JP3209095B2 - How to remove pellicle from photomask - Google Patents
How to remove pellicle from photomaskInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、粘着剤層を介して
フォトマスクに貼着したペリクルの使用後において、フ
ォトマスクからこの使用済みのペリクルを容易に除去
（取り外し）することができるフォトマスクからのペリ
クルの脱着方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photomask capable of easily removing (removing) a used pellicle from a photomask after using the pellicle attached to the photomask via an adhesive layer. And a method for detaching a pellicle from a pellicle.
【０００２】[0002]
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】近年、
半導体デバイス及び液晶用デバイスは、高密度化、高集
積化され、それに伴ってパターンの微細化が進行してい
る。その結果、このリソグラフィー工程で用いられるフ
ォトマスク又はレチクルにはますます高レベルの洗浄性
が要求され、微細な異物（ゴミ）も転写パターンの欠陥
になるおそれがあり、フォトマスクやレチクルにペリク
ルを装着して異物の付着を防止することが広く行われて
いる。2. Description of the Related Art In recent years,
2. Description of the Related Art Semiconductor devices and liquid crystal devices are becoming denser and more highly integrated, and as a result, patterns are becoming finer. As a result, the photomask or reticle used in this lithography process is required to have an even higher level of cleanability, and fine foreign matter (dust) may cause defects in the transfer pattern. It is widely used to prevent foreign matter from adhering when worn.
【０００３】ペリクルは高さが５ｍｍ程度の金属フレー
ムの片面に透明な薄膜（ペリクル膜）を張設したもの
で、これをフォトマスクに装着すると、透明薄膜とフォ
トマスク面との距離だけ露光時の焦点がずれるので、透
明薄膜上に比較的大きな異物が付着してもレジスト上に
異物が転写されないという効果がある。[0003] A pellicle is a metal frame having a height of about 5 mm and a transparent thin film (pellicle film) stretched on one side thereof. When the pellicle is mounted on a photomask, the pellicle is exposed only by a distance between the transparent thin film and the photomask surface. Is out of focus, so that even if a relatively large foreign matter adheres to the transparent thin film, the foreign matter is not transferred onto the resist.
【０００４】このペリクルはペリクル膜が張設されてい
ない方の端面に粘着剤層を形成し、この粘着剤層を介し
てフォトマスクに貼り付け、使用するものであるが、ペ
リクル使用後において、ペリクル膜の汚れがひどくなっ
たり、ペリクル膜が破損した場合等には、ペリクルをフ
ォトマスクから除去する（取り去る）必要がある。The pellicle is formed by forming an adhesive layer on the end face on which the pellicle film is not stretched, and attaching the pellicle to a photomask via the adhesive layer. When the pellicle film becomes very dirty or the pellicle film is damaged, it is necessary to remove (remove) the pellicle from the photomask.
【０００５】従来、フォトマスクよりペリクルを除去す
る方法としては、フレームの側面に設けた治具用くぼみ
に剥離用治具のピンを差し込み、治具を傾けて、てこの
原理で剥離する方法、フォトマスクとペリクルとの間に
くさび状の治具を差し込んでペリクルをフォトマスクか
ら剥離する方法、ペリクルの周囲に溶剤を流してペリク
ルの粘着剤層を膨潤させて粘着力を低下させた後、くさ
び状の治具を用いてペリクルをフォトマスクから剥離す
る方法が採用されている。Conventionally, as a method of removing a pellicle from a photomask, a method of inserting a pin of a peeling jig into a jig recess provided on a side surface of a frame, inclining the jig, and peeling by a principle of leverage, After inserting a wedge-shaped jig between the photomask and the pellicle and peeling the pellicle from the photomask, after flowing a solvent around the pellicle to swell the adhesive layer of the pellicle and reduce the adhesive strength, A method of removing a pellicle from a photomask using a wedge-shaped jig has been adopted.
【０００６】しかし、これらの方法はフォトマスク自身
に傷が付き易く、またフォトマスク自身が汚染されて洗
浄等の後処理に多大の労力を要するという問題がある。However, these methods have a problem that the photomask itself is easily damaged, and the photomask itself is contaminated, requiring much labor for post-processing such as cleaning.
【０００７】そこで、本発明者らは、図２に示すような
ペリクルフレーム２の一端面にペリクル膜３を張設した
ペリクル１の上記フレーム２他端面を粘着剤層４を介し
てフォトマスク５に貼着してなるペリクル１のフォトマ
スク５への貼着構造において、上記粘着剤層４に外方に
突出する粘着剤層抜き取り把持部５を突設したペリクル
のフォトマスクへの貼着構造を先に提案しており（特開
平９−５４４２４号公報）、この提案によれば、フォト
マスク５からペリクル１を除去する場合、上記把持部６
を手、ピンセット、ペンチ等で掴み、外方に引張ること
により、粘着剤層４を連続的に引出すことができ、フォ
トマスク５から粘着剤層４を剥離すると同時に、ペリク
ル１の除去を行うことができ、かつフォトマスク５を傷
付けたり、汚染したりすることがないので、ペリクルの
除去に好適であることを確認している。[0007] The inventors of the present invention have applied a photomask 5 through an adhesive layer 4 to the other end of the pellicle 1 in which a pellicle film 3 is provided on one end of the pellicle frame 2 as shown in FIG. In the structure of attaching the pellicle 1 to the photomask 5, the pellicle is provided with the adhesive layer extracting / holding portion 5 projecting outward from the adhesive layer 4, and the pellicle is attached to the photomask. According to this proposal, when the pellicle 1 is removed from the photomask 5, the gripper 6 is removed.
By hand, tweezers, pliers or the like, and pulling outward, the adhesive layer 4 can be continuously pulled out, and the pellicle 1 is removed while the adhesive layer 4 is peeled off from the photomask 5. It has been confirmed that the photomask 5 is suitable for removing pellicles since the photomask 5 is not damaged or contaminated.
【０００８】しかしながら、この提案は、予め粘着剤層
に外方に突出する粘着剤層抜き取り用把持部を設ける必
要があり、このため製法がやや複雑になる上、ペリクル
を容器に収納したり、容器から取り出す場合や、ペリク
ルをフォトマスクに貼り付ける場合などのハンドリング
がやりにくいことがあった。However, in this proposal, it is necessary to provide a pressure-sensitive-adhesive-layer-extracting grip portion that protrudes outward in the pressure-sensitive adhesive layer in advance, which makes the manufacturing method somewhat complicated, and furthermore, the pellicle can be stored in a container, In some cases, handling such as taking out from a container or attaching a pellicle to a photomask is difficult.
【０００９】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、フォトマスクからペリクルを容易に、しかもフォト
マスク自身を傷付けたり汚染したりすることなく除去す
る方法を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a method for easily removing a pellicle from a photomask without damaging or contaminating the photomask itself.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、ペリクルフレームの一端面にペリクル膜を
張設し、他端面に粘着剤層を形成してなり、この粘着剤
層を介してフォトマスクに貼着されたペリクルを上記フ
ォトマスクから脱着させるに際し、上記粘着剤の外側面
にこの粘着剤層と接着可能な未硬化の樹脂又はゴムから
なる舌片を接着し、これを硬化させた後、得られた硬化
舌片を外側に引張ることにより、上記粘着剤層を上記ペ
リクルフレームとフォトマスクとの間から剥離し引き抜
くことを特徴とするフォトマスクからのペリクル脱着方
法を提供する。According to the present invention, in order to achieve the above object, a pellicle film is stretched on one end surface of a pellicle frame and an adhesive layer is formed on the other end surface. When detaching the pellicle adhered to the photomask from the photomask, a tongue made of an uncured resin or rubber that can be adhered to the adhesive layer is adhered to the outer surface of the adhesive, and After the curing, the obtained cured tongue piece is pulled outward, whereby the pressure-sensitive adhesive layer is peeled off from between the pellicle frame and the photomask and pulled out, and a pellicle detaching method from the photomask is provided. I do.
【００１１】本発明によれば、ペリクルを除去する場
合、上記舌片を手、ピンセット、ペンチ等で掴みこれを
引張ることにより、粘着剤層がペリクル、フォトマスク
間から連続的に引き出され、抜き取られて剥離されるも
ので、これによりフォトマスクからペリクルが容易に分
離除去される。According to the present invention, when removing the pellicle, the tongue piece is gripped with a hand, tweezers, pliers or the like, and is pulled, whereby the pressure-sensitive adhesive layer is continuously pulled out from between the pellicle and the photomask. The pellicle is easily separated and removed from the photomask.
【００１２】このように、本発明においては、粘着剤層
を舌片から引き出し、抜き取るように剥離するので、フ
ォトマスクを傷付けたり、汚したりすることなく簡単且
つ確実にフォトマスクからペリクルを除去することがで
きる。この場合、上記舌片は、ペリクルの除去時に粘着
剤層に接着、突設すればよく、舌片を粘着剤層に予め突
設しておく必要がないので、ペリクルの製造、取り扱い
は従来と同様でよく、ペリクルの製造や取り扱いに面倒
を与える必要はない。As described above, in the present invention, since the pressure-sensitive adhesive layer is pulled out from the tongue piece and peeled off so as to be removed, the pellicle is easily and reliably removed from the photomask without damaging or soiling the photomask. be able to. In this case, the tongue may be adhered to and protruded from the pressure-sensitive adhesive layer when the pellicle is removed, and it is not necessary to protrude the tongue from the pressure-sensitive adhesive layer in advance. The same can be applied, and there is no need to add trouble to the production and handling of the pellicle.
【００１３】なお、以上のような抜き取り、剥離等の効
果をより確実に発揮させる点から、粘着剤層に未硬化の
樹脂又はゴムを舌状に形成し、これを硬化させた後、得
られた硬化舌片を引張るようにするものであり、この場
合、粘着剤層と舌片とをそれぞれシリコーン系粘着剤、
特に粘着剤層を付加反応硬化型シリコーン系粘着剤の付
加反応硬化物にて形成すると共に、未硬化の付加反応硬
化型シリコーン系粘着剤を上記粘着剤層に舌状に形成
し、これを硬化した後、得られた硬化舌片を引張るよう
にすることが好適である。[0013] In order to more reliably exert the above-mentioned effects such as extraction and peeling, an uncured resin or rubber is formed on the pressure-sensitive adhesive layer in a tongue shape, which is obtained after curing. In this case, the pressure-sensitive adhesive layer and the tongue are separated from each other by a silicone-based pressure-sensitive adhesive,
In particular, the pressure-sensitive adhesive layer is formed of an addition-reaction-curable silicone-based pressure-sensitive adhesive, and an uncured addition-reaction-curable silicone-based pressure-sensitive adhesive is formed on the pressure-sensitive adhesive layer in a tongue shape and cured. After that, the obtained cured tongue piece is preferably pulled.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態及び実施例】以下、本発明につき図
１を参照して更に詳しく説明する。なお、図１におい
て、図２と同一構成部品に対しては同一の参照符号を付
し、その説明を省略する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to FIG. In FIG. 1, the same components as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
【００１５】本発明に係るペリクル１のフォトマスク５
からの脱着方法は、フォトマスク５に貼着したペリクル
１の除去時において、ペリクル１の粘着剤層４の外側面
の所用箇所に、図１に示したように、この粘着剤層４に
対して接着可能な樹脂又はゴムからなる舌片７を接着、
形成し、該舌片７を外側方に引張ることにより、上記粘
着剤層４をペリクルフレーム２とフォトマスク５との間
から剥離し、引き抜くものである。The photomask 5 of the pellicle 1 according to the present invention
As shown in FIG. 1, when the pellicle 1 adhered to the photomask 5 is removed, the pellicle 1 is attached to a required position on the outer surface of the adhesive layer 4 as shown in FIG. Tongue 7 made of resin or rubber that can be bonded
The pressure-sensitive adhesive layer 4 is peeled from the space between the pellicle frame 2 and the photomask 5 and pulled out by pulling the tongue piece 7 outward.
【００１６】ここで、ペリクル１を構成するペリクルフ
レーム２、ペリクル膜３、粘着剤層４の材質やペリクル
１の形状、更にはフォトマスク５の材質、形状などは公
知の材質、形状とすることができる。例えば、ペリクル
フレームの材質としては一般にアルミニウムが用いら
れ、フォトマスクの材質としては一般に合成石英等のガ
ラスが用いられる。なお、粘着剤層の材質としては、シ
リコーン系粘着剤が引き出し性も良好で途中で切断が発
生しにくいために好ましい。即ち、シリコーン系粘着剤
は、一般的な粘着剤であるアクリル系粘着剤やゴム系粘
着剤に比べて、引き伸ばしても切断しにくく、更にフォ
トマスクから粘着剤を剥離した後にフォトマスクに粘着
剤の残留物が残りにくいという特徴がある。この場合、
シリコーン系粘着剤は、架橋可能なタイプを用いると、
引張強度の点で有利である。架橋方式には特に制限はな
いが、アルケニル基（好ましくはビニル基）を一分子中
に２個以上含有するアルケニル基含有オルガノポリシロ
キサンと、ＳｉＨ基を一分子中に２個以上含有するオル
ガノハイドロジェンポリシロキサンと、白金や白金化合
物等の付加反応触媒とを含有する付加反応硬化型のシリ
コーン系粘着剤を用いた付加反応方式によることが、硬
化速度、引張強度等の点から有利である。また、この粘
着剤層の粘着力は、上記ペリクルフレームに対して５〜
１０ｋｇ／ｃｍ2で、上記フォトマスクに対して１〜３
ｋｇ／ｃｍ2が好適である。ペリクルフレームに対する
粘着剤層の粘着力が、フォトマスクに対する粘着力より
低くなると、ペリクルを剥離した際、粘着剤層がフォト
マスクに残存するので好ましくない。Here, the material of the pellicle frame 2, the pellicle film 3, the pressure-sensitive adhesive layer 4, the shape of the pellicle 1, and the material and shape of the photomask 5 constituting the pellicle 1 should be known materials and shapes. Can be. For example, aluminum is generally used as the material of the pellicle frame, and glass such as synthetic quartz is generally used as the material of the photomask. As the material of the pressure-sensitive adhesive layer, a silicone-based pressure-sensitive adhesive is preferable because it has good pull-out properties and does not easily cut off in the middle. That is, the silicone-based pressure-sensitive adhesive is less likely to be cut even when stretched than a general pressure-sensitive adhesive such as an acrylic-based pressure-sensitive adhesive or a rubber-based pressure-sensitive adhesive. Is characterized by the fact that the residue is difficult to remain. in this case,
Silicone pressure-sensitive adhesive, if using a crosslinkable type,
This is advantageous in terms of tensile strength. The crosslinking method is not particularly limited, but includes an alkenyl group-containing organopolysiloxane containing two or more alkenyl groups (preferably vinyl groups) in one molecule, and an organohydrogen containing two or more SiH groups in one molecule. The addition reaction method using an addition reaction-curable silicone-based pressure-sensitive adhesive containing genpolysiloxane and an addition reaction catalyst such as platinum or a platinum compound is advantageous from the viewpoint of curing speed, tensile strength and the like. The adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive layer is 5 to 5 with respect to the pellicle frame.
10 kg / cm 2 , 1 to 3
kg / cm 2 is preferred. If the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive layer to the pellicle frame is lower than the adhesive strength to the photomask, the pressure-sensitive adhesive layer remains on the photomask when the pellicle is peeled off.
【００１７】一方、上記粘着剤層に接着、突設される舌
片を形成する樹脂、ゴムとしては、粘着剤層に接着可能
なものであればいずれのものでもよいが、粘着剤層との
接着、一体性の点から粘着剤層を形成する樹脂又はゴム
と同一の材質のものを使用することが好ましい。ここ
で、本発明において、粘着剤層に対する舌片の接着と
は、化学的結合の有無とは関係なく、舌片を引張っても
粘着剤層から分離することなく、粘着剤層に貼り付いて
いる状態である。On the other hand, any resin or rubber that can adhere to the pressure-sensitive adhesive layer may be used as the resin or rubber that forms the tongue piece that is adhered to and protruded from the pressure-sensitive adhesive layer. It is preferable to use the same material as the resin or rubber forming the pressure-sensitive adhesive layer from the viewpoint of adhesion and integration. Here, in the present invention, the adhesion of the tongue to the pressure-sensitive adhesive layer, regardless of the presence or absence of chemical bonding, without being separated from the pressure-sensitive adhesive layer even if the tongue is pulled, adhered to the pressure-sensitive adhesive layer It is in the state that it is.
【００１８】上記舌片を形成する樹脂又はゴムは、硬化
性のものが好ましい。この場合、上述したように粘着剤
層と舌片とは同一材質のものが好ましいものであるが、
粘着剤層はかかる硬化性の樹脂又はゴムを硬化させるこ
とによって予め形成すると共に、ペリクルの除去時に、
これに対してこれと同一材質の未硬化の樹脂又はゴムを
舌状に形成した後、これを硬化させることが接着性、引
張強度、更には舌片の形成し易さなどの点から推奨され
る。例えば、粘着剤層が架橋したシリコーン系粘着剤層
の場合は、舌片の形成には粘着剤層と同じ架橋タイプの
未硬化シリコーン系粘着剤を使用し、粘着剤層に注入、
形成後、これを硬化させることが好ましい。この場合、
接着性の点から最も好ましくは粘着剤層を付加反応硬化
型のシリコーン系粘着剤の硬化物（架橋物）にて形成
し、これに付加反応硬化型のシリコーン系粘着剤を未硬
化状態で該粘着剤層に舌状に注入し、その後上記未硬化
のシリコーン系粘着剤を硬化して硬化舌片を形成するこ
とが好適である。The resin or rubber forming the tongue is preferably a curable resin or rubber. In this case, the pressure-sensitive adhesive layer and the tongue piece are preferably made of the same material as described above,
The pressure-sensitive adhesive layer is formed in advance by curing such a curable resin or rubber, and when the pellicle is removed,
On the other hand, it is recommended to form an uncured resin or rubber of the same material in the shape of a tongue and then cure it in terms of adhesiveness, tensile strength, and ease of forming the tongue piece. You. For example, if the pressure-sensitive adhesive layer is a crosslinked silicone-based pressure-sensitive adhesive layer, use the same cross-linking type uncured silicone-based pressure-sensitive adhesive as the pressure-sensitive adhesive layer to form the tongue, and inject into the pressure-sensitive adhesive layer.
After formation, this is preferably cured. in this case,
From the viewpoint of adhesiveness, it is most preferable that the pressure-sensitive adhesive layer is formed from a cured product (crosslinked product) of an addition-reaction-curable silicone-based pressure-sensitive adhesive, and the addition-reaction-curable silicone-based pressure-sensitive adhesive is added to the uncured state. It is preferable to inject a tongue into the pressure-sensitive adhesive layer and then to cure the uncured silicone-based pressure-sensitive adhesive to form a cured tongue piece.
【００１９】またこの際、粘着剤層に注入されて舌片を
形成すべきシリコーン系粘着剤等の樹脂又はゴムは、ト
ルエン等の溶媒で溶解又は分散された状態で使用するこ
とが好ましく、このような溶媒を用いることにより、粘
着剤が該溶媒に接触することによってその表面が膨潤
し、これにより舌片を形成すべきシリコーン系粘着剤等
の樹脂又はゴムとの接着性が更に向上し、粘着剤層の剥
離を連続的且つ良好に行うことができる。At this time, the resin or rubber such as silicone-based pressure-sensitive adhesive to be injected into the pressure-sensitive adhesive layer to form a tongue piece is preferably used in a state of being dissolved or dispersed in a solvent such as toluene. By using such a solvent, the surface of the pressure-sensitive adhesive swells due to contact with the solvent, thereby further improving the adhesiveness with a resin or rubber such as a silicone-based pressure-sensitive adhesive to form a tongue piece, The pressure-sensitive adhesive layer can be peeled off continuously and favorably.
【００２０】なお、舌片の形成場所、形成個数は特に制
限されず、粘着剤層の外側面であればいずれの箇所でも
よく、また複数個の舌片を形成してもよい。また、舌片
を形成する樹脂又はゴムの量も制限はなく、引き剥がし
作業に十分な量でよい。更に、樹脂又はゴムを舌状に形
成する方法としては、注射器等の注入器具を用いるなど
の方法が採用されるが、これに限定されるものではな
い。樹脂又はゴムの硬化方法としては該樹脂又はゴムの
硬化方式に応じた公知の適宜方法を採用し得る。The location and number of the tongue pieces are not particularly limited, and may be anywhere on the outer surface of the pressure-sensitive adhesive layer, and a plurality of tongue pieces may be formed. The amount of the resin or rubber forming the tongue piece is not limited, and may be an amount sufficient for the peeling operation. Further, as a method of forming the resin or rubber in a tongue shape, a method such as using an injection device such as a syringe is adopted, but the method is not limited thereto. As a method of curing the resin or rubber, a known appropriate method according to the method of curing the resin or rubber can be employed.
【００２１】本発明において、ペリクルをフォトマスク
から除去する場合は、以上のようにして形成した舌片を
手やピンセット、ペンチ等の適宜な工具で掴んでこれを
粘着剤層のペリクル、フォトマスクへの粘着力より大き
い力で外側方に引張るもので、これにより粘着剤層は連
続的にペリクル、フォトマスクから剥離して引き出さ
れ、やがて完全に引き出されてフォトマスクとペリクル
とが容易に分離するものである。この場合、シリコーン
系粘着剤を用いることにより、粘着剤残りもなく、スム
ーズに粘着剤層が抜き取られる。なお万一、粘着剤層が
その引き出し時に破断した場合、破断端部を再度掴んで
引き出しを続ければよく、また必要に応じ新たな舌片を
再度形成するようにしてもよい。In the present invention, when the pellicle is removed from the photomask, the tongue piece formed as described above is gripped with an appropriate tool such as a hand, tweezers, or pliers, and the tongue is held in the pellicle or photomask of the adhesive layer. The adhesive layer is continuously pulled away from the pellicle and photomask by pulling it outward with a force greater than the adhesive force to the pellicle and the photomask. Is what you do. In this case, by using the silicone-based pressure-sensitive adhesive, the pressure-sensitive adhesive layer can be smoothly removed without any pressure-sensitive adhesive residue. In the event that the pressure-sensitive adhesive layer is broken at the time of its withdrawal, it is only necessary to hold the broken end portion again and continue withdrawing, and if necessary, a new tongue piece may be formed again.
【００２２】次に実施例により本発明を具体的に説明す
る。Next, the present invention will be described in detail with reference to examples.
【００２３】［実施例］ペリクルフレームとして、外寸
が１２２ｍｍ×１４９ｍｍで、幅２．０ｍｍ、高さ５．
８ｍｍの四角形アルミフレームを用いた。このペリクル
フレームの一端面に、ペリクル膜を形成すると共に、他
端面に付加反応によって架橋する付加反応硬化型シリコ
ーン系粘着剤（信越化学工業社製）の０．５ｍｍの層を
形成した。[Embodiment] The pellicle frame has an outer dimension of 122 mm × 149 mm, a width of 2.0 mm and a height of 5.
An 8 mm square aluminum frame was used. A pellicle film was formed on one end surface of the pellicle frame, and a 0.5 mm layer of an addition-curable silicone-based pressure-sensitive adhesive (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), which was crosslinked by an addition reaction, was formed on the other end surface.
【００２４】次にこのペリクルを合成石英製フォトマス
クに１５ｋｇ荷重で３分間圧着して貼り付けた。この場
合、シリコーン系粘着剤のペリクルフレームに対する粘
着力は６ｋｇ／ｃｍ2あり、フォトマスクへの粘着力は
２ｋｇ／ｃｍ2であった。Next, the pellicle was attached to a synthetic quartz photomask by pressing under a load of 15 kg for 3 minutes. In this case, the adhesive strength of the silicone adhesive to the pellicle frame was 6 kg / cm 2 , and the adhesive strength to the photomask was 2 kg / cm 2 .
【００２５】次に、上記粘着剤と同じシリコーン系粘着
剤をトルエンに溶かして５０重量％に調製し、更にこの
注入液に架橋用の白金系触媒を添加して樹脂注入液を得
た。Next, the same silicone-based pressure-sensitive adhesive as the above pressure-sensitive adhesive was dissolved in toluene to adjust to 50% by weight, and a platinum-based catalyst for crosslinking was added to the injection to obtain a resin injection.
【００２６】得られた樹脂注入液を注射器に充填し、上
記ペリクルとフォトマスクに介在している粘着剤層のコ
ーナー部に注射器から樹脂注入液を約２０ｃｃ注入し
た。その後、約３０分間放置させ、更に赤外線ランプで
上記注入箇所を約８０℃で５分間加熱し、硬化させて硬
化舌片を得た。The obtained resin injection solution was filled in a syringe, and about 20 cc of the resin injection solution was injected from the syringe into the corner of the pressure-sensitive adhesive layer interposed between the pellicle and the photomask. Thereafter, the mixture was left to stand for about 30 minutes, and the above-mentioned injection point was heated at about 80 ° C. for 5 minutes with an infrared lamp to be cured to obtain a cured tongue piece.
【００２７】次いで、上記硬化舌片の先端部分を指でつ
まみ、ゆっくりと外方に向かって粘着剤層を引き出し
た。なお、硬化舌片はその一部がフォトマスク基板に接
着したが、硬化舌片はこれをフォトマスクからスムーズ
に剥離することができた。この引き出しの結果、硬化舌
片と粘着剤層とは強固に接着しており、硬化舌片及び粘
着剤層を途中で破断することも両者の界面とで分離する
こともなく粘着剤層を容易にペリクルとフォトマスクと
の間から連続的に抜き出すことができ、しかも、この場
合フォトマスクを傷付けたり、汚染したりすることなく
フォトマスクよりペリクルを除去することができた。Next, the tip of the cured tongue piece was pinched with a finger, and the pressure-sensitive adhesive layer was slowly pulled outward. The cured tongue piece was partially adhered to the photomask substrate, but the cured tongue piece could be smoothly separated from the photomask. As a result of this drawing, the cured tongue piece and the pressure-sensitive adhesive layer are firmly adhered to each other, and the pressure-sensitive adhesive layer can be easily formed without breaking the cured tongue piece and the pressure-sensitive adhesive layer in the middle and separating at the interface between them. In this case, the pellicle could be continuously extracted from between the pellicle and the photomask, and in this case, the pellicle could be removed from the photomask without damaging or contaminating the photomask.
【００２８】[0028]
【発明の効果】本発明の方法によれば、フォトマスクを
傷付けたり、汚染したりすることなく容易にフォトマス
クに貼着されたペリクルを除去することができる。According to the method of the present invention, the pellicle attached to the photomask can be easily removed without damaging or contaminating the photomask.
【図１】本発明の実施に際し、ペリクルの粘着剤層に舌
片を接着した状態を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a state in which a tongue piece is adhered to an adhesive layer of a pellicle in carrying out the present invention.
【図２】先願発明におけるペリクルのフォトマスクへの
貼着構造を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a structure for attaching a pellicle to a photomask according to the invention of the prior application.
１ ペリクル ２ ペリクルフレーム ３ ペリクル膜 ４ 粘着剤層 ５ フォトマスク ７ 舌片 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Pellicle 2 Pellicle frame 3 Pellicle film 4 Adhesive layer 5 Photomask 7 Tongue piece
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 1/14 H01L 21/027 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G03F 1/14 H01L 21/027
Claims (3)
を張設し、他端面に粘着剤層を形成してなり、この粘着
剤層を介してフォトマスクに貼着されたペリクルを上記
フォトマスクから脱着させるに際し、上記粘着剤層の外
側面にこの粘着剤層と接着可能な未硬化の樹脂又はゴム
からなる舌片を接着し、これを硬化させた後、得られた
硬化舌片を外側方に引張ることにより、上記粘着剤層を
上記ペリクルフレームとフォトマスクとの間から剥離し
引き抜くことを特徴とするフォトマスクからのペリクル
脱着方法。1. A pellicle film is stretched on one end surface of a pellicle frame, and an adhesive layer is formed on the other end surface. A pellicle adhered to a photomask via the adhesive layer is removed from the photomask. At the time of attachment / detachment, a tongue made of an uncured resin or rubber that can be adhered to the pressure-sensitive adhesive layer is adhered to the outer surface of the pressure-sensitive adhesive layer, and after this is cured, the obtained cured tongue is moved outward. Removing the pressure-sensitive adhesive layer from between the pellicle frame and the photomask by pulling the pressure-sensitive adhesive layer between the pellicle frame and the photomask.
系粘着剤にて形成した請求項１記載の方法。2. The method according to claim 1, wherein the pressure-sensitive adhesive layer and the tongue piece are each formed of a silicone-based pressure-sensitive adhesive.
粘着剤の付加反応硬化物にて形成すると共に、未硬化の
付加反応硬化型シリコーン系粘着剤を上記粘着剤層に舌
状に形成し、これを硬化した後、得られた硬化舌片を引
張るようにした請求項１記載の方法。3. The pressure-sensitive adhesive layer is formed from an addition-reaction-curable silicone pressure-sensitive adhesive, and an uncured addition-reaction-curable silicone pressure-sensitive adhesive is formed on the pressure-sensitive adhesive layer in a tongue shape. 2. The method according to claim 1, wherein the cured tongue piece is pulled after curing.
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