JP3220278B2 - Position detection device - Google Patents

Position detection device

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JP3220278B2 JP09316493A JP9316493A JP3220278B2 JP 3220278 B2 JP3220278 B2 JP 3220278B2 JP 09316493 A JP09316493 A JP 09316493A JP 9316493 A JP9316493 A JP 9316493A JP 3220278 B2 JP3220278 B2 JP 3220278B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明はピストンロッドのスト
ローク位置などを検出する装置の改良に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a device for detecting a stroke position of a piston rod and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】油圧シリンダのピストンロッドのストロ
ーク位置を検出するために、ピストンロッド表面に軸方
向に一定のピッチ間隔で弱磁性材を埋め込んで磁気スケ
ールを作り、シリンダ側に取付けた磁気センサの出力信
号がピストンロッドの移動により正弦波で変化すること
を利用して、分解能の高い位置検出を行うようにした装
置がいくつか提案されている(特開平4−136713
号公報参照)。
2. Description of the Related Art In order to detect the stroke position of a piston rod of a hydraulic cylinder, a magnetic scale is prepared by embedding a weak magnetic material at a constant pitch interval in the axial direction on the surface of the piston rod. Several devices have been proposed which perform position detection with high resolution by utilizing the fact that the output signal changes as a sine wave due to the movement of the piston rod (Japanese Patent Laid-Open No. 4-136713).
Reference).

【0003】これを図3で説明すると、ストローク検出
部は、強磁性材からなるピストンロッド1の表面に弱磁
性部2を等間隔でストローク方向(図で左右方向)に形
成した磁気スケール3と、油圧シリンダのシリンダ側に
取り付けられる磁気センサ4とで構成され、ピストンロ
ッド1がたとえば伸び方向(左方向)に移動すると、磁
気センサ4からは磁気スケールの1ピッチについて一周
期となる二相の正弦波電圧vA、vBが出力され、かつ一
方の一組の素子4A,4Bに対して他方の一組の素子4
C,4Dが図で1/4ピッチ右方向にずらして設けられ
ることから、二相の正弦波電圧vA,vBには図4のよう
に90度の位相差が生じる。
[0003] Referring to Fig. 3 , the stroke detecting unit is composed of a magnetic scale 3 having weak magnetic parts 2 formed at equal intervals on the surface of a piston rod 1 made of a ferromagnetic material in the stroke direction (left-right direction in the figure). And a magnetic sensor 4 attached to the cylinder side of the hydraulic cylinder. When the piston rod 1 moves, for example, in the extending direction (leftward), the magnetic sensor 4 outputs a two-phase two-phase signal for one pitch of the magnetic scale. Sinusoidal voltages v A , v B are output, and one set of elements 4A, 4B is compared with the other set of elements 4A, 4B.
Since C and 4D are shifted in the right direction by 1/4 pitch in the drawing , a 90-degree phase difference is generated between the two-phase sine wave voltages v A and v B as shown in FIG .

【0004】この二相の正弦波出力をコンパレータで波
形成型してパルスVA、VBに変換し、これら2つのパル
スを入力して位相弁別(方向弁別ともいう)・逓倍回路
などを用いてパルスVA、VBの立ち上がりと立ち下がり
でそれぞれ立ち上がるパルス列が図4のように作られ
る。このパルス列をアップダウンカウンタでカウントす
ることで、1ピッチを1/4づつに分割したストローク
位置を検出できるのである。実用化されているもので
は、1ピッチが2mmであり、したがって0.5mmの
単位まで検出できる。
[0004] The two-phase sine wave output waveform by the comparator molded to pulse V A, is converted to V B, using these, and the like enter the two pulses (also referred to as a direction discrimination) phase discrimination by-multiplier circuit pulse V a, a pulse train rises respectively rising and falling of V B is made as shown in FIG. 4. By counting this pulse train with an up / down counter, a stroke position obtained by dividing one pitch into quarters can be detected. In practical use, one pitch is 2 mm, and therefore, detection can be performed up to a unit of 0.5 mm.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の装置
では分解能(検出精度)を高めるため、上記のようにし
て求めたストローク位置(1ピッチを1/4づつに分割
した位置)を粗位置とし、さらに二相の正弦波出力を主
にマイコンからなるコントローラに入力し、コントロー
ラ内で波形処理を行うなどして0.01mm単位の精位
置を演算し、これと粗位置を合算することでストローク
位置を高精度に求めている。
In order to increase the resolution (detection accuracy), the stroke position (position obtained by dividing one pitch into quarters) obtained as described above is used as a coarse position in the above apparatus. In addition, the two-phase sine wave output is input to a controller mainly consisting of a microcomputer, and waveform processing is performed inside the controller to calculate a fine position in units of 0.01 mm, and the stroke is calculated by adding the coarse position to the fine position. The position is required with high accuracy.

【0006】しかしながら、このものでは波形処理にマ
イコンが必要となるため、コントローラが高価である。
However, in this case, since a microcomputer is required for waveform processing, a controller is expensive.

【0007】そこでこの発明は、マイコンを用いるまで
もなく安価な構成で高精度に位置検出を行うことを目的
とする。
Accordingly, an object of the present invention is to perform position detection with high accuracy with an inexpensive configuration without using a microcomputer.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、 (a)移動方向に所定のピッチで弱磁性材を配列して形
成した磁気スケールと、 (b)二組の磁気抵抗素子とこれらに電流を流す電圧源
とからなり、前記磁気スケールの1ピッチを一周期とす
る正弦波を90度の位相差をもって出力する磁気センサ
と、 (c)各相のセンサ出力が正の値のときだけハイレベル
となるパルスをそれぞれ出力する増幅器と、 (d)各相のセンサ出力の絶対値をそれぞれ演算する絶
対値回路と、 (e)この2つの絶対値回路出力の差を計算する減算器
と、 (f)この減算器の減算結果が正の値のときだけハイレ
ベルとなるパルスを出力する増幅器と、 (g)前記増幅器の全部からのパルスを入力し各パルス
の立上がりと立ち下がりのエッジでともに動作してパル
スを発生させる回路と、 (h)このパルス発生回路からのパルス列を用いて位置
を演算する手段とを設けた。
SUMMARY OF THE INVENTION claims 1 invention, (a) a magnetic scale which is formed by arranging a weakly magnetic material with a predetermined pitch in the direction of movement, (b) two sets of magneto-resistive elements and these A magnetic sensor that outputs a sine wave having one cycle of one pitch of the magnetic scale with a phase difference of 90 degrees, and (c) when the sensor output of each phase is a positive value (D) an absolute value circuit for calculating the absolute value of each phase sensor output, and (e) a subtractor for calculating the difference between the two absolute value circuit outputs. (F) an amplifier that outputs a pulse that goes high only when the subtraction result of the subtractor is a positive value; and (g) a pulse from all the amplifiers is input and the rising and falling of each pulse is input. Working together at the edge And (h) means for calculating a position using a pulse train from the pulse generation circuit.

【0009】[0009]

【作用】90度の位相差をもつ二相のセンサ出力が、
(c)の2つの増幅器でパルスに変換されると、パルス
の立ち上がりと立ち下がりのエッジが、従来と同じに1
ピッチ当たり合計で4つになる。
The two-phase sensor output having a phase difference of 90 degrees is
When converted into a pulse by the two amplifiers in (c), the rising and falling edges of the pulse become 1 as in the conventional case.
There will be a total of four per pitch.

【0010】請求項1の発明でさらに二相のセンサ出力
が、(d)の2つの絶対値回路、(e)の減算器、
(f)の増幅器によってパルスに変換されると、このパ
ルスは、立ち上がりと立ち下がりのエッジが1ピッチ当
たり合計で4つになり、かつこれらのエッジは、(c)
の2つの増幅器で変換されるパルスのエッジと異なる位
置に生じることから、(g)のパルス発生回路より1ピ
ッチ当たり8つのパルス列が発生する。
[0010] sensor output of two more phases in the invention of claim 1, two absolute value circuits (d), the subtractor (e),
When converted to a pulse by the amplifier of (f), this pulse has a total of four rising and falling edges per pitch, and these edges are (c)
Since the pulse is generated at a position different from the edge of the pulse converted by the two amplifiers, eight pulse trains are generated per pitch from the pulse generation circuit of (g).

【0011】これより1ピッチを8分割した位置が検出
されることになり、1ピッチ4分割の従来例より倍の精
度になる。
From this, a position obtained by dividing one pitch into eight is detected, and the accuracy is doubled as compared with the conventional example in which one pitch is divided into four.

【0012】また、信号処理回路にマイコンは用いられ
ていない。
No microcomputer is used in the signal processing circuit.

【0013】[0013]

【実施例】油圧シリンダのピストンロッドのストローク
検出部は、図3でも示したように従来と同じである。
Stroke detecting unit of EXAMPLES of the hydraulic cylinder piston rod is the same as conventional as also shown in FIG.

【0014】図3において、磁性材で形成されたピスト
ンロッド1の表面には軸方向に所定の間隔をもって溝が
形成され、この溝に弱磁性部材を埋め込んで等ピッチの
弱磁性部2を形成し、これにより磁気スケール3を構成
する。弱磁性部2の幅は1ピッチPのちょうど半分であ
る。
In FIG . 3 , grooves are formed at predetermined intervals in the axial direction on the surface of a piston rod 1 formed of a magnetic material, and weak magnetic members 2 are formed in the grooves to form a weak magnetic portion 2 at an equal pitch. Thus, the magnetic scale 3 is formed. The width of the weak magnetic portion 2 is exactly half of one pitch P.

【0015】油圧シリンダのシリンダ側(たとえば軸受
部の近傍)には、二組の磁気抵抗素子とバイアス磁石な
どからなる磁気センサ4が備えられ、この磁気センサ4
からは、図2のようにピストンロッド1の変位に伴い磁
気スケール3の1ピッチを一周期として、かつ90度の
位相差のある二相の正弦波が出力される。
A magnetic sensor 4 comprising two sets of magnetoresistive elements and a bias magnet is provided on the cylinder side (for example, near the bearing) of the hydraulic cylinder.
2 outputs a two-phase sine wave with one pitch of the magnetic scale 3 as one cycle and a phase difference of 90 degrees with the displacement of the piston rod 1 as shown in FIG.

【0016】詳細には、各磁気抵抗素子4A,4B,4
C,4Dは、電流の流れている物質に磁界を加えると、
その抵抗が増加する現象(いわゆる磁気抵抗効果)を利
用した素子で、直列接続される一組の磁気抵抗素子4
A,4Bをピストンロッド1の表面近くに配置してピス
トンロッド1を移動させると、磁気抵抗素子4A,4B
を通過するバイアス磁石4Gからの磁束密度が変化し、
これにより各素子の抵抗値RA1,RA2が変化する。この
抵抗値変化をとらえるため、2つの素子4A,4Bの間
の出力を取り出すと、この出力電圧vAは、ピストンロ
ッド1の変位に伴い磁気スケール3の1ピッチを一周期
とする正弦波形で変化する。
More specifically, each of the magnetoresistive elements 4A, 4B, 4
When a magnetic field is applied to a substance in which current is flowing,
An element utilizing the phenomenon that the resistance increases (so-called magnetoresistance effect), and a set of magnetoresistance elements 4 connected in series
When the piston rods 1 are moved near the surface of the piston rod 1, the magnetoresistive elements 4A, 4B
The magnetic flux density from the bias magnet 4G passing through
As a result, the resistance values R A1 and R A2 of each element change. When the output between the two elements 4A and 4B is taken out in order to capture this change in the resistance value, the output voltage v A is represented by a sinusoidal waveform having one pitch of the magnetic scale 3 as one cycle with the displacement of the piston rod 1. Change.

【0017】この一組の磁気抵抗素子4A,4Bと同じ
特性の別の一組の磁気抵抗素子4C,4Dを、一組の素
子4A,4Bに対し図で右方向に1/4ピッチずらせて
配置すると、別の一組の素子4C,4Dの間の出力電圧
Bは、ピストンロッドが図で左方向に移動する(伸び
る)とき、vAの出力波形に対して位相が90度遅れた
正弦波形となる。vA=H・sinθ(ただし、Hは振
幅)とすれば、vB=H・sin(θ−90゜)と表す
ことができるわけである。
Another set of magnetoresistive elements 4C and 4D having the same characteristics as the set of magnetoresistive elements 4A and 4B are shifted from the set of elements 4A and 4B by 1/4 pitch to the right in the figure. When arranged, the output voltage v B between another pair of elements 4C, 4D is delayed by 90 degrees with respect to the output waveform of v A when the piston rod moves (extends) to the left in the figure. It has a sine waveform. If v A = H · sin θ (where H is the amplitude), then v B = H · sin (θ−90 °).

【0018】なお、図3の二組の素子4A,4B,4
C,4Dの左右方向の幅寸法は大略を示したもので、実
際の寸法ではない。また、二組の素子には電源電圧Vc
cをかけることによって各素子に電流を流してしてい
る。
The two elements 4A, 4B, 4 shown in FIG.
The width dimensions in the left and right directions of C and 4D indicate roughly, and are not actual dimensions. The power supply voltage Vc is applied to the two sets of elements.
By applying c, a current flows through each element.

【0019】図1は磁気センサ4からの二相の正弦波出
力vA、vBを信号処理する回路のブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram of a circuit for processing the two-phase sine wave outputs v A and v B from the magnetic sensor 4.

【0020】13,14は絶対値回路で、各出力vA
Bの絶対値を演算する。この絶対値回路はたとえば全
波整流回路などから構成すればよく、この絶対値回路に
より、図2に示したように各出力vA、vBの負の半周期
の波形が正の側に反転される。
Reference numerals 13 and 14 denote absolute value circuits, each of which outputs v A ,
v computes the absolute value of B. This absolute value circuit may be composed of, for example, a full-wave rectifier circuit. By this absolute value circuit, the negative half-cycle waveforms of the outputs v A and v B are inverted to the positive side as shown in FIG. Is done.

【0021】これらの絶対値|vA|、|vB|が入力さ
れる減算器15では、絶対値|vA|から|vB|が差し
引かれる。
[0021] These absolute value | v A |, | in the subtracter 15 is input, the absolute value | | v B v A | from | v B | is subtracted.

【0022】この減算結果も、図2に示したように正弦
波となり、1ピッチに相当する上記正弦波出力vAの一
周期(360度区間)でみると、原点と45度、135
度、225度、315度の4カ所で交わる。
The result of this subtraction also becomes a sine wave as shown in FIG. 2, and when one cycle (360 ° section) of the sine wave output v A corresponding to one pitch is observed, the origin and 45 °, 135 °
Intersects at four points: 225 degrees and 315 degrees.

【0023】減算結果が入力される増幅器16は、他の
2つの増幅器11,12とともに、入力信号が正のとき
だけハイレベルとなる信号を出力するコンパレータで構
成され、これらの増幅器16,11,12で図2のよう
にパルス信号が作られる。
The amplifier 16 to which the result of the subtraction is input is composed of a comparator that outputs a signal that goes high only when the input signal is positive, together with the other two amplifiers 11 and 12. At 12, a pulse signal is generated as shown in FIG.

【0024】全部の増幅器16,11,12からのパル
ス信号が入力されるエッジトリガーパルス回路17はフ
リップフロップで構成され、このパルス回路17ではパ
ルスの立ち上がりと立ち下がりのすべてのエッジで動作
してパルスを発生する。
An edge trigger pulse circuit 17 to which pulse signals from all the amplifiers 16, 11, and 12 are input is constituted by a flip-flop. The pulse circuit 17 operates at all rising and falling edges of the pulse. Generate a pulse.

【0025】増幅器16,11,12の出力に1ピッチ
当たりそれぞれ4つ、2つ、2つのエッジ(増幅器16
の出力について立ち上がり2つ、立ち下がり2つ、増幅
器11と12の出力については立ち上がりと立ち下がり
が1つづつ)があり、かつエッジの位置がいずれも重な
らないため、合計8(=4+2+2)のパルス列が発生
するのである。しかも、パルスの発生する角度は、0
度、45度、90度、135度、…、315度と、45
度のごとの等間隔になっている。
The outputs of the amplifiers 16, 11, 12 each have four, two, and two edges per pitch (amplifier 16).
, Two rising edges and two falling edges, and the outputs of the amplifiers 11 and 12 have one rising edge and one falling edge), and the positions of the edges do not overlap, so that a total of 8 (= 4 + 2 + 2) A pulse train is generated. Moreover, the angle at which the pulse is generated is 0.
Degrees, 45 degrees, 90 degrees, 135 degrees, ..., 315 degrees, and 45
It is equally spaced every degree.

【0026】このようにして、磁気スケール3の1ピッ
チ当たり8個のパルス列が発生することになると、この
パルス列をアップダウンカウンタなどでカウント(たと
えばピストンロッドの伸び方向でカウントアップ、縮み
方向でカウントダウン)することで、1ピッチを8分割
したストローク位置を検出することが可能となる。従来
は1ピッチが4分割でしかなかったのであるから、従来
の倍も精度がよくなるわけである。たとえば、1ピッチ
が2mmの磁気スケールにすれば、分解能が0.25m
mになるのである。
In this way, when eight pulse trains are generated per pitch of the magnetic scale 3, the pulse trains are counted by an up-down counter or the like (for example, counting up in the extension direction of the piston rod, counting down in the contraction direction). ), It is possible to detect a stroke position obtained by dividing one pitch into eight. In the past, one pitch was only divided into four, so that the accuracy was improved twice as much as in the conventional case. For example, if the pitch is 2 mm, the resolution is 0.25 m.
m.

【0027】また、図1に示したように2つの絶対値回
路13,14、1つの減算器15、1つの増幅器16か
らなる簡単な回路を追加するだけで、マイコンを使わず
に構成されるため、それほどコストが上昇することもな
い。
Further, as shown in FIG. 1, a simple circuit including two absolute value circuits 13 and 14, one subtracter 15, and one amplifier 16 is added, and the circuit is constructed without using a microcomputer. Therefore, the cost does not increase so much.

【0028】なお、二組の磁気抵抗素子は同性能である
ため、経年変化や摺動部の摩耗によりセンサ出力が変化
しても、パルス間隔に生じる変化は少ない。
Since the two sets of magnetoresistive elements have the same performance, even if the sensor output changes due to aging or abrasion of the sliding portion, a small change occurs in the pulse interval.

【0029】図1において減算器15と増幅器16と
つの差動増幅器で構成することもできる。
In FIG. 1, a subtractor 15 and an amplifier 16 are connected.
It is also possible to configure a single differential amplifier.

【0030】[0030]

【発明の効果】請求項1の発明では、移動方向に所定の
ピッチで弱磁性材を配列して形成した磁気スケールと、
二組の磁気抵抗素子とこれらに電流を流す電圧源とから
なり、前記磁気スケールの1ピッチを一周期とする正弦
波を90度の位相差をもって出力する磁気センサと、各
相のセンサ出力が正の値のときだけハイレベルとなるパ
ルスをそれぞれ出力する増幅器と、各相のセンサ出力の
絶対値をそれぞれ演算する絶対値回路と、この2つの絶
対値回路出力の差を計算する減算器と、この減算器の減
算結果が正の値のときだけハイレベルとなるパルスを出
力する増幅器と、前記増幅器の全部からのパルスを入力
し各パルスの立上がりと立ち下がりのエッジでともに動
作してパルスを発生させる回路と、このパルス発生回路
からのパルス列を用いて位置を演算する手段とを設けた
ため、マイコンを使うことなく、従来より倍の精度で位
置検出を行うことができる。
In the claims 1 invention, according to the present invention, a magnetic scale which is formed by arranging a weakly magnetic material with a predetermined pitch in the direction of movement,
A magnetic sensor comprising two sets of magneto-resistive elements and a voltage source for passing a current through them, outputting a sine wave having one pitch of the magnetic scale as one cycle with a phase difference of 90 degrees, and a sensor output of each phase. An amplifier that outputs a pulse that goes high only when the value is a positive value, an absolute value circuit that calculates the absolute value of the sensor output of each phase, and a subtractor that calculates the difference between the two absolute value circuit outputs. An amplifier that outputs a pulse that goes high only when the subtraction result of the subtracter is a positive value, and a pulse that receives pulses from all of the amplifiers and operates together at the rising and falling edges of each pulse. And a means for calculating the position using the pulse train from this pulse generation circuit, so that the position can be detected with twice the accuracy without using a microcomputer. It can be.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】一実施例の信号処理回路のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of a signal processing circuit according to one embodiment.

【図2】信号処理回路の各位置での波形図である。FIG. 2 is a waveform diagram at each position of a signal processing circuit.

【図3】従来例のストローク検出部の詳細図である。FIG. 3 is a detailed view of a conventional stroke detection unit.

【図4】従来例の波形図である。FIG. 4 is a waveform diagram of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ピストンロッド 2 弱磁性部 3 磁気スケール 4 磁気センサ 4A〜4D 磁気抵抗素子 4G バイアス磁石 11,12 増幅器 13,14 絶対値回路 15 減算器 16 増幅器 17 エッジトリガーパルス回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Piston rod 2 Weak magnetic part 3 Magnetic scale 4 Magnetic sensor 4A-4D Magnetic resistance element 4G Bias magnet 11,12 Amplifier 13,14 Absolute value circuit 15 Subtractor 16 Amplifier 17 Edge trigger pulse circuit

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 移動方向に所定のピッチで弱磁性材を配
列して形成した磁気スケールと、 二組の磁気抵抗素子とこれらに電流を流す電圧源とから
なり、前記磁気スケールの1ピッチを一周期とする正弦
波を90度の位相差をもって出力する磁気センサと、 各相のセンサ出力が正の値のときだけハイレベルとなる
パルスをそれぞれ出力する増幅器と、 各相のセンサ出力の絶対値をそれぞれ演算する絶対値回
路と、 この2つの絶対値回路出力の差を計算する減算器と、 この減算器の減算結果が正の値のときだけハイレベルと
なるパルスを出力する増幅器と、 前記増幅器の全部からのパルスを入力し各パルスの立上
がりと立ち下がりのエッジでともに動作してパルスを発
生させる回路と、 このパルス発生回路からのパルス列を用いて位置を演算
する手段とを設けたことを特徴とする位置検出装置。
1. A magnetic scale formed by arranging weak magnetic materials at a predetermined pitch in a moving direction, two sets of magnetoresistive elements, and a voltage source for supplying a current to these magnetic scales. A magnetic sensor that outputs a sine wave having one cycle with a phase difference of 90 degrees, an amplifier that outputs a pulse that goes high only when the sensor output of each phase is a positive value, and an absolute value of the sensor output of each phase. An absolute value circuit for calculating each value, a subtractor for calculating the difference between the outputs of the two absolute value circuits, an amplifier for outputting a pulse which becomes high only when the subtraction result of the subtractor is a positive value, A circuit that receives pulses from all the amplifiers and operates together at the rising and falling edges of each pulse to generate a pulse; and calculates the position using a pulse train from the pulse generation circuit. Position detecting device characterized by providing a means that.
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