JP3226395U - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
【課題】軸方向の小型化を維持しつつ排気性能を向上させることが可能なターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】ターボ分子ポンプ1は、複数のロータ翼34および複数のステータ翼21を含み、気体を吸入および排出するターボポンプ部2と、ロータ円筒部32aおよびネジステータ40を含み、ターボポンプ部2により排出された気体を吸入および排出するドラッグポンプ部3と、ネジステータ40を保持するとともに、ドラッグポンプ部3により排出された気体が流入する空間を形成するベース10とを備え、ベース10は、排気口14を有する周壁部12と、周壁部12の一端開口を閉塞する底部11とを有し、周壁部12の内周面に環状の第1の凹部15が形成され、排気口14につながる底部11の一部領域に第2の凹部16が形成される。【選択図】図1
Description
本考案は、ターボ分子ポンプに関する。
ターボ分子ポンプは、複数のロータ翼および複数のステータ翼を有する。特許文献1に記載されたターボ分子ポンプでは、ケーシングがベースに固定される。また、ケーシング内にロータ組立体が設けられる。ロータ組立体のロータには、複数のロータ翼およびロータ円筒部が設けられる。ベースには、スペーサを介して複数のステータ翼が設けられる。ロータ円筒部の外周側において、ネジステータがベースに固定される。ベースには、排気口が設けられる。
複数のロータ翼と複数のステータ翼とによりターボポンプ部が構成される。ネジステータとロータ円筒部とによりドラッグポンプ部が構成される。特許文献1のターボ分子ポンプでは、ターボポンプ部の排気動作およびドラッグポンプ部の排気動作により気体が排気口から排出される。
上記の特許文献1には、ターボ分子ポンプの排気経路のコンダクタンスを増大させるための一例として、ネジステータがテーパ構造を有することが記載されている。他の例として、ベースの底面の全周に環状溝を形成することが記載されている。さらに他の例として、ベースの内周面に環状溝を形成することが記載されている。
ターボ分子ポンプについては、軸方向の小型化を維持しつつ排気性能をさらに向上させることが望まれる。
本考案の目的は、軸方向の小型化を維持しつつ排気性能を向上させることが可能なターボ分子ポンプを提供することである。
本考案の一局面に従うターボ分子ポンプは、複数のロータ翼および複数のステータ翼を含み、気体を吸入および排出するターボポンプ部と、ロータ円筒部およびネジステータを含み、前記ターボポンプ部により排出された気体を吸入および排出するドラッグポンプ部と、前記ネジステータを保持するとともに、前記ドラッグポンプ部により排出された気体が流入する空間を形成するベースとを備え、前記ベースは、排気口を有する周壁部と、前記周壁部の一端開口を閉塞する底部とを有し、前記周壁部の内周面に環状の第1の凹部が形成され、前記排気口につながる前記底部の一部領域に第2の凹部が形成される。
本考案によれば、ターボ分子ポンプの軸方向の小型化を維持しつつ排気性能を向上させることが可能となる。
以下、本考案の実施の形態に係るターボ分子ポンプについて、図面を参照しながら詳細に説明する。
(1)ターボ分子ポンプの構成
図1は、一実施の形態に係るターボ分子ポンプの縦断面図である。図2は、図1のターボ分子ポンプの他の部分の一部縦断面図である。図3は、図1のターボ分子ポンプのA−A線断面図である。図4は、図1および図3のターボ分子ポンプのB−B線断面である。なお、図1に、図3のターボ分子ポンプのC−C線断面が示される。図2に、図3のターボ分子ポンプのD−D線断面が示される。
図1は、一実施の形態に係るターボ分子ポンプの縦断面図である。図2は、図1のターボ分子ポンプの他の部分の一部縦断面図である。図3は、図1のターボ分子ポンプのA−A線断面図である。図4は、図1および図3のターボ分子ポンプのB−B線断面である。なお、図1に、図3のターボ分子ポンプのC−C線断面が示される。図2に、図3のターボ分子ポンプのD−D線断面が示される。
図1に示すように、ターボ分子ポンプ1は、ベース10、ケーシング20、ロータ30、ネジステータ40および排気管50を備える。ベース10は、円形の底部11、円筒形状の周壁部12および略円筒形状のロータ軸支持部13を含む。周壁部12には、円形断面を有する排気口14が形成される。排気口14には、円形断面を有する排気管50が取り付けられる。本実施の形態では、排気口14および排気管50の断面は円形状を有するが、排気口14および排気管50の断面が多角形状または楕円形状等の他の形状を有してもよい。
ロータ軸支持部13の外径は、周壁部12の内径よりも小さい。ロータ軸支持部13は、周壁部12に取り囲まれるように底部11の中央部に形成される。それにより、周壁部12の内周面とロータ軸支持部13の外周面との間に空間が形成される。ロータ軸支持部13の軸方向の長さは、周壁部12の軸方向の長さよりも大きい。
ロータ軸支持部13は、大径部13aおよび小径部13bを有する。大径部13aは、底部11に一体的に形成される。大径部13aの外周面の直径は、小径部13bの外周面の直径よりも大きい。大径部13aと小径部13bとの間の部分の直径は、大径部13aの直径から小径部13bの直径へ連続的に減少する。ロータ軸支持部13の内周面には、複数のラジアル電磁石61、複数のスラスト電磁石62およびモータ63が取り付けられる。
ロータ30は、ロータ軸31およびロータ本体32を含む。ロータ本体32は、ロータ軸31の外周面に取り付けられる。ロータ軸31は、ロータ軸支持部13内に挿入される。ロータ本体32は、ロータ軸支持部13の外周面を取り囲むロータ円筒部32a,32bを有する。ロータ円筒部32aの内周面の直径は、ロータ円筒部32bの内周面の直径よりも大きい。大径部13aの外周面とロータ円筒部32aの内周面との間および小径部13bの外周面とロータ円筒部32bの内周面との間に隙間が形成される。ロータ本体32の外周面には、複数のロータ翼34が一定間隔で取り付けられる。ロータ30は、ロータ軸支持部13と非接触の状態でモータ63により回転される。
ケーシング20は、円筒形状を有する。ケーシング20の一端は、底部11と反対側における周壁部12の端面に接合されている。ケーシング20の他端には、吸気口22が形成される。ケーシング20の内周面には、複数のステータ翼21が一定間隔で取り付けられている。複数のステータ翼21と複数のロータ翼34とは交互に配列される。複数のステータ翼21および複数のロータ翼34により、ターボポンプ部2が形成される。
ネジステータ40は、略円筒形状を有する。ネジステータ40は、ロータ円筒部32aの外周面と周壁部12の内周面との間に配置され、周壁部12に取り付けられる。ネジステータ40の内周面とロータ円筒部32aの外周面との間には隙間が形成される。ネジステータ40の内周面およびロータ円筒部32aの外周面のいずれか一方には図示しないねじ溝が設けられる。ロータ円筒部32aおよびネジステータ40により、ドラッグポンプ部3が形成される。
ネジステータ40の外周面はテーパ状に形成される。詳細には、ネジステータ40の厚みは、周壁部12の端面から底部11に近づくにつれて漸次減少する。それにより、ネジステータ40の外周面と周壁部12の内周面との間の距離は、周壁部12の開口側端面から底部11に近づくにつれて増加する。本実施の形態では、ロータ円筒部32aおよびネジステータ40の先端は、側面視で排気口14に重なる位置まで延びる。
図1〜図3に示すように、周壁部12の内周面の全周に渡って円環状の凹部15が形成される。凹部15は、軸方向において排気口14と少なくとも一部が重なる位置に設けられる。本実施の形態では、凹部15は、台形の断面形状を有する。なお、凹部15が矩形または部分円形等の他の断面形状を有してもよい。また、凹部15が周壁部12の内周面に継続的に形成されてもよい。
図1および図3に示すように、排気口14につながる底部11に凹部16が形成される。本実施の形態では、図4に示すように、凹部16は、矩形の断面形状を有する矩形凹部16aおよび部分円形の断面形状を有する部分円形凹部16bを含む。矩形凹部16aの底面に部分円形凹部16bが形成される。部分円形凹部16bの内面は、排気口14の内面および排気管50の内面と同じ曲率半径を有し、排気口14の内面および排気管50の内面に連続的に接続される。
図1において、ロータ30がモータ63により回転すると、ターボポンプ部2の複数のステータ翼21と複数のロータ翼34とが協働することにより吸気口22を通して気体が吸入されるとともに排出される。ターボポンプ部2により排出された気体は、ドラッグポンプ部3のネジステータ40とロータ円筒部32aとが協働することにより吸入および排出される。ドラッグポンプ部3により排出される気体は、周壁部12の内周面とロータ軸支持部13の外周面との間の空間を通して排気口14から外部に排出される。
(2)実施の形態の効果
本実施の形態に係るターボ分子ポンプ1においては、ベース10内の空間および排気口14により排気経路が形成される。ドラッグポンプ部3から排出された気体は、ベース10の周壁部12に形成された凹部15および底部11に形成された凹部16を流動することができる。それにより、排気経路の容積が拡大される。したがって、ネジステータ40の先端とベース10の底部11との間の空間を軸方向に大きくすることなく、排気経路のコンダクタンスを増大させることができる。
本実施の形態に係るターボ分子ポンプ1においては、ベース10内の空間および排気口14により排気経路が形成される。ドラッグポンプ部3から排出された気体は、ベース10の周壁部12に形成された凹部15および底部11に形成された凹部16を流動することができる。それにより、排気経路の容積が拡大される。したがって、ネジステータ40の先端とベース10の底部11との間の空間を軸方向に大きくすることなく、排気経路のコンダクタンスを増大させることができる。
また、凹部16の矩形凹部16aの底面が排気口14の内面および排気管50の内面に連続的に接続されるので、凹部16内を流動する気体は、部分円形凹部16bに沿って排気口14および排気管50に円滑に導かれる。それにより、排気経路のコンダクタンスをさらに増大させることができる。
(3)他の実施の形態
図5は、他の実施の形態に係るターボ分子ポンプ1の縦断面図である。図6は、図5のターボ分子ポンプ1のE−E線断面図である。図5のターボ分子ポンプ1が図1のターボ分子ポンプ1と異なるのは、以下の点である。
図5は、他の実施の形態に係るターボ分子ポンプ1の縦断面図である。図6は、図5のターボ分子ポンプ1のE−E線断面図である。図5のターボ分子ポンプ1が図1のターボ分子ポンプ1と異なるのは、以下の点である。
図5および図6に示すように、ターボ分子ポンプ1においては、ロータ軸支持部13の大径部13aの外周面のうち排気口14に対向する領域に凹部17が形成される。また、凹部17は、凹部16の矩形凹部16aと一体化するように形成される。
図5および図6のターボ分子ポンプ1においては、ネジステータ40の先端とベース10の底部11との間の空間を軸方向に大きくすることなく、排気口14が面する空間におけるコンダクタンスをさらに増大させることができる。その結果、ターボ分子ポンプ1の軸方向の小型化を維持しつつ排気性能をさらに向上させることが可能となる。
また、ロータ軸支持部13の大径部13aに凹部17が形成されるので、ネジステータ40とベース10の底部11との間の空間を軸方向に大きくすることなく、排気口14が面する空間を拡大することができる。さらに、凹部17は、凹部16と一体化されるように形成されるので、凹部16と凹部17との間での気体の流動が円滑化される。それにより、排気口14が面する空間のコンダクタンスをさらに増大させることができる。
図7は、図5のターボ分子ポンプ1の変形例を示す縦断面図である。図7の変形例では、凹部17は、大径部13aの外周面の半径と小径部13bの外周面の半径との差に相当する深さを有する。また、凹部17については、底面17aがロータ軸支持部13の小径部13bの外周面と面一でかつ連続的に接続するように形成される。
それにより、ネジステータ40とベース10の底部11との間の空間を軸方向に大きくすることなく、排気口14が面する空間を十分に拡大することができる。さらに、底面17aが小径部13bの外周面と面一でかつ連続的に接続されるので、小径部13bと排気口14との間での気体の流動が円滑化される。それにより、排気口14が面する空間のコンダクタンスを十分に増大させることができる。
(4)請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明する。上記実施の形態では、凹部15が第1の凹部の例であり、矩形凹部16aが第2の凹部の例であり、部分円形凹部16bが第3の凹部の例であり、凹部17が第4の凹部の例であり、部分円形凹部16bの内面が接続面の例である。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明する。上記実施の形態では、凹部15が第1の凹部の例であり、矩形凹部16aが第2の凹部の例であり、部分円形凹部16bが第3の凹部の例であり、凹部17が第4の凹部の例であり、部分円形凹部16bの内面が接続面の例である。
(5)態様
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
(第1項)一態様に係るターボ分子ポンプは、
複数のロータ翼および複数のステータ翼を含み、気体を吸入および排出するターボポンプ部と、
ロータ円筒部およびネジステータを含み、前記ターボポンプ部により排出された気体を吸入および排出するドラッグポンプ部と、
前記ネジステータを保持するとともに、前記ドラッグポンプ部により排出された気体が流入する空間を形成するベースとを備え、
前記ベースは、排気口を有する周壁部と、前記周壁部の一端開口を閉塞する底部とを有し、
前記周壁部の内周面に環状の第1の凹部が形成され、前記排気口につながる前記底部の一部領域に第2の凹部が形成されてもよい。
複数のロータ翼および複数のステータ翼を含み、気体を吸入および排出するターボポンプ部と、
ロータ円筒部およびネジステータを含み、前記ターボポンプ部により排出された気体を吸入および排出するドラッグポンプ部と、
前記ネジステータを保持するとともに、前記ドラッグポンプ部により排出された気体が流入する空間を形成するベースとを備え、
前記ベースは、排気口を有する周壁部と、前記周壁部の一端開口を閉塞する底部とを有し、
前記周壁部の内周面に環状の第1の凹部が形成され、前記排気口につながる前記底部の一部領域に第2の凹部が形成されてもよい。
第1項に記載のターボ分子ポンプによれば、ターボポンプ部の複数のロータ翼と複数のステータ翼とが協働することにより、気体が吸入および排出される。また、ドラッグポンプ部のロータ円筒部とネジステータとが協働することにより、ターボポンプ部から排出された気体が吸入および排出される。ターボポンプ部により排出された気体は、ベースの空間内で周壁部および底部に沿って流動しつつ排気口を通して外部に排出される。
この場合、ベースの空間および排気口により排気経路が形成される。上記の構成によれば、気体がベースの周壁部に形成された環状の第1の凹部および底部に形成された第2の凹部を流動することができる。それにより、ネジステータとベースの底部との間の空間を軸方向に大きくすることなく、排気経路のコンダクタンスを増大させることができる。その結果、ターボ分子ポンプの軸方向の小型化を維持しつつ排気性能を向上させることが可能となる。
(第2項)第1項に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記第2の凹部の底面は、前記排気口の内面に連続的に接続される接続面を含んでもよい。
第2項に係るターボ分子ポンプによれば、第2の凹部内を流動する気体が第2の凹部の接続面に沿って排気口に円滑に導かれる。それにより、排気経路のコンダクタンスをさらに増大させることができる。
(第3項)第2項に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記第2の凹部の前記底面に第3の凹部がさらに設けられ、
前記接続面は、前記第3の凹部の内面であってもよい。
前記接続面は、前記第3の凹部の内面であってもよい。
第3項に係るターボ分子ポンプによれば、第2の凹部内を流動する気体が第3の凹部の内面に沿って排気口に円滑に導かれる。それにより、排気経路のコンダクタンスをさらに増大させることができる。
(第4項)第1、第2または第3項に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記複数のロータ翼を保持するロータ本体と、
前記ロータ本体と一体的に設けられたロータ軸とをさらに備え、
前記ベースは、前記ロータ軸を非接触で回転可能に支持するロータ軸支持部をさらに有し、
前記ロータ軸支持部は、前記周壁部により取り囲まれるように前記底部に設けられ、
前記ロータ軸支持部の外周面のうち前記排気口に対向する領域に第4の凹部が形成されてもよい。
前記ロータ本体と一体的に設けられたロータ軸とをさらに備え、
前記ベースは、前記ロータ軸を非接触で回転可能に支持するロータ軸支持部をさらに有し、
前記ロータ軸支持部は、前記周壁部により取り囲まれるように前記底部に設けられ、
前記ロータ軸支持部の外周面のうち前記排気口に対向する領域に第4の凹部が形成されてもよい。
第4項に係るターボ分子ポンプによれば、ネジステータとベースの底部との間の空間を軸方向に大きくすることなく、排気口が面する空間を拡大することができる。それにより、排気口が面する空間におけるコンダクタンスを増大させることができる。その結果、ターボ分子ポンプの軸方向の小型化を維持しつつ排気性能をさらに向上させることが可能となる。
(第5項)第4項に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記ロータ軸支持部は、前記底部から順に大径部および小径部を含み、
前記大径部は、第1の直径を有し、前記小径部は、前記第1の直径よりも小さい第2の直径を有し、
前記第4の凹部は、前記大径部の外周面のうち前記排気口に対向する領域に形成されてもよい。
前記大径部は、第1の直径を有し、前記小径部は、前記第1の直径よりも小さい第2の直径を有し、
前記第4の凹部は、前記大径部の外周面のうち前記排気口に対向する領域に形成されてもよい。
第5項に係るターボ分子ポンプによれば、ロータ軸支持部の大径部に第4の凹部が形成されるので、ネジステータとベースの底部との間の空間を軸方向に大きくすることなく、排気口が面する空間を十分に拡大することができる。
(第6項)第5項に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記第4の凹部は、前記第2の凹部と一体化されるように形成されてもよい。
第6項に係るターボ分子ポンプによれば、第4の凹部と第2の凹部との間での気体の流動が円滑化される。それにより、排気口が面する空間のコンダクタンスを十分に増大させることができる。
1…ターボ分子ポンプ,2…ターボポンプ部,3…ドラッグポンプ部,10…ベース,11…底部,12…周壁部,13…ロータ軸支持部,13a…大径部,13b…小径部,14…排気口,15,16,17…凹部,16a…矩形凹部,16b…部分円形凹部,17a…底部,20…ケーシング,21…ステータ翼,22…開口部,30…ロータ,31…ロータ軸,32…ロータ本体,32a,32b…ロータ円筒部,34…ロータ翼,40…ネジステータ,50…排気管,61…ラジアル電磁石,62…スラスト電磁石,63…モータ
Claims (6)
- 複数のロータ翼および複数のステータ翼を含み、気体を吸入および排出するターボポンプ部と、
ロータ円筒部およびネジステータを含み、前記ターボポンプ部により排出された気体を吸入および排出するドラッグポンプ部と、
前記ネジステータを保持するとともに、前記ドラッグポンプ部により排出された気体が流入する空間を形成するベースとを備え、
前記ベースは、排気口を有する周壁部と、前記周壁部の一端開口を閉塞する底部とを有し、
前記周壁部の内周面に環状の第1の凹部が形成され、前記排気口につながる前記底部の一部領域に第2の凹部が形成された、ターボ分子ポンプ。 - 前記第2の凹部の底面は、前記排気口の内面に連続的に接続される接続面を含む、請求項1記載のターボ分子ポンプ。
- 前記第2の凹部の前記底面に第3の凹部がさらに設けられ、
前記接続面は、前記第3の凹部の内面である、請求項2記載のターボ分子ポンプ。 - 前記複数のロータ翼を保持するロータ本体と、
前記ロータ本体と一体的に設けられたロータ軸とをさらに備え、
前記ベースは、前記ロータ軸を非接触で回転可能に支持するロータ軸支持部をさらに有し、
前記ロータ軸支持部は、前記周壁部により取り囲まれるように前記底部に設けられ、
前記ロータ軸支持部の外周面のうち前記排気口に対向する領域に第4の凹部が形成された、請求項1〜3のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプ。 - 前記ロータ軸支持部は、前記底部から順に大径部および小径部を含み、
前記大径部は、第1の直径を有し、前記小径部は、前記第1の直径よりも小さい第2の直径を有し、
前記第4の凹部は、前記大径部の外周面のうち前記排気口に対向する領域に形成された、請求項4記載のターボ分子ポンプ。 - 前記第4の凹部は、前記第2の凹部と一体化されるように形成された、請求項5記載のターボ分子ポンプ。
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