JP3310073B2 - Probe fixed position detection method for automatic probe change unit - Google Patents

Probe fixed position detection method for automatic probe change unit

Info

Publication number
JP3310073B2
JP3310073B2 JP27489793A JP27489793A JP3310073B2 JP 3310073 B2 JP3310073 B2 JP 3310073B2 JP 27489793 A JP27489793 A JP 27489793A JP 27489793 A JP27489793 A JP 27489793A JP 3310073 B2 JP3310073 B2 JP 3310073B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
holder
probe holder
contact
contact probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP27489793A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH07104001A (en
Inventor
寿幸 近藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hioki EE Corp
Original Assignee
Hioki EE Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hioki EE Corp filed Critical Hioki EE Corp
Priority to JP27489793A priority Critical patent/JP3310073B2/en
Publication of JPH07104001A publication Critical patent/JPH07104001A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3310073B2 publication Critical patent/JP3310073B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明はプローブ自動交換ユニ
ットのプローブ定位置検出方法に係り、さらに詳しく
は、X−Y式フィクスチャレスインサーキットテスタ用
のコンタクトプローブを円滑に交換するために設置され
るプローブ自動交換ユニットに配設されているプローブ
ホルダにコンタクトプローブが定位置にて正常に収納さ
れているか否かを容易、かつ正確に検出することができ
るプローブ自動交換ユニットのプローブ定位置検出方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for detecting a probe fixed position of an automatic probe changing unit, and more particularly, to a method for smoothly changing a contact probe for an XY type fixtureless in-circuit tester. -Position detection method for an automatic probe replacement unit that can easily and accurately detect whether or not a contact probe is properly housed in a fixed position in a probe holder provided in the automatic probe replacement unit About.

【0002】[0002]

【従来の技術】X−Y式フィクスチャレスインサーキッ
トテスタは、通常、コンタクトプローブを保持するチャ
ック部を装備しており、チャック部に保持されるコンタ
クトプローブは、別途用意されるプローブ自動交換ユニ
ットを利用して円滑に自動交換できるようになってい
る。
2. Description of the Related Art An XY type fixtureless in-circuit tester is usually equipped with a chuck unit for holding a contact probe, and a contact probe held on the chuck unit is a probe automatic exchange unit separately prepared. The automatic exchange can be performed smoothly by using.

【0003】図3は、従来からあるプローブ自動交換ユ
ニット1の構成例を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a configuration example of a conventional automatic probe exchange unit 1. As shown in FIG.

【0004】同図によれば、X−Y式フィクスチャレス
インサーキットテスタが装備するチャック部21は、リ
ング21aを上下させることで被チャッキング部材を着
脱するいわゆるコレットチャック構造を採用することで
形成されている。
According to FIG. 1, a chuck 21 provided in an XY fixtureless in-circuit tester employs a so-called collet chuck structure in which a member to be chucked is attached and detached by moving a ring 21a up and down. Is formed.

【0005】また、プローブ自動交換ユニット1は、基
台2上に配設されたエアシリンダ3,4とガイド杆5,
6とを介することで各個独立に昇降するプローブホルダ
台7とチャック解除板8とを備え、プローブホルダ台7
上に植設配置されている複数本のプローブホルダ9は、
前記チャック部21により保持される被チャッキング部
を含む一側部10aを突出させた状態のもとでのコンタ
クトプローブ10の収納を自在に形成されている。
The probe automatic exchange unit 1 includes air cylinders 3 and 4 disposed on a base 2 and guide rods 5.
And a chuck release plate 8 which moves up and down independently of each other by passing through the probe holder 6.
The plurality of probe holders 9 implanted and arranged on the
The contact probe 10 is formed so as to be freely accommodated in a state where one side portion 10a including the chucked portion held by the chuck portion 21 is protruded.

【0006】図4は、上記構成からなるプローブ自動交
換ユニット1におけるプローブホルダ9とコンタクトプ
ローブ10との相互関係を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view showing the interrelationship between the probe holder 9 and the contact probe 10 in the probe automatic exchange unit 1 having the above configuration.

【0007】同図によれば、コンタクトプローブ10の
他端部を導入するためにプローブホルダ9に設けられて
いる穴部を区画形成する内壁面における適宜の位置に
は、中心軸方向に向けピン状突起9aが突設されてお
り、このピン状突起9aの突設位置との関係で定まるコ
ンタクトプローブ10の他側部10b側に位置する外周
面の適宜の位置には、前記ピン状突起9aと係合する係
合溝10cが刻設されている。
According to FIG. 1, a pin is provided at an appropriate position on an inner wall surface defining a hole provided in the probe holder 9 for introducing the other end of the contact probe 10 in the direction of the central axis. The pin-shaped projection 9a is provided at an appropriate position on the outer peripheral surface located on the side of the other side 10b of the contact probe 10 determined by the relationship with the projecting position of the pin-shaped projection 9a. An engagement groove 10c that engages with is formed.

【0008】このため、前記チャック部21が保持して
いるコンタクトプローブ10を元の位置にあるプローブ
ホルダ9内に戻そうとする際には、まず、チャック部2
1を所定位置にあるプローブホルダ9上に移動させ、し
かる後、プローブホルダ台7を所定位置にまで上昇させ
ることで、コンタクトプローブ10のプローブピンを含
む他側部10bをプローブホルダ9内に導入する。
Therefore, when trying to return the contact probe 10 held by the chuck 21 to the probe holder 9 at the original position, first, the chuck 2
1 is moved onto the probe holder 9 at a predetermined position, and thereafter, the other side portion 10b including the probe pin of the contact probe 10 is introduced into the probe holder 9 by raising the probe holder base 7 to the predetermined position. I do.

【0009】プローブホルダ9内にコンタクトプローブ
10を導入するに際しては、プローブホルダ9内に突設
されているピン状突起9aにコンタクトプローブ10の
前記係合溝10cが係止された状態が定位置を保持した
正常な収納状態となる。
When the contact probe 10 is introduced into the probe holder 9, the state where the engaging groove 10 c of the contact probe 10 is engaged with the pin-like projection 9 a projecting from the probe holder 9 is in a fixed position. Is held in a normal storage state.

【0010】このようにしてコンタクトプローブ10の
他側部10bがプローブホルダ9内に所定位置まで正し
く導入された後は、チャック解除板8を上昇させてチャ
ック部21のリング21aを押し上げ、コンタクトプロ
ーブ10に対するチャック状態を解除し、チャック部2
1から解放されたコンタクトプローブ10をプローブホ
ルダ9の側に移し替えて収納する。
After the other side portion 10b of the contact probe 10 is correctly introduced into the probe holder 9 up to a predetermined position in this way, the chuck release plate 8 is raised to push up the ring 21a of the chuck portion 21 and to contact the contact probe. 10 is released, and the chuck portion 2 is released.
The contact probe 10 released from 1 is transferred to the probe holder 9 side and stored.

【0011】コンタクトプローブ10のプローブホルダ
9の側への移し替えを終えた後は、プローブホルダ台7
を下降させることでチャック部21の側から完全に離脱
させた状態でのもとでコンタクトプローブ10はその係
合溝10cがプローブホルダ9内のピン状突起9aを係
止して確保される定位置を保持して収納され、チャック
解除板8も元の位置へと下降させることでコンタクトプ
ローブ10の回収作業が終了する。
After the transfer of the contact probe 10 to the probe holder 9 side, the probe holder
When the contact probe 10 is completely disengaged from the chuck portion 21 side, the contact groove 10c of the contact probe 10 is secured by locking the pin-shaped projection 9a in the probe holder 9. The collecting operation of the contact probe 10 is completed by lowering the chuck release plate 8 to the original position while holding the position.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】ところで、コンタクト
プローブ10は、プローブホルダ9内に突設されている
ピン状突起9aに係合溝10cが係止される状態のもと
でプローブホルダ9に導入される限り、定位置を保持し
て正しくプローブホルダ9に収納させることはできる。
By the way, the contact probe 10 is introduced into the probe holder 9 in a state where the engaging groove 10c is engaged with the pin-shaped projection 9a projecting from the probe holder 9. As long as it is possible, the probe can be held in the probe holder 9 while keeping the fixed position.

【0013】しかし、必要によりコンタクトプローブ1
0を人手を介してプローブホルダ9に収納しなければな
らないことなどもあり、このような場合に発生しがちな
人為的なミスなど、何らかの要因でコンタクトプローブ
10がプローブホルダ9内に突設されているピン状突起
9aに係合溝10cを係止させることで確保される定位
置を保持することなく不必要に浮き出てしまうなど、誤
った状態のもとで収納されてしまうことも起こり得る。
However, if necessary, the contact probe 1
In some cases, the contact probe 10 may be protruded into the probe holder 9 due to some factor such as a human error that tends to occur in such a case. The pin-like projection 9a may be unnecessarily raised without retaining a fixed position secured by locking the engagement groove 10c to the pin-shaped projection 9a, and may be stored in an incorrect state. .

【0014】このようにプローブホルダ9に対しコンタ
クトプローブ10が誤った状態のもとで収納されている
ことを知らずにプローブ自動交換ユニット1が作動する
場合には、機構上からもチャック解除板8等が正しく作
動せず、したがって、チャック部21がコンタクトプロ
ーブ10を保持することができなくなる不具合があっ
た。
When the automatic probe changing unit 1 operates without knowing that the contact probe 10 is stored in the probe holder 9 in an erroneous state in this manner, the chuck release plate 8 is also operated from the mechanism. Do not operate correctly, so that the chuck 21 cannot hold the contact probe 10.

【0015】また、場合によっては、チャック部21に
コンタクトプローブ10を衝接させてしまうなどしてプ
ローブ自動交換ユニット1自体を破損させてしまうおそ
れもあった。
In some cases, the probe automatic replacement unit 1 itself may be damaged due to the contact of the contact probe 10 with the chuck portion 21.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】この発明は従来技術にみ
られた上記課題に鑑みてなされたものであり、その構成
上の特徴は、X−Y式フィクスチャレスインサーキット
テスタが装備するチャック部に保持される被チャッキン
グ部を含む一側部を突出させて測定用のコンタクトプロ
ーブを収納するプローブホルダを一直線上に複数本配列
してなるプローブ自動交換ユニットにおいて、定位置に
てプローブホルダに正常に収納された際のコンタクトプ
ローブの前記一側部の頂端面上を水平光が近接通過する
位置関係のもとでプローブホルダの配列方向での一方端
の外側には発光部を、他方端の外側には受光部を配設し
て透過式光センサを形成し、この透過式光センサにおけ
る受光部側への前記水平光の到達の有無によりコンタク
トプローブがプローブホルダに正常に収納されているか
否かを検出することにある。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems in the prior art, and has a structural feature that the chuck provided in the XY fixtureless in-circuit tester is provided. In a probe automatic replacement unit in which a plurality of probe holders for accommodating a contact probe for measurement by projecting one side portion including a chucked portion held by a portion are arranged in a straight line, a probe holder is fixed at a fixed position. A light emitting portion is provided outside one end in the arrangement direction of the probe holder under the positional relationship in which horizontal light passes closely on the top end surface of the one side portion of the contact probe when normally stored in the contact probe, and the other side. A light-receiving part is arranged outside the end to form a transmission-type optical sensor, and a contact probe is pro- jected according to whether or not the horizontal light reaches the light-receiving part side of the transmission-type light sensor. It is to detect whether or not it is normally housed in Buhoruda.

【0017】[0017]

【作用】このため、透過式光センサにおける発光部の側
から水平光を受光部の側に照射し、その際の受光の有無
を検知することで、プローブホルダに対し定位置を保持
してコンタクトプローブが正しく収納されているか否か
を確実に検出することができる。
For this reason, horizontal light is emitted from the side of the light emitting section to the side of the light receiving section in the transmission type optical sensor, and the presence or absence of light reception at that time is detected, thereby maintaining a fixed position with respect to the probe holder. It is possible to reliably detect whether or not the probe is correctly housed.

【0018】したがって、上記透過式光センサが検知す
る受光の有無に対応する出力を制御信号とすることでプ
ローブ自動交換ユニットの側の作動を制御することがで
きるので、コンタクトプローブの自動交換を常に正常な
状態のもとで円滑に実行させることができる。
Therefore, the operation of the probe automatic exchange unit can be controlled by using the output corresponding to the presence or absence of light reception detected by the transmission type optical sensor as a control signal, so that the automatic exchange of the contact probe is always performed. It can be executed smoothly under normal conditions.

【0019】[0019]

【実施例】以下、図面に基づいてこの発明の実施例を説
明する。なお、この発明が適用されるプローブ自動交換
ユニットは、図3と図4に示す従来例とその基本構成を
同じくするものであり、これらの図をも併せて参照しな
がらこの発明の実施例を以下に説明することとする。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The automatic probe changing unit to which the present invention is applied has the same basic configuration as that of the conventional example shown in FIGS. 3 and 4, and the embodiment of the present invention will be described with reference to these drawings. This will be described below.

【0020】すなわち、この発明が適用されるプローブ
自動交換ユニット1は、図3に示すようにX−Y式フィ
クスチャレスインサーキットテスタ(図示せず)が装備
するチャック部21との対応関係のもとで作動されるも
のであり、その全体は、基台2上に配設されたエアシリ
ンダ3,4とガイド杆5,6とを介することで各個独立
に昇降するプローブホルダ台7とチャック解除板8とを
備えて形成されている。
That is, as shown in FIG. 3, the probe automatic exchange unit 1 to which the present invention is applied has a correspondence relationship with a chuck portion 21 provided with an XY type fixtureless in-circuit tester (not shown). The probe holder 7 and the chuck, which are individually moved up and down independently via air cylinders 3 and 4 and guide rods 5 and 6 disposed on the base 2, respectively. A release plate 8 is provided.

【0021】また、前記プローブホルダ台7上に一直線
となって複数本配列することで植設配置されているプロ
ーブホルダ9には、コンタクトプローブ10が前記チャ
ック部21のための被チャッキング部を含む一側部10
aを突出させた状態のもとで収納配置できるようになっ
て形成されている。
In the probe holder 9 which is arranged and arranged in a straight line on the probe holder table 7, a contact probe 10 is provided with a chucking portion for the chuck portion 21. Including one side 10
It is formed so that it can be stored and arranged in a state where a is protruded.

【0022】この場合、図4に示すようにプローブホル
ダ9の内壁面における適宜の位置には、中心軸方向に向
けピン状突起9aが突設されており、このピン状突起9
aの突設位置との関係で定まるコンタクトプローブ10
における他側部10bの外周面の適宜の位置には、前記
ピン状突起9aと係合する係合溝10cが刻設されてお
り、プローブホルダ9内に突設されているピン状突起9
aにコンタクトプローブ10の係合溝10cが係止され
た状態をもって定位置を保持した正常な収納状態となっ
ている。
In this case, as shown in FIG. 4, a pin-like projection 9a is provided at an appropriate position on the inner wall surface of the probe holder 9 in the direction of the central axis.
Contact probe 10 determined by the relationship with the projecting position of a
At an appropriate position on the outer peripheral surface of the other side portion 10b, an engagement groove 10c that engages with the pin-shaped projection 9a is formed, and the pin-shaped projection 9 projected into the probe holder 9 is formed.
The state where the engagement groove 10c of the contact probe 10 is locked to the position a is a normal storage state where the home position is maintained.

【0023】しかも、このような構成からなるプローブ
自動交換ユニット1には、図1に示すように定位置にて
プローブホルダ9に正常に収納された際のコンタクトプ
ローブ10の前記一側部10aの頂端面10d上を水平
光Rが近接通過する位置関係のもとでプローブホルダ9
の配列方向での一方端に位置するプローブホルダ9の外
側にはLEDなどの発光素子を備える発光部12を、他
方端に位置するプローブホルダ9の外側にはフォトダイ
オードなどからなる受光部13を配設することで透過式
光センサ11が形成されており、これにより光電スイッ
チやレーザ光電スイッチとしての機能が付与されること
になる。
Moreover, as shown in FIG. 1, the probe automatic exchange unit 1 having the above-described structure has the one side portion 10a of the contact probe 10 when normally stored in the probe holder 9 at a fixed position. The probe holder 9 is placed under the positional relationship where the horizontal light R passes close to the top end face 10d.
A light-emitting unit 12 including a light-emitting element such as an LED is provided outside the probe holder 9 located at one end in the arrangement direction, and a light-receiving unit 13 such as a photodiode is provided outside the probe holder 9 located at the other end. By arranging them, the transmission type optical sensor 11 is formed, and thereby a function as a photoelectric switch or a laser photoelectric switch is provided.

【0024】次に、上記プローブ自動交換ユニット1に
適用して実施されるこの発明の一実施例を説明する。
Next, an embodiment of the present invention which is applied to the above-mentioned probe automatic exchange unit 1 will be described.

【0025】すなわち、プローブ自動交換ユニット1が
その作動を開始するに当たり、透過式光センサ11を構
成する発光部12に電圧が印加され、受光部13の側へ
と水平光Rが照射される。
That is, when the automatic probe changing unit 1 starts its operation, a voltage is applied to the light emitting unit 12 constituting the transmission type optical sensor 11 and the light receiving unit 13 is irradiated with the horizontal light R.

【0026】この場合、プローブホルダ9内にコンタク
トプローブ10が被チャッキング部を含む一側部10a
を突出させた状態のもとで定位置を保持して正しく収納
されているときは、図2の(イ)に示すように水平光R
がコンタクトプローブ10の前記一側部10aの頂端面
10d上を近接通過して受光部13の側に到達しスイッ
チオンとなることで、プローブ自動交換ユニット1が正
常状態にあることを検知することができる。
In this case, the contact probe 10 is provided in the probe holder 9 with one side portion 10a including the portion to be chucked.
When the camera is properly stored in a state where it is held in a fixed position with the horizontal light R as shown in FIG.
To detect that the probe automatic exchange unit 1 is in a normal state by passing close to the top end surface 10d of the one side portion 10a of the contact probe 10 and reaching the light receiving portion 13 and being turned on. Can be.

【0027】一方、プローブホルダ9内のピン状突起9
aにコンタクトプローブ10の係合溝10cが係止され
ない状態、つまりコンタクトプローブ10が定位置を保
持することなく誤った状態でプローブホルダ9に収納さ
れているときには、図2の(ロ)に示すように水平光R
が必要以上に浮き出でているコンタクトプローブ10の
前記一側部10aに突き当たってその通過が遮られるこ
とから、水平光Rが受光部13の側に到達することがで
きず、スイッチオフとなるため、プローブ自動交換ユニ
ット1が異常状態にあることを検知することができる。
On the other hand, the pin-like projection 9 in the probe holder 9
When the engagement groove 10c of the contact probe 10 is not locked to the position a, that is, when the contact probe 10 is incorrectly stored in the probe holder 9 without holding the home position, the state shown in FIG. As horizontal light R
The horizontal light R cannot reach the light receiving portion 13 because the contact probe 10 abuts against the one side portion 10a of the contact probe 10 that is unnecessarily raised, and the light is switched off. It is possible to detect that the probe automatic replacement unit 1 is in an abnormal state.

【0028】このように透過式光センサ11を介してコ
ンタクトプローブ10が定位置に収納されているか否か
を検知することで前記プローブ自動交換ユニット1が異
常であるか否かを知ることができる結果、次のようにし
てその作動が制御されることになる。
As described above, by detecting whether or not the contact probe 10 is housed in a fixed position via the transmission type optical sensor 11, it is possible to know whether or not the probe automatic replacement unit 1 is abnormal. As a result, the operation is controlled as follows.

【0029】すなわち、チャック部21が所望する位置
のプローブホルダ9に収納されているコンタクトプロー
ブ10を保持する動作に入ろうとする際、コンタクトプ
ローブ10が定位置を保持してプローブホルダ9に正し
く収納されていることを透過式光センサ11が検知する
場合には、受光部13への水平光Rの到達を契機として
スイッチオンとなり、プローブ自動交換ユニット1が作
動してプローブホルダ台7等の各構成部材が予め定めら
れている所定の動作を行うことで、チャック部21は当
初の予定どおりコンタクトプローブ10を保持すること
ができることになる。
That is, when the chuck section 21 is about to enter the operation of holding the contact probe 10 housed in the probe holder 9 at a desired position, the contact probe 10 holds the fixed position and is correctly housed in the probe holder 9. When the transmissive optical sensor 11 detects that the operation is performed, the switch is turned on in response to the arrival of the horizontal light R at the light receiving unit 13, and the automatic probe exchanging unit 1 operates to operate each of the probe holder tables 7 and the like. When the constituent members perform a predetermined operation, the chuck portion 21 can hold the contact probe 10 as originally planned.

【0030】しかし、受光部13に水平光Rが到達しな
いためコンタクトプローブ10が定位置を保持すること
なくプローブホルダ9に誤って収納されていることを前
記透過式光センサ11が検知した場合にはスイッチオフ
となり、前記プローブ自動交換ユニット1はその作動を
中断し、チャック部21はコンタクトプローブ10を保
持することができなくなる。
However, when the transmissive optical sensor 11 detects that the contact probe 10 is erroneously stored in the probe holder 9 without holding the home position because the horizontal light R does not reach the light receiving section 13. Is turned off, the probe automatic replacement unit 1 stops its operation, and the chuck unit 21 cannot hold the contact probe 10.

【0031】この発明は上述したようにして構成されて
いるので、透過式光センサ11における発光部12の側
から水平光Rを受光部13の側に照射し、その際の受光
の有無を検知することで、プローブホルダ9に対し定位
置を保持してコンタクトプローブ10が正しく収納され
ているか否かを確実に検出することができる。
Since the present invention is constructed as described above, horizontal light R is emitted from the light emitting section 12 side of the transmission type optical sensor 11 to the light receiving section 13 to detect the presence or absence of light reception at that time. By doing so, it is possible to reliably detect whether or not the contact probe 10 is correctly housed while holding the fixed position with respect to the probe holder 9.

【0032】したがって、上記透過式光センサ10が検
知する受光の有無に対応する出力を制御信号とすること
でプローブ自動交換ユニット1の側の作動を制御するこ
とができるので、常に正常な状態のもとでチャック解除
板8等の各構成部材を動作させることができることにな
る。
Therefore, by using the output corresponding to the presence or absence of light reception detected by the transmission type optical sensor 10 as a control signal, the operation of the probe automatic exchange unit 1 can be controlled. Originally, each component such as the chuck release plate 8 can be operated.

【0033】また、コンタクトプローブ10が定位置を
保持することなくプローブホルダ9に誤って収納されて
いることを前記透過式光センサ11が検知した場合に
は、前記プローブ自動交換ユニット1が直ちにその作動
を中断し、コンタクトプローブ10に対するチャック部
21の保持動作を中止させることができるので、チャッ
ク部21にコンタクトプローブ10を衝接させるなどの
不具合が発生するのを未然に防止することで、例えばプ
ローブ自動交換ユニット1を破損するなどの事故を防ぐ
ことができる。
When the transmission type optical sensor 11 detects that the contact probe 10 is erroneously stored in the probe holder 9 without holding the home position, the probe automatic exchange unit 1 immediately starts the operation. Since the operation can be interrupted and the holding operation of the chuck portion 21 with respect to the contact probe 10 can be stopped, it is possible to prevent a problem such as contacting the contact probe 10 with the chuck portion 21 beforehand. An accident such as damage to the probe automatic replacement unit 1 can be prevented.

【0034】このようにして上記透過式光センサ11が
検知する受光の有無に対応する出力を制御信号とするこ
とでプローブ自動交換ユニット1の側の作動を制御する
ことができるので、コンタクトプローブ10の自動交換
を常に正常な状態のもとで円滑に実行させることができ
る。
In this manner, by using the output corresponding to the presence or absence of light reception detected by the transmission type optical sensor 11 as a control signal, the operation of the probe automatic exchange unit 1 can be controlled. Can be smoothly executed under normal conditions.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、透
過式光センサにおける発光部の側から水平光を受光部の
側に照射し、その際の受光の有無を検知することで、プ
ローブホルダに対し定位置を保持してコンタクトプロー
ブが正しく収納されているか否かを確実に検出すること
ができる。
As described above, according to the present invention, a probe is provided by irradiating horizontal light to the light receiving portion from the light emitting portion side of the transmission type optical sensor and detecting the presence or absence of light reception at that time. It is possible to reliably detect whether or not the contact probe is correctly stored while holding the fixed position with respect to the holder.

【0036】したがって、上記透過式光センサが検知す
る受光の有無に対応する出力を制御信号とすることでプ
ローブ自動交換ユニットの側の作動を制御することがで
きるので、コンタクトプローブの自動交換を常に正常な
状態のもとで円滑に実行させることができる。
Accordingly, the operation of the probe automatic exchange unit can be controlled by using the output corresponding to the presence or absence of light detected by the transmission type optical sensor as a control signal, so that the automatic exchange of the contact probe is always performed. It can be executed smoothly under normal conditions.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施に供されるプローブ自動交換ユ
ニットの要部を正面側からみた説明図である。
FIG. 1 is an explanatory view of a main part of an automatic probe replacement unit provided for carrying out the present invention, as viewed from the front side.

【図2】プローブホルダへのコンタクトプローブの収納
状況と水平光との関係を示す説明図であり、そのうち、
(イ)は定位置にて正しく収納されている状態を、
(ロ)は定位置を外れ誤って収納されている場合をそれ
ぞれ示す。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing the relationship between the state of storage of a contact probe in a probe holder and horizontal light.
(A) shows the state where it is stored correctly at the fixed position,
(B) shows the case where the user deviates from the home position and is erroneously stored.

【図3】従来からあるプローブ自動交換ユニットの基本
構成の概要を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory view showing an outline of a basic configuration of a conventional probe automatic exchange unit.

【図4】図3のプローブ自動交換ユニットにおけるプロ
ーブホルダと、これに収納されるコンタクトプローブと
の相互関係を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a mutual relationship between a probe holder and a contact probe stored in the probe holder in the probe automatic exchange unit of FIG. 3;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 プローブ自動交換ユニット 2 基台 3,4 エアシリンダ 5,6 ガイド杆 7 プローブホルダ台 8 チャック解除板 9 プローブホルダ 9a ピン状突起 10 コンタクトプローブ 10a 一側部 10b 他側部 10c 係合溝 10d 頂端面 11 透過式光センサ 12 発光部 13 受光部 21 チャック部 21a リング R 水平光 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Probe automatic exchange unit 2 Base 3,4 Air cylinder 5,6 Guide rod 7 Probe holder base 8 Chuck release plate 9 Probe holder 9a Pin-shaped projection 10 Contact probe 10a One side part 10b Other side part 10c Engagement groove 10d Top end Surface 11 Transmission type optical sensor 12 Light emitting unit 13 Light receiving unit 21 Chuck unit 21a Ring R Horizontal light

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/28 - 31/3193 G01R 1/06 - 1/037 G01B 11/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Fields surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G01R 31/28-31/3193 G01R 1/06-1/037 G01B 11/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 X−Y式フィクスチャレスインサーキッ
トテスタが装備するチャック部に保持される被チャッキ
ング部を含む一側部を突出させて測定用のコンタクトプ
ローブを収納するプローブホルダを一直線上に複数本配
列してなるプローブ自動交換ユニットにおいて、定位置
にてプローブホルダに正常に収納された際のコンタクト
プローブの前記一側部の頂端面上を水平光が近接通過す
る位置関係のもとでプローブホルダの配列方向での一方
端の外側には発光部を、他方端の外側には受光部を配設
して透過式光センサを形成し、この透過式光センサにお
ける受光部側への前記水平光の到達の有無によりコンタ
クトプローブがプローブホルダに正常に収納されている
か否かを検出することを特徴とするプローブ自動交換ユ
ニットのプローブ定位置検出方法。
1. A probe holder for accommodating a contact probe for measurement by protruding one side including a chucked portion held by a chuck portion provided in an XY-type fixtureless in-circuit tester and aligning the probe holder in a straight line. In a probe automatic exchange unit in which a plurality of probe probes are arranged, when the probe is normally housed in a probe holder at a fixed position, the horizontal position of the contact probe on the top end face of the one side portion is closely passed. In the arrangement direction of the probe holder, a light emitting portion is arranged outside one end of the probe holder, and a light receiving portion is arranged outside the other end to form a transmission type optical sensor. Detecting whether or not the contact probe is normally housed in a probe holder based on whether or not the horizontal light has arrived; Position detection method.
JP27489793A 1993-10-06 1993-10-06 Probe fixed position detection method for automatic probe change unit Expired - Fee Related JP3310073B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27489793A JP3310073B2 (en) 1993-10-06 1993-10-06 Probe fixed position detection method for automatic probe change unit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27489793A JP3310073B2 (en) 1993-10-06 1993-10-06 Probe fixed position detection method for automatic probe change unit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07104001A JPH07104001A (en) 1995-04-21
JP3310073B2 true JP3310073B2 (en) 2002-07-29

Family

ID=17548054

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27489793A Expired - Fee Related JP3310073B2 (en) 1993-10-06 1993-10-06 Probe fixed position detection method for automatic probe change unit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3310073B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106371011A (en) * 2016-10-21 2017-02-01 宁波华仑电子有限公司 Pin location testing mechanism
KR20230030767A (en) * 2021-08-26 2023-03-07 (주)테크윙 Handler for testing electronic components and method of photographing electronic components therein

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07104001A (en) 1995-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1137052B1 (en) Automatic calibration system for wafer transfer robot
US9361682B2 (en) Virtual assembly and product inspection control processes
US20140262051A1 (en) Passive feeder cartridge driven by pickup head
JP2003142551A (en) Placement apparatus
JP3310073B2 (en) Probe fixed position detection method for automatic probe change unit
KR101402123B1 (en) Wafer aligning apparatus
JPH10154646A (en) Transporting device
CN110941145B (en) Mask detection device and method and mask library equipment
JPH06213927A (en) Attaching apparatus and replacing apparatus for probe pin
JP3328030B2 (en) Probe presence detection method for automatic probe change unit
JPH11239925A (en) Part mounting device and its method
KR20200063660A (en) Cylindrical shelf device and method of assembling a driving unit of the same
US11026361B2 (en) Linear/angular correction of pick-and-place held component and related optical subsystem
JPH09130100A (en) Auto-insertion state inspection method of electronic part in printed circuit board and its device
KR100451964B1 (en) Carrier positional displacement detecting mechanism
JP3202352B2 (en) Probe pin changer for circuit board inspection machine
JP2648719B2 (en) Semiconductor inspection equipment
JPH0374853A (en) Carrier for tab device and measuring module using same and insert device therefor
US7339651B2 (en) Exposure equipment and related control method
KR100218254B1 (en) Wafer cassette stage
WO2020240828A1 (en) Nozzle replacement table unit
JP2510286B2 (en) Semiconductor wafer counter
WO2023188094A1 (en) Machine tool system and workpiece stacker
JP6876809B2 (en) Tape feeder
JPH10308438A (en) Method of detecting carrier and wafer in carrier

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090524

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110524

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees