JP3243317B2 - Probe pin mounting device and replacement device - Google Patents

Probe pin mounting device and replacement device

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JP3243317B2
JP3243317B2 JP02365793A JP2365793A JP3243317B2 JP 3243317 B2 JP3243317 B2 JP 3243317B2 JP 02365793 A JP02365793 A JP 02365793A JP 2365793 A JP2365793 A JP 2365793A JP 3243317 B2 JP3243317 B2 JP 3243317B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、回路基板検査機のプロ
ーブピン取付装置及び交換装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe pin mounting device and a replacement device for a circuit board inspection machine.

【0002】[0002]

【従来の技術】回路基板のプリント配線の断線や短絡、
回路基板に実装された部品の種類や性能等の各種検査を
するために、プローブピンを測定部位に接触させて検査
する検査機がある。この検査機では、回路基板に合わせ
てプローブピンを固定した専用の治具(ピンボード)を
用いる他に、プローブピンをX−Yユニット及びZ軸ユ
ニットにより移動させて行うものもある。
2. Description of the Related Art Disconnection or short circuit of printed wiring on a circuit board,
2. Description of the Related Art In order to perform various inspections such as the type and performance of components mounted on a circuit board, there is an inspection machine that performs inspection by bringing a probe pin into contact with a measurement site. In this inspection machine, besides using a dedicated jig (pin board) in which probe pins are fixed in accordance with a circuit board, there is also an inspection apparatus in which probe pins are moved by an XY unit and a Z-axis unit.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】前記移動式のもので
は、被測定基板毎に専用のピンボードを作る必要が無
く、しかもZ軸ユニットを介してプローブピンをZ軸に
対し傾斜させて取り付けることにより、測定部位に斜め
に接触することができ、通常のピンボードでは測定が困
難な高密度実装基板に対しても測定が可能になるという
利点がある。反面、通常のピンボードのプローブピンに
比べて、1本のプローブピンの使用回数が格段に多くな
るため、プローブピンの先端の消耗が激しく、プローブ
ピンの交換が頻繁になる。また、被測定物の違いによ
り、先端形状の異なるプローブピン、例えばチップ部品
用プローブピンやQFP(クォターフラットパッケー
ジ)用プローブピン等を用いる場合には、その都度交換
する必要がある。これらの場合には、オペレータが取付
ネジを緩めてプローブピンの交換を行うため、作業能率
が低下する。
In the movable type, there is no need to make a dedicated pin board for each substrate to be measured, and the probe pins are mounted to be inclined with respect to the Z axis via the Z axis unit. This makes it possible to make an oblique contact with the measurement site, and has the advantage that measurement can be performed even on a high-density mounting substrate, which is difficult to measure with a normal pin board. On the other hand, the number of times one probe pin is used is much greater than that of a probe pin on a normal pin board, so that the tip of the probe pin is greatly consumed and the probe pin is frequently replaced. In addition, when a probe pin having a different tip shape, such as a probe pin for a chip component or a probe pin for a QFP (Quarter Flat Package), is used depending on the difference between the objects to be measured, it is necessary to replace the probe pin each time. In these cases, since the operator loosens the mounting screws and replaces the probe pins, work efficiency is reduced.

【0004】本発明は上記課題を解決するためのもので
あり、プローブピンを簡単に交換することができるよう
にした回路基板検査機のプローブピン取付装置を提供す
ることを目的とする。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a probe pin mounting device for a circuit board inspection machine which can easily replace a probe pin.

【0005】また、本発明は、複数本のプローブピンを
自動的に交換することができるようにした回路基板検査
機のプローブピン交換装置を提供することを目的とす
る。
It is another object of the present invention to provide a probe pin exchanging apparatus for a circuit board inspection machine, which is capable of automatically exchanging a plurality of probe pins.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の発明は、Z軸ユニットとプローブピ
ンとの間にチャックユニットを設けて、このチャックユ
ニットによりプローブピンをZ軸ユニットに取り付け、
プローブピンには、その挿入軸部に、周方向にロック溝
を形成し、チャックユニットは、プローブピンの挿入軸
部が挿入される筒状のコレット本体と、コレット本体を
Z軸ユニットに固定する取付ベースと、コレット本体の
先端部の外周に形成した先端に向かうに従い太くなるテ
ーパー面と、このテーパー面に軸方向に沿って形成した
複数条の割り溝と、割り溝で分割され、外側に開くよう
に付勢された複数個の保持爪と、保持爪の先端内側に形
成され、前記ロック溝に係止する係止部と、コレット本
体の保持爪部分に軸方向で移動自在に設けたロックスリ
ーブと、ロックスリーブの内周に形成され先端に向かう
に従い開くようになるテーパー面と、ロックスリーブを
コレット本体の保持爪上で先端側に付勢して、ロックス
リーブのテーパー面により保持爪を内側に押圧する付勢
手段とから構成したものである。
According to the first aspect of the present invention, a chuck unit is provided between a Z-axis unit and a probe pin, and the probe pin is connected to the Z-axis unit by the chuck unit. Attached to
The probe pin has a lock groove formed in the insertion shaft portion in the circumferential direction, and the chuck unit fixes the cylindrical collet body into which the insertion shaft portion of the probe pin is inserted, and the collet body to the Z-axis unit. The mounting base, a tapered surface that becomes thicker toward the tip formed on the outer periphery of the tip portion of the collet body, a plurality of split grooves formed along the axial direction on the tapered surface, and divided by split grooves, A plurality of holding claws urged to open, a locking portion formed inside the distal end of the holding claw and locked in the lock groove, and a holding claw portion of the collet body movably provided in the axial direction. A lock sleeve, a tapered surface formed on the inner periphery of the lock sleeve and opened toward the distal end, and a bias of the lock sleeve toward the distal end on the holding claw of the collet body, thereby tapering the lock sleeve. Those constructed from an urging means for pressing the holding claw inward by.

【0007】また、請求項2記載の発明は、チャックユ
ニットのコレット本体にプローブピンと電気的に接触す
るコネクタ本体を備え、このコネクタ本体にプローブピ
ンを排出する方向に付勢するバネ手段を設けて、プロー
ブピンの排出を容易にしたものである。
[0007] The invention according to claim 2 is a chuck chuck.
Make electrical contact with the probe pins on the knit collet body
A connector body that, by providing a spring means for urging in a direction to discharge the probe pins in the connector body, in which to facilitate the discharge of the probe pins.

【0008】また、請求項3記載の発明は、ロックスリ
ーブの移動をガイドするガイドプレートを取付ベースに
設けて、プローブピンの位置決め精度を向上するように
したものである。
According to a third aspect of the present invention, a guide plate for guiding the movement of the lock sleeve is provided on the mounting base to improve the positioning accuracy of the probe pins.

【0009】また、請求項4記載の発明は、請求項1又
は2又は3記載の回路基板検査機のプローブピン取付装
置を用いたプローブピンの交換装置において、前記プロ
ーブピンが先端から挿入される収納穴を有するプローブ
ホルダと、このプローブホルダをプロープピンの挿入向
きを合わせて複数個取り付けたホルダ台と、ホルダ台を
プローブピンの軸方向で移動させる第1の移動部と、前
記ロックスリーブに係合してこれをロック解除位置にす
るチャック解除部材と、このチャック解除部材をプロー
ブピンの軸方向で移動させる第2の移動部と、第1及び
第2の移動部を作動させてプローブピンを交換するコン
トローラとを設けて、プローブピンの交換を自動化する
ようにしたものである。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an apparatus for exchanging probe pins using the probe pin mounting device of the circuit board inspection device according to the first or second or third aspect, wherein the probe pins are inserted from the tip. A probe holder having a storage hole, a holder base on which a plurality of probe holders are mounted with the insertion direction of the probe pin aligned, a first moving unit for moving the holder base in the axial direction of the probe pin, and the lock sleeve. A chuck release member for bringing the lock member into the unlock position, a second moving portion for moving the chuck release member in the axial direction of the probe pin, and operating the first and second moving portions to move the probe pin. A replacement controller is provided to automate the replacement of the probe pins.

【0010】また、請求項5記載の発明は、請求項4記
載のプローブピンの交換装置において、プローブピンの
交換にあたって、前記コントローラは、前記可動部を制
御して収納すべきプローブホルダの位置にチャックユニ
ットを合わせ、第1の移動部を前進させホルダ台を上昇
させてプローブピンをプローブホルダの収納穴内に挿入
させた後に、第2の移動部を前進させチャック解除部材
を上昇させてチャックユニットからプローブピンを外
し、次に第1及び第2の移動部を順に後退させて、プロ
ーブ台及びチャック解除部材を下降させ、この後、使用
するプローブピンが収納されたプローブホルダの位置に
チャックユニットを合わせ、第2の移動部を前進させチ
ャック解除部材を上昇させてチャックユニットをプロー
ブピンの挿入可能状態にした後に、第1の移動部を前進
させてチャックユニットの収納穴にプローブピンを挿入
し、次に、第2の移動部を後退させてチャック解除部材
を下降させた後に、第1の移動部を後退させてホルダ台
を下降させるように構成されている。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the probe pin changing device according to the fourth aspect , wherein
Upon replacement, the controller controls the movable part.
After the chuck unit is aligned with the position of the probe holder to be controlled and stored, the first moving unit is advanced and the holder base is raised to insert the probe pin into the storage hole of the probe holder , and then the second moving unit Is advanced to raise the chuck release member to remove the probe pin from the chuck unit, and then the first and second moving parts are sequentially retracted to lower the probe table and the chuck release member, and thereafter, the probe to be used. Align the chuck unit with the position of the probe holder in which the pin is stored, advance the second moving unit, raise the chuck release member, and allow the chuck unit to insert the probe pin, and then advance the first moving unit. Then, insert the probe pin into the storage hole of the chuck unit, and then, after lowering the chuck release member by retracting the second moving unit, Retracting the first moving unit is configured to lower the holder base.

【0011】[0011]

【作用】チャックユニットからプローブピンを外す場合
には、ロックスリーブを上方に持ち上げる。これによ
り、保持爪が開き、保持爪の係止部とプローブピンのロ
ック溝との係止が解除され、プローブピンは抜け落ち
る。プローブピンの取り付け時には、ロックスリーブを
持ち上げた状態で、コレット本体内にプローブピンの挿
入軸部を挿入する。この後、ロックスリーブを離すと、
ロックスリーブは下方に付勢され、ロックスリーブのテ
ーパー面でコレット本体の保持爪が内側に押されるた
め、保持爪の係止部とプローブピンのロック溝とが係止
され、チャックユニットにプローブピンが固定される。
When removing the probe pin from the chuck unit, the lock sleeve is lifted upward. As a result, the holding claw is opened, the locking between the locking portion of the holding claw and the lock groove of the probe pin is released, and the probe pin falls off. When mounting the probe pin, the insertion shaft portion of the probe pin is inserted into the collet body with the lock sleeve raised. After that, when you release the lock sleeve,
The lock sleeve is urged downward, and the holding claws of the collet body are pressed inward by the tapered surface of the lock sleeve. Is fixed.

【0012】上記チャックユニットを用いたプローブピ
ンの自動交換は次のように行われる。まず、ホルダ台が
上昇してプローブピンをプローブホルダの収納穴に挿入
する。チャック解除部材が上昇してロックスリーブを上
方に持ち上げ、チャックユニットからプローブピンを外
す。ホルダ台及びチャック解除部材が下降して、外した
プローブピンをチャックユニットから離す。次に使用す
るプローブピンが収納されたプローブホルダの位置にチ
ャックユニットが合わせられる。チャック解除部材が上
昇してロックスリーブを上方に持ち上げて、ロックを解
除し、プローブピンの挿入待機状態にする。ホルダ台が
上昇してチャックユニットのコレット本体内にプローブ
ピンを挿入する。チャック解除部材が下降すると、ロッ
クスリーブが下方に付勢され、ロックスリーブのテーパ
ー面により保持爪が内側に押されるため、チャックユニ
ットはプローブピンのロック状態になる。この後、ホル
ダ台が下降してチャックユニットから離れる。このよう
に、ホルダ台とチャック解除部材との連動により自動的
にプローブピンの交換が行われる。
The automatic replacement of the probe pins using the chuck unit is performed as follows. First, the holder base is raised to insert the probe pins into the storage holes of the probe holder. The chuck releasing member rises to lift the lock sleeve upward, and removes the probe pin from the chuck unit. The holder base and the chuck release member are lowered to separate the removed probe pin from the chuck unit. Next, the chuck unit is adjusted to the position of the probe holder in which the probe pins to be used are stored. The chuck releasing member is lifted to lift the lock sleeve upward to release the lock, and wait for insertion of the probe pin. The holder base rises to insert the probe pin into the collet body of the chuck unit. When the chuck release member is lowered, the lock sleeve is urged downward, and the holding claw is pushed inward by the tapered surface of the lock sleeve, so that the chuck unit is in the locked state of the probe pin. Thereafter, the holder base descends and separates from the chuck unit. As described above, the probe pins are automatically exchanged by the interlocking of the holder base and the chuck releasing member.

【0013】[0013]

【実施例】図1ないし図3はプローブピン10とこれを
着脱自在に保持するチャックユニット11とを示すもの
である。図1に示すように、プローブピン10には、周
方向でロック溝12が形成されており、これにチャック
ユニット11の保持爪13の係止部14(図3参照)が
係止することで、プローブピン10をチャックユニット
11内に固定する。また、プローブピン10の上部の挿
入軸部15にはその周面の一部に軸方向に沿って回動規
制溝16が形成されており、これにはチャックユニット
11の回動規制ピン17が入り込み、プローブピン10
の回転を規制する。
1 to 3 show a probe pin 10 and a chuck unit 11 for detachably holding the same. As shown in FIG. 1, a lock groove 12 is formed in the probe pin 10 in the circumferential direction, and a locking portion 14 (see FIG. 3) of the holding claw 13 of the chuck unit 11 is locked in this. Then, the probe pins 10 are fixed in the chuck unit 11. A rotation restricting groove 16 is formed in a part of a peripheral surface of the insertion shaft portion 15 above the probe pin 10 along an axial direction, and a rotation restricting pin 17 of the chuck unit 11 is formed therein. Entry, probe pin 10
Regulate the rotation of

【0014】チャックユニット11は、大きく分けて、
取付ベース21、回動規制ブラケット22、コレット本
体23、ロックスリーブ24、コイルバネ25、ターミ
ナルコネクタ26から構成されている。
The chuck unit 11 is roughly divided into
It comprises a mounting base 21, a rotation restricting bracket 22, a collet body 23, a lock sleeve 24, a coil spring 25, and a terminal connector 26.

【0015】取付ベース21は、鉛直方向で配置される
矩形の垂直板21aと、これの中央部に直角に取り付け
られている水平板21bとからT字形状に構成されてい
る。水平板21bの中央には、コレット本体23の保持
孔30が形成されている。保持孔30には切欠き31が
形成されており、これにより水平板21bが保持ブラケ
ット32となるように分離される。保持ブラケット32
には固定ネジ34が取り付けられ、これはコレット本体
23の上部を保持ブラケット32により締めつけ固定す
る。
The mounting base 21 is formed in a T-shape by a rectangular vertical plate 21a arranged in the vertical direction and a horizontal plate 21b mounted at a right angle to the center of the rectangular vertical plate 21a. The holding hole 30 of the collet main body 23 is formed in the center of the horizontal plate 21b. A notch 31 is formed in the holding hole 30, whereby the horizontal plate 21 b is separated so as to be a holding bracket 32. Holding bracket 32
A fixing screw 34 is attached to the collet body 23, and the upper part of the collet body 23 is fastened and fixed by the holding bracket 32.

【0016】コレット本体23は筒状に構成されてお
り、その先端部の外周は、先端に向かうに従い太くなる
テーパー面35が形成されている。このテーパー面35
には、コレット本体51の軸方向に沿って4個の割り溝
36が形成されており、この割り溝36により、テーパ
ー面部は4個の保持爪13に分割されている。保持爪1
3の上側には薄肉部38が設けられており、これのバネ
性により保持爪13が外側に開くように構成されてい
る。
The collet main body 23 is formed in a cylindrical shape, and a tapered surface 35 is formed on the outer periphery of the distal end portion, the taper surface 35 increasing in thickness toward the distal end. This tapered surface 35
Are formed with four split grooves 36 along the axial direction of the collet main body 51, and the tapered surface portion is divided into four holding claws 13 by the split grooves 36. Holding claw 1
A thin portion 38 is provided on the upper side of 3, and the holding claw 13 is configured to open outward due to its spring property.

【0017】保持爪13の先端内側には係止部14が内
側に向かって突出して形成されている。この係止部14
は、プローブピン10のロック溝12に入り込み、プロ
ーブピン10の軸方向での移動を規制する。また、保持
爪13の先端外側には、ロックスリーブ24の脱落を阻
止するフランジ39が形成されている。
At the inside of the tip of the holding claw 13, a locking portion 14 is formed to protrude inward. This locking part 14
Penetrates into the lock groove 12 of the probe pin 10 to restrict the movement of the probe pin 10 in the axial direction. Further, a flange 39 for preventing the lock sleeve 24 from dropping is formed on the outside of the tip of the holding claw 13.

【0018】ロックスリーブ24は、コレット本体23
の保持爪13部分に軸方向で移動自在に設けられてお
り、コイルバネ25により先端側すなわち下方に付勢さ
れている。ロックスリーブ24の内周面は、先端に向か
うに従い開くようになるテーパー面45とされており、
このテーパー面45の傾斜角度はコレット本体23の保
持爪部分のテーパー面35のそれとほぼ同じにされてい
る。これにより、コイルバネ25によりロックスリーブ
24がコレット本体23の保持爪13上で先端側に移動
すると、テーパー面45,35により保持爪13がすぼ
まるようになり、係止部14がプローブピン10のロッ
ク溝12に入り込み、プローブピン10をしっかりと保
持することができる。
The lock sleeve 24 is provided on the collet main body 23.
Are provided movably in the axial direction on the holding claw 13 portion, and are urged downward by the coil spring 25, that is, downward. The inner peripheral surface of the lock sleeve 24 is a tapered surface 45 that opens toward the tip,
The inclination angle of the tapered surface 45 is substantially the same as that of the tapered surface 35 of the holding claw portion of the collet main body 23. As a result, when the lock sleeve 24 moves to the distal end side on the holding claws 13 of the collet body 23 by the coil spring 25, the holding claws 13 are tapered by the tapered surfaces 45 and 35, and the locking portions 14 And the probe pin 10 can be firmly held.

【0019】コレット本体23には上側からターミナル
コネクタ26が嵌め込まれる。ターミナルコネクタ26
とコレット本体23の上端部には、その周面の一部が切
り欠かれており、一対の面取り部26a,23aが形成
されている。面取り部26a,23aは互いに平行な平
面からなり、これらが回動規制ブラケット22の回動規
制面22aに当接することで、コレット本体23及びタ
ーミナルコネクタ26が取付ベース21に回動不能に固
定される。回動規制ブラケット22は、2個の取付ネジ
47により、取付ベース21の水平板21bに固定され
るもので、コネクタ本体52を上方に突出させるための
貫通孔22bを備えている。
A terminal connector 26 is fitted into the collet main body 23 from above. Terminal connector 26
At the upper end of the collet main body 23, a part of its peripheral surface is cut out, and a pair of chamfers 26a and 23a are formed. The chamfered portions 26a and 23a are planes parallel to each other, and when they come into contact with the rotation restricting surface 22a of the rotation restricting bracket 22, the collet main body 23 and the terminal connector 26 are non-rotatably fixed to the mounting base 21. You. The rotation restricting bracket 22 is fixed to the horizontal plate 21b of the mounting base 21 by two mounting screws 47, and has a through hole 22b for projecting the connector main body 52 upward.

【0020】ターミナルコネクタ26は、金属性のホル
ダ50と、これに絶縁性のスリーブ51を介し軸方向に
移動自在に取り付けたコネクタ本体52とから構成され
ている。コネクタ本体52はスリーブ51に内蔵させた
コイルバネ(図示せず)により下方に付勢されており、
プローブピン10のコネクタ部53に常に接触するよう
にされている。また、この付勢により、ロックスリーブ
24を上方に持ち上げてプローブピン10を外す場合
に、プローブピン10が簡単にコレット本体23から排
出される。したがって、プローブピン10の自重による
落下と相まってプローブピン10がチャックユニット1
1から確実に外れるようになる。
The terminal connector 26 is composed of a metal holder 50 and a connector main body 52 movably mounted in an axial direction via an insulating sleeve 51. The connector body 52 is urged downward by a coil spring (not shown) incorporated in the sleeve 51.
The contact portion 53 of the probe pin 10 is always in contact. Moreover, this urging, when removing the probe pins 10 to lift the locking sleeve 24 upwards, the probe pin 10 is simply whether the collet body 23 et discharge <br/> issued. Accordingly, the probe pin 10 is dropped by the chuck unit 1 in combination with the drop of the probe pin 10 due to its own weight.
It will surely come off from 1.

【0021】図4に示すように、コネクタ本体52はホ
ルダ50に周方向で90°ピッチで4個取り付けられて
おり、2個のコネクタ部54a,54b,55a,55
bを持つX方向用又はY方向用部品チップ用プローブピ
ン56,57の両方に接触することができるようにされ
ている。そして、図5に示すように、コネクタ本体52
の上端部に接続コード58が接続され、これによりプロ
ーブピン10からの電気信号が測定器側に送られる。
As shown in FIG. 4, four connector bodies 52 are attached to the holder 50 at a 90 ° pitch in the circumferential direction, and two connector portions 54a, 54b, 55a, 55
It is configured to be able to contact both the X-direction or Y-direction component chip probe pins 56 and 57 having b. Then, as shown in FIG.
A connection cord 58 is connected to the upper end of the probe pin, whereby an electric signal from the probe pin 10 is sent to the measuring instrument side.

【0022】次に、上記チャックユニット11を用いた
プローブピンの自動交換装置を説明する。図5におい
て、基台60には、1対の直線軸受61,62により、
プローブホルダ台63とチャック解除板64とが平行移
動自在に取り付けられている。基台60は、矩形板から
構成されており、その両端部にブラケット65を介し前
記直線軸受61,62が鉛直方向で取り付けられてい
る。
Next, an automatic probe pin changing apparatus using the chuck unit 11 will be described. In FIG. 5, a base 60 is provided with a pair of linear bearings 61 and 62.
The probe holder base 63 and the chuck release plate 64 are attached so as to be movable in parallel. The base 60 is formed of a rectangular plate, and the linear bearings 61 and 62 are attached to both ends of the base 60 via brackets 65 in the vertical direction.

【0023】直線軸受61,62は、レール70と、こ
れに案内されるスライダ71,72とから構成されてお
り、基台60に対し、プローブホルダ台63とチャック
解除板64とを平行移動する。
The linear bearings 61 and 62 are composed of a rail 70 and sliders 71 and 72 guided by the rail 70. The probe holder 63 and the chuck release plate 64 are moved in parallel with respect to the base 60. .

【0024】プローブホルダ台63はブラケット73を
介しスライダ71に固定されている。プローブホルダ台
63には、多数のホルダ取付孔が所定ピッチで1列に形
成されている。これらの取付孔には、プローブホルダ7
5,76がネジにより着脱自在に取り付けられている。
プローブホルダ75,76には、プローブピンの収納穴
75a,76aが軸方向に形成されている。本実施例で
は、用いるプローブピンの形状により、2種類のプロー
ブホルダ75,76が取り付けられているが、これらプ
ローブホルダは使用するプローブピンに合わせて適宜変
更される。
The probe holder base 63 is fixed to the slider 71 via a bracket 73. On the probe holder base 63, a number of holder mounting holes are formed in a row at a predetermined pitch. In these mounting holes, a probe holder 7 is provided.
5, 76 are detachably attached by screws.
The probe holders 75, 76 have probe pin storage holes 75a, 76a formed in the axial direction. In the present embodiment, two types of probe holders 75 and 76 are attached according to the shape of the probe pins used, but these probe holders are appropriately changed according to the probe pins used.

【0025】チャック解除板64は、プローブホルダ台
63の上方で、ブラケット80を介しスライダ72に固
定されている。チャック解除板64には、プローブホル
ダ台63の各ホルダ75,76に対応する位置で、チャ
ック解除孔81が形成されている。チャック解除孔81
は、プローブピン10の最大直径より大きくチャックユ
ニット11のロックスリーブ24の直径よりも小さい径
の丸孔から構成されており、この解除孔81を介してプ
ローブピン10がプローブホルダ75,76から出し入
れされる。
The chuck release plate 64 is fixed to the slider 72 via a bracket 80 above the probe holder base 63. A chuck release hole 81 is formed in the chuck release plate 64 at a position corresponding to each of the holders 75 and 76 of the probe holder base 63. Chuck release hole 81
Is constituted by a round hole having a diameter larger than the maximum diameter of the probe pin 10 and smaller than the diameter of the lock sleeve 24 of the chuck unit 11. The probe pin 10 is inserted into and removed from the probe holders 75 and 76 through the release hole 81. Is done.

【0026】前記基台60には取付ブラケット84を介
し、2個のエアシリンダ85,86が取り付けられてい
る。一方のエアシリンダ(以下Aシリンダという)85
のロッド85aはプローブホルダ台63の孔87を貫通
し、その先端が、チャック解除板64に固定されてい
る。また、他方のエアシリンダ(以下Bシリンダとい
う)のロッド86aの先端は、ホルダ台63に固定され
ている。各エアシリンダ85,86は、基台60に形成
した開口88から下方に突出しており、エアシリンダ8
5,86をコンパクトに収納するようになっている。
Two air cylinders 85 and 86 are mounted on the base 60 via a mounting bracket 84. One air cylinder (hereinafter referred to as A cylinder) 85
The rod 85a passes through the hole 87 of the probe holder base 63, and the tip thereof is fixed to the chuck release plate 64. The tip of a rod 86 a of the other air cylinder (hereinafter, referred to as a B cylinder) is fixed to the holder base 63. Each of the air cylinders 85, 86 protrudes downward from an opening 88 formed in the base 60, and
5,86 are stored compactly.

【0027】更に、基台60には、センサ取付ブラケッ
ト90が取り付けられており、これの上部にはプローブ
センサ91が取り付けられている。プローブセンサ91
は、プローブホルダ75,76にプローブピン10が入
っているか否かを検出する。このため、プローブセンサ
91は、各プローブホルダ75,76に収納されたプロ
ーブピン10を検出する位置で取り付けられており、投
光器及び受光器からなる反射型の光センサが用いられて
いる。なお、反射型の光センサに代えて、光線を遮断す
ることで検出する透過型の光センサや、他の機械的なセ
ンサや磁気センサ等を用いてもよい。
Further, a sensor mounting bracket 90 is mounted on the base 60, and a probe sensor 91 is mounted on the sensor mounting bracket 90. Probe sensor 91
Detects whether the probe pins 10 are in the probe holders 75 and 76. For this reason, the probe sensor 91 is attached at a position for detecting the probe pin 10 housed in each of the probe holders 75 and 76, and a reflection type optical sensor including a light emitter and a light receiver is used. Note that, instead of the reflection-type optical sensor, a transmission-type optical sensor that detects light by blocking light rays, another mechanical sensor, a magnetic sensor, or the like may be used.

【0028】次に、本実施例の作用を説明する。プロー
ブピン10の交換時には、図5に示すように、X−Yユ
ニット96により、収納すべきプローブホルダ76と同
軸上にチャックユニット11が位置決めされ、Z軸ユニ
ット95により、図6に示すように、チャックユニット
11が交換位置までZ軸方向に下降する。
Next, the operation of this embodiment will be described. When replacing the probe pin 10, as shown in FIG. 5, the XY unit 96 positions the chuck unit 11 coaxially with the probe holder 76 to be stored, and the Z-axis unit 95 moves the chuck unit 11 as shown in FIG. Then, the chuck unit 11 moves down to the replacement position in the Z-axis direction.

【0029】次に、図7に示すように、Bシリンダ86
によりホルダ台63を上昇させて、ホルダ76の収納穴
76a内にプローブピン10を収納する。
Next, as shown in FIG.
As a result, the holder base 63 is raised, and the probe pins 10 are stored in the storage holes 76 a of the holder 76.

【0030】次に、図8に示すように、Aシリンダ85
によりチャック解除板64を上昇させて、ロックスリー
ブ24を上方に持ち上げて、チャックユニット11のロ
ックを解除する。チャック解除板64を上昇させてロッ
クスリーブ24を上方にシフトさせると、図3に示すよ
うに、保持爪13が開いてロック溝12から係止部14
が退避するため、プローブピン10のロックが解除さ
れ、プローブピン10がチャックユニット11から排出
される。
Next, as shown in FIG.
As a result, the chuck release plate 64 is raised, and the lock sleeve 24 is lifted upward to release the lock of the chuck unit 11. When the chuck release plate 64 is raised to shift the lock sleeve 24 upward, as shown in FIG.
Is retracted, the lock of the probe pin 10 is released, and the probe pin 10 is ejected from the chuck unit 11.

【0031】そして、図9に示すように、Bシリンダ8
6によりホルダ台63を下降させる。これにより、プロ
ーブピン10がチャックユニット11から取り外され、
ホルダ76内に収納される。
Then, as shown in FIG.
6, the holder base 63 is lowered. As a result, the probe pin 10 is removed from the chuck unit 11,
It is stored in the holder 76.

【0032】しかる後、図10に示すように、Aシリン
ダ85によりチャック解除板64を下降させるととも
に、チャックユニット11を水平移動して新たに取り付
けるプローブピン79と同軸上にセットする。
Thereafter, as shown in FIG. 10, the chuck release plate 64 is lowered by the A cylinder 85, and the chuck unit 11 is moved horizontally to be set coaxially with the probe pin 79 to be newly attached.

【0033】次に、図11に示すように、Aシリンダ8
5によりチャック解除板64を上昇させてロックスリー
ブ24を持ち上げ、チャックユニット11をロック解除
状態にしてプローブピン79の挿入待機状態にする。
Next, as shown in FIG.
The chuck release plate 64 is lifted by 5 to raise the lock sleeve 24, and the chuck unit 11 is released from the lock state to wait for insertion of the probe pin 79.

【0034】そして、図12に示すように、Bシリンダ
86によりプローブ台63を上昇させて、ホルダ76内
のプローブピン79の上部をチャックユニット11内に
挿入する。この挿入時に、図1に示すように、プローブ
ピン10の回動規制溝16にコレット本体23の回動規
制ピン17が入り込むため、プローブピン10の回動は
不能になる。
Then, as shown in FIG. 12, the probe base 63 is raised by the B cylinder 86, and the upper portion of the probe pin 79 in the holder 76 is inserted into the chuck unit 11. At this time, as shown in FIG. 1, the rotation restricting pin 17 of the collet body 23 enters the rotation restricting groove 16 of the probe pin 10, so that the rotation of the probe pin 10 becomes impossible.

【0035】次に、図13に示すように、Aシリンダ8
5によりチャック解除板64を下降させる。この状態で
は、図2,図3に示すように、ロックスリーブ24がコ
イルバネ25の付勢で下方にシフトされるため、ロック
スリーブ24のテーパー面45で保持爪13のテーパー
面35が押され、保持爪13はすぼまるようになる。こ
れにより、保持爪13の係止部14がプローブピン79
のロック溝12内に入り込み、プローブピン79はコレ
ット本体23の保持爪13により軸方向で移動すること
の無いようにしっかりと固定される。
Next, as shown in FIG.
5, the chuck release plate 64 is lowered. In this state, as shown in FIGS. 2 and 3, since the lock sleeve 24 is shifted downward by the bias of the coil spring 25, the tapered surface 45 of the holding claw 13 is pressed by the tapered surface 45 of the lock sleeve 24, The holding claws 13 become narrow. As a result, the locking portion 14 of the holding claw 13 is
And the probe pin 79 is firmly fixed by the holding claw 13 of the collet main body 23 so as not to move in the axial direction.

【0036】次に、図14に示すように、Bシリンダ8
6によりチャック解除板64を下降させてホルダ76か
らプローブピン79を抜き取る。この後、図5に示すよ
うに、Z軸ユニット95によりチャックユニット11が
上昇され、X−Yユニット96により所定の測定部位の
上方に位置決めされ、Z軸ユニット95によりプローブ
ピンが下降され、測定部位にプローブピンの先端が接触
して、電気信号が測定器に送られる。また、次のプロー
ブピンに交換する場合には、上記同様の操作が繰り返さ
れる。
Next, as shown in FIG.
6, the chuck release plate 64 is lowered to remove the probe pin 79 from the holder 76. Thereafter, as shown in FIG. 5, the chuck unit 11 is raised by the Z-axis unit 95, is positioned above a predetermined measurement site by the XY unit 96, and the probe pin is lowered by the Z-axis unit 95, and the measurement is performed. The tip of the probe pin contacts the site, and an electrical signal is sent to the measuring instrument. When the next probe pin is replaced, the same operation as described above is repeated.

【0037】なお、上記実施例では、エアシリンダ8
5,86でホルダ台63,チャック解除板64を上下動
させたが、この他に、リンクやクランク機構、更にはラ
ック・ピニオン等を用いてこれらを上下動させてもよ
い。
In the above embodiment, the air cylinder 8
Although the holder base 63 and the chuck release plate 64 are moved up and down by 5, 86, they may be moved up and down by using a link, a crank mechanism, and a rack and pinion.

【0038】また、上記実施例では、ホルダ76はホル
ダ台63に1列で配置されたが、これは複数列配置して
もよい。
In the above embodiment, the holders 76 are arranged in one row on the holder base 63, but they may be arranged in a plurality of rows.

【0039】また、上記実施例では、ターミナルコネク
タ26のコネクタ本体53のコイルバネ(図示せず)に
より、プローブピン10の初期排出を行うようにした
が、この他に、コレット本体23内に排出用のコイルバ
ネを配置するようにしてもよい。
In the above embodiment, the probe pin 10 is initially discharged by the coil spring (not shown) of the connector main body 53 of the terminal connector 26. In addition, the discharge of the probe pin 10 into the collet main body 23 is performed. May be arranged.

【0040】また、図15に示すように、取付ベース1
00の下部を延ばして、この延ばした部分に水平にガイ
ドプレート101を設けてチャックユニット102を構
成してもよい。なお、上記実施例と同一構成部材には同
一符号が付してあり、重複した説明を省略している。こ
の場合には、ガイドプレート101の中央部に、ロック
スリーブ24をガイドするガイド孔103を形成してお
く。これにより、ロックスリーブ24が上下方向で円滑
にガイドされ、ロックスリーブ24のシフトを確実に行
うことができる。しかも、ロックスリーブ24がガイド
孔103でしっかりと保持されるため、プローブピン1
0が軸方向でぶれることがなくなり、プローブピンの位
置決め精度を向上することができる。
Further, as shown in FIG.
The chuck unit 102 may be formed by extending the lower part of the sheet No. 00 and horizontally providing the guide plate 101 on the extended part. The same components as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals, and duplicate description is omitted. In this case, a guide hole 103 for guiding the lock sleeve 24 is formed in the center of the guide plate 101. Thereby, the lock sleeve 24 is smoothly guided in the up-down direction, and the shift of the lock sleeve 24 can be reliably performed. Moreover, since the lock sleeve 24 is firmly held by the guide hole 103, the probe pin 1
0 does not move in the axial direction, and the positioning accuracy of the probe pin can be improved.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
筒状のコレット本体と、コレット本体の先端部の外周に
形成した複数個の保持爪と、この保持爪上で移動自在に
取り付けたロックスリーブと、これを下方に付勢する付
勢手段とから、チャックユニットを構成したから、構成
簡単にしてプローブピンをワンタッチ式に着脱すること
ができる。しかも、保持爪の先端内側に形成した係止部
を、プローブピンのロック溝に入れてプローブピンを保
持するため、チャックユニット内でプローブピンを軸方
向で移動することのないようにしっかりと固定すること
ができる。
As described above, according to the present invention,
A cylindrical collet body, a plurality of holding claws formed on the outer periphery of the tip of the collet body, a lock sleeve movably mounted on the holding claws, and a biasing means for biasing the lock sleeve downward. Since the chuck unit is configured, the probe pin can be attached and detached in a one-touch manner with a simple configuration. In addition, since the locking part formed inside the tip of the holding claw is inserted into the lock groove of the probe pin and holds the probe pin, it is securely fixed so that the probe pin does not move in the chuck unit in the axial direction can do.

【0042】また、プローブホルダをプロープピンの挿
入向きを合わせて複数個取り付けたホルダ台と、チャッ
クユニットのロック解除部材に係合してロックスリーブ
を退避位置にするチャック解除部材とを、互いに平行移
動自在に設け、これらを進退動させたから、プローブピ
ンをチャックユニットから取り外すとともに、新たにプ
ローブピンをチャックユニットに取り付けることが自動
的に可能になる。また、多数のホルダをホルダ台に取り
付けることで、多数のプローブピンの交換が可能にな
る。しかも、移動手段を各プローブピンの交換時に共用
することができ、構成を簡単にすることができる。
The holder base on which a plurality of probe holders are mounted so that the probe pins are inserted in the same direction, and the chuck release member which engages with the lock release member of the chuck unit and moves the lock sleeve to the retracted position are moved in parallel with each other. Since the probe pins are freely provided and moved forward and backward, the probe pins can be removed from the chuck unit and a new probe pin can be automatically attached to the chuck unit. Further, by attaching a large number of holders to the holder base, a large number of probe pins can be exchanged. In addition, the moving means can be shared when each probe pin is replaced, and the configuration can be simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を実施した回路基板検査機のプローブピ
ン取付装置を示す分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing a probe pin mounting device of a circuit board inspection machine embodying the present invention.

【図2】チャックユニットによるプローブピンの保持状
態を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a holding state of a probe pin by a chuck unit.

【図3】(A)はチャックユニットによるプローブピン
の保持状態を示す側面図、(B)はチャックユニットか
らプローブピンが解除された状態を示す側面図である。
FIG. 3A is a side view showing a state in which a probe pin is held by a chuck unit, and FIG. 3B is a side view showing a state in which the probe pin is released from the chuck unit.

【図4】X方向及びY方向での取り付け向きが異なるプ
ローブピンのコネクタ接続状態を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing a connector connection state of probe pins having different mounting directions in an X direction and a Y direction.

【図5】同チャックユニットを用いたプローブピン交換
装置を示す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing a probe pin changing device using the chuck unit.

【図6】プローブピンの交換手順を説明するためのもの
で、プローブピンを収納するためにプローブホルダにプ
ローブピンを位置決めした状態を示す正面図である。
FIG. 6 is a front view illustrating a procedure for exchanging probe pins and showing a state in which the probe pins are positioned in a probe holder to accommodate the probe pins.

【図7】ホルダ台を持ち上げてプローブピンをプローブ
ホルダに収納した状態を示す正面図である。
FIG. 7 is a front view showing a state where the holder base is lifted and the probe pins are stored in the probe holder.

【図8】ロック解除板を持ち上げて、チャックユニット
を開放した状態を示す正面図である。
FIG. 8 is a front view showing a state in which a lock release plate is lifted and a chuck unit is opened.

【図9】ホルダ台を下降させてチャックユニットからプ
ローブピンを取り外した状態を示す正面図である。
FIG. 9 is a front view showing a state in which a probe is removed from a chuck unit by lowering a holder base.

【図10】新たなプローブピンの上方位置にチャックユ
ニットを平行移動させた状態を示す正面図である。
FIG. 10 is a front view showing a state where the chuck unit is moved in parallel to a position above a new probe pin.

【図11】ロック解除板を持ち上げてチャックユニット
を開放させ、プローブピンの挿入待機の状態を示す正面
図である。
FIG. 11 is a front view illustrating a state in which a lock release plate is lifted to open a chuck unit and a probe pin is waiting to be inserted;

【図12】ホルダ台を持ち上げてプローブピンをチャッ
クユニット内に挿入した状態を示す正面図である。
FIG. 12 is a front view showing a state where the holder base is lifted and a probe pin is inserted into the chuck unit.

【図13】ロック解除板を下降させてチャックユニット
をロックさせた状態を示す正面図である。
FIG. 13 is a front view showing a state where the lock release plate is lowered to lock the chuck unit.

【図14】ホルダー台を下降させてチャックユニットに
取り付けられたプローブピンをプローブホルダから取り
外した状態を示す正面図である。
FIG. 14 is a front view showing a state in which the probe holder attached to the chuck unit is lowered from the probe holder by lowering the holder base.

【図15】別のチャックユニットを示す斜視図である。FIG. 15 is a perspective view showing another chuck unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10,79 プローブピン 11 チャックユニット 12 ロック溝 16 回動規制溝 17 回動規制ピン 21 取付ベース 23 コレット本体 24 ロックスリーブ 25 コイルバネ 26 ターミナルコネクタ 35,45 テーパー面 60 基台 61,62 直線軸受 63 プローブホルダ台 64 チャック解除板 75,76 プローブホルダ 81 チャック解除孔 85 Aシリンダ 86 Bシリンダ 90 センサ取付ブラケット 91 プローブセンサ 95 Z軸ユニット 96 X−Yユニット 10, 79 Probe pin 11 Chuck unit 12 Lock groove 16 Rotation restricting groove 17 Rotation restricting pin 21 Mounting base 23 Collet body 24 Lock sleeve 25 Coil spring 26 Terminal connector 35, 45 Tapered surface 60 Base 61, 62 Linear bearing 63 Probe Holder base 64 Chuck release plate 75, 76 Probe holder 81 Chuck release hole 85 A cylinder 86 B cylinder 90 Sensor mounting bracket 91 Probe sensor 95 Z axis unit 96 XY unit

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 被検査回路基板と平行な平面に沿ってX
−Y軸方向に移動する可動部と、この可動部に取り付け
られ、Z軸方向に進退動可能なZ軸ユニットと、前記
軸ユニットに取り付けられ、前記被検査回路基板の測定
部位に電気的に接触するプローブピンとを備えた回路基
板検査機のプローブピン取付装置において、 前記Z軸ユニットと前記プローブピンとの間にチャック
ユニットを設けて、このチャックユニットにより前記
ローブピンを前記Z軸ユニットに取り付け、前記 プローブピンには、その挿入軸部に、周方向にロッ
ク溝を形成し、前記 チャックユニットを、前記プローブピンの挿入軸部
が挿入される筒状のコレット本体と、このコレット本体
前記Z軸ユニットに固定する取付ベースと、前記コレ
ット本体の先端部の外周に形成した先端に向かうに従い
太くなるテーパー面と、このテーパー面に軸方向に沿っ
て形成した複数条の割り溝と、この割り溝で分割され、
外側に開くように付勢された複数個の保持爪と、この
持爪の先端内側に形成され、前記ロック溝に係止する係
止部と、前記コレット本体の保持爪部分に軸方向で移動
自在に設けたロックスリーブと、このロックスリーブの
内周に形成され先端に向かうに従い開くようになるテー
パー面と、前記ロックスリーブを前記コレット本体の保
持爪上で先端側に付勢して、前記ロックスリーブの前記
テーパー面により前記保持爪を内側に押圧する付勢手段
とから構成したことを特徴とする回路基板検査機のプロ
ーブピン取付装置。
An X along a plane parallel to a circuit board to be inspected.
A movable portion that moves in the -Y-axis direction, is attached to the movable portion, and move forward and backward can be Z-axis unit in the Z axis direction, the Z
Mounted on the shaft unit, in the probe pin mounting apparatus for circuit board inspection machine equipped with a probe pin in electrical contact with the measurement site of the circuit board to be inspected, the chuck unit between the Z-axis unit and the probe pins provided, attaching the flop <br/> Robupin by the chuck unit to the Z-axis unit, the probe pin in the insertion shaft portion, a locking groove formed in the circumferential direction, the chuck unit, said probe a tubular collet body insertion shaft portion of the pin is inserted, a mounting base for fixing the collet body to the Z-axis unit, a tip formed on the outer periphery of the distal end portion of the Kore <br/> Tsu DOO body A tapered surface that becomes thicker as it goes, and a plurality of split grooves formed along the axial direction on this tapered surface, are divided by this split groove,
A biased plurality of holding claws to open outwardly, is formed at the distal end inside the holding <br/> nails, and the locking portion for locking said lock grooves, holding claws portion of the collet body with a locking sleeve which is provided movably in the axial direction, and the tapered surface formed to open in accordance formed on the inner peripheral toward the tip of the locking sleeve, the distal end side of the locking sleeve on the retaining claws of the collet body and energized, the <br/> tapered surface by the holding claws probe pin mounting apparatus for circuit board inspection machine, characterized by being configured and a biasing means for pressing the inside of the locking sleeve.
【請求項2】 前記チャックユニットの前記コレット本
体は前記プローブピンと電気的に接触するコネクタ本体
を備え、前記コネクタ本体に前記プローブピンを排出す
る方向に付勢するバネ手段が設けられていることを特徴
とする請求項1に記載の回路基板検査機のプローブピン
取付装置。
2. The collet book of the chuck unit.
The body is a connector body that makes electrical contact with the probe pins
The provided, the probe pin mounting apparatus for circuit board inspection apparatus according to claim 1, characterized in that spring means for urging in a direction to discharge the probe pins in the connector main body.
【請求項3】 記ロックスリーブの移動をガイドする
ガイドプレートを前記取付ベースに設けたことを特徴と
する請求項1または2に記載の回路基板検査機のプロー
ブピン取付装置。
3. A pre-Symbol probe pin mounting apparatus for circuit board inspection apparatus according to the guide plate for guiding the movement of the locking sleeve to claim 1 or 2, characterized in that provided in the mounting base.
【請求項4】 請求項1,2または3に記載の回路基板
検査機のプローブピン取付装置を用いたプローブピンの
交換装置において、前記プローブピンが先端から挿入さ
れる収納穴を有するプローブホルダと、このプローブホ
ルダを前記プローピンの挿入向きを合わせて複数個取
り付けたホルダ台と、このホルダ台を前記プローブピン
の軸方向で移動させる第1の移動部と、前記ロックスリ
ーブに係合してこれをロック解除位置にするチャック解
除部材と、このチャック解除部材を前記プローブピンの
軸方向で移動させる第2の移動部と、前記第1および第
2の移動部を作動させて前記プローブピンを交換するコ
ントローラとを備えたことを特徴とする回路基板検査機
のプローブピン交換装置。
4. A probe pin exchanging device using a probe pin attaching device of a circuit board inspection machine according to claim 1, 2 or 3 , wherein a probe holder having a storage hole into which the probe pin is inserted from a tip is provided. a holder base mounted a plurality of the probe holder combined insertion direction of the probe pin, and a first moving unit for moving the holder base in the axial direction of the probe pin, engaged with the locking sleeve a chuck releasing member to do this unlocked position Te, a second moving unit for moving the chuck releasing member in the axial direction of the probe pin, wherein by actuating the first and second moving portions A probe pin exchanging device for a circuit board inspection machine, comprising: a controller for exchanging probe pins.
【請求項5】 プローブピンの交換にあたって、前記コ
ントローラは、前記可動部を制御して収納すべき前記
ローブホルダの位置に前記チャックユニットを合わせ、
前記第1の移動部を前進させ前記ホルダ台を上昇させて
前記プローブピンを前記プローブホルダの収納穴内に挿
入させた後に、前記第2の移動部を前進させ前記チャッ
ク解除部材を上昇させて前記チャックユニットから前記
プローブピンを外し、次に前記第1および第2の移動部
を順に後退させて、前記プローブ台およ前記チャック
解除部材を下降させ、この後、使用する前記プローブピ
ンが収納された前記プローブホルダの位置に前記チャッ
クユニットを合わせ、前記第2の移動部を前進させ前記
チャック解除部材を上昇させて前記チャックユニットを
前記プローブピンの挿入可能状態にした後に、前記第1
の移動部を前進させて前記チャックユニットの収納穴に
前記プローブピンを挿入し、次に、前記第2の移動部を
後退させて前記チャック解除部材を下降させた後に、
第1の移動部を後退させて前記ホルダ台を下降させ
とを特徴とする請求項4に記載の回路基板検査機のプ
ローブピン交換装置。
5. The method according to claim 5 , wherein when replacing the probe pin,
Controller, move the chuck unit to the position of the flop <br/> Robuhoruda be accommodated by controlling the movable unit,
Advancing the first moving portion is raised the holder base
The probe pin after insertion into housing bore of the probe holder, the second mobile unit to advance the chucking <br/> Unlocking member raises the <br/> probe pins from the chuck unit the removed, then the first and second moving portion is retracted in order lowers the probe base and the chuck releasing member, and thereafter, the probe the probe pins to be used is accommodated the position of the holder fit the chucking <br/> click unit, the chuck unit is raised the <br/> chuck releasing member to advance the second mobile unit
After making the probe pin insertable, the first
The moving portion is moved forward in the hole of the chuck unit
Inserting the probe pin, then, after retracting it is lowered the chuck releasing member said second mobile unit, before
Ru is lowered the holder stand is retracted the serial first moving portion
Probe pin exchanging device of the circuit board inspection apparatus according to claim 4, wherein the arc.
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