JP3239864B2 - Test board for power / GND terminal continuity test - Google Patents

Test board for power / GND terminal continuity test

Info

Publication number
JP3239864B2
JP3239864B2 JP34716598A JP34716598A JP3239864B2 JP 3239864 B2 JP3239864 B2 JP 3239864B2 JP 34716598 A JP34716598 A JP 34716598A JP 34716598 A JP34716598 A JP 34716598A JP 3239864 B2 JP3239864 B2 JP 3239864B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test
dut
signal
switch
lsi tester
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP34716598A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2000171510A (en
Inventor
正史 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP34716598A priority Critical patent/JP3239864B2/en
Publication of JP2000171510A publication Critical patent/JP2000171510A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3239864B2 publication Critical patent/JP3239864B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電源/GND端子
導通試験用テストボードに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a power / GND terminal continuity test board.

【0002】[0002]

【従来の技術】LSIのテストを実施するためには、ま
ず、被測定デバイス(以下、DUTという)とテスタと
の間の電気的な導通を確認する必要がある。
2. Description of the Related Art In order to perform an LSI test, it is necessary to first confirm the electrical continuity between a device under test (hereinafter referred to as a DUT) and a tester.

【0003】上述した導通試験は、DUTの全端子に対
して実施する必要があるが、LSIテスタの電源ピン及
びGNDピンには、導通試験をする機能がないため、図
5に示すようなテストボードを用いる。
The above-described continuity test needs to be performed on all terminals of the DUT. However, since the power supply pin and the GND pin of the LSI tester do not have a continuity test function, a test as shown in FIG. Use a board.

【0004】ところで、通常のテストボードは図5に示
すように、点線abと点線cdの間がテストボード内の
回路であり、テストボードの内部では、DUTの信号ピ
ンD1,D3,D5,D6,D7,D9はLSIテスタの信号
ピンT1,T2,T3,T4,T5,T6に1対1で接続され
ており、電源端子D2,D10とGND端子D4,D8と
は、それぞれテストボード内で共通に接続され、共通に
接続された電源端子D2,D10と共通に接続されたGN
D端子D4,D8とは、それぞれ1本のLSIテスタの電
源ピンV1とLSIテスタのGNDピンG1とに接続され
ている。
As shown in FIG. 5, in a normal test board, a circuit between the dotted line ab and the dotted line cd is a circuit in the test board. Inside the test board, signal pins D1, D3, D5 and D6 of the DUT are provided. , D7, D9 are connected to the signal pins T1, T2, T3, T4, T5, T6 of the LSI tester on a one-to-one basis, and the power terminals D2, D10 and the GND terminals D4, D8 are respectively connected in the test board. Commonly connected, commonly connected power terminals D2, D10 and commonly connected GN
The D terminals D4 and D8 are connected to the power pin V1 of one LSI tester and the GND pin G1 of the LSI tester, respectively.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5に
示すように、テストボードの内部では、DUTの信号ピ
ンD1,D3,D5,D6,D7,D9はLSIテスタの信号
ピンT1,T2,T3,T4,T5,T6に1対1で接続され
ているため、テストを実施した際に、DUT側の電源端
子又はGND端子の一部が接触不良等で外部と導通して
いない場合にも、共通に接続された電源端子D2,D10
と共通に接続されたGND端子D4,D8とのうち、一方
の、電源端子D2又はD10、GND端子D4又はD8が導
通されていれば、他方の、電源端子D2又はD10、GN
D端子D4又はD8が接触不良等で外部と導通していない
場合であっても、導通良好として誤判定されてしまい、
電源端子及びGND端子の導通試験をピン毎に実施する
ことは不可能であるという問題がある。
However, as shown in FIG. 5, inside the test board, the signal pins D1, D3, D5, D6, D7, D9 of the DUT are connected to the signal pins T1, T2, T3 of the LSI tester. , T4, T5, and T6 are connected one-to-one. Therefore, even when a part of the power supply terminal or the GND terminal on the DUT side is not electrically connected to the outside due to poor contact or the like during the test, Power supply terminals D2 and D10 connected in common
If one of the power supply terminals D2 or D10 and the GND terminal D4 or D8 is conductive, the other one of the power supply terminals D2 or D10 and GND is connected.
Even if the D terminal D4 or D8 is not conductive to the outside due to poor contact or the like, it is erroneously determined as good conduction,
There is a problem that it is impossible to conduct a continuity test of the power supply terminal and the GND terminal for each pin.

【0006】本発明の目的は、LSIの通常の試験と電
源端子及びGND端子の導通試験を同一のテストボード
で可能にする電源/GND端子導通試験用テストボード
を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a power / GND terminal continuity test board which enables a normal test of an LSI and a continuity test of a power terminal and a GND terminal on the same test board.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る電源/GND端子導通試験用テストボ
ードは、被測定デバイスとLSIテスタとを電気的に接
続する電源/GND端子導通試験用テストボードであっ
て、テストボード上にスイッチを設け、該スイッチを切
り換えることにより、LSIテスタの信号ピンを被測定
デバイスの信号端子に、テストボードの電源・GNDプ
レーンを被測定デバイスの電源端子及びGND端子に接
続した状態と、LSIテスタの信号ピンを被測定デバイ
スの信号端子に代えて、被測定デバイスの電源端子及び
GND端子に接続した状態とを切り替えるようにした
のである。
In order to achieve the above object, a test board for a power supply / GND terminal continuity test according to the present invention comprises a power supply / GND terminal continuity test for electrically connecting a device under test and an LSI tester. Test board, a switch is provided on the test board, and by switching the switch, a signal pin of the LSI tester is measured.
Connect the test board power supply and GND
Connect the lane to the power supply terminal and GND terminal of the device under test.
The switching between the connected state and the state in which the signal pin of the LSI tester is connected to the power terminal and the GND terminal of the device under test instead of the signal terminal of the device under test.

【0008】また、前記スイッチは、リレー制御信号に
基づいてリレーを動作させて切替えを行うものである。
The switch performs switching by operating a relay based on a relay control signal.

【0009】また、前記リレーは、前記スイッチを一括
して切替え動作するものである。
[0009] The relay operates to switch the switches at once.

【0010】また、前記リレーは、前記スイッチを個々
に独立して切替え動作するものである。
[0010] Further, the relay operates to switch the switches individually and independently.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
より説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0012】(実施形態1)図1は、本発明の実施形態
1に係る電源/GND端子導通試験用テストボードを示
す構成図である。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a configuration diagram showing a test board for power supply / GND terminal continuity test according to Embodiment 1 of the present invention.

【0013】図1に示すようにテストボードは、LSI
テスタの信号ピンT1,T2,T3,T4,T5,T6,LS
Iテスタの電源ピンV1,LSIテスタのGNDピンG1
と、DUTの信号ピンD1,D3,D5,D6,D7,D9,
電源端子D2,D10,GND端子D4,D8とを電気的に
接続する装置である。
As shown in FIG. 1, the test board is an LSI
Tester signal pins T1, T2, T3, T4, T5, T6, LS
Power pin V1 of I tester, GND pin G1 of LSI tester
And DUT signal pins D1, D3, D5, D6, D7, D9,
This is a device for electrically connecting power terminals D2 and D10 and GND terminals D4 and D8.

【0014】図1に示すテストボードは、LSIテスタ
のテストヘッド上に設置され、LSIテスタのピンに接
触する。テストボード上には、ICソケットが取り付け
られており、ICソケットにLSIをセットすることに
より、LSIテスタとDUTとが電気的に接続される。
The test board shown in FIG. 1 is set on a test head of an LSI tester and contacts pins of the LSI tester. An IC socket is mounted on the test board, and an LSI tester and a DUT are electrically connected by setting an LSI in the IC socket.

【0015】LSIテスタの信号ピンは、LSIテスタ
で生成された信号のDUTへの入力及びDUTからの出
力信号の取り入れ及び直流試験を行うための測定ユニッ
トとの接続を行う役割をもっている。
A signal pin of the LSI tester has a role of inputting a signal generated by the LSI tester to the DUT, taking in an output signal from the DUT, and connecting to a measurement unit for performing a DC test.

【0016】LSIテスタの各信号ピンは、それぞれテ
ストボードを介してDUTの信号ピンと1対1で接続さ
れる。
Each signal pin of the LSI tester is connected to a signal pin of the DUT one by one via a test board.

【0017】また、LSIテスタのGNDピンG1は、
テストボードのGNDプレーンgに共通に接続されたD
UTのGND端子D4,D8に接続され、LSIテスタの
電源ピンV1は、テストボードの電源プレーンvに共通
に接続されたDUTの電源端子D2,D10,にそれぞれ
接続されるようになっている。
The GND pin G1 of the LSI tester is
D commonly connected to the GND plane g of the test board
The power supply pins V1 of the LSI tester are connected to the GND terminals D4 and D8 of the UT, and the power supply pins D2 and D10 of the DUT commonly connected to the power supply plane v of the test board.

【0018】本発明の実施形態1に係る電源/GND端
子導通試験用テストボードは図1に示すように、LSI
テスタの信号ピンT1,T2,T5,T6をテストボード上
のスイッチS1,S2,S3,S4,S5,S6,S7,S8を
切り換えることによって、DUTの信号端子D1,D3,
D7,D9だけでなく、電源端子D2,D10及びGND端
子D4,D8にも接続可能としたものである。DUTの電
源端子D2,D10及びGND端子D4,D8にLSIテス
タの信号ピンT1,T2,T5,T6が別々に割り当てられ
ることによって、DUTの電源端子D2,D10及びGN
D端子D4,D8の導通試験が1ピン毎に実施することが
可能になっている。
A power / GND terminal continuity test test board according to the first embodiment of the present invention, as shown in FIG.
By switching the signal pins T1, T2, T5, T6 of the tester by switches S1, S2, S3, S4, S5, S6, S7, S8 on the test board, the signal terminals D1, D3,
In addition to D7 and D9, the power supply terminals D2 and D10 and the GND terminals D4 and D8 can be connected. The signal pins T1, T2, T5, and T6 of the LSI tester are separately assigned to the power terminals D2, D10 and the GND terminals D4, D8 of the DUT, so that the power terminals D2, D10, and GN of the DUT.
The continuity test of the D terminals D4 and D8 can be performed for each pin.

【0019】次に、具体例を用いて説明する。図2に示
すように、本発明の実施形態1に係る電源/GND端子
導通試験用テストボードにおいて、点線abと点線cd
の間がテストボード内の回路を示している。
Next, a specific example will be described. As shown in FIG. 2, in the power / GND terminal continuity test board according to the first embodiment of the present invention, a dotted line ab and a dotted line cd are used.
The space between the symbols indicates a circuit in the test board.

【0020】図2に示すように、本発明の実施形態1に
係る電源/GND端子導通試験用テストボードは、電源
プレーンv及びGNDプレーンgとDUTのGND端子
D4,D8、電源端子D2,D10との間、及びLSIテス
タの信号ピンT1,T2,T5,T6と、DUTの信号ピン
D1,D3,D7,D9との間を接続する配線の途中に、リ
レーR1,R2,R3,R4を設け、各リレーR1,R2,R
3,R4内にはそれぞれリレー制御信号に連動して動作す
る2つのスイッチS1,S2,S3,S4,S,5,S6,S
7,S8を設けている。
As shown in FIG. 2, the power / GND terminal continuity test test board according to the first embodiment of the present invention includes a power plane v, a GND plane g, GND terminals D4 and D8 of the DUT, and power terminals D2 and D10. And between the signal pins T1, T2, T5, and T6 of the LSI tester and the signal pins D1, D3, D7, and D9 of the DUT, relays R1, R2, R3, and R4 are provided. Provided, each relay R1, R2, R
Two switches S1, S2, S3, S4, S, 5, S6, S which operate in conjunction with the relay control signal in R3 and R4, respectively.
7 and S8 are provided.

【0021】テストボードの電源プレーンv,LSIテ
スタの信号ピンT1と、DUTの電源端子D2,信号ピン
D1との間は、リレーR1を介して接続されるようになっ
ている。
The power supply plane v of the test board, the signal pin T1 of the LSI tester, and the power supply terminal D2 and the signal pin D1 of the DUT are connected via a relay R1.

【0022】また、テストボードのGNDプレーンg,
LSIテスタの信号ピンT2と、DUTのGND端子D
4,信号ピンD3との間は、リレーR2を介して接続され
るようになっている。
Further, the GND plane g,
The signal pin T2 of the LSI tester and the GND terminal D of the DUT
4. The connection to the signal pin D3 is made via a relay R2.

【0023】また、テストボードのGNDプレーンg,
LSIテスタの信号ピンT5と、DUTのGND端子D
8,信号ピンD7との間は、リレーR3を介して接続され
るようになっている。
Further, the GND plane g,
The signal pin T5 of the LSI tester and the GND terminal D of the DUT
8, the signal pin D7 is connected via a relay R3.

【0024】また、テストボードの電源プレーンv,L
SIテスタの信号ピンT6と、DUTの電源端子D10,
信号ピンD9との間は、リレーR4を介して接続されるよ
うになっている。
The power planes v and L of the test board
The signal pin T6 of the SI tester and the power terminal D10 of the DUT,
The connection to the signal pin D9 is established via a relay R4.

【0025】また、LSIテスタの信号ピンT3,T4
と、DUTの信号ピンD5,D6との間は、テストボード
を介して直接接続されるようになっている。
The signal pins T3 and T4 of the LSI tester
And the DUT signal pins D5 and D6 are directly connected via a test board.

【0026】LSIテスタの信号ピンT1,T2,T5,
T6を、DUTの信号端子D1,D3,D7,D9だけでな
く、電源端子D2,D10及びGND端子D4,D8にも接
続可能とするために、リレーR1にはスイッチS1,S2
の対が、リレーR2にはスイッチS3,S4の対が、リレ
ーR3にはスイッチS5,S6の対が、リレーR4にはスイ
ッチS7,S8の対がそれぞれ含まれている。
The signal pins T1, T2, T5,
To enable T6 to be connected not only to the signal terminals D1, D3, D7 and D9 of the DUT but also to the power terminals D2 and D10 and the GND terminals D4 and D8, the relay R1 has switches S1 and S2.
The relay R2 includes a pair of switches S3 and S4, the relay R3 includes a pair of switches S5 and S6, and the relay R4 includes a pair of switches S7 and S8.

【0027】各リレーR1,R2,R3,R4は、リレー制
御信号プレーンtからリレー制御信号を受けてスイッチ
S1,S2,S3,S4,S5,S6,S7,S8を切り替える
ようになっている。
Each of the relays R1, R2, R3, R4 receives the relay control signal from the relay control signal plane t and switches the switches S1, S2, S3, S4, S5, S6, S7, S8.

【0028】図1に示す初期状態のスイッチS1は、L
SIテスタの信号ピンT1とDUTの信号ピンD1との間
を接続し、スイッチS2は、テストボードの電源プレー
ンvとDUTの電源端子D2との間を接続しているが、
リレー制御信号プレーンtにリレー制御信号が入力する
と、リレーR1によりスイッチの切替えが行われて、図
2に示すようにスイッチS1はスイッチS2の接点に切替
わって、LSIテスタの信号ピンT1とDUTの信号ピ
ンD1との間が開放され、LSIテスタの信号ピンT1と
DUTの電源端子D2との間は、スイッチS1により接続
される。同時にスイッチS2の接点は開放される。
The switch S1 in the initial state shown in FIG.
The signal pin T1 of the SI tester is connected between the signal pin D1 of the DUT and the switch S2 is connected between the power plane v of the test board and the power terminal D2 of the DUT.
When a relay control signal is input to the relay control signal plane t, the switch is switched by the relay R1, and as shown in FIG. 2, the switch S1 is switched to the contact of the switch S2, and the signal pin T1 of the LSI tester is connected to the DUT. The signal pin D1 is opened, and the signal pin T1 of the LSI tester and the power supply terminal D2 of the DUT are connected by the switch S1. At the same time, the contact of the switch S2 is opened.

【0029】また図1に示す初期状態のスイッチS3
は、LSIテスタの信号ピンT2とDUTの信号ピンD3
との間を接続し、スイッチS4は、テストボードのGN
DプレーンgとDUTのGND端子D4との間を接続し
ているが、リレー制御信号プレーンtにリレー制御信号
が入力すると、リレーR2によりスイッチの切替えが行
われて、図2に示すようにスイッチS3はスイッチS4の
接点に切替わって、LSIテスタの信号ピンT2とDU
Tの信号ピンD3との間が開放され、LSIテスタの信
号ピンT2とDUTのGND端子D4との間は、スイッチ
S3により接続される。同時にスイッチS4の接点は開放
される。
The switch S3 in the initial state shown in FIG.
Are the signal pin T2 of the LSI tester and the signal pin D3 of the DUT.
Switch S4 is connected to the GN of the test board.
Although the connection between the D plane g and the GND terminal D4 of the DUT is performed, when a relay control signal is input to the relay control signal plane t, the switch is switched by the relay R2, and as shown in FIG. S3 is switched to the contact of the switch S4, and the signal pin T2 of the LSI tester is connected to the DU.
The signal pin D3 of the T is opened, and the signal pin T2 of the LSI tester and the GND terminal D4 of the DUT are connected by the switch S3. At the same time, the contact of the switch S4 is opened.

【0030】また図1に示す初期状態のスイッチS5
は、LSIテスタの信号ピンT5とDUTの信号ピンD7
との間を接続し、スイッチS6は、テストボードのGN
DプレーンgとDUTのGND端子D8との間を接続し
ているが、リレー制御信号プレーンtにリレー制御信号
が入力すると、リレーR3によりスイッチの切替えが行
われて、図2に示すようにスイッチS5はスイッチS6の
接点に切替わって、LSIテスタの信号ピンT5とDU
Tの信号ピンD7との間が開放され、LSIテスタの信
号ピンT5とDUTのGND端子D8との間は、スイッチ
S5により接続される。同時にスイッチS6の接点は開放
される。
The switch S5 in the initial state shown in FIG.
Are the signal pin T5 of the LSI tester and the signal pin D7 of the DUT.
Switch S6 is connected to the test board GN
Although the D plane g is connected to the GND terminal D8 of the DUT, when a relay control signal is input to the relay control signal plane t, the switch is switched by the relay R3, and the switch is switched as shown in FIG. S5 switches to the contact of the switch S6, and the signal pin T5 and DU of the LSI tester are connected.
The signal pin D7 of T is opened, and the signal pin T5 of the LSI tester is connected to the GND terminal D8 of the DUT by the switch S5. At the same time, the contact of the switch S6 is opened.

【0031】また図1に示す初期状態のスイッチS7
は、LSIテスタの信号ピンT6とDUTの信号ピンD9
との間を接続し、スイッチS8は、テストボードの電源
プレーンvとDUTの電源端子D10との間を接続してい
るが、リレー制御信号プレーンtにリレー制御信号が入
力すると、リレーR4によりスイッチの切替えが行われ
て、図2に示すようにスイッチS7はスイッチS8の接点
に切替わって、LSIテスタの信号ピンT6とDUTの
信号ピンD9との間が開放され、LSIテスタの信号ピ
ンT6とDUTの電源端子D10との間は、スイッチS7に
より接続される。同時にスイッチS8の接点は開放され
る。
The switch S7 in the initial state shown in FIG.
Are the signal pin T6 of the LSI tester and the signal pin D9 of the DUT.
The switch S8 connects between the power plane v of the test board and the power terminal D10 of the DUT. When a relay control signal is input to the relay control signal plane t, the switch R8 is switched by the relay R4. The switch S7 is switched to the contact of the switch S8 as shown in FIG. 2 to open the signal pin T6 of the LSI tester and the signal pin D9 of the DUT, and the signal pin T6 of the LSI tester is opened. And a power supply terminal D10 of the DUT are connected by a switch S7. At the same time, the contact of the switch S8 is opened.

【0032】リレーR1,R2,R3,R4は、テストボー
ドのリレー制御用プレーンtに共通に接続され、リレー
制御用プレーンtは、LSIテスタのリレー制御用信号
ピンT11に接続されている。電源プレーンvはLSIテ
スタの電源ピンV1に、GNDプレーンgはLSIテス
タのGNDピンG1にそれぞれ接続されている。
The relays R1, R2, R3 and R4 are commonly connected to a relay control plane t of the test board, and the relay control plane t is connected to a relay control signal pin T11 of the LSI tester. The power plane v is connected to the power pin V1 of the LSI tester, and the GND plane g is connected to the GND pin G1 of the LSI tester.

【0033】次に、図2に示す本発明の実施形態1に係
る電源/GND端子導通試験用テストボードの動作につ
いて説明する。
Next, the operation of the test board for power supply / GND terminal continuity test according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 2 will be described.

【0034】図1に示す初期状態では、DUTの信号ピ
ンD1,D3,D7,D9は、スイッチS1,S3,S5,S7
を介してLSIテスタの信号ピンT1,T2,T5,T6に
それぞれ接続されている。
In the initial state shown in FIG. 1, the signal pins D1, D3, D7, D9 of the DUT are connected to the switches S1, S3, S5, S7.
Are connected to signal pins T1, T2, T5, and T6 of the LSI tester, respectively.

【0035】また、DUTの電源端子D2,D10は、ス
イッチS2,S8を介して電源プレーンvにそれぞれ接続
され、LSIテスタの電源ピンV1から電源が供給され
ている。
The power terminals D2 and D10 of the DUT are connected to a power plane v via switches S2 and S8, respectively, and power is supplied from a power pin V1 of the LSI tester.

【0036】また、DUTのGND端子D4,D8は、ス
イッチS4,S6を介してGNDプレーンgにそれぞれ接
続され、LSIテスタのGND端子G1からGND電位
が供給されている。
The GND terminals D4 and D8 of the DUT are connected to the GND plane g via the switches S4 and S6, respectively, and the GND potential is supplied from the GND terminal G1 of the LSI tester.

【0037】以上の状態で、DUTの信号端子の導通試
験を含めた全ての試験が実施されることとなる。
In the above state, all the tests including the continuity test of the signal terminals of the DUT are performed.

【0038】次に、LSIテスタのリレー制御用信号ピ
ンT11からリレー制御用プレーンtにリレー制御信号が
入力すると、図2に示すように、スイッチS2,S4,S
6,S8は開放状態に切替わる。
Next, when a relay control signal is input from the relay control signal pin T11 of the LSI tester to the relay control plane t, as shown in FIG. 2, the switches S2, S4, S4
6, S8 is switched to the open state.

【0039】図2に示す状態では、DUTの電源端子D
2,D10は、スイッチS1,S7を介してLSIテスタの
信号ピンT1,T6にそれぞれ接続される。また、DUT
のGND端子D4,D8は、スイッチS3,S5を介してL
SIテスタの信号ピンT2,T5に接続される。
In the state shown in FIG. 2, the power supply terminal D of the DUT
2, D10 are connected to signal pins T1, T6 of the LSI tester via switches S1, S7, respectively. DUT
GND terminals D4 and D8 are connected to L level through switches S3 and S5.
It is connected to signal pins T2 and T5 of the SI tester.

【0040】DUTが正常であれば、DUTの電源端子
D2,D10に接続されたLSIテスタの信号ピンT1,T
6は、DUTの内部回路を介して短絡していることにな
る。これを利用して、DUTの複数の電源端子D2,D1
0を1端子毎に導通試験を実施する。
If the DUT is normal, the signal pins T1 and T1 of the LSI tester connected to the power terminals D2 and D10 of the DUT.
No. 6 is short-circuited via the internal circuit of the DUT. Utilizing this, a plurality of power terminals D2 and D1 of the DUT are used.
A continuity test is performed for each 0 terminal.

【0041】DUTの複数のGND端子D4,D8につい
ても、DUTの電源端子D2,D10と同様に1端子毎に
導通試験を実施する。
For the plurality of GND terminals D4 and D8 of the DUT, a continuity test is performed for each terminal similarly to the power terminals D2 and D10 of the DUT.

【0042】(実施形態2)図3は、本発明の実施形態
2に係る電源/GND端子導通試験用テストボードを示
す構成図である。
(Embodiment 2) FIG. 3 is a block diagram showing a power / GND terminal continuity test test board according to Embodiment 2 of the present invention.

【0000】図3に示す本発明の実施形態2に係る電源
/GND端子導通試験用テストボードに用いたリレーR
1,R2,R3,R4は、前記実施形態1に用いたリレーR
1,R2,R3,R4の動作と異なっている。
Relay R used for power / GND terminal continuity test test board according to Embodiment 2 of the present invention shown in FIG.
1, R2, R3 and R4 are the relays R used in the first embodiment.
This is different from the operation of 1, R2, R3 and R4.

【0043】図3に示す初期状態のスイッチS1は、L
SIテスタの信号ピンT1とDUTの信号ピンD1との間
を接続し、スイッチS2は、テストボードの電源プレー
ンvとDUTの電源端子D2との間を接続している。
The switch S1 in the initial state shown in FIG.
The signal pin T1 of the SI tester is connected to the signal pin D1 of the DUT, and the switch S2 is connected between the power plane v of the test board and the power terminal D2 of the DUT.

【0044】図4に示すようにリレーR1のスイッチS1
は、LSIテスタの信号ピンT11より入力されたリレー
制御信号により動作する。LSIテスタの信号ピンT11
よりリレー制御信号が入力されている間は、DUTの信
号端子D1とLSIテスタの信号ピンT1との接続が切れ
るように動作する。
As shown in FIG. 4, the switch S1 of the relay R1
Operate according to the relay control signal input from the signal pin T11 of the LSI tester. Signal pin T11 of LSI tester
While the relay control signal is being input, the operation is performed to disconnect the signal terminal D1 of the DUT and the signal pin T1 of the LSI tester.

【0045】スイッチS2は、LSIテスタの信号ピン
T1より入力されたリレー制御信号により動作するが、
試験での最大印加電圧より高い電圧の入力があった場合
のみ動作し、テストボードの電源プレーンvとDUTの
電源端子D2との間を開放するようになっている。
The switch S2 is a signal pin of the LSI tester.
It operates by the relay control signal input from T1 ,
It operates only when a voltage higher than the maximum applied voltage in the test is input, and opens between the power supply plane v of the test board and the power supply terminal D2 of the DUT.

【0046】試験での最大印加電圧より高い電圧がDU
Tに印加されないようにするため、スイッチS2を動作
させる高い電圧を入力する場合は、その前にスイッチS
1を動作させ、DUTの信号端子D1とLSIテスタの信
号ピンT1との接続を切っておく。スイッチS2は、印加
電圧(励磁電流)が0になっても次の電圧印加があるま
で動作を保持する。
The voltage higher than the maximum applied voltage in the test is DU
Before inputting a high voltage for operating the switch S2 to prevent the voltage from being applied to T, the switch S
1 is operated to disconnect the signal terminal D1 of the DUT from the signal pin T1 of the LSI tester. The switch S2 keeps its operation until the next voltage is applied even when the applied voltage (excitation current) becomes zero.

【0047】また図3に示す初期状態のスイッチS3
は、LSIテスタの信号ピンT2とDUTの信号ピンD3
との間を接続し、スイッチS4は、テストボードのGN
DプレーンgとDUTのGND端子D4との間を接続し
ている。
The switch S3 in the initial state shown in FIG.
Are the signal pin T2 of the LSI tester and the signal pin D3 of the DUT.
Switch S4 is connected to the GN of the test board.
The connection is made between the D plane g and the GND terminal D4 of the DUT.

【0048】図4に示すようにリレーR2のスイッチS3
は、LSIテスタの信号ピンT11より入力されたリレー
制御信号により動作する。LSIテスタの信号ピンT11
よりリレー制御信号が入力されている間は、DUTの信
号端子D3とLSIテスタの信号ピンT2との接続が切れ
るように動作する。
As shown in FIG. 4, the switch S3 of the relay R2
Operate according to the relay control signal input from the signal pin T11 of the LSI tester. Signal pin T11 of LSI tester
While the relay control signal is being input, the operation is performed such that the connection between the signal terminal D3 of the DUT and the signal pin T2 of the LSI tester is disconnected.

【0049】スイッチS4は、LSIテスタの信号ピン
T2より入力されたリレー制御信号により動作するが、
試験での最大印加電圧より高い電圧の入力があった場合
のみ動作し、テストボードのGNDプレーンgとDUT
のGND端子D4との間を開放するようになっている。
The switch S4 is a signal pin of the LSI tester.
It operates by the relay control signal input from T2 ,
It operates only when a voltage higher than the maximum applied voltage in the test is input, and the GND plane g of the test board and the DUT
And the GND terminal D4.

【0050】試験での最大印加電圧より高い電圧がDU
Tに印加されないようにするため、スイッチS4を動作
させる高い電圧を入力する場合は、その前にスイッチS
3を動作させ、DUTの信号端子D3とLSIテスタの信
号ピンT2との接続を切っておく。スイッチS4は、印加
電圧(励磁電流)が0になっても次の電圧印加があるま
で動作を保持する。
The voltage higher than the maximum applied voltage in the test is DU
Before inputting a high voltage for operating the switch S4 to prevent the voltage from being applied to T, the switch S
3 is operated to disconnect the signal terminal D3 of the DUT from the signal pin T2 of the LSI tester. The switch S4 keeps operating even when the applied voltage (excitation current) becomes 0 until the next voltage is applied.

【0051】また図3に示す初期状態のスイッチS5
は、LSIテスタの信号ピンT5とDUTの信号ピンD7
との間を接続し、スイッチS6は、テストボードのGN
DプレーンgとDUTのGND端子D8との間を接続し
ている。
The switch S5 in the initial state shown in FIG.
Are the signal pin T5 of the LSI tester and the signal pin D7 of the DUT.
Switch S6 is connected to the test board GN
The connection is made between the D plane g and the GND terminal D8 of the DUT.

【0052】図4に示すようにリレーR3のスイッチS5
は、LSIテスタの信号ピンT11より入力されたリレー
制御信号により動作する。LSIテスタの信号ピンT11
よりリレー制御信号が入力されている間は、DUTの信
号端子D7とLSIテスタの信号ピンT5との接続が切れ
るように動作する。
As shown in FIG. 4, the switch S5 of the relay R3
Operate according to the relay control signal input from the signal pin T11 of the LSI tester. Signal pin T11 of LSI tester
While the relay control signal is being input, the operation is performed so as to disconnect the signal terminal D7 of the DUT and the signal pin T5 of the LSI tester.

【0053】スイッチS6は、LSIテスタの信号ピン
T5より入力されたリレー制御信号により動作するが、
試験での最大印加電圧より高い電圧の入力があった場合
のみ動作し、テストボードのGNDプレーンgとDUT
のGND端子D8との間を開放するようになっている。
The switch S6 is a signal pin of the LSI tester.
It operates by the relay control signal input from T5 ,
It operates only when a voltage higher than the maximum applied voltage in the test is input, and the GND plane g of the test board and the DUT
To the GND terminal D8.

【0054】試験での最大印加電圧より高い電圧がDU
Tに印加されないようにするため、スイッチS6を動作
させる高い電圧を入力する場合は、その前にスイッチS
5を動作させ、DUTの信号端子D7とLSIテスタの信
号ピンT5との接続を切っておく。スイッチS6は、印加
電圧(励磁電流)が0になっても次の電圧印加があるま
で動作を保持する。
The voltage higher than the maximum applied voltage in the test is DU
Before inputting a high voltage for operating the switch S6 to prevent the voltage from being applied to T, the switch S
5 is operated to disconnect the signal terminal D7 of the DUT from the signal pin T5 of the LSI tester. The switch S6 keeps operating even when the applied voltage (excitation current) becomes 0 until the next voltage is applied.

【0055】図3に示す初期状態のスイッチS7は、L
SIテスタの信号ピンT6とDUTの信号ピンD9との間
を接続し、スイッチS8は、テストボードの電源プレー
ンvとDUTの電源端子D10との間を接続している。
The switch S7 in the initial state shown in FIG.
The signal pin T6 of the SI tester is connected to the signal pin D9 of the DUT, and the switch S8 is connected between the power plane v of the test board and the power terminal D10 of the DUT.

【0056】図4に示すようにリレーR4のスイッチS7
は、LSIテスタの信号ピンT11より入力されたリレー
制御信号により動作する。LSIテスタの信号ピンT11
よりリレー制御信号が入力されている間は、DUTの信
号端子D9とLSIテスタの信号ピンT6との接続が切れ
るように動作する。
As shown in FIG. 4, the switch S7 of the relay R4
Operate according to the relay control signal input from the signal pin T11 of the LSI tester. Signal pin T11 of LSI tester
While the relay control signal is being input, the operation is performed to disconnect the signal terminal D9 of the DUT and the signal pin T6 of the LSI tester.

【0057】スイッチS8は、LSIテスタの信号ピン
T6より入力されたリレー制御信号により動作するが、
試験での最大印加電圧より高い電圧の入力があった場合
のみ動作し、テストボードの電源プレーンvとDUTの
電源端子D10との間を開放するようになっている。
The switch S8 is a signal pin of the LSI tester.
It operates by the relay control signal input from T6 ,
It operates only when a voltage higher than the maximum applied voltage in the test is input, and opens between the power supply plane v of the test board and the power supply terminal D10 of the DUT.

【0058】試験での最大印加電圧より高い電圧がDU
Tに印加されないようにするため、スイッチS8を動作
させる高い電圧を入力する場合は、その前にスイッチS
7を動作させ、DUTの信号端子D9とLSIテスタの信
号ピンT6との接続を切っておく。スイッチS8は、印加
電圧(励磁電流)が0になっても次の電圧印加があるま
で動作を保持する。
The voltage higher than the maximum applied voltage in the test is DU
In order to prevent the voltage from being applied to T, when a high voltage for operating the switch S8 is inputted, the switch S
7 is operated to disconnect the signal terminal D9 of the DUT from the signal pin T6 of the LSI tester. The switch S8 maintains its operation until the next voltage is applied even when the applied voltage (excitation current) becomes zero.

【0059】次に、図3に示す本発明の実施形態2に係
る電源/GND端子導通試験用テストボードにおいて、
導通試験が実施されるまでの動作について説明する。
Next, in the test board for power supply / GND terminal continuity test according to the second embodiment of the present invention shown in FIG.
The operation until the continuity test is performed will be described.

【0060】まず、LSIテスタの信号ピンT11よりリ
レー制御信号が入力されると、図4に示すように、全て
のリレーR1,R2,R3,R4のスイッチS1,S3,S
5,S7が動作し、DUTの信号端子D1,D3,D7,D9
とLSIテスタの信号端子T1,T2,T5,T6との接続
が切れる。
First, when a relay control signal is input from the signal pin T11 of the LSI tester, as shown in FIG. 4, the switches S1, S3, S3 of all the relays R1, R2, R3, R4.
5 and S7 operate, and DUT signal terminals D1, D3, D7, D9
And the signal terminals T1, T2, T5 and T6 of the LSI tester are disconnected.

【0061】次に、DUTの電源端子D2,D10又はG
ND端子D4,D8を試験するLSIテスタの信号ピンT
1,T2,T5またはT6からDUTの試験で印加される電圧
より高い電圧が印加される。
Next, the power supply terminals D2, D10 or G of the DUT
LSI tester signal pin T for testing ND terminals D4 and D8
A voltage higher than the voltage applied in the test of the DUT is applied from 1, T2, T5 or T6 .

【0062】図4では、LSIテスタの信号端子T1よ
り高電圧が印加されて、リレーR1のスイッチS2が動作
している状態を示しており、この状態では、DUTの電
源端子D2とLSIテスタの信号端子T1とが接続され、
DUTの電源端子D2の導通試験が可能な状態になる。
FIG. 4 shows a state in which a high voltage is applied from the signal terminal T1 of the LSI tester and the switch S2 of the relay R1 is operating. In this state, the power supply terminal D2 of the DUT and the LSI tester Connected to the signal terminal T1,
The continuity test of the power supply terminal D2 of the DUT is enabled.

【0063】また、図4において、LSIテスタの信号
端子T6より高電圧を印加して、リレーR4のスイッチS
8を動作させる状態にすると、DUTの電源端子D10と
LSIテスタの信号端子T6とが接続され、DUTの電
源端子D10の導通試験が可能な状態になる。
In FIG. 4, a high voltage is applied from the signal terminal T6 of the LSI tester, and the switch S of the relay R4 is turned on.
When the power supply terminal 8 is operated, the power supply terminal D10 of the DUT is connected to the signal terminal T6 of the LSI tester, and the continuity test of the power supply terminal D10 of the DUT is enabled.

【0064】以上のような操作を行って、DUTの電源
端子D2,D10又はGND端子D4,D8を1ピン単位で
導通試験を行う。
By performing the above operations, a continuity test is performed on the power supply terminals D2 and D10 or the GND terminals D4 and D8 of the DUT for each pin.

【0065】図3に示す本発明の実施形態2に係る電源
/GND端子導通試験用テストボードが前記実施形態1
と異なる点は、導通試験時に、測定対象以外の電源端子
またはGND端子の電位は、電源プレーンvまたはGN
Dプレーンgに接続した電位に保つことが可能なことに
ある。
The power / GND terminal continuity test board according to the second embodiment of the present invention shown in FIG.
The difference is that during the continuity test, the potential of the power supply terminal or the GND terminal other than the measurement target is changed to the power supply plane v or GND.
It is possible to keep the potential connected to the D plane g.

【0066】そのため、本発明の実施形態2によれば、
導通試験を実行する場合に、測定対象以外の電源端子ま
たはGND端子にLSIテスタから電圧を印加する必要
がないという利点がある。
Therefore, according to the second embodiment of the present invention,
When the continuity test is performed, there is an advantage that it is not necessary to apply a voltage from the LSI tester to a power supply terminal or a GND terminal other than the measurement target.

【0067】[0067]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、従
来のテストボードでは不可能だった電源及びGND端子
の導通試験が1ピン単位で簡単に実施することが可能な
ため、LSIの信頼性を向上することができる。
As described above, according to the present invention, the continuity test of the power supply and the GND terminal, which was impossible with the conventional test board, can be easily performed on a pin-by-pin basis. Performance can be improved.

【0068】さらに、全ての電源及びGND端子の導通
試験を実施することが可能なため、電源及びGND端子
が導通していないLSIを誤って良品として判定するこ
とを回避することができる。
Furthermore, since the continuity test of all the power supplies and the GND terminals can be performed, it is possible to avoid erroneously determining an LSI in which the power supplies and the GND terminals are not conducting as a non-defective product.

【0069】さらに、テストボード上にリレーを設置す
ることにより、同一ボードでDUTの全端子の導通試験
が可能であるため、電源及びGNDの導通試験を低コス
トで実現することができる。
Further, by installing the relay on the test board, the continuity test of all terminals of the DUT can be performed on the same board, so that the continuity test of the power supply and the GND can be realized at low cost.

【0070】リレー制御用信号の切替えにより、電源及
びGND端子の導通試験を実施することが可能であるた
め、テストコストを削減することができる。
Since the continuity test of the power supply and the GND terminal can be performed by switching the relay control signal, the test cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態1に係る電源/GND端子導
通試験用テストボードを示す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram illustrating a test board for a power supply / GND terminal continuity test according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施形態1に係る電源/GND端子導
通試験用テストボードの動作状態を示す構成図である。
FIG. 2 is a configuration diagram illustrating an operation state of a test board for a power supply / GND terminal continuity test according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施形態2に係る電源/GND端子導
通試験用テストボードを示す構成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram illustrating a test board for a power supply / GND terminal continuity test according to a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施形態2に係る電源/GND端子導
通試験用テストボードの動作状態を示す構成図である。
FIG. 4 is a configuration diagram illustrating an operation state of a test board for a power supply / GND terminal continuity test according to a second embodiment of the present invention.

【図5】従来例に係る電源/GND端子導通試験用テス
トボードの動作状態を示す構成図である。
FIG. 5 is a configuration diagram showing an operation state of a test board for a power supply / GND terminal continuity test according to a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

D1、D3,D5,D6,D7,D8,D9 DUTの信号ピ
ン D2,D10 DUTの電源ピン D4,D8 DUTのGNDピン T1,T2,T3,T4,T5,T6 LSIテスタのDUT
用信号ピン T11 LSIテスタのリレー制御用信号ピン G1 LSIテスタのGNDピン V1 LSIテスタの電源ピン R1,R2,R3,R4 リレー S1,S2,S3,S4,S5,S6,S7,S8 スイッチ d 電源プレーン g GNDプレーン T11 リレー制御用信号ピンT t リレー制御用プレーン
D1, D3, D5, D6, D7, D8, D9 DUT signal pin D2, D10 DUT power pin D4, D8 DUT GND pin T1, T2, T3, T4, T5, T6 DUT of LSI tester
Signal pin for T11 LSI control signal pin for LSI tester G1 GND pin for LSI tester V1 Power supply pin for LSI tester R1, R2, R3, R4 Relay S1, S2, S3, S4, S5, S6, S7, S8 Switch d Power supply Plane g GND plane T11 Relay control signal pin T t Relay control plane

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/02 - 31/04 G01R 31/28 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01R 31/02-31/04 G01R 31/28

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 被測定デバイスとLSIテスタとを電気
的に接続する電源/GND端子導通試験用テストボード
であって、 テストボード上にスイッチを設け、該スイッチを切り換
えることにより、LSIテスタの信号ピンを被測定デバ
イスの信号端子に、テストボードの電源・GNDプレー
ンを被測定デバイスの電源端子及びGND端子に接続し
た状態と、LSIテスタの信号ピンを被測定デバイスの
信号端子に代えて、被測定デバイスの電源端子及びGN
D端子に接続した状態とを切り替えるようにしたことを
特徴とする電源/GND端子導通試験用テストボード。
1. A test board for a power / GND terminal continuity test for electrically connecting a device under test and an LSI tester, wherein a switch is provided on the test board, and the switch is switched to provide a signal of the LSI tester. Pin the device under test
Power supply / GND play of test board to signal terminal of chair
To the power supply terminal and GND terminal of the device under test.
And the signal pins of the LSI tester are replaced with the signal terminals of the device under test,
A test board for a power supply / GND terminal continuity test, wherein a state of connection to a D terminal is switched .
【請求項2】 前記スイッチは、リレー制御信号に基づ
いてリレーを動作させて切替えを行うものであることを
特徴とする請求項1に記載の電源/GND端子導通試験
用テストボード。
2. The test board for a power supply / GND terminal continuity test according to claim 1, wherein the switch performs switching by operating a relay based on a relay control signal.
【請求項3】 前記リレーは、前記スイッチを一括して
切替え動作するものであること特徴とする請求項2に記
載の電源/GND端子導通試験用テストボード。
3. The test board according to claim 2, wherein the relay performs an operation of switching the switches at a time.
【請求項4】 前記リレーは、前記スイッチを個々に独
立して切替え動作するものであること特徴とする請求項
2に記載の電源/GND端子導通試験用テストボード。
4. The test board for power supply / GND terminal continuity test according to claim 2, wherein said relays perform switching operations of said switches individually and independently.
JP34716598A 1998-12-07 1998-12-07 Test board for power / GND terminal continuity test Expired - Fee Related JP3239864B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34716598A JP3239864B2 (en) 1998-12-07 1998-12-07 Test board for power / GND terminal continuity test

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34716598A JP3239864B2 (en) 1998-12-07 1998-12-07 Test board for power / GND terminal continuity test

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000171510A JP2000171510A (en) 2000-06-23
JP3239864B2 true JP3239864B2 (en) 2001-12-17

Family

ID=18388361

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34716598A Expired - Fee Related JP3239864B2 (en) 1998-12-07 1998-12-07 Test board for power / GND terminal continuity test

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3239864B2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007165391A (en) * 2005-12-09 2007-06-28 Tsutomu Takahashi Printed board inspection apparatus and grid conversion board therefor
US7279907B2 (en) 2006-02-28 2007-10-09 Freescale Semiconductor, Inc. Method of testing for power and ground continuity of a semiconductor device
KR200454453Y1 (en) * 2008-12-23 2011-07-06 한전케이피에스 주식회사 Power generator for testing circuit equipment
CN103091618B (en) * 2011-11-03 2015-03-11 创意电子股份有限公司 Electronic test system and related method
CN110794247A (en) * 2019-08-08 2020-02-14 天生桥二级水力发电有限公司天生桥水力发电总厂 Automatic device inspection platform

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000171510A (en) 2000-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5101153A (en) Pin electronics test circuit for IC device testing
JP3239864B2 (en) Test board for power / GND terminal continuity test
JP2009536743A (en) Input bypass circuit for current probe
US7026822B1 (en) High voltage switching matrix for electrical safety compliance test equipment
JP2001074816A (en) Semiconductor test device
JPH1173800A (en) Semiconductor device and its testing method
JP3149925B2 (en) Circuit board probing method
KR100231649B1 (en) A test board having a capacitor charging circuit and a test method using the test board
JPH05157793A (en) Power source circuit with check of shortcircuiting
JP4173229B2 (en) IC test equipment
JP4066265B2 (en) Contact ring of semiconductor test equipment
JPH0954143A (en) Parallel-connected voltage generators in semiconductor testing apparatus and contact test method
JP4120880B2 (en) Test head of semiconductor test equipment
JP2003035750A (en) Semiconductor integrated circuit testing apparatus, testing board, and semiconductor integrated circuit testing method
JP2002131380A (en) Semiconductor testing device, semiconductor testing system, and testing method for semiconductor device
JPH1123648A (en) Test head for ic tester
JPH0329512A (en) Semiconductor analog switch
JP4493776B2 (en) Test equipment for integrated circuit devices
JPH03293571A (en) Apparatus for testing semiconductor integrated circuit
JPH06265594A (en) Ic test equipment
JP2579883Y2 (en) Test equipment for IC transfer equipment
JPS59202080A (en) Logical circuit testing apparatus
JP2561076Y2 (en) Resistance measuring device
KR100215837B1 (en) Pin-electronics
JPH1019972A (en) Ic tester

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees