JP3268128B2 - Load sensor - Google Patents

Load sensor

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JP3268128B2 JP16076894A JP16076894A JP3268128B2 JP 3268128 B2 JP3268128 B2 JP 3268128B2 JP 16076894 A JP16076894 A JP 16076894A JP 16076894 A JP16076894 A JP 16076894A JP 3268128 B2 JP3268128 B2 JP 3268128B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は荷重センサに関するもの
であり、特に、歪みゲージのような検知素子の歪みによ
る該素子の抵抗変化に基づいて荷重の大きさを検知する
荷重センサにおいて、前記素子を設けた荷重検知部の耐
荷重以上の荷重に対する保護手段が設けられた荷重セン
サに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a load sensor and, more particularly, to a load sensor for detecting the magnitude of a load based on a change in resistance of a sensing element such as a strain gauge due to distortion of the element. The present invention relates to a load sensor provided with a protection means for a load equal to or more than a withstand load of a load detection unit provided with the sensor.

【0002】[0002]

【従来の技術】起歪体つまり検知部に検知素子を貼付
け、荷重が加わった場合に生じる前記検知素子の歪みに
よる該検知素子の抵抗変化によって印加された荷重を測
定する荷重センサが知られている。この種の荷重センサ
において、検知部の降伏点以上の荷重つまり耐荷重以上
の荷重が印加されると、検知部は塑性変形し、正確な荷
重を測定できないばかりでなく、検知素子の破損等、セ
ンサの故障にもつながる。
2. Description of the Related Art A load sensor is known in which a sensing element is attached to a flexure element, that is, a sensing portion, and the applied load is measured by a change in resistance of the sensing element due to distortion of the sensing element when a load is applied. I have. In a load sensor of this type, when a load equal to or higher than the yield point of the detection unit, that is, a load equal to or more than the withstand load is applied, the detection unit plastically deforms, not only cannot accurately measure the load, but also damage to the detection element, etc. It also leads to sensor failure.

【0003】ところが、実際の検出荷重は小さいか、ま
たは測定範囲は狭いにもかかわらず、予定していない大
きい荷重が加わることがあるので、上記の不具合が生じ
ることがある。そこで、上記の不具合を回避するため、
前記予定しない大きい荷重を考慮して検知部の耐荷重を
必要以上に大きくしておく必要があった。
However, although the actual detected load is small or the measuring range is narrow, an unexpectedly large load may be applied, so that the above problem may occur. Therefore, in order to avoid the above problems,
In consideration of the unexpectedly large load, it was necessary to increase the load resistance of the detection unit more than necessary.

【0004】一般に、耐荷重を大きくすれば、センサの
寸法が大きくなる。しかし、繰り返し測定される定常的
な荷重ではない耐荷重以上の荷重に配慮してセンサを大
きくするのは、該センサを組込んだ装置の大型化やコス
ト上昇を招くことから得策ではない。
In general, the larger the withstand load, the larger the dimensions of the sensor. However, it is not advisable to increase the size of the sensor in consideration of a load larger than the withstand load, which is not a steady load that is repeatedly measured, because it increases the size and cost of a device incorporating the sensor.

【0005】そこで、このような不具合を解消するため
の装置として、次のようなセンサが提案されている(特
開昭64−35331号公報)。このセンサは、耐荷重
を超える荷重が印加されて検知部が大きく歪むと、固定
側および変位側の一方に取付けられたストッパ・ピンが
他方に当接し、検知部にはそれ以上の大きい荷重が加わ
らないようにしたものである。
Therefore, as a device for solving such a problem, the following sensor has been proposed (Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-35331). In this sensor, when a load exceeding the withstand load is applied and the detection unit is greatly distorted, the stopper pin attached to one of the fixed side and the displacement side comes into contact with the other, and a larger load is applied to the detection unit. It was not added.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上記、従来のセンサに
は次のような問題点があった。該センサでは、検知部が
1枚の板状の起歪体から構成されているたけであり、検
知部に偏荷重がかかると起歪体が捩じられるようにな
る。このために、該起歪体に支持されている前記ストッ
パ・ピンが傾いた状態で変位し、該ストッパ・ピンは予
定された面で相手側に当接せず、角部で当接する。スト
ッパ・ピンが傾くと、予定の間隙が実質的に小さくな
り、予定荷重よりも小さい被測定荷重でストッパ・ピン
が作動する。その結果、検知部の被測定荷重範囲である
にもかかわらず荷重を測定できないということが起こり
得る。
The above-mentioned conventional sensor has the following problems. In this sensor, the detecting portion is formed of only one plate-like strain body, and when an unbalanced load is applied to the detecting portion, the strain body is twisted. For this reason, the stopper pin supported by the strain body is displaced in an inclined state, and the stopper pin does not abut on a mating side on a predetermined surface but abuts on a corner. When the stopper pin is tilted, the predetermined gap becomes substantially smaller, and the stopper pin operates with a measured load smaller than the predetermined load. As a result, it may happen that the load cannot be measured in spite of the measured load range of the detection unit.

【0007】また、前記ストッパ・ピンが傾いた状態で
角部が相手側に当接すると、その当接面は点ないし線に
近くなってそこに応力が集中し、繰り返しによってセン
サが損傷することも有り得る。このように、従来のセン
サでは、検知部が荷重の印加方向に正しく変位せず、特
に、被測定範囲の上限近くでは荷重を正確に測定できな
いという問題点があった。
Further, when the corner portion abuts on the other side while the stopper pin is inclined, the contact surface is close to a point or a line, stress is concentrated there, and the sensor is damaged by repetition. Is also possible. As described above, the conventional sensor has a problem that the detection unit does not correctly displace in the direction in which the load is applied, and in particular, the load cannot be accurately measured near the upper limit of the measured range.

【0008】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであり、その目的は、偏荷重がかかった場合
でも、検知部が予定の方向に変位して被測定荷重を広い
範囲で正確に測定できる荷重センサを提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and has as its object to displace the detection unit in a predetermined direction and to reduce the load to be measured in a wide range even when an eccentric load is applied. An object of the present invention is to provide a load sensor that can measure accurately.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決し、目
的を達成するための本発明は、被測定荷重を測定するた
めの歪みゲージが設けられた荷重検知部を中央に配設し
たハウジングと、被測定荷重の印加方向に直角に配置さ
れ、前記荷重検知部に固定された内周部および前記ハウ
ジングに固定された外周部からなる複数枚の弾性板とを
具備した点に第1の特徴がある。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems and to achieve the object, the present invention provides a housing in which a load detecting portion provided with a strain gauge for measuring a load to be measured is provided at the center. And a plurality of elastic plates comprising an inner peripheral portion fixed to the load detecting portion and an outer peripheral portion fixed to the housing, the first elastic plate being disposed at a right angle to the direction in which the load to be measured is applied. There are features.

【0010】また、本発明は、前記荷重検知部に接合さ
れた連結部、および前記ハウジングの周囲端面と予定間
隔を有して対向配置されたストッパ面を有する荷重印加
部をさらに具備した点に第2の特徴がある。
Further, the present invention is characterized in further comprising a connecting portion joined to the load detecting portion, and a load applying portion having a stopper surface facing the peripheral end surface of the housing at a predetermined interval. There is a second feature.

【0011】[0011]

【作用】被測定荷重が印加されると、前記弾性板および
前記荷重検知部(以下、単に「検知部」という)に歪み
が生じ、該荷重と前記弾性板の応力が平衡した状態で荷
重の大きさが測定される。すなわち、該荷重による検知
部の歪みは該検知部に設けられた検知素子に伝わる。そ
して、該検知素子の歪みの大きさは、本発明の要部では
ない検知回路で抵抗値として測定される。本発明では、
検知部が複数枚の弾性板によって支持されているので、
偏荷重による傾きが少なく、精度の高い測定結果が得ら
れる。
When a load to be measured is applied, distortion occurs in the elastic plate and the load detecting portion (hereinafter, simply referred to as a "detecting portion"), and the load is applied in a state where the load and the stress of the elastic plate are balanced. The size is measured. That is, distortion of the detection unit due to the load is transmitted to the detection element provided in the detection unit. Then, the magnitude of the distortion of the sensing element is measured as a resistance value by a sensing circuit which is not a main part of the present invention. In the present invention,
Since the detection unit is supported by multiple elastic plates,
The inclination due to the unbalanced load is small, and a highly accurate measurement result is obtained.

【0012】また、第2の特徴によれば、前記連結部に
よって検知部に荷重が伝達される。そして、印加荷重に
よる前記弾性板の変形が前記予定間隔に達すると前記ス
トッパ面がハウジングの周囲端面に当接する。すなわ
ち、印加荷重が前記間隙で設定された被測定範囲を超過
したところで検知部および弾性板に加わる荷重が制限さ
れる。
Further, according to the second feature, a load is transmitted to the detecting portion by the connecting portion. When the deformation of the elastic plate due to the applied load reaches the predetermined interval, the stopper surface comes into contact with the peripheral end surface of the housing. That is, when the applied load exceeds the measured range set in the gap, the load applied to the detection unit and the elastic plate is limited.

【0013】[0013]

【実施例】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。図1は本発明の一実施例に係る荷重センサの断面図
である。同図において、有底円筒形のインナハウジング
1はその底部に、被測定荷重を接続するためのねじ付き
のロッド2を有する。該インナハウジング1内の前記ロ
ッド2と同心位置には、荷重検知用の歪みゲージを設け
た検知ダイヤフラム3を配している。該検知ダイヤフラ
ム3の中心軸には、溶接等適宜の手段で、荷重印加部と
してのフランジ4が結合されている。前記検知ダイヤフ
ラム3を所定位置に固定するため、次のような構成が採
られている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a load sensor according to one embodiment of the present invention. In the figure, a bottomed cylindrical inner housing 1 has a threaded rod 2 at the bottom thereof for connecting a load to be measured. At the position concentric with the rod 2 in the inner housing 1, a detection diaphragm 3 provided with a strain gauge for load detection is arranged. A flange 4 as a load applying unit is connected to the center axis of the detection diaphragm 3 by appropriate means such as welding. The following configuration is employed to fix the detection diaphragm 3 at a predetermined position.

【0014】まず、前記検知ダイヤフラム3は環状のホ
ルダ5の内周に嵌合されている。該ホルダ5の外周には
環状の支持板6,7の内周が嵌合され、該支持板6,7
の内周部は、ホルダ5の外周に接合されたインナブッシ
ュ8,9により、該インナブッシュ8,9とホルダ5と
の間で挟まれて固定されている。一方、インナハウジン
グ1の外周には筒状のメインハウジング10が圧入さ
れ、その端部の爪11が内側に折り曲げられて、インナ
ハウジング1に結合されている。前記インナハウジング
1の端部とメインハウジング10との間には前記支持板
6,7の外周部とアウタブッシュ12とが配されてい
て、これらは、前記爪11の結合によってインナハウジ
ング1に対して挟み込まれ、固定されている。
First, the detection diaphragm 3 is fitted on the inner periphery of an annular holder 5. The inner periphery of the annular support plates 6 and 7 is fitted to the outer periphery of the holder 5, and the support plates 6, 7
Is fixed between the inner bushes 8, 9 and the holder 5 by inner bushes 8, 9 joined to the outer periphery of the holder 5. On the other hand, a cylindrical main housing 10 is press-fitted into the outer periphery of the inner housing 1, and a claw 11 at an end thereof is bent inward to be connected to the inner housing 1. Between the end of the inner housing 1 and the main housing 10, the outer peripheral portions of the support plates 6 and 7 and the outer bush 12 are arranged, and these are connected to the inner housing 1 by the coupling of the claws 11. It is sandwiched and fixed.

【0015】前記ホルダ5の一端には検知ダイヤフラム
3上の歪みゲージの抵抗変化を外部に引出すための回路
基板13が接着等の適宜の手段によって固定されてい
る。該基板13と歪みゲージ(共に図示せず)とは、例
えば、Auのワイヤ14によって接続されている。
A circuit board 13 for extracting a change in resistance of a strain gauge on the detection diaphragm 3 to the outside is fixed to one end of the holder 5 by an appropriate means such as adhesion. The substrate 13 and a strain gauge (both not shown) are connected by, for example, an Au wire 14.

【0016】また、前記フランジ4は前記検知ダイヤフ
ラム3の中心つまり前記インナハウジング1のロッド2
の中心と同心に配置されたねじ付きのロッド15を有し
ている。該フランジ4の外周の端面16はストッパ面と
なるものであり、前記メインハウジング10の端面と予
定の間隙gを有して対向している。この間隙gは、検知
ダイヤフラム3の耐荷重つまり被測定荷重による支持板
6,7の最大変位量つまり検知ダイヤフラム3の変位量
に相当する値以下に設定する。最大変位量に近付けるだ
け、測定可能範囲は大きくなる。このように間隙gを設
定してストッパ面16とメインハウジング10とを対向
配置しておくことにより、被測定荷重が検知ダイヤフラ
ム3の弾性限界内の任意に設定された荷重が印加された
ときに、ストッパ面16とメインハウジング10の端面
とが当接し、それ以上の荷重が印加されるのを防止でき
る。
The flange 4 is located at the center of the detection diaphragm 3, that is, the rod 2 of the inner housing 1.
Has a threaded rod 15 arranged concentrically with the center. An end face 16 on the outer periphery of the flange 4 serves as a stopper face, and faces the end face of the main housing 10 with a predetermined gap g. The gap g is set to be equal to or less than the withstand load of the detection diaphragm 3, that is, the maximum displacement amount of the support plates 6, 7 due to the measured load, that is, the displacement amount of the detection diaphragm 3. The closer to the maximum displacement, the larger the measurable range. By setting the gap g in this way and arranging the stopper surface 16 and the main housing 10 to face each other, when the load to be measured is arbitrarily set within the elastic limit of the detection diaphragm 3, The stopper surface 16 and the end surface of the main housing 10 are in contact with each other, so that it is possible to prevent a further load from being applied.

【0017】なお、前記支持板6,7の弾性範囲内であ
れば、荷重と歪みとが平衡した状態で検知ダイヤフラム
3の歪みが測定されるので、該支持板6,7の弾性係数
にばらつきがあっても荷重の測定精度には影響しない。
If the elasticity of the support plates 6 and 7 is within the elastic range, the strain of the detection diaphragm 3 is measured in a state where the load and the strain are balanced. Does not affect load measurement accuracy.

【0018】また、本実施例では、検知ダイヤフラム3
とフランジ4とを接合するようにした例を示したが、あ
らかじめ、これらを一体的に製作してもよい。
In this embodiment, the detection diaphragm 3
Although the example in which the and the flange 4 are joined is shown, they may be integrally manufactured in advance.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、耐荷重を大きくしても検知部のサイズは測定
荷重に合わせればよく、不必要にサイズを大きくしない
でもよい。そのため、コスト上昇を避けることができる
とともに、小形化によるレイアウトの自由度が上がる。
また、検知部を小形化できるために、スパッタリングや
CVDによって検知部に歪みゲージを形成することが容
易になる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, even if the load resistance is increased, the size of the detecting portion may be adjusted to the measured load, and the size may not be unnecessarily increased. Therefore, an increase in cost can be avoided, and the degree of freedom in layout due to miniaturization increases.
In addition, since the detection unit can be downsized, it becomes easy to form a strain gauge on the detection unit by sputtering or CVD.

【0020】さらに、検知部を複数枚の支持板で支持し
ているため、1枚の支持板で支持するもののように、支
持板ひいては検知部に捩じれが生じることがない。した
がって、荷重が該検知部の予定された方向に正しく印加
され、正確な測定結果が得られる。また、耐荷重を超過
したときに、予定の荷重で正確にストッパが機能して荷
重を制限することができる。
Further, since the detection section is supported by a plurality of support plates, unlike the case where the detection section is supported by a single support plate, the support plate and the detection section are not twisted. Therefore, the load is correctly applied in the predetermined direction of the detection unit, and an accurate measurement result is obtained. Further, when the withstand load is exceeded, the stopper can function accurately with a predetermined load to limit the load.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の一実施例を示す荷重センサの断面図
である。
FIG. 1 is a sectional view of a load sensor showing one embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…インナハウジング、 3…検知ダイヤフラム、 4
…フランジ、 5…ホルダ、 6,7…支持板、 8,
9…インナブッシュ、 10…メインハウジング、 1
2…アウタブッシュ、 13…回路基板、 14…ワイ
ヤ、 16…ストッパ面
1 ... inner housing 3 ... detection diaphragm 4
... Flange, 5 ... Holder, 6,7 ... Support plate, 8,
9 ... Inner bush, 10 ... Main housing, 1
2 ... Outabush, 13: Circuit board, 14: Wire, 16: Stopper surface

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−291530(JP,A) 特開 平2−21231(JP,A) 特開 昭64−35331(JP,A) 実開 昭62−18634(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01L 1/22 G01L 1/26 Continuation of front page (56) References JP-A-62-291530 (JP, A) JP-A-2-21231 (JP, A) JP-A-64-35331 (JP, A) , U) (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01L 1/22 G01L 1/26

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 荷重を測定するための歪みゲージが設け
られた荷重検知素子および該検知素子を固定するホルダ
からなる荷重検知部と、前記荷重検知部に結合される荷重印加部と、 前記荷重検知部を中央に配設したハウジングと、 被測定荷重の印加方向に直角に配置され、前記荷重検知
部に固定された内周部および前記ハウジングに固定され
た外周部からなる複数枚の弾性板とを具備したことを特
徴とする荷重センサ。
And 1. A load detection unit which strain gauges for measuring the load is from the holder to fix the load sensing element and the sensing element is provided, a load application part which is coupled to the load sensing portion, the load A plurality of elastic plates each including a housing in which a detection unit is provided at the center, and an inner peripheral portion fixed to the load detection unit and an outer peripheral portion fixed to the housing and arranged at right angles to a direction in which a load to be measured is applied. A load sensor comprising:
【請求項2】 前記荷重印加部が、前記荷重検知部との
連結部、および前記ハウジングの周囲端面と予定の間隔
を有して対向配置されたストッパ面を具備したことを特
徴とする請求項1記載の荷重センサ。
2. The method according to claim 1, wherein the load application unit is provided with a load detection unit.
Connections and predetermined spacing from the peripheral edge of the housing
The load sensor according to claim 1 , further comprising a stopper surface having an opposite surface .
【請求項3】 前記間隔は被測定荷重範囲内における前
記荷重検知部の変位量に相当する量に設定したことを特
徴とする請求項2記載の荷重センサ。
3. The load sensor according to claim 2, wherein the interval is set to an amount corresponding to a displacement amount of the load detecting unit within a load range to be measured.
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