JP3226072B2 - 偏波変調可能な半導体レーザとその使用法 - Google Patents

偏波変調可能な半導体レーザとその使用法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、外部からの制御によっ
て出力光の偏光状態を変化させることができる偏波変調
可能な半導体レーザ及びその使用法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、外部制御によって出力光の偏波状
態を変化できる半導体レーザとしては、特開平2−15
9781号に記載されている分布帰還型(DFB)レー
ザがある。このDFBレーザは、位相調整や反転分布形
成のためのキャリア注入により、内部光の位相が変化
し、TEあるいはTMモードのうちしきい値ゲインの低
い方のモードで発振するものである。
【0003】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記従来例では、TE光あるいはTMモード光に対する位
相で発振光の偏波状態を変化させるために、反転分布を
形成するための注入電流は常に一定量必要であった。
【0004】また、上記従来例では、活性層がバルク材
料で構成されていて、TEとTMモードに対する利得差
は小さいが、量子井戸活性層を用いた場合に、TEとT
Mモードに対する利得差が大きくなり、同じ動作原理で
出力光の偏波状態を切り換えられる波長範囲が狭くな
り、回折格子(これの周期によりTEとTMモードの発
振波長となるTEとTMモードに対するブラッグ波長が
決まる)等の作製精度に対する要求が厳しくなる。
【0005】よって、本発明の目的は、上記の問題点を
解決した偏波変調可能な半導体レーザ及びその使用法を
提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の偏波変調可能な
半導体レーザによれば、TM利得がTE利得より大き
い、例えば、歪量子井戸を活性層の一部に用いて、注入
電流を変化させることにより共振器内のトータルのTE
利得とTM利得を変化させることによって、出力光の偏
波状態を切り換えられるようにしている。
【0007】詳細には、本発明の偏波変調可能な半導体
レーザは、1つの共振器内に、異なる利得スペクトルを
持つ2つ以上の活性領域で形成される活性層があり、活
性層の少なくとも1つの活性領域は、TM偏波の光に対す
る利得がTE偏波の光に対する利得よりも大きく、また該
活性層の少なくとも他の1つの活性領域は、TE偏波の光
に対する利得がTM偏波の光に対する利得よりも大きく、
そして該TM偏波の光に対する利得がTE偏波の光に対する
利得より大きい活性領域へ注入する電流が変調され、該
他の活性領域へ注入する電流が上記変調と逆位相で変調
される様に構成されていることを特徴とする。
【0008】具体的には、前記2つ以上の活性領域が1
つの共振器内の軸方向に沿って配列されている。前記2
つ以上の活性領域が1つの共振器内の軸方向に垂直な方
向(導波路の左右方向、及び積層方向)に沿って配列さ
れている。前記活性層の複数の活性領域に対して独立に
電流を注入できる電極構成を持つ。TM偏波の光に対す
る利得がTE偏波の光に対する利得より大きい活性領域
が、引っ張り歪が導入された歪量子井戸で構成されてい
る。前記歪量子井戸で構成される活性領域以外の活性領
域が圧縮歪が導入された歪量子井戸で構成される。ま
た、分布反射鏡を有したり、分布帰還構造を有したり、
ファブリペロー共振器を有したりする。
【0009】また、本発明の偏波変調可能な半導体レー
ザの駆動法によれば、1つの共振器内に、異なる利得ス
ペクトルを持つ2つ以上の活性領域で形成される活性層
があり、該活性層の少なくとも1つの活性領域は、TM偏
波の光に対する利得がTE偏波の光に対する利得よりも大
きく、また該活性層の少なくとも他の1つの活性領域
は、TE偏波の光に対する利得がTM偏波の光に対する利得
よりも大きい半導体レーザにおいて、TM偏波の光に対す
る利得がTE偏波の光に対する利得より大きい活性領域へ
注入する電流を変調し、他の活性領域へ注入する電流を
上記変調と逆位相で変調することを特徴とする。
【0010】また、本発明の光送信機または光送受信機
は、上記半導体レーザと、該半導体レーザからの出力光
のうち1つの偏波の光を透過させる偏光選択手段と、該
半導体レーザの出力光を入力信号に従って偏波変調する
制御手段から構成されることを特徴とする。
【0011】また、本発明の光通信システムは、上記光
送信機または光送受信機を少なくとも1つ含んでいるこ
とを特徴とする。
【0012】
【第1実施例】図1と図1のA−A´断面図である図2
は、ファブリペロー共振器を持つ本実施例の特徴を最も
よく表す図面である。同図において、1は例えばn型G
aAsからなる基板、2は例えばn型Al0.5Ga0.5
sからなる第1クラッド層、31はTE偏波の光に対し
て利得が大きい第1活性層、32はTM偏波の光に対し
て利得が大きい第2活性層、4は例えばp型Al0.5
0.5Asからなる第2クラッド層、5は例えばp型G
aAsからなるキャップ層、6は絶縁膜、7は基板1に
接して形成してある、例えば、金とゲルマニウムの合金
からなる第1電極、8は、例えば、金とクロムの合金か
らなり第1活性層31へ電流を注入するために用いられ
る第2電極、9は第2活性層32へ電流を注入するため
に用いられる第3電極、10は第2電極8と第3電極9
を電気的に分離するための分離溝である。
【0013】図3は第1活性層31と第2活性層32の
構造(バントギャップの大きさ)を示す(伝導帯のエネ
ルギーレベルのみを示す)。同図において、各領域を示
す番号は、図1、図2と共通のものを使っている。すな
わち、2は第1クラッド層を、4は第2クラッド層を示
している。また、311、312(層3121、312
2から成る)、313の層部分全部で第1活性層31と
なる。層311および層313は、屈折率(エネルギー
バンドギャップ)が徐々にAl0.5Ga0.5AsからAl
0.3Ga0.7As(或はこの逆)へ変化するいわゆるGR
IN層である。層312は量子井戸から構成される活性
領域で、図3では、例えばGaAsからなる井戸層31
21と、例えばAl0.3Ga0.7Asからなる障壁層31
22から構成されている。一方、第2活性層32は、第
1活性層31とほぼ同様の構成となるが、井戸層部分3
121が、例えばGaAs0.80.2から構成されてい
て、いわゆる引っ張り歪量子井戸となっている。こうし
て、TM偏波に対する利得がTE偏波に対する利得より
大きくなっている。
【0014】本実施例では、導波路の横閉じ込めについ
ては、図1に示したようにリッジ導波構造を用いてい
る。横方向の閉じ込めは、リッジ構造に限らず、半導体
レーザで用いている埋め込み構造などの他の構造でもよ
い。
【0015】また、本実施例では、2つの電極8、9を
分離するために、単純に電極を2つに分離しただけの構
成を用いたが、これに限定されるものではなく、他の構
成(例えば、深いスリットを形成する)を用いることも
できる。
【0016】図4、図5には、本実施例の半導体レーザ
の駆動法を示した。図4において、I1は第1活性層3
1へ注入する電流、I2は第2活性層32へ注入する電
流、11は光出力である。図5は、本素子への電流注入
法を示している。注入電流I1と注入電流I21(電流I2
の1つの量)は、本実施例の半導体レーザからの発振光
がTE光になるように設定する。電流I22(電流I2
他の量)は、発振光がTM偏波になるように設定する。
このように設定した様子を図5(A)、(B)に示し
た。この駆動によって、図5(C)のような光出力11
が得られ、その光出力の偏波状態は、図5(D)のよう
にTE、TMモード間で交互に変換される。
【0017】即ち、第1活性層31へ注入する電流及び
第2活性層32へ注入する電流が、夫々、I1とI21
あるときは、TEモードにおいてのみ縦モードの或る波
長が発振条件を満足させてTEモード発振が起こる。他
方、第1活性層31へ注入する電流及び第2活性層32
へ注入する電流が、夫々、I1とI22であるときは、T
Mモードにおいてのみ縦モードの或る波長が発振条件を
満足させてTMモード発振が起こる。
【0018】図6には、本素子の他の駆動方法を示して
ある。図5の駆動方式では、注入電流としきい値利得の
関係で、光出力(図5(C))がTEとTMの切換えに
よって変化してしまう。そこで、図6の駆動方法によれ
ば、電流I1を電流I2と逆位相で変調することにより
(図6(A)、(B))、光出力変動がなく(図6
(C))、偏波状態だけが変化するようにできる(図6
(D))。
【0019】また、図5(A)、(B)の関係を逆、即
ち第1活性層31へ注入する電流I1を変調し第2活性
層32へ注入する電流I2を直流にしてもよい。
【0020】
【第2実施例】図7に本発明の第2実施例を示す。第2
実施例は本発明を分布反射型半導体レーザ(DBR−L
D)へ適用した例である。図1と同一部材には同一番号
をつけてある。本実施例では、図1の実施例の片側に分
布反射鏡をもうけた構造になっている(両側に設けても
よい)。本実施例の分布反射鏡は、電流を注入すること
により、そのブラッグ波長を変化させることが可能であ
る。
【0021】図7において、20は例えばAl0.3Ga
0.7Asからなるグレーティング下部領域、21は例え
ばAl0.4Ga0.6Asからなるグレーティング上部領域
であり、この両者の界面に格子(グレーティング)22
が形成してある。また、25は、例えばAl0.4Ga0.6
Asからなる位相調整領域、23、24は夫々グレーテ
ィング領域20、21、22、位相調整領域25の電極
である。
【0022】本実施例において、偏波状態を変化させる
方法は第1実施例と実質的に同じである。即ち、第1の
制御状態では、第1活性層31へ注入する電流、第2活
性層32へ注入する電流、グレーティング領域20、2
1、22へ注入する電流及び位相調整領域25へ注入す
る電流を適当に設定して、TEモードのゲインスペクト
ルを支配的にし、そのゲインピークであるTEモードの
ブラッグ波長でTEモード発振を起こす。他方、第2の
制御状態では、第1活性層31へ注入する電流、第2活
性層32へ注入する電流、グレーティング領域20、2
1、22へ注入する電流及び位相調整領域25へ注入す
る電流を適当に設定して、TMモードのゲインスペクト
ルを支配的にし、そのゲインピークであるTMモードの
ブラッグ波長でTMモード発振を起こす。この際、発振
光の線幅を狭くし、発振波長を変化させるために、DB
Rが形成してある。
【0023】
【第3実施例】図8に本発明の第3実施例を示す。第3
実施例は本発明を分布帰還型半導体レーザ(DFB−L
D)に適用したものである。図1の部材と同一部材には
同一番号をつけてある。新たに、格子22を形成するた
めの層20、21を第2実施例と同じように形成してあ
る。即ち、20、21、22は第2実施例と同一部材で
ある。
【0024】本実施例の動作は第1及び第2実施例と実
質的に同様であるので、ここでは説明を省略する。
【0025】ところで、前記実施例では、2つ以上の活
性領域が1つの共振器内の軸方向に沿って直列的に配列
されていたが、共振器内の軸方向に垂直な方向に沿って
配列されていてもよい。即ち、例えば、導波路の軸方向
中心軸の左右に対称に2つの活性領域を設けそれに応じ
て2つの電極を形成したり、積層方向に上下に2つの活
性領域を設けそれに応じて上下に電極を形成し2つの活
性領域の間の層を接地するなどして、それらの電極から
独立に電流を2つの活性領域に注入可能としてもよい。
【0026】
【第4実施例】図9に本発明の半導体レーザを光通信の
光送信機に適用した実施例を示した。図9において、1
01は制御回路、102は前記実施例で示した本発明の
半導体レーザ、103は偏光子、104は空間を伝搬し
ている光を光ファイバへ結合する光結合手段、105は
光ファイバ、106は端末から送られてきた電気信号、
107は、制御回路101から、半導体レーザ102を
駆動するために送られる駆動信号、108は駆動信号1
07に従って半導体レーザ102が駆動されることで出
力された光信号、109は、光信号108の直交する2
つの偏波状態のうち1つだけを取り出すように調整され
た偏光子103を通過した光信号、110は光ファイバ
105中を伝送される光信号、111は本発明の半導体
レーザ102を用いた光送信機である。、この実施例で
は、光送信機111は、制御回路101、半導体レーザ
102、偏光子103、光結合手段104、光ファイバ
105などから構成されている。
【0027】次に、本実施例の光送信機111の送信動
作について説明する。端末からの電気信号106が制御
回路101に入力されると、図5または図6のような変
調方法に従って本発明の半導体レーザ102へ駆動信号
107が送られる。駆動信号107を入力された半導体
レーザ102は、駆動信号107に従って偏波状態が変
化する光信号108を出力する。その光信号108は、
偏光子103で片方の偏光の光信号109にされ、更に
光結合手段104で光ファイバ105へ結合される。こ
うして強度変調された光信号110を伝送し通信が行わ
れる。
【0028】この場合、光信号110は強度変調された
状態であるので、従来用いられている強度変調用の光受
信機で光を受信することができる。また、第2、第3実
施例に示したような構成の波長可変の半導体レーザを用
いることにより、波長多重通信の送信機として使うこと
ができる。本実施例では、光送信機として構成した場合
を示したが、もちろん光送受信機中の送信部分に用いる
こともできる。
【0029】更に、適用可能な光通信システムについて
も、強度変調信号を扱う系であれば、単純な2点間の光
通信に限らず、光CATV、光LANなどにも適用でき
る。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
1つの共振器内に、異なる利得スペクトルを持つ2つ以
上の活性領域で形成される活性層があり、活性層の少な
くとも1つの活性領域は、TM偏波の光に対する利得が
TE偏波の光に対する利得よりも大きく(歪量子井戸な
どで構成される)、また活性層の少なくとも他の1つの
活性領域は、TE偏波の光に対する利得がTM偏波の光
に対する利得よりも大きくなっており、各活性領域に独
立に電流を注入できる構造となっている。これにより、
各々の偏波モードでの発振時に無効な注入電流を減少さ
せることができ、活性層に量子井戸などを用いる場合で
も、従来より広範な波長範囲で偏波変調できる半導体レ
ーザを形成できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の斜視図。
【図2】図1のA−A′での断面図。
【図3】図1の実施例の活性層の構成を説明する図。
【図4】図1の実施例の駆動方法を説明するための断面
図。
【図5】図1の実施例の駆動方法を説明するためのグラ
フ図。
【図6】図1の実施例の他の駆動方法を説明するための
グラフ図。
【図7】本発明の第2実施例の断面図。
【図8】本発明の第3実施例の断面図。
【図9】本発明の半導体レーザを光通信の光送信機に適
用した実施例を示すブロック図。
【符号の説明】
1 基板 2,4 クラッド層 31 第1活性層 32 第2活性層 311,313 GRIN(graded inde
x)層 312 量子井戸活性領域 3121 井戸層 3122 障壁層 5 キャップ層 6 絶縁層 7,8,9,23,24 電極 9 分離溝 20,21 グレーティング領域 22 グレーティング(格子) 25 位相調整領域 101 制御回路 102 半導体レーザ 103 偏光子 104 光結合手段 105 光ファイバ 111 光送信機
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−202337(JP,A) 特開 平7−202342(JP,A) 特開 平6−120614(JP,A) 特開 平2−117190(JP,A) 特開 平4−346485(JP,A) 特開 平2−159781(JP,A) 特開 昭61−290789(JP,A) 特表 平6−505363(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 5/00 - 5/50

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】1つの共振器内に、異なる利得スペクトル
    を持つ2つ以上の活性領域で形成される活性層があり、
    該活性層の少なくとも1つの活性領域は、TM偏波の光に
    対する利得がTE偏波の光に対する利得よりも大きく、ま
    た該活性層の少なくとも他の1つの活性領域は、TE偏波
    の光に対する利得がTM偏波の光に対する利得よりも大き
    い半導体レーザの駆動方法であって、該TM偏波の光に対
    する利得がTE偏波の光に対する利得より大きい活性領域
    へ注入する電流を変調し、該他の活性領域へ注入する電
    流を上記変調と逆位相で変調することを特徴とする半導
    体レーザの駆動法。
  2. 【請求項2】前記2つ以上の活性領域が1つの共振器内
    の軸方向に沿って配列されていることを特徴とする請求
    項1記載の半導体レーザの駆動法。
  3. 【請求項3】前記2つ以上の活性領域が1つの共振器内
    の軸方向に垂直な方向に沿って配列されていることを特
    徴とする請求項1記載の半導体レーザの駆動法。
  4. 【請求項4】前記半導体レーザが、前記活性層の複数の
    活性領域に対して独立に電流を注入できる電極構成を持
    つことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザの駆動
    法。
  5. 【請求項5】TM偏波の光に対する利得がTE偏波の光に対
    する利得より大きい活性領域が、引っ張り歪が導入され
    た歪量子井戸で構成されていることを特徴とする請求項
    1記載の半導体レーザの駆動法。
  6. 【請求項6】前記引っ張り歪量子井戸で構成される活性
    領域以外の活性領域が、圧縮歪が導入された歪量子井戸
    で構成されることを特徴とする請求項5記載の半導体レ
    ーザの駆動法。
  7. 【請求項7】前記半導体レーザが分布反射鏡を有するこ
    とを特徴とする請求項1記載の半導体レーザの駆動法。
  8. 【請求項8】前記半導体レーザが分布帰還構造を有する
    ことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザの駆動
    法。
  9. 【請求項9】前記半導体レーザがファブリペロー共振器
    を有することを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ
    の駆動法。
  10. 【請求項10】請求項1記載の駆動法で駆動される半導
    体レーザと、該半導体レーザからの出力光のうち1つの
    偏波の光を透過させる偏光選択手段と、該半導体レーザ
    の出力光を入力信号に従って偏波変調する制御手段から
    構成されることを特徴とする光送信機。
  11. 【請求項11】請求項10記載の光送信機或は該光送信
    機を含む光送受信機を少なくとも1つ含んでいることを
    特徴とする光通信システム。
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