JP3195765U - スプレーノズル及び該スプレーノズルを用いる廃ガス処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】廃ガス処理装置が有するスクラバーに好適な水が通過する経路が閉塞されにくい霧化構造を有するスプレーノズルを提供する。【解決手段】廃ガス処理装置が有するスクラバー2に用いられて、送水管4の複数のノズル設置座に取付けられ、フィルター22に向って水を放出するスプレーノズル3であって、本体31と、本体の一端から他端まで貫通するように延伸する水通過路と、本体の一端から突出するように延伸すると共に、水通過路を通過する水を衝突により霧化して円錐状に放出することができるように螺旋状に巻かれて形成された案内部32と、を有する。【選択図】図2
Description
本考案はスプレーノズル及びその応用に関し、特に廃ガス処理装置に用いるスプレーノズルに関する。
半導体の製造過程で排出された廃ガスは、可燃性や、爆発性や、腐食性などを有する有害物質を含有するので、人体や環境に悪影響を与えないように処理してから排出しなければならない。
その廃ガス処理方法として、もっともよく使用される方法は、廃ガスに対して霧化した水を噴射することによって廃ガスが含有する有害物質を水に溶解させて除去する湿式処理方法であり、例えば、図1に示すガス処理装置を用いる。該ガス処理装置は、スクラバー1と、スクラバー1内に設置されたフィルター11と、フィルター11の上方に設置されるスプリンクラー12と、を有している。スプリンクラー12は、送水管121と、フィルター11に向かうように送水管121に設置され、水を霧化して放出するスプレーノズル122と、により構成されている。
スクラバー1の下方、即ち図1における下方から上方へ移動する廃ガスは、フィルター11に通されることにより、含有する有害物質が除去される。また、スプレーノズル122から噴射される水は、廃ガスの粉じんと水溶性のガスとを除去する機能を有する以外、フィルター11に落ちた水は、フィルター11の濾過効果を向上することができる。
但し、スプレーノズル122がスプリンクラー12に1つしか設置されていないので、フィルター11に満遍なく散水するためには、水圧とスプレーノズル122の設置角度とをフィルター11に対応して設定することが必要である。また、1つしかないスプレーノズル122が閉塞されると、廃ガスが含有する有害物質を除去する機能と、フィルターの濾過機能とが大幅に低減する。
しかし、一般のスプレーノズルの水を霧化する霧化構造は、スプレーノズルの内部に水が通過する経路を窄めるように形成されているので、長期間の使用によって閉塞されやすく、頻繁にメンテナンスを行う必要があるという欠点がある。
上記問題点に鑑みて、本考案は、水が通過する経路が閉塞されにくい霧化構造を有するスプレーノズル、及び該スプレーノズルを用いる廃ガス処理装置の提供を目的とする。
上記目的を達成すべく、本考案は、廃ガス処理装置が有するスクラバーに用いられて、フィルターに向って水を放出するスプレーノズルであって、本体と、前記本体の一端から他端まで貫通するように延伸する水通過路と、前記本体の前記一端から突出するように延伸すると共に、前記水通過路を通過する水を霧化して放出することができるように螺旋状に巻かれて形成された案内部と、を有するように構成されていることを特徴とするスプレーノズルを提供する。
また、本考案は、廃ガスに対してを水を噴霧することにより該廃ガスが含有する粉じんと水溶性のガスを除去するスクラバーを有する廃ガス処理装置であって、前記スクラバーは、所定方向に沿って管状に延伸して洗浄空間を囲うスクラバー本体と、前記洗浄空間を横断するように設置されるフィルターと、前記洗浄空間内において、前記フィルターの上方に設置され、且つ、互いに所定の間隔を空けると共に、それぞれが相異する方向に向くように配置される複数のノズル設置座が形成されている送水管と、前記送水管における各前記ノズル設置座にそれぞれ取付けられている上記のスプレーノズルと、を有することを特徴とする廃ガス処理装置をも提供する。
上記の構成によれば、本考案は、スプレーノズルの本体の一端から突出するように延伸すると共に、水通過路を通過する水を霧化して放出することができるように螺旋状に巻かれて形成された案内部を有するので、水通過路を窄める霧化構造がなく、従来のスプレーノズルより閉塞されにくい。
以下は添付の図面を参照しながら、本考案のスプレーノズルについて説明する。
図2は本考案のスプレーノズル及び該スプレーノズルを用いる廃ガス処理装置の好ましい実施形態の断面図であり、図3は本考案のスプレーノズルの好ましい実施形態を示す側面図である。
本考案のスプレーノズル3は、図2に示されるように、廃ガス処理装置におけるスクラバー2が有する送水管4に取り付けられ、フィルター22に向って水を放出するように配置されている。また、その構成は、図3に示されている。
図3に示されているように、本考案のスプレーノズル3は本体31と案内部32とにより構成されている。本体31は、本体31の一端から他端まで貫通するように延伸する水通過路30を画成し、且つ、本体31は係止部311と螺接部312とにより構成されている。係止部311は、該スプレーノズル3が送水管4に取り付けられる際に、送水管4に当接するように、水通過路30の延伸方向と直交する外側へ張り出して形成される。螺接部312は、水通過路30の延伸方向に沿って係止部311から前記他端側へ更に突出し、外側に螺旋状の溝が形成されて送水管4に螺接して嵌め込まれることができる。
この実施形態において、係止部311は、六角形に形成されているので、一般のスパナで取り付けたり取り外したりすることができ、利便性が高い。
案内部32は、本体31の前記一端から突出するように延伸すると共に、螺旋状に巻かれて形成されている。図3に示されるように、水通過路30を通過した水は、案内部32に衝突して、微細な水滴に霧化し、円錐状に放出される。
案内部32は、本体31の前記一端から突出するように延伸すると共に、螺旋状に巻かれて形成されている。図3に示されるように、水通過路30を通過した水は、案内部32に衝突して、微細な水滴に霧化し、円錐状に放出される。
上記の構成によれば、本考案のスプレーノズルの水を霧化する霧化構造である案内部32は、水通過路30の外に構成されるので、水通過路30を窄める従来の霧化構造と異なり、閉塞されにくくなり、メンテナンスを行う頻度を減少できる。
また、図2に示されるように、本考案のスプレーノズル3を用いる廃ガス処理装置の好ましい実施形態は、廃ガスに対して水を噴霧することにより廃ガスが含有する粉じんと水溶性のガスを除去するスクラバー2を有する。
スクラバー2は、所定方向に沿って管状に延伸して洗浄空間20を囲うスクラバー本体21と、略板状に形成されており洗浄空間20を横断するように設置されているフィルター22と、洗浄空間20内において、フィルター22の上方に設置され、且つ、複数のノズル設置座41が互いに所定の間隔を空けて形成されている送水管4と、送水管4における各ノズル設置座41にそれぞれ取付けられている上記本考案のスプレーノズル3と、を備えている。
図4は本考案のスプレーノズルを用いる廃ガス処理装置の好ましい実施形態における、スプレーノズルの設置形態を示す斜視図であり、図5は本考案のスプレーノズルを用いる廃ガス処理装置の好ましい実施形態における、スプレーノズルの設置角度を示す断面図である。
複数のノズル設置座41それぞれの向く方向、即ち、複数のスプレーノズル3それぞれの向く方向は、図4及び図5に示されるように、いずれもフィルター22側へ向くと共に、送水管4からフィルター22までの法線方向Lと成す角度が30°であり、且つ相隣する2つのスプレーノズル3は、法線方向Lの異なる側に向くように構成されている。
上記の構成によれば、廃ガスはフィルター22に通されることにより、該廃ガスが含有する有害物質が除去される。また、スプレーノズル3から噴射される水は、廃ガスの粉じんと水溶性のガスとを除去する機能を有する以外、フィルター22に落ちた水は、フィルター22の濾過効果を向上できる。
また、スプレーノズル3の設置方法により、スプレーノズル3の設置場所または廃ガス処理装置の設置場所の水圧が足りない、或いはスプレーノズル3の設置角度がフィルター22に対応していないなどの状況において、複数のスプレーノズルの散水範囲が互いに相補することにより、所望の散水範囲を維持でき、更に、1つのスプレーノズル3が閉塞された状況においても、残りのスプレーノズル3によって所望の散水範囲を維持できるので、直ぐにスプレーノズルを替える必要がなく、メンテナンスを行う頻度を更に減少できる。
本考案のスプレーノズルは、各散水装置に適用でき、特に詰まりにくい構造を有するので、廃ガス処理装置に使用すると、スプレーノズルの散水状況を確認するために頻繁にメンテナンスを行う必要がなくなり、廃ガス処理装置に用いることに更に好適である。
2 スクラバー
20 洗浄空間
21 スクラバー本体
22 フィルター
3 スプレーノズル
30 水通過路
31 本体
311 係止部
312 螺接部
32 案内部
4 送水管
41 ノズル設置座
L 法線方向
20 洗浄空間
21 スクラバー本体
22 フィルター
3 スプレーノズル
30 水通過路
31 本体
311 係止部
312 螺接部
32 案内部
4 送水管
41 ノズル設置座
L 法線方向
Claims (5)
- 廃ガス処理装置が有するスクラバーに用いられて、フィルターに向って水を放出するスプレーノズルであって、
本体と、
前記本体の一端から他端まで貫通するように延伸する水通過路と、
前記本体の前記一端から突出するように延伸すると共に、前記水通過路を通過する水を霧化して放出することができるように螺旋状に巻かれて形成された案内部と、
を有するように構成されていることを特徴とするスプレーノズル。 - 前記本体は、前記水通過路の延伸方向と直交する外側へ張り出すように形成される係止部と、前記水通過路の延伸方向に沿って前記係止部から前記他端側へ更に突出して前記スクラバーが有する送水管に螺接して嵌め込まれることができる螺接部と、が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のスプレーノズル。
- 廃ガスに対して水を噴霧することにより該廃ガスが含有する粉じんと水溶性のガスを除去するスクラバーを有する廃ガス処理装置であって、
前記スクラバーは、所定方向に沿って管状に延伸して洗浄空間を囲うスクラバー本体と、
前記洗浄空間を横断するように設置されるフィルターと、
前記洗浄空間内において、前記フィルターの上方に設置され、且つ、複数のノズル設置座が互いに所定の間隔を空けて形成されている送水管と、
前記送水管における各前記ノズル設置座にそれぞれ取付けられている請求項1または請求項2に記載のスプレーノズルと、を有しており、
少なくとも相隣する2つの前記複数のノズル設置座が、相異する方向に向くように配置されることを特徴とする廃ガス処理装置。 - 前記複数のノズル設置座は、いずれも前記フィルター側へ向くように形成されることを特徴とする請求項3に記載の廃ガス処理装置。
- 前記フィルターは、略板状に形成されており、
前記複数のノズル設置座が向く方向は、前記送水管から前記フィルターまでの法線方向とが成す角度が30°であり、且つ相隣する2つの前記スプレーノズルは、前記法線方向の異なる側に向くように構成されていることを特徴とする請求項4に記載の廃ガス処理装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108722693A (zh) * | 2018-07-31 | 2018-11-02 | 太仓市宇格明叶环保设备有限公司 | 一种用于废气处理系统的pp螺旋型喷嘴及其喷淋方法 |
CN114733307A (zh) * | 2022-04-24 | 2022-07-12 | 绍兴超达铸造有限公司 | 一种废气的排放过滤设备 |
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2014
- 2014-07-07 TW TW103212033U patent/TWM490353U/zh unknown
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