JP3187538B2 - Optical axis controller - Google Patents
Optical axis controllerInfo
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- optical axis
- corner cube
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Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を用いた加工
又は計測装置等に用いられる光軸制御装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical axis control device used for processing or measuring devices using laser light.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、コーナーキューブを備えた光軸制
御装置としては、例えば、「光軸制御装置」なるタイト
ルで実開平２−１４０６２７号公報に開示されているも
のがある。そこで、今、光軸制御装置の光軸調整光学系
の一例を図４に基づいて説明する。図示しないレーザ光
源から出射されたレーザ光を平行化レンズにより一点に
収束させた後平行光軸化し、この平行光軸化されたレー
ザ光の入射光軸ｂ（基準光軸ａ）をコーナーキューブ１
に入射させ、その出射光の一部をダイクロイックミラー
プリズム２により透過光Ｔと反射光Ｋとに分離し、その
透過光Ｔを４分割受光素子３に検出させ、これにより、
コーナーキューブ１を常に同一位置（基準光軸ａ）に入
射光軸ｂがくるようにＸ，Ｙの２軸方向に移動させるこ
とにより、露光用ビームとなる反射光Ｋの光軸制御を行
うものがある。2. Description of the Related Art Conventionally, as an optical axis control device provided with a corner cube, for example, there is an optical axis control device disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 2-140627 under the title of "optical axis control device". Therefore, an example of the optical axis adjusting optical system of the optical axis control device will now be described with reference to FIG. A laser beam emitted from a laser light source (not shown) is converged to a single point by a collimating lens and then converted into a parallel optical axis, and the incident optical axis b (reference optical axis a) of the parallelized laser light is used as a corner cube 1
And a part of the outgoing light is separated by the dichroic mirror prism 2 into transmitted light T and reflected light K, and the transmitted light T is detected by the four-divided light receiving element 3, whereby
By controlling the optical axis of the reflected light K as an exposure beam by moving the corner cube 1 in the X and Y directions so that the incident optical axis b is always at the same position (reference optical axis a). There is.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来の光軸制御におい
ては、固定のレンズ系で角度変動を伴うレーザ光軸変動
を平行光軸化していたが、レーザ光軸変動そのものは平
行に変動したり（軸ズレのみ）、角度変動の基点位置も
わずかにズレた状態となっている。このためレンズ系に
よる平行光軸化は完全ではなく、レンズ系の出射光はわ
ずかに傾きをもったりしていた。また、この場合、レン
ズを移動させ平行光軸化を保つこともできるが、レンズ
移動による誤差をなくすためにはレンズを３軸方向に移
動させなければならず、制御自体が困難で装置のコスト
高を招く結果となる。In the conventional optical axis control, the laser optical axis fluctuation accompanying the angle fluctuation is converted into a parallel optical axis by a fixed lens system. However, the laser optical axis fluctuation itself fluctuates in parallel. (Only the axis shift), the base point position of the angle variation is also slightly shifted. For this reason, the parallelization of the optical axis by the lens system is not perfect, and the light emitted from the lens system has a slight inclination. In this case, the lens can be moved to maintain the parallel optical axis. However, in order to eliminate an error due to the movement of the lens, the lens must be moved in three axial directions. High results.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、レーザ光源から出射されたレーザ光を第一ミラーを
介して平行化レンズ系により平行光軸化し、この平行化
された光を第一コーナーキューブに入射させ、その第一
コーナーキューブからの出射光を第一ダイクロイックミ
ラープリズムで分離させ、この分離された一方の光束を
第一４分割受光素子で検出し光軸が一定となるように前
記第一コーナーキューブを光軸に対して垂直面内で２軸
駆動させ一定の光軸を得る光軸制御装置において、前記
平行化レンズ系の前段の光路上に前記第一ミラーを通過
した光束が導かれる第二コーナーキューブを配置し、こ
の第二コーナーキューブの出射光側の光路上に透過光と
反射光とに分離する第二ダイクロイックミラープリズム
を配置し、この第二ダイクロイックミラープリズムによ
り分離された一方の少光量側の光束の光路上にその基準
光軸が中心となるように第二４分割受光素子を配設し、
前記第二ダイクロイックミラープリズムにより分離され
た他方の多光量側の光束の前記第二４分割受光素子と共
役な光路長となる位置でかつその多光量側の光束を前記
平行化レンズ系に導くように第二ミラーを配置し、前記
第二４分割受光素子の出力が常に０又は一定値となるよ
うに前記第二コーナーキューブを２軸サーボ駆動させる
第二コーナーキューブ駆動手段を設けた。According to the first aspect of the present invention, a laser beam emitted from a laser light source is made into a parallel optical axis by a collimating lens system via a first mirror, and this collimated light is converted to a second beam. The light is incident on one corner cube, and the light emitted from the first corner cube is separated by the first dichroic mirror prism. One of the separated light beams is detected by the first four-division light receiving element so that the optical axis becomes constant. In the optical axis control device for driving the first corner cube biaxially in a plane perpendicular to the optical axis to obtain a constant optical axis, the first mirror is passed through the first mirror on an optical path in front of the collimating lens system. A second corner cube into which a light beam is guided is arranged, and a second dichroic mirror prism that separates transmitted light and reflected light is arranged on an optical path on the emission light side of the second corner cube. A second quarter-split light receiving element is disposed so that its reference optical axis on the optical path of the light beam b black dichroic mirror one small amount side separated by the prism is centered,
The light beam on the other light quantity side, which is separated by the second dichroic mirror prism, has a light path length conjugate with that of the second four-division light receiving element of the light beam on the other light quantity side, and the light beam on the light quantity side is guided to the parallelizing lens system. And a second corner cube driving means for biaxially servo-driving the second corner cube so that the output of the second four-division light receiving element always becomes 0 or a constant value.
【０００５】請求項２記載の発明では、レーザ光源から
出射されたレーザ光を第一ミラーを介して平行化レンズ
系により平行光軸化し、この平行化された光を第一コー
ナーキューブに入射させ、この第一コーナーキューブか
らの出射光を第一ダイクロイックミラープリズムで分離
させ、この分離された一方の光束を第一４分割受光素子
で検出し光軸が一定となるように前記第一コーナーキュ
ーブを光軸に対して垂直面内で２軸駆動させ一定の光軸
を得る光軸制御装置において、前記平行化レンズ系の前
段の光路上に前記第一ミラーを通過した光束が導かれる
第二コーナーキューブを配置し、この第二コーナーキュ
ーブの出射光側の光路上に透過光と反射光とに分離する
第二ダイクロイックミラープリズムを配置し、この第二
ダイクロイックミラープリズムにより分離された一方の
少光量側の光束の光路上にその基準光軸が中心となるよ
うに第二４分割受光素子を配設し、前記第二ダイクロイ
ックミラープリズムにより分離された他方の多光量側の
光束に前記第二４分割受光素子と共役な光路長の収束点
をもたせると共にその多光量側の光束を前記平行化レン
ズ系に導き、前記第二４分割受光素子の出力が常に０又
は一定値となるように前記第二コーナーキューブを２軸
サーボ駆動させる第二コーナーキューブ駆動手段を設け
た。According to the second aspect of the present invention, the laser light emitted from the laser light source is collimated by a collimating lens system through a first mirror, and the collimated light is made to enter a first corner cube. The light emitted from the first corner cube is separated by a first dichroic mirror prism, and one of the separated light beams is detected by a first four-division light receiving element, and the first corner cube is fixed so that the optical axis is constant. In the optical axis control device for obtaining a constant optical axis by driving two axes in a plane perpendicular to the optical axis, a light beam passing through the first mirror is guided to an optical path in the preceding stage of the collimating lens system. A corner cube is arranged, and a second dichroic mirror prism for separating transmitted light and reflected light is arranged on an optical path on the exit light side of the second corner cube. A second four-division light receiving element is arranged on the optical path of one of the light beams on the small light amount side separated by the prism so that its reference optical axis is centered, and the other multiplicity of light separated by the second dichroic mirror prism is provided. The light beam on the light amount side has a convergence point of the optical path length conjugate with the second four-divided light receiving element, and the light beam on the multiple light amount side is guided to the collimating lens system. Alternatively, there is provided a second corner cube driving means for performing two-axis servo driving of the second corner cube so as to have a constant value.
【０００６】請求項３記載の発明では、レーザ光源から
出射されたレーザ光を第一ミラーを介して平行化レンズ
系により平行光軸化し、この平行化された光を第一コー
ナーキューブに入射させ、その第一コーナーキューブか
らの出射光を第一ダイクロイックミラープリズムで分離
させ、この分離された一方の光束を第一４分割受光素子
で検出し光軸が一定となるように前記第一コーナーキュ
ーブを光軸に対して垂直面内で２軸駆動させ一定の光軸
を得る光軸制御装置において、前記平行化レンズ系の前
段の光路上に前記第一ミラーを通過した光束が導かれる
第二コーナーキューブを配置し、この第二コーナーキュ
ーブの出射光側の光路上に透過光と反射光とに分離する
第二ダイクロイックミラープリズムを配置し、この第二
ダイクロイックミラープリズムにより分離された一方の
少光量側の光束の光路上にその基準光軸が中心となるよ
うに第二４分割受光素子を配設し、前記第二ダイクロイ
ックミラープリズムにより分離された他方の多光量側の
光束の前記第二４分割受光素子と共役な光路長となる位
置でかつその多光量側の光束を前記平行化レンズ系に導
くように第二ミラーを配置し、前記第二４分割受光素子
の出力が常に０又は一定値となるように前記第二コーナ
ーキューブを２軸サーボ駆動させる第二コーナーキュー
ブ駆動手段を設けたものにおいて、ダイクロイックミラ
ープリズムと４分割受光素子とミラーとは、ユニット化
して構成され光軸方向に移動自在な移動機構を備えるよ
うにした。According to the third aspect of the present invention, the laser light source
The emitted laser beam is collimated through the first mirror.
A parallel optical axis is set by the system, and this collimated light is
The first corner cube.
Outgoing light is separated by the first dichroic mirror prism
And the separated one light beam is divided into first four-divided light receiving elements.
And the first corner cut so that the optical axis is constant.
The optical axis is driven in two axes perpendicular to the optical axis.
In the optical axis control device for obtaining
The light beam passing through the first mirror is guided on the optical path of the step
Place the second corner cube and use this second corner cube.
Separates into transmitted light and reflected light on the optical path on the outgoing light side of the probe
Arrange the second dichroic mirror prism, and
One of the two separated by the dichroic mirror prism
The reference optical axis is centered on the optical path of the light beam on the low light intensity side.
The second dichroic light receiving element is disposed
Of the other multi-light side separated by the
A position where the light path has an optical path length conjugate with the second four-division light receiving element.
And the light beam on the multi-light side to the collimating lens system.
A second mirror, and the second four-divided light receiving element
So that the output of the second corner is always 0 or a constant value.
-Second corner cue for 2-axis servo drive of cube
In the apparatus provided with the drive means , the dichroic mirror prism, the four-division light receiving element and the mirror are unitized and provided with a moving mechanism movable in the optical axis direction.
【０００７】請求項４記載の発明では、レーザ光源から
出射されたレーザ光を平行光軸化した後、コーナーキュ
ーブに入射させ光軸ズレの調整を行う光軸制御装置にお
いて、前記コーナーキューブの出射光側の光路上に透過
光と反射光とに分離するダイクロイックミラープリズム
を配置させ、このダイクロイックミラープリズムにより
分離された一方の少光量側の光束の光路上にその基準光
軸が中心となるように４分割受光素子を配設し、前記ダ
イクロイックミラープリズムにより分離された他方の多
光量側の光束に前記４分割受光素子と共役な光路長の収
束点をもたせ、 前記４分割受光素子の出力が常に０又は
一定値となるように前記コーナーキューブを２軸サーボ
駆動させるコーナーキューブ駆動手段を設けたものにお
いて、４分割受光素子、又は、４分割受光素子とダイク
ロイックミラープリズムとを光軸方向に移動調整できる
移動機構を備えるようにした。According to the fourth aspect of the present invention, the laser light source
After converting the emitted laser beam into a parallel optical axis,
Optical axis control device that adjusts the optical axis
And transmitted through the optical path on the exit light side of the corner cube.
Dichroic mirror prism that separates light into reflected light
And the dichroic mirror prism
The reference light is placed on the optical path of one of the separated light beams
A four-segment light receiving element is arranged so that the axis is the center,
The other multiplicity separated by the ichroic mirror prism
The luminous flux on the light amount side has an optical path length conjugate with the four-division light receiving element.
The output of the quadrant light receiving element is always 0 or
Two-axis servo for the corner cube so that it is constant
The apparatus provided with a corner cube driving means for driving is provided with a four-divided light receiving element or a moving mechanism capable of adjusting the movement of the four-divided light receiving element and the dichroic mirror prism in the optical axis direction.
【０００８】[0008]
【作用】請求項１，２記載の発明では、収束点からの変
動光軸となっているため、固定レンズ系で平行光軸化す
る場合の誤差がなくなり、光軸平行化をより改善させる
ことが可能となる。According to the first and second aspects of the present invention, since the optical axis varies from the convergence point, there is no error when the parallel optical axis is formed by the fixed lens system, and the optical axis parallelization is further improved. Becomes possible.
【０００９】請求項３記載の発明では、基準位置を光軸
上の任意点に選ぶことができるため、固定のレンズ系の
調整が不要となり、また、４分割受光素子の基準位置も
電気的なバイアスにより任意に設定することが可能とな
る。According to the third aspect of the present invention, since the reference position can be selected at an arbitrary point on the optical axis, it is not necessary to adjust a fixed lens system, and the reference position of the four-division light receiving element is also electrically controlled. The bias can be set arbitrarily.
【００１０】請求項４記載の発明では、４分割受光素子
やダイクロイックミラー等のみの調整であるため、複雑
な移動機構が不要となる。According to the fourth aspect of the present invention, since only the four-division light receiving element and the dichroic mirror are adjusted, a complicated moving mechanism is not required.
【００１１】[0011]
【実施例】本発明の基礎となる構成の一例を図１に基づ
いて説明する。本構成例では、図示しないレーザ光源か
ら出射されたレーザ光を平行光軸化した後、コーナーキ
ューブ１に入射させ光軸ズレの調整を行う光軸制御装置
において、以下に述べるような光学系を配設したもので
ある。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An example of a basic configuration of the present invention will be described with reference to FIG. In this configuration example , an optical system described below is used in an optical axis control device that adjusts an optical axis shift by making a laser beam emitted from a laser light source (not shown) parallel and then entering the corner cube 1. It is arranged.
【００１２】レーザ光の基準光軸ａに対して前記コーナ
ーキューブ１の出射光側の光路上には、入射した光束を
透過光Ｔと反射光Ｋとに分離するダイクロイックミラー
プリズム２が配置されている。このダイクロイックミラ
ープリズム２により分離された一方の少光量側の光束、
例えば透過光Ｔの光路上には４分割受光素子３が配設さ
れている。この場合、レーザ光の基準光軸ａが４分割受
光素子３の中心位置と略一致するように配置されてい
る。図１（ｂ）は４分割受光素子３の構成を示すもので
あり、４分割された受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄからなってい
る。A dichroic mirror prism 2 for separating an incident light beam into a transmitted light T and a reflected light K is arranged on an optical path on the emission light side of the corner cube 1 with respect to a reference optical axis a of the laser light. I have. A light beam on one of the small light amount sides separated by the dichroic mirror prism 2,
For example, a four-division light receiving element 3 is provided on the optical path of the transmitted light T. In this case, the laser light is arranged such that the reference optical axis a of the laser light substantially coincides with the center position of the quadrant light receiving element 3. FIG. 1B shows a configuration of the four-divided light receiving element 3, which is composed of four divided light receiving surfaces A, B, C, and D.
【００１３】また、前記ダイクロイックミラープリズム
２により分離された他方の多光量側の光束、ここでは反
射光Ｋの前記４分割受光素子３と共役な光路長となる位
置（収束点Ｐ）には、ミラー４が配置されている。これ
により、そのミラー４により反射された光は入射方向と
逆の経路を辿っていくことになる。A light beam on the other light quantity side separated by the dichroic mirror prism 2, that is, a position (convergence point P) where the reflected light K has an optical path length conjugate with the four-division light receiving element 3 is: A mirror 4 is provided. Thus, the light reflected by the mirror 4 follows a path opposite to the incident direction.
【００１４】さらに、ここでは、前記４分割受光素子３
の受光面Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの出力値が常に０又は一定値と
なるように前記コーナーキューブ１を２軸（Ｘ，Ｙ）サ
ーボ駆動させる図示しないコーナーキューブ駆動手段が
設けられている。図１（ｂ）において、Ｘ軸方向への移
動量ΔＸは、ΔＸ＝（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）により求め
られる。また、Ｙ軸方向への移動量ΔＹは、ΔＹ＝（Ａ
＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）により求められる。Further, here, the four-division light receiving element 3
Corner cube driving means (not shown) for two-axis (X, Y) servo driving of the corner cube 1 so that the output values of the light receiving surfaces A, B, C, and D of the above-mentioned light-receiving surfaces are always 0 or a constant value. In FIG. 1B, the movement amount ΔX in the X-axis direction is obtained by ΔX = (A + D) − (B + C). The amount of movement ΔY in the Y-axis direction is ΔY = (A
+ B)-(C + D).
【００１５】このような構成において、コーナーキュー
ブ駆動手段を用いて光軸制御を行う動作原理について説
明する。レーザ光（光軸ズレ、角度変動）を伴った入射
光軸ｂは、コーナーキューブ１に入射した後、変動角と
平行に出射し、４分割受光素子３には中心点よりズレた
位置に入射する。この時、４分割受光素子３の軸方向へ
の移動量ΔＸ，ΔＹの差分値が０となるように、コーナ
ーキューブ１を基準光軸ａに対して垂直方向のＸ，Ｙの
２軸方向に移動させることにより、基準光軸ａに収束点
Ｐで合致させることができる。一方、このような軸方向
への移動に伴いミラー４上でも入射光軸ｂは合致するた
め、反射光は収束点Ｐを基点とした光軸傾きになって元
の光路を逆方向に進行する。このようにしてレーザ光の
入射光軸ｂの変動は、常にミラー４の基準光軸ａと合致
する一点（収束点Ｐ）基点の傾き変動（軸ズレの場合は
基準光軸ａと一致）した光軸とすることができる。The operation principle of controlling the optical axis using the corner cube driving means in such a configuration will be described. The incident optical axis b accompanied by the laser light (optical axis deviation, angle fluctuation) is incident on the corner cube 1 and then emitted in parallel with the fluctuation angle, and is incident on the four-divided light receiving element 3 at a position shifted from the center point. I do. At this time, the corner cube 1 is moved in the X and Y directions perpendicular to the reference optical axis a so that the difference between the axial movement amounts ΔX and ΔY of the four-divided light receiving element 3 becomes zero. By moving, it can be made to coincide with the reference optical axis a at the convergence point P. On the other hand, since the incident optical axis b coincides also on the mirror 4 with the movement in the axial direction, the reflected light has an optical axis inclination based on the convergence point P and travels in the original optical path in the opposite direction. . In this manner, the fluctuation of the incident optical axis b of the laser beam always changes the inclination of the base point (convergence point P) which coincides with the reference optical axis a of the mirror 4 (in the case of an axis deviation, coincides with the reference optical axis a). It can be an optical axis.
【００１６】上述したように、コーナーキューブ１を２
軸移動させることにより、常に基準光軸ａ上で入射光軸
ｂは合致し、どんな光軸に対しても一点（収束点Ｐ）に
収束させその収束点Ｐをミラー４面で反射させているた
め、同一光路上での角度変換が可能となる。従って、こ
れにより安価な方法で確実にレーザ光軸変動を一定の角
度変動に補正して調整させることが可能な装置を提供す
ることができる。As described above, the corner cube 1 is
By moving the axis, the incident optical axis b always coincides with the reference optical axis a, and converges to one point (convergence point P) with respect to any optical axis, and the convergence point P is reflected by the mirror 4 surface. Therefore, angle conversion on the same optical path becomes possible. Therefore, it is possible to provide a device which can surely correct and adjust the laser optical axis fluctuation to a constant angle fluctuation by an inexpensive method.
【００１７】次に、本発明の基礎となる構成の他の例を
図２に基づいて説明する。なお、前述の構成例と同一部
分についての説明は省略し、その同一部分については同
一符号を用いる。Next, another example of the configuration serving as a basis of the present invention will be described with reference to FIG. The description of the same parts as those in the above-described configuration example is omitted, and the same reference numerals are used for the same parts.
【００１８】ここでは、前述した図１（ａ）のミラー４
を除去した構成としたものである。ただし、ここでも、
ダイクロイックミラープリズム２により反射された光束
すなわち反射光Ｋに４分割受光素子３と共役な光路長の
収束点Ｐをもたせるように設計している。このように２
軸方向の光軸調整を行うことにより、入射光軸ｂを基準
光軸ａ上の一点（収束点Ｐ）で収束させる調整を行うこ
とができ、これにより、コーナーキューブ１を２回通過
させない分だけ、光利用効率を向上させることができ
る。Here, the mirror 4 shown in FIG.
Has been removed. However, here too,
The light flux reflected by the dichroic mirror prism 2, that is, the reflected light K is designed to have a convergence point P of an optical path length conjugate with the four-divided light receiving element 3. Thus 2
By adjusting the optical axis in the axial direction, it is possible to adjust the incident optical axis b to converge at one point (convergence point P) on the reference optical axis a. Only, the light use efficiency can be improved.
【００１９】次に、請求項１記載の発明の一実施例を図
３に基づいて説明する。なお、前記構成例と同一部分に
ついての説明は省略し、その同一部分については同一符
号を用いる。Next, a description based on an embodiment of the invention of claim 1, wherein in Figure 3. The description of the same parts as those in the above configuration example is omitted, and the same reference numerals are used for the same parts.
【００２０】本実施例では、図示しないレーザ光源から
出射されたレーザ光を第一ミラー５，６を介して平行化
レンズ系７を構成する平行化レンズ８，９により平行光
軸化した後、この平行化された光を第一コーナーキュー
ブ１０に入射させ、その第一コーナーキューブ１０から
の出射光を第一ダイクロイックミラープリズム１１で分
離させ、この分離された一方の光束、ここでは透過光Ｔ
ａを第一４分割受光素子１２で検出し光軸が一定となる
ように前記第一コーナーキューブ１０を光軸に対して垂
直面内で２軸駆動させ一定の光軸を得る光軸制御装置に
おいて、以下に述べるような光学系を配設したものであ
る。In this embodiment, a laser beam emitted from a laser light source (not shown) is converted into a parallel optical axis by collimating lenses 8 and 9 constituting a collimating lens system 7 via first mirrors 5 and 6. The collimated light is made incident on the first corner cube 10, and the light emitted from the first corner cube 10 is separated by the first dichroic mirror prism 11. One of the separated light beams, here, the transmitted light T
a is detected by the first four-divided light receiving element 12, and the first corner cube 10 is driven biaxially in a plane perpendicular to the optical axis so that the optical axis is constant to obtain a constant optical axis. , An optical system as described below is provided.
【００２１】前記平行化レンズ系７の前段の光路上に
は、前記第一ミラー５，６を通過した光束が導かれる第
二コーナーキューブ１が配置されている。この第二コー
ナーキューブ１の出射光側の光路上には、透過光Ｔと反
射光Ｋとに分離する第二ダイクロイックミラープリズム
２が配置されている。この第二ダイクロイックミラープ
リズム２により分離された一方の少光量側の光束である
透過光Ｔの光路上には、基準光軸ａが４分割受光面Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄの中心となるように第二４分割受光素子３が
配設されている。前記第二ダイクロイックミラープリズ
ム３により分離された他方の多光量側の光束である反射
光Ｋは、前記第二４分割受光素子３と共役な光路長の収
束点Ｐをもつ共に、その反射光Ｋが前記平行化レンズ系
７に導かれるように配置されている。また、ここでは、
前記第二４分割受光素子３の出力が常に０又は一定値と
なるように前記第二コーナーキューブ１を２軸サーボ駆
動させる図示しない第二コーナーキューブ駆動手段（前
述したコーナーキューブ駆動手段と同じもの）が設けら
れている。A second corner cube 1 to which a light beam passing through the first mirrors 5 and 6 is guided is disposed on an optical path in front of the collimating lens system 7. A second dichroic mirror prism 2 that separates the transmitted light T and the reflected light K from each other is disposed on the optical path on the light exit side of the second corner cube 1. On the optical path of the transmitted light T, which is the light beam on the one of the small light amount side, separated by the second dichroic mirror prism 2, the reference optical axis a is divided into four divided light receiving surfaces A,
The second four-divided light receiving element 3 is disposed so as to be at the center of B, C, and D. The reflected light K, which is the other multi-light side light flux separated by the second dichroic mirror prism 3, has a convergence point P with an optical path length conjugate to the second four-division light receiving element 3, and the reflected light K Are arranged to be guided to the parallelizing lens system 7. Also, here
Second corner cube driving means (not shown) which drives the second corner cube 1 biaxially so that the output of the second four-division light receiving element 3 always becomes 0 or a constant value (the same as the above-described corner cube driving means) ) Is provided.
【００２２】このような構成において、入射光軸ｂの光
束を第一ミラー５，６を介して、第二コーナーキューブ
１に入射させ、その出射光を第二ダイクロイックミラー
プリズム２を介して第二４分割受光素子３に入射させ
る。これにより、前述した構成例の場合と同様な原理に
より、基準光軸ａに対して平行光軸化の調整を行う。そ
の後、その光軸調整された反射光Ｋを平行化レンズ８，
９を第一コーナーキューブ１０に入射させ、その出射光
を第一ダイクロイックミラープリズム１１に導くことに
より得られた透過光Ｋａを第一４分割受光素子１２に検
出させる。これにより、軸ズレ分を０にするようにコー
ナーキューブ１０をＸ，Ｙの２軸方向に移動させること
により、第一ダイクロイックミラープリズム１１からの
出射光である反射光Ｋａを変動のない常に一定の光軸に
することができる。従って、本実施例の場合にも、安価
な方法で確実にレーザ光軸変動を一定の角度変動に補正
して調整させることが可能な装置を提供することができ
る。In such a configuration, the light beam of the incident optical axis b is made incident on the second corner cube 1 via the first mirrors 5 and 6, and the emitted light is transmitted through the second dichroic mirror prism 2 to the second cube 3. The light enters the four-divided light receiving element 3. Thus, the parallel optical axis is adjusted with respect to the reference optical axis a according to the same principle as in the above-described configuration example. Thereafter, the reflected light K whose optical axis has been adjusted is converted into a parallelizing lens 8,
9 is made to enter the first corner cube 10, and the emitted light is guided to the first dichroic mirror prism 11, so that the transmitted light Ka obtained by the first four-division light receiving element 12 is detected. Thus, by moving the corner cube 10 in the X and Y directions so that the axial displacement becomes zero, the reflected light Ka, which is the light emitted from the first dichroic mirror prism 11, is always constant without fluctuation. Optical axis. Therefore, also in the case of the present embodiment, it is possible to provide an apparatus capable of reliably correcting and adjusting the laser optical axis fluctuation to a constant angle fluctuation by an inexpensive method.
【００２３】なお、本実施例は、前述した他の構成例と
同様にミラー４（図１参照）を配置しない構成となって
いるが、この他に、第二ミラーを設けた構成としても同
様な効果を得ることができる。ただし、第二ミラーとは
前述した構成例のミラー４と同じものであり、ここで
は、その第二ミラーは第二ダイクロイックミラープリズ
ム２により分離された他方の多光量側の透過光Ｋの前記
第二４分割受光素子３と共役な光路長となる位置でかつ
その透過光Ｋを前記平行化レンズ系７に導くような位置
（図３の破線で示す位置１３）に配置される。[0023] Note that this embodiment, similar but has a configuration that does not place a mirror 4 as well as other configuration example described above (see FIG. 1), in addition, have a structure in which a second mirror Effects can be obtained. However, the second mirror is the same as the mirror 4 of the configuration example described above, and here, the second mirror is the second mirror of the transmitted light K on the other light quantity side separated by the second dichroic mirror prism 2. It is arranged at a position having an optical path length conjugate with that of the two-divided light receiving element 3 and at a position where the transmitted light K is guided to the parallelizing lens system 7 (position 13 shown by a broken line in FIG. 3).
【００２４】また、前述した構成例（図１参照）の中
で、ダイクロイックミラープリズム２と４分割受光素子
３とミラー４とを、一体化して構成し図示しない移動機
構により光軸方向に移動自在な構成としたり、また、４
分割受光素子３又はダイクロイックミラープリズム２と
４分割受光素子３とを図示しない移動機構により光軸方
向に移動調整できるような構成としてもよい。これによ
り、基点（収束点Ｐ）を任意の位置に設定できるため、
その後段のレンズ系を調整することなく平行光軸化する
ことができる（請求項３，４に対応する）。In the above-described configuration example (see FIG. 1), the dichroic mirror prism 2, the four-divided light receiving element 3, and the mirror 4 are integrally formed and are movable in the optical axis direction by a moving mechanism (not shown). Configuration and 4
The divided light receiving element 3 or the dichroic mirror prism 2 and the four-divided light receiving element 3 may be configured to be movable and adjusted in the optical axis direction by a moving mechanism (not shown). As a result, the base point (convergence point P) can be set at an arbitrary position.
A parallel optical axis can be obtained without adjusting the subsequent lens system (corresponding to claims 3 and 4 ).
【００２５】[0025]
【発明の効果】請求項１記載の発明は、レーザ光源から
出射されたレーザ光を第一ミラーを介して平行化レンズ
系により平行光軸化し、この平行化された光を第一コー
ナーキューブに入射させ、その第一コーナーキューブか
らの出射光を第一ダイクロイックミラープリズムで分離
させ、この分離された一方の光束を第一４分割受光素子
で検出し光軸が一定となるように前記第一コーナーキュ
ーブを光軸に対して垂直面内で２軸駆動させ一定の光軸
を得る光軸制御装置において、前記平行化レンズ系の前
段の光路上に前記第一ミラーを通過した光束が導かれる
第二コーナーキューブを配置し、この第二コーナーキュ
ーブの出射光側の光路上に透過光と反射光とに分離する
第二ダイクロイックミラープリズムを配置し、この第二
ダイクロイックミラープリズムにより分離された一方の
少光量側の光束の光路上にその基準光軸が中心となるよ
うに第二４分割受光素子を配設し、前記第二ダイクロイ
ックミラープリズムにより分離された他方の多光量側の
光束の前記第二４分割受光素子と共役な光路長となる位
置でかつその多光量側の光束を前記平行化レンズ系に導
くように第二ミラーを配置し、前記第二４分割受光素子
の出力が常に０又は一定値となるように前記第二コーナ
ーキューブを２軸サーボ駆動させる第二コーナーキュー
ブ駆動手段を設けたので、収束点からの変動光軸となっ
ているため、固定レンズ系で平行光軸化する場合の誤差
がなくなり、光軸平行化をより改善させることが可能と
なり、これにより光軸を一段と安定させることができる
ものである。According to the first aspect of the present invention, the laser light emitted from the laser light source is converted into a parallel optical axis by a collimating lens system via a first mirror, and the collimated light is converted to a first corner cube. The light emitted from the first corner cube is separated by a first dichroic mirror prism, and one of the separated light beams is detected by a first four-division light receiving element, and the first light beam is detected by the first four-division light receiving element so that the optical axis becomes constant. In an optical axis control device for driving a corner cube biaxially in a plane perpendicular to the optical axis to obtain a constant optical axis, a light beam passing through the first mirror is guided to an optical path in front of the collimating lens system. A second corner cube is arranged, and a second dichroic mirror prism for separating transmitted light and reflected light is arranged on an optical path on the emission light side of the second corner cube. A second four-division light receiving element is arranged on the optical path of one of the light beams on the small light amount side separated by the prism so that its reference optical axis is centered, and the other multiplicity of light separated by the second dichroic mirror prism is provided. A second mirror is arranged at a position having an optical path length conjugate with the second four-division light receiving element of the light beam on the light amount side and guiding the light beam on the multiple light amount side to the parallelizing lens system, Since the second corner cube driving means for performing the two-axis servo drive of the second corner cube so that the output of the light receiving element always becomes 0 or a constant value is provided, the optical axis fluctuates from the convergence point. The error in the case where the parallel optical axis is formed by the lens system is eliminated, and the parallelization of the optical axis can be further improved, whereby the optical axis can be further stabilized.
【００２６】請求項２記載の発明は、レーザ光源から出
射されたレーザ光を第一ミラーを介して平行化レンズ系
により平行光軸化し、この平行化された光を第一コーナ
ーキューブに入射させ、この第一コーナーキューブから
の出射光を第一ダイクロイックミラープリズムで分離さ
せ、この分離された一方の光束を第一４分割受光素子で
検出し光軸が一定となるように前記第一コーナーキュー
ブを光軸に対して垂直面内で２軸駆動させ一定の光軸を
得る光軸制御装置において、前記平行化レンズ系の前段
の光路上に前記第一ミラーを通過した光束が導かれる第
二コーナーキューブを配置し、この第二コーナーキュー
ブの出射光側の光路上に透過光と反射光とに分離する第
二ダイクロイックミラープリズムを配置し、この第二ダ
イクロイックミラープリズムにより分離された一方の少
光量側の光束の光路上にその基準光軸が中心となるよう
に第二４分割受光素子を配設し、前記第二ダイクロイッ
クミラープリズムにより分離された他方の多光量側の光
束に前記第二４分割受光素子と共役な光路長の収束点を
もたせると共にその多光量側の光束を前記平行化レンズ
系に導き、前記第二４分割受光素子の出力が常に０又は
一定値となるように前記第二コーナーキューブを２軸サ
ーボ駆動させる第二コーナーキューブ駆動手段を設けた
ので、収束点からの変動光軸となっているため、固定レ
ンズ系で平行光軸化する場合の誤差がなくなり、光軸平
行化をより改善させることが可能となり、これにより光
軸を一段と安定させることができるものである。According to a second aspect of the present invention, the laser light emitted from the laser light source is made into a parallel optical axis by a collimating lens system via a first mirror, and this collimated light is made to enter a first corner cube. The light emitted from the first corner cube is separated by a first dichroic mirror prism, and one of the separated light beams is detected by a first four-division light receiving element, and the first corner cube is fixed so that the optical axis is constant. In the optical axis control device for obtaining a constant optical axis by driving two axes in a plane perpendicular to the optical axis, a light beam passing through the first mirror is guided to an optical path in the preceding stage of the collimating lens system. A corner cube is arranged, and a second dichroic mirror prism for separating transmitted light and reflected light is arranged on an optical path on the light exit side of the second corner cube. A second four-division light receiving element is disposed on the optical path of one of the light beams on the small light amount side separated by the prism so that its reference optical axis is centered, and the other multiplicity of light separated by the second dichroic mirror prism is provided. The light beam on the light amount side has a convergence point of the optical path length conjugate with the second four-divided light receiving element, and the light beam on the multiple light amount side is guided to the collimating lens system. Alternatively, since the second corner cube driving means for performing the two-axis servo drive of the second corner cube so as to have a constant value is provided, since the optical axis is a variable optical axis from the convergence point, a parallel optical axis is formed by a fixed lens system. In this case, there is no error, and the parallelization of the optical axis can be further improved, whereby the optical axis can be further stabilized.
【００２７】請求項３記載の発明は、レーザ光源から出
射されたレーザ光を第一ミラーを介して平行化レンズ系
により平行光軸化し、この平行化された光を第一コーナ
ーキューブに入射させ、その第一コーナーキューブから
の出射光を第一ダイクロイックミラープリズムで分離さ
せ、この分離された一方の光束を第一４分割受光素子で
検出し光軸が一定となるように前記第一コーナーキュー
ブを光軸に対して垂直 面内で２軸駆動させ一定の光軸を
得る光軸制御装置において、前記平行化レンズ系の前段
の光路上に前記第一ミラーを通過した光束が導かれる第
二コーナーキューブを配置し、この第二コーナーキュー
ブの出射光側の光路上に透過光と反射光とに分離する第
二ダイクロイックミラープリズムを配置し、この第二ダ
イクロイックミラープリズムにより分離された一方の少
光量側の光束の光路上にその基準光軸が中心となるよう
に第二４分割受光素子を配設し、前記第二ダイクロイッ
クミラープリズムにより分離された他方の多光量側の光
束の前記第二４分割受光素子と共役な光路長となる位置
でかつその多光量側の光束を前記平行化レンズ系に導く
ように第二ミラーを配置し、前記第二４分割受光素子の
出力が常に０又は一定値となるように前記第二コーナー
キューブを２軸サーボ駆動させる第二コーナーキューブ
駆動手段を設けたものにおいて、ダイクロイックミラー
プリズムと４分割受光素子とミラーとは、ユニット化し
て構成され光軸方向に移動自在な移動機構を備えるよう
にしたので、基準位置を光軸上の任意点に選ぶことがで
きるため、固定のレンズ系の調整が不要となり、また、
４分割受光素子の基準位置も電気的なバイアスにより任
意に設定することが可能となり、光軸調整が容易にし精
度を向上させることができるものである。According to a third aspect of the present invention, the laser light source
Lens system for collimating the emitted laser beam through the first mirror
Into a parallel optical axis, and this collimated light is
ー Being incident on the cube, from the first corner cube
Outgoing light is separated by the first dichroic mirror prism
And the one of the separated light beams is divided by the first four-division light receiving element.
Detect the first corner cue so that the detected optical axis is constant
Drive two axes in a plane perpendicular to the optical axis to maintain a constant optical axis.
In the optical axis control device to be obtained, a stage before the collimating lens system is provided.
The light beam passing through the first mirror is guided on the optical path of
Place a second corner cube and this second corner cue
On the optical path on the outgoing light side of the light
The two dichroic mirror prisms are
One of the minors separated by the ichroic mirror prism
The reference optical axis is centered on the optical path of the light beam on the light amount side.
A second four-division light receiving element,
Light on the other multi-light side separated by the mirror mirror
Position at which the optical path length is conjugate to the second quadrant light receiving element of the bundle
And the light beam on the multi-light side to the parallelizing lens system
The second mirror is arranged so that
The second corner so that the output is always 0 or a constant value
The second corner cube that drives the cube by 2-axis servo
In the apparatus provided with the driving means , the dichroic mirror prism, the four-division light receiving element, and the mirror are configured as a unit and provided with a moving mechanism movable in the optical axis direction. Since there is no need to adjust the fixed lens system,
The reference position of the four-division light receiving element can also be arbitrarily set by an electric bias, so that the optical axis can be easily adjusted and the accuracy can be improved.
【００２８】請求項４記載の発明は、レーザ光源から出
射されたレーザ光を平行光軸化した後、コーナーキュー
ブに入射させ光軸ズレの調整を行う光軸制御装置におい
て、前記コーナーキューブの出射光側の光路上に透過光
と反射光とに分離するダイクロイックミラープリズムを
配置させ、このダイクロイックミラープリズムにより分
離された一方の少光量側の光束の光路上にその基準光軸
が中心となるように４分割受光素子を配設し、前記ダイ
クロイックミラープリズムにより分離された他方の多光
量側の光束に前記４分割受光素子と共役な光路長の収束
点をもたせ、前記４分割受光素子の出力が常に０又は一
定値となるように前記コーナーキューブを２軸サーボ駆
動させるコーナーキューブ駆動手段を設けたものにおい
て、４分割受光素子、又は、４分割受光素子とダイクロ
イックミラープリズムとを光軸方向に移動調整できる移
動機構を備えるようにしたので、４分割受光素子やダイ
クロイックミラー等のみの調整であるため、複雑な移動
機構が不要となり、安価な装置を提供することができる
ものである。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a laser light source.
After converting the emitted laser beam into a parallel optical axis, the corner cue
Optical axis controller that adjusts the optical axis deviation
Transmitted light on the optical path on the exit light side of the corner cube.
Dichroic mirror prism that separates light into reflected light
The dichroic mirror prism.
The reference optical axis is placed on the optical path of the separated light beam
The four-division light receiving element is arranged so that
Multiple lights separated by Croic mirror prism
Convergence of the optical path length conjugate to the 4-divided light receiving element on the light beam on the quantity side
The output of the four-divided light receiving element is always 0 or 1
Drive the corner cube with a two-axis servo so that it has a constant value.
In the one provided with the corner cube driving means for moving , the four-divided light receiving element, or the four-divided light receiving element and the dichroic mirror prism, so as to have a moving mechanism capable of moving and adjusting in the optical axis direction, Since adjustment is performed only for the four-division light receiving element, the dichroic mirror, and the like, a complicated moving mechanism is not required, and an inexpensive device can be provided.
【図１】（ａ）は本発明の基礎となる構成例である光軸
制御装置の光軸調整機構を示す光路図、（ｂ）はその４
分割受光素子を示す正面図である。FIG. 1A is an optical path diagram showing an optical axis adjusting mechanism of an optical axis control device which is a configuration example serving as a basis of the present invention, and FIG.
It is a front view which shows a division | segmentation light receiving element.
【図２】他の構成例である光軸調整機構を示す光路図で
ある。FIG. 2 is an optical path diagram showing an optical axis adjustment mechanism as another configuration example .
【図３】請求項１記載の発明である光軸調整機構を示す
光路図である。FIG. 3 is an optical path diagram showing an optical axis adjusting mechanism according to the first embodiment of the present invention.
【図４】従来の光軸調整機構を示す光路図である。FIG. 4 is an optical path diagram showing a conventional optical axis adjusting mechanism.
１ コーナーキューブ（第二コーナーキューブ） ２ ダイクロイックミラープリズム（第二ダイクロイ
ックミラープリズム） ３ ４分割受光素子（第二４分割受光素子） ４ ミラー（第二ミラー） ５，６ 第一ミラー ７ 平行化レンズ系 １０ 第一コーナーキューブ １１ 第一ダイクロイックミラープリズム １２ 第一４分割受光素子Reference Signs List 1 corner cube (second corner cube) 2 dichroic mirror prism (second dichroic mirror prism) 3 quadrant light receiving element (second quadrant light receiving element) 4 mirror (second mirror) 5, 6 first mirror 7 collimating lens System 10 First corner cube 11 First dichroic mirror prism 12 First four-division light receiving element
Claims (4)
一ミラーを介して平行化レンズ系により平行光軸化し、
この平行化された光を第一コーナーキューブに入射さ
せ、この第一コーナーキューブからの出射光を第一ダイ
クロイックミラープリズムで分離させ、この分離された
一方の光束を第一４分割受光素子で検出し光軸が一定と
なるように前記第一コーナーキューブを光軸に対して垂
直面内で２軸駆動させ一定の光軸を得る光軸制御装置に
おいて、前記平行化レンズ系の前段の光路上に前記第一
ミラーを通過した光束が導かれる第二コーナーキューブ
を配置し、この第二コーナーキューブの出射光側の光路
上に透過光と反射光とに分離する第二ダイクロイックミ
ラープリズムを配置し、この第二ダイクロイックミラー
プリズムにより分離された一方の少光量側の光束の光路
上にその基準光軸が中心となるように第二４分割受光素
子を配設し、前記第二ダイクロイックミラープリズムに
より分離された他方の多光量側の光束の前記第二４分割
受光素子と共役な光路長となる位置でかつその多光量側
の光束を前記平行化レンズ系に導くように第二ミラーを
配置し、前記第二４分割受光素子の出力が常に０又は一
定値となるように前記第二コーナーキューブを２軸サー
ボ駆動させる第二コーナーキューブ駆動手段を設けたこ
とを特徴とする光軸制御装置。1. A laser beam emitted from a laser light source is made into a parallel optical axis by a collimating lens system via a first mirror,
The collimated light is made incident on the first corner cube, the light emitted from the first corner cube is separated by the first dichroic mirror prism, and one of the separated light beams is detected by the first four-division light receiving element. In the optical axis control device for obtaining a constant optical axis by driving the first corner cube biaxially in a plane perpendicular to the optical axis so that the optical axis becomes constant, the first corner cube may be driven on an optical path in front of the collimating lens system. A second dichroic mirror prism for separating a transmitted light and a reflected light is disposed on an optical path on the emission light side of the second corner cube, where a light beam passing through the first mirror is guided. A second four-division light receiving element is disposed on the optical path of the light beam on one of the small light amount sides separated by the second dichroic mirror prism so that its reference optical axis is centered; A second light beam separated by the dichroic mirror prism at a position having an optical path length conjugate to the second four-division light receiving element of the other light beam on the other light quantity side and guiding the light beam on the light quantity side to the parallelizing lens system. A mirror is provided, and second corner cube driving means for biaxially servo-driving the second corner cube so that the output of the second four-division light receiving element always becomes 0 or a constant value is provided. Axis control device.
一ミラーを介して平行化レンズ系により平行光軸化し、
この平行化された光を第一コーナーキューブに入射さ
せ、この第一コーナーキューブからの出射光を第一ダイ
クロイックミラープリズムで分離させ、この分離された
一方の光束を第一４分割受光素子で検出し光軸が一定と
なるように前記第一コーナーキューブを光軸に対して垂
直面内で２軸駆動させ一定の光軸を得る光軸制御装置に
おいて、前記平行化レンズ系の前段の光路上に前記第一
ミラーを通過した光束が導かれる第二コーナーキューブ
を配置し、この第二コーナーキューブの出射光側の光路
上に透過光と反射光とに分離する第二ダイクロイックミ
ラープリズムを配置し、この第二ダイクロイックミラー
プリズムにより分離された一方の少光量側の光束の光路
上にその基準光軸が中心となるように第二４分割受光素
子を配設し、前記第二ダイクロイックミラープリズムに
より分離された他方の多光量側の光束に前記第二４分割
受光素子と共役な光路長の収束点をもたせると共にその
多光量側の光束を前記平行化レンズ系に導き、前記第二
４分割受光素子の出力が常に０又は一定値となるように
前記第二コーナーキューブを２軸サーボ駆動させる第二
コーナーキューブ駆動手段を設けたことを特徴とする光
軸制御装置。2. A laser beam emitted from a laser light source is converted into a parallel optical axis by a collimating lens system via a first mirror,
The collimated light is made incident on the first corner cube, the light emitted from the first corner cube is separated by the first dichroic mirror prism, and one of the separated light beams is detected by the first four-division light receiving element. In the optical axis control device for obtaining a constant optical axis by driving the first corner cube biaxially in a plane perpendicular to the optical axis so that the optical axis becomes constant, the first corner cube may be driven on an optical path in front of the collimating lens system. A second dichroic mirror prism for separating a transmitted light and a reflected light is disposed on an optical path on the emission light side of the second corner cube, where a light beam passing through the first mirror is guided. A second four-division light receiving element is disposed on the optical path of the light beam on one of the small light amount sides separated by the second dichroic mirror prism so that its reference optical axis is centered; The other light beam on the other light quantity side separated by the dichroic mirror prism has a convergence point of an optical path length conjugate with the second quadrant light receiving element, and the light beam on the light quantity side is guided to the collimating lens system. An optical axis control device, further comprising second corner cube driving means for performing two-axis servo driving of the second corner cube so that the output of the light receiving element divided into 24 always becomes 0 or a constant value.
行光軸化した後、コーナーキューブに入射させ光軸ズレ
の調整を行う光軸制御装置において、前記コーナーキュ
ーブの出射光側の光路上に透過光と反射光とに分離する
ダイクロイックミラープリズムを配置させ、このダイク
ロイックミラープリズムにより分離された一方の少光量
側の光束の光路上にその基準光軸が中心となるように４
分割受光素子を配設し、前記ダイクロイックミラープリ
ズムにより分離された他方の多光量側の光束の前記４分
割受光素子と共役な光路長となる位置にミラーを配置
し、前記４分割受光素子の出力が常に０又は一定値とな
るように前記コーナーキューブを２軸サーボ駆動させる
コーナーキューブ駆動手段を設け、前記ダイクロイック
ミラープリズムと前記４分割受光素子と前記ミラーと
は、ユニット化して構成され光軸方向に移動自在な移動
機構を備えたことを特徴とする光軸制御装置。3. The laser light emitted from a laser light source is flattened.
After making the optical axis of the line, it is incident on the corner cube and the optical axis is shifted.
In the optical axis control device for adjusting the angle,
Separates into transmitted light and reflected light on the optical path on the outgoing light side of the probe
Place the dichroic mirror prism and
One small amount of light separated by Loic mirror prism
4 so that the reference optical axis is centered on the optical path of
A split light receiving element is provided, and the dichroic mirror
4 minutes of the other multi-beam side light flux separated by the
A mirror is placed at a position where the optical path length is conjugate to the split light receiving element
However, the output of the four-divided light receiving element always becomes 0 or a constant value.
So that the corner cube is servo-driven in two axes
It provided a corner cube driving means, the dichroic mirror prism and the four-divided light receiving element and the mirror, the optical axis control unit you comprising the movable moving mechanism unitized constructed by the optical axis .
行光軸化した後、コーナーキューブに入射させ光軸ズレ
の調整を行う光軸制御装置において、前記コーナーキュ
ーブの出射光側の光路上に透過光と反射光とに分離する
ダイクロイックミラープリズムを配置させ、このダイク
ロイックミラープリズムにより分離された一方の少光量
側の光束の光路上にその基準光軸が中心となるように４
分割受光素子を配設し、前記ダイクロイックミラープリ
ズムにより分離された他方の多光量側の光束に前記４分
割受光素子と共役な光路長の収束点をもたせ、前記４分
割受光素子の出力が常に０又は一定値となるように前記
コーナーキューブを２軸サーボ駆動させるコーナーキュ
ーブ駆動手段を設け、前記４分割受光素子、又は、前記
４分割受光素子と前記ダイクロイックミラープリズムと
を光軸方向に移動調整できる移動機構を備えたことを特
徴とする光軸制御装置。4. A laser beam emitted from a laser light source is flattened.
After making the optical axis of the line, it is incident on the corner cube and the optical axis is shifted.
In the optical axis control device for adjusting the angle,
Separates into transmitted light and reflected light on the optical path on the outgoing light side of the probe
Place the dichroic mirror prism and
One small amount of light separated by Loic mirror prism
4 so that the reference optical axis is centered on the optical path of
A split light receiving element is provided, and the dichroic mirror
The light beam on the other multi-light side separated by the
The convergence point of the optical path length conjugate with the split light receiving element is provided.
So that the output of the split photodetector always becomes 0 or a constant value.
Corner cube that drives the corner cube by two-axis servo
Provided over blanking drive unit, the four light-receiving element, or the four light-receiving element and the dichroic optical axis control unit you comprising the moving mechanism capable of moving adjustment in the optical axis direction and a dichroic mirror prism.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18656892A JP3187538B2 (en) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | Optical axis controller |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18656892A JP3187538B2 (en) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | Optical axis controller |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0634918A JPH0634918A (en) | 1994-02-10 |
| JP3187538B2 true JP3187538B2 (en) | 2001-07-11 |
Family
ID=16190810
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18656892A Expired - Fee Related JP3187538B2 (en) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | Optical axis controller |
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| JP (1) | JP3187538B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102119928B1 (en) * | 2017-12-21 | 2020-06-05 | 정우열 | Folding Type Phone Supporter including Wireless Charging Device |
| KR102623271B1 (en) * | 2021-10-05 | 2024-01-09 | 주쌍돈 | portable power bank device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0634918A (en) | 1994-02-10 |
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