JP3260301B2 - Piping structure and piping fittings - Google Patents
Piping structure and piping fittingsInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明が属する技術分野】本発明は、例えば半導体ウエ
ハやLCD基板等の被処理体に対してレジスト液や現像
液等の薬液やガスを供給するために用いられる配管構造
および配管用継手に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piping structure and a piping joint used for supplying a chemical solution such as a resist solution or a developing solution or a gas to an object to be processed such as a semiconductor wafer or an LCD substrate.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体デバイスや液晶表示素子の製造に
おいては、被処理体としての半導体ウエハやにLCD基
板にフォトレジストを塗布し、回路パターンに対応して
フォトレジストを露光し、これを現像処理するという、
いわゆるフォトリソグラフィー技術により回路パターン
が形成される。2. Description of the Related Art In the manufacture of semiconductor devices and liquid crystal display elements, a photoresist is applied to an LCD substrate on a semiconductor wafer or the like as an object to be processed, and the photoresist is exposed in accordance with a circuit pattern and developed. To do
A circuit pattern is formed by a so-called photolithography technique.
【0003】このような塗布・現像処理においては、処
理液として、レジスト液、現像液等の薬液が用いられ
る。また、アドヒージョン処理の際には、液体のHMD
Sをガス化したものが用いられる。In such a coating / developing process, a chemical solution such as a resist solution or a developing solution is used as a processing solution. In addition, during the adhesion process, the liquid HMD
What gasified S is used.
【0004】これら薬液やガスは、配管を通って輸送さ
れているが、これら配管のリーク対策および安全対策の
ため、配管を二重管構造としている。また、薬液を輸送
する場合に、配管中に継手等が介在されていると、オリ
フィスが多く形成されて液の圧力変化が発生するため、
それに伴って処理液中に微細気泡が発生し、例えばデバ
イスの微細化の要請に対応して用いられているi線レジ
スト等を用いる場合に、微細気孔の存在により精度の高
い配線パターンを形成できないおそれがある。したがっ
て、上記二重管の内管には極力継目を形成しないことが
要求される。このため、従来は、外管同士を継手で接続
し、内管はその中を通して内管の継ぎ目を極力少なくし
ている。[0004] These chemicals and gases are transported through pipes, and the pipes have a double pipe structure in order to take measures against leaks and safety in these pipes. Also, when a chemical solution is transported, if a joint or the like is interposed in the piping, a large number of orifices are formed and a change in the pressure of the solution occurs,
As a result, fine bubbles are generated in the processing solution. For example, when an i-line resist used in response to a demand for miniaturization of a device is used, a highly accurate wiring pattern cannot be formed due to the presence of fine pores. There is a risk. Therefore, it is required that the inner pipe of the double pipe has as little seam as possible. For this reason, conventionally, the outer pipes are connected to each other by joints, and the inner pipes pass therethrough to minimize the joints between the inner pipes.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図4に
示すように、外管の継手1の部分は、外管2と外管3と
の継ぎ目において、微小な段差4が生じることがあり、
内管5を挿入する際に、この段差に引っかかり、内管5
を挿入することができなくなるおそれが生じる。However, as shown in FIG. 4, the joint 1 of the outer tube may have a small step 4 at the joint between the outer tube 2 and the outer tube 3,
When the inner tube 5 is inserted, the inner tube 5 is caught by this step.
May not be able to be inserted.
【0006】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであって、二重管構造を前提とし、内管を引っかかり
なく挿入することができる配管構造および配管用継手を
提供することを目的とする。The present invention has been made in view of such circumstances, and has as its object to provide a piping structure and a piping joint that can be inserted without catching an inner pipe, based on a double pipe structure. I do.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、外管先端を対向配置するとともに、その
中に内管を挿入し、外管と内管との二重管を構成し、前
記対向配置された外管の対向端部を覆う継手を有する配
管構造であって、前記継手は、内管挿入方向出口側の第
1の外管の先端が挿入される第1の挿入部と、内管挿入
方向入口側の第2の外管の先端が挿入される第2の挿入
部と、これら挿入部の間に形成され、前記第2の挿入部
から第1の挿入部へ向けて縮径する内面を有するテーパ
部とを有し、前記テーパ部は、その前記第1の挿入部側
の端部が内管の外径と近似した内径を有していることを
特徴とする配管構造を提供する。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention has a structure in which the outer tube tip is disposed to face the inner tube, the inner tube is inserted therein, and a double tube of the outer tube and the inner tube is formed. A piping structure having a joint for covering an opposite end of the outer tube arranged opposite to the first tube, wherein the joint has a first end into which a tip of a first outer tube on an outlet side in an inner tube insertion direction is inserted. An insertion portion, a second insertion portion into which the distal end of the second outer tube on the inlet side in the inner tube insertion direction is inserted, and a second insertion portion formed between the insertion portions, the first insertion portion being connected to the second insertion portion. A tapered portion having an inner surface that decreases in diameter toward the first insertion portion, wherein the end of the tapered portion on the side of the first insertion portion has an inner diameter similar to the outer diameter of the inner tube. To provide a piping structure.
【0008】本発明はまた、外管と内管とからなる二重
管構造の配管において、対向配置された外管の対向端部
を覆って外管同士を接続し、その中に内管を挿入する配
管用継手であって、内管挿入方向出口側の第1の外管の
先端が挿入される第1の挿入部と、内管挿入方向入口側
の第2の外管の先端が挿入される第2の挿入部と、これ
ら挿入部の間に形成され、前記第2の挿入部から第1の
挿入部へ向けて縮径する内面を有するテーパ部とを有
し、前記テーパ部は、その前記第1の挿入部側の端部が
内管の外径と近似した内径を有していることを特徴とす
る配管用継手を提供する。According to the present invention, there is also provided a pipe having a double pipe structure comprising an outer pipe and an inner pipe, wherein the outer pipes are connected to each other so as to cover opposed ends of the opposed outer pipes and to connect the inner pipes therein. A pipe joint to be inserted, wherein a first insertion portion into which a tip of a first outer pipe on an outlet side in an inner tube insertion direction is inserted, and a tip of a second outer tube on an inlet side in an inner tube insertion direction are inserted. A second insertion portion to be formed, and a tapered portion formed between these insertion portions and having an inner surface that reduces in diameter from the second insertion portion toward the first insertion portion. And an end on the first insertion portion side having an inner diameter approximate to the outer diameter of the inner pipe.
【0009】本発明においては、外管同士を接続する継
手が、内管挿入方向入口側の第2の外管の先端が挿入さ
れる第2の挿入部から第1の挿入部へ向けて縮径するテ
ーパ部を有し、このテーパ部において、その第1の挿入
部側の端部が内管の外径と近似した外径を有しているの
で、上流側の第2の挿入部側から挿入された内管の先端
がテーパ部に案内されて第1の挿入部側に向かい、内管
の外径と近似した内径の端部を通過する。このため、内
管が第1の外管に引っかかることなく挿入される。In the present invention, the joint for connecting the outer pipes is shrunk from the second insertion section into which the tip of the second outer pipe on the inlet side in the inner pipe insertion direction is inserted toward the first insertion section. Since the end portion on the side of the first insertion portion has an outer diameter that is close to the outer diameter of the inner tube in the tapered portion, the second insertion portion on the upstream side The distal end of the inner tube inserted from above is guided by the tapered portion toward the first insertion portion, and passes through an end portion having an inner diameter approximate to the outer diameter of the inner tube. For this reason, the inner tube is inserted without being caught by the first outer tube.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明の実施の形態について詳細に説明する。図1は、本発
明の配管構造を有する配管が組み込まれた半導体ウエハ
のレジスト塗布ユニットにおけるレジスト液供給系を示
す図である。この図に示すように、レジスト塗布ユニッ
ト10は、半導体ウエハWを吸着保持するスピンチャッ
ク31を有し、その上方に、ノズルホルダー32が設け
られている。ノズルホルダー32には、レジスト液ノズ
ル33と溶剤ノズル34が取り付けられている。なお、
スピンチャック31に保持された半導体ウエハWはカッ
プ(図示せず)に囲繞されている。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a view showing a resist liquid supply system in a resist coating unit for a semiconductor wafer into which a pipe having a pipe structure of the present invention is incorporated. As shown in this figure, the resist coating unit 10 has a spin chuck 31 for sucking and holding the semiconductor wafer W, and a nozzle holder 32 is provided above the spin chuck 31. A resist solution nozzle 33 and a solvent nozzle 34 are attached to the nozzle holder 32. In addition,
The semiconductor wafer W held by the spin chuck 31 is surrounded by a cup (not shown).
【0011】レジスト液ノズル33にはノズル33内の
液面を検出するための透過型センサー35が設けられて
いる。この透過型センサー35は、図2に示すように、
発光子35aおよび受光子35bを備えており、発光子
35aからノズル33を透過して受光子35bに入射し
た光の光量によりその透過部分の液の有無を検出し、こ
れにより液面検出を行う。The resist liquid nozzle 33 is provided with a transmission sensor 35 for detecting the liquid level in the nozzle 33. As shown in FIG. 2, the transmission type sensor 35
A light-emitting element 35a and a light-receiving element 35b are provided, and the presence or absence of liquid in the transmitted portion is detected based on the amount of light transmitted through the nozzle 33 from the light-emitting element 35a and incident on the light-receiving element 35b, thereby performing liquid level detection. .
【0012】レジスト液供給機構40は、レジスト液供
給配管41を有しており、その一端には前記レジスト液
ノズル33が設けられ、他端はレジスト液容器42内に
挿入されている。レジスト液容器42内にはレジスト液
Lが貯留され、このレジスト容器42は加圧容器43に
収容されている。レジスト液供給配管41には従来のよ
うなポンプ、エアオペレーションバルブ、サックバック
バルブ、フィルター等は設けられていない。The resist solution supply mechanism 40 has a resist solution supply pipe 41, one end of which is provided with the resist solution nozzle 33, and the other end of which is inserted into a resist solution container 42. A resist solution L is stored in the resist solution container 42, and the resist container 42 is housed in a pressurized container 43. The resist liquid supply pipe 41 is not provided with a pump, an air operation valve, a suck-back valve, a filter, and the like as in the related art.
【0013】加圧容器43には配管44の一端が接続さ
れており、配管44の他端は大気開放されている。この
配管44にはエアオペレーションバルブ45が設けられ
ている。配管44のエアオペレーションバルブ45と加
圧容器43との間の部分には配管46が分岐して接続さ
れており、その先端にはN2ガスボンベ47が設けられ
ている。この配管46には、加圧のための圧力を調整す
るレギュレータ48およびエアオペレーションバルブ4
9が設けられている。また、配管46のレギュレータ4
8とエアオペレーションバルブ49との間の部分には配
管50が分岐して接続されており、配管50の他端は配
管44の加圧容器43近傍部分に接続されている。この
配管50にはレギュレータ51が設けられている。One end of a pipe 44 is connected to the pressurized container 43, and the other end of the pipe 44 is open to the atmosphere. The pipe 44 is provided with an air operation valve 45. A pipe 46 is branched and connected to a portion of the pipe 44 between the air operation valve 45 and the pressurized container 43, and an N 2 gas cylinder 47 is provided at an end thereof. A regulator 48 for adjusting pressure for pressurization and an air operation valve 4
9 are provided. The regulator 4 of the pipe 46
A pipe 50 is branched and connected to a portion between the pipe 8 and the air operation valve 49, and the other end of the pipe 50 is connected to a portion of the pipe 44 near the pressurized container 43. The piping 50 is provided with a regulator 51.
【0014】エアオペレーションバルブ45,49およ
びレギュレータ48,51はコントローラ60により制
御される。また、透過型センサー35の受光子35bか
らの出力はコントローラ60に入力される。そして、エ
アオペレーションバルブ45を閉じエアオペレーション
バルブ49を開にすることにより、加圧容器43内にN
2ガスボンベ47のガス圧が印加され、そのガス圧によ
り容器42内のレジスト液Lがレジスト液供給配管41
を圧送され、ノズル33から吐出される。また、エアオ
ペレーションバルブ45を開にしてエアオペレーション
バルブ49を閉にすることにより、レジスト液吐出終了
後にノズル33先端のレジスト液をサックバックするこ
とができる。さらに、これらバルブを両方とも閉にする
ことにより、レジスト液ノズル33内のレジスト液面が
停止する。The air operation valves 45 and 49 and the regulators 48 and 51 are controlled by a controller 60. The output from the light receiving element 35 b of the transmission sensor 35 is input to the controller 60. Then, by closing the air operation valve 45 and opening the air operation valve 49, the N
(2) The gas pressure of the gas cylinder 47 is applied, and the resist pressure L in the container 42 is changed by the gas pressure.
And discharged from the nozzle 33. By opening the air operation valve 45 and closing the air operation valve 49, the resist liquid at the tip of the nozzle 33 can be sucked back after the discharge of the resist liquid. Further, by closing both of these valves, the resist liquid level in the resist liquid nozzle 33 stops.
【0015】一方、溶剤供給機構70は、溶剤供給配管
71を有しており、その一端には前記溶剤ノズル34が
設けられている。図示は省略しているが、この溶剤供給
機構70は基本的にレジスト液供給機構40と同様の構
成を有している。On the other hand, the solvent supply mechanism 70 has a solvent supply pipe 71, and the solvent nozzle 34 is provided at one end thereof. Although not shown, the solvent supply mechanism 70 has basically the same configuration as the resist liquid supply mechanism 40.
【0016】上記レジスト液供給機構40において、レ
ジスト液をノズル33から吐出させて、レジスト液を半
導体ウエハWに供給する場合には、まず、エアオペレー
ションバルブ45を閉にし、エアオペレーションバルブ
49を開にして、N2ガスボンベ47から配管46およ
び44を通って、加圧容器43内にN2ガスを供給す
る。このガス圧により、レジスト液容器42内のレジス
ト液Lが配管41を通ってその先端に設けられたノズル
33から吐出され、半導体ウエハWに供給される。この
場合に、コントローラ60がレギュレータ48をコント
ロールし、加圧レベルが適切な値になるように調整す
る。このようにして加圧レベルを調整することにより、
所定の圧力が容器42内のレジスト液Lに印加され、所
望の量のレジスト液が所定時間、例えば1〜5secの間
吐出される。In the resist liquid supply mechanism 40, when the resist liquid is discharged from the nozzle 33 and the resist liquid is supplied to the semiconductor wafer W, first, the air operation valve 45 is closed and the air operation valve 49 is opened. Then, the N 2 gas is supplied from the N 2 gas cylinder 47 into the pressurized container 43 through the pipes 46 and 44. Due to this gas pressure, the resist solution L in the resist solution container 42 is discharged from the nozzle 33 provided at the tip through the pipe 41 and supplied to the semiconductor wafer W. In this case, the controller 60 controls the regulator 48 to adjust the pressurization level to an appropriate value. By adjusting the pressure level in this way,
A predetermined pressure is applied to the resist liquid L in the container 42, and a desired amount of the resist liquid is discharged for a predetermined time, for example, 1 to 5 seconds.
【0017】所定量のレジスト液を吐出した時点でエア
オペレーションバルブ49を閉じレジスト液の吐出を停
止する。そして、それと同時にエアオペレーションバル
ブ45を開にして配管44を大気開放する。これによ
り、加圧容器43内が減圧され、配管41内のレジスト
液が容器42に向けて引き戻される。このようなサック
バック機能により、レジスト液吐出終了後、配管に残存
したレジスト液が滴下されることが防止される。この場
合に、透過型センサー35により、ノズル33内の液面
がセンサーからの光のレベよりも先端にあることが検出
されている際にはエアオペレーションバルブ35は開の
ままにし、液面が光のレベルよりも戻されたことを検出
した時点でエアオペレーションバルブ45を閉にする。
これによりノズル33内の液面が停止する。ノズル33
内の液面位置の微調整は、バルブ45および49が閉じ
られた状態で、レギュレータ51を調整し、わずかな加
圧力を加圧容器43内に印加することにより行う。When a predetermined amount of the resist solution is discharged, the air operation valve 49 is closed to stop the discharge of the resist solution. At the same time, the air operation valve 45 is opened to open the pipe 44 to the atmosphere. Thus, the pressure in the pressurized container 43 is reduced, and the resist solution in the pipe 41 is drawn back toward the container 42. Such a suck-back function prevents the resist liquid remaining on the piping from dropping after the resist liquid discharge is completed. In this case, when it is detected by the transmission sensor 35 that the liquid level in the nozzle 33 is at the tip of the level of light from the sensor, the air operation valve 35 is kept open, and the liquid level is The air operation valve 45 is closed when it is detected that the light is returned from the light level.
Thereby, the liquid level in the nozzle 33 stops. Nozzle 33
Fine adjustment of the liquid level inside is performed by adjusting the regulator 51 with the valves 45 and 49 closed and applying a slight pressure to the pressurized container 43.
【0018】このようにして1回のレジスト液の吐出が
終了した後、次のレジスト液吐出に備える。そして、同
様の動作を繰り返すことにより、所定枚の半導体ウエハ
Wのレジスト塗布を行う。After one discharge of the resist liquid has been completed in this way, preparations are made for the next discharge of the resist liquid. By repeating the same operation, a predetermined number of semiconductor wafers W are coated with a resist.
【0019】次に、レジスト液配管41について詳細に
説明する。レジスト液配管41は、安全対策等のため、
図3に示すように二重構造を有している。そして、上述
したように、レジスト液配管41に、従来のようなエア
オペレーションバルブ、サックバックバルブ、ポンプ、
フィルター等を介在させず、よどみなくレジスト液を通
流させるため、二重管の内管は極力継ぎ目なく設置する
ことが望まれ、したがって、必要な継手は外管のみに設
けられる。Next, the resist liquid pipe 41 will be described in detail. The resist liquid pipe 41 is provided for safety measures and the like.
As shown in FIG. 3, it has a double structure. Then, as described above, a conventional air operation valve, suck back valve, pump,
In order to allow the resist solution to flow without intervening a filter or the like, it is desired that the inner tube of the double tube be installed as seamlessly as possible, and therefore, the necessary joint is provided only in the outer tube.
【0020】この場合に、必要に応じて外管同士を継手
で接続し、その中に内管を通すこととなるが、従来は図
4に示したように、内管が外管の継ぎ目の段差に引っか
かり、内管を通すことができなくなるおそれが生じる。In this case, if necessary, the outer tubes are connected to each other by a joint, and the inner tube is passed through the joint. Conventionally, as shown in FIG. There is a possibility that the inner pipe may be caught by the step and cannot pass through.
【0021】本実施形態では、レジスト液配管41の外
管の継手部分を図3のように構成することによりこのよ
うな問題を解消している。図3において、継手11は、
外管21aが挿入される第1の挿入部12と、その反対
側に設けられ、外管21bが挿入される第2の挿入部1
3とを有しており、これら挿入部12,13に挿入され
た外管21aと21bとは直線状に接続される。内管2
2は、外管21b側から矢印Aに示す方向に沿って外管
の中に挿入される。したがって、外管21aが挿入方向
の出口側(下流側)、外管21bが入口側(上流側)と
なる。挿入部12と挿入部13との間には、挿入部13
から挿入部12に向けて縮径する内面を有するテーパ部
14が形成されている。このテーパ部14は、挿入部1
2側の端部14aは、内管22の外径と近似した大きさ
の内径を有している。このようにテーパ部14が形成さ
れているため、第1の挿入部12とテーパ部14との間
には外管と内管との径差に相当する段差15が形成され
ている。継手11の両外側において外管21aおよび2
1bは、それぞれはナット23aおよび23bで締結さ
れている。In this embodiment, such a problem is solved by configuring the joint portion of the outer pipe of the resist liquid pipe 41 as shown in FIG. In FIG. 3, the joint 11 is
A first insertion portion 12 into which the outer tube 21a is inserted, and a second insertion portion 1 provided on the opposite side and into which the outer tube 21b is inserted.
The outer tubes 21a and 21b inserted into the insertion portions 12 and 13 are connected linearly. Inner tube 2
2 is inserted into the outer tube from the outer tube 21b side along the direction shown by arrow A. Therefore, the outer tube 21a is on the outlet side (downstream side) in the insertion direction, and the outer tube 21b is on the inlet side (upstream side). An insertion portion 13 is provided between the insertion portion 12 and the insertion portion 13.
A tapered portion 14 having an inner surface whose diameter decreases toward the insertion portion 12 is formed. The tapered portion 14 is
The end 14a on the second side has an inner diameter approximately equal to the outer diameter of the inner tube 22. Since the tapered portion 14 is formed as described above, a step 15 corresponding to a diameter difference between the outer tube and the inner tube is formed between the first insertion portion 12 and the tapered portion 14. On both outer sides of the joint 11, outer tubes 21a and 2a
1b is fastened by nuts 23a and 23b, respectively.
【0022】このような継手11で外管同士を接続した
後、内管22を外管に挿入する際には、たとえ内管22
の先端に外側への突出部24が存在しても、その先端部
が継手11のテーパ部に案内されて進み、その第1の挿
入部12側の端部14aが内管22の外径と近似した外
径を有しているので、外管21aの先端の段部25に引
っかかることなく内管22が挿入される。After the outer pipes are connected to each other with the joint 11 as described above, when the inner pipe 22 is inserted into the outer pipe, for example,
Even if there is an outwardly projecting portion 24 at the tip of the joint, the tip portion is guided by the tapered portion of the joint 11 and proceeds, and the end portion 14a on the first insertion portion 12 side has the outer diameter of the inner tube 22 and Since the outer tube has an approximate outer diameter, the inner tube 22 is inserted without being caught by the step 25 at the tip of the outer tube 21a.
【0023】なお、本発明は上記実施の形態に限定され
ず、種々の形態で使用することができる。例えば、上記
実施の形態では、エアオペレーションバルブ、サックバ
ックバルブ、ポンプ、フィルター等を介在させない配管
41について本発明を適用したが、必ずしもこれに限ら
ず、これらが介在している場合にも適用することができ
る。また、上記実施の形態では、本発明をレジスト液配
管に適用した例について示したが、これに限らず、シン
ナーやHMDSD等、リーク対策や安全対策が要求され
る液体やガスを輸送する二重管に適用することができ
る。The present invention is not limited to the above embodiment, but can be used in various forms. For example, in the above-described embodiment, the present invention is applied to the pipe 41 that does not interpose an air operation valve, a suck-back valve, a pump, a filter, and the like. be able to. Further, in the above-described embodiment, an example in which the present invention is applied to the resist solution piping is shown. However, the present invention is not limited to this. Can be applied to tubes.
【0024】[0024]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
外管同士を接続する継手が、内管挿入方向入口側の第2
の外管の先端が挿入される第2の挿入部から第1の挿入
部へ向けて縮径するテーパ部を有し、このテーパ部にお
いて、その第1の挿入部側の端部が内管の外径と近似し
た外径を有しているので、上流側の第2の挿入部側から
挿入された内管の先端がテーパ部に案内されて第1の挿
入部側に向かい、内管の外径と近似した内径の端部を通
過し、内管を第1の外管に引っかかることなく挿入する
ことができる。As described above, according to the present invention,
The joint connecting the outer pipes is the second pipe on the inlet side in the insertion direction of the inner pipe.
Of the outer tube has a tapered portion that decreases in diameter from the second insertion portion into which the distal end is inserted toward the first insertion portion. In this tapered portion, the end on the first insertion portion side is an inner tube. Since the outer diameter of the inner pipe is approximately the same as the outer diameter of the inner pipe, the tip of the inner pipe inserted from the second insertion section on the upstream side is guided by the tapered section toward the first insertion section, and The inner pipe can be inserted without passing through the end of the inner pipe that approximates the outer diameter of the first outer pipe without being caught by the first outer pipe.
【図1】本発明の配管構造を有する配管が組み込まれた
レジスト塗布ユニットにおけるレジスト液供給系を示す
図。FIG. 1 is a view showing a resist liquid supply system in a resist coating unit in which a pipe having a pipe structure of the present invention is incorporated.
【図2】レジスト液ノズル内の液面を検出する状態を説
明する図。FIG. 2 is a diagram illustrating a state of detecting a liquid level in a resist liquid nozzle.
【図3】本発明の配管構造における継手部分を示す図。FIG. 3 is a view showing a joint portion in the piping structure of the present invention.
【図4】従来の配管構造における継手部分を示す図。FIG. 4 is a view showing a joint part in a conventional piping structure.
10……レジスト塗布ユニット 11……継手 12……第1の挿入部 13……第2の挿入部 14……テーパ部 21a,21b……外管 22……内管 24……突出部 25……段部 41……レジスト液配管 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Resist coating unit 11 ... Coupling 12 ... First insertion part 13 ... Second insertion part 14 ... Taper part 21a, 21b ... Outer tube 22 ... Inner tube 24 ... Protrusion 25 ... Step 41 ... Resist liquid piping
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F16L 1/00 H01L 21/027 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) F16L 1/00 H01L 21/027
Claims (2)
中に内管を挿入し、外管と内管との二重管を構成し、前
記対向配置された外管の対向端部を覆う継手を有する配
管構造であって、 前記継手は、内管挿入方向出口側の第1の外管の先端が
挿入される第1の挿入部と、内管挿入方向入口側の第2
の外管の先端が挿入される第2の挿入部と、これら挿入
部の間に形成され、前記第2の挿入部から第1の挿入部
へ向けて縮径する内面を有するテーパ部とを有し、前記
テーパ部は、その前記第1の挿入部側の端部が内管の外
径と近似した内径を有していることを特徴とする配管構
造。1. A front end of an outer tube is arranged oppositely, and an inner tube is inserted therein to constitute a double tube of an outer tube and an inner tube, and covers an opposite end of the opposed outer tube. A pipe structure having a joint, wherein the joint includes a first insertion portion into which a tip of a first outer tube on an outlet side in an inner tube insertion direction is inserted, and a second insertion portion on an inlet side in an inner tube insertion direction.
A second insertion portion into which the distal end of the outer tube is inserted, and a tapered portion formed between these insertion portions and having an inner surface that decreases in diameter from the second insertion portion toward the first insertion portion. The pipe structure, wherein the tapered portion has an inner diameter approximate to an outer diameter of an inner tube at an end of the tapered portion on the first insertion portion side.
において、対向配置された外管の対向端部を覆って外管
同士を接続し、その中に内管を挿入する配管用継手であ
って、 内管挿入方向出口側の第1の外管の先端が挿入される第
1の挿入部と、内管挿入方向入口側の第2の外管の先端
が挿入される第2の挿入部と、これら挿入部の間に形成
され、前記第2の挿入部から第1の挿入部へ向けて縮径
する内面を有するテーパ部とを有し、前記テーパ部は、
その前記第1の挿入部側の端部が内管の外径と近似した
内径を有していることを特徴とする配管用継手。2. A pipe having a double pipe structure comprising an outer pipe and an inner pipe, wherein the outer pipes are connected to each other so as to cover opposed ends of the opposed outer pipes, and the inner pipe is inserted therein. A first insertion part into which the tip of the first outer pipe on the outlet side in the inner tube insertion direction is inserted, and a first insertion part into which the tip of the second outer pipe on the inlet side in the inner pipe insertion direction is inserted. 2, and a tapered portion formed between the inserted portions and having an inner surface that reduces in diameter from the second inserted portion to the first inserted portion, wherein the tapered portion includes:
The end for the first insertion portion has an inner diameter that is close to the outer diameter of the inner pipe.
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JP19337697A JP3260301B2 (en) | 1997-07-04 | 1997-07-04 | Piping structure and piping fittings |
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JPH1122859A JPH1122859A (en) | 1999-01-26 |
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- 1997-07-04 JP JP19337697A patent/JP3260301B2/en not_active Expired - Fee Related
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