JP3222987B2 - 空気流マニホールド装置 - Google Patents
空気流マニホールド装置Info
- Publication number
- JP3222987B2 JP3222987B2 JP15475693A JP15475693A JP3222987B2 JP 3222987 B2 JP3222987 B2 JP 3222987B2 JP 15475693 A JP15475693 A JP 15475693A JP 15475693 A JP15475693 A JP 15475693A JP 3222987 B2 JP3222987 B2 JP 3222987B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- manifold
- mass flow
- air
- air mass
- airflow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
- G01F25/10—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters
- G01F25/15—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters specially adapted for gas meters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は空気質量流量センサーの
較正分野に関し、特に、生産ラインの較正台に対して２
つの異なった空気質量流量率を提供する空気流マニホー
ルド装置に関する。
較正分野に関し、特に、生産ラインの較正台に対して２
つの異なった空気質量流量率を提供する空気流マニホー
ルド装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】空気質量流量センサーの生産において
は、空気質量流量センサーのヒーターに供給する電力を
調節して、ある特定の温度において作動するようにし、
また空気質量流量センサーによって検出される空気質量
流量のステップ状変化に対する空気質量流量センサーの
応答時間を調節することが必要である。もし較正台に２
つの異なった較正された空気質量流量率を提供すること
ができるならば、これら２つの調節作業は同一の較正台
において行うことができる。これらの空気質量流量セン
サーを用いる場合には、空気質量流量センサーの出力信
号、あるいは内燃機関の電子的な燃料制御のいずれかを
連続的に削減あるいは調節することを避けるために、製
作された空気質量流量センサーの作動特性はある特定の
限度内で均一でなければならない。
は、空気質量流量センサーのヒーターに供給する電力を
調節して、ある特定の温度において作動するようにし、
また空気質量流量センサーによって検出される空気質量
流量のステップ状変化に対する空気質量流量センサーの
応答時間を調節することが必要である。もし較正台に２
つの異なった較正された空気質量流量率を提供すること
ができるならば、これら２つの調節作業は同一の較正台
において行うことができる。これらの空気質量流量セン
サーを用いる場合には、空気質量流量センサーの出力信
号、あるいは内燃機関の電子的な燃料制御のいずれかを
連続的に削減あるいは調節することを避けるために、製
作された空気質量流量センサーの作動特性はある特定の
限度内で均一でなければならない。
【０００３】これらの目的を達成するために、空気質量
流量の較正は正確で、かつ再現性がなければならない。
較正された空気質量流量率を形成するために、臨界流量
あるいは音速ノズルを用いることが当業界ではよく知ら
れている。ヒックス他による米国特許第４，５９０，７
９０は、高圧パイプラインにおける空気体積流量計を較
正するのに用いられる臨界流量あるいは音速ノズルを介
して、空気質量流量率を確定するための方程式を開示し
ている。エバンス他による米国特許第３，２２６，９７
３は、加圧された空気源から較正しようとしている流量
計へ、較正された空気流を提供するための、音速ノズル
を用いた流量計較正台スタンドを開示している。音速ノ
ズルの前後の圧力を固定値に維持するために圧力調節器
が用いられる。
流量の較正は正確で、かつ再現性がなければならない。
較正された空気質量流量率を形成するために、臨界流量
あるいは音速ノズルを用いることが当業界ではよく知ら
れている。ヒックス他による米国特許第４，５９０，７
９０は、高圧パイプラインにおける空気体積流量計を較
正するのに用いられる臨界流量あるいは音速ノズルを介
して、空気質量流量率を確定するための方程式を開示し
ている。エバンス他による米国特許第３，２２６，９７
３は、加圧された空気源から較正しようとしている流量
計へ、較正された空気流を提供するための、音速ノズル
を用いた流量計較正台スタンドを開示している。音速ノ
ズルの前後の圧力を固定値に維持するために圧力調節器
が用いられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来技術では空気質量
流量センサーを生産時に較正する必要性を認識しておら
ず、従って、それ等の操作パラメータはほぼ同一になっ
ており、また生産中に空気質量流量センサーの異なった
操作パラメータを削減あるいは調節するために、異なっ
た較正された空気流量率を必要とすることもない。
流量センサーを生産時に較正する必要性を認識しておら
ず、従って、それ等の操作パラメータはほぼ同一になっ
ており、また生産中に空気質量流量センサーの異なった
操作パラメータを削減あるいは調節するために、異なっ
た較正された空気流量率を必要とすることもない。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、空気質量流量
センサーのヒーターの操作温度を設定するために、生産
用の較正台に対して第１の空気質量流量率を提供し、ま
た空気質量流量率における所定のステップ状変化に応じ
て、空気質量流量センサーの応答時間を設定するため
に、同一の生産用の較正台に対して第２の空気質量流量
率を提供するためのマニホールド装置を提供する。
センサーのヒーターの操作温度を設定するために、生産
用の較正台に対して第１の空気質量流量率を提供し、ま
た空気質量流量率における所定のステップ状変化に応じ
て、空気質量流量センサーの応答時間を設定するため
に、同一の生産用の較正台に対して第２の空気質量流量
率を提供するためのマニホールド装置を提供する。
【０００６】前記マニホールド装置の１つの利点は、較
正台に提供される２つの空気質量流量率が高い正確度で
再現可能になっており、較正台に優れたテスト毎の再現
性を与えるという点にある。
正台に提供される２つの空気質量流量率が高い正確度で
再現可能になっており、較正台に優れたテスト毎の再現
性を与えるという点にある。
【０００７】前記マニホールド装置の他の利点は、音速
ノズルを通る空気質量流量が、音速ノズルの上流側にお
ける空気の圧力と温度とを測定することにより正確に確
定され、大気圧および周辺温度における変化を補償して
いる点にある。
ノズルを通る空気質量流量が、音速ノズルの上流側にお
ける空気の圧力と温度とを測定することにより正確に確
定され、大気圧および周辺温度における変化を補償して
いる点にある。
【０００８】前記マニホールド装置の他の利点は、それ
が低圧力で操作され、作業場所における危険な状況を無
しにすることができる点にある。
が低圧力で操作され、作業場所における危険な状況を無
しにすることができる点にある。
【０００９】前記マニホールド装置は、較正台に連結さ
れたコネクターマニホールドと、前記コネクターマニホ
ールドを真空源に連結するための第１空気流マニホール
ドと、それに並列的な第２空気流マニホールドとを有し
ている。前記第１空気流マニホールドは、第１の締切弁
と、較正台を通る空気質量流量率を制御して、第１弁が
開いている時に第１の値を有するようにする第１の音速
ノズルとを含む。前記第２空気流マニホールドは、第２
の締切弁と、較正台を通る空気質量流量率を、前記第１
の値とは異なる第２の値で制御する第２の音速ノズルと
を含む。
れたコネクターマニホールドと、前記コネクターマニホ
ールドを真空源に連結するための第１空気流マニホール
ドと、それに並列的な第２空気流マニホールドとを有し
ている。前記第１空気流マニホールドは、第１の締切弁
と、較正台を通る空気質量流量率を制御して、第１弁が
開いている時に第１の値を有するようにする第１の音速
ノズルとを含む。前記第２空気流マニホールドは、第２
の締切弁と、較正台を通る空気質量流量率を、前記第１
の値とは異なる第２の値で制御する第２の音速ノズルと
を含む。
【００１０】前記マニホールドはさらに、生産ラインに
応答して、空気質量流量センサーを較正台の中へ移動さ
せ、第１および第２の締切弁を付勢させ、第１の値を有
した較正台を通る第１の空気質量流量率を形成し、さら
に第２の値を有した較正台を通る第２の空気質量流量率
を連続的に形成する電気制御器を含む。
応答して、空気質量流量センサーを較正台の中へ移動さ
せ、第１および第２の締切弁を付勢させ、第１の値を有
した較正台を通る第１の空気質量流量率を形成し、さら
に第２の値を有した較正台を通る第２の空気質量流量率
を連続的に形成する電気制御器を含む。
【００１１】好ましい実施例においては、第１空気質量
流量率は、空気質量流量センサーのヒーターの操作温度
を設定するための所定の値を有するように選択され、ま
た第２空気質量流量率は、空気質量流量センサーの応答
時間を設定するために必要な、空気質量流量率における
所定のステップ状変化を提供する値を有するように選択
される。好ましい実施例はまた第１および第２の音速ノ
ズルの上流に於て圧力および温度のセンサーを有してお
り、圧力および温度のセンサーによって発生される信号
に応答して、電気制御器が、大気圧および周辺温度の変
化とは無関係に、較正台を通る空気質量流量率を正確に
確定することができる。
流量率は、空気質量流量センサーのヒーターの操作温度
を設定するための所定の値を有するように選択され、ま
た第２空気質量流量率は、空気質量流量センサーの応答
時間を設定するために必要な、空気質量流量率における
所定のステップ状変化を提供する値を有するように選択
される。好ましい実施例はまた第１および第２の音速ノ
ズルの上流に於て圧力および温度のセンサーを有してお
り、圧力および温度のセンサーによって発生される信号
に応答して、電気制御器が、大気圧および周辺温度の変
化とは無関係に、較正台を通る空気質量流量率を正確に
確定することができる。
【００１２】マニホールド装置の詳細および他の利点
は、添付図面を参照しながら、本発明の詳細記述を読む
ことによって容易に明らかであろう。
は、添付図面を参照しながら、本発明の詳細記述を読む
ことによって容易に明らかであろう。
【００１３】
【実施例】図３を参照すると、空気質量流量センサー１
０が生産架台１２の上に取付けられており、前記架台
は、大量生産ラインによって、各種の組立体試験台およ
び較正台へ送られる。前記空気質量流量センサー１０
は、図３に示したように、架台１２の頂面１６の上にの
ったベース板１４と、孔２２を通って架台の中に設けら
れた空気流路２０の中へ延在したセンサーヘッド１８と
を有している。前記センサーヘッド１８の底部にはカラ
ー２４が設けられ、架台１２に設けられた凹所２６の中
で受留められており、前記センサーヘッド１８の周りに
はオーリング２８が設けられ、孔２２の周りでカラー２
４と凹所２６の底部との間をシールしている。前記ベー
ス板１４と、空気質量流量センサー１０に関連した電子
回路のための回路板を収納するハウジング３０とは、図
２に示したように、１対の整列用のピン３２，３４によ
って架台１２上に正確に位置付けられ、これらのピンは
ハウジング３０とベース板１４とを貫通して設けられた
取付け穴３６，３８の中で受留められている。
０が生産架台１２の上に取付けられており、前記架台
は、大量生産ラインによって、各種の組立体試験台およ
び較正台へ送られる。前記空気質量流量センサー１０
は、図３に示したように、架台１２の頂面１６の上にの
ったベース板１４と、孔２２を通って架台の中に設けら
れた空気流路２０の中へ延在したセンサーヘッド１８と
を有している。前記センサーヘッド１８の底部にはカラ
ー２４が設けられ、架台１２に設けられた凹所２６の中
で受留められており、前記センサーヘッド１８の周りに
はオーリング２８が設けられ、孔２２の周りでカラー２
４と凹所２６の底部との間をシールしている。前記ベー
ス板１４と、空気質量流量センサー１０に関連した電子
回路のための回路板を収納するハウジング３０とは、図
２に示したように、１対の整列用のピン３２，３４によ
って架台１２上に正確に位置付けられ、これらのピンは
ハウジング３０とベース板１４とを貫通して設けられた
取付け穴３６，３８の中で受留められている。
【００１４】前記空気流路２０は架台１２の中を貫通
し、空気質量流量センサーのセンサーヘッド１８がその
特定の使用目的のために取付けられるような空気流路模
擬している。空気流路２０の両端には１対の凹所状の密
封表面４０，４２が設けられている。
し、空気質量流量センサーのセンサーヘッド１８がその
特定の使用目的のために取付けられるような空気流路模
擬している。空気流路２０の両端には１対の凹所状の密
封表面４０，４２が設けられている。
【００１５】図１を参照すると、空気流マニホールド装
置は第１空気流マニホールド４４と、それに並列的な第
２空気流マニホールド４６とを有し、これらは真空ポン
プ５０によって連続的に真空引きされる共通の真空チェ
ンバー４８に連結されている。第１空気流マニホールド
４４と第２空気流マニホールド４６との他端どうしがコ
ネクターマニホールド５２に連結されている。第１空気
流マニホールド４４は第１の音速ノズル５４と第１の締
切弁５６とを有する。同様に、第２空気流マニホールド
４６は第２の音速ノズル５８と第２の締切弁６０とを有
する。第１圧力センサー６２と第１温度センサー６４と
が、第１および第２の音速ノズル５４，５８の上流にお
いて、コネクターマニホールド５２内の空気の圧力と温
度とをそれぞれ検出している。第２圧力センサー６６は
真空チェンバー４８内の圧力を検出している。音速ノズ
ル５４，５８の上流と下流との圧力が連続的に検出さ
れ、音速ノズル５４と５８との前後の圧力差がノズルを
通る臨界空気流を形成するのに十分であることを確認し
ている。音速ノズルの上流側には制御弁（図示せず）を
挿入しても良く、この弁をどの程度に開あるいは閉にす
るかを制御することにより、ノズルの上流側の圧力を変
化させ、これがさらにノズルを通過する空気の質量流量
率の対応的な変化に関連してくる。従って、この弁は２
つの音速ノズルのいずれに対しても正確な空気質量率を
設定するために用いることができる。
置は第１空気流マニホールド４４と、それに並列的な第
２空気流マニホールド４６とを有し、これらは真空ポン
プ５０によって連続的に真空引きされる共通の真空チェ
ンバー４８に連結されている。第１空気流マニホールド
４４と第２空気流マニホールド４６との他端どうしがコ
ネクターマニホールド５２に連結されている。第１空気
流マニホールド４４は第１の音速ノズル５４と第１の締
切弁５６とを有する。同様に、第２空気流マニホールド
４６は第２の音速ノズル５８と第２の締切弁６０とを有
する。第１圧力センサー６２と第１温度センサー６４と
が、第１および第２の音速ノズル５４，５８の上流にお
いて、コネクターマニホールド５２内の空気の圧力と温
度とをそれぞれ検出している。第２圧力センサー６６は
真空チェンバー４８内の圧力を検出している。音速ノズ
ル５４，５８の上流と下流との圧力が連続的に検出さ
れ、音速ノズル５４と５８との前後の圧力差がノズルを
通る臨界空気流を形成するのに十分であることを確認し
ている。音速ノズルの上流側には制御弁（図示せず）を
挿入しても良く、この弁をどの程度に開あるいは閉にす
るかを制御することにより、ノズルの上流側の圧力を変
化させ、これがさらにノズルを通過する空気の質量流量
率の対応的な変化に関連してくる。従って、この弁は２
つの音速ノズルのいずれに対しても正確な空気質量率を
設定するために用いることができる。
【００１６】当業界で知られているように、音速ノズル
を通過する空気流は臨界空気流で操作されているときに
は一定であり、従って、架台１２の空気流路２０を通過
する空気流はテスト毎での優れた再現性を示す。空気質
量率は、音速ノズルの物理的な特性と、音速ノズル５
４，５８の上流側におけるコネクターマニホールド５２
を流れる空気の、圧力センサー６２によって測定される
上流側圧力と、温度センサー６４によって測定される上
流側温度とによって正確に確定されるが、空気の湿度セ
ンサー（図示せず）によって測定される空気湿分と、気
圧計の圧力センサー（図示せず）によって測定される気
圧とによっても確定され、これらの各々は、圧力センサ
ー６２および温度センサー６４と同様に、電気制御器６
８に連結されるであろう。前記電気制御器６８は音速ノ
ズル５４，５８の空気流量特性を貯蔵し、圧力センサー
６２と温度センサー６４とによって検出された空気の圧
力と温度とを用いて、空気流量率を正確に計算する。
を通過する空気流は臨界空気流で操作されているときに
は一定であり、従って、架台１２の空気流路２０を通過
する空気流はテスト毎での優れた再現性を示す。空気質
量率は、音速ノズルの物理的な特性と、音速ノズル５
４，５８の上流側におけるコネクターマニホールド５２
を流れる空気の、圧力センサー６２によって測定される
上流側圧力と、温度センサー６４によって測定される上
流側温度とによって正確に確定されるが、空気の湿度セ
ンサー（図示せず）によって測定される空気湿分と、気
圧計の圧力センサー（図示せず）によって測定される気
圧とによっても確定され、これらの各々は、圧力センサ
ー６２および温度センサー６４と同様に、電気制御器６
８に連結されるであろう。前記電気制御器６８は音速ノ
ズル５４，５８の空気流量特性を貯蔵し、圧力センサー
６２と温度センサー６４とによって検出された空気の圧
力と温度とを用いて、空気流量率を正確に計算する。
【００１７】前記コネクターマニホールド５２は較正台
７０に連結されている。前記較正台７０はまず、第１音
速ノズル５４によって制御された空気流量を用いて、セ
ンサーヘッドの加熱要素の温度を設定するであろう。こ
のテストのために、第１音速ノズルは毎時約０．５ｋｇ
空気流量率を作り出すように較正される。この較正操作
においては、加熱要素に加えられる電力が測定されて、
加熱温度設定制御装置７２へ伝達され、ここでは、電気
回路の中の第１の所定抵抗をどの程度削減して、加熱要
素の温度を約２００度Ｃにするかが計算される。前記加
熱温度設定制御装置はレーザー（図示せず）を付勢し、
これが第１の所定抵抗を削減し、加熱要素へ供給される
電力を削減し、加熱要素が２００度Ｃの操作温度を有す
るように作用する。
７０に連結されている。前記較正台７０はまず、第１音
速ノズル５４によって制御された空気流量を用いて、セ
ンサーヘッドの加熱要素の温度を設定するであろう。こ
のテストのために、第１音速ノズルは毎時約０．５ｋｇ
空気流量率を作り出すように較正される。この較正操作
においては、加熱要素に加えられる電力が測定されて、
加熱温度設定制御装置７２へ伝達され、ここでは、電気
回路の中の第１の所定抵抗をどの程度削減して、加熱要
素の温度を約２００度Ｃにするかが計算される。前記加
熱温度設定制御装置はレーザー（図示せず）を付勢し、
これが第１の所定抵抗を削減し、加熱要素へ供給される
電力を削減し、加熱要素が２００度Ｃの操作温度を有す
るように作用する。
【００１８】加熱要素の温度が設定された後で、電気制
御器６８が締切弁５６を閉じて音速ノズル５４を通る空
気流量をなくし、また締切弁６０を開いて第２の音速ノ
ズル５８を通る臨界流量あるいは音速空気流量を流す。
締切弁６０が開かれるとデーター収集装置７４が起動さ
れ、これは締切弁６０が開かれたときに音速ノズル５８
によって制御される、架台１２の空気流路２０を流れる
空気流量率のステップ状変化に応答して空気流量質量セ
ンサー１０の出力を検出する。音速ノズル５８は空気流
路２０を通る空気流量率を毎時約８．４ｋｇに制御する
であろう。当業界で知られているように、音速ノズルを
通る臨界空気流量は必要な圧力差をかけるのとほぼ同時
に達成される。従って、空気流路を通る空気流量率のス
テップ状変化も同様に同時に生じる。
御器６８が締切弁５６を閉じて音速ノズル５４を通る空
気流量をなくし、また締切弁６０を開いて第２の音速ノ
ズル５８を通る臨界流量あるいは音速空気流量を流す。
締切弁６０が開かれるとデーター収集装置７４が起動さ
れ、これは締切弁６０が開かれたときに音速ノズル５８
によって制御される、架台１２の空気流路２０を流れる
空気流量率のステップ状変化に応答して空気流量質量セ
ンサー１０の出力を検出する。音速ノズル５８は空気流
路２０を通る空気流量率を毎時約８．４ｋｇに制御する
であろう。当業界で知られているように、音速ノズルを
通る臨界空気流量は必要な圧力差をかけるのとほぼ同時
に達成される。従って、空気流路を通る空気流量率のス
テップ状変化も同様に同時に生じる。
【００１９】データー収集装置７４は試験されている空
気質量流量センサー１０の応答時間を計算し、レーザー
トリマーを付勢し、空気質量流量センサーの第２の所定
抵抗を削減して、応答時間を特定の制限値内で設定する
であろう。
気質量流量センサー１０の応答時間を計算し、レーザー
トリマーを付勢し、空気質量流量センサーの第２の所定
抵抗を削減して、応答時間を特定の制限値内で設定する
であろう。
【００２０】架台センサー７６は、生産ライン（図示せ
ず）によって架台１２を較正台７０の中へ送り込んだこ
とを示す架台の存在信号を発生する。前記架台センサー
７６は機械式スイッチであっても、あるいは当業界で知
られているような電気光学的センサーであってもよい。
電気制御器６８は架台存在信号に応答し、較正台の材料
取扱装置７８を付勢し、架台１２をその上に取付けられ
た空気質量流量センサーと一緒に較正位置へ持上げる。
ず）によって架台１２を較正台７０の中へ送り込んだこ
とを示す架台の存在信号を発生する。前記架台センサー
７６は機械式スイッチであっても、あるいは当業界で知
られているような電気光学的センサーであってもよい。
電気制御器６８は架台存在信号に応答し、較正台の材料
取扱装置７８を付勢し、架台１２をその上に取付けられ
た空気質量流量センサーと一緒に較正位置へ持上げる。
【００２１】図４にもっと明らかに示したように、前記
材料取扱装置７８は架台１２を較正位置へ持上げるリフ
ト機構８０を有する。架台が較正位置に到達すると、１
対の締付けポスト８２と８４が整列ピン３２，３４の近
くでハウジング３０と係合し、ハウジング３０とベース
板１４と架台１２の頂面１６に締付ける。この締付操作
によって、空気質量流量センサー１０のカラー２４と凹
所２６の底部との間でオーリング２８が圧縮され、穴２
２の周辺領域を密封する。
材料取扱装置７８は架台１２を較正位置へ持上げるリフ
ト機構８０を有する。架台が較正位置に到達すると、１
対の締付けポスト８２と８４が整列ピン３２，３４の近
くでハウジング３０と係合し、ハウジング３０とベース
板１４と架台１２の頂面１６に締付ける。この締付操作
によって、空気質量流量センサー１０のカラー２４と凹
所２６の底部との間でオーリング２８が圧縮され、穴２
２の周辺領域を密封する。
【００２２】締付けポスト８２，８４は、較正台あるい
は他の剛的な、あるいは固定的な部材のフレームに取付
けられた共通のベース板８６に取付けられている。好ま
しくは、前記取付けポスト８２，８４は垂直方向におい
て弾性的にバイアスがかけられており、ハウジング３０
あるいは架台１２が較正位置へ持上げられるときに、そ
れらが変形するのを防いでいる。ベース板８６には電気
コネクター８８も取付けられており、電気回路を取付け
ている空気質量流量センサーの回路板上に設けられた選
択されたテスト点と電気的に連結している。これらの選
択されたテスト点は、センサーヘッドにおける加熱要素
に供給される電力と、センサーの応答時間を画定するた
めに、データー収集装置によって用いられる空気質量流
量センサーによって発生される出力信号とを検出するた
めに設けられている。
は他の剛的な、あるいは固定的な部材のフレームに取付
けられた共通のベース板８６に取付けられている。好ま
しくは、前記取付けポスト８２，８４は垂直方向におい
て弾性的にバイアスがかけられており、ハウジング３０
あるいは架台１２が較正位置へ持上げられるときに、そ
れらが変形するのを防いでいる。ベース板８６には電気
コネクター８８も取付けられており、電気回路を取付け
ている空気質量流量センサーの回路板上に設けられた選
択されたテスト点と電気的に連結している。これらの選
択されたテスト点は、センサーヘッドにおける加熱要素
に供給される電力と、センサーの応答時間を画定するた
めに、データー収集装置によって用いられる空気質量流
量センサーによって発生される出力信号とを検出するた
めに設けられている。
【００２３】較正台７０はまたマニホールドコネクター
アクチュエータ１００を含み、これは、空気流路２０と
整列して、空気流コネクター９０，９２を架台１２の凹
所密封面４０，４２と密封接触した状態で配置してい
る。空気流コネクター９０は、ベロー９４のような弾性
部材を介して、コネクターマニホールド５２に連結され
た一端を有している。前記ベロー９４は空気流コネクタ
ー９０が架台１２の密封面４０とずれるのを許すもので
ある。前記空気流コネクター９０は、それが密封面４０
と密封係合されるときに、空気流路２０を取囲んだ弾性
的な環状シール９６を有している。
アクチュエータ１００を含み、これは、空気流路２０と
整列して、空気流コネクター９０，９２を架台１２の凹
所密封面４０，４２と密封接触した状態で配置してい
る。空気流コネクター９０は、ベロー９４のような弾性
部材を介して、コネクターマニホールド５２に連結され
た一端を有している。前記ベロー９４は空気流コネクタ
ー９０が架台１２の密封面４０とずれるのを許すもので
ある。前記空気流コネクター９０は、それが密封面４０
と密封係合されるときに、空気流路２０を取囲んだ弾性
的な環状シール９６を有している。
【００２４】空気流コネクター９２は、ベロー１０２と
コネクターパイプ１０４とを介して、入口空気フィルタ
ー９８に連結されている。ベロー９４と同様に、ベロー
１０２は空気流コネクター９２が凹状の密封面４２とず
れるのを許す。空気流コネクター９２もまた、空気流路
２０と同軸的になって、凹状になった密封面４２と密封
係合する弾性的な環状シール部材１０６を有している。
コネクターパイプ１０４とを介して、入口空気フィルタ
ー９８に連結されている。ベロー９４と同様に、ベロー
１０２は空気流コネクター９２が凹状の密封面４２とず
れるのを許す。空気流コネクター９２もまた、空気流路
２０と同軸的になって、凹状になった密封面４２と密封
係合する弾性的な環状シール部材１０６を有している。
【００２５】第２の温度信号を発生するコネクターパイ
プ１０４に連結された第２温度センサー１０８が、空気
流路２０に入る空気の温度に一致した値を有している。
プ１０４に連結された第２温度センサー１０８が、空気
流路２０に入る空気の温度に一致した値を有している。
【００２６】添付図面に示した好ましい実施例に関連し
た空気流マニホールド装置を記載してきたが、本発明が
ここに示した特定の実施例に限定されるものではない。
当業界では、添付した特許請求の範囲に規定された本発
明の範囲内で、変更あるいは改善を加えることができる
ことが明らかである。
た空気流マニホールド装置を記載してきたが、本発明が
ここに示した特定の実施例に限定されるものではない。
当業界では、添付した特許請求の範囲に規定された本発
明の範囲内で、変更あるいは改善を加えることができる
ことが明らかである。
【図１】空気流マニホールド装置のブロック図。
【図２】空気質量流量センサー生産ラインによって支持
される生産架台の頂部図。
される生産架台の頂部図。
【図３】生産架台と空気質量流量センサーの側断面図。
【図４】較正台の機械的な特徴を示す概略図。
１０ 空気質量流量センサー １２ 架台 １８ センサーヘッド ２０ 空気流路 ４４ 第１空気流マニホールド ４６ 第２空気流マニホールド ４８ 真空源 ５２ コネクターマニホールド ５４ 第１音速ノズル ５６ 第１締切弁 ５８ 第２音速ノズル ６０ 第２締切弁 ６８ 電気制御器 ７６ 架台センサー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭54−117122（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−54414（ＪＰ，Ａ) 実開 昭56−122929（ＪＰ，Ｕ) 実用新案登録2502072（ＪＰ，Ｙ２) 特公 昭54−14691（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭62−10656（ＪＰ，Ｙ２) 実公 昭62−29927（ＪＰ，Ｙ２) 実公 平３−32972（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01F 25/00 G01F 1/68 - 1/699
Claims (2)
- 【請求項１】 空気質量流量センサーのヒーターの操作
温度を設定するために、生産用の較正台に対して第１の
空気質量流量率を提供し、また前記空気質量流量センサ
ーの応答時間を設定するために、前記生産用の較正台に
対して第２の空気質量流量率を提供するための空気流マ
ニホールド装置において、 真空源と、 前記真空源と前記生産用較正台との間で連結された第１
空気流マニホールドと、 前記真空源と前記生産用較正台との間で、前記第１空気
流マニホールドと並列に連結された第２空気流マニホー
ルドと、 前記第１空気流マニホールドに連結された第１の締切弁
であって、前記締切弁が、前記第１空気流マニホールド
を通る空気流を許す開状態と、前記第１空気流マニホー
ルドを通る空気流を許さない閉状態とを有している、そ
の第１締切弁と、 前記第１締切弁が前記開状態にあるときに、前記第１空
気流マニホールドを通る空気質量流量率を制御するため
の第１音速ノズルであって、前記第１音速ノズルを通る
前記空気質量流量率が、前記空気質量流量センサーのヒ
ーターの操作温度を設定するための所定の値を有するよ
うに選択されている、その第１音速ノズルと、 前記第２空気流マニホールドに連結された第２の締切弁
であって、前記締切弁が、前記第２空気流マニホールド
を通る空気流を許す開状態と、前記第２空気流マニホー
ルドを通る空気流を許さない閉状態とを有している、そ
の第２締切弁と、 前記第２締切弁が前記開状態にあるときに、前記第２空
気流マニホールドを通る空気質量流量率を制御するため
の第２音速ノズルであって、前記第２音速ノズルが前記
第２空気流マニホールドを通る空気質量流量率を制御し
て、前記空気質量流量センサーの応答時間を設定するた
めの所定の値を有するようにしている、その第２音速ノ
ズルと、 空気質量流量センサーが前記較正台の中へ入ったことを
示す信号を発生するためのセンサーと、 前記信号に応答し、続いて前記第１締切弁を前記開状態
になるように付勢し、前記較正台が空気質量流量センサ
ーの操作温度の設定を完了したことに応答して、前記第
１締切弁を閉じて、前記第２締切弁を付勢し、前記較正
台に対して前記応答時間を測定するための信号を発生す
る電気制御器とを含むことを特徴とする空気流マニホー
ルド装置。 - 【請求項２】 空気質量流量センサーのヒーターの操作
温度と、空気質量流量センサーの応答時間とを設定する
較正台の中で、空気質量流量センサーのための生産用架
台に対して２つの異なった空気質量流量率を提供するた
めのマニホールド装置であって、前記生産用架台が取付
けている空気質量流量センサーのセンサーヘッドを受留
る空気通路を有している、そのマニホールド装置におい
て、 前記生産用架台が前記較正台の中に位置している時に、
前記架台の前記空気通路に対して連結可能な一端を有し
たコネクターマニホールドと、 前記コネクターマニホールドと真空源との間で連結され
た第１空気流マニホールドであって、前記第１空気流マ
ニホールドが、閉状態と開状態とを有した第１締切弁
と、前記第１空気流マニホールドを通る空気質量流量を
制御して、前記第１締切弁が前記開状態にある時に第１
の値を有するようにする第１音速ノズルとを有してい
る、その第１空気流マニホールドと、 前記コネクターマニホールドと前記真空源との間で、前
記第１空気流マニホールドと並列に連結された第２空気
流マニホールドであって、前記第２空気流マニホールド
が、前記第２空気流マニホールドを通る空気流を許さな
い閉状態と、開状態と、前記第２空気流マニホールドを
通る空気質量流量を制御して、前記第２締切弁が前記開
状態にある時に第２の値を有するようにするための第２
音速ノズルとを有している、その第２空気流マニホール
ドと、 空気質量流量センサーを取付けて有している生産用架台
が前記較正台の中に存在していることを意味する信号を
発生するための装置と、 前記第１弁と第２弁とを連続的に付勢し、前記較正台の
おける前記生産用架台の前記空気流路に対して、前記第
１の値を有する空気質量流量率と、前記第２の値を有す
る空気質量流量率とを連続的に提供するための電気制御
器とを含むことを特徴とするマニホールド装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US912940 | 1992-07-13 | ||
| US07/912,940 US5299447A (en) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | Air flow manifold system for providing two different mass air flow rates to a mass air flow sensor production calibration station |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666622A JPH0666622A (ja) | 1994-03-11 |
| JP3222987B2 true JP3222987B2 (ja) | 2001-10-29 |
Family
ID=25432726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15475693A Expired - Fee Related JP3222987B2 (ja) | 1992-07-13 | 1993-06-25 | 空気流マニホールド装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5299447A (ja) |
| JP (1) | JP3222987B2 (ja) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5319020A (en) * | 1993-04-21 | 1994-06-07 | National Starch And Chemical Investment Holding Corporation | Redispersible waterborne pressure sensitive adhesive polymer |
| JP4042191B2 (ja) * | 1997-12-11 | 2008-02-06 | Ｓｍｃ株式会社 | マニホールド形流量検出器組立体 |
| DE19824098C2 (de) * | 1998-05-29 | 2000-05-11 | Alois Ehrler | Vorrichtung zur Erzeugung eines störungsfreien Luftmengenstroms |
| EP1052489A3 (en) | 1999-05-12 | 2001-09-05 | Siemens Canada limited | Push on sensor attachment arrangement |
| DE60012034T2 (de) | 1999-10-05 | 2005-07-14 | Access Business Group International Llc, Ada | Hydroelektrische stromversorgungsanlage für eine wasseraufbereitungsanlage |
| US6460009B1 (en) | 2000-02-28 | 2002-10-01 | John C Rowland | Time delay measurement for response system |
| DE10204779A1 (de) * | 2002-02-05 | 2003-08-21 | Kone Corp | Einrichtung zum Beheizen von Rolltreppen oder Rollsteigen |
| DE10242377B4 (de) * | 2002-09-12 | 2007-03-08 | Siemens Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Kalibrieren eines Massenstromsensors |
| US20040260454A1 (en) * | 2003-06-11 | 2004-12-23 | Basir Otman A. | Vibro-acoustic engine diagnostic system |
| US20050039551A1 (en) * | 2003-07-24 | 2005-02-24 | Eric Shute | Tamper evident connector for an engine radiator |
| US6967726B2 (en) * | 2003-10-03 | 2005-11-22 | Honeywell International Inc. | Means for in-place automated calibration of optically-based thickness sensor |
| US7031871B2 (en) * | 2004-06-04 | 2006-04-18 | Rosemount Aerospace, Inc. | Sensor assembly for determining total temperature, static temperature and Mach number |
| US7412986B2 (en) * | 2004-07-09 | 2008-08-19 | Celerity, Inc. | Method and system for flow measurement and validation of a mass flow controller |
| US7150201B2 (en) * | 2004-12-15 | 2006-12-19 | Celerity, Inc. | System and method for measuring flow |
| US7174263B2 (en) * | 2005-03-25 | 2007-02-06 | Mks Instruments, Inc. | External volume insensitive flow verification |
| US20080232980A1 (en) * | 2007-03-20 | 2008-09-25 | Wei-Meng Huang | Digit button-operated air compressor output control structure |
| FR2914415B1 (fr) * | 2007-03-30 | 2009-05-01 | Renault Sas | Dispositif et procede pour controler le debit d'air mesure par un debimetre electronique. |
| JP6063356B2 (ja) * | 2013-07-04 | 2017-01-18 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 空気流量測定装置の校正装置およびこれを用いた校正方法 |
| US20170003158A1 (en) * | 2015-07-01 | 2017-01-05 | Yow Jung Enterprise Co., Ltd. | Frequency test method of airflow machine |
| US20170002778A1 (en) * | 2015-07-01 | 2017-01-05 | Yow Jung Enterprise Co., Ltd. | System and voltage type method for testing air flow meter |
| JP6978985B2 (ja) * | 2018-07-09 | 2021-12-08 | Ckd株式会社 | ガス流量検定ユニット |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2755663A (en) * | 1953-03-16 | 1956-07-24 | Gen Motors Corp | Engine test air supply system |
| US3026706A (en) * | 1958-05-28 | 1962-03-27 | Black Sivalls & Bryson Inc | Method and apparatus for mass flow measurement |
| US3226973A (en) * | 1963-08-09 | 1966-01-04 | Ernest C Evans | Mass flow measurement methods and apparatus |
| US3469442A (en) * | 1967-04-10 | 1969-09-30 | Lynch Corp | Apparatus for calibrating carburetors |
| US4590790A (en) * | 1985-05-16 | 1986-05-27 | American Meter Company | Method for determining the accuracy of a gas measurement instrument |
| US4879662A (en) * | 1988-03-11 | 1989-11-07 | Sundstrand Corporation | Fluid flow self calibration scheme |
| US5211056A (en) * | 1989-04-14 | 1993-05-18 | Hitachi, Ltd. | Thermal type intake air flow measuring instrument |
-
1992
- 1992-07-13 US US07/912,940 patent/US5299447A/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-06-25 JP JP15475693A patent/JP3222987B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0666622A (ja) | 1994-03-11 |
| US5299447A (en) | 1994-04-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3222987B2 (ja) | 空気流マニホールド装置 | |
| CA2434360C (en) | Product leak testing | |
| US5329966A (en) | Gas flow controller | |
| US4096746A (en) | Flow controller-flow sensor assembly for gas chromatographs and the like | |
| CA2170080C (en) | Flow regulation in gas chromatograph | |
| CA2394293C (en) | Nondestructive testing a sealed product for leaks | |
| EP0749058A2 (en) | Pressure type flow rate control apparatus | |
| US5142483A (en) | Pressure regulating system for positive shut-off pressure controller | |
| JP3290770B2 (ja) | 質量空気流量センサの出力信号を二種の温度で測定する生産用試験設備 | |
| US5161410A (en) | Mass flow sensor for very low fluid flows | |
| US4625545A (en) | Method and apparatus for detecting leaks | |
| US6672130B2 (en) | Pressure generator for portable instrument | |
| WO2019235291A1 (ja) | ガス保安装置 | |
| CA2325856A1 (en) | Method and device for measuring gas permeability through a porous membrane-like material | |
| WO2005043103A2 (en) | Calibration and validation for a leak detector | |
| CN219015429U (zh) | 一种质量流量计校准装置 | |
| USRE33075E (en) | Method and apparatus for detecting leaks | |
| CN113776628B (zh) | 一种高低压及温度可调的层流流量计测试装置 | |
| CN214951687U (zh) | 基于质量流量反馈调节的流量盘流量测量装置 | |
| CN113125793B (zh) | 一种航空升降速度标准装置及方法 | |
| GB2277804A (en) | Calibrating a mass air flow sensor | |
| US3962913A (en) | Carburetor calibration | |
| CN213148199U (zh) | 一种气压传感器的测试装置 | |
| AU729790B2 (en) | Flow regulation in gas chromatograph | |
| CN221302467U (zh) | 一种用于质量流量验证器的校准装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080817 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |