JP3195765U - スプレーノズル及び該スプレーノズルを用いる廃ガス処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】廃ガス処理装置が有するスクラバーに好適な水が通過する経路が閉塞されにくい霧化構造を有するスプレーノズルを提供する。【解決手段】廃ガス処理装置が有するスクラバー２に用いられて、送水管４の複数のノズル設置座に取付けられ、フィルター２２に向って水を放出するスプレーノズル３であって、本体３１と、本体の一端から他端まで貫通するように延伸する水通過路と、本体の一端から突出するように延伸すると共に、水通過路を通過する水を衝突により霧化して円錐状に放出することができるように螺旋状に巻かれて形成された案内部３２と、を有する。【選択図】図２

Description

本考案はスプレーノズル及びその応用に関し、特に廃ガス処理装置に用いるスプレーノズルに関する。

半導体の製造過程で排出された廃ガスは、可燃性や、爆発性や、腐食性などを有する有害物質を含有するので、人体や環境に悪影響を与えないように処理してから排出しなければならない。

その廃ガス処理方法として、もっともよく使用される方法は、廃ガスに対して霧化した水を噴射することによって廃ガスが含有する有害物質を水に溶解させて除去する湿式処理方法であり、例えば、図１に示すガス処理装置を用いる。該ガス処理装置は、スクラバー１と、スクラバー１内に設置されたフィルター１１と、フィルター１１の上方に設置されるスプリンクラー１２と、を有している。スプリンクラー１２は、送水管１２１と、フィルター１１に向かうように送水管１２１に設置され、水を霧化して放出するスプレーノズル１２２と、により構成されている。

スクラバー１の下方、即ち図１における下方から上方へ移動する廃ガスは、フィルター１１に通されることにより、含有する有害物質が除去される。また、スプレーノズル１２２から噴射される水は、廃ガスの粉じんと水溶性のガスとを除去する機能を有する以外、フィルター１１に落ちた水は、フィルター１１の濾過効果を向上することができる。

但し、スプレーノズル１２２がスプリンクラー１２に１つしか設置されていないので、フィルター１１に満遍なく散水するためには、水圧とスプレーノズル１２２の設置角度とをフィルター１１に対応して設定することが必要である。また、１つしかないスプレーノズル１２２が閉塞されると、廃ガスが含有する有害物質を除去する機能と、フィルターの濾過機能とが大幅に低減する。

しかし、一般のスプレーノズルの水を霧化する霧化構造は、スプレーノズルの内部に水が通過する経路を窄めるように形成されているので、長期間の使用によって閉塞されやすく、頻繁にメンテナンスを行う必要があるという欠点がある。

上記問題点に鑑みて、本考案は、水が通過する経路が閉塞されにくい霧化構造を有するスプレーノズル、及び該スプレーノズルを用いる廃ガス処理装置の提供を目的とする。

上記目的を達成すべく、本考案は、廃ガス処理装置が有するスクラバーに用いられて、フィルターに向って水を放出するスプレーノズルであって、本体と、前記本体の一端から他端まで貫通するように延伸する水通過路と、前記本体の前記一端から突出するように延伸すると共に、前記水通過路を通過する水を霧化して放出することができるように螺旋状に巻かれて形成された案内部と、を有するように構成されていることを特徴とするスプレーノズルを提供する。

また、本考案は、廃ガスに対してを水を噴霧することにより該廃ガスが含有する粉じんと水溶性のガスを除去するスクラバーを有する廃ガス処理装置であって、前記スクラバーは、所定方向に沿って管状に延伸して洗浄空間を囲うスクラバー本体と、前記洗浄空間を横断するように設置されるフィルターと、前記洗浄空間内において、前記フィルターの上方に設置され、且つ、互いに所定の間隔を空けると共に、それぞれが相異する方向に向くように配置される複数のノズル設置座が形成されている送水管と、前記送水管における各前記ノズル設置座にそれぞれ取付けられている上記のスプレーノズルと、を有することを特徴とする廃ガス処理装置をも提供する。

上記の構成によれば、本考案は、スプレーノズルの本体の一端から突出するように延伸すると共に、水通過路を通過する水を霧化して放出することができるように螺旋状に巻かれて形成された案内部を有するので、水通過路を窄める霧化構造がなく、従来のスプレーノズルより閉塞されにくい。

従来のスプレーノズル及び該スプレーノズルを用いる廃ガス処理装置の断面図である。 本考案のスプレーノズル及び該スプレーノズルを用いる廃ガス処理装置の好ましい実施形態の断面図である。 本考案のスプレーノズルの好ましい実施形態を示す側面図である。 本考案のスプレーノズルを用いる廃ガス処理装置の好ましい実施形態における、スプレーノズルの設置形態を示す斜視図である。 本考案のスプレーノズルを用いる廃ガス処理装置の好ましい実施形態における、スプレーノズルの設置角度を示す断面図である。

以下は添付の図面を参照しながら、本考案のスプレーノズルについて説明する。

図２は本考案のスプレーノズル及び該スプレーノズルを用いる廃ガス処理装置の好ましい実施形態の断面図であり、図３は本考案のスプレーノズルの好ましい実施形態を示す側面図である。

本考案のスプレーノズル３は、図２に示されるように、廃ガス処理装置におけるスクラバー２が有する送水管４に取り付けられ、フィルター２２に向って水を放出するように配置されている。また、その構成は、図３に示されている。

図３に示されているように、本考案のスプレーノズル３は本体３１と案内部３２とにより構成されている。本体３１は、本体３１の一端から他端まで貫通するように延伸する水通過路３０を画成し、且つ、本体３１は係止部３１１と螺接部３１２とにより構成されている。係止部３１１は、該スプレーノズル３が送水管４に取り付けられる際に、送水管４に当接するように、水通過路３０の延伸方向と直交する外側へ張り出して形成される。螺接部３１２は、水通過路３０の延伸方向に沿って係止部３１１から前記他端側へ更に突出し、外側に螺旋状の溝が形成されて送水管４に螺接して嵌め込まれることができる。

この実施形態において、係止部３１１は、六角形に形成されているので、一般のスパナで取り付けたり取り外したりすることができ、利便性が高い。
案内部３２は、本体３１の前記一端から突出するように延伸すると共に、螺旋状に巻かれて形成されている。図３に示されるように、水通過路３０を通過した水は、案内部３２に衝突して、微細な水滴に霧化し、円錐状に放出される。

上記の構成によれば、本考案のスプレーノズルの水を霧化する霧化構造である案内部３２は、水通過路３０の外に構成されるので、水通過路３０を窄める従来の霧化構造と異なり、閉塞されにくくなり、メンテナンスを行う頻度を減少できる。

また、図２に示されるように、本考案のスプレーノズル３を用いる廃ガス処理装置の好ましい実施形態は、廃ガスに対して水を噴霧することにより廃ガスが含有する粉じんと水溶性のガスを除去するスクラバー２を有する。

スクラバー２は、所定方向に沿って管状に延伸して洗浄空間２０を囲うスクラバー本体２１と、略板状に形成されており洗浄空間２０を横断するように設置されているフィルター２２と、洗浄空間２０内において、フィルター２２の上方に設置され、且つ、複数のノズル設置座４１が互いに所定の間隔を空けて形成されている送水管４と、送水管４における各ノズル設置座４１にそれぞれ取付けられている上記本考案のスプレーノズル３と、を備えている。

図４は本考案のスプレーノズルを用いる廃ガス処理装置の好ましい実施形態における、スプレーノズルの設置形態を示す斜視図であり、図５は本考案のスプレーノズルを用いる廃ガス処理装置の好ましい実施形態における、スプレーノズルの設置角度を示す断面図である。

複数のノズル設置座４１それぞれの向く方向、即ち、複数のスプレーノズル３それぞれの向く方向は、図４及び図５に示されるように、いずれもフィルター２２側へ向くと共に、送水管４からフィルター２２までの法線方向Ｌと成す角度が３０°であり、且つ相隣する２つのスプレーノズル３は、法線方向Ｌの異なる側に向くように構成されている。

上記の構成によれば、廃ガスはフィルター２２に通されることにより、該廃ガスが含有する有害物質が除去される。また、スプレーノズル３から噴射される水は、廃ガスの粉じんと水溶性のガスとを除去する機能を有する以外、フィルター２２に落ちた水は、フィルター２２の濾過効果を向上できる。

また、スプレーノズル３の設置方法により、スプレーノズル３の設置場所または廃ガス処理装置の設置場所の水圧が足りない、或いはスプレーノズル３の設置角度がフィルター２２に対応していないなどの状況において、複数のスプレーノズルの散水範囲が互いに相補することにより、所望の散水範囲を維持でき、更に、１つのスプレーノズル３が閉塞された状況においても、残りのスプレーノズル３によって所望の散水範囲を維持できるので、直ぐにスプレーノズルを替える必要がなく、メンテナンスを行う頻度を更に減少できる。

本考案のスプレーノズルは、各散水装置に適用でき、特に詰まりにくい構造を有するので、廃ガス処理装置に使用すると、スプレーノズルの散水状況を確認するために頻繁にメンテナンスを行う必要がなくなり、廃ガス処理装置に用いることに更に好適である。

２ スクラバー
２０ 洗浄空間
２１ スクラバー本体
２２ フィルター
３ スプレーノズル
３０ 水通過路
３１ 本体
３１１ 係止部
３１２ 螺接部
３２ 案内部
４ 送水管
４１ ノズル設置座
Ｌ 法線方向

Claims (5)

1. 廃ガス処理装置が有するスクラバーに用いられて、フィルターに向って水を放出するスプレーノズルであって、
   本体と、
   前記本体の一端から他端まで貫通するように延伸する水通過路と、
   前記本体の前記一端から突出するように延伸すると共に、前記水通過路を通過する水を霧化して放出することができるように螺旋状に巻かれて形成された案内部と、
   を有するように構成されていることを特徴とするスプレーノズル。
2. 前記本体は、前記水通過路の延伸方向と直交する外側へ張り出すように形成される係止部と、前記水通過路の延伸方向に沿って前記係止部から前記他端側へ更に突出して前記スクラバーが有する送水管に螺接して嵌め込まれることができる螺接部と、が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のスプレーノズル。
3. 廃ガスに対して水を噴霧することにより該廃ガスが含有する粉じんと水溶性のガスを除去するスクラバーを有する廃ガス処理装置であって、
   前記スクラバーは、所定方向に沿って管状に延伸して洗浄空間を囲うスクラバー本体と、
   前記洗浄空間を横断するように設置されるフィルターと、
   前記洗浄空間内において、前記フィルターの上方に設置され、且つ、複数のノズル設置座が互いに所定の間隔を空けて形成されている送水管と、
   前記送水管における各前記ノズル設置座にそれぞれ取付けられている請求項１または請求項２に記載のスプレーノズルと、を有しており、
   少なくとも相隣する２つの前記複数のノズル設置座が、相異する方向に向くように配置されることを特徴とする廃ガス処理装置。
4. 前記複数のノズル設置座は、いずれも前記フィルター側へ向くように形成されることを特徴とする請求項３に記載の廃ガス処理装置。
5. 前記フィルターは、略板状に形成されており、
   前記複数のノズル設置座が向く方向は、前記送水管から前記フィルターまでの法線方向とが成す角度が３０°であり、且つ相隣する２つの前記スプレーノズルは、前記法線方向の異なる側に向くように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の廃ガス処理装置。

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