JPH0458881B2 - - Google Patents

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JPH0458881B2
JPH0458881B2 JP6667185A JP6667185A JPH0458881B2 JP H0458881 B2 JPH0458881 B2 JP H0458881B2 JP 6667185 A JP6667185 A JP 6667185A JP 6667185 A JP6667185 A JP 6667185A JP H0458881 B2 JPH0458881 B2 JP H0458881B2
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JP
Japan
Prior art keywords
stator
sensor
pulse motor
movable element
linear pulse
Prior art date
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Expired
Application number
JP6667185A
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Japanese (ja)
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JPS61226613A (en
Inventor
Tsutomu Mizuno
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
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Publication date
Application filed by Amada Co Ltd filed Critical Amada Co Ltd
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Publication of JPH0458881B2 publication Critical patent/JPH0458881B2/ja
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Description

【発明の詳細な説明】 a 産業上の利用分野 この発明はリニアパルスモータの可動子の位置
検出センサに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION a. Field of Industrial Application This invention relates to a position detection sensor for a movable element of a linear pulse motor.

b 従来の技術 リニアパルスモータの可動子の固定子に対する
位置の検出には、例えばホール素子を利用したも
のがある。即ち、固定子の歯のピツチと同じ間隔
の磁性体のブロツクの端部にホール素子を挾持
し、ブロツクの中央部に永久磁石を設けたものを
可動子側に固着したものである。両ブロツクの固
定子の歯に対する位置によりホール素子を通過す
る磁束が変り、ホール素子の出力信号が変化する
ので、この出力信号をカウントすることにより、
通過した歯の数を検出し位置を知るものである。
b. Prior Art There is a method using, for example, a Hall element to detect the position of a movable element of a linear pulse motor with respect to a stator. That is, a Hall element is sandwiched between the ends of a block of magnetic material with the same spacing as the tooth pitch of the stator, and a permanent magnet is provided in the center of the block, which is fixed to the movable element. The magnetic flux passing through the Hall element changes depending on the position of both blocks with respect to the teeth of the stator, and the output signal of the Hall element changes, so by counting this output signal,
The position is determined by detecting the number of teeth that have passed.

この他にも、磁気抵抗効果素子を用いたものも
ある。即ち、固定子と一定間隔を保持し、固定子
の歯のピツチに対して規則的に配列された磁気抵
抗効果素子と、これを励磁する永久磁石を可動子
側に設けたものである。一群の磁気抵抗効果素子
は固定子の歯との相対位置により、これを通過す
る磁束が変化するので、出力信号が変化する。こ
れをカウントして可動子の位置を検出するもので
ある。いずれの場合も、固定子の歯との相対位置
により磁束が変化することを利用したもので、同
じ構造のものを2個固定子の歯のピツチの1/4だ
け位相をずらせて設けることにより、両者の出力
から移動方向を知ることもできる。
In addition to this, there are also devices that use magnetoresistive elements. That is, the movable element is provided with magnetoresistive elements that are spaced apart from the stator and arranged regularly with respect to the tooth pitch of the stator, and a permanent magnet that excites the elements. The magnetic flux passing through the group of magnetoresistive elements changes depending on their relative position to the teeth of the stator, so the output signal changes. This is counted to detect the position of the movable element. In either case, this method takes advantage of the fact that the magnetic flux changes depending on the relative position to the stator teeth, and by installing two pieces of the same structure with a phase difference of 1/4 of the pitch of the stator teeth. , it is also possible to know the direction of movement from the outputs of both.

c 発明が解決しようとする問題点 前記のように、従来のリニアパルスモータの位
置検出センサは、比較的構造が複雑で、高価にな
る嫌があつた。この発明は、このような問題を改
善するために行なわれたもので、簡易で、安定に
作動し、安価なリニアパルスモータの位置検出セ
ンサを提供することを目的とするものである。
c. Problems to be Solved by the Invention As described above, the conventional position detection sensor for a linear pulse motor has a relatively complicated structure and tends to be expensive. The present invention has been made to solve these problems, and an object of the present invention is to provide a position detection sensor for a linear pulse motor that is simple, operates stably, and is inexpensive.

d 問題を解決するための手段 前記の目的を達成するために、この発明は、リ
ニアパルスモータの可動子に固着され、固定子と
一定の間隔を保持し、固定子の歯と同一ピツチで
配列され、磁気回路に高透磁率の材料を備えた励
磁コイルと、該励磁コイルの直下に、これと同一
ピツチで配列され、固定子と一定間隔を保持し、
可動子に固着された検出コイルとから構成された
センサブロツクからなるものである。
d. Means for Solving the Problem In order to achieve the above object, the present invention provides a linear pulse motor that is fixed to the mover of a linear pulse motor, maintains a constant distance from the stator, and is arranged at the same pitch as the teeth of the stator. and an excitation coil having a magnetic circuit made of a material with high magnetic permeability, arranged directly below the excitation coil at the same pitch as the excitation coil, and maintaining a constant distance from the stator,
It consists of a sensor block consisting of a detection coil fixed to a movable element.

e 作用 次に、この発明の作用について図面によつて説
明する。第2図の励磁コイル11に交流電圧E0
sinωtを印加すると、検出コイル15に近似的に、
E1sinωt・cos(2πx/p)の電圧が発生する。但
しpは固定子の歯のピツチ、xは第2図bのよう
に固定子の溝の中心からコイル15までの距離で
ある。E1sinωtを実効値E1/√2で表わすと検出
コイル15で検出された電圧はE1/√2・cos
(2πx/p)となる。この電圧を波形整形回路で
デイジタル信号に変換すればxに対してピツチp
のパルス波が得られる。したがつて、これをカウ
ンタでカウントすれば可動子の位置を知ることが
できる。
e Function Next, the function of this invention will be explained with reference to the drawings. AC voltage E 0 is applied to the excitation coil 11 in Fig. 2.
When sinωt is applied to the detection coil 15, approximately
A voltage of E 1 sinωt・cos (2πx/p) is generated. However, p is the pitch of the stator teeth, and x is the distance from the center of the stator groove to the coil 15 as shown in FIG. 2b. When E 1 sinωt is expressed as the effective value E 1 /√2, the voltage detected by the detection coil 15 is E 1 /√2・cos
(2πx/p). If this voltage is converted into a digital signal by a waveform shaping circuit, the pitch p for x
A pulse wave of Therefore, by counting this with a counter, the position of the movable element can be known.

また、例えば第1図のように2個のセンサブロ
ツクをその位相差が固定子の歯のピツチpの1/4
になるように設け、これらの出力を公知の方向判
別回路に入力すれば、可動子の移動方向も知るこ
とができる。更に、この方向判別回路の出力をア
ツプダウンカウンタに入力すれば、移動方向に
かゝわらず可動子の現在位置を知ることができ
る。また、第1センサブロツクと第2センサブロ
ツクの出力を方向判別回路に入力すれば可動子の
移動方向を知ることができる。
For example, as shown in Fig. 1, two sensor blocks can be arranged so that their phase difference is 1/4 of the stator tooth pitch p.
By inputting these outputs to a known direction determining circuit, the moving direction of the movable element can also be determined. Furthermore, by inputting the output of this direction determining circuit to an up-down counter, the current position of the movable element can be known regardless of the moving direction. Further, by inputting the outputs of the first sensor block and the second sensor block to a direction determining circuit, the moving direction of the movable element can be determined.

f 実施例 次に、この発明の実施例について図面に基づい
て説明する。第1図はこの発明のセンサをリニア
パルスモータに取付けた一実施例である。リニア
パルスモータは固定子1及び可動子3からなり、
可動子3の左端に設けられたブラケツト5に、第
1センサブロツク7及び第2センサブロツク9
が、固定子1の歯のピツチpの1/4の位相差をも
つて固定されている。センサブロツクの詳細は第
2図のa,bに示してある。ここには、センサブ
ロツクの1つを示してある。
f Example Next, an example of the present invention will be described based on the drawings. FIG. 1 shows an embodiment in which the sensor of the present invention is attached to a linear pulse motor. The linear pulse motor consists of a stator 1 and a mover 3.
A first sensor block 7 and a second sensor block 9 are mounted on a bracket 5 provided at the left end of the movable element 3.
are fixed with a phase difference of 1/4 of the tooth pitch p of the stator 1. Details of the sensor block are shown in FIGS. 2a and 2b. One of the sensor blocks is shown here.

励磁コイル11及び検出コイル15は、図のよ
うに固定子1の歯と同一のピツチで配列結線さ
れ、上部に例えばパーマロイ等の高透磁率の材料
13が設けられている。検出コイルの下面は固定
子の歯と一定間隔gを保持するように取付けられ
ている。
The excitation coil 11 and the detection coil 15 are arranged and connected at the same pitch as the teeth of the stator 1 as shown in the figure, and a high permeability material 13 such as permalloy is provided on the upper part. The lower surface of the detection coil is attached so as to maintain a constant distance g from the teeth of the stator.

このように構成されたセンサの励磁コイル11
に交流電圧を印加すると、既に作用eの項で説明
したように検出コイル15にcos(2πx/p)に比
例した電圧を発生する。これを波形整形すればx
に対するピツチpのパルス波が得られるので、こ
れをカウンタでカウントすれば可動子の位置を知
ることができる。また、第1センサブロツク7と
第2センサブロツク9の出力を方向判別回路に入
力すれば可動子の移動方向を知ることができる。
Excitation coil 11 of the sensor configured in this way
When an alternating current voltage is applied to , a voltage proportional to cos (2πx/p) is generated in the detection coil 15 as already explained in the section of the effect e. If you waveform shape this, x
Since a pulse wave of pitch p is obtained, the position of the movable element can be known by counting this with a counter. Further, by inputting the outputs of the first sensor block 7 and the second sensor block 9 to a direction determining circuit, the moving direction of the movable element can be determined.

g 発明の効果 以上の説明から理解されるように、この発明は
特許請求の範囲に記載の構成を備えているので、
簡単な構造で安定して動作し、安価なリニアパル
スモータの位置検出センサを提供することができ
る。
g. Effects of the invention As understood from the above explanation, this invention has the configuration described in the claims.
It is possible to provide a position detection sensor for a linear pulse motor that has a simple structure, operates stably, and is inexpensive.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明を実施したリニアパルスモー
タの側面図、第2図aはこの発明のセンサブロツ
クの平面図、同じくbは側面図である。 1……リニアパルスモータの固定子、3……同
じく可動子、7……第1センサブロツク、9……
第2センサブロツク、11……励磁コイル、13
……高透磁率材料、15……検出コイル。
FIG. 1 is a side view of a linear pulse motor embodying the invention, FIG. 2a is a plan view of a sensor block of the invention, and FIG. 2b is a side view. 1... Stator of linear pulse motor, 3... Also mover, 7... First sensor block, 9...
Second sensor block, 11... Excitation coil, 13
...High magnetic permeability material, 15...Detection coil.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 リニアパルスモータの可動子に固着され、固
定子と一定の間隔を保持し、固定子の歯と同一ピ
ツチで配列され、磁気回路に高透磁率の材料を備
えた励磁コイルと、該励磁コイルの直下に、これ
と同一ピツチで配列され、固定子と一定間隔を保
持し、可動子に固着された検出コイルとから構成
されたセンサブロツクよりなるリニアパルスモー
タの位置検出センサ。 2 前記センサブロツクが少なくとも2つからな
り、各ブロツクは固定子の歯に対して、相互に位
置差をもつて配列されていることを特徴とする、
第1項記載のリニアパルスモータの位置検出セン
サ。
[Scope of Claims] 1. An excitation device that is fixed to the movable element of a linear pulse motor, maintains a constant distance from the stator, is arranged at the same pitch as the teeth of the stator, and has a magnetic circuit made of a material with high magnetic permeability. Position detection of a linear pulse motor consisting of a sensor block consisting of a coil and a detection coil arranged directly below the excitation coil at the same pitch, maintained at a constant distance from the stator, and fixed to the movable element. sensor. 2. The sensor block is characterized in that it consists of at least two, and each block is arranged with a mutual positional difference with respect to the teeth of the stator.
A position detection sensor for a linear pulse motor according to item 1.
JP6667185A 1985-04-01 1985-04-01 Position detecting sensor for linear pulse motor Granted JPS61226613A (en)

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JP6667185A JPS61226613A (en) 1985-04-01 1985-04-01 Position detecting sensor for linear pulse motor

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JPS61226613A JPS61226613A (en) 1986-10-08
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US20130200884A1 (en) * 2012-02-08 2013-08-08 Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha Position sensor

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