JP3239972B2 - 減圧熱処理炉用緊急遮断機能付弁装置及び熱処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、減圧熱処理炉用緊急遮
断機能付弁装置及び熱処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】減圧熱処理炉としては、被処理体である
例えば半導体ウエハの製造工程で、減圧ＣＶＤ（Chemic
al Vaper Deposition）等の処理に使用される減圧熱処
理炉が知られている。この減圧熱処理炉には炉内に処理
ガスを供給する処理ガス供給系と、炉内を排気及び減圧
する減圧ポンプ及び弁装置を備えた排気系とが接続され
ており、その弁装置により炉内の圧力が制御されるよう
に構成されている。

【０００３】このような減圧熱処理炉においては、その
運転中に突然停電した場合、或いは異常事態の発生によ
り電源を切って運転を強制的に停止させた場合などの緊
急時には、減圧ポンプの停止した排気系を介して減圧下
の炉内に排気ガスが逆流することにより炉内及び半導体
ウエハが汚染されることのないように前記弁装置を直ち
に閉弁する必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記減
圧熱処理炉の排気系の弁装置においては、手動式或いは
一般的には電動モータによる駆動式になっているため、
仮に補助電源を使用したとしても閉弁に時間がかかり、
緊急時に前記排気系を瞬時に遮断することが困難であっ
た。このため、前記排気系には前記弁装置の他にエア駆
動式の緊急遮断弁を設ける必要があり、設備コスト及び
設備スペースの増大や配管抵抗の増大を余儀なくされる
問題があった。

【０００５】そこで、本発明の目的は、圧力制御弁であ
りながら緊急時に減圧熱処理炉の排気系を瞬時に遮断す
ることができ、エア駆動式の緊急遮断弁を不要とし、設
備コスト及び設備スペースの減少並びに配管抵抗の減少
が図れる減圧熱処理炉用緊急遮断機能付弁装置及び熱処
理装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明は、減圧熱処理炉の排気系に設けられ
る弁装置であって、弁室内の弁座に対して弁室を気密に
貫通した弁棒により着座及び離反移動される弁体と、こ
の弁体を閉弁方向に付勢する付勢手段と、この付勢手段
の付勢力に抗して前記弁体を前記弁棒を介して開閉駆動
する駆動部と、この駆動部と前記弁棒との間に設けられ
弁棒と駆動部とを連結し且つ緊急時にその連結を解除す
る連結解除機構とを備えたことを特徴とする。

【０００７】また、請求項２の発明は、請求項１の発明
を前提とし、前記連結解除機構が、前記弁棒を摺動可能
に挿通してその軸方向に移動する前記駆動部と前記弁棒
とに跨がって形成されたロックピン係合孔と、この両ロ
ックピン係合孔にロックピンを係合させ、緊急時に非通
電となることで前記ロックピンを前記両ロックピン係合
孔から離脱させるソレノイドとから構成されていること
を特徴とする。

【０００８】更に、請求項３の発明は、請求項１の発明
を前提とし、前記連結解除機構が、前記弁棒の端部に対
向してその軸方向に移動する前記駆動部に設けられ前記
弁棒の端部を吸着し、緊急時に非通電となることで前記
弁棒の端部を開放する電磁石から構成されていることを
特徴とする。請求項４の発明は、請求項１の減圧熱処理
炉用緊急遮断機能付弁装置を備えた熱処理装置であるこ
とを特徴とする。

【０００９】

【作用】請求項１の発明によれば、弁体が付勢手段の付
勢力に抗して駆動部により弁棒を介して開閉駆動され、
緊急時には連結解除機構により前記駆動部と前記弁棒と
の間の連結が解除されて弁体が付勢手段により自動的に
且つ迅速に閉弁されるため、圧力制御弁でありながら緊
急時に減圧熱処理炉の排気系を瞬時に遮断することが可
能となる。従って、前記排気系にエア駆動式の緊急遮断
弁を設ける必要がなくなるので、設備コスト及び設備ス
ペースの減少が図れると共に、前記排気系の配管抵抗の
減少が図れて運転効率が向上する。

【００１０】請求項２の発明によれば、弁棒が駆動部に
ロックピンを介して結合されていることにより弁棒が駆
動部と一体的に連動し、緊急時にはそのロックピンがソ
レノイドによって抜き去られることにより弁棒と駆動部
との結合が解除されるようになるため、通常時は駆動部
から弁棒に駆動力を確実に伝達でき、緊急時には駆動部
から弁棒を迅速に切り離すことができる。

【００１１】請求項３の発明によれば、弁棒の端部が駆
動部の電磁石に吸着結合されていることにより弁棒が駆
動部と一体的に連動し、緊急時には非通電となる電磁石
から弁棒の端部が解放されるようになるため、通常時は
駆動部から弁棒に駆動力を確実に伝達でき、緊急時には
駆動部から弁棒を迅速に切り離すことができ、また、構
造の簡素化及び製造コストの低減が図れる。請求項４の
発明によれば、請求項１の減圧熱処理炉用緊急遮断機能
付弁装置を熱処理装置内に備えているため、熱処理装置
内の排気系に対して請求項１と同様の効果が得られる。

【００１２】

【実施例】以下に、本発明の実施例を添付図面に基づい
て詳述する。先ず、本実施例の緊急遮断機能付弁装置が
適用される減圧熱処理炉について説明する。図２に示す
ようにこの減圧熱処理炉１は被処理体である半導体ウエ
ハＷに減圧ＣＶＤによる成膜処理を施すのに適するよう
に構成された縦型炉であり、中央部に円形の開口部２ａ
を有する例えばステンレス鋼製のベースプレート２を水
平に備えている。

【００１３】このベースプレート２の下部には上端にフ
ランジ部３ａを有する例えばステンレス鋼製の短い筒状
のマニホールド３が前記開口部２ａと軸心を一致させて
ボルト止めにより着脱可能に取付けられ、このマニホー
ルド３上には処理炉１として耐熱性を有する材料例えば
石英からなる反応管４が設けられている。この反応管４
は上下両端部が開放された内管５と、上端部が閉塞され
下端部に外向きのフランジ部６ａを有する外管６とを同
心円状に配した二重管構造になっている。

【００１４】前記外管６は前記マニホールド３の上端フ
ランジ部３ａ上に封止手段として耐熱性及び耐食性を有
する材料例えばフッ素系ゴムからなるＯリング７を介し
て気密状態に支持され、内管５はマニホールド３の内周
の高さ方向ほぼ中間部に形成された小径の段部３ｂに支
持されている。このマニホールド３には内管５の内側と
外部（炉外）とを連通して図示しない処理ガス供給源か
らの処理ガスを反応管４内に導入する処理ガス供給系が
接続される入口ポート８と、内管５と外管６との間の環
状空間部４ａと外部（炉外）とを連通して反応管４内を
排気及び減圧する後述の排気系１８が接続される出口ポ
ート９とが設けられている。

【００１５】前記反応管４の周囲には反応管４内を高温
例えば８００〜１２００℃程度に加熱する例えばカンタ
ル線等の電熱線１０をコイル状等に形成してなる加熱部
１１が配置され、この加熱部１１の外周は断熱材１２を
介して図示しないアウターシェルで覆われている。これ
ら加熱部１１、断熱材１２及びアウターシェルは前記ベ
ースプレート２上に支持されている。

【００１６】前記マニホールド３の下方にはその下面開
口を開閉する例えばステンレス鋼製の蓋体１３が昇降機
構１４により昇降可能に設けられ、この蓋体１３上には
多数枚例えば１５０枚程度の半導体ウエハＷを水平状態
で上下方向に間隔をおいて多段に保持するウエハボート
１５が保温筒１６を介して載置されている。なお、蓋体
１３には保温筒１６を回転駆動する回転機構１７が設け
られている。

【００１７】一方、前記排気系１８は所定の管径例えば
８０ｍｍ程度のステンレス鋼製の配管１９により構成さ
れ、この配管１９には緊急遮断機能付弁装置２０及び減
圧ポンプ２１が順に介設されている。また、前記配管１
９の弁装置２０よりも上流側には圧力センサ２２が設け
られ、この圧力センサ２２による検出値をフィードバッ
クさせてコントローラ２３により前記緊急遮断機能付弁
装置２０が制御されるように構成されている。なお、図
示例の圧力センサ２２は検出範囲の異なる２個のセンサ
例えば０〜１０Ｔｏｒｒ用と０〜１０００Ｔｏｒｒ用か
らなっているが、広範囲の圧力を精度よく検出できるも
のであれば１個であってもよい。

【００１８】前記弁装置２０は図１に示すように下端部
に入口２４を且つ側部に出口２５を有するいわゆるアン
グル弁形状の弁室（ケーシング）２６を備えており、こ
の弁室２６内には前記入口２４の奥部で径方向外方に拡
大された平面状の弁座２７が形成されていると共にこの
弁座２７に対して着座及び垂直方向に離反移動可能に弁
体２８が設けられている。前記弁室２６及び弁体２８は
共に耐熱性及び耐食性を有する材料例えばステンレス鋼
により形成され、弁体２８の弁座２７に着座する部分に
は封止手段として例えばフッ素系ゴムからなるＯリング
２９が設けられている。

【００１９】前記弁体２８は平面円形に形成され、その
下部には前記弁座２７の内周に入り込む断面円形の凸状
部３０が形成され、この凸状部３０の外周壁部３０ａと
弁座２７の内周壁部２７ａとの間には弱減圧制御を可能
とする微調節用隙間３１が形成されている。この微調節
用隙間３１おける真空圧力のコンダクタンスが隙間３１
の横断面積に比例し且つ隙間３１の長さに反比例する関
係にあることを利用して、この隙間３１の長さ範囲内で
弁体２８を移動調節することにより弱減圧制御が例えば
３００〜７６０Ｔｏｒｒ程度の範囲で可能になってい
る。また、弁体２８と弁座２７との間の横断面積が前記
微調節用隙間３７の横断面積を超える弁体２８の位置か
ら最大開度位置（弁室２６内の下方から２／３程度の位
置）までの弁体の移動調節により中減圧から強減圧の圧
力制御が行われ、最大開度では減圧ポンプ２１の能力に
もよるが例えば３×１０^-3Ｔｏｒｒ程度まで減圧するこ
とが可能になっている。

【００２０】前記弁体２８の上部中央部には弁棒３２が
起立して設けられ、この弁棒３２の上端部は弁室２６の
上部を貫通して外部に延出されている。弁体２８と弁室
２６内の上端部との間には弁体２８を弁座２７に着座さ
せる閉弁方向に付勢する付勢手段としてコイルバネ３３
が内側に弁棒３２を挿通するようにして介設されると共
に、弁体２８の上端部と弁室２６内の上端部との間には
前記弁棒３２及びコイルバネ３３の周囲を覆って弁体２
８の移動を許容しつつ弁棒３２の貫通部を封止する手段
としてステンレス鋼製のベローズ３４が溶接により介設
されている。また、弁室２６の上部には弁棒３２を軸方
向に移動可能に支持する軸受３５が設けられている。

【００２１】前記弁室２６より外部に延出した弁棒３２
には前記コイルバネ３３の付勢力に抗して前記弁体２８
を弁棒３２を介して開閉駆動する駆動部３６が連結され
ると共に、この駆動部３６と弁棒３２との間にはこれら
弁棒３２と駆動部３６を連結し且つ緊急時にその連結を
解除する連結解除機構３７が設けられている。前記駆動
部３６は前記弁室２６の外壁等の固定部に軸受３８を介
して前記弁棒３２と平行に設けられた例えばボールネジ
のネジ軸３９を備えており、このネジ軸３９の一端には
歯付プーリ４０，４１及び歯付ベルト４２を介して電動
機である例えばパルスモータ４３が連結されている。

【００２２】前記ネジ軸３９にはその回転により前記弁
棒３２の軸方向に沿って移動操作される出力腕部４４が
ナット４５を介して設けられ、この出力腕部４４には弁
棒３２を軸受４６を介して軸方向に移動可能に挿通する
軸孔４７が形成されている。そして、前記出力腕部４４
と弁棒３２とには前記連結解除機構３７としてほぼ円錐
状のロックピン４８をこれら出力腕部４４と弁棒３２と
に跨がって係合させるためのほぼ円錐状のロックピン係
合孔４９，５０が径方向に形成され、出力腕部４４には
緊急時に非励磁となることで前記ロックピン４８をロッ
クピン係合孔４９，５０から離脱させるためのソレノイ
ド５１が設けられている。

【００２３】このソレノイド５１はこれを水平に貫通す
る駆動軸５２を有し、この駆動軸５２の一端に前記出力
腕部４４側のロックピン係合孔４９と対向するようにロ
ックピン４８が設けられ、駆動軸５２の他端にはロック
ピン４８をロックピン係合孔４９から離反させる方向へ
付勢するコイルバネ５３が取付けられている。また、ソ
レノイド５１は通電された励磁状態で図３に示すように
コイルバネ５３の付勢力に抗してロックピン４８をロッ
クピン係合孔４９，５０に係合させたロック位置に保持
されており、停電或いは異常事態の発生により電源を切
った時などの緊急時に非通電となることで非励磁状態と
なってロックピン４８がコイルバネ５３の付勢力でロッ
クピン係合孔４９，５０から離脱されるように構成され
ている。

【００２４】次に前記実施例の作用を述べる。先ず、入
口ポート８から窒素ガスを導入すると共に出口ポート９
から排気系１８を介して排気することにより減圧熱処理
炉１の反応管４内を窒素ガスで置換してから、蓋体１３
を開けて半導体ウエハＷを支持したウエハボート１５を
保温筒１６と共に反応管４内に装入する。

【００２５】次いで、入口ポート８の処理ガス供給系の
弁を遮断した状態で、排気系１８を介して反応管４内を
排気及び減圧して真空置換を行う。この時、パーティク
ルの巻き上げを防止するために、先ず弁装置２０の弁体
２８を閉弁位置から少し開けて微調節用隙間３１を介し
たスローバキュームを例えば１０Ｔｏｒｒ程度になるま
で行った後、次いで弁体２８を全開させて反応管４内を
例えば０．５Ｔｏｒｒ程度で真空置換する。

【００２６】真空置換を終えたなら、弁体２８を一旦閉
弁させ、この状態で処理ガス供給系の弁を徐々に開けて
反応管４内に処理ガスを導入し、これにより反応管４内
の圧力が処理圧力例えば４００Ｔｏｒｒ程度に達したな
ら、弁体２８を開弁して微小調節用隙間３１を介した弱
減圧制御により反応管４内を前記処理圧力に維持する。
そして、半導体ウエハＷの処理が終了したなら、前記と
は逆の順序で反応管４内の真空置換及び窒素ガスによる
置換を行い、反応管４内を常圧に戻してから、蓋体１３
を下方へ開けながら反応管４内からウエハボート１５を
搬出すればよい。

【００２７】前述したような弁体２８の制御は、コント
ローラ２３により駆動部３６のパルスモータ４３が制御
され、ネジ軸３９の回転で移動する出力腕部４４に対し
ロック位置のロックピン４８を介して弁棒３２が一体的
に連動することにより行われる。ところで、前記弁体２
８を開弁させた運転状態において、停電或いは異常発生
により電源を切って運転を強制的に停止させた場合など
の緊急事態が発生すると、連結解除機構３７のソレノイ
ド５１が非励磁となり、ロック位置のロックピン４８が
コイルバネ５３の付勢力によりロックピン係合孔４９，
５０から離脱される。これにより弁棒３２が出力腕部４
４に対して自由となるので、弁体２８がコイルバネ３３
の付勢力により閉弁され、減圧熱処理炉１の排気系１８
が瞬時に遮断される。

【００２８】このように緊急遮断機能付弁装置２０によ
れば、弁体２８が付勢手段であるコイルバネ３３の付勢
力に抗して駆動部３６により弁棒３２を介して開閉駆動
され、緊急時には連結解除機構３７により前記駆動部３
６と前記弁棒３２との間の連結が解除されて弁体２８が
コイルバネ３３により自動的に且つ迅速に閉弁されるた
め、圧力制御弁でありながら緊急時に減圧熱処理炉１の
排気系１８を瞬時に遮断することができる。従って、前
記排気系１８にエア駆動式の緊急遮断弁を設ける必要が
なくなるので、設備コスト及び設備スペースの減少が図
れると共に、前記排気系１８の配管抵抗の減少が図れて
運転効率を飛躍的に向上させることができる。

【００２９】また、実施例の連結解除機構３７によれ
ば、弁棒３２が駆動部３６にロックピン４８を介して結
合されていることにより弁棒３２が駆動部３６と一体的
に連動し、緊急時にはそのロックピン４８がソレノイド
５１によって抜き去られることにより弁棒３２と駆動部
３６との結合が解除されるようになるため、通常時は駆
動部３６から弁棒３２に駆動力を確実に伝達でき、緊急
時には駆動部３６から弁棒３２を迅速に切り離すことが
でき、信頼性の高い緊急遮断機能付弁装置２０が得られ
る。

【００３０】図４は減圧熱処理炉用緊急遮断機能付弁装
置の他の実施例を示している。なお、本実施例において
弁室内の内部構成や駆動部の構成は前記実施例とほぼ同
じであり、前記実施例と同一部分には同一参照符号を付
して説明を省略する。本実施例では、連結解除機構３７
として、前記弁棒３２の上端部を吸着し、緊急時に非通
電となることで前記弁棒３２の上端部を解放する電磁石
５４が採用されている。

【００３１】この電磁石５４は前記駆動部３６の出力腕
部４４に前記弁棒３２の上端部と対向するように設けら
れ、前記弁棒３２の上端部には通電時の電磁石５４に吸
着するように磁性体からなる被吸着部５５が形成されて
いる。また、電磁石５４を弁棒３２の軸心と一致させる
ために出力腕部４４がガイド５６によって弁棒３２の軸
方向に沿って移動可能に支持されると共に、電磁石５４
の下端部には円錐状の突起部５７が形成され、且つ弁棒
３２の上端部である被吸着部５５には前記突起部５７が
係合する円錐状の凹部５８が形成されている。

【００３２】このように構成された本実施例の弁装置２
０によれば、弁棒３２の上端部が駆動部３６の通電状態
にある電磁石５４に吸着結合されていることにより弁棒
３２が駆動部３６と一体的に連動し、緊急時には非通電
となる電磁石５４から弁棒３２の上端部が解放されるよ
うになるため、通常時は駆動部３６から弁棒３２に駆動
力を確実に伝達でき、緊急時には駆動部３６から弁棒３
２を迅速に切り離すことができ、前記実施例と同様の作
用効果が得られる。また、連結解除機構３７が弁棒３２
の上端部を直接吸着する電磁石５４からなるため、構造
の簡素化及び製造コストの低減が図れる。

【００３３】なお、本発明は、前記実施例に限定される
ものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施
が可能である。例えば、図４の実施例では弁室２６より
外部に延出した弁棒３２の上端部を電磁石５４により吸
着する構造としたが、例えば弁棒３２を弁室２６内で弁
体２８側の弁棒と、駆動部３６の出力腕部４４に直結さ
れた駆動側の弁棒とに分割し、その駆動側の弁棒の下端
部に弁体側の弁棒の上端部を吸着する電磁石を設けた構
造としてもよい（図示省略）。

【００３４】

【実施例】また、弁体２８を閉弁方向に付勢する付勢手
段としては、コイルバネ以外に例えば空気圧や油圧等の
流体圧シリンダ、エアクッション等が適用可能であり、
畜圧した空気圧を利用するエアシリンダ、エアクッショ
ンが停電の影響を受けない点でより好ましい。この場
合、例えば弁室２６の上端部に弁棒３２を閉弁方向に付
勢するようにエアシリンダ或いはエアクッションを設け
ればよい。更に、減圧熱処理炉１ないし熱処理装置とし
ては、内管５を有しないものであってもよく、減圧ＣＶ
Ｄの他に例えば酸化、拡散、アニール等の処理が行える
ものであってもよい。

【００３５】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果が得られる。

【００３６】（１）請求項１の発明によれば、弁室内の
弁座に対して弁室を気密に貫通した弁棒により着座及び
離反移動される弁体と、この弁体を閉弁方向に付勢する
付勢手段と、この付勢手段の付勢力に抗して前記弁体を
前記弁棒を介して開閉駆動する駆動部と、この前記駆動
部と前記弁棒との間に設けられ弁棒と駆動部とを連結し
且つ緊急時にその連結を解除する連結解除機構とを備え
ているため、圧力制御弁でありながら緊急時に減圧熱処
理炉の排気系を瞬時に遮断することができ、前記排気系
にエア駆動式の緊急遮断弁を設ける必要がなくなり、設
備コスト及び設備スペースの減少が図れると共に、前記
排気系の配管抵抗の低減が図れて運転効率が向上する。

【００３７】（２）請求項２の発明によれば、前記連結
解除機構が、前記弁棒を摺動可能に挿通してその軸方向
に移動する前記駆動部と前記弁棒とに跨がって形成され
たロックピン係合孔と、この両ロックピン係合孔にロッ
クピンを係合させ、緊急時に非通電となることで前記ロ
ックピンを前記両ロックピン係合孔から離脱させるソレ
ノイドとから構成されているため、通常時は駆動部から
弁棒に駆動力を確実に伝達でき、緊急時には駆動部から
弁棒を迅速に切り離すことができる。

【００３８】（３）請求項３の発明によれば、前記弁棒
の端部に対向してその軸方向に移動する前記駆動部に設
けられ前記弁棒の端部を吸着し、緊急時には非通電とな
ることで前記弁棒の端部が解放する電磁石から構成され
ているため、通常時は駆動部から弁棒に駆動力を確実に
伝達でき、緊急時には駆動部から弁棒を迅速に切り離す
ことができ、また、構造の簡素化及び製造コストの低減
が図れる。（４）請求項４の発明によれば、請求項１の減圧熱処理
炉用緊急遮断機能付弁装置を熱処理装置内に備えている
ため、熱処理装置内の排気系に対して請求項１と同様の
効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る減圧熱処理炉用緊急遮断機能付弁
装置の一実施例を示す要部断面側面図である。

【図２】減圧熱処理炉の一例を示す断面図である。

【図３】図１の弁装置におけるロックピンがロックピン
係合孔に係合している状態を示す部分的断面側面図であ
る。

【図４】減圧熱処理炉用緊急遮断機能付弁装置の他の実
施例を示す部分的側面図である。

【符号の説明】

１ 減圧熱処理炉 １８ 排気系 ２０ 緊急遮断機能付弁装置 ２６ 弁室 ２７ 弁座 ２８ 弁体 ３２ 弁棒 ３３ コイルバネ（付勢手段） ３６ 駆動部 ３７ 連結解除機構 ４８ ロックピン ４９，５０ ロックピン係合孔 ５１ ソレノイド ５４ 電磁石

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−93017（ＪＰ，Ａ) 実開 昭64−11482（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−64979（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/205 F16K 1/32 H01L 21/02

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 減圧熱処理炉の排気系に設けられる弁装
   置であって、弁室内の弁座に対して弁室を気密に貫通し
   た弁棒により着座及び離反移動される弁体と、この弁体
   を閉弁方向に付勢する付勢手段と、この付勢手段の付勢
   力に抗して前記弁体を前記弁棒を介して開閉駆動する駆
   動部と、この駆動部と前記弁棒との間に設けられ弁棒と
   駆動部とを連結し且つ緊急時にその連結を解除する連結
   解除機構とを備えたことを特徴とする減圧熱処理炉用緊
   急遮断機能付弁装置。
2. 【請求項２】 前記連結解除機構が、前記弁棒を摺動可
   能に挿通してその軸方向に移動する前記駆動部と前記弁
   棒とに跨がって形成されたロックピン係合孔と、この両
   ロックピン係合孔にロックピンを係合させ、緊急時に非
   通電となることで前記ロックピンを前記両ロックピン係
   合孔から離脱させるソレノイドとから構成されているこ
   とを特徴とする請求項１記載の減圧熱処理炉用緊急遮断
   機能付弁装置。
3. 【請求項３】 前記連結解除機構が、前記弁棒の端部に
   対向してその軸方向に移動する前記駆動部に設けられ前
   記弁棒の端部を吸着し、緊急時に非通電となることで前
   記弁棒の端部を開放する電磁石から構成されていること
   を特徴とする請求項１記載の減圧熱処理炉用緊急遮断機
   能付弁装置。
4. 【請求項４】 請求項１の減圧熱処理炉用緊急遮断機能
   付弁装置を備えたことを特徴とする熱処理装置。