JP3243060U - 真空弁のためのシール - Google Patents

Abstract

軸線方向に延びる外側面と、内側面であって、シールの内側面を弁の密封要素内に締結的に固定することができるように半径方向に延びる上記内側面とを有する非円形断面を有する円形ベース要素を備える真空弁のためのシール。【選択図】図２ｂ

Description

本考案は、真空弁のためのシール、そのようなシールを有する密封要素、及びそのような密封要素を有する弁に関する。

通常、弁は、真空ポンプと受容体すなわち真空チャンバとの間に配置される。真空ポンプの作動の停止時に、弁は、真空チャンバ内側の真空を維持するために、かつ第２に潤滑油が真空ポンプからの真空によって真空チャンバの中に引き込まれて真空チャンバを汚染することを避けるために閉じられる。

従って、弁は、真空チャンバを真空ポンプから気密的に分離するために密封要素を備える。密封要素は、円形断面を有する円形シールを提供するＯリングを備える。Ｏリングは、半円形断面を有するダブテール状溝に配置される。しかし、従来技術からのＯリングは、溝から容易に引き抜かれる可能性があり、弁の誤作動をもたらし、保守が必要になる。特に、弁が真空に対して開かれる場合に、この影響は、弁の開放時の既存の真空がＯリングを溝から引き抜く可能性があるので更に強くなる。

すなわち、本考案の目的は、弁の密封要素に固定されて弁の確実な機能性を提供することができるシールを提供することである。

この問題は、請求項１に記載のシール、請求項５に記載のシーリング、及び請求項１２に記載の弁によって解決される。

本考案による真空弁のためのシールは、非円形断面を有する円形ベース要素を備える。そこでは、断面は、軸線方向に延びる外側面と、円形ベース要素の中心に向けて半径方向に延びる内側面とを有する。そこでは、ベース要素の内側面を延長することにより、シールは、弁の密封要素に締結的に固定することができる。すなわち、シールの内側面を延長することにより、シールは、弁の密封要素によって締結され、それによってシールを固定し、シールがその位置から引き抜かれることを避けることができる。すなわち、シールが密封要素内に締結されることを可能にすることにより、弁の確実な機能性が保証され、真空システムの損傷又は誤作動が回避される。

好ましくは、ベース要素の内側面は、ベース要素の中心に向けて先細になっている。すなわち、断面視野でのベース要素の厚みは、ベース要素の外側面から始めてその中心に向けて半径方向に沿って減少する。すなわち、シールの内側面を先細にすることにより、シールのコンパクトな固着がベース要素の先細区域で実現可能である。

好ましくは、ベース要素は、実質的に三角形断面を有する。そこでは、ベース要素は、好ましくは、底側面、外側面によって構築された底側面に実質的に垂直な側面、及び底側面とは反対の外側面の軸端から始まって底側面に向けて先細である傾斜面を有する。そこでは、外側面は、シールの高さを定める。

好ましくは、特に底側面とは反対のシールの上端に対応するベース要素の軸端は、密封面を提供するために丸められる。すなわち、ベース要素の軸端は、気密シールを提供するために、弁の別の密封面と接触する密封面を提供する。

好ましくは、ベース要素の全ての縁部は、丸められた面取り面として構築され、そこでは、傾斜面と底側面の間の接続点での最小高さを定める。

好ましくは、シールは、十分なシールを提供するためにゴム又は真空装置に使用するのに適するいずれかの他の材料から作られる。

本考案による別の態様では、ステムに接続された第１のディスクを有する弁のための密封要素を提供し、ステムは、弁の駆動機構に接続可能である。更に、密封要素は、第１のディスク上に配置された第２のディスクを備え、上述のようなシールは、第１のディスクと第２のディスクの間に固定される。そこでは、特に、第１のディスクと第２のディスクは、互いに直接に接触しており、すなわち、第２のディスクの下側の面は、第１のディスクの上側の面と直接に接触する。特に、第１のディスクと第２のディスクは、ネジ、ナット、又はいずれかの他の適切な手段によって互いに固定される。

好ましくは、第２のディスクは、ステムとは反対の第１のディスク上に配置される。

好ましくは、第１のディスクは、少なくとも部分的に及び好ましくは完全に第１のディスクの周囲に沿って配置された外縁を備え、外縁の内面は、シールの外側面と直接に接触している。すなわち、第１のディスクの外縁により、組立の容易性及びシールの移動の制限のためのシールに対する半径方向制限が提供される。

好ましくは、外縁の最上面は、実質的に平坦な密封要素を提供するために第２のディスクの上側の面と位置合わせされる。

好ましくは、第１のディスクは、シールの底側面を受け入れるためにシールの底側面に対応する好ましくは上側の面上に溝を提供し、特に溝の深さは、第１のディスクと第２のディスクが互いに組み立てられる時にシールの挟み込みを避けるためにシールの最小厚みに対応する。すなわち、溝により、シールの密封要素への組み付けが容易になる。更に、第１のディスクと第２のディスク間の締結力による組立工程中のシールが挟み込み及びそれによる意図しないシールの損傷が防止される。

好ましくは、第２のディスクは、第２のディスクの周縁に向けて先細になる先細セクションを提供する。そこでは、先細セクションは、シールの傾斜面に実質的に対応し、対応する形態をシールに提供する。特に、先細セクションは、第１のディスクの上側面に向いて面する第２のセクションの底側面に配置される。先細セクションに起因して、シールの挟み込みが回避される。更に、第２のディスクとシール間の接触面積が拡大され、密封要素とシール間に有効な圧力嵌めを提供する。すなわち、拡大された接触面により、シールを密封要素内に確実に固定するための十分な摩擦が発生する。

好ましくは、シール及び特にシールの軸端は、第２のディスクを超えて延びる。すなわち、シール及び特にシールの軸端は、漏れのないシールを提供するために弁又は真空システムの別の密封面と接触することができるように第２のディスクの上側の面及び好ましくは周縁の先端を超えて延びる。そこでは、密封要素から延びる軸端の形態は、好ましくは、従来技術でのようなダブテール形状溝から延びる従来のＯリングの形態と同等の形態を有する。

本考案の開示の態様では、真空装置の弁を提供する。本考案による真空装置のための弁は、第１のハウジング要素と、第１のハウジング要素に接続された第２のハウジング要素とを備える。第１のハウジング要素と第２のハウジング要素は、外側チャンバを定める。更に、第１のハウジング要素は、真空チャンバに接続することができる第１の開口部を有し、第２のハウジング要素は、真空ポンプに接続することができる第２の開口部を有する。第１の開口部と第２の開口部は、弁が開放状態にある場合にガス状媒体が弁を通して第１の開口部から第２の開口部まで又はその逆に流れることを可能にするように外側チャンバを通じて流体連通している。更に、第１のハウジング要素と第２のハウジング要素とによって内側チャンバが定められ、内側チャンバを第１の内側チャンバと第２の内側チャンバに分割する膜が、内側チャンバに配置される。上述のような密封要素は、膜に接続され、密封要素は、膜と又は第１の位置から第２の位置までの膜の移動と連動して移動可能である。第１の位置では、密封要素は、第１の開口部を漏れのない方式又は真空気密方式で閉じる。第２の位置では、密封要素は、ガス状媒体が弁を通って流れることを可能にするように第１の開口部を開く。膜の移動に起因して、密封要素は、閉じた弁に対応する第１の位置から開いた弁に対応する第２の位置の中に移動される。内側チャンバ内で膜を移動するのに加圧空気は必要ない。外側チャンバは、真空チャンバと真空ポンプ間でガス状媒体がそれを通って流れるチャンバを定めるが、膜を備える内側チャンバは、弁の状態を制御するのに利用される。

好ましくは、内側チャンバは、少なくとも部分的に及びより好ましくは完全に外側チャンバによって取り囲まれる。これは、コンパクトな設計の利点を有する場合があると考えられる。

好ましくは、第１の開口部及び第２の開口部は、１つの軸線上に配置される。すなわち、ガス状媒体は、弁を通って容易に流れることができる。特に、第１の開口部及び第２の開口部は、例えば真空伝導性をそれによって低減する角度付き構成には配置されない。

好ましくは、密封要素を第１の位置から第２の位置の中に移動するために、第２の内側チャンバは真空に接続され、第１の内側チャンバは、より高い圧力又は大気圧又は周囲圧力に接続される。第２の内側チャンバと第１の内側チャンバ間の圧力差に起因して、内側チャンバ内の膜は、移動しており、それによって密封要素を第２の位置の中に移動する。従って、作動中に、真空ポンプが十分な低圧を発生させた時に、膜と共に密封要素は、第２の位置の中に移動し、弁が開く。

好ましくは、第１のチャネルは、第２の内側チャンバを好ましくは弁の低圧の領域に接続している。より好ましくは、第１のチャネルは、第２のハウジング要素に接続される。真空ポンプが稼働している場合に、第２のハウジング要素の領域に真空が生成される。より好ましくは、第１のチャネルは、外側チャンバに接続される。次に、第１のチャネルにより、第２の内側チャンバは、低圧又は真空の領域に接続される。

好ましくは、第１の３方弁が第１のチャネルに配置される。３方弁は、第１のチャネルによって第２の内側チャンバに接続され、かつ第２の内側チャンバを低圧の領域に又は大気圧又は周囲圧力に選択的に接続することができる。すなわち、３方弁により、第２の内側チャンバは、低圧又は真空間で切り換え可能であり、それによって密封要素を第２の位置又は大気圧に移動し、それによって密封要素を第１の位置の中に移動し、すなわち、弁を閉じる。すなわち、第１の三方弁を制御することにより、弁を完全に制御することができる。加圧空気のような更に別のエネルギは必要ない。

好ましくは、第２のチャネルは、第１の内側チャンバを大気圧又は周囲圧力に接続している。すなわち、第１の内側チャンバにより、大気圧又は周囲圧力を第１の内側チャンバに印加し、第２の内側チャンバとの圧力差を生成して密封要素を移動することができる。

好ましくは、第２の３方弁が第２のチャネルに配置され、第１の内側チャンバを大気圧又は周囲圧力に又は低圧の領域、すなわち、真空に選択的に接続する。より好ましくは、３方弁は、第１の内側チャンバを第２のハウジング要素及び／又は外側チャンバに選択的に接続することができる。

好ましくは、第１の３方弁は、電磁弁であり、好ましくは、ノーマルクローズ電磁弁である。これに代えて又はこれに加えて、第２の３方弁が電磁弁であり、より好ましくは、ノーマルクローズ電磁弁である。

好ましくは、密封要素の直径は、第１の開口部の直径よりも小さい。すなわち、密封要素は、第１のハウジング要素を第２のハウジング要素に接続する前に膜に組み付けることができる。

好ましくは、膜は、第１のハウジング要素と第２のハウジング要素間に固定される。

好ましくは、密封要素は、第１の開口部に接続可能なフランジに対して第１の開口部を密封する。好ましくは、フランジは、弁の第１の開口部に接続された真空チャンバのフランジである。

好ましくは、バネが密封要素に接続される。バネのバネ定数は、密封要素の質量に対してのみ補償するようになっている。すなわち、バネは、第１の内側チャンバと第２の内側チャンバのいずれの圧力差も打ち消すようには構成されない。すなわち、弁に大きいバネ力が存在せず、弁とサービスとの組立を簡素化する。より好ましくは、バネのバネ定数は、１から１０Ｎ／ｍｍの間、更により好ましくは、１から５Ｎ／ｍｍの間である。

好ましくは、弁が開閉するのに、すなわち、密封要素を第１の位置から第２の位置まで及び／又は第２の位置から第１の位置の中に移動するのに加圧空気は用いられない。

本考案の態様では、真空装置には、上述のような弁が設けられる。更に、真空ポンプが、弁の第２の開口部に接続され、真空チャンバが、弁の第１の開口部に接続される。すなわち、弁により、真空チャンバ内側の真空を維持するために真空ポンプの作動停止時に真空ポンプを真空チャンバから分離することが可能である。

更に、真空装置は、制御ユニットを備え、第１の三方弁は、制御ユニットに接続される。制御ユニットは、低圧領域内の圧力が第１の内側チャンバ内の圧力よりも低い場合に、第２の内側チャンバを低圧領域と第１の３方弁によって接続し、密封要素を第２の位置の中に移動するように構成される。すなわち、真空ポンプの作動時に、好ましくは外側チャンバ内側の低圧領域は、大気圧又は周囲圧力よりも低い圧力を有する。すなわち、第２の内側チャンバを低圧領域と接続することにより、密封要素は、圧力差に起因して第２の位置の中に押し込まれる。

好ましくは、制御ユニットは、第１の三方弁によって第２の内側チャンバを大気と接続し、密封要素を第１の位置の中に移動するように構成される。これは、次に第１の内側チャンバが大気圧又は周囲圧力に接続されるので、弁の通常作動中の低圧領域内の圧力とは無関係である。第１の三方弁を制御する制御ユニットによって第２の内側チャンバがこの時点で大気圧に接続される場合に、密封要素は第１の位置の中に移動される。

好ましくは、制御ユニットは、第２の３方弁に接続され、かつ第２の内側チャンバが第１の３方弁によって大気に接続されている間に第２の３方弁によって第１の内側チャンバを低圧領域と接続して低圧領域内の圧力が大気よりも低い場合であっても密封要素を第１の位置に維持するように更に構成される。この状況は、真空ポンプをパージするのに、すなわち、真空ポンプの温度を上昇させて真空ポンプをパージするために真空ポンプをポンピングなしで稼働するのに使用することができる。

以下では、添付図面を参照して本考案をより詳細に説明する。

本考案による弁の断面図である、 本考案による密封要素を示す図である。 本考案による密封要素を示す図である。 本考案によるシールの斜視図及び断面図である。

本考案による弁１０は、互いに接続された第１のハウジング要素１２と第２のハウジング要素１４を備える。第１のハウジング要素１２と第２のハウジング要素１４により、外側チャンバ１６が定められる。更に、第１のハウジング要素１２は、第１の開口部１８を備え、第２のハウジング要素１４は、第２の開口部２０を備える。第１の開口部１８は、外側チャンバ１６を通じて第２の開口部２０と流体連通している。それにより、第１の開口部１８は、フランジによって真空チャンバに接続することができ、第２の開口部２０は、真空ポンプに接続することができる。すなわち、外側チャンバ１６内の圧力は、第２の開口部２０に接続された真空ポンプの入口での圧力と大部分は等しくなる。

第１のハウジング要素１２と第２のハウジング要素１４により、内側チャンバ２２が定められる。第１のハウジング要素１２と第２のハウジング要素１４間には、内側チャンバ２２を第１の内側チャンバ２６（図では膜２４の上方）と第２の内側チャンバ２８（図では膜２４の下方）に分離する膜２４が取り付けられる。

膜２４には密封要素３０が接続され、密封要素３０は、密封ディスクを備える。密封要素３０は、密封要素３０のディスクを膜２４と接続するシャフト３２を更に備える。密封要素３０は、膜２４の移動と関連して移動する。すなわち、密封要素３０は、第１の位置から第２の位置まで移動することができる。第１の位置では、密封要素は、第１の開口部１８を閉じる。図示のような第２の位置では、第１の開口部１８は開いており、ガス状媒体は、弁１０を通って流れることができる。

密封要素３０のシャフト３２にバネ３４が接続される。バネ３４は、第１の内側チャンバ２６と第２の内側チャンバ２８間に圧力差が存在しない場合に密封要素３０を第１の位置に維持するために単に密封要素３０（シャフト３２及び密封ディスクを含む）の質量を補償するようになった弱いバネである。

更に、図示の実施形態では、第１の３方弁３６と第２の３方弁３８が弁１０に接続される。特に、第２の内側チャンバ２８は、第１の３方弁３６により、大気４０に又は弁内側の低圧領域にそのいずれかに接続することができる。更に、第１の内側チャンバ２６は、第２の３方弁３８により、大気４０に又は外側チャンバ１６の低圧領域にそのいずれかに接続することができる。代替実施形態では、第１の３方弁３６のみが使用され、一方で第１の内側チャンバ２６は、第２の３方弁３８によって第１の内側チャンバ２６を外側チャンバ１６の低圧領域に接続する可能性なしに大気１４に直接に接続される。すなわち、この実施形態は、第１の３方弁のみを使用し、第２の３方弁３８を回避する。

弁は以下のように機能する：第２の３方弁３８による通常作動中に、第１の内側チャンバ２６が、大気４０に接続される。開始時には、第２の内側チャンバ２８も第１の三方弁３６によって大気４０に接続されている。すなわち、第１の内側チャンバ２６と第２の内側チャンバ２８間に圧力差が存在しない。すなわち、バネ３４により、密封要素３０は、第１の開口部を密封する第１の位置の中に押し込まれる。特に、第１の開口部１８に真空チャンバが接続されて真空チャンバ内に低圧真空が存在する場合に、密封要素３０は、真空チャンバ内の圧力と外側チャンバ１６内の圧力間の圧力差によって第１の位置の中に押し込まれる。すなわち、作動の開始のために、第２の内側チャンバ２８は、第１の３方弁３６によって外側チャンバ１６の低圧領域に接続される。しかし、第１の開口部１８に接続された真空チャンバと外側チャンバ１６の圧力間の圧力差に起因して、密封要素３０は、依然として第１の位置に留まる。次に、第２の開口部２０に接続された真空ポンプが始動され、外側チャンバ１６が排気される。次に、真空室と外側チャンバ間の圧力差がほぼ同じである場合に、密封要素３０は、第２の位置の中に又はその圧力差に起因して第１の内側チャンバ２６と第２の内側チャンバ２８の間に押し込まれる。上述のように、通常作動中に、第１の内側チャンバ２６は大気圧にあり、一方で第２の内側チャンバ２８は、第２の開口部２０に接続された真空ポンプによる排気に起因して低下した外側チャンバ１６の圧力にある。次に、密封要素は、第１の開口部１８を開く第２の位置に位置決めされ、すなわち、第１の開口部１８に接続された真空チャンバからのガス状媒体は、弁を通り、かつ第２の開口部２０を通って第２の開口部２０に接続された真空ポンプに向けて直接に流れることができる。真空ポンプの停止の前に、第２の内側チャンバ２８は、次に、第１の三方弁３６によって大気４０に接続される。すなわち、第１の内側チャンバ２６と第２の内側チャンバ２８間に圧力差はない。バネ３４に起因して、密封要素３０は、第１の開口部１８を密封する第１の位置の中に押し込まれる。真空ポンプの通気時に又は外側チャンバ１６が通気される場合に、及び真空と第１の開口部１８に接続された真空チャンバとに起因して、密封要素は、次に、第１の位置に留まるよう強制される。

真空ポンプをパージする、すなわち、閉鎖入口を本考案の弁によって閉じた状態で真空ポンプを稼働させることが必要である場合に、弁の機能は、第２の三方弁３８によって逆転される。すなわち、密封要素が第１の位置にある場合及び真空ポンプの始動時に、第１の内側チャンバ２６は、第２の３方弁３８によって外側チャンバ１６の低圧領域に接続される。同時に、第２の内側チャンバ２８は、第１の三方弁３６によって大気に接続される。開始時に第１の内側チャンバ２６と第２の内側チャンバ２８間に圧力差がないので、密封要素３０は、第１の開口部１８に接続された真空チャンバと外側チャンバ１６間の圧力差によって第１の位置に留まる。真空ポンプの作動中に、外側チャンバ１６は排気され、真空が構築され始める。すなわち、第２の三方弁３８により、第１の内側チャンバ２６に真空が発生し、一方で第２の内側チャンバ２８で大気圧が維持される。この圧力差に起因して、密封要素３０は、外側チャンバ１６内の圧力が第１の開口部１８に接続された真空チャンバの圧力よりも低い場合でも、依然として第１の位置の中に押し込まれる。この作動モード中に、真空ポンプは、真空ポンプの入口を本考案の弁によって閉じた状態に維持しながら効率的にパージすることができる。

すなわち、複雑さが低く、強いバネ力がないことに起因して容易に使用することができ、かつ加圧空気なしで制御することができる弁を提供する。

密封要素３０を示す図２ａ及び図２ｂを参照する。密封要素３０は、第１のディスク５０と第２のディスク５２を備える。そこでは、ステム５４が、第１のディスク５０の底側面５６に接続される。ステム５４を通じて、密封要素３０は、上記で議論したように密封要素３０を第１の位置から第２の位置まで移動するために膜２４に接続することができる。

第２のディスク５２は、ステム５４の反対側で第１のディスク５０の上側面５８上に配置される。第１のディスク５０と第２のディスク５２間にシール６０が配置され、かつ第１のディスク５０と第２のディスク５２間に締結的に固定される。そこでは、第２のディスク５２の下側面は、第１のディスクの上側面５８と直接に接触する。第１のディスクと第２のディスクは、ネジ又はナット６２によって互いに固定される。

図３に示すシール６０は、ベース要素６４を備える。ベース要素６４は、中心６６を有する円形である。そこでは、ベース要素６４は、底側面６８と底側面６８に実質的に垂直な外側面７０とを有する実質的三角形断面を有する。更に、ベース要素は、軸線方向７４のベース要素６４の先端に対応する軸端７２を有する。軸端７２から、ベース要素は、傾斜面７８として構築された中心６６に向けて延びる内側面７６を有する。内側面７６と傾斜面７８により、シール６０は、２つのディスク５０，５２間にシール６０の圧力嵌めを提供するように第１のディスク５０と第２のディスク５２との十分に大きい接触面積を提供する。更に、図３に描かれているように、軸端７２は、丸められ、特に半球状である。好ましくは、シール６０の全ての縁部は、同じく丸められた面取り面である。

再び図２ｂを参照すると、第１のディスク５０は、その上側の面５８に溝８０を備える。そこでは、溝の半径方向の幅は、シール６０のベース要素６４の半径方向の幅８２に対応する。更に、溝８０の深さは、シール６０の最小深さ８４に対応する。すなわち、溝により、第１のディスク５０と第２のディスク５２間のシール６０の組立が容易になる。これに加えて、シール６０の最小高さに対応する溝８０の深さに起因して、組立中に第２のディスク５２の下側の面が第１のディスク５０の上側の面５８に接触する時のシールの挟み込みが回避される。

更に、第１のディスクは、第２のディスクの好ましくは全周囲に沿って外縁８６を有する。それにより、シール６０の外側面７０は、外縁８４の内側面に対して当接し、シール６０の半径方向制限を提供する。

従って、外縁８４と第２のディスク５２の外径との間により、シール６０がそれを通って延びる間隙が存在する。そこでは、この間隙のサイズは、シール６０の最小寸法よりも小さい。そこでは、シールの最小寸法は、シールが通過するための最小間隙サイズを指す。例えば、円形断面を有するＯリングに対して、最小寸法は、この断面の直径に等しい。すなわち、シールは引き抜くことができない。更に、Ｏリングとダブテール形状溝とを備える従来技術に比べて、間隙サイズとシールの最小寸法との間の比は、本考案によって小さくなり、それにより、シール６０が引き抜かれることをより効率的に防止する。

更に、第２のディスク５２の下側面は、先細セクション８８を備える。そこでは、先細セクションは、第２のディスク５２の外縁に向う先細部を備える。そこでは、先細部の角度は、シール６０の傾斜面７８の角度に実質的に対応し、組立中にシール６０を損傷する又は挟み込むことなく第１のディスク５０と第２のディスク５２間のシール６０の締結的固着を提供する。

内側面７６に起因して、シール６０は、密封要素３０に確実に固定することができ、かつ密封要素の移動中に引き抜くことができない。更に、図２ａに示すように、組立後に、密封要素６０は、通常のＯリングであるように見え、第２のディスク５２の上側の面９０から延びる実質的に半球状の面を提供する。そこでは、第１のディスク５０の周縁８６の好ましくは先端９２が、第２のディスク５２の上側の面９０と位置合わせされる。すなわち、シール６０は、第２のディスクの上側の面９０、並びに外縁８６の先端９２を超えて延びている。すなわち、シール６０は、弁の第１の開口部に接続されたフランジと容易に接触することができ、気密／ガス密シールを提供する。しかし、シール６０は、シール６０の形状に起因して密封要素３０内の位置から引き抜くことはできない。

参照符号のリスト
１０ 弁
１２ 第１のハウジング要素
１４ 第２のハウジング要素
１６ 外側チャンバ
１８ 第１の開口部
２０ 第２の開口部
２２ 内側チャンバ
２４ 膜
２６ 第１の内側チャンバ
２８ 第２の内側チャンバ
３０ 密封要素
３２ シャフト
３４ バネ
３６ 第１の三方弁
３８ 第２の三方弁
４０ 大気
５０ 第１のディスク
５２ 第２のディスク
５４ ステム
５６ 底側面
５８ 上側面
６０ シール
６２ ナット
６４ ベース要素
６６ 中心
６８ 底側面
７０ 外側面
７２ 軸端
７４ 軸線方向
７６ 内側面
７８ 傾斜面
８０ 溝
８２ 半径方向幅
８４ 最小深さ
８６ 外縁
８８ 先細セクション
９０ 上側の面
９２ 先端

Claims (12)

1. 真空弁のためのシールであって、
   円形ベース要素（６４）を備え、
   前記ベース要素は、軸線方向に延びる外側面（７０）と、内側面（７６）であって、シールの該内側面（７６）を弁の密封要素（３０）に締結的に固定することができるように半径方向に延びる前記内側面（７６）と、を有する非円形断面を有する、
   ことを特徴とするシール。
2. 前記内側面は、前記ベース要素（６４）の中心に向けて先細である、
   請求項１に記載のシール。
3. 前記ベース要素（６４）は、実質的三角形断面を有する、
   請求項１又は２に記載のシール。
4. 前記ベース要素の軸端が、密封面を提供するために丸められている、
   請求項１から３のいずれか１項に記載のシール。
5. 弁の駆動機構に接続可能であるステム（５４）に接続された第１のディスク（５０）と該第１のディスク（５０）上に配置された第２のディスク（５２）とを有する弁のための密封要素（３０）であって、
   請求項１から４のいずれか１項に記載のシール（６０）が、前記第１のディスク（５０）と前記第２のディスク（５２）間に固定される、
   ことを特徴とする密封要素（３０）。
6. 前記第２のディスク（５２）は、前記ステム（５４）の反対側で前記第１のディスク（５０）上に配置される、
   請求項５に記載の密封要素。
7. 前記第１のディスク（５０）は、前記シール（６０）の前記外側面（７０）と直接に接触している外縁（８６）を備える、
   請求項５又は６に記載の密封要素。
8. 前記外縁（８６）の最上面（９２）が、前記第２のディスク（５２）の上側の面（９０）と位置合わせされる、
   請求項７に記載の密封要素。
9. 前記第１のディスク（５０）は、前記シール（６０）の底側面（６８）に対応する溝（８０）を提供し、該溝（８０）の深さが、該シール（６０）の挟み込みを避けるために該シール（６０）の最小厚み（８４）に対応する、
   請求項５から８のいずれか１項に記載の密封要素。
10. 前記第２のディスク（５２）は、該第２のディスク（５２）の周縁に向けて先細である先細セクション（８８）を提供し、該先細セクションは、前記シール（６０）の傾斜面（７８）に実質的に対応し、該シール（６０）に対して対応する形態を提供する、
    請求項５から９のいずれか１項に記載の密封要素。
11. 前記シール（６０）及び好ましくは該シールの前記軸端は、前記第２のディスク（５２）を超えて延びる、
    請求項５から１０のいずれか１項に記載の密封要素。
12. 真空装置のための弁であって、
    第１のハウジング要素（１２）及び該第１のハウジング要素（１２）と接続された第２のハウジング要素（１４）であって、外側チャンバ（１６）が、該第１のハウジング要素（１２）と該第２のハウジング要素（１４）とによって定められる前記第１のハウジング要素（１２）及び前記第２のハウジング要素（１４）、を備え、
    前記第１のハウジング要素（１２）は、第１の開口部（１８）を有し、前記第２のハウジング要素（１４）は、前記外側チャンバ（１６）を通じて該第１の開口部（１８）と流体連通している第２の開口部（２０）を有し、
    内側チャンバ（２２）が、前記第１のハウジング要素（１２）と前記第２のハウジング要素（１４）とによって定められ、該内側チャンバ（２２）を第１の内側チャンバ（２６）と第２の内側チャンバ（２８）とに分割する膜（２４）が、該内側チャンバ（２２）に配置され、
    請求項５から１１のいずれか１項に記載の密封要素（３０）が、該密封要素の前記ステムを通じて前記膜（２４）に接続され、該密封要素（３０）は、第１の位置から第２の位置まで移動可能であり、該第１の位置では、該密封要素（３０）は、漏れのない方式で前記第１の開口部（１８）を閉じ、該第２の位置では、該密封要素は、ガス状媒体が弁を通って流れることを可能にするように該第１の開口部（１８）を開く、
    ことを特徴とする弁。

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