JP3261705B2 - Simple clean room - Google Patents
Simple clean roomInfo
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- JP3261705B2 JP3261705B2 JP11744091A JP11744091A JP3261705B2 JP 3261705 B2 JP3261705 B2 JP 3261705B2 JP 11744091 A JP11744091 A JP 11744091A JP 11744091 A JP11744091 A JP 11744091A JP 3261705 B2 JP3261705 B2 JP 3261705B2
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- clean
- supply unit
- clean air
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、電子・精密機械工業、
食品工業等で所定の空間に層流の清浄空気を供給して局
所的に無じん無菌化するための簡易型の空気清浄装置に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention
The present invention relates to a simple air cleaning apparatus for supplying laminar clean air to a predetermined space in a food industry or the like to locally sterilize and sterilize the air.
【0002】[0002]
【従来の技術】清浄度クラス100以上の清浄空間を形
成するためには、室内を循環する清浄空気の気流を全面
ラミナーフロー(層流)にする必要がある。このような
層流を得るために、従来は図8〜図10に示すように、
天井部のほぼ全面にHEPAフィルタと整流板を配置し
た一体形の天井ユニットを用い、この天井ユニットを4
本以上の強固な脚で支示していた。この天井ユニット
は、重量が室内寸法に応じて200〜400kgあり、
現地搬入及び組立に最低でも6〜8人の人員が必要であ
った。更に、天井ユニットが一体構造で寸法が大きいた
め顧客サイドにおいても広い搬入経路を確保する必要が
あり、室内面積の広いルームが必要な場合でも、己ずと
簡易クリーンルームの室内寸法を限定せざるを得ず、使
い勝手の悪いものとなっていた。2. Description of the Related Art In order to form a clean space having a cleanliness class of 100 or more, it is necessary to make an air flow of clean air circulating in a room into a laminar flow over the entire surface. Conventionally, in order to obtain such a laminar flow, as shown in FIGS.
An integrated ceiling unit in which a HEPA filter and a rectifying plate are arranged on almost the entire ceiling is used.
It was supported by more than a strong book. This ceiling unit has a weight of 200 to 400 kg depending on the room size,
At least 6 to 8 people were required for on-site delivery and assembly. Furthermore, since the ceiling unit has an integral structure and large dimensions, it is necessary to secure a wide carry-in route on the customer side, and even if a room with a large room area is required, the size of the simple clean room must be limited. It was inconvenient to use.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、現地
搬入、組立に多くの人手と時間を要し、又、本簡易クリ
ーンルームを必要とされる顧客の多くは、大手半導体工
場のように部屋全体をクリーンルーム化している場合と
異なり、既設の作業場の一部を局所的にクリーン化しよ
うとする電子、精密工業及び食品工業分野であるため、
むしろ、広い搬入経路や組立場所がない場合が多いこと
から、既存の搬入経路で運搬可能な室内寸法を有する装
置を選定せざるを得ず、本来希望する室内寸法のもの
は、断念していた。このように、従来技術は、現地搬
入、組立性、顧客の実情にあった使い勝手性について配
慮がなされておらず、搬入据付費の割高、顧客の希望す
る室内寸法のものが搬入経路の都合で提供できない等の
問題があった。The above prior art requires a large amount of manpower and time to carry in and assemble on site, and many of the customers who need this simple clean room use a room like a major semiconductor factory. Unlike the case where the whole is made into a clean room, because it is an electronic, precision industry and food industry field that tries to locally clean a part of the existing workplace,
Rather, since there are many cases where there is no wide carry-in route or assembling place, it is necessary to select a device having a room size that can be carried by the existing carry-in route, and the room size originally desired was abandoned. . As described above, the prior art does not take into account local loading, assemblability, and ease of use in accordance with the actual conditions of the customer. There was a problem that it could not be provided.
【0004】本発明は、これらの問題を解決するため
に、少ない人数で搬入でき、また搬入経路の制約を受け
にくい簡易クリーンルームを提供することを目的として
おり、更に、経済性、使い勝手を向上させた簡易クリー
ンルームを提供することを目的とする。[0004] In order to solve these problems, the present invention aims to provide a simple clean room which can be carried in by a small number of people and is hardly restricted by a carry-in route. The purpose is to provide a simple clean room.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、天井部に空気浄化手段を備え、隔壁で隔
離された空間に層流で清浄空気を供給する簡易クリーン
ルームにおいて、互いに分割可能な脚部と横枠部により
構成され、前記空気浄化手段を載置する櫓状の枠体を備
え、前記空気浄化手段は、ファン及びフィルタを有し、
清浄空気を供給する清浄空気の供給ユニットと前記フィ
ルタの下流側に接続されて前記清浄空気の供給ユニット
を載置する拡散チャンバとからなり、該拡散チャンバ
は、前記清浄空気の供給ユニットが挿通自在に形成され
た開口部を備え、前記清浄空気の供給ユニットは、外周
の相対向する2辺に設けられたフランジにより前記開口
部に臨んで指示され、該拡散チャンバと前記清浄空気の
供給ユニットの接続部及び前記拡散チャンバと前記横枠
部の間を気密にシールしたことを特徴とするものであ
る。In order to achieve the above object, the present invention provides a simple clean room having an air purifying means on a ceiling and supplying laminar clean air to a space separated by a partition. It is constituted by a leg that can be divided and a horizontal frame, and comprises a tower-shaped frame on which the air purifying means is mounted, wherein the air purifying means has a fan and a filter,
The apparatus comprises a clean air supply unit for supplying clean air, and a diffusion chamber connected to the downstream side of the filter and on which the clean air supply unit is mounted. The clean air supply unit is directed toward the opening by flanges provided on two opposite sides of the outer periphery, and the diffusion chamber and the clean air supply unit are provided. The connection portion and the space between the diffusion chamber and the horizontal frame portion are hermetically sealed.
【0006】好ましい実施態様においては、上記清浄空
気供給ユニットおよび上記拡散チャンバはいずれも最大
寸法が幅800mm高さ2000mm以下となるよう構
成される。[0006] In a preferred embodiment, the clean air supply unit and the diffusion chamber are both configured to have a maximum dimension of 800 mm in width and 2000 mm in height or less.
【0007】好ましい他の実施態様においては、上記脚
部、横枠部、清浄空気供給ユニットおよび拡散チャンバ
はいずれも重量が50kg以下となるよう構成される。In another preferred embodiment, the legs, the lateral frame, the clean air supply unit and the diffusion chamber are all configured to weigh less than 50 kg.
【0008】[0008]
【0009】[0009]
【作用】櫓状の枠体は脚部と横枠部に分割され、空気浄
化手段はファンおよびフィルタを有する清浄空気を供給
する清浄空気の供給装置と拡散チャンバに分割されるの
で、分割された各部分の寸法の小型化、軽量化を図るこ
とができ、搬入経路の制限を少なくするとともに、2〜
3人で運搬できて搬入に要する人員を低減させることが
できる。また、拡散チャンバと横枠の間は気密にシール
されているので、拡散チャンバ内の圧力を高めることが
できて吹き出し風速の均一化を図れるとともに汚染物質
の流入を防止できる。The tower-shaped frame is divided into a leg and a horizontal frame, and the air purifying means is divided into a clean air supply device having a fan and a filter for supplying clean air and a diffusion chamber. It is possible to reduce the size and weight of each part, reduce the restrictions on the loading path, and
It can be carried by three people, and the number of personnel required for carrying in can be reduced. Further, since the space between the diffusion chamber and the horizontal frame is hermetically sealed, the pressure in the diffusion chamber can be increased, so that the blowing speed can be made uniform and the inflow of contaminants can be prevented.
【0010】[0010]
【実施例】本発明の実施例を図1〜図7、および図11
〜図15により説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention are shown in FIGS.
This will be described with reference to FIG.
【0011】本発明の第1実施例を図1〜図7、および
図11、図12により説明する。A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7, and FIGS.
【0012】図1は本発明の第1実施例の外観図を示
し、図2は本実施例における分割構造を示す。本実施例
は、清浄空気を供給する空気浄化手段をファンユニット
5、拡散チャンバ4および整流板7に分割する構造と
し、また、これを支える櫓状の枠体を脚1および横枠
2、3に分割する構造として、1ユニット当りの重量を
最大でも50kg以下とし、寸法も一般建築の扉寸法
(幅800×高2000mm)以内とし、搬入組立人員
を従来の6〜8人から2〜3人に削減できるようにした
ものである。FIG. 1 is an external view of a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a divided structure in the first embodiment. This embodiment has a structure in which an air purifying means for supplying clean air is divided into a fan unit 5, a diffusion chamber 4, and a flow straightening plate 7, and a tower-like frame supporting the same is provided with a leg 1 and horizontal frames 2, 3. The maximum weight per unit is 50 kg or less, the dimensions are within the door dimensions of general buildings (width 800 x height 2000 mm), and the number of loading and assembling personnel is reduced from the conventional 6-8 to 2-3. It can be reduced to
【0013】更に、横枠2、3と脚1の連結強度を強化
するために横枠2、3の側面上方と横枠2、3の水平面
を少なくとも1箇所以上、脚1と締結させることによ
り、分割構造にありがちな脚のふらつきを防止した構造
としたものである。Further, in order to strengthen the connection strength between the horizontal frames 2 and 3 and the leg 1, the upper side of the horizontal frames 2 and 3 and the horizontal plane of the horizontal frames 2 and 3 are fastened to the leg 1 at least at one or more places. In this structure, the leg is prevented from wobbling, which is common in the divided structure.
【0014】1は本装置を支える脚で、少なくとも枠体
の外周のコーナ部に4本設けられる。脚1にはその垂直
面の上方にボルト13と脚部補強11が溶接され、この
ボルト13と脚部補強11に枠2及び枠3を図3に示す
手順で締結して、本装置の櫓状の枠体が完成する。又、
脚1と枠2、枠3は、図5に示すように、垂直面では脚
1に溶接されたボルト13に枠2、3をそれぞれ差し込
んでナット14で締結し、、水平面では、脚1に溶接さ
れた補強11と枠2、3間をボルト12で締結する。締
結箇所は垂直面、水平面とも少なくとも1箇所以上設け
られる。このように、脚11と枠2、3を枠の垂直面と
水平面に少なくとも1箇所以上締結し、これらを4本脚
とも行なうことにより図4に示すような強固な櫓を組み
上げることができる。Reference numeral 1 denotes legs for supporting the apparatus, which are provided at least at four corners on the outer periphery of the frame. A bolt 13 and a leg reinforcement 11 are welded to the leg 1 above its vertical surface. Frames 2 and 3 are fastened to the bolt 13 and the leg reinforcement 11 in the procedure shown in FIG. Frame is completed. or,
As shown in FIG. 5, the legs 1 and the frames 2 and 3 are inserted into the bolts 13 welded to the legs 1 on the vertical plane, and the frames 2 and 3 are inserted and fastened with the nuts 14, respectively. The welded reinforcement 11 and the frames 2 and 3 are fastened with bolts 12. At least one fastening point is provided on both the vertical surface and the horizontal surface. In this way, the leg 11 and the frames 2, 3 are fastened to at least one location on the vertical and horizontal planes of the frame, and by using these four legs, a strong tower as shown in FIG. 4 can be assembled.
【0015】櫓が完成すると、この上に空気浄化手段を
載せる。本実施例では空気浄化手段は、ファンユニット
5と拡散チャンバ4を分割構造とし、より軽量化を図っ
ている。また、ファンユニットを拡散チャンバに載せる
際、装置の天井側からでも室内側からでも取付可能構造
とし、建屋天井の低い場合でも組立可能としている。When the tower is completed, the air purifying means is mounted thereon. In this embodiment, the air purifying means has a fan unit 5 and a diffusion chamber 4 having a divided structure to further reduce the weight. Further, when the fan unit is mounted on the diffusion chamber, the fan unit can be attached from the ceiling side or the indoor side of the apparatus, and can be assembled even when the ceiling of the building is low.
【0016】空気浄化手段部分の組立に際しては、枠組
を完了した櫓の上にまず拡散チャンバ4を載せる。拡散
チャンバ4は、HEPAフィルタ6から吹き出た清浄空
気を拡散する機能を有する。拡散チャンバ4には、枠上
に載せるために天井面に少なくとも2方向以上に耳を設
けており、この耳部分を横枠の上に載せて、チャンバ4
が横枠にぶらさがる状態とする。耳部分はチャンバ4を
載せた後、この耳部分と枠2、3との間のずれ防止とし
て、1箇所以上横枠2、3にネジ止めにて固定される。When assembling the air purifying means, the diffusion chamber 4 is first placed on the tower whose frame has been completed. The diffusion chamber 4 has a function of diffusing the clean air blown out of the HEPA filter 6. The diffusion chamber 4 is provided with ears in at least two directions on the ceiling surface for mounting on the frame.
Is hanging on the horizontal frame. After the chamber 4 is placed on the ear portion, the ear portion is fixed to one or more lateral frames 2 and 3 with screws to prevent displacement between the ear portion and the frames 2 and 3.
【0017】拡散チャンバ4にはファンユニット5を差
し入れるため、ファンユニットの幅寸法に対し、やや大
きめの角穴を設けている。ファンユニット5は室内側か
らこの角穴に挿入して拡散チャンバ4に載せ、ファンユ
ニット5に設けた固定金具を介して室内側から拡散チャ
ンバ4にネジ止めにて固定される。In order to insert the fan unit 5 into the diffusion chamber 4, a square hole slightly larger than the width of the fan unit is provided. The fan unit 5 is inserted into the square hole from the room side and mounted on the diffusion chamber 4, and is fixed to the diffusion chamber 4 from the room side by screws via a fixing metal provided on the fan unit 5.
【0018】具体的には、ファンユニット5は、図7に
示すように室内側から拡散チャンバ4に設けた角穴にや
や斜めにした状態で差し込まれ、図6に示すように両耳
を拡散チャンバの角穴の縁に載せた状態で拡散チャンバ
4に載置する。ファンユニット5の取り付け時にはHE
PAフィルタ6を外しておくことにより清浄空気供給ユ
ニットが軽くなるため、およびフィルタのろ材損傷等に
気を使わずにすむため作業性が向上する。この場合、H
EPAフィルタ6は、ファンユニット5の取り付け後室
内側からファンユニット5に直接締結される。Specifically, the fan unit 5 is inserted into the square hole provided in the diffusion chamber 4 from the room side as shown in FIG. 7 in a slightly inclined state, and diffuses both ears as shown in FIG. It is placed in the diffusion chamber 4 while being placed on the edge of the square hole of the chamber. HE when installing fan unit 5
By removing the PA filter 6, the clean air supply unit is reduced in weight, and workability is improved because care is not required for filter media damage or the like. In this case, H
The EPA filter 6 is fastened directly to the fan unit 5 from the indoor side after the fan unit 5 is attached.
【0019】ファンユニット5は、ファンユニットに溶
接されたナット付アングル19とネジ20により拡散チ
ャンバ4の下方から拡散チャンバ4に締結される。尚、
予め設けた櫓と拡散チャンバの隙間及び拡散チャンバと
ファンユニットの隙間は、それぞれ図6に示す通りバッ
クアップ材15を差し入れてシリコンシーラ材16にて
コーキングし、気密を保持させる。The fan unit 5 is fastened to the diffusion chamber 4 from below the diffusion chamber 4 by an angle 19 with a nut and a screw 20 welded to the fan unit. still,
As shown in FIG. 6, the gap between the tower and the diffusion chamber and the gap between the diffusion chamber and the fan unit provided in advance are filled with a backup material 15 and coked with a silicon sealer material 16 to maintain airtightness.
【0020】本実施例では拡散チャンバ4上に電気品収
納箱21が設けられ、電気品収納箱21にはファン用の
電磁開閉器、枠2に下面から取り付けた照明灯23用安
定器等、定期的にメンテナンスを要する電気部品がまと
めて収納されている。本電気品収納箱21へは、図1
1、図12に示されるように、ファンユニット5、枠
2、操作スイッチ付脚1から引き出されるケーブルが全
て集結され、本電気品収納箱内部で結線される。このよ
うに、本実施例は電気配線作業がまとめて電気品収納箱
内でできるため、生産性も良く、配線作業のコストダウ
ンを図ることができる。更に、電気品を集結しているた
め、メンテナンス性を向上できる。In this embodiment, an electric component storage box 21 is provided on the diffusion chamber 4. The electric component storage box 21 includes an electromagnetic switch for a fan, a stabilizer for an illumination lamp 23 attached to the frame 2 from below, and the like. Electrical components that require regular maintenance are stored together. As shown in FIG.
1. As shown in FIG. 12, the cables drawn out from the fan unit 5, the frame 2, and the leg 1 with the operation switch are all gathered and connected inside the electric appliance storage box. As described above, in this embodiment, since the electric wiring work can be collectively performed in the electric component storage box, the productivity is good and the cost of the wiring work can be reduced. Furthermore, since the electrical components are gathered, the maintainability can be improved.
【0021】配線作業終了後、整流板7を拡散チャンバ
4に下方からネジ止めにて固定する。整流板7は拡散さ
れた清浄空気をラミナーフロー(層流)にする機能を有
する。尚、下方からネジ止めする際、1人作業でも可能
なようにへこみ防止を兼ね備えた引掛け金具が整流板7
に設けられている。After completion of the wiring work, the current plate 7 is fixed to the diffusion chamber 4 by screws from below. The current plate 7 has a function of making the diffused clean air a laminar flow (laminar flow). In addition, when screwing from below, the hook fitting which also has dent prevention so that even one person can work is provided with the rectifying plate 7.
It is provided in.
【0022】最後に隔壁としてのビニルカーテン8を図
2に示すように押え板9、10を使って枠2及び3に固
定し、簡易クリーンルームが完成する。Finally, the vinyl curtain 8 as a partition is fixed to the frames 2 and 3 using the holding plates 9 and 10 as shown in FIG. 2 to complete a simple clean room.
【0023】本実施例では清浄空気供給ユニットの取り
付け方向は下側(室内側)からに限ることなく、清浄空
気供給ユニットのファンユニット5は外周の相対向する
2辺に設けられたフランジ(両耳)により支持されて拡
散チャンバ4に遊嵌されるので、上側(室外側)から取
り付けることもできる。いずれの場合も取り付け後清浄
空気供給ユニットと拡散チャンバの間は気密にシールさ
れる。In this embodiment, the installation direction of the clean air supply unit is not limited to the lower side (inside of the room), and the fan unit 5 of the clean air supply unit is provided with flanges (both sides) provided on two opposite sides of the outer periphery. Since it is supported by the ear) and is loosely fitted in the diffusion chamber 4, it can be attached from above (outdoor side). In any case, the airtight seal is provided between the clean air supply unit and the diffusion chamber after installation.
【0024】上記のように本実施例では簡易クリーンル
ームを、ファンユニット、HEPAフィルタ、拡散チャ
ンバ、整流板、幅方向の横枠、奥行方向の横枠、脚に分
割して、各ユニットの重量を全て1〜2人で持ち上げ可
能なように10〜50kg程度とし、搬入時の運搬作業
を2〜3人で行なえるようにしている。As described above, in this embodiment, the simple clean room is divided into a fan unit, a HEPA filter, a diffusion chamber, a rectifying plate, a horizontal frame in the width direction, a horizontal frame in the depth direction, and legs, and the weight of each unit is reduced. The weight is about 10 to 50 kg so that all can be lifted by one or two persons, so that the carrying work at the time of carrying in can be performed by two or three persons.
【0025】また、天井ユニットを各要素別に分割構造
化したことにより多人数による組立作業を行なう必要が
なく、又、分割寸法も一般建屋のドア(幅800×高2
000mm)で十分搬入可能な寸法にできるので設置場
所が限定されず、搬入組立費が大幅に低減できると共に
顧客ニーズに対応可能な装置にすることができる。Further, since the ceiling unit is divided for each element, it is not necessary to perform an assembling work by a large number of people, and the division size is also a door of a general building (width 800 × height 2).
000 mm) can be set to a size that can be sufficiently carried in, so that the installation place is not limited, and the cost for carrying in and assembling can be greatly reduced, and the device can meet customer needs.
【0026】又、各ユニットは、一般の建屋扉(幅80
0×高2000mm)に通過可能な寸法となるため、将
来のレイアウト変更により移設する場合でも、分解され
たユニットの移動が容易であり、さらにこれらは軽量化
されているので再組立が可能である。Each unit is a general building door (width 80).
(0 × 2000 mm), so that the disassembled units can be easily moved even if they are relocated due to future layout changes, and since they are lighter, they can be reassembled. .
【0027】本発明の第2実施例を図13により説明す
る。本実施例は、第1実施例の空気浄化手段が1モジュ
ールだけ設けられた例である。櫓状の枠体はファンユニ
ット5、拡散チャンバ4からなる空気浄化手段が1台だ
け載置できる寸法に形成される。他の構成は第1実施例
と同様である。A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment is an example in which only one air purification unit of the first embodiment is provided. The turret-shaped frame is formed in such a size that only one air purification means including the fan unit 5 and the diffusion chamber 4 can be placed. Other configurations are the same as in the first embodiment.
【0028】本発明の第3実施例を図14、図15によ
り説明する。本実施例は、第1実施例の空気浄化手段が
3モジュールだけ設けられた例である。櫓状の枠体はフ
ァンユニット5、拡散チャンバ4からなる空気浄化手段
が3台載置できる寸法に形成される。A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. This embodiment is an example in which only three air purification units of the first embodiment are provided. The turret-shaped frame is formed to have a size capable of mounting three air purifying means including the fan unit 5 and the diffusion chamber 4.
【0029】本実施例の場合は、隣合う拡散チャンバ4
をボルト12、ナット14にて締結して連結部をH型鋼
構造としているため、連結部において頑強な強度を得る
ように構成したものである。このため、本実施例によれ
ば、従来製作困難であった幅または奥行寸法が3000
mm以上のものについても頑強な連結構造により製作可
能となり、広いスペースの層流形簡易クリーンルームが
実現できる。他の構成は第1実施例と同様である。In the case of this embodiment, the adjacent diffusion chamber 4
Are fastened by bolts 12 and nuts 14 to form an H-shaped steel connection portion, so that the connection portion has a strong strength. For this reason, according to the present embodiment, the width or depth dimension, which has conventionally been difficult to manufacture, is 3000
mm or more can be manufactured with a robust connection structure, and a laminar flow simple clean room with a large space can be realized. Other configurations are the same as in the first embodiment.
【0030】上記のごとく、以上の実施例によれば、従
来技術にない搬入組立時の作業性の向上、経済性、使い
勝手性の向上を図ることができる。As described above, according to the above embodiment, it is possible to improve the workability, economy, and usability at the time of carrying-in and assembling, which are not available in the prior art.
【0031】以上の実施例において脚1の下部に移動用
の車輪を設けて移動式の層流形簡易クリーンルームとし
てもよく、また、脚1の下部に固定用の座板を設けて固
定式の層流形簡易クリーンルームとしてもよい。In the above embodiment, a movable laminar flow type simple clean room may be provided by providing moving wheels below the leg 1, and a fixed seat plate may be provided below the leg 1 to provide a fixed seat. It may be a laminar flow type simple clean room.
【0032】また、隔壁もビニールカーテンに限ること
はなく、パネル状の合成樹脂板、金属板、またはこれら
の複合材であってもよい。The partition is not limited to a vinyl curtain, but may be a panel-shaped synthetic resin plate, a metal plate, or a composite material thereof.
【0033】[0033]
【発明の効果】本発明によれば、少ない人数で搬入で
き、また搬入経路の制約を受けにくい簡易クリーンルー
ムを得ることができる。更に、経済性、使い勝手を向上
させた簡易クリーンルームを得ることができる。According to the present invention, it is possible to obtain a simple clean room which can be carried in by a small number of people and is hardly restricted by the carrying route. Further, it is possible to obtain a simple clean room with improved economy and usability.
【図1】本発明の第1実施例の外観を示す斜視図FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of a first embodiment of the present invention.
【図2】本実施例の構成を分解して示す斜視図FIG. 2 is an exploded perspective view showing the configuration of the present embodiment.
【図3】本実施例の櫓部の組立手順を示す斜視図FIG. 3 is a perspective view showing an assembling procedure of the tower section of the embodiment.
【図4】本実施例の櫓部外観を示す斜視図FIG. 4 is a perspective view showing the appearance of the tower section of this embodiment.
【図5】本実施例の脚と枠の接続部の構成を分解して示
す斜視図FIG. 5 is an exploded perspective view showing a configuration of a connection portion between a leg and a frame according to the embodiment.
【図6】本実施例の主要部の縦断面図FIG. 6 is a longitudinal sectional view of a main part of the embodiment.
【図7】本実施例のファンユニット取付状態を示す縦断
面図FIG. 7 is a vertical cross-sectional view showing a mounted state of the fan unit of the embodiment.
【図8】従来技術の外観を示す斜視図FIG. 8 is a perspective view showing the appearance of a conventional technique.
【図9】従来技術の構成を分解して示す斜視図FIG. 9 is an exploded perspective view showing a configuration of a conventional technique.
【図10】従来技術の主要部の縦断面図FIG. 10 is a longitudinal sectional view of a main part according to the prior art.
【図11】本実施例の天井部の電気配線引き廻し図FIG. 11 is a drawing of electrical wiring around a ceiling according to the present embodiment.
【図12】本実施例の脚部の電気配線引き廻し図FIG. 12 is a drawing of electrical wiring around the legs according to the present embodiment.
【図13】本発明の第2実施例の構成を分解して示す斜
視図FIG. 13 is an exploded perspective view showing a configuration of a second embodiment of the present invention.
【図14】本発明の第2実施例の平面図FIG. 14 is a plan view of a second embodiment of the present invention.
【図15】本実施例の拡散チャンバ連結状態を示す主要
部の縦断面図FIG. 15 is a vertical cross-sectional view of a main part showing a connected state of the diffusion chamber according to the present embodiment.
1:脚 2:枠 3:枠 4:拡散チャンバ 5:ファ
ンユニット 6:HEPAフィルタ 7:整流板 8:ビニルカーテ
ン 9:カーテン補強 10:カーテン押え 11:脚部補強 12:ボルト
13:埋込ボルト 14:ナット 15:バックアップ材 16:コーキン
グ材 17:天井ユニット 18:脚 19:アングル 2
0:ネジ 21:電気品収納箱 22:ケーブル 23:照明灯1: Leg 2: Frame 3: Frame 4: Diffusion chamber 5: Fan unit 6: HEPA filter 7: Rectifier plate 8: Vinyl curtain 9: Curtain reinforcement 10: Curtain retainer 11: Leg reinforcement 12: Bolt
13: Embedded bolt 14: Nut 15: Backup material 16: Caulking material 17: Ceiling unit 18: Leg 19: Angle 2
0: Screw 21: Electric storage box 22: Cable 23: Light
Claims (1)
された空間に層流で清浄空気を供給する簡易クリーンル
ームにおいて、 互いに分割可能な脚部と横枠部により構成され、前記空
気浄化手段を載置する櫓状の枠体を備え、 前記空気浄化手段は、ファン及びフィルタを有し、清浄
空気を供給する清浄空気の供給ユニットと前記フィルタ
の下流側に接続されて前記清浄空気の供給ユニットを載
置する拡散チャンバとからなり、該拡散チャンバは、前記清浄空気の供給ユニットが挿通
自在に形成された開口部を備え、 前記清浄空気の供給ユニットは、外周の相対向する2辺
に設けられたフランジにより前記開口部に臨んで指示さ
れ、 該拡散チャンバと前記清浄空気の供給ユニットの接続部
及び前記拡散チャンバと前記横枠部の間を気密にシール
したことを特徴とする簡易クリーンルーム。1. A simple clean room having an air purification means on a ceiling and supplying laminar flow of clean air to a space separated by a partition, comprising a leg portion and a horizontal frame portion which can be separated from each other. comprising a tower-shaped frame member for mounting the unit, the air purification unit has a fan and a filter, clean
A clean air supply unit for supplying air and a diffusion chamber connected to the downstream side of the filter for mounting the clean air supply unit, wherein the clean air supply unit is inserted through the diffusion chamber;
The cleaning air supply unit is provided with a freely formed opening, and the two opposite sides of the outer circumference are opposed to each other.
Indicated by the flange provided at the opening.
Is a simplified clean room, characterized in that between the lateral frame portion and the connecting portion and the diffusion chamber of the supply unit of the clean air and the diffusion chamber is hermetically sealed.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11744091A JP3261705B2 (en) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | Simple clean room |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11744091A JP3261705B2 (en) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | Simple clean room |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04347435A JPH04347435A (en) | 1992-12-02 |
JP3261705B2 true JP3261705B2 (en) | 2002-03-04 |
Family
ID=14711707
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11744091A Expired - Lifetime JP3261705B2 (en) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | Simple clean room |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3261705B2 (en) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP3334467B2 (en) * | 1995-12-28 | 2002-10-15 | 株式会社イトーキクレビオ | Draft chamber |
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EP4166288A1 (en) * | 2021-10-13 | 2023-04-19 | Project Management Limited | A prefabricated automated unmanned and gloveless cleanroom processing enclosure |
-
1991
- 1991-05-22 JP JP11744091A patent/JP3261705B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04347435A (en) | 1992-12-02 |
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