JP3186251B2 - 干渉計の被検レンズ支持装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、球面レンズ等の被検レ
ンズの表面状態をレーザ干渉計を用いて検査するための
干渉計であって、特にこの干渉計における被検レンズを
支持するための支持装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】レンズの仕上げ精度の検査を行うために
レーザ干渉計を用いるように構成したものは、従来から
知られている。即ち、レーザ光源からのレーザ光の光路
に基準レンズを配設すると共に、この光路における基準
レンズの前方位置に被検レンズを配設し、基準レンズの
基準面から反射する参照光と被検レンズの被検面からの
反射光である物体光との間で生じる干渉縞の本数を測定
することによって、このレンズの表面状態を検査・測定
するようにしたものである。このように、レーザ干渉計
を用いると、被検レンズを非接触で検査できることか
ら、基準レンズにも、また被検レンズにも損傷を来すこ
となく精密に検査できるので極めて都合が良い。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ここで、レーザ発振器
から基準レンズまでの光学素子は干渉計本体としてハウ
ジング内に収納されているが、被検レンズは、多数のレ
ンズを順次検査・測定するという関係から、容易に着脱
できるようにする必要がある。このために、被検レンズ
を着脱可能に支持する被検レンズ支持機構が設けられ
る。ここで、被検レンズ支持機構としては、干渉計本体
から出射されるレーザ光の光路の方向によって、その構
造も異なってくる。即ち、光路が上方を向くように干渉
計本体を設置する場合があり、この場合には、干渉計本
体の上部位置にレーザ光を透過させる開口を持った台板
を設け、この台板に被検レンズがセットされる。一方、
光路が水平な場合には、被検レンズは、被検面が垂直に
なるようにしてレンズホルダに支持させることになる。
また、光路が下方に向くようになっている場合には、干
渉計本体の下部に台板を設け、この台板上に被検レンズ
をセットする。以上のうち、干渉計本体の光路が水平な
方向または下方に向けている場合には、被検レンズを支
持する部材は、この被検レンズの被検面とは反対側の
面、また場合によっては外周面を支持するように構成さ
れる。

【０００４】ところで、被検レンズの測定を高精度に行
うには、被検レンズに傾きや倒れ等がなく、被検レンズ
の被検面の曲率半径の中心が干渉計本体から出射される
レーザ光の光軸上に位置させなければならない。従っ
て、検査・測定時には、被検レンズは極めて高精度に位
置決めする必要があるが、干渉計本体からの光路が水平
方向に向けられている場合や、下方に向けられて、被検
レンズの被検面とは反対側の面や外周面を支持するよう
に構成した場合には、この支持手段によって被検レンズ
を固定的に保持した上で、被検レンズを干渉計本体から
のレーザ光の光軸と一致するように位置決めしなければ
ならない。

【０００５】被検レンズの検査・測定を行うに当って
は、測定精度の観点からは、被検レンズの位置決め精度
の向上を図らなければならないが、もう一方の要請とし
て、被検レンズの支持機構への着脱を容易に行えるよう
にすることも重要である。ところが、前述したように、
被検レンズの位置決め精度の向上を図るためには、例え
ば被検レンズをクランプする等によって、支持機構に固
定的に装着しなければならず、このために被検レンズの
着脱が困難になるという問題点が生じる。

【０００６】本発明は、以上の点に鑑みてなされたもの
であって、その目的とするところは、被検レンズの着脱
が容易で、しかもこの被検レンズをセットした時には、
極めて正確に位置決めできるようにすることにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、干渉計本体に設けた基準レンズの基
準面に照射される光の一部を反射させ、この基準レンズ
の透過光を球面レンズからなる被検レンズに反射させ
て、両反射光の間で干渉縞を発生させることにより被検
レンズの表面状態の検査を行うものであって、前記干渉
計本体内に設けた基準レンズと対向する位置に前記被検
レンズが設置されるレンズ支持部材を配置し、また前記
レンズ支持部材と前記干渉計本体内の前記基準レンズと
の間の位置に、このレンズ支持部材に設置された前記被
検レンズの球面からなる被検面に当接するレンズ当接部
を有するレンズ位置決め部材を対向配設し、前記レンズ
支持部材には、前記レンズ当接部から離した位置で前記
被検レンズが設置され、この被検レンズを前記レンズ位
置決め部材に押し付けた時に、その被検面がこのレンズ
当接部に当接するようにして位置決めするために所定の
弾性力を作用させる加圧力発生手段を設ける構成とした
ことをその特徴とするものである。

【０００８】

【作用】被検レンズは、その測定対象となるのは球面形
状となった被検面であり、従って被検面側を位置決めす
るように構成する方がより正確な位置決めできる。この
ために、レンズ支持部材に対向配設させて、被検レンズ
の被検面に当接するレンズ当接部を有するレンズ位置決
め部材を設ける。そして、レンズ支持部材をこのレンズ
位置決め部材のレンズ当接部から離した状態で、被検レ
ンズを設置して、加圧力発生手段の作用によって、レン
ズ支持部材に設置した被検レンズの被検面をレンズ位置
決め部材のレンズ当接部に当接させることにより位置決
めするようにした。これによって、被検レンズはレンズ
支持部材とレンズ位置決め部材との間で挾持された状態
になり、測定時における安定性も得られ、しかもその着
脱が容易になる。

【０００９】レンズ位置決め部材と干渉計本体との間の
位置関係が正確に調整されておれば、被検レンズをレン
ズ位置決め部材に押し当てることによって、正確に位置
決めを行うことができる。特に、被検レンズが球面レン
ズであるから、加圧力発生手段の弾発力によって、その
被検面をレンズ位置決め部材にある程度の押し付け力を
作用させれば、この基準面がレンズ位置決め部材に倣う
ようになって、自動的に調芯されると共に安定的に保持
される。ただし、被検面をレンズ位置決め部材部にあま
り強い力で押し付けると、押し付け力により被検面に歪
みが生じて、この歪みによる干渉縞が発生することにな
り、被検レンズの検査・測定精度に悪影響を与えること
になる。

【００１０】そこで、被検レンズの自重自体はレンズ支
持部材により支承させ、このレンズ支持部材に加圧力発
生手段を設けて、この加圧力発生手段によって、被検レ
ンズの被検面を弾性的にレンズ位置決め部材に押し付け
るようにしている。これによって、被検レンズの形状や
重量とは無関係に、被検面の調芯作用を十分に発揮さ
せ、かつこの被検面に歪みが生じないようにすることが
できる。この結果、レンズ支持部材によっては、被検レ
ンズを単に脱落しないように保持されておれば良く、ク
ランプ等によって被検レンズを厳格に固定しなくとも、
被検レンズをレンズ支持部材とレンズ位置決め部材との
間に挾持された状態で、安定的に、しかも正確に位置決
めすることができる。また、被検レンズの着脱は極めて
容易に、しかも迅速に行える。さらに、被検レンズにお
ける被検面の表面状態を正確に現した干渉縞情報を取得
できる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。まず、図１において、１は干渉計本体を示
し、この干渉計本体１は柱部材２に装着した昇降手段３
に装着されて、この昇降手段３は操作ハンドル３ａによ
り手動操作で昇降させるようになっている。干渉計本体
１の下部位置にはレンズ位置決め部材４が設けられてお
り、このレンズ位置決め部材４の下部位置に被検レンズ
５を支持する被検レンズ支持部材６が設けられている。
ここで、被検レンズ５は、その被検面５ａが所定の曲率
半径と有効口径を持った球面となっている。

【００１２】干渉計本体１の一例を図２に示す。この図
に示されているのは、所謂フィゾー型の干渉計である
が、本発明で用いられる干渉計としては、このタイプの
ものに限定されないことはいうまでもない。而して、同
図において、１０はＨｅ−Ｎｅレーザ等からなるレーザ
発振器１０であって、このレーザ発振器１０から出力さ
れたレーザ光はビーム発散用の発散レンズ１１によっ
て、一度集光させた後に、発散させる。そして、この発
散レンズ１１の集光位置にはピンホール１２が配設され
ており、これによって集光した光以外を光路からカット
するようにしている。ピンホール１２を通過した光はビ
ームスプリッタ１３の反射面１３ａに反射せしめられ
る。このビームスプリッタ１３での反射光は１／４波長
板１４を介してコリメータレンズ１５によって平行光と
なされ、この平行光は基準部材としての基準レンズ１６
に入射される。基準レンズ１６の入射面１６ａは反射防
止コーティングが施されており、またこの入射面１６ａ
とは反対側の面は基準面１６ｂで、この基準面１６ｂか
らの反射光は、被検レンズ５の被検面５ａから反射する
物体光である測定波面に対し、参照光として基準波面を
形成する。

【００１３】レンズ位置決め部材４に被検レンズ５が装
着されると、レーザ発振器１０からレーザ導光用光学系
を構成する発散レンズ１１，ピンホール１２，ビームス
プリッタ１３及びコリメータレンズ１５を経て基準レン
ズ１６に入射され、その一部はこの基準ンズ１６の基準
面１６ｂで反射し、他は被検レンズ５に入射されて、こ
の被検レンズ５の被検面５ａで反射する。基準レンズ１
６の基準面１６ｂ及び被検レンズ５の被検面５ａからの
反射光はコリメータレンズ１５により収束せしめられな
がら、１／４波長板１４を経てビームスプリッタ１３に
戻される。ここで、この戻り光はビームスプリッタ１３
の反射面１３ａを透過する。そして、このビームスプリ
ッタ１３の透過光の光路には、絞り１７及び結像レンズ
１８が設けられており、この結像レンズ１８の結像位置
に、基準面１６ａからの参照光と被検面５ａからの物体
光との間の干渉作用によって、干渉縞が結像される。こ
の結像位置にＣＣＤ等からなる撮像手段１９が設けられ
ており、この撮像手段１９で干渉縞が撮影される。

【００１４】以上のように、干渉縞を観察することによ
って、被検レンズ５の表面状態の検査が行われるが、こ
の被検レンズ５の検査を正確に行うには、被検レンズ５
がレンズ位置決め部材４に正確に位置決めしなければな
らない。即ち、図３に示したように、被検レンズ５は、
その被検面５ａの曲率半径の中心Ｏは、干渉計本体１に
おける基準レンズ１６における基準面１６ｂの曲率半径
の中心となる位置と一致していなければならず（この位
置は、通常キャッツアイポイントと呼ばれている）、同
図にＯ′で示したように、この位置から外れた位置にあ
ると、被検面は同図に仮想線で示した位置になり、この
被検面から反射した物体光の波面と基準レンズ１６の基
準面１６ｂから反射した参照光の波面との間にずれが生
じて、正確な干渉縞が形成されなくなる。

【００１５】ここで、被検レンズ５がセットされるレン
ズ位置決め部材４は、開口２０ａが形成された取付板２
０を有し、この取付板２０における開口２０ａの形成部
の下面にはレンズ当接部２１が着脱可能に取り付けられ
ている。このレンズ当接部２１は被検レンズ５の被検面
５ａの外周縁部を当接させることによって、その位置決
めを行うためのものであって、通常、被検レンズ５はレ
ンズ当接部２１に対して１２０°位相を変えた３点位置
で当接することになる。

【００１６】被検レンズ５は、被検レンズ支持部材６上
に支持されているが、この被検レンズ支持部材６とレン
ズ位置決め部材４とは連結板２２により連結されてい
る。そして、この被検レンズ支持部材６は、基台２３上
に立設した複数本、好ましくは４本のガイドロッド２４
に沿って昇降可能な支持プレート２５を有し、この支持
プレート２５には、被検レンズ５の被検面５ａとは反対
側の面を弾性的に支承するゴム，スポンジ等からなる弾
性サポート２６が設けられている。ここで、弾性サポー
ト２６には被検レンズ５が直接設置されることから、そ
の表面には反射防止コーティング等を施すようにするの
が好ましい。また、ガイドロッド２４には、それぞれ支
持プレート２５を挟んだ上下両側にバランス用のばね２
７，２８が縮設されており、このばね２７，２８によっ
て、支持プレート２５に外力が作用しない状態では、所
定の高さ位置に保持され、加圧力や外力等を加えると昇
降させることができるようになっている。さらに、基台
２３はＸＹステージ２９上に設置されており、被検レン
ズ５は被検レンズ支持部材６における弾性サポート２６
とレンズ位置決め部材４のレンズ当接部２１との間に挾
持した状態で、このＸＹステージ２９によって干渉計本
体１との間で光軸合わせを行うことができるようになっ
ている。

【００１７】本実施例は以上のように構成されるもので
あって、次にその作用について説明する。まず、干渉計
本体１に連結した昇降手段３を操作することによって、
この干渉計本体１に装着されている基準レンズ１６を、
検査・測定しようとする被検レンズ５との位置関係にお
いて、この被検レンズ５の測定に適した位置となるよう
に干渉計本体１の位置調整を行う。この干渉計本体１の
位置調整は操作ハンドル３ａを操作することによって、
昇降手段３に沿って干渉計本体１を上下方向に移動させ
ることにより行われる。

【００１８】この状態で、支持プレート２６を押し下げ
て、弾性サポート２６上の所定の位置に被検レンズ５を
載置する。そして、支持プレート２６に対する押し下げ
力を解除すると、この支持プレート２６はばね２７，２
８によりバランスする位置にまで上昇しようとするが、
この上昇ストロークの途中で被検レンズ５の被検面５ａ
がレンズ位置決め部材４におけるレンズ当接部２１に当
接して、その位置で上昇は停止する。従って、弾性サポ
ート２６が弾性変形することになって、この被検レンズ
５は、その弾発力によって、被検面５ａがレンズ当接部
２１に押し付けられる。ここで、被検レンズ５は球面レ
ンズであるから、レンズ当接部２１に押し付けられるこ
とによって、その被検面５ａがレンズ位置決め部材４の
レンズ当接部２１に倣うようになる。そこで、ＸＹステ
ージ２９の調整を行って、レンズ位置決め部材４のレン
ズ当接部２１の中心位置を干渉計本体１の光軸と一致さ
せるように調整する。これにより、被検レンズ５の被検
面５ａは確実に干渉縞の測定が可能な位置に配置でき
る。

【００１９】而して、被検レンズ５のレンズ当接部２１
への押し付け力を、この被検レンズ５の被検面５ａを調
芯させるのに必要な程度であって、押し付け力が過大に
なって被検面５ａに歪みが発生しないように調整してお
く。ここで、この押し付け力の調整は、弾性サポート２
６の弾性力とバランス用のばね２７，２８とによるレン
ズ位置決め部材４の自由状態における高さ位置により定
まる。従って、これらを適宜調整しておくことによっ
て、最適な押し付け力が得られる。この結果、被検面５
ａからの物体光と基準レンズ１６の基準面１６ｂからの
参照光との間での干渉作用に基づく干渉縞に被検レンズ
５ａの歪みに起因して生じる干渉縞が出るのを極力少な
くでき、被検レンズ５の干渉縞による表面状態の測定精
度が著しく向上する。

【００２０】なお、本実施例において、被検レンズ５の
レンズ当接部２１に対する押し付け力を調整するには、
例えば図４に示したように、ガイドロッド２４′の下部
側にねじ部を設けて、このねじ部にバランス用のばね２
８の下部を受けるばね受け２８ａを高さ調整可能に装着
しておき、このばね受け２８ａの高さ位置を調整するよ
うに構成すれば良い。また、図５に示したように、ガイ
ドロッド２４に代えて、ねじロッド２４″を用い、支持
プレート２５′をこのねじロッド２４″を適宜螺回する
ことによって、支持プレート２５′の高さ位置を調整で
きるようにすることも可能である。ただし、この図５の
構成の場合には、支持プレート２５′はねじロッド２
４″の所定の位置に固定的に保持されることから、被検
レンズ５の着脱は弾性サポート２６を撓めるようにして
行うか、またはレンズ位置決め部材４を可動となすこと
により行う。

【００２１】次に、図６に本発明の第２の実施例を示
す。なお、この第２の実施例において、前述した第１の
実施例と同一または均等な部材については、同一の符号
を付して、その具体的な説明は省略する。

【００２２】本実施例において、被検レンズ５が装着さ
れる被検レンズ支持部材３０は、支持プレート３１を有
し、この支持プレート３１は、台板３２上に立設したガ
イドロッド３３（通常は３本または４本設けられる）に
より昇降自在に支持されている。そして、支持プレート
３１における被検レンズ設置部３１ａには、被検レンズ
５を粗位置決めするためのホルダ３４が装着されてお
り、被検レンズ５はこのホルダ３４に装着されて、それ
に対向配設したレンズ位置決め部材４のレンズ当接部２
１に、その被検面５ａが当接することによって、所定の
位置に位置決めできるようになっている。ここで、被検
レンズ５をレンズ当接部２１に適正な押し付け力をもっ
て押し付けるために、支持プレート３１の下面側には圧
縮ばね３５が作用している。この圧縮ばね３５は、ばね
受け部材３６に装着されており、このばね受け部材３６
は調整ねじ３７により高さ調整できるようになってい
る。また、被検レンズ支持部材３０における台板３２
は、取付板２０に装着したレンズ当接部２１と共にＸＹ
ステージ３８に連結されている。

【００２３】また、支持プレート３１には上下動駆動手
段３９が連結されている。この上下動駆動手段３９は、
フック３９ａと、このフック３９ａに手動操作によって
軸３９ｂを中心として上下方向に回動させるレバー３９
ｃとを備える構成となっている。フック３９ａは支持プ
レート３１に係合しており、レバー３９ｃを手動操作等
によって軸３９ｂを中心として図中の矢印方向に回動さ
せると、支持プレート３１を圧縮ばね３５に抗して下降
させて、被検レンズ５をレンズ当接部２１から離間させ
ることができるようになっている。

【００２４】本実施例はこのように構成されるものであ
って、上下動駆動手段３９を構成するレバー３９ｃを操
作して、支持プレート３１を圧縮ばね３５に抗して押し
下げた状態で、その支持プレート３１におけるホルダ３
４内に被検レンズ５を装着する。そして、レバー３９ｃ
を前述とは反対方向に回動させると、支持プレート３１
は圧縮ばね３５に抗して上昇して、この支持プレート３
１に設置した被検レンズ５の被検面５ａがレンズ位置決
め部材４のレンズ当接部２１に当接して、その位置決め
がなされる。この時においては、圧縮ばね３５の作用に
よって被検面５ａがある程度の押し付け力をもってレン
ズ当接部２１に押し付けられるから、その位置決め精度
が極めて良好となる。また、この押し付け力を、被検面
５ａを有効に位置決めでき、しかもこの被検面５ａに歪
み等が発生しないように調整するには、調整ねじ３７を
回動操作して、ばね受け部材３６の上下方向の位置を調
整することにより容易に行うことができる。

【００２５】さらに、図７に本発明の第３の実施例を示
す。而して、図２から明らかなように、基準レンズ１６
はコリメータレンズ１５によって平行光とした光路に設
けられている関係から、この基準レンズ１６は光軸方向
に変位させたとしても、その基準面１６ｂと被検レンズ
５の被検面５ａとの間に干渉縞を形成する上で格別支障
を来すことはない。そこで、干渉計本体１′側に被検レ
ンズ５の位置決めを行うために、レンズ当接部２１′を
備えたレンズ位置決め部材４′を設ける。そして、この
レンズ位置決め部材４′に対して基準レンズ１６を近接
・離間する方向に移動可能となし、またこの基準レンズ
１６は水平方向にも位置を微調整できる構成とする。

【００２６】一方、被検レンズ支持部材４０としては、
支持プレート４１上にリング状の被検レンズサポート４
２を設ける。この被検レンズサポート４２は、その内周
面側がテーパ面４２ａとなり、被検レンズ５は、その外
周エッジ部がこのテーパ面４２ａに当接することにより
保持されるようになっている。そして、被検レンズサポ
ート４２は、３箇所以上設けた圧縮ばね４３によって、
支持プレート４１から突出する方向に付勢されており、
外周側に設けたガイド筒４４に沿って昇降できるように
なっている。また、支持プレート４１における被検レン
ズサポート４２の内側の位置には、被検レンズ５の被検
面５ａとは反対側の面に接離可能なレンズ受けパッド４
５が設けられている。なお、４６は被検レンズサポート
４２を引き下げるための操作用ロッドである。

【００２７】以上の構成において、基準レンズ１６の基
準面１６ｂと被検レンズ５の被検面５ａとの間の間隔を
測定位置となるように調整するには、干渉計本体１′内
において、基準レンズ１６を光軸方向に移動させること
により行われる。実際においては、基準レンズ１６とレ
ンズ位置決め部材４′のレンズ当接部２１′との間の間
隔を調整する。また、基準レンズ１６と被検レンズ５と
の間の光軸のずれの補正も、この基準レンズ１６を水平
方向に移動させることにより行われる。

【００２８】この調整が完了すると、被検レンズ支持部
材４０における支持プレート４１に設けた被検レンズサ
ポート４２を干渉計本体１′から離間する方向に変位さ
せて、この被検レンズサポート４２に被検レンズ５に装
着する。ここで、被検レンズサポート４２にはテーパ面
４２ａが形成されているから、被検レンズ５を被検レン
ズサポート４２に装着すると、直ちにこの被検レンズサ
ポート４２の所定の位置に位置決めされる。

【００２９】そこで、被検レンズサポート４２に対する
押し下げ力を解除すると、この被検レンズサポート４２
は圧縮ばね４３の作用によって押し上げられて、被検レ
ンズ５の被検面５ａがレンズ当接部２１′に当接して、
この圧縮ばね４３のばね力を調整することによって、被
検レンズ５の位置決めが行われ、かつその被検面５ａに
歪みが発生しないように保持される。これによって、干
渉縞情報の正確な観察が可能となる。

【００３０】そして、被検レンズ５の検査・測定が終了
すると、被検レンズサポート４２を押し下げると、この
被検レンズ５はレンズ受けパッド４５上に位置して、被
検レンズサポート４２から脱出して、その取り出しを円
滑に行うことができる。

【００３１】なお、前述した各実施例においては、干渉
計本体からのレーザ光を下方に向けるように構成した
が、これに限らず、例えば水平方向にレーザ光を導くよ
うに構成することもできる。ただし、この場合には、被
検レンズはその外周面をホルダ等により保持することに
よって、被検レンズ支持部材から脱落しないように保持
するように構成すれば良い。

【００３２】

【発明の効果】本発明は以上のように構成したので、被
検面が球面となった被検レンズを、その被検面を加圧力
発生手段による弾発力でレンズ支持部材に当接させるこ
とによって、極めて容易に、しかも正確に干渉計本体に
設けた基準レンズに対して位置決めすることができ、か
つ被検レンズを安定した状態に保持できると共に、その
着脱が容易になり、さらには被検面をレンズ位置決め部
材に対して過大な押し付け力が作用して歪み等を生じさ
せるおそれはない等の諸効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例における被検レンズ支持
装置を備えた干渉計の全体構成を示す説明図である。

【図２】干渉計の光学システムの全体構成図である。

【図３】基準レンズと被検レンズとの測定時における相
対位置関係の説明図である。

【図４】第１の実施例の変形例を示す被検レンズ支持装
置の要部構成図である。

【図５】第１の実施例の他の変形例を示す被検レンズ支
持装置の要部構成図である。

【図６】本発明の第２の実施例を示す干渉計の被検レン
ズ支持装置の構成を示す説明図である。

【図７】本発明の第３の実施例を示す干渉計の被検レン
ズ支持装置の構成を示す説明図である。

【符号の説明】

１，１′ 干渉計本体 ４，４′ レンズ位置決め部材 ５ 被検レンズ ５ａ 被検面 ６，３０，４０ 被検レンズ支持部材 １６ 基準レンズ １６ｂ 基準面 ２０ 取付板 ２１，２１′ レンズ当接部 ２４，２４′，３３ ガイドロッド ２４″ ねじロッド ２５，２５′ 支持プレート ２６ 弾性サポート ３１，４１ 支持プレート ３４ ホルダ ３５，４３ 圧縮ばね ３７ 調整ねじ ４２ 被検レンズサポート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−21806（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−145544（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−190447（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−172355（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 9/00 - 11/30 102 G01M 11/00 - 11/08

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 干渉計本体に設けた基準レンズの基準
   面に照射される光の一部を反射させ、この基準レンズの
   透過光を球面レンズからなる被検レンズに反射させて、
   両反射光の間で干渉縞を発生させることにより被検レン
   ズの表面状態の検査を行うものであって、前記干渉計本体内に設けた基準レンズと対向する位置に
   前記被検レンズが設置されるレンズ支持部材を配置し、 また前記レンズ支持部材と前記干渉計本体内の前記基準
   レンズとの間の位置に、このレンズ支持部材に設置され
   た前記被検レンズの球面からなる被検面に当接するレン
   ズ当接部を有するレンズ位置決め部材を対向配設し、 前記レンズ支持部材には、前記レンズ当接部から離した
   位置で前記被検レンズが設置され、この被検レンズを前
   記レンズ位置決め部材に押し付けた時に、その被検面が
   このレンズ当接部に当接するようにして位置決めするた
   めに所定の弾性力を作用させる加圧力発生手段を設ける
   構成としたことを特徴とする干渉計の被検レンズ支持装
   置。
2. 【請求項２】 前記レンズ位置決め部材は、前記レン
   ズ支持部材と共に、前記干渉計本体に対する光軸合わせ
   手段に装着する構成としたことを特徴とする請求項１記
   載の干渉計の被検レンズ支持装置。
3. 【請求項３】 前記レンズ位置決め部材は前記干渉計
   本体に設けられ、この干渉計本体に設けた基準レンズ
   は、前記レンズ支持部材に設置した被検レンズに対して
   光軸合わせ可能に設ける構成としたことを特徴とする請
   求項１記載の干渉計の被検レンズ支持装置。
4. 【請求項４】 前記レンズ当接部は前記レンズ位置決め
   部材に着脱可能に装着されるように構成したことを特徴
   とする請求項１記載の干渉計の被検レンズ支持装置。
5. 【請求項５】 前記加圧力発生手段はレンズ支持部材
   に作用する圧縮ばねであることを特徴とする請求項１記
   載の干渉計の被検レンズ支持装置。
6. 【請求項６】 前記加圧力発生手段はゴム，スポンジ
   等の弾性部材で構成したことを特徴とする請求項１記載
   の干渉計の被検レンズ支持装置。
7. 【請求項７】 前記加圧力発生手段は、その押し付け
   力を調整可能としたことを特徴とする請求項１記載の干
   渉計の被検レンズ支持装置。