MO is 40 mol%
A third point C indicating the composition of the Li 2 O is 50 mol%, the SiO 2 is 50 mol%, and D fourth points indicating the MO composition of 0 mol%, the Li 2 O is 20 mol%,
A region surrounded by five straight lines connecting a fifth point E having a composition of 80 mol% of SiO 2 and 0 mol% of MO in this order.

【0027】ここで、添加成分の組成を、Li2 O−S
iO2 −MOの組成比をモル%で示す三角図において、
前記した点A〜Eをこの順に結ぶ5本の直線で囲まれた
領域内としたのは、添加成分の組成をこの範囲内のもの
とすれば、所望の電気的特性の誘電体磁器組成物を得る
ことができるが、添加成分の組成をこの範囲外とすれ
ば、1250℃の焼成でも緻密な焼結体を得ることがで
きなくなるからである。なお、MO成分となるBaO,
SrO,CaO,MgO及びZnOは適当な比率で使用
してもよい。添加成分の出発原料は酸化物、水酸化物等
の他の化合物としてもよい。
Here, the composition of the additive component is Li 2 O—S
In the triangular diagram showing the composition ratio of iO 2 -MO in mol%,
The points A to E are set in a region surrounded by five straight lines connecting in this order, provided that the composition of the additive component is within this range, the dielectric ceramic composition having desired electric characteristics. This is because if the composition of the additive component is out of this range, a dense sintered body cannot be obtained even at 1250 ° C. firing. The MO component BaO,
SrO, CaO, MgO and ZnO may be used in an appropriate ratio. The starting material of the additional component may be another compound such as an oxide or a hydroxide.

【0028】また、請求項2記載の発明は、前記添加成
分がB23 とSiO2 とMO(但し、MOはBaO,
SrO,CaO,MgO及びZnOから選択された1種
又は2種以上の金属酸化物)とからなり、前記B23
0が1モル%、前記SiO2 が80モル%、前記MOが
19モル%の組成を示す第六の点Fと、前記B23
1モル%、前記SiO2 が39モル%、前記MOが60
モル%の組成を示す第七の点Gと、前記B23 が29
モル%、前記SiO2 が1モル%、前記MOが70モル
%の組成を示す第八の点Hと、前記B23 が90モル
%、前記SiO2 が1モル%、前記MOが9モル%の組
成を示す第九の点Iと、前記B23 が90モル%、前
記SiO2 が9モル%、前記MOが1モル%の組成を示
す第十の点Jと、前記B23 が19モル%、前記Si
2 が80モル%、前記MOが1モル%の組成を示す第
十一の点Kとをこの順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域
内のものである。
Further, the invention according to claim 2 is characterized in that the additional components are B 2 O 3 , SiO 2 and MO (where MO is BaO,
Becomes because SrO, CaO, 1 or two or more metal oxide selected from MgO and ZnO) and, the B 2 O 3
0 is 1 mol%, the SiO 2 is 80 mol%, the MO is 19 mol%, a sixth point F indicating the composition, the B 2 O 3 is 1 mol%, the SiO 2 is 39 mol%, MO is 60
A seventh point G indicating a mole% composition, and the B 2 O 3
An eighth point H having a composition of 1 mol% of SiO 2 , 1 mol% of SiO 2 and 70 mol% of MO, 90 mol% of B 2 O 3, 1 mol% of SiO 2 , and 9 mol of MO A ninth point I indicating a composition of 90% by mole, a tenth point J indicating a composition of 90% by mole of B 2 O 3, 9% by mole of SiO 2, and 1% by mole of MO; 19% by mole of 2 O 3
This is in a region surrounded by six straight lines connecting in this order an eleventh point K having a composition of 80 mol% of O 2 and 1 mol% of MO.

【0029】ここで、添加成分の組成を、B23 −S
iO2 −MOの組成比をモル%で示す三角図において、
前記した点F〜Kをこの順に結ぶ6本の直線で囲まれた
領域内としたのは、添加成分の組成をこの範囲内のもの
とすれば、所望の電気的特性の誘電体磁器組成物を得る
ことができるが、添加成分の組成をこの範囲外とすれ
ば、1250℃の焼成でも緻密な焼結体を得ることがで
きなくなるからである。なお、MO成分となるBaO,
SrO,CaO,MgO及びZnOは適当な比率で使用
してもよい。添加成分の出発原料は酸化物、水酸化物等
の他の化合物としてもよい。
Here, the composition of the additive component is represented by B 2 O 3 —S
In the triangular diagram showing the composition ratio of iO 2 -MO in mol%,
The points F to K were set in the region surrounded by the six straight lines connecting in this order, as long as the composition of the additive component was within this range, the dielectric ceramic composition having desired electric characteristics was obtained. This is because if the composition of the additive component is out of this range, a dense sintered body cannot be obtained even at 1250 ° C. firing. The MO component BaO,
SrO, CaO, MgO and ZnO may be used in an appropriate ratio. The starting material of the additional component may be another compound such as an oxide or a hydroxide.

【0030】また、上記課題を解決する請求項3及び請
求項4記載の発明は、前記の基本成分と添加成分とから
なる未焼結の磁器粉末からなる混合物を調製する工程
と、前記混合物からなる未焼結磁器シートを形成する工
程と、前記未焼結磁器シートを少なくとも2以上の導電
性ペースト膜で挟持させた積層物を形成する工程と、前
記積層物を非酸化性雰囲気中において焼成する工程と、
前記焼成を受けた積層物を酸化性雰囲気中において熱処
理する工程とを備えたものである。
The invention according to claims 3 and 4 for solving the above-mentioned problems is characterized in that a step of preparing a mixture comprising a non-sintered porcelain powder comprising the above-mentioned basic components and additional components, Forming a non-sintered porcelain sheet, forming a laminate in which the non-sintered porcelain sheet is sandwiched between at least two or more conductive paste films, and firing the laminate in a non-oxidizing atmosphere. The process of
Heat-treating the fired laminate in an oxidizing atmosphere.

【0031】ここで、添加成分としては、請求項1記載
の発明のもの(Li2 O−SiO2−MO)及び請求項
2記載の発明のもの(B23 −SiO2 −MO)のい
ずれか一方又は両方を使用することができる。また、非
酸化性雰囲気としては、H2やCOなどの還元性雰囲気
のみならず、N2 やArなどの中性雰囲気であってもよ
い。また、非酸化性雰囲気中における焼成温度は、電極
材料を考慮して種々変更することができる。ニッケルを
内部電極とする場合には、1050℃〜1200℃の範
囲でニッケル粒子の凝集をほとんど生じさせることなく
焼成することができる。
Here, as the additional components, those of the invention according to claim 1 (Li 2 O—SiO 2 —MO) and those of the invention according to claim 2 (B 2 O 3 —SiO 2 —MO) Either or both can be used. Further, the non-oxidizing atmosphere may be not only a reducing atmosphere such as H 2 or CO, but also a neutral atmosphere such as N 2 or Ar. The firing temperature in the non-oxidizing atmosphere can be variously changed in consideration of the electrode material. When nickel is used as the internal electrode, firing can be performed at a temperature in the range of 1050 ° C. to 1200 ° C. with almost no aggregation of nickel particles.

【0032】また、酸化性雰囲気中における熱処理温度
は、非酸化性雰囲気中における焼成温度より低い温度で
あればよく、500℃〜1000℃の範囲が好ましい。
酸化性雰囲気としては、大気雰囲気に限定することな
く、例えば、N2 に数ppmのO2 を混合したような低
酸素濃度の雰囲気から任意の酸素濃度の雰囲気を使用す
ることができる。どのような温度あるいはどのような酸
素濃度の雰囲気にするかは、電極材料(ニッケル等)の
酸化と誘電体磁器層の酸化とを考慮して種々変更する必
要がある。後述した実施例ではこの熱処理の温度を60
0℃としたが、この温度に限定されるものではない。
The heat treatment temperature in the oxidizing atmosphere may be lower than the firing temperature in the non-oxidizing atmosphere, and is preferably in the range of 500 ° C. to 1000 ° C.
The oxidizing atmosphere is not limited to the air atmosphere, but may be an atmosphere having a low oxygen concentration such as a mixture of N 2 and O 2 of several ppm, and an atmosphere having an arbitrary oxygen concentration. What kind of temperature or what kind of oxygen concentration the atmosphere should be changed in various ways in consideration of oxidation of the electrode material (nickel or the like) and oxidation of the dielectric ceramic layer. In the embodiment described later, the temperature of this heat treatment is set to 60.
Although the temperature was set to 0 ° C., the temperature is not limited to this.

【0033】また、後述する実施例では、非酸化性雰囲
気中における熱処理と、酸化性雰囲気中における熱処理
を一つの連続した焼成プロファイルの中で行なっている
が、もちろん非酸化性雰囲気中における焼成工程と、酸
化性雰囲気における熱処理工程とを独立した工程に分け
て行なうことも可能である。
In the embodiments described later, the heat treatment in the non-oxidizing atmosphere and the heat treatment in the oxidizing atmosphere are performed in one continuous firing profile. And a heat treatment step in an oxidizing atmosphere can be performed separately.

【0034】また、後述する実施例では、外部電極とし
てZn電極を使用しているが、電極焼付け条件を選択す
ることによりNi,Ag,Cu等の電極を用いることが
できるものはもちろん、Ni外部電極を未焼結積層体の
端面に塗布して積層体の焼成と外部電極の焼付けを同時
に行うことも可能である。
In the embodiments described later, a Zn electrode is used as an external electrode. However, an electrode made of Ni, Ag, Cu, or the like can be used by selecting electrode baking conditions. It is also possible to apply electrodes to the end surfaces of the unsintered laminate, and to simultaneously bake the laminate and bake the external electrodes.

【0035】なお、本発明は積層磁器コンデンサ以外の
一般的な単層の磁器コンデンサにも勿論適応可能であ
る。
The present invention can of course be applied to general single-layer ceramic capacitors other than the multilayer ceramic capacitor.

【0036】[0036]

【実施例】以下、本発明の実施例を、試料番号1の試料
の場合を中心に説明する。まず、BaCO3 ,MgO,
ZnO,CaCO3 ,SrCO3 ,TiO2 及びEr2
3 を表1に示すように各々秤量した。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below mainly on the case of the sample No. 1. First, BaCO 3 , MgO,
ZnO, CaCO 3 , SrCO 3 , TiO 2 and Er 2
O 3 was weighed as shown in Table 1.

【0037】[0037]

【表1】 [Table 1]

【0038】ここで、表1の各化合物の重量は、前記基
本成分の組成式(1−γ)(Bak-(x+y)MxLy)OkTiO2 +γ(R
1-zR'z)O3/2+αAO5/2+βD …(1)における第1項の(B
ak-(x+y)MxLy)OkTiO2 …(2)が(Ba0.96Mg0.03Zn0.01C
a0.01Sr0.0 1)O1.02TiO2 …(3)となるように計算して
求めたものである。また、これらの各化合物としては9
9.0%以上の純度のものを用いた。
Here, the weight of each compound in Table 1 is determined by the composition formula (1-γ) (Ba k− (x + y) M x L y ) O k TiO 2 + γ (R
1-z R ′ z ) O 3/2 + αAO 5/2 + βD (B) of the first term in (1)
a k- (x + y) M x L y ) O k TiO 2 … (2) is (Ba 0.96 Mg 0.03 Zn 0.01 C
a 0.01 Sr 0.0 1 ) O 1.02 TiO 2 ... (3) In addition, as each of these compounds, 9
Those having a purity of 9.0% or more were used.

【0039】次に、これらの化合物を2.5リットルの
水とともにボールミルに入れ、湿式で約20時間混合
し、150℃で4時間乾燥した後粉砕し、この粉砕物を
大気中において約1200℃で2時間仮焼し、上記組成
式(1)の第1項の成分粉末を得た。
Next, these compounds were put into a ball mill together with 2.5 liters of water, mixed for about 20 hours by a wet method, dried at 150 ° C. for 4 hours, and then pulverized. For 2 hours to obtain the component powder of the first item of the composition formula (1).

【0040】次に、Sm23 の粉末を185.61
g、Er23 の粉末を814.39g秤量し、これら
をボールミルで約20時間湿式混合し、150℃で4時
間乾燥した後粉砕し、上記組成式(1)における第2項
の(R1-z R’)O3/2 …(4)が(Sm0.2 Er
0.8 )O3/2 …(5)となったものの粉末を得た。
Next, 185.61 powder of Sm 2 O 3 was added.
g, and powder 814.39g weighed of Er 2 O 3, these were mixed for about 20 hours in a ball mill, and pulverized after drying for 4 hours at 0.99 ° C., the second term in the above composition formula (1) (R 1-z R ′) O 3/2 (4) is (Sm 0.2 Er)
0.8 ) O 3/2 ... (5) powder was obtained.

【0041】そして、上記組成式(1)の第1項の成分
粉末982.44g(98モル部)と、第2項の成分粉
末16.33g(2モル部)と、第3項の成分(PO
5/2 )粉末0.62g(0.2モル部)と、第4項の成
分(MnO)粉末0.62g(0.2モル部)とを湿式
で混合した後、150℃で乾燥させ、第1項の成分が
0.98モル、第2項の成分が0.02モル、第3項の
成分が0.002モル、第4項の成分が0.002モル
で表わされる基本成分の粉末を得た。
Then, 982.44 g (98 mol parts) of the component powder of the first term of the composition formula (1), 16.33 g (2 mol parts) of the component powder of the second term, and the component (3) of the third term ( PO
5/2 ) 0.62 g (0.2 mol parts) of the powder and 0.62 g (0.2 mol parts) of the component (MnO) powder of the fourth item were mixed in a wet system, and dried at 150 ° C. A powder of a basic component in which the component of the first term is represented by 0.98 mol, the component of the second term is represented by 0.02 mol, the component of the third term is represented by 0.002 mol, and the component of the fourth term is represented by 0.002 mol. I got

【0042】一方、Li2 O,SiO2 ,CaCO3
SrCO3 及びBaCO3 を表2に示すように各々秤量
した。
On the other hand, Li 2 O, SiO 2 , CaCO 3 ,
SrCO 3 and BaCO 3 were each weighed as shown in Table 2.

【0043】[0043]

【表2】 [Table 2]

【0044】ここで、表2の化合物の重量は、添加成分
について、Li2 Oが30モル%、SiO2 が60モル
%、MOが10モル%{CaO(8モル%)、SrO
(1モル%)、BaO(1モル%)}となるように計算
して求めたものである。また、これらの各化合物として
は99.0%以上の純度のものを用いた。
Here, the weights of the compounds in Table 2 are based on the additive components: 30 mol% of Li 2 O, 60 mol% of SiO 2 , 10 mol% of MO {CaO (8 mol%), SrO
(1 mol%) and BaO (1 mol%)}. Each of these compounds had a purity of 99.0% or more.

【0045】次に、これらの各化合物を300ccのア
ルコールとともにポリエチレンポットに入れて約10時
間混合した後、大気中において1000℃で2時間仮焼
し、この仮焼によって得られたものを300ccのアル
コールと共にアルミナポットに入れ、アルミナボールで
15時間粉砕し、その後、150℃で4時間乾燥させ、
添加成分の粉末を得た。
Next, each of these compounds was put in a polyethylene pot together with 300 cc of alcohol and mixed for about 10 hours, and then calcined in the air at 1000 ° C. for 2 hours. Put in an alumina pot with alcohol, pulverize with alumina balls for 15 hours, then dry at 150 ° C. for 4 hours,
A powder of the additional component was obtained.

【0046】次に、基本成分の粉末1000g(100
重量部)に対して上記添加成分の粉末10g(1重量
部)を加え、更に、アクリル酸エステルポリマー、グリ
セリン、縮合リン酸塩の水溶液からなる有機バインダー
を基本成分と添加成分との合計重量に対して15重量%
添加し、更に、水を50重量%加え、これらをボールミ
ルに入れて粉砕及び混合し、磁器原料のスラリーを作成
した。
Next, 1000 g of powder of the basic component (100
10 parts by weight (1 part by weight) of the above-mentioned additive component, and an organic binder composed of an aqueous solution of an acrylate polymer, glycerin and a condensed phosphate to the total weight of the basic component and the additive component. 15% by weight
Then, 50% by weight of water was added, and the mixture was put in a ball mill and pulverized and mixed to prepare a slurry of a porcelain raw material.

【0047】次に、上記スラリーを真空脱泡器にいれて
脱泡し、このスラリーをリバースロールコーターに入
れ、これを使用してポリエステルフィルム上にこのスラ
リーに基づく薄膜を形成し、この薄膜をフィルム上で1
00℃に加熱して乾燥させ、厚さ約20μmのグリーン
シートを得た。このシートを10cm角の正方形に打ち
抜いて使用した。
Next, the slurry is put into a vacuum defoamer to remove bubbles, the slurry is put into a reverse roll coater, and a thin film based on the slurry is formed on a polyester film using the slurry. 1 on film
The resultant was heated to 00 ° C. and dried to obtain a green sheet having a thickness of about 20 μm. This sheet was punched into a 10 cm square square for use.

【0048】一方、内部電極の導電ペーストは、平均粒
径が1.5μmのニッケル粉末10gと、エチルセルロ
ース0.9gをブチルカルビトール9.1gに溶解させ
たものとを攪拌器にいれ、10時間攪拌することにより
得た。この導電ペーストを長さ14mm、幅7mmのパ
ターンを50個有するスクリーンを介して上記グリーン
シートの片面に印刷した後、これを乾燥した。
On the other hand, as the conductive paste for the internal electrode, 10 g of nickel powder having an average particle size of 1.5 μm and a solution prepared by dissolving 0.9 g of ethyl cellulose in 9.1 g of butyl carbitol were placed in a stirrer, and the mixture was stirred for 10 hours Obtained by stirring. This conductive paste was printed on one side of the green sheet through a screen having 50 patterns having a length of 14 mm and a width of 7 mm, and then dried.

【0049】次に、上記印刷面を上にしてグリーンシー
トを2枚積層した。この際、隣接する上下のシートにお
いて、その印刷面がパターンの長手方向に約半分ほどず
れるように配置した。更に、この積層物の上下両面にそ
れぞれ10枚づつ印刷の施されていないグリーンシート
を積層した。次いで、この積層物を約50℃の温度で厚
さ方向に約40トンの圧力を加えて圧着させた。しかる
後、この積層物を格子状に裁断し、約50個の積層チッ
プを得た。
Next, two green sheets were laminated with the printed side facing up. At this time, the printing surfaces of the adjacent upper and lower sheets were arranged so as to be shifted by about half in the longitudinal direction of the pattern. Furthermore, unprinted green sheets were laminated on each of the upper and lower surfaces of the laminate by 10 sheets each. Next, the laminate was pressed at a temperature of about 50 ° C. by applying a pressure of about 40 tons in the thickness direction. Thereafter, the laminate was cut into a lattice to obtain about 50 laminated chips.

【0050】次に、この積層チップを雰囲気可能な炉に
入れ、大気中で100℃/hrの速度で600℃まで加
熱して、有機バインダーを燃焼させた。しかる後、炉の
雰囲気を大気からH2 (2体積%)+N2 (98体積
%)の雰囲気に変えた。そして、炉を上記のごとき還元
性雰囲気とした状態を保って、積層体チップの加熱温度
を600℃から焼成温度の1150℃(最高温度)を3
時間保持した後、100℃/hrの速度で600℃まで
降温し、雰囲気を大気雰囲気(酸化性雰囲気)に置き換
えて、600℃を30分間保持して酸化処理を行い、そ
の後、室温まで冷却して、焼結体チップを得た。
Next, the laminated chip was placed in a furnace capable of atmosphere and heated to 600 ° C. in the atmosphere at a rate of 100 ° C./hr to burn the organic binder. Thereafter, the atmosphere of the furnace was changed from the atmosphere to an atmosphere of H 2 (2% by volume) + N 2 (98% by volume). Then, while maintaining the furnace in the reducing atmosphere as described above, the heating temperature of the laminated body chip was raised from 600 ° C. to the firing temperature of 1150 ° C. (maximum temperature) by 3.
After holding for a period of time, the temperature was lowered to 600 ° C. at a rate of 100 ° C./hr, the atmosphere was replaced with an air atmosphere (oxidizing atmosphere), the oxidation treatment was performed at 600 ° C. for 30 minutes, and then cooled to room temperature. Thus, a sintered chip was obtained.

【0051】次に、電極が露出する焼結体チップの側面
に亜鉛とガラスフリットとビヒクルとからなる導電性ペ
ーストを塗布して乾燥し、これを大気中で550℃の温
度で15分間焼き付け、亜鉛電極層を形成し、更にこの
うえに銅を無電解メッキで被着させ、更にこの上に電気
メッキ法でPb−Sn半田層を設けて、一対の外部電極
を形成した。
Next, a conductive paste composed of zinc, glass frit and vehicle is applied to the side surface of the sintered chip where the electrodes are exposed, dried and baked at 550 ° C. for 15 minutes in the air. A zinc electrode layer was formed, copper was further applied thereon by electroless plating, and a Pb-Sn solder layer was further provided thereon by electroplating to form a pair of external electrodes.

【0052】これにより、図1に示すように、誘電体磁
器層12と、内部電極14と、外部電極16からなる積
層磁器コンデンサ10が得られた。なお、このコンデン
サ10の誘電体磁器層12の厚さは0.015mm、内
部電極の対抗面積は、5mm×5mm=25mm2 であ
る。また、焼結後の誘電体磁器層12の組成は、焼結前
の基本成分と添加成分との混合組成と実質的に同じであ
る。
As a result, as shown in FIG. 1, a laminated ceramic capacitor 10 comprising the dielectric ceramic layer 12, the internal electrode 14, and the external electrode 16 was obtained. The thickness of the dielectric ceramic layer 12 of the capacitor 10 is 0.015 mm, and the opposing area of the internal electrodes is 5 mm × 5 mm = 25 mm 2 . The composition of the dielectric ceramic layer 12 after sintering is substantially the same as the mixed composition of the basic component and the additive component before sintering.

【0053】次に、完成した積層磁器コンデンサの電気
的特性を測定したところ、表6の試料番号1の欄に示
すように、比誘電率εs が3380、tanδが1.6
%、抵抗率ρが5.7×106 MΩ・cm、交流電圧2
00V/mmにおけるtanδが2.1%、25℃の静
電容量を基準にした−55℃及+125℃の静電容量の
変化率△C-55 ,△C125 が−9.7%,4.3%,2
0℃の静電容量を基準にした−25℃、+85℃の静電
容量の変化率△C-25 ,△C85が−4.5%,−2.6
%であった。
Next, when the electrical characteristics of the completed laminated ceramic capacitor were measured, as shown in the column of Sample No. 1 in Table 6, the relative dielectric constant ε s was 3380 and tan δ was 1.6.
%, Resistivity 5.7 × 10 6 MΩ · cm, AC voltage 2
The tan δ at 00 V / mm is 2.1%, and the capacitance change rates ΔC −55 and ΔC 125 at −55 ° C. and + 125 ° C. based on the capacitance at 25 ° C. are −9.7%, 4 .3%, 2
0 ℃ capacitance -25 ° C. relative to the the, + 85 ° C. capacitance rate of change △ C -25, △ C 85 is -4.5%, - 2.6
%Met.

【0054】なお、電気的特性は次の容量で測定した。 (A) 比誘電率εs は、温度20℃、周波数1kHz、電
圧(実効値)1.0Vの条件で静電容量を測定し、この
測定値と、一対の内部電極の対向面積25mm 2 と、一
対の内部電極間の誘電体磁器層の厚さ0.015mmか
ら計算で求めた。 (B) 誘電体損失tanδ(%)は、上記した比誘電率の
測定の場合と同一の条件で測定した。 (C) 抵抗率ρ(MΩ・cm)は、温度20℃においてD
C100Vを60秒間印加した後に、一対の外部電極間
の抵抗値を測定し、この測定値と寸法とに基づいて計算
で求めた。 (D) 交流電圧200V/mmでの誘電損失tanδ
(%)は、温度20℃、周波数1kHz、電圧(実行
値)3.0Vの条件で測定した。 (E) 静電容量の温度特性は、恒温槽中に試料を入れ、−
55℃,−25℃,0℃,+20℃,+25℃,+50
℃,+85℃,+110℃,+125℃の各温度におい
て、周波数1kHz、電圧(実効値)1.0Vの条件で
静電容量を測定し、温度20℃及び25℃における静電
容量に対して各温度の静電容量の変化率を求めることに
より得た。
The electrical characteristics were measured at the following capacitances. (A) Relative permittivity εs Is a temperature of 20 ° C, a frequency of 1 kHz,
The capacitance was measured under the condition of a pressure (effective value) of 1.0 V.
The measured value and the facing area of the pair of internal electrodes 25 mm Two And one
Is the thickness of the dielectric porcelain layer between the pair of internal electrodes 0.015 mm
It was determined by calculation. (B) The dielectric loss tan δ (%) is the relative dielectric constant
The measurement was performed under the same conditions as in the measurement. (C) The resistivity ρ (MΩ · cm) is D at a temperature of 20 ° C.
After applying C100V for 60 seconds, between a pair of external electrodes
Is measured and calculated based on this measurement and dimensions
I asked for it. (D) Dielectric loss tan δ at AC voltage 200V / mm
(%) Is temperature 20 ° C, frequency 1kHz, voltage (execution
Value) Measured under the condition of 3.0 V. (E) The temperature characteristics of capacitance can be measured by placing a sample in a
55 ° C, -25 ° C, 0 ° C, + 20 ° C, + 25 ° C, +50
° C, + 85 ° C, + 110 ° C, + 125 ° C
At a frequency of 1 kHz and a voltage (effective value) of 1.0 V.
Measure the capacitance and measure the capacitance at 20 ° C and 25 ° C.
To find the rate of change of capacitance at each temperature with respect to capacitance
I got more.

【0055】以上、試料番号1の試料の場合について述
べたが、試料番号2〜89についても、基本成分の組成
を表3〜表3及び表4〜表4に示すように変
え、添加成分の組成及び割合を表5〜表5に示すよ
うに変えた他は、試料番号1の試料の場合と全く同一の
条件で積層磁器コンデンサを作成し、同一の方法で電気
的特性を測定した。試料番号1〜89の試料の場合の焼
成温度及び電気的特性は表6〜表6に示す通りとな
った。
As described above, the case of the sample No. 1 has been described. For the samples Nos. 2 to 89, the compositions of the basic components are changed as shown in Tables 3 to 3 and Tables 4 to 4, and Except that the composition and ratio were changed as shown in Tables 5 to 5, a laminated ceramic capacitor was prepared under exactly the same conditions as those of the sample of Sample No. 1, and the electrical characteristics were measured by the same method. The firing temperatures and the electrical characteristics of the samples Nos. 1 to 89 were as shown in Tables 6 to 6.

【0056】なお、表3〜表3及び表4〜表4
には、各試料の基本成分の組成及びその割合が示されて
いる。すなわち、x,y,kは、前述した基本成分の組
成式(2)中の各元素の原子数の割合、すなわち、Ti
の原子数を1とした場合の各元素の原子数の割合を示
す。また、1−z及びzは、前述した基本成分の組成式
(4)の各元素の原子数の割合を示す。また、α,β
は、前述した基本成分の組成式(1)の各酸化物の原子
数の割合、すなわち、前述した基本成分の組成式(1)
中の第1項、第2項及び第3項の(1−γ)(Bak-(x+y)MxL
y)OkTiO2 +γ(R1-zR'z)O3/2 の分子数を1とした場合の
各酸化物の原子数の割合を示す。
Tables 3 and 3 and Tables 4 and 4
2 shows the composition of the basic components of each sample and the ratio thereof. That is, x, y, and k are ratios of the number of atoms of each element in the composition formula (2) of the basic component described above, that is, Ti
The ratio of the number of atoms of each element is shown when the number of atoms in is 1. 1-z and z indicate the ratio of the number of atoms of each element of the composition formula (4) of the basic component described above. Α, β
Is the ratio of the number of atoms of each oxide in the composition formula (1) of the basic component described above, that is, the composition formula (1) of the basic component described above.
(1−γ) (Ba k− (x + y) M x L of the first, second and third terms in
y) O k TiO 2 + γ ( showing the atomic ratio of the number of the oxides in the case of a 1 the number of molecules of R 1-z R 'z) O 3/2.

【0057】また、xの欄のMg,Znは、前述した基
本成分の組成式(1)中のMの内容を示し、yの欄のC
a,Srは、基本成分の組成式(1)中のLの内容を示
し、、1−zの欄のLa,Ce,Pr,Nd,Pm,S
m及びEuは前述した基本成分の組成式(1)のRの内
容を示し、zの欄のSc,Y,Gd,Tb,Dy,H
o,Er,Tm,Yb及びLuは前述した基本成分の組
成式(1)中のR’の内容を示し、αの欄のP,Vは、
前述した基本成分の組成式(1)中のAの内容を示し、
βの欄のCr,Mn,Fe,Co,Niは、前述した基
本成分の組成式(1)中のDの内容を示している。
Further, Mg and Zn in the column of x indicate the contents of M in the composition formula (1) of the above-mentioned basic component, and C and Zn in the column of y.
a and Sr indicate the contents of L in the composition formula (1) of the basic component, and La, Ce, Pr, Nd, Pm, and S in the column of 1-z.
m and Eu represent the contents of R in the composition formula (1) of the basic component described above, and Sc, Y, Gd, Tb, Dy, H in the column of z.
o, Er, Tm, Yb and Lu represent the contents of R ′ in the composition formula (1) of the basic component described above, and P and V in the column of α are:
The content of A in the composition formula (1) of the basic component described above is shown,
In the column of β, Cr, Mn, Fe, Co, and Ni indicate the contents of D in the composition formula (1) of the basic component described above.

【0058】また、表5〜表5には、各々の試料に
ついての添加成分の組成及びその割合が示されている。
表5〜表5の添加成分の添加量は、基本成分100
重量部に対する重量部で示されており、添加成分のMO
の欄には、BaO,SrO,CaO,MgO及びZnO
の割合がモル%で示されている。
Tables 5 to 5 show the composition of added components and their ratios for each sample.
The amount of the additional components in Tables 5 to 5 is 100
It is shown in parts by weight relative to parts by weight, and the MO
Are BaO, SrO, CaO, MgO and ZnO.
Are shown in mol%.

【0059】また、表6〜表6には、各々の試料に
ついての焼成温度及び積層磁器コンデンサの電気的特性
が示されている。表6〜表6において、静電容量の
温度特性は、25℃の静電容量を基準にした−55℃お
よび+125℃の静電容量の変化率を△C-55 (%)お
よび△C125 (%)で、20℃の静電容量を基準にした
−25℃および+85℃の静電容量の変化率を△C-25
(%)および△C85(%)で示されている。
Tables 6 to 6 show firing temperatures and electrical characteristics of the laminated ceramic capacitors for each sample. In Tables 6 to 6, the temperature characteristics of the capacitance are expressed by the change rates of the capacitance at −55 ° C. and + 125 ° C. based on the capacitance at 25 ° C. as ΔC −55 (%) and ΔC 125. (%), The change rate of the capacitance at −25 ° C. and + 85 ° C. based on the capacitance at 20 ° C. is expressed as ΔC −25.
(%) And ΔC 85 (%).

【0060】[0060]

【表3】[Table 3]

【0061】[0061]

【表3】[Table 3]

【0062】[0062]

【表3】[Table 3]

【0063】[0063]

【表3】[Table 3]

【0064】[0064]

【表3】[Table 3]

【0065】[0065]

【表3】[Table 3]

【0066】[0066]

【表4】[Table 4]

【0067】[0067]

【表4】[Table 4]

【0068】[0068]

【表4】[Table 4]

【0069】[0069]

【表4】[Table 4]

【0070】[0070]

【表4】[Table 4]

【0071】[0071]

【表4】[Table 4]

【0072】[0072]

【表5】[Table 5]

【0073】[0073]

【表5】[Table 5]

【0074】[0074]

【表5】[Table 5]

【0075】[0075]

【表5】[Table 5]

【0076】[0076]

【表5】[Table 5]

【0077】[0077]

【表5】[Table 5]

【0078】[0078]

【表6】[Table 6]

【0079】[0079]

【表6】[Table 6]

【0080】[0080]

【表6】[Table 6]

【0081】[0081]

【表6】[Table 6]

【0082】[0082]

【表6】[Table 6]

【0083】[0083]

【表6】[Table 6]

【0084】以上の結果から明らかなように、本発明に
従う試料によれば、非酸化性雰囲気中における1200
℃以下の焼成により、誘電体磁器層の比誘電率εs が3
300以上、tanδが2.5%以下、抵抗率ρが4.
0×106 MΩ・cm以上、交流電圧200V/mmに
おけるtanδが3.0%以下、静電容量の温度変化率
△C-55 及び△C125 が−15%〜+15%、△C-25
及び△C85が−10%〜+10%の範囲の電気的特性を
有する磁器コンデンサを得ることができるものである。
As is apparent from the above results, according to the sample according to the present invention, 1200
By firing at a temperature of not more than ℃, the relative dielectric constant ε s of the dielectric ceramic layer is 3
300 or more, tan δ is 2.5% or less, and resistivity ρ is 4.
0 × 10 6 MΩ · cm or more, tan δ at an AC voltage of 200 V / mm is 3.0% or less, temperature change rates of capacitance ΔC −55 and ΔC 125 are −15% to + 15%, ΔC −25
And a porcelain capacitor having ΔC 85 in the range of −10% to + 10%.

【0085】これに対し、試料番号2,5,6,9,1
0,13,23,28,29,31,32,34,3
8,39,44,45,49,62〜67,74〜78
及び83の試料によれば、所望の電気的特性を有する磁
器コンデンサを得ることができない。従って、これらの
試料番号の試料は本発明の範囲外のものである。
On the other hand, sample numbers 2, 5, 6, 9, 1
0,13,23,28,29,31,32,34,3
8,39,44,45,49,62-67,74-78
And 83, a ceramic capacitor having desired electrical characteristics cannot be obtained. Therefore, the samples of these sample numbers are outside the scope of the present invention.

【0086】なお、表6〜表6には静電容量の温度
変化率△C-55 ,△C125 ,△C-2 5 ,△C85のみが表
示されているが、本発明に従う試料では、−25℃〜+
85℃の範囲の静電容量の温度変化率△Cは、−10%
〜+10%の範囲に収まっており、又、−55℃〜+1
25℃の範囲の静電容量の温度変化率△Cは、−15%
〜+15%の範囲に収まっている。
[0086] The temperature change rate of capacitance in Tables 6 6 △ C -55, △ C 125 , △ C -2 5, △ only the C 85 is displayed, the samples according to the present invention -25 ° C to +
The temperature change rate ΔC of the capacitance in the range of 85 ° C. is −10%
To + 10%, and -55 ° C to +1
The temperature change rate ΔC of the capacitance in the range of 25 ° C. is −15%
It is within the range of + 15%.

【0087】次に、本発明に係る磁器コンデンサに用い
られている誘電体磁器組成物の組成範囲の限定理由につ
いて、表3〜表3、表4〜表4、表5〜表5
及び表6〜表6に示す実験結果を参照しながら説
明する。
Next, the reasons for limiting the composition range of the dielectric ceramic composition used in the ceramic capacitor according to the present invention are shown in Tables 3 to 3, Tables 4 to 4, and Tables 5 to 5.
This will be described with reference to the experimental results shown in Tables 6 to 6.

【0088】まず、αの値は、試料番号2,6に示すよ
うに、α=0.0002の場合は、交流電圧200V/
mmにおけるtanδが3.0%以上になってしまう
が、試料番号3,7に示すように、α=0.0005の
場合には、所望の電気的特性が得られる。また、試料番
号5,9に示すように、α=0.011の場合は、抵抗
率ρが4.0×106 MΩ・cmより小さくなり、静電
容量の温度変化率△C-5 5 ,△C125 が−15%〜+1
5%からはずれ、△C-25 ,△C85が−10%〜+10
%からはずれるが、試料番号4,8に示すように、α=
0.01の場合には、所望の電気的特性が得られる。従
って、αの範囲は、0.0005≦α≦0.01でなけ
ればならない。
First, as shown in Sample Nos. 2 and 6, when α = 0.0002, the value of α was 200 V / AC voltage.
Although the tan δ in mm becomes 3.0% or more, as shown in Sample Nos. 3 and 7, when α = 0.0005, desired electrical characteristics can be obtained. Further, as shown in Sample No. 5 and 9, in the case of alpha = 0.011, the resistivity ρ is smaller than 4.0 × 10 6 MΩ · cm, the temperature change rate of capacitance △ C -5 5 , ΔC 125 is -15% to +1
△ C -25 and △ C 85 are -10% to +10
%, But as shown in sample numbers 4 and 8, α =
In the case of 0.01, desired electric characteristics can be obtained. Therefore, the range of α must be 0.0005 ≦ α ≦ 0.01.

【0089】なお、A成分のPとVはほぼ同様に働き、
0.0005≦α≦0.01を満足する範囲ではPとV
のうち一方または両方を使用することができる。
The P and V of the A component work almost in the same way,
P and V in a range satisfying 0.0005 ≦ α ≦ 0.01
One or both can be used.

【0090】次に、βの値は、試料番号10に示すよう
に、β=0.0002の場合は、交流電圧200V/m
mにおけるtanδが3.0%以上になってしまうが、
試料番号11に示すように、β=0.0005の場合に
は、所望の電気的特性が得られる。また、試料番号13
に示すように、β=0.011の場合は、比誘電率が3
300以下になってしまうが、試料番号12に示すよう
に、β=0.01の場合には、所望の電気的特性が得ら
れる。従って、βの範囲は、0.0005≦β≦0.0
1でなければならない。
Next, as shown in Sample No. 10, when β = 0.0002, the value of β was 200 V / m AC voltage.
Although tan δ at m becomes 3.0% or more,
As shown in Sample No. 11, when β = 0.0005, desired electrical characteristics can be obtained. Sample No. 13
As shown in the figure, when β = 0.111, the relative dielectric constant is 3
However, when β = 0.01 as shown in Sample No. 12, desired electrical characteristics can be obtained. Therefore, the range of β is 0.0005 ≦ β ≦ 0.0
Must be 1.

【0091】なお、D成分のCr,Mn,Fe,Co,
Niの酸化物はそれぞれほぼ同様に働き、これらから選
択された一つを使用しても、また複数を組み合わせて使
用しても同様な効果が得られるものである。
It should be noted that D, Cr, Mn, Fe, Co,
Ni oxides work almost in the same way, and the same effect can be obtained by using one selected from these or by using a combination of two or more.

【0092】次に、γの値は、試料番号39に示すよう
に、γ=0の場合は、静電容量の温度変化率ΔC-55
−15%〜+15%から外れ、ΔC-25 が−10%〜+
10%から外れてしまうが、試料番号40に示すよう
に、γ=0.002の場合には、所望の電気的特性が得
られる。また、試料番号44に示すように、γ=0.0
7の場合には、所望の電気的特性を有する緻密な焼結体
が得られないが、試料番号43に示すように、γ=0.
06の場合には、所望の電気的特性が得られる。従っ
て、γの範囲は、0.002≦γ≦0.06でなければ
ならない。
Next, as shown in Sample No. 39, when γ = 0, the temperature change rate ΔC- 55 of the capacitance deviates from -15% to + 15%, and the value of γ is 試 C- 25. -10% to +
Although it deviates from 10%, as shown in Sample No. 40, when γ = 0.002, desired electrical characteristics can be obtained. Further, as shown in sample number 44, γ = 0.0
In the case of No. 7, a dense sintered body having desired electrical characteristics cannot be obtained, but as shown in Sample No. 43, γ = 0.
In the case of 06, desired electrical characteristics can be obtained. Therefore, the range of γ must be 0.002 ≦ γ ≦ 0.06.

【0093】次に、x+yの値は、試料番号23に示す
ように、x+y=0の場合には、静電容量の温度変化率
△C-55 が−15%〜+15%からはずれるが、試料番
号24,25に示すように、x+y=0.01の場合に
は所望の電気的特性が得られる。また試料番号29,3
1に示すように、x+y=0.11の場合には、静電容
量の温度変化率△C85が−10%〜+10%からはずれ
てしまうが、試料番号33に示すように、x+y=0.
10の場合には所望の電気的特性が得られる。ただし、
試料番号28,32に示すように、x+y≦0.10で
あっても、yの値が0.05を越えると静電容量の温度
変化率△C85が−10%〜+10%からはずれてしま
う。従って、x+yの範囲は、0.01≦x+y≦0.
10であるが、同時に、y≦0.05でなければならな
い。
Next, as shown in Sample No. 23, when x + y = 0, the temperature change rate ΔC- 55 of the capacitance deviates from −15% to + 15% as shown in Sample No. 23. As shown in numbers 24 and 25, when x + y = 0.01, desired electrical characteristics can be obtained. Sample No. 29, 3
As shown in FIG. 1, when x + y = 0.11, the temperature change rate ΔC 85 of the capacitance deviates from −10% to + 10%, but as shown in Sample No. 33, x + y = 0. .
In the case of 10, desired electrical characteristics can be obtained. However,
As shown in Sample Nos. 28 and 32, even when x + y ≦ 0.10, when the value of y exceeds 0.05, the temperature change rate ΔC 85 of the capacitance deviates from −10% to + 10%. I will. Therefore, the range of x + y is 0.01 ≦ x + y ≦ 0.
10, but at the same time y ≦ 0.05.

【0094】なお、M成分のMgとZn及びL成分のC
aとSrはほぼ同様に働き、0≦x≦0.10を満足す
る範囲ではMgとZnのうち一方または両方を使用する
こと、また、0≦y≦0.05を満足する範囲でCaと
Srのうち一方または両方を使用することができる。し
かるに、M成分及びL成分の1種または複数種のいずれ
の場合においてもx+yの値は0.01〜0.10の範
囲にしなければならない。
Incidentally, Mg and Zn of the M component and C and C of the L component
a and Sr work almost in the same way, and use one or both of Mg and Zn in a range satisfying 0 ≦ x ≦ 0.10, and use Ca and S in a range satisfying 0 ≦ y ≦ 0.05. One or both of Sr can be used. However, in any case of one or more of the M component and the L component, the value of x + y must be in the range of 0.01 to 0.10.

【0095】次に、kの値は、試料番号34に示すよう
に、k<1.00の場合には、抵抗率ρが4.0×10
6 MΩ・cmより大幅に小さくなり、静電容量の温度変
化率△C-55 ,△C125 が−15%〜+15%からはず
れ、△C-25 ,△C85が−10%〜+10%からはずれ
てしまうが、試料番号35に示すように、k=1.00
の場合には、所望の電気的特性が得られる。一方、kの
値が、試料番号38に示すように、k>1.05の場合
には緻密な焼結体が得られなくなってしまうが、試料番
号37に示すように、k=1.05の場合には、所望の
電気的特性が得られる。従って、kの範囲は、1.00
≦k≦1.05である。
Next, as shown in Sample No. 34, when k <1.00, the resistivity ρ is 4.0 × 10
6 MΩ · cm, the capacitance temperature change rates ΔC −55 and ΔC 125 deviate from −15% to + 15%, and ΔC −25 and ΔC 85 change from −10% to + 10%. However, as shown in Sample No. 35, k = 1.00
In this case, desired electrical characteristics can be obtained. On the other hand, when the value of k is k> 1.05 as shown in Sample No. 38, a dense sintered body cannot be obtained, but as shown in Sample No. 37, k = 1.05. In this case, desired electrical characteristics can be obtained. Therefore, the range of k is 1.00
≦ k ≦ 1.05.

【0096】次に、zの値は、試料番号45に示すよう
に、z=0.4の場合には、tanδが2.5%以上に
なり、交流電圧200V/mmにおけるtanδが3.
0%以上になり、抵抗率ρが4.0×106 MΩ・cm
より小さくなり、静電容量の温度変化率△C-55 ,△C
125 が−15%〜+15%からはずれ、△C-25 ,△C
85が−10%〜+10%からはずれてしまうが、試料番
号46に示すように、z=0.5の場合には所望の電気
的特性が得られる。また、試料番号49に示すように、
z=0.95の場合には、比誘電率が3300以下にな
ってしまうが、試料番号48に示すように、z=0.9
の場合には、所望の電気的特性が得られる。従って、z
の範囲は、0.5≦z≦0.9である。
Next, as shown in Sample No. 45, when z = 0.4, tan δ becomes 2.5% or more, and tan δ at an AC voltage of 200 V / mm is 3.
0% or more and the resistivity ρ is 4.0 × 10 6 MΩ · cm
And the temperature change rate of capacitance 温度 C -55 , △ C
125 deviates from -15% to + 15%, ΔC -25 , ΔC
Although 85 deviates from -10% to + 10%, as shown in Sample No. 46, when z = 0.5, desired electrical characteristics are obtained. Also, as shown in sample number 49,
In the case of z = 0.95, the relative dielectric constant becomes 3300 or less.
In this case, desired electrical characteristics can be obtained. Therefore, z
Range is 0.5 ≦ z ≦ 0.9.

【0097】なお、R成分のLa,Ce,Pr,Nd,
Pm,Sm及びEu、R’成分のSc,Y,Gd,T
b,Dy,Ho,Er,Tm,Yb及びLuはそれぞれ
ほぼ同様に働き、これらから選択された一つを使用して
も、または複数を組み合わせて使用しても同様な効果が
得られるものである。
Note that the R components La, Ce, Pr, Nd,
Pm, Sm and Eu, Sc, Y, Gd, T of R ′ component
b, Dy, Ho, Er, Tm, Yb and Lu work almost in the same way, and the same effect can be obtained by using one selected from these or by using a combination of two or more. is there.

【0098】次に、添加成分の好ましい範囲について検
討する。まず、添加成分がLi2 O−SiO2 −MOの
場合、添加成分の好ましい組成範囲は、Li2 O−Si
2 −MOの組成比をモル%で示す図2の三角図に基づ
いて決定することができる。
Next, a preferable range of the additive component will be examined. First, when the additive component is Li 2 O—SiO 2 —MO, the preferred composition range of the additive component is Li 2 O—Si
The composition ratio of O 2 -MO can be determined based on the triangular diagram of FIG.

【0099】この三角図(図2)における第一の点A
は、試料番号52に示すように、Li2 Oが1モル%、
SiO2 が80モル%、MOが19モル%の組成を示
し、第二の点Bは、試料番号53に示すように、Li2
Oが1モル%、SiO2 が39モル%、MOが60モル
%の組成を示し、第三の点Cは、試料番号54に示すよ
うに、Li2 Oが30モル%、SiO2 が30モル%、
MOが40モル%の組成を示し、第四の点Dは、試料番
号55に示すように、Li2 Oが50モル%、SiO2
が50モル%、MOが0モル%の組成を示し、第五の点
Eは、試料番号56に示すように、Li2 Oが20モル
%、SiO2 が80モル%、MOが0モル%の組成を示
す。
The first point A in this triangular diagram (FIG. 2)
Means that as shown in Sample No. 52, Li 2 O is 1 mol%,
SiO 2 is 80 mol%, MO indicates the composition of 19 mol%, B second point, as shown in Sample No. 53, Li 2
O has a composition of 1 mol%, SiO 2 has 39 mol%, and MO has 60 mol%. The third point C indicates that as shown in sample No. 54, 30 mol% of Li 2 O and 30 mol% of SiO 2 Mole%,
MO shows a composition of 40 mol%, and a fourth point D shows that, as shown in sample No. 55, 50 mol% of Li 2 O and SiO 2
Has a composition of 50 mol% and MO of 0 mol%. The fifth point E is, as shown in sample No. 56, that 20 mol% of Li 2 O, 80 mol% of SiO 2 and 0 mol% of MO Is shown.

【0100】試料番号52〜61に示されるように、添
加成分の組成範囲が、Li2 O−SiO2 −MOの組成
比をモル%で示す三角図(図2)の第一〜五の点A〜E
を順に結ぶ5本の直線で囲まれた範囲内であれば所望の
電気的特性を得ることができるが、試料番号62〜67
に示されるように、添加成分の組成を上記範囲外とすれ
ば、緻密な焼結体を得ることができない。
As shown in Sample Nos. 52 to 61, the composition range of the additive component is represented by the first to fifth points in a triangular diagram (FIG. 2) in which the composition ratio of Li 2 O—SiO 2 —MO is represented by mol%. AE
The desired electrical characteristics can be obtained within a range surrounded by five straight lines connecting
As shown in the above, if the composition of the additive component is out of the above range, a dense sintered body cannot be obtained.

【0101】次に、添加成分がB23 −SiO2 −M
Oの場合、添加成分の好ましい組成範囲は、B23
SiO2 −MOの組成比をモル%で示す図3の三角図に
基づいて決定することができる。
Next, the additive component is B 2 O 3 —SiO 2 —M
In the case of O, a preferable composition range of the additional component is B 2 O 3
The composition ratio of SiO 2 -MO can be determined based on the triangular diagram of FIG.

【0102】この三角図(図3)における第六の点F
は、試料番号68に示すように、B23 が1モル%、
SiO2 が80モル%、MOが19モル%の組成を示
し、第七の点Gは、試料番号69に示すように、B2
3 が1モル%、SiO2 が39モル%、MOが60モル
%の組成を示し、第八の点Hは、試料番号70に示すよ
うに、B23 が29モル%、SiO2 が1モル%、M
Oが70モル%の組成を示し、第九の点Iは、試料番号
71に示すように、B23 が90モル%、SiO2
1モル%、MOが9モル%の組成を示し、第十の点J
は、試料番号72に示すように、B23 が90モル
%、SiO2 が9モル%、MOが1モル%の組成を示
し、第十一の点Kは、試料番号73に示すように、B2
3 が19モル%、SiO2 が80モル%、MOが1モ
ル%の組成を示す。
The sixth point F in this triangular diagram (FIG. 3)
Means that as shown in sample No. 68, B 2 O 3 is 1 mol%,
SiO 2 is 80 mol%, MO indicates the composition of 19 mol%, G seventh point, as shown in Sample No. 69, B 2 O
3 is 1 mol%, SiO 2 is 39 mol%, MO is 60 mol%, and the eighth point H is, as shown in sample No. 70, B 2 O 3 is 29 mol% and SiO 2 is 1 mol%, M
O indicates a composition of 70 mol%, and a ninth point I indicates a composition of 90 mol% of B 2 O 3, 1 mol% of SiO 2 and 9 mol% of MO as shown in sample No. 71. , The tenth point J
Indicates a composition of 90 mol% of B 2 O 3 , 9 mol% of SiO 2 , and 1 mol% of MO as shown in Sample No. 72. The eleventh point K is as shown in Sample No. 73. And B 2
It has a composition in which O 3 is 19 mol%, SiO 2 is 80 mol%, and MO is 1 mol%.

【0103】試料番号68〜73に示されるように、添
加成分の組成範囲が、B23 −SiO2 −MOの組成
比をモル%で示す三角図(図3)の第六〜十一の点F〜
Kを順に結ぶ6本の直線で囲まれた範囲内であれば所望
の電気的特性を得ることができるが、試料番号74〜7
7に示されるように、添加成分の組成を上記範囲外とす
れば、緻密な焼結体を得ることができない。
As shown in Sample Nos. 68 to 73, the composition range of the added component is sixth to eleventh in a triangular diagram (FIG. 3) in which the composition ratio of B 2 O 3 —SiO 2 —MO is represented by mol%. Point F ~
Although desired electrical characteristics can be obtained within a range surrounded by six straight lines connecting K in order, sample numbers 74 to 7 can be obtained.
As shown in 7, if the composition of the additive component is out of the above range, a dense sintered body cannot be obtained.

【0104】なお、MOの成分は、試料番号84〜88
に示されるように、BaO,SrO,CaO,MgO,
ZnOのいずれか1種であってもよいし、他の試料に示
すように2種以上の適当な比率であってもよい。
The components of MO were as shown in sample numbers 84 to 88.
As shown in BaO, SrO, CaO, MgO,
Any one of ZnO may be used, or an appropriate ratio of two or more may be used as shown in other samples.

【0105】次に、添加成分の添加量の値は、試料番号
78に示すように、添加量が0重量部の場合には、その
焼成温度が1250℃であっても、緻密な焼結体は得ら
れないが、試料番号79に示すように、添加量が基本成
分100重量部に対して0.2重量部の場合には、11
90℃の焼成温度で所望の電気的特性が得られる。一
方、試料番号83に示すように、添加成分の添加量が、
基本成分100重量部に呈して7.0重量部の場合に
は、比誘電率が3300未満となり、静電容量の温度変
化率△C-55 が−15%〜+15%からはずれてしまう
が、試料番号82に示すように、添加成分の添加量が、
基本成分100重量部に対して5.0重量部の場合に
は、所望の電気的特性を得ることができる。従って、添
加成分の添加量は、基本成分100重量部に対して0.
2〜5.0重量部の範囲である。
Next, as shown in Sample No. 78, when the addition amount is 0 parts by weight, even if the firing temperature is 1250 ° C., the value of the addition amount of the Is not obtained, but as shown in Sample No. 79, when the addition amount is 0.2 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the basic component, 11
Desired electrical characteristics are obtained at a firing temperature of 90 ° C. On the other hand, as shown in sample number 83,
In the case of 7.0 parts by weight in terms of 100 parts by weight of the basic component, the relative dielectric constant becomes less than 3300, and the temperature change rate ΔC- 55 of the capacitance deviates from −15% to + 15%. As shown in Sample No. 82, the amount of the additive
When the amount is 5.0 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the basic component, desired electric characteristics can be obtained. Therefore, the added amount of the additive component is 0.1 to 100 parts by weight of the basic component.
It is in the range of 2 to 5.0 parts by weight.

【0106】なお、以上の説明では、添加成分として、
Li2 O−SiO2 −MO又はB23 −SiO2 −M
Oを単独で用いているが、試料番号89に示すように、
基本成分100重量部に対して0.2〜5.0重量部の
範囲であれば、これら2種類の添加成分を混合して用い
ても同様の効果を示す。
In the above description, as an additive component,
Li 2 O-SiO 2 -MO or B 2 O 3 -SiO 2 -M
Although O is used alone, as shown in Sample No. 89,
When the content is in the range of 0.2 to 5.0 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the basic component, the same effect is exhibited even when these two types of additive components are used in combination.

【0107】[0107]

【発明の効果】本発明によれば、誘電体磁器層の比誘電
率εs が3300以上、誘電損失tanδが2.5%以
下、抵抗率ρが4.0×106 MΩ・cm以上、交流電
圧200V/mmにおける誘電損失tanδが3.0%
以下であり、且つ、静電容量の温度変化率が−55℃〜
125℃で−15%〜+15%(25℃を基準)、−2
5℃〜85℃で−10%〜+10%(20℃を基準)の
範囲に収まる磁器コンデンサを提供することができると
いう効果がある。
According to the present invention, the relative dielectric constant ε s of the dielectric ceramic layer is 3300 or more, the dielectric loss tan δ is 2.5% or less, the resistivity ρ is 4.0 × 10 6 MΩ · cm or more, Dielectric loss tan δ at an AC voltage of 200 V / mm is 3.0%
And the temperature change rate of the capacitance is −55 ° C.
-15% to + 15% at 125 ° C (based on 25 ° C), -2
There is an effect that a porcelain capacitor falling within a range of -10% to + 10% (based on 20 ° C) at 5 ° C to 85 ° C can be provided.

【0108】特に、本発明によれば、交流電圧200V
/mmにおける誘電損失tanδが3.0%以下と良好
になるので、誘電体磁器層を薄膜化した場合の誘電損失
の増大を抑制することができ、従って、小型大容量の磁
器コンデンサを提供することができるという効果があ
る。
In particular, according to the present invention, an AC voltage of 200 V
Since the dielectric loss tan δ at / mm is as good as 3.0% or less, an increase in the dielectric loss when the dielectric ceramic layer is thinned can be suppressed, and therefore a small and large-capacity ceramic capacitor can be provided. There is an effect that can be.

【0109】また、本発明によれば、磁器コンデンサの
誘電体層を構成している誘電体磁器組成物を非酸化性雰
囲気中の焼成によって形成させるので、内部電極をニッ
ケル等の安価な卑金属の導電性ペーストで形成すること
ができ、従って、安価な磁器コンデンサを提供すること
ができるという効果がある。
Further, according to the present invention, since the dielectric ceramic composition constituting the dielectric layer of the ceramic capacitor is formed by firing in a non-oxidizing atmosphere, the internal electrodes are made of inexpensive base metal such as nickel. It can be formed of a conductive paste, and thus has an effect that an inexpensive porcelain capacitor can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例に係る積層磁器コンデンサの断
面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明に係る磁器コンデンサの誘電体層を構成
する誘電体磁器組成物の添加成分(Li2 O−SiO2
−MO)の組成範囲を示す三角図である。
FIG. 2 shows the additive component (Li 2 O—SiO 2 ) of the dielectric ceramic composition constituting the dielectric layer of the ceramic capacitor according to the present invention.
FIG. 3 is a triangular diagram showing a composition range of (−MO).

【図3】本発明に係る磁器コンデンサの誘電体層を構成
する誘電体磁器組成物の添加成分(B23 −SiO2
−MO)の組成範囲を示す三角図である。
FIG. 3 shows an additive component (B 2 O 3 —SiO 2 ) of the dielectric ceramic composition constituting the dielectric layer of the ceramic capacitor according to the present invention.
FIG. 3 is a triangular diagram showing a composition range of (−MO).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

12 誘電体磁器層 14 内部電極 15 積層焼結体チップ 16 外部電極 18 亜鉛電極層 20 銅層 22 Pb−Sn半田層 Reference Signs List 12 dielectric ceramic layer 14 internal electrode 15 laminated sintered chip 16 external electrode 18 zinc electrode layer 20 copper layer 22 Pb-Sn solder layer

【表3○1】 [Table 3 ○ 1]

【表3○2】 [Table 3 ○ 2]

【表3○3】 [Table 3 ○ 3]

【表3○4】 [Table 3 ○ 4]

【表3○5】 [Table 3 ○ 5]

【表3○6】 [Table 3 ○ 6]

【表4○1】 [Table 4 ○ 1]

【表4○2】 [Table 4 ○ 2]

【表4○3】 [Table 4 ○ 3]

【表4○4】 [Table 4 ○ 4]

【表4○5】 [Table 4 ○ 5]

【表4○6】 [Table 4 ○ 6]

【表5○1】 [Table 5 ○ 1]

【表5○2】 [Table 5 ○ 2]

【表5○3】 [Table 5 ○ 3]

【表5○4】 [Table 5 ○ 4]

【表5○5】 [Table 5 ○ 5]

【表5○6】 [Table 5 ○ 6]

【表6○1】 [Table 6 ○ 1]

【表6○2】 [Table 6 ○ 2]

【表6○3】 [Table 6 ○ 3]

【表6○4】 [Table 6 ○ 4]

【表6○5】 [Table 6 ○ 5]

【表6○6】 [Table 6 ○ 6]

フロントページの続き (72)発明者 岸 弘志 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽 誘電株式会社内 (56)参考文献 特開 平5−282918(JP,A) 特開 平5−282917(JP,A) 特開 平3−174710(JP,A) 特開 平3−177010(JP,A) 特開 平3−133116(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01G 4/12 Continuation of the front page (72) Inventor Hiroshi Kishi 6-16-20 Ueno, Taito-ku, Tokyo Taiyo Yuden Co., Ltd. (56) References JP-A-5-282918 (JP, A) JP-A-5-282917 ( JP, A) JP-A-3-174710 (JP, A) JP-A-3-177010 (JP, A) JP-A-3-133116 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , (DB name) H01G 4/12

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 誘電体磁器組成物からなる1又は2以上
の誘電体磁器層と、この誘電体磁器層を挟持している少
なくとも2以上の内部電極とを備えた磁器コンデンサに
おいて、 前記誘電体磁器組成物が、100.0重量部の基本成分
と、0.2〜5.0重量部の添加成分との混合物を焼成
したものからなり、 前記基本成分が、(1−γ)(Bak-(x+y)MxLy)OkTiO2 +γ(R
1-zR'z)O3/2+αAO5/2+βD(但し、MはMg及び/又は
Zn、LはCa及び/又はSr、RはLa,Ce,P
r,Nd,Pm,Sm及びEuから選択された1種又は
2種以上の元素、R’はSc,Y,Gd,Tb,Dy,
Ho,Er,Tm,Yb及びLuから選択された1種又
は2種以上の元素、AはP及び/又はV、DはCr,M
n,Fe,Co及びNiから選択された1種又は2種以
上の酸化物、α,β,γ,k,x,y及びzは、 0.0005≦α≦0.01 0.0005≦β≦0.01 0.002≦γ≦0.06 1.00≦k≦1.05 0≦x<0.10 0≦y≦0.05 0.01≦x+y≦0.10 0.5≦z≦0.9 を満足する数値)で表わされる物質からなり、 前記添加成分がLi2 OとSiO2 とMO(但し、MO
はBaO,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択
された1種又は2種以上の酸化物)とからなり、 前記Li2 Oと前記SiO2 と前記MOとの組成範囲
が、これらの組成をモル%で示す三角図における、 前記Li2 Oが1モル%、前記SiO2 が80モル%、
前記MOが19モル%の組成を示す第一の点Aと、 前記Li2 Oが1モル%、前記SiO2 が39モル%、
前記MOが60モル%の組成を示す第二の点Bと、 前記Li2 Oが30モル%、前記SiO2 が30モル
%、前記MOが40モル%の組成を示す第三の点Cと、 前記Li2 Oが50モル%、前記SiO2 が50モル
%、前記MOが0モル%の組成を示す第四の点Dと、 前記Li2 Oが20モル%、前記SiO2 が80モル
%、前記MOが0モル%の組成を示す第五の点Eとをこ
の順に結ぶ5本の直線で囲まれた領域内にあることを特
徴とする磁器コンデンサ。
1. A ceramic capacitor comprising one or more dielectric ceramic layers made of a dielectric ceramic composition, and at least two or more internal electrodes sandwiching the dielectric ceramic layer, wherein: The porcelain composition comprises a mixture obtained by calcining a mixture of 100.0 parts by weight of a basic component and 0.2 to 5.0 parts by weight of an additional component, wherein the basic component is (1−γ) (Ba k -(x + y) M x L y ) O k TiO 2 + γ (R
1-z R ′ z ) O 3/2 + αAO 5/2 + βD (where M is Mg and / or Zn, L is Ca and / or Sr, R is La, Ce, P
one or more elements selected from r, Nd, Pm, Sm and Eu, and R 'is Sc, Y, Gd, Tb, Dy,
One or more elements selected from Ho, Er, Tm, Yb and Lu, A is P and / or V, D is Cr, M
One or more oxides selected from n, Fe, Co and Ni, α, β, γ, k, x, y and z are 0.0005 ≦ α ≦ 0.01 0.0005 ≦ β ≦ 0.01 0.002 ≦ γ ≦ 0.06 1.00 ≦ k ≦ 1.05 0 ≦ x <0.10 0 ≦ y ≦ 0.05 0.01 ≦ x + y ≦ 0.10 0.5 ≦ z ≦ 0.9), wherein the additional components are Li 2 O, SiO 2 and MO (where MO
Is one or more oxides selected from BaO, SrO, CaO, MgO, and ZnO), and the composition range of the Li 2 O, the SiO 2, and the MO is % In the triangular diagram, 1 mol% of Li 2 O, 80 mol% of SiO 2 ,
A first point A where the MO has a composition of 19 mol%, 1 mol% of the Li 2 O, 39 mol% of the SiO 2 ,
A second point B indicating a composition of the MO of 60 mol%, and a third point C indicating a composition of the Li 2 O of 30 mol%, the SiO 2 of 30 mol%, and the MO of 40 mol%. A fourth point D indicating a composition of 50 mol% of Li 2 O, 50 mol% of SiO 2 and 0 mol% of MO; 20 mol% of Li 2 O and 80 mol of SiO 2 %, Said MO being in a region surrounded by five straight lines connecting in this order a fifth point E indicating a composition of 0 mol%.
【請求項2】 誘電体磁器組成物からなる1又は2以上
の誘電体磁器層と、この誘電体磁器層を挟持している少
なくとも2以上の内部電極とを備えた磁器コンデンサに
おいて、 前記誘電体磁器組成物が、100.0重量部の基本成分
と、0.2〜5.0重量部の添加成分との混合物を焼成
したものからなり、を満足する数値)で表わされる物質
からなり、 前記基本成分が、(1−γ)(Bak-(x+y)MxLy)OkTiO2 +γ(R
1-zR'z)O3/2+αAO5/2+βD(但し、MはMg及び/又は
Zn、LはCa及び/又はSr、RはLa,Ce,P
r,Nd,Pm,Sm及びEuから選択された1種又は
2種以上の元素、R’はSc,Y,Gd,Tb,Dy,
Ho,Er,Tm,Yb及びLuから選択された1種又
は2種以上の元素、AはP及び/又はV、DはCr,M
n,Fe,Co及びNiから選択された1種又は2種以
上の酸化物、α,β,γ,k,x,y及びzは、 0.0005≦α≦0.01 0.0005≦β≦0.01 0.002≦γ≦0.06 1.00≦k≦1.05 0≦x<0.10 0≦y≦0.05 0.01≦x+y≦0.10 0.5≦z≦0.9 前記添加成分がB23 とSiO2 とMO(但し、MO
はBaO,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択
された1種又は2種以上の酸化物)とからなり、 前記B23 と前記SiO2 と前記MOとの組成範囲
が、これらの組成をモル%で示す三角図における、 前記B23 0が1モル%、前記SiO2 が80モル
%、前記MOが19モル%の組成を示す第六の点Fと、 前記B23 が1モル%、前記SiO2 が39モル%、
前記MOが60モル%の組成を示す第七の点Gと、 前記B23 が29モル%、前記SiO2 が1モル%、
前記MOが70モル%の組成を示す第八の点Hと、 前記B23 が90モル%、前記SiO2 が1モル%、
前記MOが9モル%の組成を示す第九の点Iと、 前記B23 が90モル%、前記SiO2 が9モル%、
前記MOが1モル%の組成を示す第十の点Jと、 前記B23 が19モル%、前記SiO2 が80モル
%、前記MOが1モル%の組成を示す第十一の点Kとを
この順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内にあることを
特徴とする磁器コンデンサ。
2. A ceramic capacitor comprising one or two or more dielectric ceramic layers made of a dielectric ceramic composition and at least two or more internal electrodes sandwiching the dielectric ceramic layers, The porcelain composition comprises a material obtained by calcining a mixture of 100.0 parts by weight of a basic component and 0.2 to 5.0 parts by weight of an additional component, and a material represented by the following numerical value: The basic component is (1−γ) (Ba k− (x + y) M x L y ) O k TiO 2 + γ (R
1-z R ′ z ) O 3/2 + αAO 5/2 + βD (where M is Mg and / or Zn, L is Ca and / or Sr, R is La, Ce, P
one or more elements selected from r, Nd, Pm, Sm and Eu, and R 'is Sc, Y, Gd, Tb, Dy,
One or more elements selected from Ho, Er, Tm, Yb and Lu, A is P and / or V, D is Cr, M
one or more oxides selected from n, Fe, Co and Ni, α, β, γ, k, x, y and z are 0.0005 ≦ α ≦ 0.01 0.0005 ≦ β ≦ 0.01 0.002 ≦ γ ≦ 0.06 1.00 ≦ k ≦ 1.05 0 ≦ x <0.10 0 ≦ y ≦ 0.05 0.01 ≦ x + y ≦ 0.10 0.5 ≦ z ≦ 0.9 The additional components are B 2 O 3 , SiO 2 and MO (where MO
Is one or more oxides selected from BaO, SrO, CaO, MgO and ZnO), and the composition range of the B 2 O 3 , the SiO 2 and the MO is in a triangular diagram showing a mole%, the B 2 O 3 0 is 1 mol%, the SiO 2 is 80 mol%, and the sixth point F indicating the composition of the MO is 19 mol%, the B 2 O 3 1 mol%, 39 mol% of the SiO 2 ,
A seventh point G indicating a composition in which the MO is 60 mol%, 29 mol% of the B 2 O 3 , 1 mol% of the SiO 2 ,
An eighth point H indicating a composition in which the MO is 70 mol%, the B 2 O 3 is 90 mol%, the SiO 2 is 1 mol%,
A ninth point I indicating a composition in which the MO is 9 mol%, the B 2 O 3 is 90 mol%, the SiO 2 is 9 mol%,
A tenth point J indicating the composition of the MO of 1 mol%, and an eleventh point J indicating the composition of the B 2 O 3 of 19 mol%, the SiO 2 of 80 mol%, and the MO of 1 mol% A ceramic capacitor which is located in a region surrounded by six straight lines connecting K in this order.
【請求項3】 未焼結の磁器粉末からなる混合物を調製
する工程と、前記混合物からなる未焼結磁器シートを形
成する工程と、前記未焼結磁器シートを少なくとも2以
上の導電性ペースト膜で挟持させた積層物を形成する工
程と、前記積層物を非酸化性雰囲気中において焼成する
工程と、前記焼成を受けた積層物を酸化性雰囲気中にお
いて熱処理する工程とを備え、 前記誘電体磁器組成物が、100.0重量部の基本成分
と、0.2〜5.0重量部の添加成分との混合物を焼成
したものからなり、を満足する数値)で表わされる物質
からなり、 前記基本成分が、(1−γ)(Bak-(x+y)MxLy)OkTiO2 +γ(R
1-zR'z)O3/2+αAO5/2+βD(但し、MはMg及び/又は
Zn、LはCa及び/又はSr、RはLa,Ce,P
r,Nd,Pm,Sm及びEuから選択された1種又は
2種以上の元素、R’はSc,Y,Gd,Tb,Dy,
Ho,Er,Tm,Yb及びLuから選択された1種又
は2種以上の元素、AはP及び/又はV、DはCr,M
n,Fe,Co及びNiから選択された1種又は2種以
上の酸化物、α,β,γ,k,x,y及びzは、 0.0005≦α≦0.01 0.0005≦β≦0.01 0.002≦γ≦0.06 1.00≦k≦1.05 0≦x<0.10 0≦y≦0.05 0.01≦x+y≦0.10 0.5≦z≦0.9 前記添加成分がLi2 OとSiO2 とMO(但し、MO
はBaO,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択
された1種又は2種以上の酸化物)とからなり、 前記Li2 Oと前記SiO2 と前記MOとの組成範囲
が、これらの組成をモル%で示す三角図における、 前記Li2 Oが1モル%、前記SiO2 が80モル%、
前記MOが19モル%の組成を示す第一の点Aと、 前記Li2 Oが1モル%、前記SiO2 が39モル%、
前記MOが60モル%の組成を示す第二の点Bと、 前記Li2 Oが30モル%、前記SiO2 が30モル
%、前記MOが40モル%の組成を示す第三の点Cと、 前記Li2 Oが50モル%、前記SiO2 が50モル
%、前記MOが0モル%の組成を示す第四の点Dと、 前記Li2 Oが20モル%、前記SiO2 が80モル
%、前記MOが0モル%の組成を示す第五の点Eとをこ
の順に結ぶ5本の直線で囲まれた領域内にあることを特
徴とする磁器コンデンサの製造方法。
3. A step of preparing a mixture comprising unsintered porcelain powder; a step of forming a non-sintered porcelain sheet comprising the mixture; and a step of forming the unsintered porcelain sheet into at least two or more conductive paste films. Forming a laminate sandwiched by the above, a step of firing the laminate in a non-oxidizing atmosphere, and a step of heat-treating the fired laminate in an oxidizing atmosphere; The porcelain composition comprises a material obtained by calcining a mixture of 100.0 parts by weight of a basic component and 0.2 to 5.0 parts by weight of an additional component, and a material represented by the following numerical value: The basic component is (1−γ) (Ba k− (x + y) M x L y ) O k TiO 2 + γ (R
1-z R ′ z ) O 3/2 + αAO 5/2 + βD (where M is Mg and / or Zn, L is Ca and / or Sr, R is La, Ce, P
one or more elements selected from r, Nd, Pm, Sm and Eu; R ′ is Sc, Y, Gd, Tb, Dy,
One or more elements selected from Ho, Er, Tm, Yb and Lu, A is P and / or V, D is Cr, M
One or more oxides selected from n, Fe, Co and Ni, α, β, γ, k, x, y and z are 0.0005 ≦ α ≦ 0.01 0.0005 ≦ β ≦ 0.01 0.002 ≦ γ ≦ 0.06 1.00 ≦ k ≦ 1.05 0 ≦ x <0.10 0 ≦ y ≦ 0.05 0.01 ≦ x + y ≦ 0.10 0.5 ≦ z ≦ 0.9 The additive component is Li 2 O, SiO 2 and MO (however, MO
Is one or more oxides selected from BaO, SrO, CaO, MgO, and ZnO), and the composition range of the Li 2 O, the SiO 2, and the MO is % In the triangular diagram, 1 mol% of Li 2 O, 80 mol% of SiO 2 ,
A first point A where the MO has a composition of 19 mol%, 1 mol% of the Li 2 O, 39 mol% of the SiO 2 ,
A second point B indicating a composition of the MO of 60 mol%, and a third point C indicating a composition of the Li 2 O of 30 mol%, the SiO 2 of 30 mol%, and the MO of 40 mol%. A fourth point D indicating a composition of 50 mol% of Li 2 O, 50 mol% of SiO 2 and 0 mol% of MO; 20 mol% of Li 2 O and 80 mol of SiO 2 %, Wherein said MO is in a region surrounded by five straight lines connecting in this order a fifth point E indicating a composition of 0 mol%.
【請求項4】 未焼結の磁器粉末からなる混合物を調製
する工程と、前記混合物からなる未焼結磁器シートを形
成する工程と、前記未焼結磁器シートを少なくとも2以
上の導電性ペースト膜で挟持させた積層物を形成する工
程と、前記積層物を非酸化性雰囲気中において焼成する
工程と、前記焼成を受けた積層物を酸化性雰囲気中にお
いて熱処理する工程とを備え、 前記誘電体磁器組成物が、100.0重量部の基本成分
と、0.2〜5.0重量部の添加成分との混合物を焼成
したものからなり、を満足する数値)で表わされる物質
からなり、 前記基本成分が、(1−γ)(Bak-(x+y)MxLy)OkTiO2 +γ(R
1-zR'z)O3/2+αAO5/2+βD(但し、MはMg及び/又は
Zn、LはCa及び/又はSr、RはLa,Ce,P
r,Nd,Pm,Sm及びEuから選択された1種又は
2種以上の元素、R’はSc,Y,Gd,Tb,Dy,
Ho,Er,Tm,Yb及びLuから選択された1種又
は2種以上の元素、AはP及び/又はV、DはCr,M
n,Fe,Co及びNiから選択された1種又は2種以
上の酸化物、α,β,γ,k,x,y及びzは、 0.0005≦α≦0.01 0.0005≦β≦0.01 0.002≦γ≦0.06 1.00≦k≦1.05 0≦x<0.10 0≦y≦0.05 0.01≦x+y≦0.10 0.5≦z≦0.9 前記添加成分がB23 とSiO2 とMO(但し、MO
はBaO,SrO,CaO,MgO及びZnOから選択
された1種又は2種以上の酸化物)とからなり、 前記B23 と前記SiO2 と前記MOとの組成範囲
が、これらの組成をモル%で示す三角図における、 前記B23 0が1モル%、前記SiO2 が80モル
%、前記MOが19モル%の組成を示す第六の点Fと、 前記B23 が1モル%、前記SiO2 が39モル%、
前記MOが60モル%の組成を示す第七の点Gと、 前記B23 が29モル%、前記SiO2 が1モル%、
前記MOが70モル%の組成を示す第八の点Hと、 前記B23 が90モル%、前記SiO2 が1モル%、
前記MOが9モル%の組成を示す第九の点Iと、 前記B23 が90モル%、前記SiO2 が9モル%、
前記MOが1モル%の組成を示す第十の点Jと、 前記B23 が19モル%、前記SiO2 が80モル
%、前記MOが1モル%の組成を示す第十一の点Kとを
この順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内にあることを
特徴とする磁器コンデンサの製造方法。
4. A step of preparing a mixture comprising unsintered porcelain powder, a step of forming a non-sintered porcelain sheet comprising the mixture, and forming the unsintered porcelain sheet into at least two or more conductive paste films. Forming a laminate sandwiched by the above, a step of firing the laminate in a non-oxidizing atmosphere, and a step of heat-treating the fired laminate in an oxidizing atmosphere; The porcelain composition comprises a material obtained by calcining a mixture of 100.0 parts by weight of a basic component and 0.2 to 5.0 parts by weight of an additional component, and a material represented by the following numerical value: The basic component is (1−γ) (Ba k− (x + y) M x L y ) O k TiO 2 + γ (R
1-z R ′ z ) O 3/2 + αAO 5/2 + βD (where M is Mg and / or Zn, L is Ca and / or Sr, R is La, Ce, P
one or more elements selected from r, Nd, Pm, Sm and Eu, and R 'is Sc, Y, Gd, Tb, Dy,
One or more elements selected from Ho, Er, Tm, Yb and Lu, A is P and / or V, D is Cr, M
One or more oxides selected from n, Fe, Co and Ni, α, β, γ, k, x, y and z are 0.0005 ≦ α ≦ 0.01 0.0005 ≦ β ≦ 0.01 0.002 ≦ γ ≦ 0.06 1.00 ≦ k ≦ 1.05 0 ≦ x <0.10 0 ≦ y ≦ 0.05 0.01 ≦ x + y ≦ 0.10 0.5 ≦ z ≦ 0.9 The additional components are B 2 O 3 , SiO 2 and MO (where MO
Is one or more oxides selected from BaO, SrO, CaO, MgO and ZnO), and the composition range of the B 2 O 3 , the SiO 2 and the MO is in a triangular diagram showing a mole%, the B 2 O 3 0 is 1 mol%, the SiO 2 is 80 mol%, and the sixth point F indicating the composition of the MO is 19 mol%, the B 2 O 3 1 mol%, 39 mol% of the SiO 2 ,
A seventh point G indicating a composition in which the MO is 60 mol%, 29 mol% of the B 2 O 3 , 1 mol% of the SiO 2 ,
An eighth point H indicating a composition in which the MO is 70 mol%, the B 2 O 3 is 90 mol%, the SiO 2 is 1 mol%,
A ninth point I indicating a composition in which the MO is 9 mol%, the B 2 O 3 is 90 mol%, the SiO 2 is 9 mol%,
A tenth point J indicating the composition of the MO of 1 mol%, and an eleventh point J indicating the composition of the B 2 O 3 of 19 mol%, the SiO 2 of 80 mol%, and the MO of 1 mol% A method for producing a ceramic capacitor, wherein the method is in a region surrounded by six straight lines connecting K in this order.
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