JP3237514B2 - Sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration device and mobile recovery and regeneration device - Google Patents
Sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration device and mobile recovery and regeneration deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】ガス絶縁開閉装置に封入した
六弗化硫黄ガスは電力の開閉アークによりその分解ガス
や反応生成物を生じるが、この発明は六弗化硫黄ガスと
分解ガス、反応生成物などとの混合ガスを回収再生し、
再充填することができる六弗化硫黄ガスの回収再生装置
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION Sulfur hexafluoride gas sealed in a gas insulated switchgear produces decomposition gas and reaction products due to the switching arc of electric power. This invention relates to sulfur hexafluoride gas, decomposition gas and reaction products. Collect and regenerate mixed gas with things, etc.
The present invention relates to an apparatus for recovering and recovering sulfur hexafluoride gas which can be refilled.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ガス絶縁電気機器、とくに、ガス絶縁変
圧器の内部にはポリエステルフィルム、フェノール樹脂
含浸紙の積層体、セルロース紙などの有機高分子絶縁物
を多く使用しているので、その内部で閃絡事故が発生す
ると六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの分解ガスのほかに、こ
れらの有機高分子絶縁物と六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスと
の反応生成物、さらに、これらの有機高分子絶縁物その
ものの熱分解ガスを発生する。六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スの分解ガスとして弗化チオニル（ＳＯＦ2 ）、四弗化
硫黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（ＨＦ）、二酸化硫黄（ＳＯ
2 ）が生じ、有機高分子絶縁物と六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスとの反応生成物として四弗化炭素（ＣＦ4 ）が、ま
た、有機高分子絶縁物の熱分解ガスとして一酸化炭素
（ＣＯ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）が生じる。これらのガ
スのうち分解ガスや一酸化炭素（ＣＯ）は人体に有害で
ある。実公昭６３−３３６２０号公報に公告されたもの
は有害な一酸化炭素（ＣＯ）も除去しようとするもので
ある。2. Description of the Related Art A large amount of organic polymer insulators such as polyester films, phenolic resin-impregnated paper laminates, and cellulose paper are used in gas-insulated electrical equipment, especially in gas-insulated transformers. in the addition of the decomposition gas of the flashover fault occurs sulfur hexafluoride (SF 6) gas, the reaction products of these organic polymer insulator and sulfur hexafluoride (SF 6) gas, further, these Generates pyrolysis gas from the organic polymer insulator itself. Thionyl fluoride (SOF 2 ), sulfur tetrafluoride (SF 4 ), hydrogen fluoride (HF), sulfur dioxide (SO 2 ) are used as decomposition gases of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas.
2 ) occurs, the organic polymer insulator and sulfur hexafluoride (SF 6 )
Carbon tetrafluoride (CF 4 ) is produced as a reaction product with the gas, and carbon monoxide (CO) and carbon dioxide (CO 2 ) are produced as pyrolysis gases of the organic polymer insulator. Among these gases, decomposition gas and carbon monoxide (CO) are harmful to the human body. What is published in Japanese Utility Model Publication No. 63-33620 is to remove harmful carbon monoxide (CO).
【０００３】図１２はその実公昭６３−３３６２０号公
報に掲載された六弗化硫黄ガスの回収再生装置を示す概
略構成図である。図において、１は六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）を封入したガス絶縁変圧器、１１は真空ポンプなど
からなる吸気部、１２は六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスがア
ークにより分解した分解ガスを水酸化カルシウム（Ｃａ
（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液により中和して除去する分解
ガス除去部、１３は粉末状の合成ゼオライトにより水蒸
気を吸着して除去する水分除去部、１４は酸化マンガ
ン、酸化銅などの金属酸化物触媒により一酸化炭素（Ｃ
Ｏ）を二酸化炭素（ＣＯ2 ）に変換して除去する一酸化
炭素除去部、１５は二酸化炭素（ＣＯ2 ）を水酸化カル
シウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液により中和して
除去する二酸化炭素除去部、１６は粉末状の合成ゼオラ
イトにより水蒸気を吸着して除去する水分除去部、１７
は六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスなどを圧縮する圧縮機と六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを液化して貯蔵する液体タンク
とからなる液化貯蔵部、１８は開閉弁である。なお、ガ
ス絶縁変圧器１、吸気部１１、分解ガス除去部１２、水
分除去部１３、一酸化炭素除去部１４、二酸化炭素除去
部１５、水分除去部１６、液化貯蔵部１７は管路で接続
されている。FIG. 12 is a schematic diagram showing a sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration apparatus disclosed in Japanese Utility Model Publication No. 63-33620. In the figure, 1 is sulfur hexafluoride (SF
6 ) is a gas-insulated transformer, 11 is an intake section composed of a vacuum pump or the like, 12 is a sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas that is decomposed by an arc to decompose calcium hydroxide (Ca).
Decomposed gas removing section for neutralizing and removing with an excess aqueous solution of (OH) 2 ), 13 is a moisture removing section for adsorbing and removing water vapor by a powdery synthetic zeolite, 14 is oxidizing metal such as manganese oxide and copper oxide. Carbon monoxide (C
O) is converted to carbon dioxide (CO 2 ) and removed by carbon monoxide removal unit 15. Carbon monoxide (CO 2 ) is neutralized and removed by an excess aqueous solution of calcium hydroxide (Ca (OH) 2 ). A carbon dioxide removing section, 16 a moisture removing section for adsorbing and removing water vapor with a powdery synthetic zeolite, 17
Liquefied reservoir comprising a liquid tank for storing liquefied compressor and sulfur hexafluoride (SF 6) gas is compressed and sulfur hexafluoride (SF 6) gas, 18 is a switch valve. The gas insulated transformer 1, the suction unit 11, the decomposition gas removal unit 12, the moisture removal unit 13, the carbon monoxide removal unit 14, the carbon dioxide removal unit 15, the moisture removal unit 16, and the liquefaction storage unit 17 are connected by a pipeline. Have been.
【０００４】次に、その機能について説明する。ガス絶
縁変圧器１には絶縁媒体として数気圧の六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスが封入されているが、内部で閃絡事故などが
発生すると、弗化チオニル（ＳＯＦ2 ）、四弗化硫黄
（ＳＦ4 ）、弗化水素（ＨＦ）、二酸化硫黄（ＳＯ
2 ）、四弗化炭素（ＣＦ4 ）、一酸化炭素（ＣＯ）、二
酸化炭素（ＣＯ2 ）などの不純物ガスと六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスとの混合ガスとなる。開閉弁１８を開くと、
この混合ガスは所定気圧以上のときは吸気部１１が作動
することなく分解ガス除去１２に流入するが、所定気圧
以下になると吸気部１１が自動的に作動してガス絶縁変
圧器１の内部に残留した混合ガスを吸気し、分解ガス除
去部１２へ流入させる。分解ガス除去部１２では弗化チ
オニル（ＳＯＦ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化水素
（ＨＦ）、二酸化硫黄（ＳＯ2 ）、二酸化炭素（ＣＯ
2 ）のほとんどが水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）
の過剰水溶液と中和して除去され、六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）、一酸化炭素（Ｃ
Ｏ）、水蒸気との混合ガスが流出する。次の水分除去部
１３ではこの混合ガスの中の水蒸気を粉末状の合成ゼオ
ライトに吸着させて除去する。これは次の一酸化炭素除
去部１４に用いる金属酸化物触媒が湿った状態では活性
が低下するので、これを防ぐためでもある。一酸化炭素
除去部１４では一酸化炭素（ＣＯ）は金属酸化物触媒に
より二酸化炭素（ＣＯ2 ）に変換され、六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスとこの二酸化炭素（ＣＯ2 ）、四弗化炭素
（ＣＦ4 ）との混合ガスが流出する。二酸化炭素除去部
１５ではこの混合ガス中の二酸化炭素（ＣＯ2 ）が水酸
化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の水溶液と中和して除
去され、六弗化硫黄（ＳＦ6 ）と四弗化炭素（ＣＦ
4 ）、水蒸気との混合ガスが流出する。次の水分除去部
１６ではこの水蒸気が合成ゼオライトに吸着されて除去
される。最後に、液化貯蔵部１７で六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスと微量の四弗化炭素（ＣＦ4 ）との混合ガスを
圧縮機で圧縮し、液体タンクに容れて六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスを液化して貯蔵する。液体タンクの液化した六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）の上には気体状態の四弗化炭素（Ｃ
Ｆ4 ）が溜り、純度の高い液化した六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）との分離が行なわれ
る。なお、四弗化炭素（ＣＦ4 ）はごく微量であるし、
人体にも無害である。Next, the function will be described. The gas-insulated transformer 1 has a few atmospheres of sulfur hexafluoride (S
F 6 ) gas is sealed, but when a flashover accident or the like occurs inside, thionyl fluoride (SOF 2 ), sulfur tetrafluoride (SF 4 ), hydrogen fluoride (HF), sulfur dioxide (SO 2)
2 ), impurity gas such as carbon tetrafluoride (CF 4 ), carbon monoxide (CO), carbon dioxide (CO 2 ) and sulfur hexafluoride (S
It becomes a mixed gas with F 6 ) gas. When the on-off valve 18 is opened,
This mixed gas flows into the decomposed gas removing unit 12 without operating the intake unit 11 when the pressure is equal to or higher than a predetermined pressure, but automatically operates when the pressure becomes equal to or lower than the predetermined pressure so that the mixed gas enters the gas insulating transformer 1. The remaining mixed gas is suctioned and made to flow into the decomposed gas removing unit 12. In the decomposition gas removing section 12, thionyl fluoride (SOF 2 ), sulfur tetrafluoride (SF 4 ), hydrogen fluoride (HF), sulfur dioxide (SO 2 ), carbon dioxide (CO 2 )
2 ) Most of calcium hydroxide (Ca (OH) 2 )
Neutralized with an excess aqueous solution of sulfur hexafluoride (SF
6 ) Gas and carbon tetrafluoride (CF 4 ), carbon monoxide (C
O), a mixed gas with water vapor flows out. In the next water removing section 13, the water vapor in the mixed gas is adsorbed and removed by the powdery synthetic zeolite. This is also to prevent the activity of the metal oxide catalyst used in the next carbon monoxide removing unit 14 from decreasing when the catalyst is wet. In the carbon monoxide removing unit 14, carbon monoxide (CO) is converted into carbon dioxide (CO 2 ) by a metal oxide catalyst, and is converted into sulfur hexafluoride (S
A mixed gas of F 6 ) gas, carbon dioxide (CO 2 ) and carbon tetrafluoride (CF 4 ) flows out. In the carbon dioxide removing unit 15, carbon dioxide (CO 2 ) in the mixed gas is neutralized and removed with an aqueous solution of calcium hydroxide (Ca (OH) 2 ), and sulfur hexafluoride (SF 6 ) and tetrafluoride Carbon (CF
4 ), mixed gas with water vapor flows out. In the next water removing section 16, the water vapor is adsorbed by the synthetic zeolite and removed. Finally, in the liquefied storage unit 17, sulfur hexafluoride (SF
6 ) A gas mixture of a gas and a trace amount of carbon tetrafluoride (CF 4 ) is compressed by a compressor, stored in a liquid tank, and sulfur hexafluoride (SF).
6 ) Liquefied gas is stored. The gaseous carbon tetrafluoride (C) is placed on the liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) in the liquid tank.
F 4 ) accumulates and is highly liquefied sulfur hexafluoride (SF)
6 ) Separation of gas and carbon tetrafluoride (CF 4 ) is performed. In addition, carbon tetrafluoride (CF 4 ) is very small,
It is harmless to the human body.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ガス絶縁開閉装置、ガ
ス絶縁変圧器が普及するのに伴なって六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスの使用量も大気中への排出量も増加している。
六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスは大気中での寿命が極めて長
く、二酸化炭素（ＣＯ2 ）ガスに対する地球温暖化指数
（ＧＷＰ）の約２５，０００倍に達するとされている
が、現在の状況では大気中の六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガス
の濃度は極めて低く、地球の温暖化への影響はまだ少な
いと考えられている。しかし、大気中への排出量がこの
まま増加すると、長期的にみてその影響は無視すること
ができなくなり、国際電気委員会（ＩＥＣ）では六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスの取扱いに関するガイドラインを示
している。したがって、ガス絶縁開閉装置、ガス絶縁変
圧器の分解点検などを行なう際に内部に封入した六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスを回収、再生することは重要な課題
である。With the spread of gas-insulated switchgears and gas-insulated transformers, sulfur hexafluoride (SF)
6 ) Both gas consumption and air emissions are increasing.
Sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas has a very long life in the atmosphere, and is estimated to reach about 25,000 times the Global Warming Index (GWP) for carbon dioxide (CO 2 ) gas. Under the circumstances, the concentration of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas in the atmosphere is extremely low, and it is considered that the effect on global warming is still small. However, if emissions into the atmosphere continue to increase, their effects cannot be ignored in the long term, and the International Electrotechnical Commission (IEC) has set guidelines for the handling of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas. ing. Therefore, it is an important subject to recover and regenerate the sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas sealed therein when performing a disassembly inspection of the gas insulated switchgear and the gas insulated transformer.
【０００６】ガス絶縁開閉装置は六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスを絶縁媒体および消弧媒体として使用しているの
で、電力を開閉する際の開閉アークにより主に、六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスの分解ガスを発生する。したがっ
て、内部を分解して点検する頻度はガス絶縁変圧器の内
部で閃絡事故などが発生する場合よりもはるかに高く、
また、上記のような観点からすれば、封入した六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスを回収再生して再利用することを考え
ねばならない。The gas insulated switchgear is sulfur hexafluoride (SF 6 )
Since the gas is used as an insulating medium and an arc-extinguishing medium, a decomposition gas of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas is mainly generated by a switching arc when switching power. Therefore, the frequency of disassembling and inspecting the inside is much higher than when a flash accident occurs inside the gas insulated transformer,
Also, from the above viewpoint, it is necessary to consider recovering and reusing the enclosed sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas for reuse.
【０００７】ところが、従来の技術で引用した実公昭６
３−３３６２０号公報に記載のものは有機高分子絶縁物
を多く使用したガス絶縁変圧器を対象として有機高分子
絶縁物の熱分解ガスである一酸化炭素（ＣＯ）をも除去
することを目的としている。したがって、ガス絶縁開閉
装置のように使用する有機高分子絶縁物の種類も量も少
なく、電力を開閉する際の開閉アークにより主に六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスの分解ガスを発生して、一酸化炭素
（ＣＯ）を発生しないものを対象とする六弗化硫黄ガス
の回収再生装置とは用途が異なって複雑、大形であり、
また、ガス絶縁開閉装置に特有の粉末状の金属弗化物を
除去することができないので、吸気部などに不具合を生
じて能率が悪いと云う課題があった。However, Japanese Utility Model Publication No. 6 cited in the prior art
The object disclosed in Japanese Patent Publication No. 3-33620 is intended to remove carbon monoxide (CO), which is a pyrolysis gas of an organic polymer insulator, for a gas insulating transformer using a large amount of an organic polymer insulator. And Therefore, the type of organic polymer insulator used in the gas-insulated switchgear is small and the amount of the organic polymer insulator is small, and the switching arc when the power is turned on and off mainly generates a decomposition gas of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas. It has a different and different application from the sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration device that does not generate carbon monoxide (CO).
In addition, since powdery metal fluorides peculiar to the gas insulated switchgear cannot be removed, there is a problem that a malfunction occurs in an intake portion or the like, resulting in poor efficiency.
【０００８】この発明の第一の目的はガス絶縁開閉装置
に封入した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部が電力の開
閉アークにより分解して生じた分解ガス、開閉接触子お
よび消弧室の部材物質と反応して生じた反応生成物、窒
素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水蒸気と六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスとの混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを再
び、気化してガス絶縁開閉装置などに再充填することが
できる簡単かつ小形にして能率のよい六弗化硫黄ガスの
回収再生装置を得ることである。A first object of the present invention is to provide a decomposition gas, a switching contact and an arc quenching gas generated by decomposing a part of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas enclosed in a gas insulated switching device by a switching arc of electric power. Reaction products generated by reacting with the chamber member materials, nitrogen (N 2 ), oxygen (O 2 ), steam and sulfur hexafluoride (SF)
6 ) It is possible to recover and regenerate the mixed gas with the gas, store it as liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas, and vaporize it again, and refill it into a gas-insulated switchgear. An object of the present invention is to obtain a small and efficient sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration apparatus.
【０００９】この発明の第二の目的はガス絶縁開閉装置
の内部の混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、この液化した
六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを再び気化して再充填するに
先立って、ガス絶縁開閉装置などの内部を排気して真空
にすることができる簡単かつ小形にして能率のよい六弗
化硫黄ガスの回収再生装置を得ることである。A second object of the present invention is to recover and regenerate the mixed gas inside the gas insulated switchgear, store it as liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas, and store the liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas. SF 6 ) A simple, compact, and efficient sulfur hexafluoride gas recovery / regeneration device that can exhaust and evacuate the interior of a gas insulated switchgear prior to vaporizing and refilling the gas again. It is to get.
【００１０】この発明の第三の目的はガス絶縁開閉装置
の内部の混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、この液化した
六弗化硫黄（ＳＦ6 ）を再び気化して再充填するに先立
って、ガス絶縁開閉装置などの内部を排気して真空にす
ることができる簡単かつ小形にして能率がよく、また、
必要なところへ移動させることができる六弗化硫黄ガス
の移動式回収再生装置を得ることである。A third object of the present invention is to recover and regenerate the mixed gas inside the gas insulated switchgear, store it as liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas, and store the liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas. Prior to re-vaporizing and refilling SF 6 ), the interior of a gas insulated switchgear or the like can be evacuated and evacuated to a simple, compact and efficient manner.
An object of the present invention is to provide a mobile recovery and regeneration apparatus for sulfur hexafluoride gas which can be moved to a required place.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る六弗化硫黄ガスの回収再生装置はガス絶縁開閉装置に
封入した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部が電力の開閉
アークにより分解して生じた酸性の分解ガス、開閉アー
クにより六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部とガス絶縁開
閉装置の開閉接触子および消弧室に用いた部材物質とが
反応して生じた反応生成物、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ
2 ）、水蒸気と六弗化硫黄ガス（ＳＦ6 ）との混合ガス
を流入させ、フィルタ容器に装着したフィルタに通して
固体状態の反応生成物である粉末状の金属弗化物を濾過
して除去する金属弗化物除去部、この金属弗化物除去部
から流入する混合ガスの圧力がガス絶縁開閉装置の封入
気圧と１気圧以上の所定気圧との間は直接流出させ、所
定気圧と１気圧との間はブロアで送気して流出させ、１
気圧と所定真空度との間は真空ポンプで吸気して流出さ
せる送気吸気部、この送気吸気部から流入する混合ガス
を反応容器に容れた水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）
2 ）の過剰水溶液に浸漬した多孔流出管から流出させ、
分解ガスを中和して除去する分解ガス除去部、この分解
ガス除去部から流入する混合ガスを通して冷却容器に装
着した凝縮器で凝縮させたのち、乾燥容器に装填した粉
末状の合成ゼオライト（細孔径：９オングストローム）
に吸着させて水蒸気を除去する水分除去部、この水分除
去部から流入する混合ガスを圧縮機で圧縮して液化容器
に容れ、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスとその上に
溜る気体状態の反応生成物、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ
2 ）とを分離して貯蔵するとともに、液化容器をして液
化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスだけを流出可能にした
空気除去部、この空気除去部から流入する液化した六弗
化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを気化容器に容れヒータで加熱し
て気化させる気化部、この気化部から流入する六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスを所定気圧に減圧する減圧弁、金属弗
化物除去部の流入側を開閉する第一開閉弁、減圧弁の流
出側を開閉する第二開閉弁を備えたものである。したが
って、全体の構成が簡単かつ小形であり、また、ガス絶
縁開閉装置に特有の粉末状の金属弗化物によって送気吸
気部などに不具合を生じることがなく、さらに、ガス絶
縁開閉装置の内部の混合ガスをその圧力が高い間は直接
流出させ、低くなると強制流出させるので、能率よく混
合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スにして貯蔵することができる。According to a first aspect of the present invention, there is provided an apparatus for recovering and recovering sulfur hexafluoride gas, wherein a part of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas enclosed in a gas insulated switchgear is used for switching power. The acidic decomposition gas generated by the decomposition of the arc, a part of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas reacts with the switching contact of the gas insulated switchgear and the material used for the arc-extinguishing chamber by the switching arc. The resulting reaction product, nitrogen (N 2 ), oxygen (O
2 ) A mixed gas of water vapor and sulfur hexafluoride gas (SF 6 ) is allowed to flow in, and a powdery metal fluoride as a solid-state reaction product is removed by filtration through a filter attached to a filter container. Metal fluoride removing section, and the mixed gas flowing from the metal fluoride removing section is directly discharged when the pressure of the mixed gas is between the sealed pressure of the gas insulated switchgear and a predetermined pressure of 1 atm or more. Air is blown out and blown out during
An air supply / intake unit that takes in air from a vacuum pump and flows out between the atmospheric pressure and a predetermined degree of vacuum, and calcium hydroxide (Ca (OH)) containing a mixed gas flowing from the air supply / intake unit in a reaction vessel.
2 ) drain from the porous outlet tube immersed in the excess aqueous solution of
A cracked gas removing section for neutralizing and removing cracked gas, a mixed gas flowing from the cracked gas removing section is condensed by a condenser attached to a cooling vessel, and then powdered synthetic zeolite (fine) charged in a drying vessel. (Pore size: 9 angstroms)
A water removing section for adsorbing water to remove water vapor, and a mixed gas flowing from the water removing section is compressed by a compressor and stored in a liquefaction container, and liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas and gas stored thereon The reaction product in the state, nitrogen (N 2 ), oxygen (O
2 ) is separated and stored, and an air removing section that allows only a liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas to flow out by liquefying a container, and liquefied sulfur hexafluoride flowing from the air removing section A vaporizing section for storing (SF 6 ) gas in a vaporizing vessel and heating it with a heater to vaporize, a pressure reducing valve for reducing the pressure of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas flowing from the vaporizing section to a predetermined pressure, and a metal fluoride removing section. A first on-off valve for opening and closing the inflow side and a second on-off valve for opening and closing the outflow side of the pressure reducing valve are provided. Therefore, the overall configuration is simple and small, and no problem occurs in the air supply / intake section due to the powdered metal fluoride peculiar to the gas insulated switchgear. Since the mixed gas is directly discharged while the pressure is high, and forcedly discharged when the pressure is low, the mixed gas can be efficiently recovered and regenerated, and stored as liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas.
【００１２】この発明の請求項２に係る六弗化硫黄ガス
の回収再生装置は請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生
装置で、その水分除去部の乾燥容器に装填した粉末状の
合成ゼオライト（細孔径：９オングストローム）を加熱
する乾燥ヒータ、乾燥容器の内部の混合ガスを外部へ排
出する排気ポンプ、乾燥容器の流入側を開閉する第一バ
ルブ、乾燥容器の流出側を開閉する第二バルブ、排気ポ
ンプの流入側を開閉する第三バルブを設けたものであ
る。したがって、合成ゼオライト（細孔径：９オングス
トローム）の吸着した水分の量が増えて吸着能力が低下
すると、乾燥ヒータで合成ゼオライト（細孔径：９オン
グストローム）を加熱して水分を蒸発させ、その水蒸気
を排気ポンプで外部へ排出すれば、吸着能力が回復す
る。According to a second aspect of the present invention, there is provided an apparatus for recovering and regenerating sulfur hexafluoride gas according to the first aspect of the present invention. Drying heater for heating zeolite (pore diameter: 9 Å), exhaust pump for discharging mixed gas inside the drying vessel to the outside, first valve for opening and closing the inflow side of the drying vessel, and second valve for opening and closing the outflow side of the drying vessel Two valves and a third valve for opening and closing the inflow side of the exhaust pump are provided. Therefore, when the amount of water adsorbed by the synthetic zeolite (pore diameter: 9 Å) increases and the adsorption capacity decreases, the synthetic zeolite (pore diameter: 9 Å) is heated by a drying heater to evaporate the water, and the water vapor is removed. If the water is discharged to the outside by an exhaust pump, the adsorption capacity is restored.
【００１３】この発明の請求項３に係る六弗化硫黄ガス
の回収再生装置は請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生
装置で、その空気除去部の圧縮機から流出する混合ガス
を通して第一空気吸着容器に装填した粉末状の合成ゼオ
ライト（細孔径：５オングストローム）に混合ガス中の
窒素（Ｎ2 ）および酸素（Ｏ2 ）を吸着させたのち、液
化容器に流入させるので、液化容器の液化した六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスの上に溜る窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ
2 ）の量が少なくなり、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスの純度が高くなる。According to a third aspect of the present invention, there is provided an apparatus for recovering and regenerating sulfur hexafluoride gas according to the first aspect of the present invention, wherein the apparatus for recovering and regenerating sulfur hexafluoride gas passes through a mixed gas flowing out of a compressor in an air removing section. Nitrogen (N 2 ) and oxygen (O 2 ) in the mixed gas are adsorbed on a powdery synthetic zeolite (pore diameter: 5 Å) loaded in a single air adsorption container, and then flow into the liquefaction container. (N 2 ) and oxygen (O 2 ) stored on the liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas
2 ) The amount of liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) decreases
The purity of the gas increases.
【００１４】この発明の請求項４に係る六弗化硫黄ガス
の回収再生装置は請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生
装置で、その空気除去部の液化容器に容れた液化した六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの上に溜る気体状態の反応生成
物、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）を通して第二空気吸着
容器に装填した粉末状の合成ゼオライト（細孔径：５オ
ングストローム）に窒素（Ｎ2 ）および酸素（Ｏ2 ）を
吸着させたのち、残りの混合ガスを所定気圧に減圧して
圧縮機の流入側に戻すので、液化容器の液化した六弗化
硫黄ガス（ＳＦ6 ）の上に溜る窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ
2 ）の量が少なくなり、液化した六弗化硫黄ガス（ＳＦ
6 ）の純度が高くなる。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an apparatus for recovering and recovering sulfur hexafluoride gas according to the first aspect of the present invention, wherein the liquefied hexafluoride gas contained in a liquefaction vessel in an air removing section is provided. A powdery synthetic zeolite (pore diameter: 5 Å) charged into a second air adsorption vessel through a gaseous reaction product, nitrogen (N 2 ) and oxygen (O 2 ), which accumulate on sulfur fluoride (SF 6 ) gas After adsorbing nitrogen (N 2 ) and oxygen (O 2 ) to the compressor, the remaining mixed gas is reduced to a predetermined pressure and returned to the inlet side of the compressor, so that the liquefied sulfur hexafluoride gas (SF 6 ) Nitrogen (N 2 ) and oxygen (O
2 ) the amount of liquefied sulfur hexafluoride gas (SF
6 ) The purity is higher.
【００１５】この発明の請求項５に係る六弗化硫黄ガス
の回収再生装置は請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生
装置で、この送気吸気部の真空ポンプの流出側を二つに
分岐して、一方の分解ガス除去部への流入側を開閉する
第三開閉弁、他方の大気中への排出側を開閉する第四開
閉弁を設けるので、空気除去部の液化容器に貯蔵する液
化した六弗化硫黄ガス（ＳＦ6 ）を再び気化して所定気
圧に減圧し、再充填するに先立って、ガス絶縁開閉装置
などの内部を排気して真空にすることができる。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration apparatus according to the first aspect of the present invention. And a fourth on-off valve for opening and closing the inflow side to one decomposition gas removal section and a fourth on-off valve for opening and closing the other discharge side to the atmosphere. The liquefied sulfur hexafluoride gas (SF 6 ) to be vaporized again is decompressed to a predetermined pressure, and before refilling, the inside of the gas insulated switchgear can be evacuated to a vacuum.
【００１６】この発明の請求項６に係る六弗化硫黄ガス
の移動式回収再生装置は請求項５の六弗化硫黄ガスの回
収再生装置の金属弗化物除去部、送気吸気部、分解ガス
除去部、水分除去部、空気除去部、気化部、減圧弁、第
一開閉弁、第二開閉弁を台車に装着して移動可能にした
ものであるので、必要なところへ移動してガス絶縁開閉
装置の内部の混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫
黄ガス（ＳＦ6 ）にして貯蔵したり、この液化した六弗
化硫黄ガス（ＳＦ6 ）を、再び、気化して所定気圧に減
圧し、再充填するに先立って、ガス絶縁開閉装置などの
内部を排気して真空にすることができる。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a mobile recovery and regeneration apparatus for sulfur hexafluoride gas according to the fifth aspect of the present invention. The removal unit, moisture removal unit, air removal unit, vaporization unit, pressure reducing valve, first on-off valve, and second on-off valve are mounted on a trolley so that they can be moved. The mixed gas inside the switchgear is recovered and regenerated and stored as liquefied sulfur hexafluoride gas (SF 6 ), or the liquefied sulfur hexafluoride gas (SF 6 ) is vaporized again to a predetermined pressure. Prior to refilling, the interior of a gas insulated switchgear or the like can be evacuated to a vacuum before refilling.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】実施の形態１． 図１はこの発明の実施の形態１を示す全体構成図であ
る。図において、２は六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを封入
したガス絶縁開閉装置、２１は開閉アークにより六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部と開閉接触子の部材物質とが
反応して生じた反応生成物の金属弗化物をフィルタ容器
に装着したフィルタにより濾過して除去する金属弗化物
除去部、２２は金属弗化物除去部２１から流入する混合
ガスの圧力が封入気圧と１気圧以上の所定気圧との間は
直接流出させ、この所定気圧と１気圧との間はブロアで
送気して流出させ、１気圧と所定真空度との間は真空ポ
ンプで吸気して流出させる送気吸気部、２３は送気吸気
部２２から流入する混合ガスを反応容器に容れた水酸化
カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液に浸漬した
多孔流出管から流出させ、分解ガスを中和して除去する
分解ガス除去部、２４は分解ガス除去部２３から流入す
る混合ガスを通じて冷却容器に装着した凝縮器で凝縮さ
せたのち、乾燥容器に装填した粉末状の合成ゼオライト
（細孔径：９オングストローム）に吸着させてその水蒸
気を除去する水分除去部、２５は水分除去部２４から流
入する混合ガスを圧縮機で圧縮して液化容器に容れ、液
化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスとその上に溜る気体状
態の反応生成物、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）とを分離
して貯蔵するとともに、液化容器から液化した六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスだけが流出できるようにした空気除去
部、２６は空気除去部２５から流入する液化した六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスを気化容器に入れ、ヒータで加熱し
て気化させる気化部、２７は気化部２６から流入する六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを所定気圧に減圧する減圧弁、
２８は金属弗化物除去部２１の流入側を開閉する第一開
閉弁、２９は減圧弁２７の流出側を開閉する第二開閉弁
である。 なお、ガス絶縁開閉装置２、第一開閉弁２
８、金属弗化物除去部２１、送気吸気部２２、分解ガス
除去部２３、水分除去部２４、空気除去部２５、気化部
２６、減圧弁２７、第二開閉弁２９は管路で接続されて
いる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 FIG. 1 is an overall configuration diagram showing Embodiment 1 of the present invention. In FIG, 2 is a gas insulated switchgear encapsulating sulfur hexafluoride (SF 6) gas, 21 sulfur hexafluoride (SF 6) and the member material part and the opening and closing contacts are reacted gas by opening and closing arc A metal fluoride removing section for filtering and removing a metal fluoride of a reaction product generated by a filter attached to a filter container. The pressure of the mixed gas flowing from the metal fluoride removing section 21 is equal to the sealed pressure and 1 atm. Directly outflow between the above predetermined pressures, air is blown out and blown out between this predetermined pressure and 1 atm, and suctioned out by a vacuum pump between 1 atm and a predetermined vacuum. An air intake section 23 allows the mixed gas flowing from the air supply intake section 22 to flow out of a porous outlet pipe immersed in an excess aqueous solution of calcium hydroxide (Ca (OH) 2 ) contained in a reaction vessel to neutralize the decomposition gas. Gas removing section for removing by Is condensed by a condenser attached to a cooling vessel through a mixed gas flowing from a decomposition gas removing section 23, and then adsorbed on a powdery synthetic zeolite (pore diameter: 9 angstroms) loaded in a drying vessel to remove water vapor. The water removing section 25 is a compressor for compressing the mixed gas flowing from the water removing section 24 into a liquefaction container, and liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas and a reaction product in a gaseous state accumulated on the gas. , Nitrogen (N 2 ) and oxygen (O 2 ) are separated and stored, and an air removing section for allowing only the liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas to flow out of the liquefaction container is provided. put liquefied sulfur hexafluoride flows from section 25 (SF 6) gas vaporization vessel, vaporization section for vaporizing by heating by a heater, a sulfur hexafluoride (SF 6) gas flowing from the vaporizing unit 26 is 27 Reduced to specified pressure Pressure reducing valve to be,
Reference numeral 28 denotes a first on-off valve for opening and closing the inflow side of the metal fluoride removing unit 21, and reference numeral 29 denotes a second on-off valve for opening and closing the outflow side of the pressure reducing valve 27. In addition, the gas insulated switchgear 2, the first switchgear 2
8. The metal fluoride removal unit 21, the air supply / intake unit 22, the decomposition gas removal unit 23, the moisture removal unit 24, the air removal unit 25, the vaporization unit 26, the pressure reducing valve 27, and the second on-off valve 29 are connected by pipes. ing.
【００１８】図２は金属弗化物除去部２１の概念を示す
断面図、図３は送気吸気部２２を示す構成図、図４は分
解ガス除去部２３の概念を示す断面図、図５は水分除去
部２４の概念を示す断面図、図６は空気除去部２５の概
念を示す断面図、図７は気化部２６の概念を示す断面図
である。図２において、２１１は密閉したフィルタ容
器、２１２はフィルタ容器２１１の内部に装着した２０
μｍメッシュのフィルタであり、金属弗化物除去部２１
はフィルタ容器２１１とフィルタ２１２とからなる。図
３において、２２１、２２２、２２３はそれぞれ第一電
磁弁、第二電磁弁、第三電磁弁、２２４はブロア、２２
５は真空ポンプ、２２６は送気吸気部２２の入口側の圧
力を検出する圧力センサ、２２７は圧力センサ２２６の
圧力信号により第一電磁弁２２１、第二電磁弁２２２、
第三電磁弁２２３とブロア２２４、真空ポンプ２２５を
制御する制御器であり、送気吸気部２２は第一電磁弁２
２１、第二電磁弁２２２、第三電磁弁２２３、ブロア２
２４、真空ポンプ２２５、圧力センサ２６、制御器２７
からなる。図４において、２３１は密閉した反応容器、
２３２は反応容器２３１に容れた水酸化カルシウム（Ｃ
ａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液、２３３は水酸化カルシウ
ム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液２３２に浸漬した多
孔流出管であり、分解ガス除去部２３は反応容器２３
１、水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液
２３２、多孔流出管２３３からなる。図５において、２
４１は密閉した冷却容器、２４２は冷却容器２４１の内
部に装着した凝縮器、２４３は密閉した乾燥容器、２４
４は乾燥容器２４３に装填した粉末状の合成ゼオライト
（細孔径：９オングストローム）であり、水分除去部２
４は冷却容器２４１、凝縮器２４２、乾燥容器２４３、
合成ゼオライト２４４からなる。図６において、２５１
は混合ガスを圧縮する圧縮機、２５２は液化した六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスとその上に溜る気体状態の反応生成
物、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）を容れ、分離して貯蔵
する液化容器で、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6）ガスだ
けを底部近くから流出させるようになっている。空気除
去部２５は圧縮機２５１、液化容器２５２からなる。図
７において、２６１は液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スを容れ気化させる気化容器、２６２は気化容器に装着
して液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを加熱するヒー
タ、２６３は気化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスにごく
僅かに含まれる可能性がある水蒸気を除去するための再
乾燥容器、２６４は再乾燥容器２６３に装填した粉末状
の合成ゼオライト（細孔径：９オングストローム）であ
り、気化部２６は気化容器２６１、ヒータ２６２、再乾
燥容器２６３、合成ゼオライト２６４からなる。FIG. 2 is a sectional view showing the concept of the metal fluoride removing section 21, FIG. 3 is a structural view showing the air supply / intake section 22, FIG. 4 is a sectional view showing the concept of the decomposition gas removing section 23, and FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating the concept of the air removing unit 25, and FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating the concept of the vaporizing unit 26. In FIG. 2, reference numeral 211 denotes a closed filter container, and 212 denotes a filter container mounted inside the filter container 211.
μm mesh filter, and metal fluoride removal unit 21
Consists of a filter container 211 and a filter 212. In FIG. 3, reference numerals 221, 222, and 223 denote a first solenoid valve, a second solenoid valve, and a third solenoid valve, respectively.
5 is a vacuum pump, 226 is a pressure sensor for detecting the pressure on the inlet side of the air supply / intake unit 22, 227 is a first solenoid valve 221, a second solenoid valve 222 based on a pressure signal of the pressure sensor 226,
The third solenoid valve 223, the blower 224, and the controller for controlling the vacuum pump 225.
21, second solenoid valve 222, third solenoid valve 223, blower 2
24, vacuum pump 225, pressure sensor 26, controller 27
Consists of In FIG. 4, 231 is a closed reaction vessel,
232 denotes calcium hydroxide (C) contained in the reaction vessel 231
a (OH) 2 ) is a porous outflow pipe immersed in an excess aqueous solution 232 of calcium hydroxide (Ca (OH) 2 );
1. An excess aqueous solution 232 of calcium hydroxide (Ca (OH) 2 ), and a porous outflow pipe 233. In FIG. 5, 2
41 is a closed cooling container, 242 is a condenser mounted inside the cooling container 241, 243 is a closed drying container, 24
Reference numeral 4 denotes a powdery synthetic zeolite (pore diameter: 9 angstroms) loaded in the drying container 243,
4 is a cooling container 241, a condenser 242, a drying container 243,
Consists of synthetic zeolite 244. In FIG.
Is a compressor for compressing a mixed gas, and 252 is a tank for containing liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas and a gaseous reaction product, nitrogen (N 2 ) and oxygen (O 2 ) accumulated thereon, and separating them. The liquefied container stores only the liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas from near the bottom. The air removing unit 25 includes a compressor 251 and a liquefaction container 252. 7, the vaporization vessel to vaporize put liquefied sulfur hexafluoride (SF 6) gas 261, the heater for heating the sulfur hexafluoride (SF 6) gas liquefied by mounting the evaporation vessel 262, 263 A re-drying vessel 264 for removing water vapor which may be very slightly contained in the vaporized sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas is a powdery synthetic zeolite (pore diameter: 9) loaded in the re-drying vessel 263. Angstrom), and the vaporizing section 26 includes a vaporizing vessel 261, a heater 262, a re-drying vessel 263, and a synthetic zeolite 264.
【００１９】ガス絶縁開閉装置の内部に使用している有
機高分子絶縁物は円筒形状の金属容器の内部に導電部分
を支持するとともに、ガス空間を仕切る絶縁スペーサの
エポキシ樹脂、消弧室を金属容器から支持する支持物の
エポキシ樹脂、開閉接触子を操作する操作ロッドに用い
るエポキシ樹脂、消弧室に装着する絶縁ノズルに用いる
弗素樹脂であり、種類、使用量ともにガス絶縁変圧器の
ように多くはない。このうち、電力を開閉する際の開閉
アークに触れるのは絶縁ノズルの弗素樹脂だけである。
したがって、開閉アークによって生じるガスは六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスの分解ガスである弗化チオニル（ＳＯ
Ｆ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（ＨＦ）、二
酸化硫黄（ＳＯ2 ）、弗素樹脂と六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスとの反応生成物である四弗化炭素（ＣＦ4 ）、この
他ごく微量の二酸化炭素（ＣＯ2）と水蒸気などであ
る。これらのガスに加えて、ガス絶縁開閉装置に六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスを充填する際にその内部を排気して
真空にするが、そのときに残留する空気の窒素（Ｎ2 ）
と酸素（Ｏ2 ）とが混在する。また、開閉接触子には銅
（Ｃｕ）とタングステン（Ｗ）との焼結合金が用いられ
るが、開閉アークによりこれらの金属と六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスとの反応生成物である粉末状の弗化銅（Ｃｕ
Ｆ2 ）と弗化タングステン（ＷＦ2 ）とが生じる。The organic polymer insulator used inside the gas insulated switchgear supports the conductive portion inside the cylindrical metal container, epoxy resin of the insulating spacer for partitioning the gas space, and the arc extinguishing chamber is made of metal. Epoxy resin used for supporting objects from containers, epoxy resin used for operating rods for operating switching contacts, and fluorine resin used for insulating nozzles installed in arc-extinguishing chambers. Not many. Of these, only the fluororesin of the insulating nozzle comes into contact with the switching arc when switching power.
Therefore, the gas generated by the switching arc is thionyl fluoride (SO 2) which is a decomposition gas of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas.
F 2 ), sulfur tetrafluoride (SF 4 ), hydrogen fluoride (HF), sulfur dioxide (SO 2 ), fluorine resin and sulfur hexafluoride (SF 6 )
Examples include carbon tetrafluoride (CF 4 ), which is a reaction product with a gas, and trace amounts of carbon dioxide (CO 2 ) and water vapor. In addition to these gases, when the gas insulated switchgear is filled with sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas, the inside thereof is evacuated and evacuated, and the nitrogen (N 2 ) of air remaining at that time is exhausted.
And oxygen (O 2 ) are mixed. Further, a sintered alloy of copper (Cu) and tungsten (W) is used for the switching contact, and these metals and sulfur hexafluoride (S
F 6 ) Powdered copper fluoride (Cu) which is a reaction product with gas
F 2 ) and tungsten fluoride (WF 2 ).
【００２０】次に、実施の形態１の機能について説明す
る。第二開閉弁２９を閉じ、第一開閉弁２８を開くと弗
化チオニル（ＳＯＦ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化
水素（ＨＦ）、二酸化硫黄（ＳＯ2 ）、四弗化炭素（Ｃ
Ｆ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、二酸化炭素（Ｃ
Ｏ2 ）、水蒸気と六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスとの混合ガ
スに弗化銅（ＣｕＦ2 ）、弗化タングステン（ＷＦ2 ）
の粉末状の金属弗化物がまじってガス絶縁開閉装置から
流出する。金属弗化物除去部２１では粉末状の金属弗化
物がフィルタで濾過されてフィルタ容器２１１の底に溜
り、混合ガスは流出する。送気吸気部２２では圧力セン
サ２２６で混合ガスの圧力を検出し、制御器２２７で第
一電磁弁２２１、第二電磁弁２２２、第三電磁弁２２
３、ブロア２２４、真空ポンプ２２５を制御する。圧力
が封入気圧と１気圧以上の所定気圧との間は第一電磁弁
２２１を開、第二電磁弁２２２と第三電磁弁２２３を閉
にして混合ガスを直接流出させる。圧力が所定気圧と１
気圧との間は第二電磁弁２２２を開、第一電磁弁２２１
と第三電磁弁２２３を閉にしてブロア２２４を作動さ
せ、送気して流出させる。また、圧力が１気圧と所定真
空度との間は第三電磁弁２２３を開、第一電磁弁２２１
と第二電磁弁２２２を閉にして真空ポンプ２２５を作動
させ、吸気して流出させる。これにより回収再生の速度
が早くなり、また、粉末状の金属弗化物が濾過して除去
されるので、ブロア２２４、真空ポンプ２２５に不具合
を生じることはない。分解ガス除去部２３では多孔流出
管２３３から混合ガスを流出させ、弗化チオニル（ＳＯ
Ｆ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（ＨＦ）、二
酸化硫黄（ＳＯ2 ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）などの酸性
ガスを水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶
液で中和して除去する。分解ガス除去部２３からは六弗
化硫黄（ＳＦ6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素
（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水蒸気との混合ガスが流出す
るが、反応熱によって温度が上昇し、多くの水蒸気を含
んでいる。この混合ガスが水分除去部２４に流入する
と、凝縮器２４２で水蒸気が凝縮して冷却容器２４１に
溜り、大部分が除去される。残りの水蒸気は乾燥容器２
４３で合成ゼオライト（細孔径：９オングストローム）
に吸着されて除去され、六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスと四
弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）との
混合ガスが流出する。空気除去部２５ではこの乾燥した
混合ガスを圧縮機２５１で圧縮して液化容器２５２に容
れる。液化容器２５２の中の混合ガスの圧力が高くなる
と、沸点の高い六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスが液化して溜
り、その上に沸点の低い四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素
（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）が気体状態で溜る。これにより
純度の高い液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスが四弗化
炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）と分離し
て貯蔵される。液化容器２５２に貯蔵する液化した六弗
化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを再び気化してガス絶縁開閉装置
などに再充填するには、第一開閉弁２８を閉じ、第二開
閉弁２９を開いて液化容器２５２の底部近くから液化し
た六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスだけを流出させ、気化部２
６の気化容器２６１に容れてヒータ２６２で加熱する。
気化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスにはごく僅かに水蒸
気が含まれる可能性があるので、再乾燥容器２６３の合
成ゼオライト（細孔径：９オングストローム）に吸着さ
せて完全に除去する。その後、六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スを減圧弁２７で所定気圧に減圧して再充填する。な
お、再充填するに先立って、ガス絶縁開閉装置の内部を
排気して、真空にしておくことが必要である。この実施
の形態１ではガス絶縁開閉装置の内部の混合ガスについ
て説明したが、この発明の六弗化硫黄ガスの回収再生装
置はガス絶縁開閉装置に限らず、開閉器部分を有しない
ガス絶縁母線やガス絶縁変圧器でも使用することができ
る。Next, the function of the first embodiment will be described. When the second on-off valve 29 is closed and the first on-off valve 28 is opened, thionyl fluoride (SOF 2 ), sulfur tetrafluoride (SF 4 ), hydrogen fluoride (HF), sulfur dioxide (SO 2 ), tetrafluoride Carbon (C
F 4 ), nitrogen (N 2 ), oxygen (O 2 ), carbon dioxide (C
O 2 ), copper fluoride (CuF 2 ) and tungsten fluoride (WF 2 ) in a mixed gas of steam and sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas.
Powder metal fluoride flows out of the gas insulated switchgear. In the metal fluoride removing section 21, the powdery metal fluoride is filtered by the filter and accumulates at the bottom of the filter container 211, and the mixed gas flows out. In the air supply / intake unit 22, the pressure of the mixed gas is detected by the pressure sensor 226, and the first electromagnetic valve 221, the second electromagnetic valve 222, and the third electromagnetic valve 22 are detected by the controller 227.
3. Control the blower 224 and the vacuum pump 225. When the pressure is between the sealed pressure and a predetermined pressure of 1 atm or more, the first solenoid valve 221 is opened, the second solenoid valve 222 and the third solenoid valve 223 are closed, and the mixed gas is directly discharged. The pressure is 1 bar
Between the atmospheric pressure, the second solenoid valve 222 is opened, and the first solenoid valve 221 is opened.
Then, the third electromagnetic valve 223 is closed, the blower 224 is operated, and the air is sent out. When the pressure is between 1 atm and the predetermined degree of vacuum, the third solenoid valve 223 is opened, and the first solenoid valve 221 is opened.
Then, the second electromagnetic valve 222 is closed, the vacuum pump 225 is operated, and the air is sucked and discharged. As a result, the speed of recovery and regeneration is increased, and since the powdery metal fluoride is removed by filtration, no trouble occurs in the blower 224 and the vacuum pump 225. In the cracked gas removing section 23, the mixed gas flows out from the porous outflow pipe 233, and thionyl fluoride (SO
F 2 ), sulfur tetrafluoride (SF 4 ), hydrogen fluoride (HF), sulfur dioxide (SO 2 ), carbon dioxide (CO 2 ) and other acidic gases in excess of calcium hydroxide (Ca (OH) 2 ). Neutralize with aqueous solution and remove. A mixed gas of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas and carbon tetrafluoride (CF 4 ), nitrogen (N 2 ), oxygen (O 2 ), and water vapor flows out of the decomposition gas removing section 23, Raises the temperature and contains a lot of water vapor. When the mixed gas flows into the water removing section 24, the water vapor is condensed in the condenser 242 and accumulates in the cooling vessel 241 to remove most of the water. The remaining steam is in the drying vessel 2
Synthetic zeolite at 43 (pore size: 9 Å)
The mixed gas of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas, carbon tetrafluoride (CF 4 ), nitrogen (N 2 ), and oxygen (O 2 ) flows out. In the air removing section 25, the dried mixed gas is compressed by the compressor 251 and stored in the liquefaction container 252. When the pressure of the mixed gas in the liquefaction container 252 increases, sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas having a high boiling point liquefies and accumulates thereon, on which carbon tetrafluoride (CF 4 ) having a low boiling point and nitrogen (N 2 ) 2 ) Oxygen (O 2 ) accumulates in a gaseous state. As a result, liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas having high purity is separated from carbon tetrafluoride (CF 4 ), nitrogen (N 2 ), and oxygen (O 2 ) and stored. To vaporize the liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas stored in the liquefaction container 252 again and refill it into a gas insulated switchgear, the first on-off valve 28 is closed and the second on-off valve 29 is opened. Only liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas is allowed to flow out from near the bottom of the liquefaction vessel 252,
6 and heated by the heater 262 in the vaporization container 261.
Since the vaporized sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas may contain a very small amount of water vapor, it is completely removed by adsorbing it on a synthetic zeolite (pore diameter: 9 Å) in the re-drying vessel 263. Thereafter, sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas is reduced to a predetermined pressure by the pressure reducing valve 27 and refilled. Prior to refilling, the inside of the gas insulated switchgear must be evacuated and evacuated. In the first embodiment, the mixed gas inside the gas insulated switchgear has been described. However, the sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration device of the present invention is not limited to the gas insulated switchgear, but is a gas insulated bus having no switch portion. And gas-insulated transformers.
【００２１】実施の形態２． 実施の形態２は実施の形態１の水分除去部２４の構成を
異にするものである。図８はその水分除去部２４を示す
概念構成図であり、図において、２４１は冷却容器、２
４２は凝縮機、２４３は乾燥容器、２４４は合成ゼオラ
イト（細孔径：９オングストローム）であり、実施の形
態１で説明したとおりである。２４５は乾燥容器２４３
の流入側を開閉する第一バルブ、２４６は乾燥容器２４
３の流出側を開閉する第二バルブ、２４７は乾燥容器２
４３の内部の混合ガスを外部へ排出する排気ポンプ、２
４８は排気ポンプの流入側を開閉する第三バルブ、２４
９は乾燥容器２４３に装填した合成ゼオライト（細孔
径：９オングストローム）を加熱乾燥させる乾燥ヒータ
である。Embodiment 2 FIG. The second embodiment differs from the first embodiment in the configuration of the water removing unit 24. FIG. 8 is a conceptual configuration diagram showing the water removing unit 24, in which 241 is a cooling vessel, 2
42 is a condenser, 243 is a drying container, and 244 is a synthetic zeolite (pore diameter: 9 Å), which is as described in the first embodiment. 245 is a drying container 243
A first valve 246 for opening and closing the inflow side of the drying container 24
A second valve 247 for opening and closing the outlet side of the drying container 247 is a drying container 2
An exhaust pump for discharging the mixed gas inside 43 to the outside;
48 is a third valve for opening and closing the inflow side of the exhaust pump;
Reference numeral 9 denotes a drying heater for heating and drying the synthetic zeolite (pore diameter: 9 angstroms) loaded in the drying container 243.
【００２２】実施の形態２の全体の機能は実施の形態１
のそれと同じである。ここでは水分除去部２４の機能に
ついて説明する。分解ガス除去部２３では弗化チオニル
（ＳＯＦ2 ）、四弗化硫黄（ＳＦ4 ）、弗化水素（Ｈ
Ｆ）、二酸化硫黄（ＳＯ2 ）、二酸化炭素（ＣＯ2 ）な
どの酸性ガスが水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の
過剰水溶液で中和して除去されるので、分解ガス除去部
２３から流出する六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスと四弗化炭
素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水蒸気と
の混合ガスは反応熱によって温度が上昇し、水蒸気の量
が多い。この混合ガスが水分除去部２４に流入すると、
凝縮機２４２で水蒸気が凝縮して冷却容器２４１に溜
り、大部分が除去される。残りの水蒸気は乾燥容器２４
３に装填した合成ゼオライト（細孔径：９オングストロ
ーム）に吸着されて除去されるが、合成ゼオライト（細
孔径：９オングストローム）の吸着する水蒸気の量が蓄
積してくると吸着能力が次第に低下する。このような場
合に、第一バルブ２４５と第二バルブ２４６を閉じ、第
三バルブ２４８を開いて乾燥ヒータ２４９で合成ゼオラ
イト（細孔径：９オングストローム）を加熱乾燥させ、
排気ポンプ２４７で水蒸気を多く含んだ混合ガスを外部
へ排出すれば、合成ゼオライト（細孔径：９オングスト
ローム）の吸着能力が回復する。したがって、新しい合
成ゼオライト（細孔径：９オングストローム）と交換す
る必要がなく、保守が簡単になり、コストも安くなる。The overall functions of the second embodiment are the same as those of the first embodiment.
It is the same as that of Here, the function of the water removing unit 24 will be described. In the decomposition gas removing section 23, thionyl fluoride (SOF 2 ), sulfur tetrafluoride (SF 4 ), hydrogen fluoride (H
F), acidic gases such as sulfur dioxide (SO 2 ) and carbon dioxide (CO 2 ) are neutralized and removed with an excess aqueous solution of calcium hydroxide (Ca (OH) 2 ). The temperature of the mixed gas of outflowing sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas, carbon tetrafluoride (CF 4 ), nitrogen (N 2 ), oxygen (O 2 ) and water vapor rises due to heat of reaction, and the amount of water vapor There are many. When this mixed gas flows into the water removing unit 24,
Water vapor is condensed in the condenser 242 and accumulates in the cooling container 241, and most of the water is removed. The remaining steam is in the drying vessel 24
The synthetic zeolite (pore diameter: 9 angstroms) is adsorbed and removed by the zeolite loaded in No. 3, but the adsorption capacity gradually decreases as the amount of water vapor adsorbed by the synthetic zeolite (pore diameter: 9 angstroms) accumulates. In such a case, the first valve 245 and the second valve 246 are closed, the third valve 248 is opened, and the synthetic zeolite (pore diameter: 9 angstroms) is heated and dried by the drying heater 249.
When the mixed gas containing a large amount of water vapor is discharged to the outside by the exhaust pump 247, the adsorption capacity of the synthetic zeolite (pore diameter: 9 Å) is restored. Therefore, there is no need to replace it with a new synthetic zeolite (pore diameter: 9 Å), which simplifies maintenance and reduces costs.
【００２３】実施の形態３． 実施の形態３は実施の形態１の空気除去部２５の構成を
異にするものである。図９はその空気除去部２５を示す
概念構成図である。図において、２５１は圧縮機、２５
２は液化容器であり、実施の形態１で説明したとおりで
ある。２５３は圧縮機２５１の流出側に設けた第一空気
吸着容器、２５４は第一空気吸着容器２５３に装填して
圧縮機２５１から流出する混合ガスの中の窒素（Ｎ2 ）
と酸素（Ｏ2 ）を吸着する合成ゼオライト（細孔径：５
オングストローム）である。Embodiment 3 FIG. The third embodiment differs from the first embodiment in the configuration of the air removing unit 25. FIG. 9 is a conceptual configuration diagram showing the air removing unit 25. In the figure, 251 is a compressor, 25
Reference numeral 2 denotes a liquefaction container, which is as described in the first embodiment. 253 is a first air adsorption container provided on the outlet side of the compressor 251, and 254 is nitrogen (N 2 ) in the mixed gas flowing into the first air adsorption container 253 and flowing out of the compressor 251.
Zeolite (pore diameter: 5) that adsorbs oxygen and oxygen (O 2 )
Angstrom).
【００２４】実施の形態３の全体の機能は実施の形態１
のそれと同じである。ここでは空気除去部２５の機能に
ついて説明する。水分除去部２４から六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）との混合ガスが流出する。空気除去部２５では
この乾燥した混合ガスを圧縮機２５１で圧縮して合成ゼ
オライト（細孔径：５オングストローム）を装填した第
一空気吸着容器２５３に通し、混合ガスの中の窒素（Ｎ
2 ）と酸素（Ｏ2 ）を合成ゼオライト（細孔径：５オン
グストローム）に吸着させて除去し、六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスと主に四弗化炭素（ＣＦ4 ）の混合ガスにして
液化容器２５２に容れる。液化容器２５２の中の混合ガ
スの圧力が高くなると、六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスが液
化して溜り、その上に主に四弗化炭素（ＣＦ4 ）が気体
状態で溜る。これにより液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）
ガスが四弗化炭素（ＣＦ4 ）と分離して貯蔵されるが、
気体状態の窒素（Ｎ2 ）と酸素（Ｏ2 ）が液化した六弗
化硫黄（ＳＦ6 ）ガスに溶解することは殆んどなく、液
化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの純度が高くなる。The overall functions of the third embodiment are the same as those of the first embodiment.
It is the same as that of Here, the function of the air removing unit 25 will be described. Sulfur hexafluoride (SF
6 ) A mixed gas of gas, carbon tetrafluoride (CF 4 ), nitrogen (N 2 ), and oxygen (O 2 ) flows out. In the air removing section 25, the dried mixed gas is compressed by a compressor 251 and passed through a first air adsorption vessel 253 loaded with synthetic zeolite (pore diameter: 5 Å), and nitrogen (N
2 ) and oxygen (O 2 ) are adsorbed and removed by synthetic zeolite (pore size: 5 Å), and sulfur hexafluoride (SF)
6 ) A mixed gas of gas and mainly carbon tetrafluoride (CF 4 ) is stored in the liquefaction vessel 252. When the pressure of the mixed gas in the liquefaction container 252 increases, the sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas liquefies and accumulates, and mainly carbon tetrafluoride (CF 4 ) accumulates thereon. Liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 )
The gas is stored separately from carbon tetrafluoride (CF 4 )
Gaseous nitrogen (N 2 ) and oxygen (O 2 ) hardly dissolve in the liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas, and the purity of the liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas is reduced. Get higher.
【００２５】実施の形態４． 実施の形態４は実施の形態１の空気除去部２５の構成を
異にするものである。図１０はその空気除去部２５を示
す概念構成図であり、図において、２５１は圧縮機、２
５２は液化容器で、いずれも実施の形態１で説明したと
おりである。２５５は液化容器２５２で液化した六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスの上に溜る気体状態の四弗化炭素
（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）を通す第二空
気吸着容器、２５６は第二空気吸着容器２５５に装填し
て窒素（Ｎ2 ）と酸素（Ｏ2 ）を吸着する合成ゼオライ
ト（細孔径：５オングストローム）、２５７は第二空気
吸着容器２５５から流出する残りの混合ガスを所定気圧
に減圧する減圧バルブである。Embodiment 4 The fourth embodiment differs from the first embodiment in the configuration of the air removing unit 25. FIG. 10 is a conceptual configuration diagram showing the air removing unit 25. In the drawing, reference numeral 251 denotes a compressor,
Reference numeral 52 denotes a liquefaction container, each of which is as described in the first embodiment. Reference numeral 255 denotes a second air adsorption through gaseous carbon tetrafluoride (CF 4 ), nitrogen (N 2 ), and oxygen (O 2 ) stored on the sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas liquefied in the liquefaction vessel 252. The container 256 is a synthetic zeolite (pore diameter: 5 angstroms) which is loaded into the second air adsorption container 255 and adsorbs nitrogen (N 2 ) and oxygen (O 2 ), and 257 is the residue flowing out of the second air adsorption container 255 Is a pressure reducing valve for reducing the pressure of the mixed gas to a predetermined pressure.
【００２６】実施の形態４の全体の機能は実施の形態１
のそれと同じである。ここでは空気除去部２５の機能に
ついて説明する。水分除去部２４から六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスと四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素
（Ｏ2 ）との混合ガスが空気除去部２５に流入すると、
圧縮機２５１で圧縮して液化容器２５２に容れる。液化
容器２５２の中の混合ガスの圧力が高くなると、六弗化
硫黄（ＳＦ6 ）ガスが液化して溜り、その上に気体状態
の四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）
が溜る。この四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素（Ｎ2 ）、酸
素（Ｏ2 ）を第二空気吸着容器２５５に通して窒素（Ｎ
2 ）と酸素（Ｏ2 ）を合成ゼオライト（細孔径：５オン
グストローム）２５６に吸着させて除去する。第二空気
吸着容器２５５から流出する主に四弗化炭素（ＣＦ4 ）
からなる残りの混合ガスを減圧バルブ２５７で所定気圧
に減圧して圧縮機２５１の流入側に戻す。これにより液
化容器２５２には液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスが
気体状態の四弗化炭素（ＣＦ4 ）と分離して貯蔵される
が、気体状態の窒素（Ｎ2 ）と酸素（Ｏ2 ）が液化した
六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスに溶解することは殆んどなく
なるので、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの純度が
高くなる。The overall functions of the fourth embodiment are the same as those of the first embodiment.
It is the same as that of Here, the function of the air removing unit 25 will be described. Sulfur hexafluoride (SF
6 ) When a mixed gas of gas, carbon tetrafluoride (CF 4 ), nitrogen (N 2 ), and oxygen (O 2 ) flows into the air removing unit 25,
It is compressed by the compressor 251 and stored in the liquefaction container 252. When the pressure of the mixed gas in the liquefaction container 252 increases, sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas liquefies and accumulates thereon, and gaseous carbon tetrafluoride (CF 4 ), nitrogen (N 2 ), Oxygen (O 2 )
Accumulates. The carbon tetrafluoride (CF 4 ), nitrogen (N 2 ), and oxygen (O 2 ) are passed through the second air adsorption vessel 255 and nitrogen (N
2 ) and oxygen (O 2 ) are adsorbed and removed by a synthetic zeolite (pore size: 5 Å) 256. Mainly carbon tetrafluoride (CF 4 ) flowing out of the second air adsorption vessel 255
Is reduced to a predetermined pressure by the pressure reducing valve 257 and returned to the inflow side of the compressor 251. As a result, the liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas is separated from the gaseous carbon tetrafluoride (CF 4 ) and stored in the liquefaction container 252, but the gaseous nitrogen (N 2 ) and oxygen ( because O 2) sulfur hexafluoride was liquefied (SF 6) can be dissolved in the gas is eliminated almost the purity of liquefied sulfur hexafluoride (SF 6) gas is increased.
【００２７】実施の形態５． 実施の形態５は実施の形態１の送気吸気部２２の構成を
異にするものである。図１１はその送気吸気部２２を示
す構成図であり、図において、２２１は第一電磁弁、２
２２は第二電磁弁、２２３は第三電磁弁、２２４はブロ
ア、２２５は真空ポンプ、２２６は圧力センサ、２２７
は制御器であり、いずれも実施の形態１で説明したとお
りである。２２８は真空ポンプ２２５の流出側を二つに
分岐した一方の分解ガス除去部２３への流入側を開閉す
る第三開閉弁、２２９は真空ポンプ２２５の流出側を二
つに分岐した他方の大気中への排出側を開閉する第四開
閉弁である。Embodiment 5 FIG. The fifth embodiment is different from the first embodiment in the configuration of the air supply / intake unit 22. FIG. 11 is a configuration diagram showing the air supply / intake unit 22. In the figure, reference numeral 221 denotes a first solenoid valve,
22 is a second solenoid valve, 223 is a third solenoid valve, 224 is a blower, 225 is a vacuum pump, 226 is a pressure sensor, 227
Is a controller, all of which are as described in the first embodiment. 228 is a third on-off valve that opens and closes the inflow side to one of the decomposed gas removal units 23 that branches the outflow side of the vacuum pump 225 into two, and 229 is the other atmosphere that branches the outflow side of the vacuum pump 225 into two. This is a fourth on-off valve for opening and closing the discharge side to the inside.
【００２８】実施の形態５の全体構成は実施の形態１の
それと同じであるので、図１を引用して実施の形態５の
機能を説明する。まず、送気吸気部２２の第三開閉弁２
２８を開き、第四開閉弁２２９を閉じておく。そして第
二開閉弁２９を閉じ、第一開閉弁２８を開くとガス絶縁
開閉装置の内部の混合ガスが流出して金属弗化物除去部
２１で粉末状の金属弗化物が除去される。送気吸気部２
２では圧力センサ２２６で混合ガスの圧力を検出し、制
御器２２７で第一電磁弁２２１、第二電磁弁２２２、第
三電磁弁２２３、ブロア２２４、真空ポンプ２２５を制
御する。圧力が封入気圧と１気圧以上の所定気圧との間
は第一電磁弁２２１を開、第二電磁弁２２２と第三電磁
弁２２３を閉にして混合ガスを直接流出させる。圧力が
所定気圧と１気圧との間は第二電磁弁２２２を開、第一
電磁弁２２１と第三電磁弁２２３を閉にしてブロア２２
４を作動させ、送気して流出させる。また、圧力が１気
圧と所定真空度との間は第三電磁弁２２３を開、第一電
磁弁２２１と第二電磁弁２２２を閉にして真空ポンプ２
２５を作動させ、吸気して流出させる。分解ガス除去部
２３では混合ガスの中の酸性ガスを水酸化カルシウム
（Ｃａ（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液で中和して除去する。
次の水分除去部２４では混合ガスの中の水蒸気を凝縮と
合成ゼオライト（細孔径：９オングストローム）の吸着
により除去し、乾燥した混合ガスとする。空気除去部２
５ではこの混合ガスを圧縮し、六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スを液化して気体状態の四弗化炭素（ＣＦ4 ）、窒素
（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）と分離して貯蔵する。この過程
までは送気吸気部２２の第三開閉弁２２８、第四開閉弁
２２９の開閉を除いて実施の形態１と全く同じである。
次に、液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを再び気化し
てガス絶縁開閉装置などに再充填するにはその内部を排
気して真空にしておく必要がある。これを行なうには第
三開閉弁２２８を閉じ、第四開閉弁２２９を開く、そし
て圧力センサ２２６で圧力を検出するが、最初は１気圧
であるので、制御器２２７で制御して第一電磁弁２２１
と第二電磁弁２２２を閉、第三電磁弁２２３を開にして
真空ポンプ２２５を作動させ、所定真空度まで吸気して
大気中へ排出する。所定真空度に達すると、第一開閉弁
２８を閉、第二開閉弁２９を開にして空気除去部２５か
ら液化した六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスを流出させ、気化
部２６で気化し、減圧弁２７で所定気圧に減圧して再充
填する。この実施の形態５によれば、再充填するに先立
って別の真空ポンプを必要としないので、非常に便利で
ある。Since the overall structure of the fifth embodiment is the same as that of the first embodiment, the function of the fifth embodiment will be described with reference to FIG. First, the third on-off valve 2 of the air supply / intake section 22
28 is opened and the fourth on-off valve 229 is closed. Then, when the second on-off valve 29 is closed and the first on-off valve 28 is opened, the mixed gas inside the gas insulated switchgear flows out, and the metal fluoride removal unit 21 removes the powdery metal fluoride. Air supply and intake unit 2
In 2, the pressure of the mixed gas is detected by the pressure sensor 226, and the controller 227 controls the first solenoid valve 221, the second solenoid valve 222, the third solenoid valve 223, the blower 224, and the vacuum pump 225. When the pressure is between the sealed pressure and a predetermined pressure of 1 atm or more, the first solenoid valve 221 is opened, the second solenoid valve 222 and the third solenoid valve 223 are closed, and the mixed gas is directly discharged. When the pressure is between the predetermined pressure and 1 atm, the second solenoid valve 222 is opened, the first solenoid valve 221 and the third solenoid valve 223 are closed, and the blower 22 is closed.
Activate 4 to send air and discharge. When the pressure is between 1 atm and a predetermined degree of vacuum, the third solenoid valve 223 is opened, the first solenoid valve 221 and the second solenoid valve 222 are closed, and the vacuum pump 2
Activate 25 to inhale and drain. The decomposed gas removing unit 23 neutralizes and removes the acidic gas in the mixed gas with an excess aqueous solution of calcium hydroxide (Ca (OH) 2 ).
In the next water removing section 24, water vapor in the mixed gas is removed by condensation and adsorption of synthetic zeolite (pore diameter: 9 Å) to obtain a dry mixed gas. Air removal unit 2
In step 5, the mixed gas is compressed, sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas is liquefied and separated from gaseous carbon tetrafluoride (CF 4 ), nitrogen (N 2 ) and oxygen (O 2 ) and stored. I do. The process up to this step is exactly the same as that of the first embodiment except that the third on-off valve 228 and the fourth on-off valve 229 of the air supply / intake unit 22 are opened and closed.
Next, in order to vaporize the liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas again and refill it in a gas insulated switchgear or the like, it is necessary to evacuate and evacuate the inside. To do this, the third on-off valve 228 is closed, the fourth on-off valve 229 is opened, and the pressure is detected by the pressure sensor 226. At first, the pressure is 1 atm. Valve 221
Then, the second electromagnetic valve 222 is closed, the third electromagnetic valve 223 is opened, the vacuum pump 225 is operated, and the air is suctioned to a predetermined degree of vacuum and discharged to the atmosphere. When a predetermined degree of vacuum is reached, the first on-off valve 28 is closed and the second on-off valve 29 is opened to allow liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas to flow out of the air removal unit 25 and to be vaporized by the vaporization unit 26. Then, the pressure is reduced to a predetermined pressure by the pressure reducing valve 27 and refilling is performed. According to the fifth embodiment, since another vacuum pump is not required before refilling, it is very convenient.
【００２９】実施の形態６． 実施の形態６は図を省略するが、実施の形態５の金属弗
化物除去部２１（図２を参照）、送気吸気部（図１１を
参照）、分解ガス除去部（図４を参照）、水分除去部
（図５を参照）、空気除去部（図６を参照）、気化部
（図７を参照）、第一開閉弁２８、第二開閉弁２９を台
車に装着して移動可能にしたものである。この実施の形
態６によれば、機動性を備えているので、各地の変電所
などへ移動して六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの回収再生、
再充填が可能であり、また、必要な設置台数を少なくす
ることができる。Embodiment 6 FIG. Although illustration is omitted in the sixth embodiment, the metal fluoride removing unit 21 (see FIG. 2), the air supply / intake unit (see FIG. 11), and the decomposition gas removing unit (see FIG. 4) of the fifth embodiment are omitted. The water removing unit (see FIG. 5), the air removing unit (see FIG. 6), the vaporizing unit (see FIG. 7), the first opening / closing valve 28, and the second opening / closing valve 29 are mounted on a truck so as to be movable. It was done. According to the sixth embodiment, since it has mobility, it is moved to substations and the like in various places to recover and regenerate sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas,
Refilling is possible, and the required number of installations can be reduced.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上説明した通り、この発明によれば、
次のような効果がある。As described above, according to the present invention,
The following effects are obtained.
【００３１】請求項１に記載の六弗化硫黄ガスの回収再
生装置では、ガス絶縁開閉装置に封入した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスの一部が開閉アークにより分解して生じ
た分解ガス、開閉アークにより六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガ
スの一部とガス絶縁開閉装置の開閉接触子および消弧室
に用いた部材物質とが反応して生じた反応生成物、窒素
（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水蒸気と六弗化硫黄ガス（Ｓ
Ｆ6 ）との混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができる。In the sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration apparatus according to the first aspect, the decomposition gas generated by partially decomposing the sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas sealed in the gas insulated switchgear by the switching arc. A reaction product, nitrogen (N 2 ) generated by the reaction of a part of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas with the switching contact of the gas insulated switchgear and the material used in the arc-extinguishing chamber by the switching arc. , Oxygen (O 2 ), water vapor and sulfur hexafluoride gas (S
The mixed gas with F 6 ) can be recovered and regenerated, stored as liquefied sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas, and can be vaporized and refilled simply, compactly and efficiently. .
【００３２】請求項２に記載の六弗化硫黄ガスの回収再
生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生装置
と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができ、さらに、水分除去部の合成ゼオライト（細
孔径：９オングストローム）を新しいものと交換する必
要がなく、保守が簡単になりコストも安くなる。In the apparatus for recovering and regenerating sulfur hexafluoride gas according to the second aspect, similar to the apparatus for recovering and regenerating a sulfur hexafluoride gas according to the first aspect, the mixed gas is recovered and regenerated and liquefied sulfur hexafluoride ( SF 6 ) The gas can be stored and vaporized and refilled by vaporization and refilling can be performed easily in a small size and efficiently, and the synthetic zeolite (pore diameter: 9 angstrom) of the water removing part is new. There is no need to replace it, and maintenance is simplified and costs are reduced.
【００３３】請求項３に記載の六弗化硫黄ガスの回収再
生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生装置
と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができ、さらに、液化して貯蔵する六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスの純度が高くなる。In the sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration apparatus according to the third aspect, similar to the sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration apparatus of the first aspect, the mixed gas is recovered and regenerated, and the liquefied sulfur hexafluoride ( SF 6) as well as stored in the gas, which can be a by easy and compact that refilling is vaporized efficiently performed, further, sulfur hexafluoride (S liquefying to storage
F 6 ) Gas purity is increased.
【００３４】請求項４に記載の六弗化硫黄ガスの回収再
生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生装置
と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができ、さらに、液化して貯蔵する六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスの純度が高くなる。According to the sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration apparatus of the present invention, the mixed gas is recovered and reproduced, and the liquefied sulfur hexafluoride ( SF 6) as well as stored in the gas, which can be a by easy and compact that refilling is vaporized efficiently performed, further, sulfur hexafluoride (S liquefying to storage
F 6 ) Gas purity is increased.
【００３５】請求項５に記載の六弗化硫黄ガスの回収再
生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再生装置
と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗化硫黄
（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを気化し
て再充填することを簡単かつ小形にして能率よく行なう
ことができ、さらに、再充填するに先立ってガス絶縁開
閉装置などの内部を排気して真空にすることができる。In the sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration apparatus according to the fifth aspect, the mixed gas is recovered and regenerated and liquefied sulfur hexafluoride (Sulfur hexafluoride) as in the sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration apparatus of the first aspect. SF 6 ) The gas can be stored, and the gas can be easily vaporized and refilled in a simple, compact and efficient manner. Further, prior to recharging, the inside of the gas insulated switchgear is exhausted. Vacuum.
【００３６】請求項６に記載の六弗化硫黄ガスの移動式
回収再生装置では、請求項１の六弗化硫黄ガスの回収再
生装置と同じく、混合ガスを回収再生し、液化した六弗
化硫黄（ＳＦ6 ）ガスにして貯蔵するとともに、これを
気化して再充填すること、および、再充填するに先立っ
てガス絶縁開閉装置などの内部を排気して真空にするこ
とを簡単かつ小形にして能率よく、必要なところへ移動
して行なうことができる。In the mobile recovery and regeneration apparatus for sulfur hexafluoride gas according to the sixth aspect, similar to the sulfur hexafluoride gas recovery and recovery apparatus according to the first aspect, the mixed gas is recovered and recycled, and liquefied hexafluoride is obtained. It is easy and small to store sulfur (SF 6 ) gas, store it, vaporize it and refill it, and evacuate and vacuum the interior of gas insulated switchgear prior to refilling. It can be performed efficiently and efficiently by moving to the required place.
【図１】 この発明の実施の形態１を示す全体構成図で
ある。FIG. 1 is an overall configuration diagram showing Embodiment 1 of the present invention.
【図２】 金属弗化物除去部の概念を示す断面図であ
る。FIG. 2 is a cross-sectional view showing the concept of a metal fluoride removing section.
【図３】 送気、吸気部を示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing an air supply and intake unit.
【図４】 分解ガス除去部の概念を示す断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing the concept of a decomposition gas removing section.
【図５】 水分除去部の概念を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating the concept of a moisture removing unit.
【図６】 空気除去部の概念を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating the concept of an air removing unit.
【図７】 気化部の概念を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating the concept of a vaporization unit.
【図８】 実施の形態２の水分除去部を示す概念構成図
である。FIG. 8 is a conceptual configuration diagram illustrating a water removing unit according to the second embodiment.
【図９】 実施の形態３の空気除去部を示す概念構成図
である。FIG. 9 is a conceptual configuration diagram illustrating an air removing unit according to a third embodiment.
【図１０】 実施の形態４の空気除去部を示す概念構成
図である。FIG. 10 is a conceptual configuration diagram illustrating an air removing unit according to a fourth embodiment.
【図１１】 実施の形態５の送気吸気部を示す構成図で
ある。FIG. 11 is a configuration diagram illustrating an air supply / intake unit according to a fifth embodiment.
【図１２】 従来の六弗化硫黄ガスの回収再生装置を示
す概略構成図である。FIG. 12 is a schematic configuration diagram showing a conventional sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration apparatus.
２ ガス絶縁開閉装置 ２１ 金属弗化物除
去部 ２２ 送気吸気部 ２３ 分解ガス除去
部 ２４ 水分除去部 ２５ 空気除去部 ２６ 気化部 ２７ 減圧弁 ２８ 第一開閉弁 ２９ 第二開閉弁 ２１１ フィルタ容器 ２１２ フィルタ ２２１ 第一電磁弁 ２２２ 第二電磁弁 ２２３ 第三電磁弁 ２２４ ブロア ２２５ 真空ポンプ ２２６ 圧力センサ ２２７ 制御器 ２２８ 第三開閉弁 ２２９ 第四開閉弁 ２３１ 反応容器 ２３２ 水酸化カルシウムの過剰水溶液 ２４１ 冷却容器 ２４２ 凝縮器 ２４３ 乾燥容器 ２４４ 合成ゼオラ
イト ２４５ 第一バルブ ２４６ 第二バルブ ２４７ 排気ポンプ ２４８ 第三バルブ ２４９ 乾燥ヒータ ２５１ 圧縮機 ２５２ 液化容器 ２５３ 第一空気吸
着容器 ２５４ 合成ゼオライト ２５５ 第二空気吸
着容器 ２５６ 合成ゼオライト ２５７ 減圧バルブ ２６１ 気化容器 ２６２ ヒータ ２６３ 再乾燥容器 ２６４ 合成ゼオラ
イト2 Gas Insulated Switch 21 Metal Fluoride Removal Unit 22 Gas Inlet Suction Unit 23 Decomposed Gas Removal Unit 24 Water Removal Unit 25 Air Removal Unit 26 Vaporization Unit 27 Pressure Reducing Valve 28 First Opening Valve 29 Second Opening Valve 211 Filter Container 212 Filter 221 First solenoid valve 222 Second solenoid valve 223 Third solenoid valve 224 Blower 225 Vacuum pump 226 Pressure sensor 227 Controller 228 Third on-off valve 229 Fourth on-off valve 231 Reaction vessel 232 Excess aqueous solution of calcium hydroxide 241 Cooling vessel 242 Condenser 243 Drying container 244 Synthetic zeolite 245 First valve 246 Second valve 247 Exhaust pump 248 Third valve 249 Drying heater 251 Compressor 252 Liquefaction container 253 First air adsorption container 254 Synthetic zeolite 255 Second air adsorption container 256 Synthetic zeolite 25 7 Pressure reducing valve 261 Vaporization container 262 Heater 263 Drying container 264 Synthetic zeolite
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三ヶ月 隆文 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三菱電機株式会社内 (72)発明者 中村 等 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三菱電機株式会社内 (56)参考文献 特開 平５−137957（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−179414（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭47−6205（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭51−32596（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 53/68 B01D 53/46 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Takafumi 3 months 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Mitsubishi Electric Corporation (72) Inventor Nakamura, etc. 2-3-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Mitsubishi JP-A-5-137957 (JP, A) JP-A-59-179414 (JP, U) JP-B-47-6205 (JP, B1) JP-B-51-32596 (JP, A) , B1) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) B01D 53/68 B01D 53/46
Claims (6)
（ＳＦ6 ）ガスの一部が電力の開閉アークにより分解し
て生じた酸性の分解ガス、前記開閉アークにより前記六
弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスの一部と前記ガス絶縁開閉装置
の開閉接触子および消弧室に用いた部材物質とが反応し
て生じた反応生成物、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）、水
蒸気と前記六弗化硫黄（ＳＦ6 ）ガスとの混合ガスを流
入させ、フィルタ容器に装着したフィルタに通して固体
状態の前記反応生成物である粉末状の金属弗化物を濾過
して除去する金属弗化物除去部、この金属弗化物除去部
から流入する混合ガスの圧力が前記ガス絶縁開閉装置の
封入気圧と１気圧以上の所定気圧との間は直接流出さ
せ、前記所定気圧と１気圧との間はブロアで送気して流
出させ、１気圧と所定真空度との間は真空ポンプで吸気
して流出させる送気吸気部、この送気吸気部から流入す
る混合ガスを反応容器に容れた水酸化カルシウム（Ｃａ
（ＯＨ）2 ）の過剰水溶液に浸漬した多孔流出管から流
出させ、前記分解ガスを中和して除去する分解ガス除去
部、この分解ガス除去部から流入する混合ガスを通して
冷却容器に装着した凝縮器で凝縮させたのち、乾燥容器
に装填した粉末状の合成ゼオライト（細孔径：９オング
ストローム）に吸着させて水蒸気を除去する水分除去
部、この水分除去部から流入する混合ガスを圧縮機で圧
縮して液化容器に容れ、液化した前記六弗化硫黄（ＳＦ
6 ）ガスとその上に溜る気体状態の前記反応生成物、前
記窒素（Ｎ2 ）、前記酸素（Ｏ2 ）とを分離して貯蔵す
るとともに、前記液化容器をして液化した前記六弗化硫
黄（ＳＦ6 ）ガスだけを流出可能にした空気除去部、こ
の空気除去部から流入する液化した前記六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスを気化容器に容れヒータで加熱して気化させ
る気化部、この気化部から流入する前記六弗化硫黄（Ｓ
Ｆ6 ）ガスを所定気圧に減圧する減圧弁、前記金属弗化
物除去部の流入側を開閉する第一開閉弁、前記減圧弁の
流出側を開閉する第二開閉弁を備えたことを特徴とする
六弗化硫黄ガスの回収再生装置。1. An acidic decomposition gas generated by partially decomposing a sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas sealed in a gas insulated switchgear by an electric power switching arc. The sulfur hexafluoride (SF) is generated by the switching arc. SF 6 ) A reaction product, nitrogen (N 2 ), oxygen (O 2 ), water vapor generated by reacting a part of the gas with the material used for the switching contactor and the arc-extinguishing chamber of the gas insulated switchgear. And a mixture of sulfur hexafluoride (SF 6 ) gas and a metal for filtering and removing the powdery metal fluoride, which is the solid-state reaction product, through a filter attached to a filter container. Fluoride removing section, wherein the pressure of the mixed gas flowing from the metal fluoride removing section is directly discharged between the sealed pressure of the gas insulated switchgear and a predetermined pressure of 1 atm or more. Air is blown out and blown out during the interval, and 1 atm. Between the degree of vacuum and the air supply / intake section for suctioning and flowing out by a vacuum pump, calcium hydroxide (Ca) contained in the reaction vessel containing the mixed gas flowing from the air supply / intake section
(OH) 2 ) a decomposed gas removing section for effluxing from a porous outlet pipe immersed in an excess aqueous solution of the decomposed gas to neutralize and remove the decomposed gas; After being condensed in a vessel, it is adsorbed on a powdery synthetic zeolite (pore diameter: 9 angstroms) loaded in a drying vessel to remove water vapor, and a mixed gas flowing from the water removal section is compressed by a compressor. Liquefied sulfur hexafluoride (SF)
6 ) The gas and the reaction product in a gaseous state accumulated thereon, the nitrogen (N 2 ) and the oxygen (O 2 ) are separated and stored, and the hexafluoride is liquefied by the liquefaction container. An air removing section that allows only sulfur (SF 6 ) gas to flow out, and the liquefied sulfur hexafluoride (S) flowing from the air removing section.
F 6 ) a vaporizing section in which the gas is stored in a vaporizing vessel and heated by a heater to vaporize the gas; the sulfur hexafluoride (S) flowing from the vaporizing section;
F 6 ) a pressure reducing valve for reducing the pressure of the gas to a predetermined pressure, a first opening / closing valve for opening / closing an inflow side of the metal fluoride removing unit, and a second opening / closing valve for opening / closing an outflow side of the pressure reducing valve. To recover and regenerate sulfur hexafluoride gas.
の合成ゼオライト（細孔径：９オングストローム）を加
熱する乾燥ヒータ、前記乾燥容器の内部の混合ガスを外
部へ排出する排気ポンプ、前記乾燥容器の流入側を開閉
する第一バルブ、前記乾燥容器の流出側を開閉する第二
バルブ、前記排気ポンプの流入側を開閉する第三バルブ
を設けたことを特徴とする請求項１に記載の六弗化硫黄
ガスの回収再生装置。2. A drying heater for heating a powdery synthetic zeolite (pore diameter: 9 angstroms) charged in a drying container in a water removing section, an exhaust pump for discharging a mixed gas inside the drying container to the outside, and the drying 2. The apparatus according to claim 1, further comprising a first valve for opening and closing the inflow side of the container, a second valve for opening and closing the outflow side of the drying container, and a third valve for opening and closing the inflow side of the exhaust pump. Sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration device.
スを通して第一空気吸着容器に装填した粉末状の合成ゼ
オライト（細孔径：５オングストローム）に前記混合ガ
ス中の窒素（Ｎ2 ）および酸素（Ｏ2 ）を吸着させたの
ち、液化容器に流入させることを特徴とする請求項１に
記載の六弗化硫黄ガスの回収再生装置。3. A mixed zeolite (pore diameter: 5 Å) charged in a first air adsorption vessel through a mixed gas flowing out of a compressor in an air removing section to supply nitrogen (N 2 ) and oxygen in the mixed gas to the synthetic zeolite (pore diameter: 5 Å). 2. The sulfur hexafluoride gas recovery / recovery device according to claim 1, wherein (O 2 ) is adsorbed and then allowed to flow into a liquefaction vessel.
六弗化硫黄（ＳＦ6）ガスの上に溜る気体状態の反応生
成物、窒素（Ｎ2 ）、酸素（Ｏ2 ）を通して第二空気吸
着容器に装填した粉末状の合成ゼオライト（細孔径：５
オングストローム）に前記窒素（Ｎ2 ）および前記酸素
（Ｏ2 ）を吸着させたのち、残りの混合ガスを所定気圧
に減圧して圧縮機の流入側に戻すことを特徴とする請求
項１に記載の六弗化硫黄ガスの回収再生装置。4. A liquefied sulfur hexafluoride was placed in a liquefied vessel with air removal unit (SF 6) reaction products of gaseous staying on the gas, nitrogen (N 2), a second through an oxygen (O 2) Powdered synthetic zeolite (pore diameter: 5) loaded in an air adsorption vessel
2. The method according to claim 1, wherein said nitrogen (N 2 ) and said oxygen (O 2 ) are adsorbed to オ ン, and the remaining mixed gas is reduced to a predetermined pressure and returned to the compressor inlet side. For recovery and regeneration of sulfur hexafluoride gas.
に分岐して、一方の分解ガス除去部への流入側を開閉す
る第三開閉弁、他方の大気中への排出側を開閉する第四
開閉弁を設けたことを特徴とする請求項１に記載の六弗
化硫黄ガスの回収再生装置。5. A third opening / closing valve for branching an outflow side of a vacuum pump into two at an air supply / intake section and opening / closing an inflow side to one decomposition gas removing section, and a third on / off side for discharging to the atmosphere. The sulfur hexafluoride gas recovery and regeneration apparatus according to claim 1, further comprising a fourth on-off valve that opens and closes.
気吸気部、分解ガス除去部、水分除去部、空気除去部、
気化部、減圧弁、第一開閉弁、第二開閉弁を台車に装着
して移動可能にしたことを特徴とする六弗化硫黄ガスの
移動式回収再生装置。6. The metal fluoride removing section according to claim 5, an air supply / intake section, a decomposition gas removing section, a moisture removing section, an air removing section,
A portable sulfur hexafluoride gas recovery and recycling apparatus, wherein a vaporizing section, a pressure reducing valve, a first opening / closing valve, and a second opening / closing valve are mounted on a truck so as to be movable.
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