JP3200983B2 - CCD sealed container - Google Patents

CCD sealed container

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JP3200983B2
JP3200983B2 JP19378592A JP19378592A JP3200983B2 JP 3200983 B2 JP3200983 B2 JP 3200983B2 JP 19378592 A JP19378592 A JP 19378592A JP 19378592 A JP19378592 A JP 19378592A JP 3200983 B2 JP3200983 B2 JP 3200983B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、CCDを密閉収納する
CCD密閉容器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a CCD hermetic container for hermetically storing a CCD.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、CCD(Charge Coupled Dev
ice)には、周囲温度に比例した暗電流が流れることが
知られている。CCDをイメージスキャナ等のイメージ
センサとして使用した場合には、この暗電流がノイズと
なるためにダイナミックレンジが狭められることにな
る。そこで、CCDを冷却することで暗電流を低減し、
ダイナミックレンジを広げることが行われている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a CCD (Charge Coupled Device) has been used.
It is known that dark current flows in ice) in proportion to the ambient temperature. When the CCD is used as an image sensor of an image scanner or the like, the dynamic range is narrowed because the dark current becomes noise. Therefore, the dark current is reduced by cooling the CCD,
The dynamic range is being widened.

【0003】また、CCDを冷却する際には結露対策が
必要となることから、CCDを密閉容器に収納し、容器
内にドライ窒素等の気体を封入したり、容器内を真空に
したりすることが行われている。
In order to cool the CCD, it is necessary to take measures against dew condensation. Therefore, it is necessary to store the CCD in a sealed container, enclose a gas such as dry nitrogen in the container, or evacuate the container. Has been done.

【0004】従来のCCD密閉容器にドライ窒素等の気
体を封入する作業は、図4に示すようにして行われる。
[0004] The operation of sealing a gas such as dry nitrogen in a conventional CCD sealed container is performed as shown in FIG.

【0005】図4において、CCD101はリジット基
板102に半田付けされ、CCD密閉容器103にネジ
止め固定されている。CCD密閉容器103の上部には
ガラス板104が取り付けられ、これによってCCD密
閉容器103内の雰囲気が保たれる。
[0005] In FIG. 4, a CCD 101 is soldered to a rigid substrate 102 and fixed to a CCD sealed container 103 by screws. A glass plate 104 is attached to the upper portion of the CCD sealed container 103, thereby keeping the atmosphere in the CCD sealed container 103.

【0006】CCD密閉容器103の外側には、CCD
密閉容器103全体を包むようにして容器105が設け
られる。容器105の下部に設けられた貫通孔105a
および105bは、バルブ106aまたはバルブ106
bを介して真空ポンプ107および気体ボンベ108に
それぞれ接続されている。
[0006] Outside the CCD sealed container 103, there is a CCD.
A container 105 is provided so as to wrap the entire closed container 103. Through-hole 105a provided in the lower part of container 105
And 105b are connected to the valve 106a or the valve 106
b, they are connected to a vacuum pump 107 and a gas cylinder 108, respectively.

【0007】CCD密閉容器に気体を封入する作業は、
ガラス板104が開かれた状態で開始される。バルブ1
06aを開いてCCD密閉容器103内の空気を真空ポ
ンプ107に吸引し、一定の真空度に達したらバルブ1
06aを閉じる。バルブ106bを開いて気体ボンベ1
08から容器105内に気体が封入される。
[0007] The operation of filling gas into the CCD sealed container is as follows.
The process is started with the glass plate 104 opened. Valve 1
06a is opened and the air in the CCD sealed container 103 is sucked into the vacuum pump 107. When a certain degree of vacuum is reached, the valve 1
06a is closed. Open the valve 106b and open the gas cylinder 1
From 08, gas is sealed in the container 105.

【0008】容器105内に気体が封入されると、CC
D密閉容器103内も気体で満たされた状態となる。こ
の状態でCCD密閉容器103にガラス板104が取り
付けられ、CCD密閉容器に気体を封入する作業が終了
する。その後に、バルブ106bを閉じてから、CCD
密閉容器103が容器105の外に取り出され、イメー
ジスキャナ等に取り付けて使用される。
When gas is sealed in the container 105, CC
The inside of the D sealed container 103 is also filled with gas. In this state, the glass plate 104 is attached to the CCD sealed container 103, and the operation of filling gas into the CCD sealed container is completed. Then, after closing the valve 106b, the CCD 106
The sealed container 103 is taken out of the container 105 and used by being attached to an image scanner or the like.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のCCD
密閉容器に気体を封入する場合には、CCD密閉容器を
囲む比較的大容量の容器内の雰囲気全体を入れ替える必
要があり、容器内で気体雰囲気を保ちながら、CCD密
閉容器を組立てる手段が必要である。そのために、真空
ポンプや気体ボンベやCCD密閉容器を囲む容器は比較
的大型の設備が必要となり、コストアップになるという
問題点がある。
The conventional CCD described above.
When gas is sealed in a sealed container, it is necessary to replace the entire atmosphere in a relatively large-capacity container surrounding the CCD sealed container, and a means for assembling the CCD sealed container while maintaining the gas atmosphere in the container is required. is there. Therefore, a relatively large facility is required for the vacuum pump, the gas cylinder and the container surrounding the CCD sealed container, and there is a problem that the cost is increased.

【0010】また、CCDのメンテナンスを行う場合に
は、イメージスキャナ等からCCD密閉容器を一旦取り
外してCCDのメンテナンスを行った後に、CCD密閉
容器を再度イメージスキャナ等に取り付け直すことが必
要となり、CCDの位置調整のやり直し等のメンテナン
ス作業が非常に煩雑になるという問題点がある。
When performing maintenance on the CCD, it is necessary to temporarily remove the CCD sealed container from the image scanner or the like, perform maintenance on the CCD, and then reattach the CCD sealed container to the image scanner or the like. There is a problem that maintenance work such as redoing the position adjustment becomes very complicated.

【0011】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
もので、CCD密閉容器内の少容量の雰囲気を入れ替え
ることで、比較的小型の設備で気体の封入作業ができる
ようにすることを目的とする。また、CCD密閉容器を
イメージスキャナ等に取り付けたままで気体の再封入が
できるようにして、CCDのメンテナンス作業が容易に
行えるようにすることを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has been made in view of the fact that by replacing a small volume atmosphere in a CCD sealed container, it is possible to perform a gas filling operation with a relatively small facility. Aim. Another object of the present invention is to make it possible to re-enclose gas while the CCD sealed container is attached to an image scanner or the like, so that maintenance work of the CCD can be easily performed.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のCCD密閉容器は、CCDを収納する密閉
容器と、密閉容器の端部に設けられたバルブと、密閉容
器の端部に設けられた開口と、開口を密封する密封プラ
グを具備するように構成される。
In order to achieve this object, a CCD sealed container according to the present invention comprises a sealed container for accommodating a CCD, a valve provided at an end of the sealed container, and an end of the sealed container. And a sealing plug for sealing the opening.

【0013】また、好ましくは、密閉容器の端部に設け
られたバルブは、配管を接続したときに開き、配管を離
脱したときに閉じるバルブであるように構成される。
Preferably, the valve provided at the end of the closed vessel is a valve that opens when a pipe is connected and closes when the pipe is disconnected.

【0014】更に、好ましくは、密閉容器の端部に設け
られたバルブと密閉容器の端部に設けられた開口との距
離を長くするように構成される。
Further, preferably, the distance between the valve provided at the end of the closed container and the opening provided at the end of the closed container is increased.

【0015】[0015]

【作用】上記構成のCCD密閉容器においては、バルブ
と開口と密封プラグを設け、バルブと密封プラグを操作
してCCD密閉容器内の少容量の雰囲気だけを入れ替え
るようにしたので、比較的小型の設備で気体の封入作業
ができるようになる。
In the CCD sealed container having the above structure, a valve, an opening and a sealing plug are provided, and only a small volume atmosphere in the CCD sealed container is exchanged by operating the valve and the sealing plug. The gas can be sealed in the facility.

【0016】また、バルブと密封プラグを設けたCCD
密閉容器をイメージスキャナ等に取り付け、イメージス
キャナ等に取り付けたままでバルブと密封プラグを操作
して気体の再封入ができるので、CCDのメンテナンス
作業を容易に行うことができる。
Also, a CCD provided with a valve and a sealing plug
Since the sealed container is attached to an image scanner or the like, and the valve and the sealing plug can be operated and the gas can be refilled with the sealed container attached to the image scanner or the like, maintenance work of the CCD can be easily performed.

【0017】[0017]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0018】図1は、本発明によるCCD密閉容器の一
実施例を示す正面図である。
FIG. 1 is a front view showing an embodiment of a CCD sealed container according to the present invention.

【0019】図1において、CCD1はFPC(Flexibl
e Print Circuit)基板2に載置され、前カバー5および
後カバー6内に収納される。FPC基板2は、CCD1
および後述するペルチエ素子3に対する電力供給と、C
CD1で得られるイメージ信号の出力に使用される。前
カバー5および後カバー6は、FPC基板2を上下方向
から挟んだ状態でネジ止め固定される。このときの外見
は、図2に斜視図で示すようになる。
In FIG. 1, a CCD 1 is an FPC (Flexibl
e Print Circuit) placed on the substrate 2 and housed in the front cover 5 and the rear cover 6. The FPC board 2 has a CCD 1
And power supply to the Peltier element 3 described later, and C
Used to output an image signal obtained by CD1. The front cover 5 and the rear cover 6 are fixed with screws while sandwiching the FPC board 2 from above and below. The appearance at this time is as shown in a perspective view in FIG.

【0020】前カバー5の下端部には、下辺を1周する
ようにしてオーリング7aが設けられている。また、後
カバー6の上端部には、下辺を1周するようにしてオー
リング7bが設けられている。このオーリング7aがF
PC基板2の上面と接触し、オーリング7bがFPC基
板2の下面と接触することで、前カバー5および後カバ
ー6内の気密性が確保される。オーリング7aおよび7
bは、シール部材として使用されているだけなので、ゴ
ム板等を組合せて使用することも可能である。また、接
着剤等で代用することも可能である。
An O-ring 7a is provided at the lower end of the front cover 5 so as to make one turn around the lower side. Also, an O-ring 7b is provided at the upper end of the rear cover 6 so as to make one round around the lower side. This O-ring 7a is F
By contacting the upper surface of the PC board 2 and the O-ring 7b contacting the lower surface of the FPC board 2, airtightness in the front cover 5 and the rear cover 6 is ensured. O-rings 7a and 7
Since b is only used as a seal member, it can be used in combination with a rubber plate or the like. Further, an adhesive or the like can be used instead.

【0021】前カバー5の上部中央には、ガラス板8が
図外の固定板によって前カバー5にビスで圧接固定され
ている。このガラス板8と前カバー5との間にはオーリ
ング9aが配置され、両者間の気密性を保っている。ま
た、後カバー6の下部中央には、ラジエーター10が図
外のビスによって後カバー6に圧接固定されている。こ
のラジエーター10と後カバー6との間にはオーリング
11aが配置され、両者間の気密性を保っている。
At the center of the upper portion of the front cover 5, a glass plate 8 is fixed to the front cover 5 with screws by a fixing plate (not shown). An O-ring 9a is arranged between the glass plate 8 and the front cover 5 to maintain airtightness between the two. At the lower center of the rear cover 6, a radiator 10 is fixed to the rear cover 6 by pressing screws (not shown). An O-ring 11a is arranged between the radiator 10 and the rear cover 6 to maintain airtightness between the two.

【0022】ラジエーター10の上部中央はペルチエ素
子3下面と接触し、ペルチエ素子3の上部はCCD1下
面と接触している。直方体状のペルチエ素子3のリード
線はFPC基板2に配線される。このペルチエ素子3を
CCD1とラジエーター10で挟むように構成すること
で、ペルチエ素子3は接触面積が最も大きい状態でCC
D1およびラジエーター10と接触する。これにより、
ペルチエ素子3とCCD1およびラジエーター10との
間の熱伝導度を向上させるようにしている。すなわち、
バネ4aおよび4bは、上方向からCCD1を押圧して
ペルチエ素子3がCCD1とラジエーター10に圧接す
るようにしている。なお、ペルチエ素子3の上面および
下面には、熱伝導度を向上させる目的で高熱伝導性のシ
リコン樹脂等が塗布される。
The upper center of the radiator 10 is in contact with the lower surface of the Peltier element 3, and the upper part of the Peltier element 3 is in contact with the lower surface of the CCD 1. The lead wires of the cuboid Peltier element 3 are wired to the FPC board 2. By arranging the Peltier element 3 so as to be sandwiched between the CCD 1 and the radiator 10, the Peltier element 3 has the largest contact area,
Contact with D1 and radiator 10. This allows
The thermal conductivity between the Peltier element 3 and the CCD 1 and the radiator 10 is improved. That is,
The springs 4a and 4b press the CCD 1 from above so that the Peltier element 3 is pressed against the CCD 1 and the radiator 10. The upper and lower surfaces of the Peltier element 3 are coated with a high thermal conductive silicon resin or the like for the purpose of improving thermal conductivity.

【0023】前カバー5の上部左端部には、カップリン
グ12が設けられている。このカップリング12には、
図3に示すように、バルブ25を介して気体ボンベ24
が接続される。また、前カバー5の上部右端部には排出
開口5aが形成されている。これらのカップリング12
および排出開口5aを利用して、ドライ窒素等の気体を
CCD密閉容器内に注入する作業が、次のようにして行
われる。
At the upper left end of the front cover 5, a coupling 12 is provided. In this coupling 12,
As shown in FIG.
Is connected. A discharge opening 5a is formed at the upper right end of the front cover 5. These couplings 12
The operation of injecting a gas such as dry nitrogen into the CCD sealed container using the discharge opening 5a is performed as follows.

【0024】まず、バルブ25を開いて気体ボンベ24
からドライ窒素等の気体がCCD密閉容器内に所定時間
注入される。このとき、CCD密閉容器内の空気は注入
された気体によって排出開口5aから容器外に送り出さ
れる。なお、空気を容器外に送り出す場合に、CCD密
閉容器の角部分に空気が残留することがあるので、前カ
バー5および後カバー6の各隅部分は十分なアールを付
けて、残留分を極力避けるようにしてある。また、CC
D密閉容器内に空気を拡散させ易くする目的から、カッ
プリング12と排出開口5aの距離が長くなるように両
者の位置が設定されている。
First, the valve 25 is opened and the gas cylinder 24 is opened.
, A gas such as dry nitrogen is injected into the CCD sealed container for a predetermined time. At this time, the air in the CCD sealed container is sent out of the container through the discharge opening 5a by the injected gas. When air is sent out of the container, air may remain at the corners of the CCD sealed container. Therefore, each corner of the front cover 5 and the rear cover 6 is provided with a sufficient radius to minimize the residual amount. I try to avoid it. Also, CC
D In order to facilitate the diffusion of air into the closed container, the positions of the coupling 12 and the discharge opening 5a are set such that the distance between the coupling 12 and the discharge opening 5a increases.

【0025】更に、ドライ窒素のような空気よりも比重
の軽い気体をCCD密閉容器内に充満させる場合は、ド
ライ窒素が容器内の左上から右上に移動するだけで、C
CD密閉容器内に拡散しないことがある。このような状
態を避けるために、後カバー6の下部右端部に排出開口
5aを設けることもできる。
Furthermore, when a gas having a specific gravity lower than that of air such as dry nitrogen is filled in the CCD sealed container, the dry nitrogen simply moves from the upper left to the upper right in the container.
It may not diffuse into a closed CD container. In order to avoid such a state, a discharge opening 5a may be provided at the lower right end of the rear cover 6.

【0026】CCD密閉容器内が気体で満たされた時点
で、排出開口5aにプラグ13をネジ込むことによって
排出開口5aは密封される。その後にバルブ25が閉じ
られ、カップリング12の部分でバルブ25からの配管
を離脱すると、気体ボンベ24はCCD密閉容器から分
離される。なお、カップリング12はバルブ25からの
配管を接続したときに開き、配管を離脱したときに閉じ
るバルブとしての機能を持っているものとする。
When the inside of the CCD sealed container is filled with gas, the discharge opening 5a is sealed by screwing the plug 13 into the discharge opening 5a. Thereafter, the valve 25 is closed, and when the pipe from the valve 25 is disconnected at the coupling 12, the gas cylinder 24 is separated from the CCD sealed container. Note that the coupling 12 has a function as a valve that opens when the pipe from the valve 25 is connected and closes when the pipe is disconnected.

【0027】このようにしてドライ窒素等の気体が満た
されたCCD密閉容器は、イメージスキャナ等に取り付
けて使用される。上述したように、ペルチエ素子3がC
CD1とラジエーター10に圧接した状態で、FPC基
板2を介してペルチエ素子3に電力を供給すると、ペル
チエ素子3はペルチエ効果によってCCD1を冷却し、
ラジエーター10を加熱することになる。このようにし
てCCD1を冷却することで、暗電流を低減してダイナ
ミックレンジを広げることができる。
The CCD sealed container thus filled with a gas such as dry nitrogen is used by being attached to an image scanner or the like. As described above, the Peltier element 3 is C
When power is supplied to the Peltier element 3 via the FPC board 2 in a state where the Peltier element 3 is pressed against the CD 1 and the radiator 10, the Peltier element 3 cools the CCD 1 by the Peltier effect,
The radiator 10 will be heated. By cooling the CCD 1 in this manner, the dark current can be reduced and the dynamic range can be expanded.

【0028】以上、本発明を実施例により説明したが、
本発明の技術的思想によれば、種々の変形が可能であ
る。例えば、上述した実施例においては、カップリング
12はバルブ25からの配管を接続したときに開き、配
管を離脱したときに閉じるバルブとしての機能を有する
カップリングを想定しているが、このようなバルブ機能
を持っていないカップリングをカップリング12として
使用する場合は、バルブ25と気体ボンベ24の間で気
体ボンベ24とCCD密閉容器を分離することになる。
The present invention has been described with reference to the embodiments.
According to the technical idea of the present invention, various modifications are possible. For example, in the above-described embodiment, the coupling 12 is assumed to have a function as a valve that opens when the pipe from the valve 25 is connected and closes when the pipe is disconnected. When a coupling having no valve function is used as the coupling 12, the gas cylinder 24 and the CCD sealed container are separated between the valve 25 and the gas cylinder 24.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上のように、本発明のCCD密閉容器
によれば、バルブと開口と密封プラグを設け、バルブと
密封プラグを操作してCCD密閉容器内の少容量の雰囲
気だけを入れ替えるようにしたので、比較的小型の設備
で気体の封入作業ができるようになる。
As described above, according to the CCD sealed container of the present invention, a valve, an opening and a sealing plug are provided, and only a small volume atmosphere in the CCD sealed container is replaced by operating the valve and the sealing plug. As a result, gas can be sealed with relatively small equipment.

【0030】また、バルブと密封プラグを設けたCCD
密閉容器をイメージスキャナ等に取り付け、イメージス
キャナ等に取り付けたままでバルブと密封プラグを操作
して気体の再封入ができるので、CCDのメンテナンス
作業を容易に行うことが可能となる。
Also, a CCD provided with a valve and a sealing plug
Since the sealed container is attached to an image scanner or the like, and the valve and the sealing plug can be operated to re-enclose the gas while being attached to the image scanner or the like, the maintenance work of the CCD can be easily performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるCCD密閉容器の一実施例を示す
正面図である。
FIG. 1 is a front view showing an embodiment of a CCD sealed container according to the present invention.

【図2】本発明によるCCD密閉容器の一実施例を示す
斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment of a CCD sealed container according to the present invention.

【図3】本発明によるCCD密閉容器の一実施例を示す
概略正面図である。
FIG. 3 is a schematic front view showing an embodiment of a CCD sealed container according to the present invention.

【図4】従来のCCD密閉容器の一例を示す正面図であ
る。
FIG. 4 is a front view showing an example of a conventional CCD sealed container.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 CCD 2 FPC基板 3 ペルチエ素子 4a バネ 4b バネ 5 前カバー 5a 排出開口 6 後カバー 7a オーリング 7b オーリング 8 ガラス板 9a オーリング 10 ラジエーター 11a オーリング 12 カップリング 13 プラグ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 CCD 2 FPC board 3 Peltier element 4a Spring 4b Spring 5 Front cover 5a Discharge opening 6 Rear cover 7a O-ring 7b O-ring 8 Glass plate 9a O-ring 10 Radiator 11a O-ring 12 Coupling 13 Plug

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−124456(JP,A) 特開 昭61−8957(JP,A) 特開 昭61−59756(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 27/14 H01L 27/148 H01L 23/02 H01L 23/20 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-57-124456 (JP, A) JP-A-61-8957 (JP, A) JP-A-61-59756 (JP, A) (58) Field (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 27/14 H01L 27/148 H01L 23/02 H01L 23/20

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 CCDを収納する密閉容器と、前記密閉
容器の端部に設けられたバルブと、前記密閉容器の端部
に設けられた開口と、前記開口を密封する密封プラグを
具備することを特徴とするCCD密閉容器。
1. A closed container for accommodating a CCD, a valve provided at an end of the closed container, an opening provided at an end of the closed container, and a sealing plug for sealing the opening. A CCD sealed container characterized by the above-mentioned.
【請求項2】 密閉容器の端部に設けられたバルブは、
配管を接続したときに開き、配管を離脱したときに閉じ
るバルブであることを特徴とする請求項1記載のCCD
密閉容器。
2. A valve provided at an end of the closed container,
2. The CCD according to claim 1, wherein the valve is a valve that opens when a pipe is connected and closes when the pipe is disconnected.
Closed container.
【請求項3】 密閉容器の端部に設けられたバルブと密
閉容器の端部に設けられた開口との距離を長くしたこと
を特徴とする請求項1記載のCCD密閉容器。
3. The CCD sealed container according to claim 1, wherein the distance between the valve provided at the end of the closed container and the opening provided at the end of the closed container is increased.
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