JP3184489B2 - 光電管 - Google Patents
光電管Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光電面（光電陰
極）に入射した光子を光電子に変換し、これを陽極から
取り出す光電管に関し、特に、反射型光電面を有する光
電管に関するものである。
極）に入射した光子を光電子に変換し、これを陽極から
取り出す光電管に関し、特に、反射型光電面を有する光
電管に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の光電管の光電子放出層として広
帯域の光波長に応答できるものが開発されており、高い
光検出感度と大きいＳ／Ｎ比とを持つ光電管が実現され
ている。従って、他の半導体光センサ等では対応できな
い光検出域を必要とする分野にこの光電管が広く利用さ
れている。
帯域の光波長に応答できるものが開発されており、高い
光検出感度と大きいＳ／Ｎ比とを持つ光電管が実現され
ている。従って、他の半導体光センサ等では対応できな
い光検出域を必要とする分野にこの光電管が広く利用さ
れている。
【０００３】このような従来の反射形の光電管として
は、図７に示す構造のものが一般的に用いられている。
ガラスバルブ１内には光電子放出層が形成された光電面
（カソード）２およびアノード３が設けられており、ア
ノード３には光電面２よりも高い一定電圧がリード線２
ａ，３ａを介して印加されている。光電面２に光子が入
射すると、光電面２からは入射光量に応じた光電子が放
出される。この光電子はガラスバルブ１の内面を覆う筒
状のアノード３に収集され、入射光が電気信号として検
出される。
は、図７に示す構造のものが一般的に用いられている。
ガラスバルブ１内には光電子放出層が形成された光電面
（カソード）２およびアノード３が設けられており、ア
ノード３には光電面２よりも高い一定電圧がリード線２
ａ，３ａを介して印加されている。光電面２に光子が入
射すると、光電面２からは入射光量に応じた光電子が放
出される。この光電子はガラスバルブ１の内面を覆う筒
状のアノード３に収集され、入射光が電気信号として検
出される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、光電管の小
型化を図るために光電管の全長を短くすることが望まれ
るが、光電管の全長を短くした場合には、筒状のアノー
ドの面積が小さくなり効率よく光電子をアノードに収集
することができないという問題があった。
型化を図るために光電管の全長を短くすることが望まれ
るが、光電管の全長を短くした場合には、筒状のアノー
ドの面積が小さくなり効率よく光電子をアノードに収集
することができないという問題があった。
【０００５】本発明の課題は、堅牢且つ光電子を効率良
く収集することができる反射型光電管を提供することで
ある。
く収集することができる反射型光電管を提供することで
ある。
【０００６】本発明は、陽極を構成する側管の一方の開
口を塞ぐガラス製の受光面板及び前記側管の他方の開口
を塞ぐステムを有してなる容器と、前記容器内の前記受
光面板に対向する位置に配置された光電面と、前記ステ
ムを貫通して前記光電面に電気的に接続された陰極取り
出し線とを備えた光電管において、前記側管を金属側管
とし、前記側管を前記ステムに電気的に接続し、前記受
光面板の内側に前記側管に電気的に接続された導電膜を
設けたことを特徴とする。
口を塞ぐガラス製の受光面板及び前記側管の他方の開口
を塞ぐステムを有してなる容器と、前記容器内の前記受
光面板に対向する位置に配置された光電面と、前記ステ
ムを貫通して前記光電面に電気的に接続された陰極取り
出し線とを備えた光電管において、前記側管を金属側管
とし、前記側管を前記ステムに電気的に接続し、前記受
光面板の内側に前記側管に電気的に接続された導電膜を
設けたことを特徴とする。
【０００７】本発明の光電管は、堅牢であって且つ光電
子を効率良く収集することができる。
子を効率良く収集することができる。
【０００８】導電膜は蒸着によって形成することができ
る。
る。
【０００９】
【実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態による
光電管を示す斜視図であり、図２（ａ），（ｂ），
（ｃ）はそれぞれこの光電管の平面図，側断面図，裏面
図を示している。
光電管を示す斜視図であり、図２（ａ），（ｂ），
（ｃ）はそれぞれこの光電管の平面図，側断面図，裏面
図を示している。
【００１０】金属バルブ１１は両端が開口した円筒状を
しており、金属容器の側管を構成している。この金属バ
ルブ１１の一方の開口面にはバルブ内部に突出する内向
きフランジ１１ａが形成されており、この内向きフラン
ジ１１ａに受光面板（フェイスプレート）１２が融着さ
れている。この受光面板１２は透光性のガラス材料から
なり、この受光面板１２によって側管の一方の開口面が
塞がれている。また、金属バルブ１１の他方の開口面に
はバルブ外部に突出する外向きフランジ１１ｂが形成さ
れており、この外向きフランジ１１ｂに金属ステム１３
が抵抗溶接されている。金属バルブ１１およびこの金属
ステム１３は鉄，コバルト，ニッケルの合金（コバー
ル）からなり、ガラス材料と融着しやすい性質を備えて
いる。この金属ステム１３によって側管の他方の開口面
が塞がれ、金属ステム１３の中央部に設けられた金属排
気管１４から金属容器内部が真空排気されることによ
り、金属容器内部は真空状態に保たれている。また、こ
れら金属バルブ１１、金属ステム１３および金属排気管
１４は電気的に接触しており、同電位に設定されてい
る。
しており、金属容器の側管を構成している。この金属バ
ルブ１１の一方の開口面にはバルブ内部に突出する内向
きフランジ１１ａが形成されており、この内向きフラン
ジ１１ａに受光面板（フェイスプレート）１２が融着さ
れている。この受光面板１２は透光性のガラス材料から
なり、この受光面板１２によって側管の一方の開口面が
塞がれている。また、金属バルブ１１の他方の開口面に
はバルブ外部に突出する外向きフランジ１１ｂが形成さ
れており、この外向きフランジ１１ｂに金属ステム１３
が抵抗溶接されている。金属バルブ１１およびこの金属
ステム１３は鉄，コバルト，ニッケルの合金（コバー
ル）からなり、ガラス材料と融着しやすい性質を備えて
いる。この金属ステム１３によって側管の他方の開口面
が塞がれ、金属ステム１３の中央部に設けられた金属排
気管１４から金属容器内部が真空排気されることによ
り、金属容器内部は真空状態に保たれている。また、こ
れら金属バルブ１１、金属ステム１３および金属排気管
１４は電気的に接触しており、同電位に設定されてい
る。
【００１１】金属容器内部の受光面板１２に対向する位
置には円板状の光電面１５が設けられている。この光電
面１５の受光面板１２に対向する表面にはＣｓ−56Ｔｅ
からなる光電子放出層が形成されており、光電面１５は
４本の陰極取り出し線１６によって金属容器内に固定さ
れている。この固定は光電面１５の周端部と陰極取り出
し線１６とが溶接されることによって行われている。陰
極取り出し線１６は銅線等の導電材料からなり、電気的
絶縁性を持つテーパー状ハーメチックガラス１７によっ
て金属ステム１３に固定されている。
置には円板状の光電面１５が設けられている。この光電
面１５の受光面板１２に対向する表面にはＣｓ−56Ｔｅ
からなる光電子放出層が形成されており、光電面１５は
４本の陰極取り出し線１６によって金属容器内に固定さ
れている。この固定は光電面１５の周端部と陰極取り出
し線１６とが溶接されることによって行われている。陰
極取り出し線１６は銅線等の導電材料からなり、電気的
絶縁性を持つテーパー状ハーメチックガラス１７によっ
て金属ステム１３に固定されている。
【００１２】このような光電管２１の真空封止は具体的
には次のように行われる。
には次のように行われる。
【００１３】まず、ハーメチックガラス１７によって陰
極取り出し線１６が配設された金属ステム１３が用意さ
れる。そして、予め56Ｔｅが蒸着された光電面１５が各
陰極取り出し線１６に溶接される。その後、金属バルブ
１１の外向きフランジ１１ｂと金属ステム１３とが抵抗
溶接治具を用いて抵抗溶接され、金属容器のフランジ部
の真空気密が保たれる。
極取り出し線１６が配設された金属ステム１３が用意さ
れる。そして、予め56Ｔｅが蒸着された光電面１５が各
陰極取り出し線１６に溶接される。その後、金属バルブ
１１の外向きフランジ１１ｂと金属ステム１３とが抵抗
溶接治具を用いて抵抗溶接され、金属容器のフランジ部
の真空気密が保たれる。
【００１４】次に、図３に示すように、以上の工程を経
た製造過程にある複数本の光電管２２が枝管（分岐部）
２３に接続される。各光電管２２に設けられた各排気管
１４とこの枝管２３との各内部空間は連通しており、こ
の枝管２３はバルブ２４を介して真空ポンプ２５につな
がっている。また、枝管２３にはセシウム源２６を内蔵
している容器２７が接続されている。このような状態で
各光電管２２の温度が１８０℃に設定され、真空ポンプ
２５が駆動されて各光電管２２の金属容器内部が真空排
気される。この排気が終了しだい、金属容器内部の真空
度が確認され、所定の真空度に達している場合にはアル
カリ活性工程に入る。つまり、セシウム源２６が高周波
誘導加熱器で加熱され、セシウムが各金属容器内に導入
される。このアルカリ活性工程によって、各光電面１５
にＣｓ−56Ｔｅからなる光電子放出層が形成される。最
後に、金属容器下部となる金属排気管１４が一定長さを
残して封止切られ、個々の光電管２１に分離される。
た製造過程にある複数本の光電管２２が枝管（分岐部）
２３に接続される。各光電管２２に設けられた各排気管
１４とこの枝管２３との各内部空間は連通しており、こ
の枝管２３はバルブ２４を介して真空ポンプ２５につな
がっている。また、枝管２３にはセシウム源２６を内蔵
している容器２７が接続されている。このような状態で
各光電管２２の温度が１８０℃に設定され、真空ポンプ
２５が駆動されて各光電管２２の金属容器内部が真空排
気される。この排気が終了しだい、金属容器内部の真空
度が確認され、所定の真空度に達している場合にはアル
カリ活性工程に入る。つまり、セシウム源２６が高周波
誘導加熱器で加熱され、セシウムが各金属容器内に導入
される。このアルカリ活性工程によって、各光電面１５
にＣｓ−56Ｔｅからなる光電子放出層が形成される。最
後に、金属容器下部となる金属排気管１４が一定長さを
残して封止切られ、個々の光電管２１に分離される。
【００１５】このようにして得られた光電管２１は次の
ように使用される。つまり、陰極取り出し線１６に陰極
電位、通常は接地電位が与えられ、金属容器に陰極電位
より高い電位の陽極電位が与えられる。すなわち、本実
施の形態による光電管２１においては金属容器が陽極電
極として機能する。金属バルブ１１，金属ステム１３お
よび金属排気管１４は電気的に接続されているため、金
属容器に与える陽極電位はこのいずれに与えても良い
が、チップオフ部分の金属排気管１４がクリップしやす
くて陽極電位を与えやすい。このように各電極間に電圧
を印加した状態で、受光面板１２を介して光電面１５に
光が入射すると、光電面１５から光電子が放出される。
放出された光電子は陽極電極、つまり金属容器に収集さ
れ、入射光が電気信号として取り出される。
ように使用される。つまり、陰極取り出し線１６に陰極
電位、通常は接地電位が与えられ、金属容器に陰極電位
より高い電位の陽極電位が与えられる。すなわち、本実
施の形態による光電管２１においては金属容器が陽極電
極として機能する。金属バルブ１１，金属ステム１３お
よび金属排気管１４は電気的に接続されているため、金
属容器に与える陽極電位はこのいずれに与えても良い
が、チップオフ部分の金属排気管１４がクリップしやす
くて陽極電位を与えやすい。このように各電極間に電圧
を印加した状態で、受光面板１２を介して光電面１５に
光が入射すると、光電面１５から光電子が放出される。
放出された光電子は陽極電極、つまり金属容器に収集さ
れ、入射光が電気信号として取り出される。
【００１６】金属容器には上記のように陽極電位が与え
られるため、実際に使用する時には図４に示すように、
金属容器にケース３１が被されてシールドされる。この
ケース３１はジュラコン樹脂等の絶縁材料によって形成
され、陽極電位が外部に伝わらない構成になっている。
なお、同図（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれケース３
１が被さった光電管２１の平面図，側断面図，裏面図を
示しており、同図において図２と同一部分には同符号を
付してその説明は省略する。
られるため、実際に使用する時には図４に示すように、
金属容器にケース３１が被されてシールドされる。この
ケース３１はジュラコン樹脂等の絶縁材料によって形成
され、陽極電位が外部に伝わらない構成になっている。
なお、同図（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれケース３
１が被さった光電管２１の平面図，側断面図，裏面図を
示しており、同図において図２と同一部分には同符号を
付してその説明は省略する。
【００１７】本実施の形態の構造による光電管２１の光
電面１５は、アノード電極を兼ねる金属容器内において
真空封止されている。このため、気密容器は金属材料に
よって形成され、従来のガラス材料からなる機械的に脆
い気密容器に比較して遥かに堅牢なものとなる。従っ
て、少々の機械的衝撃が加わっても従来のように破損す
るおそれは小さく、光電管を従来のように慎重に取扱う
必要はなくなる。また、アノード電極を兼ねる金属容器
内に光電面１５が設けられ、従来のように気密容器内に
陽極を設ける必要がないため、光電管の小型化が図れる
と共に構成材料の節約をすることができる。
電面１５は、アノード電極を兼ねる金属容器内において
真空封止されている。このため、気密容器は金属材料に
よって形成され、従来のガラス材料からなる機械的に脆
い気密容器に比較して遥かに堅牢なものとなる。従っ
て、少々の機械的衝撃が加わっても従来のように破損す
るおそれは小さく、光電管を従来のように慎重に取扱う
必要はなくなる。また、アノード電極を兼ねる金属容器
内に光電面１５が設けられ、従来のように気密容器内に
陽極を設ける必要がないため、光電管の小型化が図れる
と共に構成材料の節約をすることができる。
【００１８】また、金属バルブ１１の一方の開口面を受
光面板１２、他方の開口面を金属ステム１３で塞いで金
属容器を構成することにより、金属容器の真空封止は金
属バルブ１１と金属ステム１３とを抵抗溶接することに
よって行える。このため、気密容器は金属材料によって
形成され、しかも、真空封止に加熱工程を必要としない
ため、従来のように熱歪によってガラス気密容器にクラ
ックが生じるといった問題は起きない。さらに、従来の
ようにバルブを加熱する必要がないため、アルカリ金属
からなる光電面が酸化するおそれもなく、光電管の光検
出特性が劣化することもない。また、従来はこの真空封
止のための熱を光電面に伝わり難くするため、ガラスバ
ルブの全長を長く設定したが、本実施の形態の光電管に
おいては抵抗溶接によって気密容器を真空封止するた
め、バルブの全長を長く設定する必要もない。従って、
本実施の形態による光電管は、気密容器内に陽極を設け
る必要がないこととあいまって一層の小型化を図ること
ができ、半導体光センサと同程度のサイズにすることが
可能になる。
光面板１２、他方の開口面を金属ステム１３で塞いで金
属容器を構成することにより、金属容器の真空封止は金
属バルブ１１と金属ステム１３とを抵抗溶接することに
よって行える。このため、気密容器は金属材料によって
形成され、しかも、真空封止に加熱工程を必要としない
ため、従来のように熱歪によってガラス気密容器にクラ
ックが生じるといった問題は起きない。さらに、従来の
ようにバルブを加熱する必要がないため、アルカリ金属
からなる光電面が酸化するおそれもなく、光電管の光検
出特性が劣化することもない。また、従来はこの真空封
止のための熱を光電面に伝わり難くするため、ガラスバ
ルブの全長を長く設定したが、本実施の形態の光電管に
おいては抵抗溶接によって気密容器を真空封止するた
め、バルブの全長を長く設定する必要もない。従って、
本実施の形態による光電管は、気密容器内に陽極を設け
る必要がないこととあいまって一層の小型化を図ること
ができ、半導体光センサと同程度のサイズにすることが
可能になる。
【００１９】このような本実施の形態による光電管２１
の特性は従来の光電管の特性と変わるところはなく、小
型であっても従来と同様に高い光検出感度を備えている
ことが以下の実験によって確認された。
の特性は従来の光電管の特性と変わるところはなく、小
型であっても従来と同様に高い光検出感度を備えている
ことが以下の実験によって確認された。
【００２０】次の表１は、本実施の形態による光電管と
浜松ホトニクス（株）製の従来タイプの光電管（型名：
Ｒ１２２８）との放射感度特性を比較した表である。こ
の従来タイプの光電管は、本実施の形態による光電管と
同じＣｓ−Ｔｅ光電面を持っている点が共通している
が、ガラスバルブ内に各電極が設けられている点が相違
している。
浜松ホトニクス（株）製の従来タイプの光電管（型名：
Ｒ１２２８）との放射感度特性を比較した表である。こ
の従来タイプの光電管は、本実施の形態による光電管と
同じＣｓ−Ｔｅ光電面を持っている点が共通している
が、ガラスバルブ内に各電極が設けられている点が相違
している。
【００２１】
【表１】
【００２２】実験は、上表に示す通り、従来タイプの光
電管（Ｒ１２２８）は６個の試料（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．
６）、本実施の形態による新タイプの光電管は５個の試
料（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．５）について行った。まず、各光
電管の光電面および陽極電極間に９０［Ｖ］の電圧Ｅbb
を印加した状態で水銀ランプの光を照射した。この水銀
ランプから出射される光は主として２５４ｎｍの波長の
紫外光である。この時、各光電管の放射感度［ｎＡ／μ
Ｗ］は同表の最左欄にある「Ｓｕｖ（１）」に示され
る。つまり、従来タイプの試料Ｎｏ．１の光電管の放射
感度は１９．４７［ｎＡ／μＷ］、試料Ｎｏ．２の光電
管の放射感度は１１．６１［ｎＡ／μＷ］、…であるこ
とが示されている。同様に、新タイプの試料Ｎｏ．１の
光電管の放射感度は２２．４０［ｎＡ／μＷ］、試料Ｎ
ｏ．２の光電管の放射感度は１８．２３ ［ｎＡ／μ
Ｗ］、…であることが示されている。また、このＳｕｖ
（１）の右隣りにある「Ｓｕｖ（２）」と示された欄
は、光電面および陽極電極間に２５［Ｖ］の電圧Ｅbbを
印加した状態で、各光電管に水銀ランプ光を照射した時
の放射感度［ｎＡ／μＷ］を示している。
電管（Ｒ１２２８）は６個の試料（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．
６）、本実施の形態による新タイプの光電管は５個の試
料（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．５）について行った。まず、各光
電管の光電面および陽極電極間に９０［Ｖ］の電圧Ｅbb
を印加した状態で水銀ランプの光を照射した。この水銀
ランプから出射される光は主として２５４ｎｍの波長の
紫外光である。この時、各光電管の放射感度［ｎＡ／μ
Ｗ］は同表の最左欄にある「Ｓｕｖ（１）」に示され
る。つまり、従来タイプの試料Ｎｏ．１の光電管の放射
感度は１９．４７［ｎＡ／μＷ］、試料Ｎｏ．２の光電
管の放射感度は１１．６１［ｎＡ／μＷ］、…であるこ
とが示されている。同様に、新タイプの試料Ｎｏ．１の
光電管の放射感度は２２．４０［ｎＡ／μＷ］、試料Ｎ
ｏ．２の光電管の放射感度は１８．２３ ［ｎＡ／μ
Ｗ］、…であることが示されている。また、このＳｕｖ
（１）の右隣りにある「Ｓｕｖ（２）」と示された欄
は、光電面および陽極電極間に２５［Ｖ］の電圧Ｅbbを
印加した状態で、各光電管に水銀ランプ光を照射した時
の放射感度［ｎＡ／μＷ］を示している。
【００２３】同表から、各光電管の放射感度は、従来タ
イプ，新タイプにかかわらずほぼ同様な感度が得られ、
また、新タイプの光電管において供給電圧Ｅbbを低くし
ても、光検出感度はほとんど変化しないことが確認され
た。
イプ，新タイプにかかわらずほぼ同様な感度が得られ、
また、新タイプの光電管において供給電圧Ｅbbを低くし
ても、光検出感度はほとんど変化しないことが確認され
た。
【００２４】次に、各光電管に９０［Ｖ］の電圧を供給
しつつ、水銀ランプ光に加えて１００［Ｗ］電球の光を
照射した。Ｓｕｖ（２）の右隣りにある「Ｓｕｖ（１）
＋Ｗ」と示された欄は、この時の各光電管の放射感度
［ｎＡ／μＷ］を示している。また、さらにこの欄の右
隣りにある「可視分Ｗ」と示された欄は、Ｓｕｖ（１）
＋Ｗと示された欄の放射感度のうち、１００［Ｗ］電球
の光照射に対応した放射感度分を示している。つまり、
この可視分Ｗの欄に示される放射感度値は、Ｓｕｖ
（１）＋Ｗの欄に示される放射感度値からＳｕｖ（１）
の欄に示される放射感度値を差し引いた値が示されてい
る。また、さらにこの欄の右隣りにある「可視分率Ｗ／
Ｓｕｖ（１）」と示された欄には、可視分Ｗの欄に示さ
れた放射感度値をＳｕｖ（１）の欄に示された放射感度
値で割った値が示されている。つまり、この欄の値は、
１００［Ｗ］電球光の水銀ランプ光に対する放射感度の
比率が百分率で示されている。
しつつ、水銀ランプ光に加えて１００［Ｗ］電球の光を
照射した。Ｓｕｖ（２）の右隣りにある「Ｓｕｖ（１）
＋Ｗ」と示された欄は、この時の各光電管の放射感度
［ｎＡ／μＷ］を示している。また、さらにこの欄の右
隣りにある「可視分Ｗ」と示された欄は、Ｓｕｖ（１）
＋Ｗと示された欄の放射感度のうち、１００［Ｗ］電球
の光照射に対応した放射感度分を示している。つまり、
この可視分Ｗの欄に示される放射感度値は、Ｓｕｖ
（１）＋Ｗの欄に示される放射感度値からＳｕｖ（１）
の欄に示される放射感度値を差し引いた値が示されてい
る。また、さらにこの欄の右隣りにある「可視分率Ｗ／
Ｓｕｖ（１）」と示された欄には、可視分Ｗの欄に示さ
れた放射感度値をＳｕｖ（１）の欄に示された放射感度
値で割った値が示されている。つまり、この欄の値は、
１００［Ｗ］電球光の水銀ランプ光に対する放射感度の
比率が百分率で示されている。
【００２５】同表に示されるように、本実施の形態によ
る新タイプの光電管においても、１００［Ｗ］電球から
可視光が照射されても、２５４ｎｍの紫外光の検出感度
にはほとんど影響がないことが確認された。
る新タイプの光電管においても、１００［Ｗ］電球から
可視光が照射されても、２５４ｎｍの紫外光の検出感度
にはほとんど影響がないことが確認された。
【００２６】次に、この新タイプの光電管の電流−電圧
（Ｉ−Ｖ）特性と、上述した従来タイプの光電管のＩ−
Ｖ特性とを比較した結果を図５のグラフに示す。
（Ｉ−Ｖ）特性と、上述した従来タイプの光電管のＩ−
Ｖ特性とを比較した結果を図５のグラフに示す。
【００２７】同グラフの横軸は光電面および陽極電極間
に印加した電圧［Ｖ］を示している。縦軸は、各電圧印
加時に光電面に実際に流れた光電流の百分率を示してお
り、印加電圧９０［Ｖ］の下で２０［ｎＡ／μＷ］の放
射感度になる時に光電面に得られる電流を１００として
ある。また、実線で示されるＩ−Ｖ特性線は本実施の形
態による新タイプの光電管の特性、点線で示されるＩ−
Ｖ特性線は従来タイプの光電管の特性を示している。同
グラフに示されるように各特性線はほぼ一致しており、
新タイプおよび従来タイプのいずれのＩ−Ｖ特性もほと
んど変わらないことが理解される。
に印加した電圧［Ｖ］を示している。縦軸は、各電圧印
加時に光電面に実際に流れた光電流の百分率を示してお
り、印加電圧９０［Ｖ］の下で２０［ｎＡ／μＷ］の放
射感度になる時に光電面に得られる電流を１００として
ある。また、実線で示されるＩ−Ｖ特性線は本実施の形
態による新タイプの光電管の特性、点線で示されるＩ−
Ｖ特性線は従来タイプの光電管の特性を示している。同
グラフに示されるように各特性線はほぼ一致しており、
新タイプおよび従来タイプのいずれのＩ−Ｖ特性もほと
んど変わらないことが理解される。
【００２８】このように本実施の形態による光電管は小
型でありながら、従来の光電管と同程度の光検出感度を
備えていることが実証された。
型でありながら、従来の光電管と同程度の光検出感度を
備えていることが実証された。
【００２９】次に、本発明の第２の実施の形態による光
電管について図６を用いて説明する。
電管について図６を用いて説明する。
【００３０】上記実施の形態による光電管は同図（ａ）
の略側断面図に示すように、金属バルブ１１の一方の開
口面が受光面板１２、他方の開口面が金属ステム１３で
塞がれた構造を持ち、光電面１５から放出された光電子
を陽極電位に設定された金属バルブ１１や金属ステム１
３等に収集した。これに対して本実施の形態による光電
管は、同図（ｂ）の略側断面図に示すように、受光面板
４１の内壁面に光透過率の良好な導電膜４２が薄く蒸着
され、この導電膜４２が金属バルブ４３と電気的に接触
している構造を有している。このように光入射窓の裏面
に導電膜４２が形成されていても、入射光は導電膜４２
を透過して光電面４４に到達し、光電面４４から光電子
を放出させる。この光電子は金属バルブ４３や金属ステ
ム４５に収集されるばかりでなく、導電膜４２において
も収集される。従って、本実施の形態による光電管５１
においては光電面４４から放出される光電子がより効率
よくアノード電極に収集されるため、光電管５１の全長
をより短くすることができる。このため、光電管のより
一層の小型化を図ることが可能になる。なお、導電膜４
２は導電性を有して光透過率の良いものならば何でも良
い。
の略側断面図に示すように、金属バルブ１１の一方の開
口面が受光面板１２、他方の開口面が金属ステム１３で
塞がれた構造を持ち、光電面１５から放出された光電子
を陽極電位に設定された金属バルブ１１や金属ステム１
３等に収集した。これに対して本実施の形態による光電
管は、同図（ｂ）の略側断面図に示すように、受光面板
４１の内壁面に光透過率の良好な導電膜４２が薄く蒸着
され、この導電膜４２が金属バルブ４３と電気的に接触
している構造を有している。このように光入射窓の裏面
に導電膜４２が形成されていても、入射光は導電膜４２
を透過して光電面４４に到達し、光電面４４から光電子
を放出させる。この光電子は金属バルブ４３や金属ステ
ム４５に収集されるばかりでなく、導電膜４２において
も収集される。従って、本実施の形態による光電管５１
においては光電面４４から放出される光電子がより効率
よくアノード電極に収集されるため、光電管５１の全長
をより短くすることができる。このため、光電管のより
一層の小型化を図ることが可能になる。なお、導電膜４
２は導電性を有して光透過率の良いものならば何でも良
い。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、受光部を介して容器内
に入射した入射光が陰極に到達すると、陰極において光
電変換が行われ光電子が放出される。この放出された光
電子は、受光部の内面に設けられた陽極により収集され
る。従って、放出された光電子を効率よく収集すること
ができる。
に入射した入射光が陰極に到達すると、陰極において光
電変換が行われ光電子が放出される。この放出された光
電子は、受光部の内面に設けられた陽極により収集され
る。従って、放出された光電子を効率よく収集すること
ができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態による光電管の斜視
図である。
図である。
【図２】第１の実施の形態による光電管の三面を示す図
である。
である。
【図３】第１の実施の形態による光電管の製造に用いら
れる製造装置を示す図である。
れる製造装置を示す図である。
【図４】第１の実施の形態による光電管にケースを被せ
た図である。
た図である。
【図５】第１の実施の形態による新タイプの光電管およ
び従来タイプの光電管の各電流−電圧特性を示すグラフ
である。
び従来タイプの光電管の各電流−電圧特性を示すグラフ
である。
【図６】本発明の第２の実施の形態による光電管を説明
する略側断面図である。
する略側断面図である。
【図７】従来の光電管の構造を示す略側断面図である。
１１…金属バルブ（側管）、１２…受光面板、１３…金
属ステム、１４…金属排気管、１５…光電面（光電陰
極）、１６…陰極取り出し線、１７…テーパー状ハーメ
チックガラス、２１…第１の実施の形態による光電管、
４２…導電膜、５１…第２の実施の形態による光電管。
属ステム、１４…金属排気管、１５…光電面（光電陰
極）、１６…陰極取り出し線、１７…テーパー状ハーメ
チックガラス、２１…第１の実施の形態による光電管、
４２…導電膜、５１…第２の実施の形態による光電管。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 稲葉 勝美 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松 ホトニクス株式会社内 (72)発明者 野末 信夫 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松 ホトニクス株式会社内 (72)発明者 岡野 和芳 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松 ホトニクス株式会社内 (72)発明者 久嶋 浩之 静岡県浜松市市野町1126番地の１ 浜松 ホトニクス株式会社内 (56)参考文献 特開 昭54−16171（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−119039（ＪＰ，Ａ) 実開 昭47−17555（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭30−5518（ＪＰ，Ｂ１) 実公 昭32−12619（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 40/02 - 40/06 H01J 43/28
Claims (1)
- 【請求項１】 陽極を構成する側管の一方の開口を塞ぐ
ガラス製の受光面板及び前記側管の他方の開口を塞ぐス
テムを有してなる容器と、前記容器内の前記受光面板に
対向する位置に配置された光電面と、前記ステムを貫通
して前記光電面に電気的に接続された陰極取り出し線と
を備えた光電管において、前記側管を金属側管とし、前
記側管を前記ステムに電気的に接続し、前記受光面板の
内側に前記側管に電気的に接続された導電膜を設けたこ
とを特徴とする光電管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12479598A JP3184489B2 (ja) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | 光電管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12479598A JP3184489B2 (ja) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | 光電管 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25065093A Division JP3216944B2 (ja) | 1993-10-06 | 1993-10-06 | 光電管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10275587A JPH10275587A (ja) | 1998-10-13 |
| JP3184489B2 true JP3184489B2 (ja) | 2001-07-09 |
Family
ID=14894319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12479598A Expired - Fee Related JP3184489B2 (ja) | 1998-05-07 | 1998-05-07 | 光電管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3184489B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7509645B2 (ja) * | 2020-10-06 | 2024-07-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電管 |
-
1998
- 1998-05-07 JP JP12479598A patent/JP3184489B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10275587A (ja) | 1998-10-13 |
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