JP3217540B2 - Microscope stage and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は耐食性と耐磨耗性の高い
顕微鏡ステージおよびその製造方法に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microscope stage having high corrosion resistance and high abrasion resistance and a method for manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光学顕微鏡における標本保持用の台であ
る顕微鏡ステージは、板ガラス等で作られた標本（プレ
パラート）を、観察用のレンズ系における対物レンズの
光軸に対してＸおよびＹ軸方向に移動させることがで
き、標本を保持しつつ、その標本の観察したい領域を対
物レンズの光軸に対して移動させることができるもので
ある。2. Description of the Related Art A microscope stage, which is a stage for holding a sample in an optical microscope, moves a sample (preparation) made of sheet glass or the like in the X and Y directions with respect to the optical axis of an objective lens in an observation lens system. In this case, the region to be observed of the sample can be moved with respect to the optical axis of the objective lens while holding the sample.
【０００３】一般的に従来のステージは、図５に示すよ
うに、方形板状のステージ本体１００の中央に照明光を
透過させるための長孔１００ａが穿設されており、顕微
鏡の図示しないベース（鏡体）に立てられた支柱に、ス
テージの面を水平にして取り付けられ、図示矢印Ｙ方向
に移動可能に保持されている。In general, a conventional stage is provided with a long hole 100a for transmitting illumination light at the center of a square plate-shaped stage main body 100 as shown in FIG. The stage is mounted horizontally on a support standing on the (mirror body), and is held so as to be movable in the direction of the arrow Y in the figure.
【０００４】ステージ本体１００における一端側（前記
支柱側）にはその側縁に平行に移動するガイド１００ｂ
が設けられ、このガイド１００ｂには標本ホルダ２００
がその両端近傍をねじ２００ａにより、着脱自在に取り
付けられる。A guide 100b that moves parallel to the side edge of the stage body 100 at one end side (the column side).
The guide 100b is provided with a specimen holder 200.
Are removably attached to the vicinity of both ends by screws 200a.
【０００５】標本ホルダ２００は板体で作られており、
方形の基部２００ｂの一端縁は図のように舌片を伸延さ
せて固定アーム部２００ｃとしてあるとともに、基部２
００ｂにはこの固定アーム部２００ｃと対向するように
鉤形のプレパラート押さえ爪２００ｄを設けてある。プ
レパラート押さえ爪２００ｄは鉤形に折り曲る部分に軸
２００ｅを設けて、この軸２００ｅを図のように基部２
００ｂに取り付けると共に、バネを設けて軸２００ｅを
中心にプレパラート押さえ爪２００ｄが矢印Ｃ方向に偏
倚されるようにしてある。[0005] The specimen holder 200 is made of a plate.
One end edge of the rectangular base 200b is formed as a fixed arm 200c by extending a tongue piece as shown in the figure, and the base 2
00b is provided with a hook-shaped preparation holding claw 200d so as to face the fixed arm portion 200c. The preparation holding claw 200d is provided with a shaft 200e at a portion bent in a hook shape, and this shaft 200e is connected to the base 2 as shown in the figure.
00b, and a spring is provided so that the slide holding claw 200d is biased in the direction of arrow C about the shaft 200e.
【０００６】また、プレパラート押さえ爪２００ｄは固
定アーム部２００ｃと対向する辺が弓型に湾曲してお
り、操作レバー部２００ｆを矢印Ａ方向に手で操作する
ことで、固定アーム部２００ｃに対向するプレパラート
押さえ爪２００ｄの片は矢印Ｂ方向に開くことができる
ようにしてある。そして、操作レバー部２００ｆを放す
と、プレパラート押さえ爪２００ｄはバネ力によりＣ方
向に戻るようになっている。The side of the preparation holding claw 200d facing the fixed arm 200c is curved in an arc shape, and is manually opposed to the fixed arm 200c by operating the operation lever 200f in the direction of arrow A. A piece of the slide holding claw 200d can be opened in the direction of arrow B. When the operating lever 200f is released, the slide holding claw 200d returns to the direction C by the spring force.
【０００７】このような構成において、ステージに標本
であるスライドガラス３００をセットするには、操作レ
バー部２００ｆを手で操作して標本ホルダ２００におけ
るプレパラート押さえ爪２００ｄをバネ力に抗して矢印
Ｂ方向に開き、ステージ本体１００の板面を滑らせて、
スライドガラス３００を標本ホルダ２００部分に押し込
む。すなわち、固定アーム部２００ｃと基部２００ｂお
よび開放されたプレパラート押さえ爪２００ｄで囲まれ
る領域にスライドガラス３００を押し込み、スライドガ
ラス３００の端縁が固定アーム部２００ｃおよび基部２
００ｂの位置規制面に接するようにする。In such a configuration, in order to set the slide glass 300 as a sample on the stage, the operation lever 200f is manually operated to move the slide holding claw 200d of the sample holder 200 against the arrow B against the spring force. Open in the direction, slide the plate surface of the stage body 100,
The slide glass 300 is pushed into the specimen holder 200. That is, the slide glass 300 is pushed into a region surrounded by the fixed arm portion 200c and the base portion 200b and the opened slide holding claw 200d, and the edges of the slide glass 300 are fixed to the fixed arm portion 200c and the base portion 2.
00b.
【０００８】この状態で、操作レバー部２００ｆを放す
と、プレパラート押さえ爪２００ｄはバネ力により矢印
Ｃ方向に回動し、スライドガラス３００を標本ホルダ２
００の位置規制面に押し付ける。プレパラート押さえ爪
２００ｄは弓型に反っており、スライドガラス３００の
側を凹部としてあるので、スライドガラス３００はプレ
パラート押さえ爪２００ｄの凹部で抱え込まれるように
標本ホルダ２００の位置規制面に押し付けられる結果、
固定アーム部２００ｃおよび基部２００ｂに接するかた
ちで定位置に保持されることになる。When the operating lever 200f is released in this state, the slide holder 200d rotates in the direction of arrow C by the spring force, and the slide glass 300 is moved to the specimen holder 2.
Press against the 00 position regulation surface. Since the slide holding claw 200d is curved in an arc shape and the side of the slide glass 300 is formed as a recess, the slide glass 300 is pressed against the position regulating surface of the specimen holder 200 so as to be held in the recess of the slide holding claw 200d.
The fixed arm portion 200c and the base portion 200b are held at fixed positions in contact with each other.
【０００９】そして、観察が済むと、再びプレパラート
押さえ爪２００ｄを手で開き、スライドガラス３００を
手前に引き出して取り出す。このように、スライドガラ
スを顕微鏡のステージにセットするには標本ホルダのプ
レパラート押さえ爪を開き、ステージ上を滑らせながら
スライドガラスを標本ホルダの定位置にセットし、プレ
パラート押さえ爪を閉じる。When the observation is completed, the slide holding claw 200d is opened again by hand, and the slide glass 300 is pulled out and taken out. As described above, to set the slide glass on the microscope stage, the slide holder of the specimen holder is opened, the slide glass is set at a fixed position of the slide holder while sliding on the stage, and the slide holder is closed.
【００１０】これは本来の操作法であるが、多数の検体
を次々に捌いてゆかなければならないような現場で使用
される場合等では、いちいちプレパラート押さえ爪を開
いてスライドガラスをセットすると云ったことはせず、
作業能率の点からスライドガラスの端部でこじ開けるよ
うにしてプレパラート押さえ爪を開き、スライドガラス
を標本ホルダの定位置にセットすると云った使い方をす
る。[0010] This is the original operation method, but it is said that when used in the field where a large number of samples must be handled one after another, the slide holding claw is opened and the slide glass is set one by one. Do nothing
From the point of view of work efficiency, the slide holder is opened by prying at the end of the slide glass, and the slide glass is set at a fixed position of the specimen holder.
【００１１】その際、ステージ上に強く押し付けるよう
なかたちでスライドガラスを滑らせることになり、その
結果、ステージ上面をスライドガラスで削り取るような
状態になる。At this time, the slide glass is slid in such a manner as to be pressed strongly on the stage, and as a result, the upper surface of the stage is cut off with the slide glass.
【００１２】一般的に光学顕微鏡は軽量化と型成形の容
易さの観点から、構造物はアルミニウムを素材として構
成しており、ステージもアルミニウムで形成してある。
素材としてのアルミニウムは極めて柔らかいものであ
り、表面にはフッ素系固体潤滑材を塗布したり、あるい
はメッキを施したりしているものの、硬いスライドガラ
スを滑らせていると、表面の塗膜を削り、やがて母材で
あるアルミニウム層までも削り出すことになる。Generally, the structure of an optical microscope is made of aluminum and the stage is also made of aluminum from the viewpoint of weight reduction and ease of molding.
Aluminum as a material is extremely soft, and although a fluorine-based solid lubricant is applied or plated on the surface, if a hard slide glass is slid, the coating on the surface is scraped. Eventually, even the aluminum layer, which is the base material, will be cut out.
【００１３】顕微鏡は通常、長年に亙って使用する機材
であり、このようなステージの磨耗は見苦しいものであ
るばかりか、削られて発生した粉末が検体に付着したり
して支障を来す。The microscope is usually used for many years, and such abrasion of the stage is not only unsightly, but also causes troubles such as powder generated by shaving and adhering to the specimen. .
【００１４】そこで、硬いスライドガラスの着脱にも十
分耐えることができる顕微鏡ステージとして、母材表面
にセラミックス粉末の溶射被膜を形成するようにしたも
のが提案された。In view of the above, there has been proposed a microscope stage in which a sprayed coating of ceramic powder is formed on the surface of a base material as a microscope stage which can sufficiently withstand the attachment and detachment of a hard slide glass.
【００１５】これはステージの母材表面に硬いセラミッ
クス粉末の溶射被膜を形成して表面保護膜とするように
したものであり、スライドガラスを着脱しても硬い溶射
被膜がステージの母材を保護できるようになり、また、
耐磨耗性があることから、発塵も抑止できるようになる
ものである。In this method, a hard ceramic powder thermal spray coating is formed on the surface of the stage base material to form a surface protective film. Even when the slide glass is attached or detached, the hard thermal spray coating protects the stage base material. Will be able to
Since it has abrasion resistance, dust generation can be suppressed.
【００１６】ところで、セラミックス粉末の溶射被膜を
ステージの表面に形成するには次のようにする。図６は
プラズマ溶射法に使用するプラズマ溶射ガン２０を示す
もので、内径が細く絞られたプラズマガス放出路２１ａ
を有するノズル２１の内側にはプラズマガス放出路２１
ａの開口部近傍に電極（陰極）が配置され、ノズル２１
は陽極としてあって、これら陽極‐陰極間に高圧電圧を
印加し、ノズル２１内にプラズマガスを供給すること
で、これら電極間にプラズマ放電させる。このとき、プ
ラズマガスはプラズマ放電により高温になり、プラズマ
炎２２となって勢い良くプラズマガス放出路２１ａから
ノズル２１外に噴出される。Incidentally, a thermal spray coating of ceramic powder is formed on the surface of the stage as follows. FIG. 6 shows a plasma spraying gun 20 used for the plasma spraying method.
Inside the nozzle 21 having the plasma gas discharge path 21
The electrode (cathode) is arranged near the opening of the nozzle 21a.
Is used as an anode, a high voltage is applied between the anode and the cathode, and a plasma gas is supplied into the nozzle 21 to cause plasma discharge between the electrodes. At this time, the temperature of the plasma gas becomes high due to the plasma discharge, and becomes a plasma flame 22 to be vigorously jetted out of the nozzle 21 from the plasma gas discharge passage 21a.
【００１７】ノズル２１の外側にはプラズマガス放出路
２１ａに近接させてセラミックス粉末の供給パイプ２３
が配設されており、ノズル２１から放出されるプラズマ
炎２２のジェット流によって、供給パイプ２３から供給
されるセラミックス粉末はプラズマ炎２２の中に吸い込
まれ、プラズマ炎２２の熱で溶かされてジェット流とと
もに飛ばされる。Outside the nozzle 21, a ceramic powder supply pipe 23 is placed close to the plasma gas discharge passage 21a.
The ceramic powder supplied from the supply pipe 23 is sucked into the plasma flame 22 by the jet flow of the plasma flame 22 released from the nozzle 21, and is melted by the heat of the plasma flame 22 and jetted. Flyed with the flow.
【００１８】ノズル２１の外部には所定間隔離してステ
ージの母材２４が配置され、プラズマ炎２２のジェット
流はこの母材２４の表面に吹き付けられる。その結果、
ジェット流内の溶融したセラミックス粒子は母材２４の
表面に勢い良くぶつかり、母材２４の表面に溶着して溶
射被膜２５を形成する。A stage base material 24 is disposed outside the nozzle 21 at a predetermined distance from the nozzle 21, and a jet stream of the plasma flame 22 is blown onto the surface of the base material 24. as a result,
The melted ceramic particles in the jet flow vigorously hit the surface of the base material 24 and weld to the surface of the base material 24 to form a thermal spray coating 25.
【００１９】図７はこの溶射被膜２５の形成の様子を模
式的に描いたもので、ジェット流に乗って勢い良く放出
された高温のセラミックス溶射粒子２６は、母材２４の
表面に次々に溶着し、溶射被膜２５を形成する。セラミ
ックス溶射粒子２６は一つ一つは小さな粒であり、母材
２４の表面に到達すると冷やされるため、粒子間には隙
間（気孔）２７が生じている。FIG. 7 schematically shows how the thermal spray coating 25 is formed. The high-temperature ceramic thermal spray particles 26 which are energetically discharged by the jet flow are deposited on the surface of the base material 24 one after another. Then, a thermal spray coating 25 is formed. Each of the ceramic spray particles 26 is a small particle, and is cooled when it reaches the surface of the base material 24, so that gaps (pores) 27 are generated between the particles.
【００２０】しかし、極めて容易に母材２４の表面に硬
いセラミックスの膜を形成することができる。ここで、
顕微鏡ステージの表面保護膜形成には溶射によるセラミ
ック膜を定着し易くするために、図８（ａ）に示すよう
に、顕微鏡のステージを構成する母材２４に数ｋｇ／ｃ
ｍ2 程度の吹き付け強さでブラストをかけて、母材表面
を粗面２４ａに仕上げる。そして、次に数十μｍ程度の
粒度のセラミックス粉末をプラズマ溶射ガンにより、ス
テージの母材２４の表面に溶射してセラミックスの溶射
粒子による厚み０．５mm程度の溶射被膜２５を形成する
（図８（ｂ））。However, a hard ceramic film can be formed on the surface of the base material 24 very easily. here,
As shown in FIG. 8A, a base material 24 constituting a stage of a microscope is several kg / c in order to easily fix a ceramic film by thermal spraying to form a surface protective film of the microscope stage.
The surface of the base material is finished to a rough surface 24a by blasting with a spraying strength of about m 2 . Then, ceramic powder having a particle size of about several tens of μm is sprayed onto the surface of the base material 24 of the stage by a plasma spray gun to form a sprayed coating 25 having a thickness of about 0.5 mm by sprayed ceramic particles (FIG. 8). (B)).
【００２１】そして、溶射被膜２５を研磨装置３０によ
り研磨し（図８（ｃ））、粗さ６μｍ程度、膜厚０．１
５〜０．３mm程度の表面保護膜２５ａに仕上げる（図８
（ｄ））。この研磨が完了すると、ステージとして完成
する。Then, the sprayed coating 25 is polished by the polishing device 30 (FIG. 8C), and the roughness is about 6 μm and the film thickness is 0.1.
Finish the surface protection film 25a of about 5 to 0.3 mm (FIG. 8)
(D)). When the polishing is completed, the stage is completed.
【００２２】セラミックスの溶射粒子による表面保護膜
２５ａの表面硬度はＨｖ（ビッカース硬度）７００〜１
０００程度ある。これはガラスに対する硬度として十分
なものである。The surface hardness of the surface protective film 25a made of ceramic spray particles is Hv (Vickers hardness) 700-1.
There are about 000. This is a sufficient hardness for glass.
【００２３】[0023]
【発明が解決しようとする課題】ところで、顕微鏡ステ
ージは母材がアルミニウムであり、セラミックスの溶射
による表面保護膜２ａは多孔質であるため、母材表面は
外部に事実上、露出しているのと同じ条件になる。その
ため、外部雰囲気やアルミニウムに対する腐食性の液体
の付着による母材の腐食を防止するために母材には予め
アルマイト処理してアルミニウム酸化膜による保護膜を
形成しておくと良い。この保護膜はアルミ地肌に比べる
と耐磨耗性もあり、母材の保護に好都合である。However, since the base material of the microscope stage is aluminum and the surface protective film 2a formed by spraying ceramics is porous, the surface of the base material is practically exposed to the outside. It becomes the same condition as. Therefore, in order to prevent the corrosion of the base material due to the adhesion of the corrosive liquid to the external atmosphere or aluminum, the base material is preferably previously subjected to alumite treatment to form a protective film of an aluminum oxide film. This protective film has abrasion resistance as compared with the aluminum background, and is convenient for protecting the base material.
【００２４】しかしながら、この場合、保護膜を形成し
たアルミニウム母材に、セラミックス溶射を行うことに
なり、溶射工程には前処理としてブラスト工程が必要で
あるから、ブラスト処理の際に保護膜であるアルマイト
被膜がとれてしまい、溶射による保護膜は気孔が多いだ
けに、保護膜で覆われていても、気孔に通じる部分では
アルミ地肌が露呈していると同然であるから、この部分
では腐食に弱く、腐食が進むことによって保護膜の剥離
が生じてしまうと云う問題点があった。However, in this case, ceramic spraying is performed on the aluminum base material on which the protective film is formed, and a blasting step is required as a pretreatment in the thermal spraying step. Since the alumite coating is removed and the protective film formed by thermal spraying has many pores, even if it is covered with the protective film, it is as if the aluminum background is exposed at the part that leads to the pores, so this part is not corroded. There is a problem that the protection film is peeled off due to weak corrosion.
【００２５】また、セラミックスの溶射による表面保護
膜２ａの形成と精度を要求される仕上げ等の面から、顕
微鏡ステージはセラミックスの溶射による表面保護膜２
ａの形成領域を顕微鏡ステージの上面全面とせずに、必
要な領域にとどめて工程を簡素化するようにする場合も
あり、この場合には当該表面保護膜２ａの母材からの剥
離がし難いようにすると共に、溶射工程をやり易くする
ために、表面保護膜２ａの形成領域の外側に境界枠を堤
防状に突設するように予め母材を加工する。そして、こ
の境界枠内領域にセラミックスの溶射を施して溶射被膜
を形成し、この溶射被膜を境界枠位置上から研磨して両
者が同一面（面一）になるようにする。In view of the formation of the surface protective film 2a by thermal spraying of ceramics and the finishing which requires accuracy, the microscope stage is provided with a surface protective film 2a by thermal spraying of ceramics.
In some cases, the formation region of a may not be the entire upper surface of the microscope stage, but may be limited to a necessary region to simplify the process. In this case, the surface protective film 2a is difficult to peel from the base material. In addition, in order to facilitate the thermal spraying process, the base material is processed in advance so that a boundary frame is formed in a bank shape outside the formation region of the surface protection film 2a. Then, thermal spraying of ceramics is performed on the area within the boundary frame to form a thermal spray coating, and the thermal spray coating is polished from the position of the boundary frame so that both surfaces are flush with each other.
【００２６】このため、境界枠位置上も研磨されてアル
ミの地肌が露出し、耐食性や耐磨耗性が損なわれる。そ
のため、この境界枠位置上の傷みが早くなり、外から見
えるところだけに、問題が大きい。For this reason, the position of the boundary frame is also polished to expose the aluminum background, thereby deteriorating the corrosion resistance and abrasion resistance. For this reason, the damage on the position of the boundary frame is accelerated, and the problem is serious only in a portion that can be seen from the outside.
【００２７】そこでこの発明の目的とするところは、セ
ラミックスの溶射による保護膜を形成した顕微鏡ステー
ジにおいて、ステージ母材であるアルミニウム母材の耐
食性および耐磨耗性を維持することができるようにした
顕微鏡ステージおよびその製造方法を提供することにあ
る。Therefore, an object of the present invention is to make it possible to maintain the corrosion resistance and wear resistance of an aluminum base material as a stage base material in a microscope stage having a protective film formed by spraying ceramics. A microscope stage and a method for manufacturing the same are provided.
【００２８】[0028]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は次のように構成する。すなわち、アルミニ
ウム母材により形成された顕微鏡ステージにおいて、上
記母材における少なくとも標本載置領域に、セラミック
ス粉末溶射による表面保護膜を形成すると共に、アルミ
ニウム母材の露出表面および上記表面保護膜の気孔を通
して接するアルミニウム母材表面にアルミニウム酸化皮
膜層を形成して構成する。In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows. That is, in the microscope stage formed of the aluminum base material, a surface protection film is formed by spraying ceramic powder on at least the sample mounting area of the base material, and the exposed surface of the aluminum base material and the pores of the surface protection film are passed through. An aluminum oxide film layer is formed on the surface of the aluminum base material in contact with the aluminum base material.
【００２９】[0029]
【作用】本発明では、アルミニウム母材の耐食および耐
磨耗効果を得るために、アルミニウム母材における少な
くとも標本載置領域にセラミックス粉末溶射による表面
保護膜を形成しており、かつ、当該セラミックス溶射後
にセラミックス溶射部とアルミニウム母材とを同時にア
ルマイト処理して、セラミックスの付着していないアル
ミニウム母材部にアルマイト処理によるアルミニウム酸
化被膜を形成させた。According to the present invention, in order to obtain the corrosion and wear resistance effects of the aluminum base material , a small amount of the aluminum base material is used .
At least the surface where ceramic powder is sprayed on the sample mounting area
Forms a protective film, and was the after thermally sprayed ceramic simultaneously anodized and ceramics sprayed portion and the aluminum base material, to form an aluminum oxide film according to anodized aluminum base metal unattached ceramics .
【００３０】そのため、ステージの母材表面に硬いセラ
ミックス粉末の溶射被膜による表面保護膜が形成されて
いることにより、スライドガラスを着脱しても硬い溶射
被膜がステージの母材を保護することとなり、また、セ
ラミックスの付着していない母材表面ではアルミニウム
酸化被膜で覆われるために、このアルミニウム酸化被膜
の耐食性、耐磨耗性により母材が保護される。従って、
磨耗による発塵の防止と、磨耗や腐食による劣化を防止
できる。Therefore, a surface protective film made of a sprayed coating of hard ceramic powder is formed on the surface of the base material of the stage.
This means that the hard sprayed coating protects the base material of the stage even when the slide glass is attached and detached, and the surface of the base material on which no ceramics are adhered is covered with the aluminum oxide film. The base material is protected by the corrosion resistance and abrasion resistance of the coating. Therefore,
It is possible to prevent dusting due to wear and prevent deterioration due to wear and corrosion.
【００３１】[0031]
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照して説明する。 （第１実施例）図１および図２に本発明の一実施例によ
る顕微鏡ステージの表面保護膜形成方法を示す。図１お
よび図２に沿って説明すると、図１に示すように、アル
ミニウムにより、顕微鏡のステージを構成する母材１を
成形する（Ｐ１；母材成形工程）。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. (First Embodiment) FIGS. 1 and 2 show a method for forming a surface protective film on a microscope stage according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1 and FIG. 2, as shown in FIG. 1, a base material 1 constituting a stage of a microscope is formed of aluminum (P1; base material forming step).
【００３２】ここでは、ステージを構成する母材１は方
形板状であり、上面におけるスライドガラス３００（図
５参照）をセットする領域を含め、その近傍を表面保護
膜形成領域とし、その周囲を、線状に枠を突設して形成
した境界枠１ａで囲んである。ここで、表面保護膜形成
領域は少なくとも標本であるスライドガラス３００をセ
ットする領域であり、その際のスライドガラス３００を
滑らせて着脱する移動領域をカバーする領域である。そ
して、好ましくは標本ホルダ２００におけるプレパラー
ト押さえ爪２００ｄの移動領域等、磨耗対策を要する領
域をカバーできる領域とする。Here, the base material 1 constituting the stage is in the shape of a rectangular plate, and the area including the area for setting the slide glass 300 (see FIG. 5) on the upper surface is defined as the surface protective film forming area, and the surrounding area is defined as the area. , And is surrounded by a border frame 1a formed by projecting a frame in a linear shape. Here, the surface protective film formation region is a region where at least the slide glass 300 as a specimen is set, and covers a moving region where the slide glass 300 is slid and attached and detached. Then, preferably, an area that requires a countermeasure against wear, such as a moving area of the slide holding claw 200d in the specimen holder 200, is set as an area that can cover the area.
【００３３】つぎに母材１より一回り大きい１ｍｍ厚程
度の鉄板に上記境界枠と同寸法、同形状の窓を穿設した
マスク２ａを用意し、このマスク２ａを母材１に被せて
境界枠１ａより外側の領域を覆う（マスクする）。そし
て、次に、このマスクされた母材１におけるマスク２ａ
の窓露出面に対してブラストをかけて、この露出面表面
を粗面１ｂに仕上げる（図１のＰ２；ブラスト工程）。
このときのブラストの吹き付け強さの条件は例えば、１
〜３ｋｇ／ｃｍ2 程度である。Next, a mask 2a having a window having the same dimensions and the same shape as the above-described boundary frame is prepared on an iron plate having a thickness of about 1 mm, which is slightly larger than the base material 1, and the mask 2a is put on the base material 1 to make a boundary. The area outside the frame 1a is covered (masked). Then, next, the mask 2a in the masked base material 1
Is blasted on the exposed surface of the window to finish the exposed surface to a rough surface 1b (P2 in FIG. 1; blast step).
The condition of the blast spraying strength at this time is, for example, 1
３3 kg / cm 2 .
【００３４】次に母材１をマスクしたまま、例えば２５
μｍ〜４５μｍ程度の粒度のセラミックス粉末をプラズ
マ溶射ガンにより、ステージの母材１の表面（上記磨耗
対策を要する領域）に溶射してセラミックスの溶射粒子
による厚み０．４〜０．５mm程度の溶射被膜３を形成す
る（図１のＰ３；溶射工程）。これにより、母材１の表
面にはその境界枠上および境界枠内領域には溶射被膜３
が形成される。Next, with the base material 1 being masked, for example, 25
A ceramic powder having a particle size of about 45 μm to about 45 μm is sprayed onto the surface of the base material 1 of the stage (the area requiring the above-mentioned measures against abrasion) by a plasma spray gun, and sprayed to a thickness of about 0.4 to 0.5 mm by sprayed ceramic particles. The coating 3 is formed (P3 in FIG. 1; thermal spraying step). As a result, the sprayed coating 3 is formed on the surface of the base material 1 on the boundary frame and in the region within the boundary frame.
Is formed.
【００３５】つぎにマスクを外してから、溶射被膜３を
研磨装置３０により境界枠面が露出する程度まで研磨
し、滑らかな表面を持つ０．１５〜０．３mm厚程度の表
面保護膜３ａ（粗さは６μｍ程度）に仕上げる（図１の
Ｐ４；研磨工程）。Next, after removing the mask, the sprayed coating 3 is polished by the polishing device 30 until the boundary frame surface is exposed, and the surface protective film 3a having a smooth surface and having a thickness of about 0.15 to 0.3 mm ( The roughness is about 6 μm (P4 in FIG. 1; polishing step).
【００３６】セラミックスの溶射による表面保護膜３ａ
ができたならば、次に母材１にアルマイト処理工程を施
こす。これは母材１を電解液である濃度２０％以下の硫
酸溶液４に浸して処理することで行われる（図２のＰ
５；硫酸処理工程）。セラミックス粒子の溶射による表
面保護膜３ａは微小な気孔が多数あり、母材１の表面は
この微小な気孔により、外部環境に晒され易い構造であ
るから、硫酸溶液４に浸したことで、硫酸溶液４は表面
保護膜３ａの気孔中を浸透して母材１の表面に至り、ま
た、表面保護膜３ａのない部分では直接、母材１の表面
に触れて反応する。Surface protective film 3a formed by spraying ceramics
Then, the base material 1 is subjected to an alumite treatment step. This is performed by immersing the base material 1 in a sulfuric acid solution 4 having a concentration of 20% or less, which is an electrolytic solution, for treatment (P in FIG. 2).
5; sulfuric acid treatment step). The surface protective film 3a formed by spraying ceramic particles has many fine pores, and the surface of the base material 1 has a structure easily exposed to the external environment due to the fine pores. The solution 4 penetrates into the pores of the surface protection film 3a to reach the surface of the base material 1, and reacts by directly touching the surface of the base material 1 in a portion where the surface protection film 3a is not provided.
【００３７】これにより、セラミックス粒子が溶射され
てこれが付いている部分を除き、母材表面にはアルミニ
ウム酸化膜５が形成される。これがアルマイト層であ
る。このようにしてアルマイト処理工程を実施すること
で、耐磨耗性および耐食性の高いアルミニウム酸化被膜
層（アルマイト層）５が形成でき、母材表面は耐磨耗性
および耐食性が確保される。As a result, the aluminum oxide film 5 is formed on the surface of the base material except for the portion where the ceramic particles are sprayed and attached. This is the alumite layer. By performing the alumite treatment step in this manner, an aluminum oxide film layer (alumite layer) 5 having high wear resistance and corrosion resistance can be formed, and the wear resistance and corrosion resistance of the base material surface are secured.
【００３８】その後、清浄水６により水洗い処理を行っ
て表面保護膜３ａ内の気孔部分を含め、母材１の表面に
付着した硫酸液を洗い流し（図２のＰ６；水洗い処理工
程）、次に染色促進のため母材１を濃度２０％以下の硝
酸溶液７に浸す（図２のＰ７；硝酸処理工程）。これに
より同様に表面保護膜３ａ内の気孔部分を含め、母材１
の表面に硝酸溶液７が触れて母材１の表面は溶射被膜で
ある表面保護膜３ａの光沢と同様な光沢になり、表面保
護膜３ａの領域と境界枠１ａ部分の境目がわかりにくく
なる。After that, a washing process is performed with the clean water 6 to wash out the sulfuric acid solution adhering to the surface of the base material 1 including the pores in the surface protective film 3a (P6 in FIG. 2; washing process). The base material 1 is immersed in a nitric acid solution 7 having a concentration of 20% or less to promote dyeing (P7 in FIG. 2; nitric acid treatment step). Thus, the base material 1 including the pores in the surface protective film 3a is similarly formed.
The nitric acid solution 7 comes into contact with the surface of the base material 1, and the surface of the base material 1 has the same gloss as the gloss of the surface protective film 3a, which is a thermal spray coating, and the boundary between the area of the surface protective film 3a and the boundary frame 1a becomes difficult to see.
【００３９】その後、清浄水６により水洗い処理を行っ
て母材１の表面より硝酸液を洗い流し（図２のＰ８；水
洗い処理工程）、次にアルミニウム酸化被膜層に残るピ
ンホール状の孔を封じるべく、一般に行われる母材１の
湯洗い処理をして封孔効果を得る（図２のＰ９；湯洗い
処理工程）。その後、乾燥させて処理を完了させる（図
２のＰ１０；乾燥処理工程）。Thereafter, a washing process is performed with the clean water 6 to wash out the nitric acid solution from the surface of the base material 1 (P8 in FIG. 2; washing process), and then the pinholes remaining in the aluminum oxide film layer are sealed. For this purpose, the base material 1 is generally washed with hot water to obtain a sealing effect (P9 in FIG. 2; hot water washing process). Then, it is dried to complete the process (P10 in FIG. 2; drying process step).
【００４０】乾燥させたならば、母材１の表面保護膜３
ａ（溶射被膜）形成領域（境界枠１ａの上面を含む）を
マスク２ｂによりマスクして、母材１の上面をスプレー
塗装等により塗装処理を行い（図２のＰ１１；塗装処理
工程）、塗膜面８の塗料が乾燥した後、マスク２ｂを外
してステージ本体が完成する。After drying, the surface protective film 3 of the base material 1
a (sprayed coating) forming region (including the upper surface of the boundary frame 1a) is masked by the mask 2b, and the upper surface of the base material 1 is subjected to a coating process by spray coating or the like (P11 in FIG. 2; a coating process step). After the paint on the film surface 8 is dried, the mask 2b is removed to complete the stage body.
【００４１】このように、アルミ製のステージ母材上に
セラミックス粒子による溶射被膜層を形成することによ
り、スライドガラスの着脱に対する耐磨耗性を確保する
ようにしたものにおいて、溶射被膜層を形成した後、ス
テージ母材にアルマイト処理により、酸化被膜を形成す
るようにしたので、ステージ母材はこの酸化被膜により
覆われることにより耐食性、や耐磨耗性が確保されるよ
うになる。As described above, the thermal spray coating layer made of ceramic particles is formed on the aluminum stage base material so as to secure the abrasion resistance against the attachment / detachment of the slide glass. After that, an oxide film is formed on the stage base material by alumite treatment, so that the stage base material is covered with this oxide film, so that corrosion resistance and wear resistance are secured.
【００４２】以上は通常のアルマイト処理を施した場合
の例であるが、この場合、アルマイトの金属色となる。
一方、顕微鏡は伝統的に塗色が黒を基調としてある。従
ってこのような黒を基調とするモデルに構成する要望が
根強い。この場合にはつぎのようにする。The above is an example of a case where a normal alumite treatment is performed. In this case, the color becomes a metallic color of the alumite.
On the other hand, microscopes are traditionally based on black paint. Therefore, there is a strong demand for constructing such a model based on black. In this case, do as follows.
【００４３】（第２実施例）すなわち、ブラックアルマ
イト処理を施せば良いわけで、この場合の工程は硝酸処
理の水洗いの後、所望色に染めるための染色工程が入
り、その後はアルマイト処理と同様の工程で処理を完了
させる。(Second Embodiment) In other words, it is sufficient to perform black alumite treatment. In this case, after washing with nitric acid, a dyeing step for dyeing a desired color is performed. The process is completed in the step.
【００４４】図３および図４に従って詳細を説明する。
図３に示すように、アルミニウムにより、顕微鏡のステ
ージを構成する母材１を成形する（Ｐ２１；母材成形工
程）。The details will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 3, the base material 1 constituting the stage of the microscope is formed of aluminum (P21; base material forming step).
【００４５】ここでは、ステージを構成する母材１は方
形板状であり、上面におけるスライドガラス３００（図
５参照）をセットする領域を含め、その近傍を表面保護
膜形成領域とし、その周囲を、枠を突設して形成した境
界枠で囲んである。ここで、表面保護膜形成領域は少な
くとも標本であるスライドガラス３００をセットする領
域であり、その際のスライドガラス３００を滑らせて着
脱する移動領域をカバーする領域である。そして、好ま
しくは標本ホルダ２００におけるプレパラート押さえ爪
２００ｄの移動領域等、磨耗対策を要する領域をカバー
できる領域とする。Here, the base material 1 constituting the stage is in the shape of a rectangular plate, and its vicinity including the region for setting the slide glass 300 (see FIG. 5) on the upper surface is defined as the surface protective film forming region, and the periphery thereof is defined as the region. , Are surrounded by a border frame formed by projecting the frame. Here, the surface protective film formation region is a region where at least the slide glass 300 as a specimen is set, and covers a moving region where the slide glass 300 is slid and attached and detached. Then, preferably, an area that requires a countermeasure against wear, such as a moving area of the slide holding claw 200d in the specimen holder 200, is set as an area that can cover the area.
【００４６】つぎに母材１より一回り大きい１ｍｍ厚程
度の鉄板に上記境界枠と同寸法、同形状の窓を穿設した
マスク２ａを用意し、このマスク２ａを母材１に被せて
境界枠１ａより外側の領域を覆う（マスクする）。そし
て、次に、このマスクされた母材１に窓露出面に対して
ブラストをかけて、この露出面表面を粗面１ｂに仕上げ
る（図３のＰ２２；ブラスト工程）。このときのブラス
トの吹き付け強さの条件は例えば、１〜３ｋｇ／ｃｍ2
程度である。Next, a mask 2a having a window having the same dimensions and the same shape as the above-mentioned border frame is prepared on an iron plate having a thickness of about 1 mm, which is slightly larger than the base material 1, and the mask 2a is put on the base material 1 to cover the border. The area outside the frame 1a is covered (masked). Then, the masked base material 1 is blasted against the window exposed surface to finish the exposed surface to a rough surface 1b (P22 in FIG. 3; blast step). The condition of the blasting strength at this time is, for example, 1 to 3 kg / cm 2.
It is about.
【００４７】次に母材１をマスクしたまま、例えば２５
μｍ〜４５μｍ程度の粒度のセラミックス粉末をプラズ
マ溶射ガンにより、ステージの母材１の表面（上記磨耗
対策を要する領域）に溶射してセラミックスの溶射粒子
による厚み０．４〜０．５mm程度の溶射被膜３を形成す
る（図３のＰ２３；溶射工程）。これにより、母材１の
表面にはその境界枠１ａ上および境界枠内領域には溶射
被膜３が形成される。Next, for example, 25
A ceramic powder having a particle size of about 45 μm to about 45 μm is sprayed onto the surface of the base material 1 of the stage (the area requiring the above-mentioned measures against abrasion) by a plasma spray gun, and sprayed to a thickness of about 0.4 to 0.5 mm by sprayed ceramic particles. The coating 3 is formed (P23 in FIG. 3; thermal spraying step). As a result, the thermal spray coating 3 is formed on the surface of the base material 1 on the boundary frame 1a and in the region within the boundary frame.
【００４８】つぎにマスク２ａを外してから、溶射被膜
３を研磨装置３０により境界枠面が露出する程度まで研
磨し、滑らかな表面を持つ０．１５〜０．３mm厚程度の
表面保護膜３ａ（粗さは６μｍ程度）に仕上げる（図３
のＰ２４；研磨工程）。Next, after removing the mask 2a, the sprayed coating 3 is polished by the polishing device 30 until the boundary frame surface is exposed, and the surface protective film 3a having a smooth surface and having a thickness of about 0.15 to 0.3 mm is provided. (Roughness is about 6 μm) (Fig. 3
P24; polishing step).
【００４９】セラミックスの溶射による表面保護膜３ａ
ができたならば、次に母材１にアルマイト処理工程を施
こす。これは母材１を電解液である濃度２０％以下の硫
酸溶液４に浸して処理することで行われる（図４のＰ２
５；硫酸処理工程）。セラミックス粒子の溶射による表
面保護膜３ａは微小な気孔が多数あり、母材１の表面は
この微小な気孔により、外部環境に晒され易い構造であ
るから、硫酸溶液４に浸したことで、硫酸溶液４は表面
保護膜３ａの気孔中を浸透して母材１の表面に至り、ま
た、表面保護膜３ａのない部分では直接、母材１の表面
に触れて反応する。これにより、セラミックス粒子が溶
射されてこれが付いている部分を除き、母材表面にはア
ルミニウム酸化膜５が形成される。これがアルマイト層
である。このようにしてアルマイト処理工程を実施する
ことで、耐磨耗性および耐食性の高いアルミニウム酸化
被膜層（アルマイト層）５が形成でき、母材表面は耐磨
耗性および耐食性が確保される。Surface protective film 3a formed by spraying ceramics
Then, the base material 1 is subjected to an alumite treatment step. This is performed by immersing the base material 1 in a sulfuric acid solution 4 having a concentration of 20% or less, which is an electrolytic solution, for treatment (P2 in FIG. 4).
5; sulfuric acid treatment step). The surface protective film 3a formed by spraying ceramic particles has many fine pores, and the surface of the base material 1 has a structure easily exposed to the external environment due to the fine pores. The solution 4 penetrates into the pores of the surface protection film 3a to reach the surface of the base material 1, and reacts by directly touching the surface of the base material 1 in a portion where the surface protection film 3a is not provided. As a result, the aluminum oxide film 5 is formed on the surface of the base material except for the portion where the ceramic particles are sprayed and attached. This is the alumite layer. By performing the alumite treatment step in this manner, an aluminum oxide film layer (alumite layer) 5 having high wear resistance and corrosion resistance can be formed, and the wear resistance and corrosion resistance of the base material surface are secured.
【００５０】その後、水洗い処理を行って表面保護膜２
ａ内の気孔部分を含め、母材１の表面に付着した硫酸液
を洗い流し（図４のＰ２６；水洗い処理工程）、次に染
色促進のため母材１を濃度２０％以下の硝酸溶液７に浸
す（図４のＰ２７；硝酸処理工程）。これにより同様に
表面保護膜３ａ内の気孔部分を含め、母材１の表面に硝
酸溶液が触れて母材１の表面は溶射被膜である表面保護
膜３ａの光沢と同様な光沢になり、表面保護膜３ａの領
域と境界枠１ａ部分の境目がわかりにくくなる。After that, the surface protective film 2
The sulfuric acid solution adhering to the surface of the base material 1 including the pores in a is washed away (P26 in FIG. 4; water washing process), and then the base material 1 is converted into a nitric acid solution 7 having a concentration of 20% or less to promote dyeing. Dip (P27 in FIG. 4; nitric acid treatment step). As a result, similarly, the surface of the base material 1 including the pores in the surface protection film 3a is brought into contact with the nitric acid solution, and the surface of the base material 1 becomes the same gloss as the gloss of the surface protection film 3a which is a thermal spray coating. The boundary between the area of the protective film 3a and the boundary frame 1a becomes difficult to understand.
【００５１】その後、清浄水６により水洗い処理を行っ
て母材１の表面より硝酸液を洗い流し（図４のＰ２８；
水洗い処理工程）、乾燥させてから次にアルミニウム酸
化膜層５を例えば黒く染めるために、カーボン系の染料
液９中に浸す（図４のＰ２９；染色処理工程）。これに
より、アルミニウム酸化膜層（アルマイト層）５は黒く
染まり、黒を基調とした母材１となる。Thereafter, a washing treatment is performed with the clean water 6 to wash off the nitric acid solution from the surface of the base material 1 (P28 in FIG. 4).
The aluminum oxide film layer 5 is immersed in a carbon-based dye solution 9 in order to dye the aluminum oxide film layer 5 black, for example (P29 in FIG. 4; dyeing process). Thereby, the aluminum oxide film layer (alumite layer) 5 is dyed black, and becomes the base material 1 based on black.
【００５２】次にアルミニウム酸化被膜層５に残るピン
ホール状の孔を封じるべく、一般に行われる母材１の湯
洗い処理をして封孔効果を得る（図４のＰ３０；湯洗い
処理工程）。その後、乾燥させて処理を完了させる（図
４のＰ３１；乾燥処理工程）。Next, in order to seal the pinhole-shaped holes remaining in the aluminum oxide coating layer 5, the base material 1 is generally washed with hot water to obtain a sealing effect (P30 in FIG. 4; hot water washing process). . Then, it is dried to complete the processing (P31 in FIG. 4; drying processing step).
【００５３】乾燥させたならば、母材１の表面保護膜３
ａ形成領域（境界枠１ａの上面を含む）をマスク２ｂに
よりマスクし、母材１の上面をスプレー塗装等により塗
装処理を行い（図４のＰ３２；塗装処理工程）、塗膜面
８が乾燥した後、マスク２ｂを外してステージ本体が完
成する。After drying, the surface protective film 3 of the base material 1
The formation region a (including the upper surface of the boundary frame 1a) is masked by the mask 2b, and the upper surface of the base material 1 is subjected to a coating process by spray coating or the like (P32 in FIG. 4; coating process), and the coating surface 8 is dried. After that, the mask 2b is removed to complete the stage body.
【００５４】このように、アルミ製のステージ母材上に
セラミックス粒子による溶射被膜層を形成することによ
り、スライドガラスの着脱に対する耐磨耗性を確保する
ようにしたものにおいて、溶射被膜層を形成した後、ス
テージ母材に電解液中（硫酸溶液中）でのアルマイト処
理により、酸化被膜を形成するようにしたので、ステー
ジ母材は溶液に接する部分全てがこの酸化被膜により覆
われることにより耐食性や耐磨耗性が確保されるように
なる。また、染色処理を施したことで、母材の酸化被膜
は黒等の所望の色に染まり、ステージ母材露出表面とセ
ラミックス溶射被膜層とが同一色、または異なる色のス
テージが得られる。顕微鏡のステージでは黒を基調とす
ることが好ましい。As described above, the thermal spray coating layer made of ceramic particles is formed on the aluminum stage base material to secure the wear resistance against the mounting and dismounting of the slide glass. After that, an oxide film was formed on the stage base material by alumite treatment in an electrolytic solution (in a sulfuric acid solution), so that all parts of the stage base material that were in contact with the solution were covered with this oxide film, and thus the corrosion resistance was reduced. And abrasion resistance is secured. In addition, by performing the dyeing treatment, the oxide film of the base material is dyed in a desired color such as black, and a stage in which the exposed surface of the stage base material and the ceramic sprayed coating layer have the same color or different colors is obtained. Preferably, the microscope stage is based on black.
【００５５】なお、セラミックス部である溶射被膜層上
面とアルミ材である境界枠の上面は同表面（面一）であ
るが、アルマイト処理やブラックアルマイト処理によ
り、アルミ材の部分の耐磨耗性、耐腐食性が向上するの
で、スライドガラスに擦られることにより、境界枠の上
面が磨耗するのを抑制できる。また、アルマイト処理や
ブラックアルマイト処理の工程において、セラミックス
溶射被膜の母材１に対する接合部分には、アルマイト層
の成長による母材からのセラミックスの剥離の心配もな
く、また、硫酸溶液や硝酸溶液によるセラミックスの劣
化等の心配もない。従って、セラミックス溶射被膜が有
する耐食性や耐磨耗性等の機能を損なうことなく、強靭
なステージを得ることができるようになる。The upper surface of the sprayed coating layer as the ceramic portion and the upper surface of the boundary frame made of aluminum are the same (same surface), but the abrasion resistance of the aluminum material is reduced by alumite treatment or black alumite treatment. Since the corrosion resistance is improved, the upper surface of the boundary frame can be prevented from being worn by being rubbed by the slide glass. Further, in the process of the alumite treatment or the black alumite treatment, there is no fear of peeling of the ceramic from the base material due to the growth of the alumite layer at the joint portion of the ceramic sprayed coating to the base material 1, There is no need to worry about deterioration of ceramics. Therefore, a tough stage can be obtained without impairing the functions of the ceramic sprayed coating such as corrosion resistance and wear resistance.
【００５６】また、セラミックス溶射被膜層および境界
枠上面の研磨面以外の領域に塗装を施した場合にも、ア
ルマイト層をさらに硝酸処理して艶消しをする処理を施
すことは研磨面と塗装面との色彩的な違和感がなく、意
匠の面からもこの処理が有効である。なお、上記実施例
の場合、溶射被膜を形成する領域は磨耗対策を要する領
域に絞ったが、ステージの上面全体とするようにしても
勿論差支えない。Also, when the ceramic sprayed coating layer and the area other than the polished surface on the upper surface of the boundary frame are coated, the alumite layer is further subjected to nitric acid treatment to provide a matting treatment. This treatment is effective from the viewpoint of design without any discomfort in color. In the case of the above embodiment, the area where the thermal spray coating is formed is narrowed down to an area requiring measures against abrasion. However, the entire upper surface of the stage may of course be used.
【００５７】[0057]
【発明の効果】以上、詳述したように、本発明によれば
セラミックスの溶射後、アルマイト処理を施すことによ
り、アルミニウム母材にアルミニウム酸化被膜を形成す
るようにしたことから、アルミニウム母材の耐食性や耐
磨耗性の劣化を抑制できるようになる顕微鏡ステージを
提供できる。As described above in detail, according to the present invention, an aluminum oxide film is formed on an aluminum base material by performing alumite treatment after spraying ceramics. A microscope stage capable of suppressing deterioration of corrosion resistance and wear resistance can be provided.
【図１】本発明を説明するための図であって、本発明の
第１実施例を示す工程図。FIG. 1 is a view for explaining the present invention, and is a process diagram showing a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明を説明するための図であって、本発明の
第１実施例を示す工程図。FIG. 2 is a view for explaining the present invention, and is a process diagram showing a first embodiment of the present invention.
【図３】本発明を説明するための図であって、本発明の
第２実施例を示す工程図。FIG. 3 is a view for explaining the present invention and is a process drawing showing a second embodiment of the present invention.
【図４】本発明を説明するための図であって、本発明の
第２実施例を示す工程図。FIG. 4 is a view for explaining the present invention and is a process drawing showing a second embodiment of the present invention.
【図５】顕微鏡ステージの構成を説明するための上面
図。FIG. 5 is a top view for explaining the configuration of the microscope stage.
【図６】プラズマ溶射法を説明するための図。FIG. 6 is a diagram illustrating a plasma spraying method.
【図７】プラズマ溶射法による溶射被膜の形成の様子を
説明するための図。FIG. 7 is a view for explaining how a thermal spray coating is formed by a plasma thermal spray method.
【図８】従来例を説明するための図であって、セラミッ
クス溶射法を利用した従来の顕微鏡ステージの製造工程
図。FIG. 8 is a view for explaining a conventional example, and is a manufacturing process diagram of a conventional microscope stage using a ceramic spraying method.
１，２４…母材 １ａ…境界枠 １ｂ…粗面 ２ａ，２ｂ…マスク ３，２５…溶射被膜 ３ａ…表面保護膜 ４…硫酸溶液 ５…アルミニウム酸化被膜層（アルマイト層） ６…清浄水 ７…硝酸溶液 ８…塗膜面 ９…染料液 ２７…隙間（気孔） ２１…ノズル ２２…プラズマ炎 ２３…供給パイプ ２６…溶射粒子 ３０…研磨装置 ２００…標本ホルダ ２００ｄ…プレパラート押さえ爪 ３００…スライドガラス Reference numerals 1, 24: Base material 1a: Boundary frame 1b: Rough surface 2a, 2b: Mask 3, 25: Thermal spray coating 3a: Surface protective film 4: Sulfuric acid solution 5: Aluminum oxide coating layer (alumite layer) 6: Clean water 7 Nitric acid solution 8 ... Coating surface 9 ... Dye solution 27 ... Crevice (porosity) 21 ... Nozzle 22 ... Plasma flame 23 ... Supply pipe 26 ... Sprayed particles 30 ... Spinning device 200 ... Specimen holder 200d ... Preparator holding claw 300 ... Slide glass
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 21/26 C23D 5/00 C23C 28/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G02B 21/26 C23D 5/00 C23C 28/00
Claims (2)
ステージにおいて、 上記母材における少なくとも標本載置領域に、セラミッ
クス粉末溶射による表面保護膜を形成すると共に、アル
ミニウム母材の露出表面および上記表面保護膜の気孔を
通して接するアルミニウム母材表面にアルミニウム酸化
皮膜層を形成してなることを特徴とする顕微鏡ステー
ジ。1. A microscope stage which is formed by an aluminum base material, at least sample placing area of the base material, thereby forming a surface protective film according to the ceramic powder spraying, exposed surface and the surface protective film of aluminum matrix A microscopic stage comprising an aluminum oxide film layer formed on the surface of an aluminum base material that is in contact with the pores of the aluminum base material.
粉末を溶射して溶射被膜を形成した後、アルミニウム母
材の表面をアルマイト処理することを特徴とする顕微鏡
ステージの製造方法。2. A method for manufacturing a microscope stage, comprising: spraying a ceramic powder on a surface of an aluminum base material to form a sprayed coating; and then subjecting the surface of the aluminum base material to alumite treatment.
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