JP3241512U - プロセス排ガス処理システム - Google Patents

Abstract

【課題】経済的で効果的なプロセス排ガス処理システムを提供する。
【解決手段】プロセス排ガス処理システムは、沸石回転ホイール１０を有し、沸石回転ホイールのホイール面は吸着ゾーン１０１、冷却ゾーン１０２、および離脱ゾーン１０３に区分され、沸石回転ホイールの回転に伴い、吸着／離脱／冷却の回転過程を完成できる排ガス濃縮ユニット１と、焼却装置２０を少なくとも有するとともに排ガス濃縮ユニットと連通し、ＶＯＣ濃縮気体の中の揮発性有機化合物を焼却し焼却後ガスを生成するための焼却ユニット２と、焼却装置と気体連通し、焼却後ガスを受けるための粉塵ろ過装置３０を少なくとも有する除塵ユニット３と、を含む。
【選択図】図１

Description

本考案は、排ガス処理システムに関し、特に、プロセス排ガス処理システムに関する。

多くの場合、半導体および光電産業の製造プロセスを完了するために化学反応が必要とし、これらの化学反応のほとんどは、揮発性有機化合物(Volatile Organic Compounds、略称VOCs)などの大量の毒性のある有機排ガスが発生し、これらのVOCsのほとんどは有害な大気汚染物質(hazardous air pollutants、略称HAPs)であり、人体が高濃度の VOC を含む環境に長期間さらされると、中毒や発がん性腫瘍の原因となる。また、大気中のVOCs光化学反応を引き起こしてしまい、大気のオゾン濃度が上昇し、酸化力の高い汚染物質が生成される。そのため、揮発性有機化合物を含むこれらの排ガスは、排出する前に処理する必要があり、直接大気に排出することはできない。

排ガス処理に一般的に使用されている技術には、焼却(熱焼却、触媒焼却、ボイラ焼却、排ガス燃焼塔)、粉塵ろ過、濃縮焼却、凝縮、洗浄塔などが含まれる。しかし、さまざまな環境保護装置の処理効果はそれぞれ異なる。現在、VOC処理装置では、粉塵、窒素酸化物、酸性またはアルカリ性ガスなどの汚染物質も排出するため、ますます厳しくなる環境保護規制の要件に満たすために、どのようにして多くの処理技術のうちから、経済的で効果的な処理装置を採用し、かつ製造プロセスの環境空気への配慮から、工場の管理者にとっては環境保護作業を実行するための重要な課題である。

これに鑑みて、本考案の創作者は、上述の欠点を改善し、解決するために、研究および学理的運用により、合理的かつ有効的に上述の欠点を改善する本考案を提出した。

前記目的を達成するために、本考案は、沸石回転ホイールを有し、前記沸石回転ホイールのホイール面が吸着ゾーンと冷却ゾーンと離脱ゾーンとに区分され、前記吸着ゾーンは、プロセス排ガスを導入し、前記プロセス排ガスのうち少なくとも一部の揮発性有機化合物を吸着しながらろ過気体を送出するために用い、前記冷却ゾーンは、前記プロセス排ガスの一部の分流または外部気体である冷却気体を導入し、離脱を行うことによって熱量を累積し、昇温した前記沸石回転ホイールを冷却させるために用い、前記離脱ゾーンは、離脱気体を導入し、前記沸石回転ホイールが吸着した揮発性有機化合物を離脱するとともにVOC濃縮気体を送出するために用いられる排ガス濃縮ユニットと、焼却装置を少なくとも有するとともに前記排ガス濃縮ユニットと連通し、前記VOC濃縮気体の中の揮発性有機化合物を焼却し焼却後ガスを生成するための焼却ユニットと、前記焼却装置と気体連通し、前記焼却後ガスの中の粉状汚染物質または窒素酸化物汚染物質を除去するための粉塵ろ過装置を少なくとも有し、かつ、排熱回収装置および後段洗浄塔装置と結合し、酸性、アルカリ性などの汚染物質を除去する除塵ユニットとを、少なくとも含むプロセス排ガス処理システムを提供する。

本考案の一実施例によれば、前記冷却ゾーンは、前記離脱ゾーンと気体連通し、前記冷却ゾーンを通過する前記冷却気体が前記離脱気体に昇温し、前記離脱ゾーンに進入する。

本考案の一実施例によれば、前記排ガス濃縮ユニットは、第１の熱交換器をさらに備え、前記第１の熱交換器の低温端は、前記沸石回転ホイールの前記離脱ゾーンおよび前記焼却ユニットと連通し、前記VOC濃縮気体を受けて加熱した後、前記焼却ユニットの前記焼却装置に伝送する。

本考案の一実施例によれば、前記排ガス濃縮ユニットは、第２の熱交換器をさらに備え、前記第２の熱交換器の低温端は、沸石回転ホイールの冷却ゾーンおよび離脱ゾーンと連通し、前記冷却ゾーンを通過する冷却気体を受けて前記離脱気体の必要な温度に昇温してから前記離脱ゾーンに伝送する。

本考案の一実施例によれば、前記焼却装置、前記第１の熱交換器、および前記第２の熱交換器は、順次に気体連通し、前記焼却後ガスは、前記焼却装置から排出した後に前記第１の熱交換器、前記第２の熱交換器の高温端に順次に導入され、熱交換に使用する熱源とする。

本考案の一実施例によれば、前記粉塵ろ過装置にはセラミックろ過チューブ、またはフィルタバッグが設けられ、前記セラミックろ過チューブ、または前記フィルタバッグは、パイプ状セラミックろ過チューブ、パイプ状触媒含有セラミックろ過チューブ、長方形セラミックろ過チューブ、長方形触媒含有セラミックろ過チューブ、パイプ状または長方形被覆薄膜触媒フィルタバッグ、およびパイプ状または長方形二重フィルタバッグのうち少なくとも一つである。

本考案の一実施例によれば、前記粉塵ろ過装置の内部に設けられた前記フィルタバッグが非セラミック材質である場合に、前記粉塵ろ過装置は低温集塵器であり、前記排ガス濃縮ユニットは、第３の熱交換器をさらに備え、前記第３の熱交換器の高温端は、前記第２の熱交換器および前記粉塵ろ過装置と連通し、前記第２の熱交換器からの前記焼却後ガスを受け、前記第３の熱交換器の低温端は、前記沸石回転ホイールの吸着ゾーンと連通し、前記沸石回転ホイールの前記吸着ゾーンから排出したろ過ガスＷ_１の一部の分流気体を受ける。

本考案の一実施例によれば、前記除塵ユニットは、洗浄塔をさらに備え、前記洗浄塔は、前記粉塵ろ過装置の下流端に設けるとともに前記粉塵ろ過装置と気体連通する。

本考案の一実施例によれば、前記除塵ユニットは、前記粉塵ろ過装置の下流端に設けられた排熱回収装置をさらに備え、前記排熱回収装置は、排熱回収ボイラまたはORC排熱回収装置を含み、前記粉塵ろ過装置を通過する前記焼却後ガスを受ける。

本考案の一実施例によれば、前記除塵ユニットには洗浄塔とさらに結合し、前記洗浄塔は、前記排熱回収装置の下流端、または前記粉塵ろ過装置の上流端に設置し、焼却後の酸性またはアルカリ性汚染物質を除去する。

本考案の一実施例によれば、湿式洗浄塔である場合、前記洗浄塔が前記排熱回収装置の下流端に設けられるとともに前記排熱回収装置と気体連通する。

本考案の一実施例によれば、乾式洗浄塔である場合、前記洗浄塔が前記粉塵ろ過装置の上流端に設けられるとともに前記粉塵ろ過装置と気体連通する。

本考案の第１の実施例に係るプロセス排ガス処理システムを示す構成図である。 本考案の第２の実施例に係るプロセス排ガス処理システムを示す構成図である。 本考案の第３の実施例に係るプロセス排ガス処理システムを示す構成図である。

以下では、本考案のプロセス排ガス処理システムの構成および技術内容等について、様々な適用例を列挙し添付された図面を参照しながら詳細に説明する。しかしながら、本考案は、例示されたこれらの実施例、図面、または詳細な説明に限定されるものではないことは言うまでもない。

さらに、当該技術に熟知した当業者にとっては、例示された実施例および添付された図面は、参照および説明のためのものだけであり、本考案を限定するものではないことが明らかであろう。これらの記載に基づいて容易に実施することができる補正や変更で完成した考案も、本考案の主旨に逸脱されなく、すべて本考案の特許請求の範囲に含まれるべきである。

また、本考案の技術的特徴、目的、効果をより明確に理解するために、本発明の具体的な実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。本考案の詳細説明および技術的内容については、図面に合わせて以下のとおり説明したが、添付の図面は参考および説明のためのものであり、本考案を制限するものではない。なお、本考案の前記説明およびその他の技術的内容、特徴、効能については、添付図面に併せた各実施例の詳細な説明において明らかであろう。以下の実施例でいう方向用語、例えば、「上」「下」「左」「右」「前」「後」などは、単に図示した方向を参照するものである。したがって、使用される方向用語は、本考案を限定するものではなく、説明するものである。なお、以下の各実施例では、同じまたは類似した要素には、同じまたは類似した符号を使用する。

まず、図１を参照し、図１は、本考案の第１の実施例に係るプロセス排ガス処理システムを示す構成図である。プロセス排ガス処理システムは、揮発性有機化合物(Volatile Organic Compounds、略称VOCs)を含有するプロセス排ガスＷを処理するための装置であり、プロセス排ガスＷの発生源については特に限定されないが、例えば、石油化学産業や、半導体産業、製鉄所、または有機溶媒の使用を必要とするプロセス排ガスから発生することが可能である。また、プロセス排ガスＷが含有する揮発性有機化合物は、アルカン、芳香族炭化水素、エステル、ケトンであり、例えば、プロパン、ブタン、ベンゼン、トルエン、エチルベンゼン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、イソアミルアルコール、アセトン、ブタノン、テトラクロロエチレン、クロロベンゼン、酢酸プロピレングリコールメチルエーテル(PGMEA)、モノエタノールアミン(MEA)およびジメチルスルホキシド(DMSO)であってよいが、これらに限定されない。

図１に示すように、プロセス排ガス処理システムは、排ガス濃縮ユニット１と、焼却ユニット２と、除塵ユニット３とを含む。排ガス濃縮ユニット１は、沸石回転ホイール１０を有し、沸石回転ホイールのホイール面は、吸着ゾーン１０１、冷却ゾーン１０２、および離脱ゾーン１０３に区分され、沸石回転ホイール１０は、モータ（図示せず）によって駆動され、所定の回転数で連続的に回転し、吸着ゾーン１０１、離脱ゾーン１０３および冷却ゾーン１０２を順次に通過する。吸着ゾーン１０１は、プロセス排ガスＷを導入し、プロセス排ガスＷのうち少なくとも一部の揮発性有機化合物を吸着しながらろ過ガスＷ_１を送出するために用い、ろ過ガスＷ_１は、煙突４によって外部に排出しまたは他の用途とすることができる。離脱ゾーン１０３は、離脱気体Ｄを導入し、沸石回転ホイールが吸着した揮発性有機化合物を離脱させながらVOC濃縮気体Ｔを送出する。冷却ゾーン１０２は、冷却気体Ｃを導入し、離脱を行うことによって熱量を累積するとともに温度を上昇する沸石回転ホイール１０を冷却させるために用い、ここで、冷却気体Ｃとは、プロセス排ガスの一部の分流または外部気体である。沸石回転ホイール１０の回転に伴い、吸着飽和状態に近い沸石回転ホイール１０が離脱ゾーンに入り、高温の離脱ガスＤと接触する過程で揮発性有機化合物が離脱されて離脱ガスＤに入り、沸石回転ホイール１０が再生される。再生後の沸石回転ホイール１０は、冷却ゾーン１０２によって冷却、温度低下された後、吸着ゾーン１０１に戻って、吸着／離脱／冷却の循環過程を完成する。

また、焼却ユニット２は、沸石回転ホイール１０の離脱ゾーン１０３と気体連通することができるように構成され、焼却ユニット２は、焼却装置２０を含み、VOC濃縮気体Ｔの中の揮発性有機化合物を焼却処理し焼却後ガスＨを生成することができる。適用する焼却装置は、直燃式焼却炉、触媒焼却炉、蓄熱式焼却炉、または蓄熱式触媒焼却炉を含むが、それに限定されない。

焼却ユニット２は、助燃風車２１をさらに備え、助燃風車２１は焼却装置２０と連結し、焼却装置２０のVOC濃縮気体の排ガス熱値が必要温度までに燃焼できない場合に、助燃風車２１は、天然ガスなどの燃料を輸送して気体焼却作業をサポートし、その中、補助燃料の燃焼機として、低窒素酸化物燃焼機を採用し、排出する窒素酸化物濃度が環境保護規制の要件に満たすことを確保することができる。

本考案の技術思想によれば、排ガス濃縮ユニット１は、第１の熱交換器１１と第２の熱交換器１２とをさらに備え、第１の熱交換器１１と第２の熱交換器１２とは、板式熱交換器または管胴式熱交換器であり、好ましくは管胴式熱交換器であるが、特に限定されない。第１の熱交換器１１の低温端は、沸石回転ホイール１０の離脱ゾーン１０３および焼却ユニット２と連通し、VOC濃縮気体を受け、加熱した後、焼却ユニット２の焼却装置１２に伝送し、第２の熱交換器１２の低温端は、沸石回転ホイール１０の冷却ゾーン１０２および離脱ゾーン１０３と連通し、冷却ゾーン１０２を通過した冷却気体を受け、離脱気体の必要温度に昇温した後、離脱ゾーン１０３に伝送する。また、焼却ユニット２０から排出された焼却後ガスＨは、第１の熱交換器１１および第２の熱交換器１２の高温端に順次に進入し、熱交換に使用する熱源とし、焼却後ガスＨを冷却させた後、除塵ユニット３に導入する。

日増しに厳しくなる環境保護規制により、法的検査要件に従って、冷却気体Ｃが離脱温度に上昇してから、スロットル１０４およびスロットル１０５を起動し、離脱気体Ｄの離脱温度が設定温度に達し、回転ホイールの処理効率を確保する。

以上のように、除塵ユニット３は、粉塵ろ過装置３０を備え、粉塵ろ過装置３０の内部にセラミックろ過チューブ、またはフィルタバッグなどのろ過材料が少なくとも設けられ、例えば、パイプ状セラミックろ過チューブ、パイプ状触媒セラミックろ過チューブ、長方形セラミックろ過チューブ、長方形触媒セラミックろ過チューブ、パイプ状または長方形被覆薄膜触媒フィルタバッグ、パイプ状または長方形二重フィルタバッグであり、焼却後ガスの中の粉塵、シリカなどの固体汚染物を除去することができる。そのうち、二重フィルタバッグの外層は、高温除塵フィルタバッグ（例えば、テフロン、ガラス繊維）であり、内層は、寸法が相容である触媒フィルタバッグである。また、セラミックろ過チューブまたはフィルタバッグに含まれる触媒は、脱硝、ダイオキシン除去、揮発性有機ガス除去、重金属除去、遷移金属除去、温室効果ガス除去、オゾン除去のうち少なくとも一種の機能を有する。さらに、粉塵ろ過装置３０の流入端に導流板が設けられ、温度降下後の焼却後ガスＨを受けて粉塵ろ過装置３０に導入する。

また、本考案の排ガス処理システムでは、パイプラインに複数の風車をさらに設置し、気体輸送をサポートすることも可能である。これらの風車の数および配置位置は特に限定されておらず、プロセスの需要によって配置することができる。例えば、本実施例では、吸着ゾーン１０１の流入端に２つの一次側風車１３が設けられ、吸着ゾーン１０１の流出端に１つの二次側風車が設けられ、離脱ゾーン１０３の流出端に１つの離脱風車１５が設けられている。

本考案の技術思想によれば、吸着ゾーン１０１および冷却ゾーン１０２の流入端にろ過装置１６をそれぞれ設けることができ、プロセス排ガスＷは、第１の回転ホイール１０に入る前にまずろ過装置１６を通過し、沸石回転ホイール１０の上流端にも緊急排出管路Ｐを設け、突発状況が発生する時に、まずプロセス排ガスを他の場所または煙突４に誘導し、装置の損失または製造装置の圧力平衡に影響することを避ける。ろ過装置１６は、環境空気によって化学ろ過網を増設できて、その空気品質を確保する。

また、本考案のプロセス排ガス処理システムは、脱着出口での高温保護、Ｎ_２または水を噴霧するなどの異常高温保護対策が施されており、炉内温度が高温警報時には消火して冷却することができ、離脱風車が故障する時にスロットルを遮断して閉じることができ、スロットルが開き、炉内の高温ガスが回転ホイール区域に戻って害を及ぼすのを防ぐ。

次に、図２を参照すると、本考案の第２の実施例に係るプロセス排ガス処理システムを示す構成図である。この実施例では、排ガス濃縮ユニット１、焼却ユニット２は、前述した第１の実施例と同様であるが、ここでは省略するが、主な違いは、除塵ユニット３が排熱回収装置３１と洗浄塔３２とをさらに含むことである。

排熱回収装置３１は、粉塵ろ過装置３０の下流端に設け、排熱回収ボイラ(Heat Recovery Steam Generators、略称HRSG)またはORC排熱回収装置を含み、粉塵ろ過装置３０を通過する燃焼後気体を熱源とし、流入水を熱湯または水蒸気に加熱してプロセスまたは発電に用いる。

洗浄塔３２は、乾式洗浄塔または湿式洗浄塔とすることができ、本実施例では、洗浄塔３２は湿式洗浄塔であり、排熱回収装置３１の下流端に設けられ、洗浄塔３２が乾式洗浄塔である場合には、粉塵ろ過装置３０の上流端に設けられる。

また、本考案の技術思想によれば、粉塵ろ過装置３０の内部に設置されたろ過材料が非セラミック材質のフィルタバッグである場合に、粉塵ろ過装置３０は低温集塵器であり、粉塵ろ過装置３０に入った焼却後ガスＨはさらに温度を降下しなければならない。図３に示す第３の実施例のシステム構造図のように、排ガス濃縮ユニットに第３の熱交換器１７が設けられ、第３の熱交換器１７の高温端は、第２の熱交換器１２および粉塵ろ過装置３０と連通し、低温端は沸石回転ホイール１０の吸着ゾーン１０１および煙突４と連通する。

そのため、第二熱交換器１２から排出した焼却後ガスＨは、第３の熱交換器１７の高温端に入り、沸石回転ホイール１０の吸着ゾーン１０１から排出したろ過ガスＷ１は、部分的に前記第３の熱交換器１７の低温端に分流し、焼却後ガスＨとろ過ガスＷ１は第３の熱交換器１７に熱交換を行い、焼却後ガスＨをさらに温度降下させた後、除塵ユニット３の粉塵ろ過装置３０に導入する。また、本実施例では、焼却後ガスＨが三段に降温されるため、除塵ユニット３において排熱回収装置を増設する必要がなく、粉塵ろ過装置３０および洗浄塔３２を設置するだけでよい。

また、本考案の他の実施例では、沸石回転ホイール１０の数量も複数であってよい。これらの沸石回転ホイール１０は異なる風量、濃度、所要効率によって回転ホイール型、例えば回転ホイールサイズ、回転数調整、濃縮倍率調整、回転ホイール厚さ調整などに選択でき、且つ実際需要に応じて沸石回転ホイール１０の数量および直列、並列の形式を調整することができ、システムの処理効果を高める。

以上、上記のような実施例を用いて本考案の内容を詳細に説明したが、本考案はこれらの実施例に限定されるものではない。本考案が属する技術分野における通常の知識を有する者は、本考案の精神と範囲を逸脱しない範囲内で、様々な変更や修飾が可能であることは理解できるはず、例えば、前述した実施例で例示した各技術的内容を組み合わせたり、変更したりして新たな実施の形態とするが、このような実施の形態も当然、本考案に属する内容とみなす。したがって、本願において保護しようとする範囲には、後述する実用新案登録請求の範囲およびその規定の範囲も含まれる。

１ 排ガス濃縮ユニット
１０ 沸石回転ホイール
１０１ 吸着ゾーン
１０２ 冷却ゾーン
１０３ 離脱ゾーン
１０４、１０５ スロットル
１１ 第１の熱交換器
１２ 第２の熱交換器
１３ 一次側風車
１４ 二次側風車
１５ 離脱風車
１６ ろ過装置
１７ 第３の熱交換器
２ 焼却ユニット
２０ 焼却装置
２１ 助燃風車
３ 除塵ユニット
３０ 粉塵ろ過装置
３１ 排熱回収装置
３２ 洗浄塔
４ 煙突
Ｗ プロセス排ガス
Ｗ_１ ろ過ガス
Ｃ 冷却ガス
Ｄ 離脱ガス
TVOC 濃縮ガス
Ｈ 焼却後ガス
Ｐ 緊急排出管路

Claims (12)

1. 沸石回転ホイールを有する排ガス濃縮ユニットと、焼却ユニットと、除塵ユニットとを少なくとも備えるプロセス排ガス処理システムにであって、
   前記沸石回転ホイールのホイール面が吸着ゾーンと冷却ゾーンと離脱ゾーンとに区分され、前記吸着ゾーンは、プロセス排ガスを導入し、前記プロセス排ガスのうち少なくとも一部の揮発性有機化合物を吸着しながらろ過気体を送出するために用いられ、前記冷却ゾーンは、前記プロセス排ガスの一部の分流または外部気体である冷却気体を導入し、離脱を行うことによって熱量を累積し、昇温した前記沸石回転ホイールを冷却させるために用いられ、前記離脱ゾーンは、離脱気体を導入し、前記沸石回転ホイールが吸着した揮発性有機化合物を離脱するとともにVOC濃縮気体を送出するために用いられ、
   前記焼却ユニットは、前記排ガス濃縮ユニットと連通し、前記VOC濃縮気体の中の揮発性有機化合物を焼却し焼却後ガスを生成するための焼却装置を少なくとも有し、
   前記除塵ユニットは、前記焼却装置と気体連通し、前記焼却後ガスを受けるための粉塵ろ過装置を少なくとも有する、
   ことを特徴とするプロセス排ガス処理システム。
2. 前記冷却ゾーンは、前記離脱ゾーンと気体連通し、前記冷却ゾーンを通過する前記冷却気体が前記離脱気体に昇温し、前記離脱ゾーンに進入する、ことを特徴とする請求項１に記載のプロセス排ガス処理システム。
3. 前記排ガス濃縮ユニットは、第１の熱交換器をさらに備え、前記第１の熱交換器の低温端は、前記沸石回転ホイールの前記離脱ゾーンおよび前記焼却ユニットと連通し、前記VOC濃縮気体を受けて加熱した後、前記焼却ユニットの前記焼却装置に伝送する、ことを特徴とする請求項１に記載のプロセス排ガス処理システム。
4. 前記排ガス濃縮ユニットは、第２の熱交換器をさらに備え、前記第２の熱交換器の低温端は、沸石回転ホイールの冷却ゾーンおよび離脱ゾーンと連通し、前記冷却ゾーンを通過する冷却気体を受けて前記離脱気体の必要な温度に昇温してから前記離脱ゾーンに伝送する、ことを特徴とする請求項３に記載のプロセス排ガス処理システム。
5. 前記焼却装置、前記第１の熱交換器、および前記第２の熱交換器は、順次に気体連通し、前記焼却後ガスは、前記焼却装置から排出した後に前記第１の熱交換器、前記第２の熱交換器の高温端に順次に導入され、熱交換に使用する熱源とすることを特徴とする請求項４に記載のプロセス排ガス処理システム。
6. 前記粉塵ろ過装置にはセラミックろ過チューブ、またはフィルタバッグが設けられ、前記セラミックろ過チューブ、または前記フィルタバッグは、パイプ状セラミックろ過チューブ、パイプ状触媒含有セラミックろ過チューブ、長方形セラミックろ過チューブ、長方形触媒含有セラミックろ過チューブ、パイプ状または長方形被覆薄膜触媒フィルタバッグ、およびパイプ状または長方形二重フィルタバッグのうち少なくとも一つである、ことを特徴とする請求項５に記載のプロセス排ガス処理システム。
7. 前記粉塵ろ過装置の内部に設けられた前記フィルタバッグが非セラミック材質である場合に、前記粉塵ろ過装置は低温集塵器であり、前記排ガス濃縮ユニットは、第３の熱交換器をさらに備え、前記第３の熱交換器の高温端は、前記第２の熱交換器および前記粉塵ろ過装置と連通し、前記第２の熱交換器からの前記焼却後ガスを受け、前記第３の熱交換器の低温端は、前記沸石回転ホイールの吸着ゾーンと連通し、前記沸石回転ホイールの前記吸着ゾーンから排出したろ過ガスＷ_１の一部の分流気体を受ける、ことを特徴とする請求項６に記載のプロセス排ガス処理システム。
8. 前記除塵ユニットは、洗浄塔をさらに備え、前記洗浄塔は、前記粉塵ろ過装置の下流端に設けるとともに前記粉塵ろ過装置と気体連通する、ことを特徴とする請求項６に記載のプロセス排ガス処理システム。
9. 前記除塵ユニットは、前記粉塵ろ過装置の下流端に設けられた排熱回収装置をさらに備え、前記排熱回収装置は、排熱回収ボイラまたはORC排熱回収装置を含み、前記粉塵ろ過装置を通過する前記焼却後ガスを受ける、ことを特徴とする請求項１に記載のプロセス排ガス処理システム。
10. 前記除塵ユニットには洗浄塔とさらに結合し、前記洗浄塔は、前記排熱回収装置の下流端、または前記粉塵ろ過装置の上流端に設置し、焼却後の酸性またはアルカリ性汚染物質を除去する、ことを特徴とする請求項９に記載のプロセス排ガス処理システム。
11. 湿式洗浄塔である場合、前記洗浄塔が前記排熱回収装置の下流端に設けられるとともに前記排熱回収装置と気体連通する、ことを特徴とする請求項１０に記載のプロセス排ガス処理システム。
12. 乾式洗浄塔である場合、前記洗浄塔が前記粉塵ろ過装置の上流端に設けられるとともに前記粉塵ろ過装置と気体連通する、ことを特徴とする請求項１０に記載のプロセス排ガス処理システム。

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