JP3183675B2 - Ceramic dielectric material, multilayer ceramic capacitor, and method for preventing deterioration of multilayer ceramic capacitor over time - Google Patents

Ceramic dielectric material, multilayer ceramic capacitor, and method for preventing deterioration of multilayer ceramic capacitor over time

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JP3183675B2
JP3183675B2 JP15112791A JP15112791A JP3183675B2 JP 3183675 B2 JP3183675 B2 JP 3183675B2 JP 15112791 A JP15112791 A JP 15112791A JP 15112791 A JP15112791 A JP 15112791A JP 3183675 B2 JP3183675 B2 JP 3183675B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、セラミック誘電体材料
と、それを用いた積層セラミックコンデンサと、その積
層セラミックコンデンサの直流電圧印加時の経時劣化防
止方法とに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic dielectric material, a multilayer ceramic capacitor using the same, and a method for preventing the multilayer ceramic capacitor from deteriorating with time when a DC voltage is applied.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層セラミックコンデンサは、小型、大
容量、高信頼性の電子部品として広く利用されており、
1台の電子機器の中で使用される個数も、多数にのぼ
る。近年、機器の小型・高性能化にともない、積層セラ
ミックコンデンサに対する更なる小型、大容量、低価
格、高信頼性化への要求はますます厳しくなっている。
2. Description of the Related Art Multilayer ceramic capacitors are widely used as small, large-capacity, highly reliable electronic components.
The number used in one electronic device is also large. In recent years, with the miniaturization and high performance of devices, demands for further miniaturization, large capacity, low price, and high reliability of multilayer ceramic capacitors have become more and more severe.

【0003】このような小型、大容量化のために、誘電
体層の厚みを薄くする試みがなされている。しかしなが
ら、誘電体層が薄くなることにより、直流電圧を印加し
たときの誘電体層にかかる電界が強くなる。
Attempts have been made to reduce the thickness of the dielectric layer in order to reduce the size and increase the capacity. However, as the dielectric layer becomes thinner, the electric field applied to the dielectric layer when a DC voltage is applied increases.

【0004】ところで、JIS規格による種類IIに属す
るコンデンサでは、誘電体材料として、強誘電体、特に
チタン酸バリウムがその高誘電率の故に使用されてい
る。そのうち、EIA規格に定められたX7R特性と呼
ばれる規格では、容量の変化率が、−55℃から125
℃の間で、15%以内と定められている。この規格内に
誘電率の変化を抑えるために、キュリー点は純粋のBa
TiO3 におけるのと同じ125℃のままとし、各種添
加物によってキュリー点の山をぼかし、温度特性を改善
する手法がとられる。
[0004] Incidentally, in capacitors belonging to Type II according to the JIS standard, ferroelectrics, particularly barium titanate, are used as dielectric materials because of their high dielectric constant. Among them, in a standard called X7R characteristic defined in the EIA standard, the rate of change of capacity is from -55 ° C to 125 ° C.
It is specified within 15% between ° C. In order to keep the dielectric constant within this standard, the Curie point must be
With the same temperature of 125 ° C. as in TiO 3 , various additives are used to blur the peak of the Curie point to improve the temperature characteristics.

【0005】ところで、BaTiO3 は、キュリー点以
下の強誘電体領域でテトラゴナル相をとり、X線回折
(XRD)では、2θ=45°弱に(002)ピーク、
2θ=45°強に(200)ピークを示し、c軸とa軸
との格子定数の比c/a=1.01程度であることが知
られている。
[0005] By the way, BaTiO 3 takes a tetragonal phase in the ferroelectric region below the Curie point, and in X-ray diffraction (XRD), the peak (002) is slightly less than 2θ = 45 °;
It is known that a (200) peak is shown at 2θ slightly over 45 °, and that the ratio c / a of the lattice constant between the c-axis and the a-axis is about 1.01.

【0006】従って、耐湿条件下等での負荷試験におい
ては、直流電界は、この強誘電体領域で印加され、この
電場に沿って、自発分極による双極子モーメントが配列
し、c軸への配向が生じる。そして、特に、誘電体層に
0.2V/μm 以上の電界が印加されるような薄層化を行
ない、電界強度が増大すると、このc軸への配向はさら
に助長される。そして、電場を取り去ってもこの配向が
戻らないと、c軸方向の誘電率は低いため、誘電率は低
下する。c軸への配向は、結晶軸の伸びによる機械的変
形をともなっているため、初期の状態に戻ることは困難
であると推定される。
Accordingly, in a load test under moisture-resistant conditions, a DC electric field is applied in this ferroelectric region, and along this electric field, dipole moments due to spontaneous polarization are arranged, and the orientation to the c-axis is performed. Occurs. In particular, when the thickness of the dielectric layer is reduced so that an electric field of 0.2 V / μm or more is applied to the dielectric layer and the electric field intensity increases, the orientation along the c-axis is further promoted. If this orientation does not return even after the electric field is removed, the dielectric constant in the c-axis direction is low, so that the dielectric constant decreases. Since the orientation to the c-axis is accompanied by mechanical deformation due to elongation of the crystal axis, it is presumed that it is difficult to return to the initial state.

【0007】これに加えて、格子欠陥がある場合には、
格子欠陥の移動による分極の安定化が、この傾向を助長
する。従って、耐湿条件下等での直流電圧負荷試験にお
ける容量変化は、強誘電体である限りは、多かれ少なか
れ避けられない現象であると考えられる。
In addition, when there is a lattice defect,
The stabilization of the polarization due to the movement of lattice defects promotes this tendency. Therefore, it is considered that the change in capacitance in a DC voltage load test under moisture-proof conditions or the like is more or less an unavoidable phenomenon as long as it is a ferroelectric substance.

【0008】このような欠点を改善するために、粒界に
低誘電率の層を作って電場を集中させ、強誘電体部分に
かかる電界を減らして、格子欠陥の移動とc軸の配向を
減らそうという考えがある。
In order to improve such a defect, a low dielectric constant layer is formed at a grain boundary to concentrate an electric field, reduce an electric field applied to a ferroelectric portion, and control movement of lattice defects and c-axis orientation. There is an idea to reduce it.

【0009】誘電率ε1 の結晶の周りが、誘電率ε2
物質に結晶粒径のα倍の厚みで覆われるとき、α 1と
すると、結晶にかかる電圧と合成された誘電率は、とも
に元のε2 /(αε1 +ε2 )倍になる。すなわち、粒
界に低誘電率の層を作って電場を集中させ、強誘電体部
分にかかる電場を減らせば、その分だけ誘電率は低下し
てしまう。従って、この手法を使う限り、誘電率と直流
電界印加時の容量の経時変化の二率背反は避けられな
い。
[0009] is around dielectric constant epsilon 1 of the crystal, when covered with alpha times the thickness of the crystal grain size to the dielectric constant epsilon 2 of the material, when alpha 1, a dielectric constant which is combined with the voltage across the crystal, Both are ε 2 / (αε 1 + ε 2 ) times the original. That is, if an electric field is concentrated by forming a layer having a low dielectric constant at the grain boundary and the electric field applied to the ferroelectric portion is reduced, the dielectric constant is reduced accordingly. Therefore, as long as this method is used, it is inevitable that there is a trade-off between the dielectric constant and the time-dependent change in capacitance when a DC electric field is applied.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、この
ような直流電界の印加により誘電率が経時劣化するとい
う問題と、経時劣化を小さくしようとすると誘電率が小
さくなってしまうという問題とをともに解消したセラミ
ック誘電体材料と、それを用いた積層セラミックコンデ
ンサと、積層セラミックの経時劣化防止方法とを提供す
ることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The object of the present invention is to solve the problem that the dielectric constant is deteriorated with the lapse of time by the application of such a DC electric field, and that the dielectric constant is reduced when the deterioration with the lapse of time is reduced. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a ceramic dielectric material which solves both of them, a multilayer ceramic capacitor using the same, and a method for preventing deterioration of the multilayer ceramic over time.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
(1)〜(17)の本発明により達成される。 (1) チタン酸バリウムを主成分とし、チタン酸バリ
ウム100モル%に対し、Tiを置換する5価のドナー
イオンおよび/またはBaを置換する3価のドナーイオ
ンを原子数で1〜10%含有し、さらにTiを置換する
2価のアクセプターイオンを、原子数で、前記ドナーイ
オンの1倍未満含有し、85℃以上のキュリー点を有
し、キュリー点より低い温度において、c軸とa軸との
格子定数の比c/aが1.005以下である強誘電性結
晶を体積比で40%以上含むセラミック誘電体材料であ
って、チタン酸バリウム100モル%に対し、AM2
1/35 2/33 (AはBa、Ca、Srの1種以上、M
2 はMg、CoおよびZnの1種以上、M5 はNbおよ
び/またはTa)換算で1.5〜6モル%のA(M2
1/35 2/3)複合酸化物と、MnO換算で0.1〜2モ
ル%の酸化マンガンと、BaO換算で1モル%以下の酸
化バリウムとを含有することを特徴とするセラミック誘
電体材料。 (2) 中性または還元性雰囲気中で焼成された上記
(1)に記載のセラミック誘電体材料。 (3) 平均グレインサイズが0.3〜1.5μm であ
り、1300〜1400℃で焼成された上記(1)また
は(2)に記載のセラミック誘電体材料。 (4) 上記(1)ないし(3)のいずれかに記載のセ
ラミック誘電体材料の誘電体層を、内部導体層と一体化
成形したことを特徴とする積層セラミックコンデンサ。 (5) 前記内部導体層間の誘電体層の厚さが100μ
m 以下である上記(4)に記載の積層セラミックコンデ
ンサ。 (6) 積層セラミックコンデンサに直流電圧を印加し
て使用するに際し、上記(4)または(5)に記載の積
層セラミックコンデンサを使用して、直流電圧印加時の
容量の経時劣化を防止することを特徴とする積層セラミ
ックコンデンサの経時劣化防止方法。 (7) 前記直流電圧による電界は、0.02V/μm 以
上である上記(6)に記載の積層セラミックスコンデン
サの経時劣化防止方法。 (8) チタン酸バリウム100モル%に対し、AM2
1/35 2/33 (AはBa、Ca、Srの1種以上、M
2 はMg、CoおよびZnの1種以上、M5 はNbおよ
び/またはTa)換算で1.5〜6モル%のA(M2
1/35 2/3)複合酸化物と、MnO換算で0.1〜2モ
ル%の酸化マンガンと、BaO換算で1モル%以下の酸
化バリウムとを含有する誘電体セラミック材料の誘電体
層を、内部導体層と一体化成形したことを特徴とする積
層セラミックコンデンサ。 (9) 前記内部導体層が卑金属であり、中性または還
元性雰囲気中で一体焼成された上記(8)に記載の積層
セラミックコンデンサ。 (10) チタン酸バリウムを主成分とし、チタン酸バ
リウム100モル%に対し、Tiを置換する5価のドナ
ーイオンおよび/またはBaを置換する3価のドナーイ
オンを原子数で1〜10%含有し、さらにTiを置換す
る2価のアクセプターイオンを、原子数で、前記ドナー
イオンの1倍未満含有し、85℃以上のキュリー点を有
し、キュリー点より低い温度において、c軸とa軸との
格子定数の比c/aが1.005以下である強誘電性結
晶を体積比で40%以上含むセラミック誘電体材料であ
って、チタン酸バリウム100モル%に対し、それぞ
れ、Nb25 およびTa25 換算の合計で0.6〜
2モル%の酸化ニオブおよび/または酸化タンタルと、
CoOおよび/またはZnO換算の合計のモル比で、N
25 および/またはTa25の0.5〜1倍の酸化
コバルトおよび/または酸化亜鉛とを含有し、大気中で
焼成したセラミック誘電体材料を用い、このセラミック
誘電体材料の誘電体層を、内部導体層と一体化成形し、
かつ前記内部導体層間の誘電体層の厚さを50μm 以下
とした積層セラミックコンデンサを使用して、直流電圧
印加時の容量の経時劣化を防止することを特徴とする積
層セラミックコンデンサの経時劣化防止方法。 (11) 前記直流電圧による電界は、0.02V/μm
以上である上記(10)に記載の積層セラミックスコン
デンサの経時劣化防止方法。 (12) 前記セラミック誘電体材料が、その平均グレ
インサイズが0.3〜1.5μm であり、1300〜1
400℃で焼成された上記(9)ないし(11)のいず
れかに記載の積層セラミックコンデンサの経時劣化防止
方法。 (13) チタン酸バリウムを主成分とし、チタン酸バ
リウム100モル%に対し、Tiを置換する5価のドナ
ーイオンおよび/またはBaを置換する3価のドナーイ
オンを原子数で1〜10%含有し、さらにTiを置換す
る2価のアクセプターイオンを、原子数で、前記ドナー
イオンの1倍未満含有し、85℃以上のキュリー点を有
し、キュリー点より低い温度において、c軸とa軸との
格子定数の比c/aが1.005以下である強誘電性結
晶を体積比で40%以上含むセラミック誘電体材料を使
用した誘電体層を、卑金属の内部導体層と一体化成形
し、かつ中性または還元性雰囲気中で一体焼成され、前
記内部導体層間の誘電体層の厚さを50μm 以下とした
ことを特徴とする積層セラミックコンデンサ。 (14) チタン酸バリウム100モル%に対し、それ
ぞれR23 (Rは、Yおよびランタノイド元素)に換
算して、合計で0.6〜4モル%の酸化イットリウムお
よびランタノイド酸化物の1種以上と、それぞれM2
(M2 は、Mg、CaおよびCo)に換算して、モル比
で、酸化イットリウムおよびランタノイド酸化物の合計
の0.5〜1倍の酸化マグネシウム、酸化カルシウムお
よび酸化コバルトの1種以上と、酸化チタンとを含有す
る上記(13)に記載の積層セラミックコンデンサ。 (15) 前記セラミック誘電体材料が、その平均グレ
インサイズが0.3〜1.5μm であり、1300〜1
400℃で焼成された上記(13)または(14)に記
載の積層セラミックコンデンサ。 (16) 積層セラミックコンデンサに直流電圧を印加
して使用するに際し、上記(13)ないし(15)のい
ずれかに記載の積層セラミックコンデンサを使用して、
直流電圧印加時の容量の経時劣化を防止することを特徴
とする積層セラミックコンデンサの経時劣化防止方法。 (17) 前記直流電圧による電界は、0.02V/μm
以上である上記(16)に記載の積層セラミックスコン
デンサの経時劣化防止方法。
This and other objects are achieved by the present invention which is defined below as (1) to (17). (1) Barium titanate as a main component, and containing 1 to 10% by atom of a pentavalent donor ion for substituting Ti and / or a trivalent donor ion for substituting Ba with respect to 100 mol% of barium titanate. And further contains a divalent acceptor ion for substituting Ti in an atomic number of less than one time of the donor ion, has a Curie point of 85 ° C. or more, and has a c-axis and a a ceramic dielectric material ratio c / a of the lattice constants of the shaft comprises more than 40% in the ferroelectric crystal at a volume ratio is 1.005 or less, relative to 100 mol% of barium titanate, AM 2
1/3 M 5 2/3 O 3 (A is one or more of Ba, Ca, Sr, M
2 Mg, Co and Zn 1 or more, M 5 is Nb and / or Ta) converted at 1.5-6 mol% of A (M 2
1/3 M 5 2/3) ceramic dielectric of the composite oxide, and manganese oxide 0.1-2 mole% in terms of MnO, characterized in that it contains 1 mole% or less of barium oxide in terms of BaO Body material. (2) The ceramic dielectric material according to (1), which is fired in a neutral or reducing atmosphere. (3) The ceramic dielectric material according to the above (1) or (2), which has an average grain size of 0.3 to 1.5 µm and is fired at 1300 to 1400 ° C. (4) A multilayer ceramic capacitor, wherein the dielectric layer of the ceramic dielectric material according to any one of (1) to (3) is integrally formed with an internal conductor layer. (5) The thickness of the dielectric layer between the internal conductor layers is 100 μm.
m. The multilayer ceramic capacitor according to the above (4), which is not more than m. (6) When applying a DC voltage to the multilayer ceramic capacitor and using the same, use the multilayer ceramic capacitor described in (4) or (5) above to prevent the capacitance from deteriorating with time when the DC voltage is applied. A method for preventing deterioration of multilayer ceramic capacitors over time. (7) The method according to the above (6), wherein the electric field generated by the DC voltage is 0.02 V / μm or more. (8) For 100 mol% of barium titanate, AM 2
1/3 M 5 2/3 O 3 (A is one or more of Ba, Ca, Sr, M
2 Mg, Co and Zn 1 or more, M 5 is Nb and / or Ta) converted at 1.5-6 mol% of A (M 2
1/3 M 5 2/3) composite oxide, and manganese oxide 0.1-2 mole% in terms of MnO, a dielectric of a dielectric ceramic material containing a 1 mol% of barium oxide in terms of BaO A multilayer ceramic capacitor, wherein the layers are integrally formed with an internal conductor layer. (9) The multilayer ceramic capacitor according to (8), wherein the internal conductor layer is a base metal, and is integrally fired in a neutral or reducing atmosphere. (10) Barium titanate as a main component, and containing 1 to 10% by atom of a pentavalent donor ion for substituting Ti and / or a trivalent donor ion for substituting Ba with respect to 100 mol% of barium titanate. And further contains a divalent acceptor ion for substituting Ti in an atomic number of less than one time of the donor ion, has a Curie point of 85 ° C. or more, and has a c-axis and a a ceramic dielectric material ratio c / a of the lattice constants of the shaft comprises more than 40% in the ferroelectric crystal at a volume ratio is 1.005 or less, relative to 100 mol% of barium titanate, respectively, Nb 2 0.6 to a total of O 5 and Ta 2 O 5 conversion
2 mol% of niobium oxide and / or tantalum oxide;
The total molar ratio of CoO and / or ZnO is N
A ceramic dielectric material containing 0.5 to 1 times of cobalt oxide and / or zinc oxide of b 2 O 5 and / or Ta 2 O 5 and fired in the air is used. The body layer is formed integrally with the inner conductor layer,
A method for preventing deterioration of capacitance with time when a DC voltage is applied by using a multilayer ceramic capacitor having a thickness of a dielectric layer between the internal conductor layers of 50 μm or less. . (11) The electric field generated by the DC voltage is 0.02 V / μm.
The method for preventing deterioration with time of a multilayer ceramic capacitor as described in (10) above. (12) The ceramic dielectric material has an average grain size of 0.3 to 1.5 μm,
The method according to any one of the above (9) to (11), wherein the multilayer ceramic capacitor is fired at 400 ° C. (13) Barium titanate as a main component, and containing 1 to 10% by atom of a pentavalent donor ion for substituting Ti and / or a trivalent donor ion for substituting Ba with respect to 100 mol% of barium titanate. And further contains a divalent acceptor ion for substituting Ti in an atomic number of less than one time of the donor ion, has a Curie point of 85 ° C. or more, and has a c-axis and a A dielectric layer using a ceramic dielectric material containing a ferroelectric crystal having a lattice constant ratio c / a of not more than 1.005 or less by volume ratio of not less than 40% by integral molding with a base metal inner conductor layer A monolithic ceramic capacitor, which is integrally fired in a neutral or reducing atmosphere, and wherein the thickness of the dielectric layer between the internal conductor layers is 50 μm or less. (14) One kind of yttrium oxide and lanthanoid oxide in a total of 0.6 to 4 mol% in terms of R 2 O 3 (R is Y and a lanthanoid element) with respect to 100 mol% of barium titanate. Above, M 2 O respectively
(M 2 is Mg, Ca and Co), and at least one kind of magnesium oxide, calcium oxide and cobalt oxide in a molar ratio of 0.5 to 1 times the total of yttrium oxide and lanthanoid oxide; The multilayer ceramic capacitor according to the above (13), comprising titanium oxide. (15) The ceramic dielectric material has an average grain size of 0.3 to 1.5 μm,
The multilayer ceramic capacitor according to the above (13) or (14), fired at 400 ° C. (16) When using the multilayer ceramic capacitor by applying a DC voltage to the multilayer ceramic capacitor, the multilayer ceramic capacitor according to any one of the above (13) to (15) is used.
A method for preventing deterioration of a multilayer ceramic capacitor with the lapse of time, characterized by preventing the deterioration with time of the capacitance when a DC voltage is applied. (17) The electric field due to the DC voltage is 0.02 V / μm
The method for preventing deterioration of a multilayer ceramic capacitor over time according to the above (16).

【0012】[0012]

【0013】[0013]

【0014】[0014]

【0015】[0015]

【0016】[0016]

【0017】[0017]

【0018】[0018]

【0019】[0019]

【0020】[0020]

【0021】[0021]

【0022】[0022]

【0023】[0023]

【0024】[0024]

【0025】[0025]

【0026】[0026]

【具体的構成】以下、本発明の具体的構成について詳細
に説明する。本発明のセラミック誘電体材料は、チタン
酸バリウムを主体とする。すなわち、チタン酸バリウム
単独のペロブスカイト化合物であっても、また、そのA
サイト(Ba)およびBサイト(Ti)を公知の種々の
元素で置換したペロブスカイト化合物であってもよい。
この明細書では、このように、AおよびBサイトを置換
したものも「チタン酸バリウム」に包含させるものとす
る。
[Specific Configuration] Hereinafter, a specific configuration of the present invention will be described in detail. The ceramic dielectric material of the present invention is mainly composed of barium titanate. That is, even if the perovskite compound is barium titanate alone,
A perovskite compound in which the site (Ba) and the B site (Ti) are substituted with various known elements may be used.
In this specification, "barium titanate" also includes those substituted at the A and B sites.

【0027】Aサイト置換元素としては、Sr、Ca等
のAサイト置換2価イオンが可能であり、その置換量は
一般に20at% 以下である。また、Bサイト置換元素と
しては、Zr、Sn等のBサイト置換4価イオンが可能
であり、その置換量は一般に、20at% 以下である。こ
の他、SiO2 や、各種ガラス成分、例えばBa0.58 3
Ca0.417 SiO2 等が6モル%以下含有されていても
よい。
As the A-site substitution element, A-site substitution divalent ions such as Sr and Ca can be used, and the substitution amount is generally 20 at% or less. The B-site-substituting element can be a B-site-substituted tetravalent ion such as Zr or Sn, and its substitution amount is generally 20 at% or less. In addition, SiO 2 and various glass components such as Ba 0.58 3
Ca 0.417 SiO 2 or the like may be contained in an amount of 6 mol% or less.

【0028】このようなセラミック誘電体材料は、コン
デンサ特性から、85℃以上、一般に120〜130℃
のキュリー点をもつ。
Such a ceramic dielectric material has a characteristic of 85 ° C. or more, generally 120 ° C. to 130 ° C., due to the characteristics of the capacitor.
Curie point of

【0029】さらに、このようなセラミック誘電体材料
は、キュリー点より低い温度、すなわち強誘電体状態に
おいて、c軸とa軸との格子定数の比c/a≦1.00
5の強誘電性結晶を、体積比で40%以上含むものであ
る。そして、これにより、臨界的に、直流電界印加時の
容量の経時劣化が減少するものである。
Further, at a temperature lower than the Curie point, that is, in the ferroelectric state, such a ceramic dielectric material has a ratio c / a ≦ 1.00 of the lattice constant between the c-axis and the a-axis.
5 containing 40% or more by volume of the ferroelectric crystal. As a result, the deterioration of the capacitance with time when a DC electric field is applied is reduced critically.

【0030】このようなミクロな結晶構造は、X線回折
(XRD)や中性子線回折によって確認できる。すなわ
ち、例えばCuKαを用いたXRDでは、テトラゴナル
相のBaTiO3 では、c軸(002)ピークは2θ=
44.95°、a軸(200)ピークは2θ=45.4
1°に生じ、格子定数a=3.9947、b=4.03
36、c/a=1.0097、原子座標Ba z=0、
Ti z=0.512であり、この結果は、中性子線回
折でも同様である。
Such a microscopic crystal structure can be confirmed by X-ray diffraction (XRD) or neutron diffraction. That is, for example, in XRD using CuKα, in the tetragonal phase BaTiO 3 , the c-axis (002) peak is 2θ =
44.95 °, a-axis (200) peak 2θ = 45.4
1 °, lattice constant a = 3.9947, b = 4.03
36, c / a = 1.0097, atomic coordinates Baz = 0,
Tiz = 0.512, and the result is the same in neutron diffraction.

【0031】これに対し、本発明では、これらよりaが
大きく、cが小さくc/a≦1.005、通常c/a=
0.995〜1.005で、Tiの原子座標z>0.5
の擬似キュービック相とでも称される別相が、テトラゴ
ナル相に加え、あるいはテトラゴナル相に変えて生じる
ものである。この結果、XRDや、中性子線回折では、
(002)ピークと(200)ピークとの間に新たな単
一のピークが生じたり、このピークの肩に(002)ピ
ークや(200)ピークが乗ったりするものである。
On the other hand, in the present invention, a is larger than these, c is smaller, and c / a ≦ 1.005, usually c / a =
0.995 to 1.005, the atomic coordinate z of Ti> 0.5
Another phase, also called a pseudo-cubic phase, is generated in addition to or in place of the tetragonal phase. As a result, in XRD and neutron diffraction,
A new single peak is generated between the (002) peak and the (200) peak, or the (002) peak or the (200) peak is placed on the shoulder of this new peak.

【0032】そして、RIETANプログラムを用いて、これ
らの試料のリートベルト(Rietveld)解析をすると、c
/a≦1.005のピークをもつ結晶は、体積比で40
%以上、特に50%以上、さらには60〜100%存在
すると算出されるものである。なお、RIETANプログラム
を用いたリートベルト解析は、泉富士夫、浅野肇ら、J.
Appl. Crystallogr. 20 1987 P411の記載の方法で
行なえばよい。
When the Rietveld analysis of these samples was performed using the RIETAN program, c
The crystal having a peak of /a≦1.005 has a volume ratio of 40
%, Especially 50% or more, and more preferably 60 to 100%. Rietveld analysis using the RIETAN program was performed by Fujio Izumi, Hajime Asano, and others.
Appl. Crystallogr. 20 1987 P411.

【0033】このようなc/a≦1.005の擬似キュ
ービック相を生成させるには、例えば後述のNb等の各
種ドナーの所定量の添加を行なったり、グレインサイズ
や、焼結温度や、焼結雰囲気等を制御したりすることに
よればよく、その生成条件は、実験から容易に求めるこ
とができる。
In order to generate such a pseudo-cubic phase with c / a ≦ 1.005, for example, a predetermined amount of various donors such as Nb to be described later is added, or the grain size, sintering temperature, sintering temperature, etc. By controlling the sintering atmosphere or the like, the generation conditions can be easily obtained from experiments.

【0034】このような前提において、本発明のc/a
≦1.005の擬似キュービック相の生成に有効な組成
としては、チタン酸バリウム100モル%に対し、Ti
サイトを置換する5価のドナーイオンおよび/またはB
aサイトを置換する3価のドナーイオンを原子数で1〜
10%含有するものが好ましい。ドナーの含有により、
擬似キュービック相が生成しやすくなるが、ドナー量が
大すぎると、焼結が困難となったり、異相を生じて誘電
率が低下したりする。
Under such a premise, the c / a of the present invention
As a composition effective for forming a pseudo-cubic phase of ≦ 1.005, 100 mol% of barium titanate and Ti
A pentavalent donor ion replacing the site and / or B
The trivalent donor ion for substituting the a site is 1 to
Those containing 10% are preferred. Due to the inclusion of the donor,
Although a pseudo-cubic phase is likely to be generated, if the amount of the donor is too large, sintering becomes difficult, or a different phase is generated to lower the dielectric constant.

【0035】このような場合、5価のドナーイオンとし
ては、Nb5+、Ta5+、V5+の1種以上、特にNb5+
よび/またはTa5+が挙げられる。また、3価のドナー
としては、Y3+およびR3+(Rはランタノイド元素)の
1種以上が挙げられ、R3+としては、Ce3+、La3+
Pr3+、Sm3+、Gd3+、Nd3+が好ましい。なお、ド
ナーイオンのチタン酸バリウム100モル%当りの原子
数は1〜8%が特に好ましい。
In such a case, the pentavalent donor ion includes one or more of Nb 5+ , Ta 5+ , and V 5+ , especially Nb 5+ and / or Ta 5+ . Examples of the trivalent donor include one or more of Y 3+ and R 3+ (R is a lanthanoid element), and R 3+ includes Ce 3+ , La 3+ ,
Pr 3+ , Sm 3+ , Gd 3+ , and Nd 3+ are preferred. The number of atoms per 100 mol% of barium titanate of the donor ion is particularly preferably 1 to 8%.

【0036】このようにドナーイオンを含有する場合、
温度特性の改善と焼結性の向上や、比抵抗の向上等のた
め、さらにTiを置換する2価のアクセプターイオンを
含有することが好ましい。ただし、アクセプターイオン
が増加すると、ドナー添加効果を減じるので、その原子
数は、ドナーの合計の1倍未満、特に0.1〜0.5倍
であることが好ましい。なお、2価のアクセプターとし
ては、Mg2+、Zn2+、Mn2+、Co2+が好適である。
As described above, when a donor ion is contained,
In order to improve the temperature characteristics, the sinterability, the specific resistance, and the like, it is preferable to further contain a divalent acceptor ion that replaces Ti. However, as the number of acceptor ions increases, the effect of adding the donor decreases, and therefore, the number of atoms is preferably less than 1 times the total number of donors, particularly preferably 0.1 to 0.5 times. As the divalent acceptor, Mg 2+ , Zn 2+ , Mn 2+ , and Co 2+ are preferable.

【0037】これらドナーやアクセプターは、原料チタ
ン酸バリウム系化合物に、酸化物や焼成により酸化物と
なる前駆体の形で添加しても、複合ペロブスカイト化合
物の形で添加してもよい。また、ドナーやアクセプター
添加に際し、Aサイトにある原子の数とBサイトにある
原子の数の比A/Bを1前後、好ましくは1.010〜
0.998に保つ目的で、原料チタン酸バリウムには、
チタンや、バリウムや、Aサイト置換2価イオン元素な
いしBサイト置換4価イオン元素等の酸化物等を添加し
てもよい。
These donors and acceptors may be added to the starting barium titanate compound in the form of an oxide or a precursor that becomes an oxide upon firing, or may be added in the form of a composite perovskite compound. When adding a donor or an acceptor, the ratio A / B of the number of atoms at the A site to the number of atoms at the B site is about 1, preferably 1.010 to 1.0.
For the purpose of keeping at 0.998, the raw material barium titanate contains:
Titanium, barium, an oxide such as an A-site substituted divalent ion element or a B-site substituted tetravalent ion element, or the like may be added.

【0038】このような場合、特に好ましい第1の組成
系としては、Nb5+および/またはTa5+、特にNb5+
をドナーとし、酸化ニオブおよび/または酸化タンタル
を添加する系がある。酸化ニオブおよび/または酸化タ
ンタルの含有量は、BaTiO3 100モル%に対し、
Nb25 、Ta25 換算で、0.6〜2モル%、特
に0.8〜1.5モル%とすることが好ましい。このよ
うな範囲で擬似キュービック相が有効に生成する。この
ような場合、Nbドナー単独であるか、その一部を、T
aで置換したものが好ましい。
In such a case, particularly preferred first composition systems include Nb 5+ and / or Ta 5+ , especially Nb 5+
Is a donor and niobium oxide and / or tantalum oxide are added. The content of niobium oxide and / or tantalum oxide is based on 100 mol% of BaTiO 3 .
In Nb 2 O 5, Ta 2 O 5 in terms of, preferably in the 0.6 to 2 mol%, in particular 0.8 to 1.5 mol%. The pseudo cubic phase is effectively generated in such a range. In such a case, the Nb donor alone or a part thereof
Those substituted with a are preferred.

【0039】このような組成には、特に温度特性を改良
し、焼結性を改良する目的で、アクセプターとして、酸
化コバルトおよび/または酸化亜鉛が含有されているこ
とが好ましい。これらの含有量は、CoO、ZnO換算
の合計のモル比で、Nb25 やTa25 合計の0.
5〜1倍であることが好ましい。
It is preferable that such a composition contains cobalt oxide and / or zinc oxide as an acceptor, particularly for the purpose of improving temperature characteristics and improving sinterability. These contents are expressed in terms of a molar ratio of the total of CoO and ZnO, and are 0.1% of the total of Nb 2 O 5 and Ta 2 O 5 .
Preferably it is 5 to 1 times.

【0040】このような組成系のセラミック誘電体は、
チタン酸バリウム粉末に、所定量のNb25 等の粉末
とともに、CoOおよび/またはZnOの粉末を混合
し、これに公知の有機バインダや、溶媒等を含むビヒク
ルを加え、成形可能な状態とした後、これを単独、ある
いは導体材料と一体化して焼成して製造される。焼成
は、大気中で、1300℃〜1400℃程度、特に13
50〜1400℃程度で行なえばよい。導体材料として
は、パラジウム、銀パラジウム、白金等の貴金属材質が
好ましい。
The ceramic dielectric of such a composition system is as follows:
To a barium titanate powder, a predetermined amount of powder of Nb 2 O 5 and the like, and a powder of CoO and / or ZnO are mixed, and a known organic binder, a vehicle containing a solvent or the like is added thereto, and a moldable state is obtained. After that, it is manufactured by sintering it alone or integrally with the conductor material. The firing is performed in the atmosphere at about 1300 ° C. to 1400 ° C., particularly 13 ° C.
What is necessary is just to carry out at about 50-1400 degreeC. As the conductor material, a noble metal material such as palladium, silver palladium, and platinum is preferable.

【0041】また、好ましい第2の組成系は、同じくN
5+やTa5+をドナーとするものであって、チタン酸バ
リウム100モル%に対し、MnO換算で0.1〜2モ
ル%の酸化マンガンと、BaO換算で1モル%以下、特
に0.1〜1モル%の酸化バリウムと、例えばBaMg
1/2 Nb2/33換算で1.5〜6.0モル%のBa−
Mg−Nb系等の複合ペロブスカイト化合物とを含有す
るものである。
A preferred second composition system is also N
b 5+ or Ta 5+ as a donor, wherein 0.1 to 2 mol% of manganese oxide in terms of MnO and 1 mol% or less, particularly 0% in terms of BaO, based on 100 mol% of barium titanate 0.1 to 1 mol% of barium oxide, for example, BaMg
Of 1.5-6.0 mol% in 1/2 Nb 2/3 O 3 in terms Ba-
And a composite perovskite compound such as an Mg-Nb compound.

【0042】このような複合ペロブスカイト化合物とし
ては、Ba−Mg−Nb系の他、AM2 1/35 2/33
ものであってもよい。ここに、Aは、Ba、Ca、Sr
の1種〜3種であるが、このうち、Baを必須成分とし
て、これらの1〜3種を含むことが好ましい。M2 は、
Mg、Co、Znの1種〜3種であるが、Mgを必須成
分として、これらの1種〜3種を含むことが好ましい。
5 は、Nbおよび/またはTaであるが、Nbを含む
ものであることが好ましい。
As such a composite perovskite compound, an AM 2 1/3 M 5 2/3 O 3 compound may be used in addition to a Ba—Mg—Nb compound. Here, A is Ba, Ca, Sr
Of these, Ba is an essential component, and it is preferable to include these 1 to 3 types. M 2 is,
There are one to three kinds of Mg, Co, and Zn, and it is preferable to include one to three kinds of these with Mg as an essential component.
M 5 is Nb and / or Ta, and preferably contains Nb.

【0043】複合ペロブスカイトにより、所定量のドナ
ーが添加されて、擬似キュービック相が生成が容易とな
り、また、複合ペロブスカイトと酸化マンガンにより、
所定量のアクセプターが添加される。そして、酸化マン
ガンの添加により、焼結性の向上と、セラミックの還元
防止が可能となり、酸化バリウムの添加により、セラミ
ックの還元防止が可能となる。
By the composite perovskite, a predetermined amount of donor is added to facilitate the formation of a pseudo-cubic phase, and the composite perovskite and manganese oxide form
A predetermined amount of the acceptor is added. The addition of manganese oxide makes it possible to improve the sinterability and prevent the reduction of the ceramic, and the addition of barium oxide makes it possible to prevent the reduction of the ceramic.

【0044】このような組成系のセラミック誘電体は、
チタン酸バリウムの粉末に、所定量のMnCO3 粉末、
BaCO3 粉末および複合ペロブスカイト化合物粉末を
混合し、ビヒクルを加えて成形可能な状態とした後、こ
れを単独、あるいは導体材料と一体化して焼成して製造
される。焼成は、大気中であってもよいが、酸素分圧1
-6〜10-12 気圧の中性雰囲気あるいは還元性雰囲気
(例えばN2 +H2 +H2 O)とすることが好ましい。
焼成温度は1300〜1400℃、特に1350〜14
00℃が好ましい。これにより、特にニッケル、ニッケ
ル合金等の卑金属の内部導体の使用が可能となる。
The ceramic dielectric of such a composition system is as follows:
A predetermined amount of MnCO 3 powder in barium titanate powder,
It is manufactured by mixing BaCO 3 powder and composite perovskite compound powder, adding a vehicle to form a moldable state, and firing the mixture alone or with a conductor material. The calcination may be performed in the air, but the oxygen partial pressure is 1
It is preferable to use a neutral atmosphere or a reducing atmosphere (for example, N 2 + H 2 + H 2 O) at 0 −6 to 10 −12 atm.
The firing temperature is from 1300 to 1400 ° C, especially from 1350 to 14
00 ° C is preferred. This makes it possible to use a base metal inner conductor such as nickel or a nickel alloy.

【0045】さらに、好ましい第3の組成系は、Yまた
はライタノイド元素の3価イオンをドナーとするもので
ある。酸化イットリウムおよびランタノイド酸化物の1
種以上の総含有量は、チタン酸バリウム100モル%に
対し、R23 (Rは、Yおよびランタノイド元素)に
換算して、0.6〜4モル%、特に1.0〜3.0モル
%であり、これにアクセプターとして、M2 O(MはM
g、CaおよびCo)換算で、R23の合計量の0.
5〜1モル倍の量の酸化マグネシウム、酸化コバルトお
よび酸化カルシウムの1種以上を含有する。このアクセ
プターは、還元防止の点でも好適である。
Further, a preferred third composition system uses a trivalent ion of Y or a litanoid element as a donor. Yttrium oxide and lanthanoid oxide 1
The total content of at least one species is 0.6 to 4 mol%, particularly 1.0 to 3.0 mol% in terms of R 2 O 3 (R is Y and a lanthanoid element) based on 100 mol% of barium titanate. 0 mol%, and M 2 O (M is M
g, Ca and Co) in terms of 0.1% of the total amount of R 2 O 3 .
It contains one or more of magnesium oxide, cobalt oxide and calcium oxide in an amount of 5-1 mole times. This acceptor is also suitable in terms of preventing reduction.

【0046】さらに、これらには、好ましくはAサイト
の原子の数とBサイトの原子の数の比A/Bを1.00
前後、好ましくは0.998〜1.010なるようにT
iO2 を加えることが好ましい。
Further, preferably, the ratio A / B of the number of atoms at the A site to the number of atoms at the B site is 1.00.
Before and after, preferably 0.998 to 1.010
Preferably, iO 2 is added.

【0047】このような組成系を得るには、チタン酸バ
リウムの粉末に、所定量のTiO2粉末、R23
末、M2 O粉末を混合し、上記第2の組成系と同様、成
形可能な状態とした後、中性あるいは還元性雰囲気で1
300〜1400℃で焼成することが好ましい。そし
て、Ni等の卑金属内部導体の使用が可能となる。
To obtain such a composition system, a predetermined amount of TiO 2 powder, R 2 O 3 powder and M 2 O powder are mixed with barium titanate powder, and the same as in the second composition system, After the mold is ready to be molded, 1
It is preferable to bake at 300 to 1400 ° C. And it becomes possible to use a base metal inner conductor such as Ni.

【0048】なお、これらセラミック誘電体材料中の平
均グレインサイズは、一般に、0.3〜1.5μm 程度
とすることが好ましい。そして、良好な誘電率をもつ。
The average grain size in these ceramic dielectric materials is generally preferably about 0.3 to 1.5 μm. And it has a good dielectric constant.

【0049】このようなセラミック誘電体材料は、内部
導体と積層されて多層セラミックコンデンサとされる。
焼成後のセラミック誘電体材料の誘電体層の一層あたり
の厚さは、100μm 以下、特に50μm 以下、さらに
は5〜30μm 程度とする。そして、前記の第1および
第3の組成系では、50μm 以下とする。本発明は、こ
のような薄層化した誘電体層を有する多層セラミックコ
ンデンサの容量の経時変化防止に有効である。なお、誘
電体層の積層数は、通常2〜200程度とする。
Such a ceramic dielectric material is laminated with an internal conductor to form a multilayer ceramic capacitor.
The thickness of each dielectric layer of the ceramic dielectric material after firing is 100 μm or less, particularly 50 μm or less, and more preferably about 5 to 30 μm. In the first and third composition systems, the thickness is 50 μm or less. The present invention is effective in preventing the capacitance of a multilayer ceramic capacitor having such a thin dielectric layer from changing over time. The number of stacked dielectric layers is usually about 2 to 200.

【0050】セラミック誘電体材料と内部導体材料との
積層一体化は、グリーンシート法によっても、印刷法に
よってもよく、これらを積層後、焼成を行なう。焼成
は、貴金属材料を内部導体として大気中で行なうことが
できる。また、上記の好ましい第2および第3の組成系
では、酸素分圧10-6気圧以下の中性または還元性雰囲
気で行なうことができ、卑金属材料を内部導体として使
用できるという利点を生じる。そして、いずれの場合
も、十分な容量と、1010Ω以上の高抵抗を得ることが
でき、デラミネーション等の欠陥がなく、機械的強度の
十分な積層セラミックコンデンサを得ることができる。
なお、積層セラミックコンデンサには、内部導体と導通
する一対の外部電極を設ける。外部電極材料としては公
知の種々の材質が適用可能である。
The lamination and integration of the ceramic dielectric material and the internal conductor material may be performed by a green sheet method or a printing method. After laminating these, firing is performed. The firing can be performed in the atmosphere using a noble metal material as an internal conductor. Further, the preferred second and third composition systems described above can be carried out in a neutral or reducing atmosphere having an oxygen partial pressure of 10 −6 atm or less, and have an advantage that a base metal material can be used as an internal conductor. In each case, a sufficient capacitance and a high resistance of 10 10 Ω or more can be obtained, and a multilayer ceramic capacitor having sufficient mechanical strength without defects such as delamination can be obtained.
Note that the multilayer ceramic capacitor is provided with a pair of external electrodes that conduct with the internal conductor. Various known materials can be applied as the external electrode material.

【0051】このような多層セラミックコンデンサは、
使用時に、誘電体層1μm あたり、0.02V/μm 以
上、 特に0.2V/μm 以上、さらには0.5V/μm 以
上、一般に5V/μm 程度以下の直流電界と、通常、これ
に重畳する交流成分とが印加される。そして、本発明に
よる擬似キュービック相の生成により、このような直流
電界を負荷しても、容量の経時変化はきわめて少ないも
のである。
Such a multilayer ceramic capacitor is
During use, a DC electric field of 0.02 V / μm or more, particularly 0.2 V / μm or more, more preferably 0.5 V / μm or more, and generally about 5 V / μm or less per 1 μm of the dielectric layer is usually superimposed on this. An AC component is applied. Even when such a DC electric field is loaded by the generation of the pseudo cubic phase according to the present invention, the change with time of the capacitance is extremely small.

【0052】[0052]

【実施例】以下、実施例により、本発明をさらに詳細に
説明する。 実施例1 BaCO3 とTiO2 を1:1のモル比になるように評
量し、水中でめのう石とともに混合し、空気中で110
0℃で2時間仮焼きした。仮焼き物を粉砕したものに、
Nb25 (0.2〜1.0モル%)、Co34
(0.25モル%)を加えて同様に混合し、脱水、乾燥
して原料粉末を得た。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. Example 1 BaCO 3 and TiO 2 were weighed to a molar ratio of 1: 1 and mixed with garnet in water and mixed in air with 110
It was calcined at 0 ° C. for 2 hours. Into a crushed calcined product,
Nb 2 O 5 (0.2 to 1.0 mol%), Co 3 O 4
(0.25 mol%), mixed in the same manner, dehydrated and dried to obtain a raw material powder.

【0053】この粉体にポリビニルアルコール(PV
A)水溶液を加え、造粒して円盤形状に加圧成形した。
焼成は、空気中1360℃で行なった。焼成後の試料の
1部をめのう乳鉢で粉砕して、XRD、中性子線回折用
の試料とした。図1に、CuKαを用いたXRDの結果
を示す。
This powder was added to polyvinyl alcohol (PV
A) An aqueous solution was added, granulated, and pressed into a disk shape.
The firing was performed at 1360 ° C. in the air. A part of the fired sample was ground in an agate mortar to obtain a sample for XRD and neutron diffraction. FIG. 1 shows the results of XRD using CuKα.

【0054】図1に示されるように、Nb25 の添加
量が0.4モル%をこえると、(200)ピークと(0
02)ピークが接近し、c軸とa軸の長さの比が、ほと
んど1となり、立方晶に近い構造となった。ただし、容
量の温度特性から、キュリー点は125℃のままであっ
た。125℃で誘電率の急激な変化があることから、強
誘電体であることはまちがいない。結晶粒径は、0.4
モル%の場合を除きNb25 量にはよらず、0.8μ
m 程度であった。
As shown in FIG. 1, when the added amount of Nb 2 O 5 exceeds 0.4 mol%, the (200) peak and (0
02) The peaks approached, the ratio of the lengths of the c-axis and the a-axis became almost 1, and the structure was almost cubic. However, the Curie point remained at 125 ° C. from the temperature characteristics of the capacitance. Since there is a sudden change in the dielectric constant at 125 ° C., there is no doubt that it is a ferroelectric. The grain size is 0.4
0.8 μm, irrespective of the amount of Nb 2 O 5 except in the case of mol%
m.

【0055】2θ=20度から120度の範囲でのXR
Dデーターを用いてリートベルト解析を行ない、c軸と
a軸との比c/aが1.005以下である強誘電性結晶
の体積比を決定した。その結果を表1に示す。
XR in the range of 2θ = 20 ° to 120 °
Rietveld analysis was performed using the D data to determine the volume ratio of the ferroelectric crystal in which the ratio c / a between the c-axis and the a-axis was 1.005 or less. Table 1 shows the results.

【0056】[0056]

【表1】 [Table 1]

【0057】また、サンプルNo. 5の中性子線回折の結
果を表2に示す。このように、サンプルNo. 5およびN
o. 4では、c/a=0.9962の擬似キュービック
相がそれぞれ82%および73%生成していた。なお、
サンプルNo. 4、5の室温での誘電率は4200程度で
あった。
Table 2 shows the result of neutron diffraction of Sample No. 5. Thus, sample Nos. 5 and N
In o.4, 82% and 73% of pseudo-cubic phases with c / a = 0.9962 were formed, respectively. In addition,
Sample Nos. 4 and 5 had a dielectric constant at room temperature of about 4200.

【0058】[0058]

【表2】 [Table 2]

【0059】次に、サンプルNo. 1〜5のグリーン10
枚に、Pdペーストを印刷し、これを積層して、前記の
条件で大気中焼成した。その後、さらにAg外部電極を
形成し、5種の積層セラミックコンデンサを作製した。
焼成後の誘電体層一層あたりの厚さは25μm とした。
Next, Green 10 of Sample Nos. 1 to 5
A Pd paste was printed on a sheet, laminated, and fired in the air under the above conditions. Thereafter, Ag external electrodes were further formed to produce five types of multilayer ceramic capacitors.
The thickness per dielectric layer after firing was 25 μm.

【0060】このように得られた各コンデンサを、15
0℃で1時間熱処理し、室温に24時間設置し、LCR
メータにより、1kHz 、1Vrmsの条件で容量を測定し、
初期値とした。その後、各コンデンサに、40℃にて、
25Vの電圧を印加して、1V/μm の直流電界を一定
時間印加し、その後無負荷の状態で室温にて24時間放
置して、上記と同一の条件で容量を測定し、初期の容量
からの変化率を算出した。100時間後および1000
時間後の結果を表1に示す。
Each of the thus obtained capacitors is connected to 15
Heat treated at 0 ° C for 1 hour, set at room temperature for 24 hours, LCR
Measure the capacitance with a meter under the conditions of 1kHz and 1Vrms,
Initial value. Then, at 40 ° C,
A voltage of 25 V is applied, a DC electric field of 1 V / μm is applied for a certain period of time, and then left at room temperature for 24 hours under no load, and the capacitance is measured under the same conditions as above, and the initial capacitance is measured. Was calculated. After 100 hours and 1000
The results after the time are shown in Table 1.

【0061】表1に示される結果から、c/a≦1.0
05相が40体積%以上生成することにより、容量の経
時変化が臨界的に減少することがわかる。なお、サンプ
ルNo. 4、5を用いたコンデンサの抵抗は1010Ω以上
であり、十分な抵抗を示し、デラミネーション等の欠陥
のないコンデンサが得られた。
From the results shown in Table 1, c / a ≦ 1.0
It can be seen that when the 05 phase is formed at 40% by volume or more, the change over time in the capacity is critically reduced. The resistance of the capacitors using Sample Nos. 4 and 5 was 10 10 Ω or more, and the capacitors exhibited sufficient resistance and were free from defects such as delamination.

【0062】実施例2 炭酸塩と酸化物より、複合ペロブスカイト化合物BaM
1/3 Nb2/33 を合成した。BaTiO3 100モ
ル%に対してMnCO3 0.5モル%、BaCO3
0.5モル%、および複合ペロブスカイト化合物 0.
5モル%または2.0モル%を混合し、これに有機バイ
ンダを加えて、成形し、O2 分圧10-1 0 気圧のN2
2 −H2 O雰囲気で焼成した。
Example 2 A composite perovskite compound BaM was prepared from a carbonate and an oxide.
g 1/3 Nb 2/3 O 3 was synthesized. MnCO 3 0.5 mol% relative to BaTiO 3 100 mol%, BaCO 3
0.5 mol%, and complex perovskite compound
5 mol% or 2.0 mol% were mixed, to which was added an organic binder, molded, the O 2 partial pressure of 10 -1 0 atm N 2 -
It was fired in an H 2 -H 2 O atmosphere.

【0063】図2に、複合ペロブスカイトの添加量
0.5モル%および2.0モル%のXRDを示す。図2
から、2.0モル%添加のときには、c/a=1.00
3の擬似キュービック相が生成していることがわかる。
この場合、BaMg1/3 Nb2 /33 が1.5モル%以
上になると、c軸とa軸との比c/aが1.003であ
る強誘電性結晶の体積比が60%以上となった。また、
複合ペロブスカイト化合物2.0モル%の添加の場合、
キュリー点は125℃、室温での誘電率は2800であ
った。
FIG. 2 shows the amount of composite perovskite added.
XRD of 0.5 mol% and 2.0 mol% are shown. FIG.
From the equation, when 2.0 mol% is added, c / a = 1.00
It can be seen that the pseudo cubic phase No. 3 was generated.
In this case, BaMg 1/3 when Nb 2/3 O 3 is more than 1.5 mol%, the volume ratio of the ferroelectric crystal ratio c / a is 1.003 and c-axis and a-axis of 60% That's all. Also,
In the case of adding 2.0 mol% of the composite perovskite compound,
The Curie point was 125 ° C., and the dielectric constant at room temperature was 2,800.

【0064】次いで、このような複合ペロブスカイト
2.0モル%添加のセラミック誘電体を用いて、そのグ
リーンシート上にNiペーストを印刷して積層し、上記
の雰囲気で焼結を行ない、実施例1と同一サイズの積層
セラミックコンデンサを作製した。得られたコンデンサ
の抵抗は1010Ω以上であり、デラミネーション等の欠
陥はなかった。また、容量の1000時間後の変化率も
0であり、c/a≦1.005相の生成により臨界的に
直流電圧印加時の容量変化が減少することが確認され
た。
Next, such a composite perovskite
Using a 2.0 mol% added ceramic dielectric, a Ni paste was printed and laminated on the green sheet, and sintered in the above atmosphere to produce a multilayer ceramic capacitor having the same size as in Example 1. . The resistance of the obtained capacitor was 10 10 Ω or more, and there was no defect such as delamination. Further, the rate of change of the capacity after 1000 hours was also 0, and it was confirmed that the change in capacity when a DC voltage was applied was critically reduced due to the formation of c / a ≦ 1.005 phase.

【0065】実施例3 BaTiO3 100モル%に対してMgO 1.0モル
%と、TiO2 0.5モル%と、La23 、Pr2
3 またはY23 2.0モル%とを混合し、これに
有機バインダを加えて成形し、O2 分圧10-10 気圧の
2 −H2 −H2 O雰囲気で焼成した。これらのキュリ
ー点は125℃であった。
Example 3 1.0 mol% of MgO, 0.5 mol% of TiO 2 , La 2 O 3 and Pr 2 with respect to 100 mol% of BaTiO 3
The mixture was mixed with 2.0 mol% of O 3 or Y 2 O 3 , added with an organic binder, molded, and fired in a N 2 -H 2 -H 2 O atmosphere having an O 2 partial pressure of 10 −10 atm. Their Curie point was 125 ° C.

【0066】図3に、XRDを示す。図3から、c/a
≦1.005の擬似キュービック相が生成していること
がわかる。そして、これらではc軸とa軸との比c/a
が1.005以下である強誘電性結晶の体積比が60%
以上生成していた。
FIG. 3 shows the XRD. From FIG. 3, c / a
It can be seen that a pseudo-cubic phase of ≦ 1.005 was generated. In these, the ratio c / a between the c-axis and the a-axis is
Is 60% or less by volume
The above was generated.

【0067】さらに、このようなセラミック誘電体のグ
リーンシートを用い、これにNiペーストを印刷して積
層し、上記の雰囲気で焼結を行ない、実施例1と同一サ
イズの積層セラミックコンデンサを作製した。この結
果、1000時間後の容量変化率は0であり、c/a≦
1.005相の生成により、臨界的に直流電圧印加時の
容量変化が減少した。なお、各コンデンサの抵抗は10
10Ω以上であり、デラミネーション等の欠陥は生じなか
った。
Further, using such a ceramic dielectric green sheet, a Ni paste was printed and laminated on the green sheet, and sintering was performed in the above atmosphere to produce a multilayer ceramic capacitor having the same size as that of Example 1. . As a result, the capacity change rate after 1000 hours was 0, and c / a ≦
Due to the formation of the 1.005 phase, the change in capacity when the DC voltage was applied was critically reduced. The resistance of each capacitor is 10
10 Ω or more, and no defects such as delamination occurred.

【0068】[0068]

【発明の効果】本発明によれば、直流電圧を印加して使
用される積層セラミックスコンデンサの容量の経時劣化
が臨界的に減少する。
According to the present invention, the deterioration with time of the capacitance of a multilayer ceramic capacitor used by applying a DC voltage is significantly reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のセラミック誘電体材料のX線回折(X
RD)チャートである。
FIG. 1 shows an X-ray diffraction (X-ray diffraction) of a ceramic dielectric material of the present invention.
It is a RD) chart.

【図2】本発明のセラミック誘電体材料のXRDチャー
トである。
FIG. 2 is an XRD chart of the ceramic dielectric material of the present invention.

【図3】本発明のセラミック誘電体材料のXRDチャー
トである。
FIG. 3 is an XRD chart of the ceramic dielectric material of the present invention.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西山 貢佑 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 テ ィーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 平3−112860(JP,A) 特開 平3−112861(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C04B 35/42 - 35/49 CA(STN) REGISTRY(STN)────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Kosuke Nishiyama 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo Inside TDK Corporation (56) References JP-A-3-112860 (JP, A) JP-A Heisei 3-112861 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) C04B 35/42-35/49 CA (STN) REGISTRY (STN)

Claims (17)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 チタン酸バリウムを主成分とし、 チタン酸バリウム100モル%に対し、Tiを置換する
5価のドナーイオンおよび/またはBaを置換する3価
のドナーイオンを原子数で1〜10%含有し、 さらにTiを置換する2価のアクセプターイオンを、原
子数で、前記ドナーイオンの1倍未満含有し、 85℃以上のキュリー点を有し、キュリー点より低い温
度において、c軸とa軸との格子定数の比c/aが1.
005以下である強誘電性結晶を体積比で40%以上含
むセラミック誘電体材料であって、 チタン酸バリウム100モル%に対し、AM2 1/35
2/33 (AはBa、Ca、Srの1種以上、M2 はM
g、CoおよびZnの1種以上、M5 はNbおよび/ま
たはTa)換算で1.5〜6モル%のA(M2 1/35
2/3)複合酸化物と、MnO換算で0.1〜2モル%の
酸化マンガンと、BaO換算で1モル%以下の酸化バリ
ウムとを含有することを特徴とするセラミック誘電体材
料。
1. A barium titanate as a main component, wherein 100 mol% of barium titanate has a pentavalent donor ion for substituting Ti and / or a trivalent donor ion for substituting Ba in an amount of 1 to 10 atoms. %, And further contains less than 1 time of the above-mentioned donor ion in terms of the number of atoms of the divalent acceptor ion which substitutes for Ti, has a Curie point of 85 ° C. or more, and has a c-axis at a temperature lower than the Curie point. The ratio c / a of the lattice constant between the a axis and the a axis is 1.
A ceramic dielectric material containing at least 40% by volume of a ferroelectric crystal of 005 or less, wherein AM 2 1/3 M 5 is added to 100 mol% of barium titanate.
2/3 O 3 (A is at least one of Ba, Ca and Sr, M 2 is M
g, one or more of Co and Zn, and M 5 is 1.5 to 6 mol% of A (M 2 1/3 M 5 ) in terms of Nb and / or Ta).
2/3 ) A ceramic dielectric material comprising a composite oxide, 0.1 to 2 mol% of manganese oxide in terms of MnO, and 1 mol% or less of barium oxide in terms of BaO.
【請求項2】 中性または還元性雰囲気中で焼成された
請求項1に記載のセラミック誘電体材料。
2. The ceramic dielectric material according to claim 1, fired in a neutral or reducing atmosphere.
【請求項3】 平均グレインサイズが0.3〜1.5μ
m であり、1300〜1400℃で焼成された請求項1
または2に記載のセラミック誘電体材料。
3. An average grain size of 0.3 to 1.5 μm.
m and calcined at 1300-1400 ° C.
Or the ceramic dielectric material according to 2.
【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかに記載のセ
ラミック誘電体材料の誘電体層を、内部導体層と一体化
成形したことを特徴とする積層セラミックコンデンサ。
4. A multilayer ceramic capacitor, wherein a dielectric layer of the ceramic dielectric material according to claim 1 is integrally formed with an internal conductor layer.
【請求項5】 前記内部導体層間の誘電体層の厚さが1
00μm 以下である請求項4に記載の積層セラミックコ
ンデンサ。
5. The method according to claim 1, wherein the thickness of the dielectric layer between the inner conductor layers is 1
The multilayer ceramic capacitor according to claim 4, wherein the thickness is not more than 00 µm.
【請求項6】 積層セラミックコンデンサに直流電圧を
印加して使用するに際し、請求項4または5に記載の積
層セラミックコンデンサを使用して、直流電圧印加時の
容量の経時劣化を防止することを特徴とする積層セラミ
ックコンデンサの経時劣化防止方法。
6. A capacitor according to claim 4 or 5, wherein a DC voltage is applied to the multilayer ceramic capacitor to prevent the capacitor from deteriorating with time when a DC voltage is applied. Method for preventing deterioration of laminated ceramic capacitor over time.
【請求項7】 前記直流電圧による電界は、0.02V/
μm 以上である請求項6に記載の積層セラミックスコン
デンサの経時劣化防止方法。
7. An electric field generated by the DC voltage is 0.02 V /
7. The method for preventing deterioration of a multilayer ceramic capacitor over time according to claim 6, which is not less than μm.
【請求項8】 チタン酸バリウム100モル%に対し、
AM2 1/35 2/33 (AはBa、Ca、Srの1種以
上、M2 はMg、CoおよびZnの1種以上、M5 はN
bおよび/またはTa)換算で1.5〜6モル%のA
(M2 1/35 2/3)複合酸化物と、MnO換算で0.1
〜2モル%の酸化マンガンと、BaO換算で1モル%以
下の酸化バリウムとを含有する誘電体セラミック材料の
誘電体層を、内部導体層と一体化成形したことを特徴と
する積層セラミックコンデンサ。
8. With respect to 100 mol% of barium titanate,
AM 2 1/3 M 5 2/3 O 3 (A is one or more of Ba, Ca, Sr, M 2 is one or more of Mg, Co and Zn, M 5 is N
b and / or 1.5-6 mol% of A in terms of Ta)
(M 2 1/3 M 5 2/3 ) composite oxide and 0.1 in terms of MnO
A multilayer ceramic capacitor, wherein a dielectric layer of a dielectric ceramic material containing マ ン ガ ン 2 mol% of manganese oxide and 1 mol% or less of barium oxide in terms of BaO is integrally formed with an internal conductor layer.
【請求項9】 前記内部導体層が卑金属であり、中性ま
たは還元性雰囲気中で一体焼成された請求項8に記載の
積層セラミックコンデンサ。
9. The multilayer ceramic capacitor according to claim 8, wherein said internal conductor layer is a base metal and is integrally fired in a neutral or reducing atmosphere.
【請求項10】 チタン酸バリウムを主成分とし、 チタン酸バリウム100モル%に対し、Tiを置換する
5価のドナーイオンおよび/またはBaを置換する3価
のドナーイオンを原子数で1〜10%含有し、 さらにTiを置換する2価のアクセプターイオンを、原
子数で、前記ドナーイオンの1倍未満含有し、 85℃以上のキュリー点を有し、キュリー点より低い温
度において、c軸とa軸との格子定数の比c/aが1.
005以下である強誘電性結晶を体積比で40%以上含
むセラミック誘電体材料であって、 チタン酸バリウム100モル%に対し、それぞれ、Nb
25 およびTa25 換算の合計で0.6〜2モル%
の酸化ニオブおよび/または酸化タンタルと、CoOお
よび/またはZnO換算の合計のモル比で、Nb25
および/またはTa25の0.5〜1倍の酸化コバルト
および/または酸化亜鉛とを含有し、大気中で焼成した
セラミック誘電体材料を用い、 このセラミック誘電体材料の誘電体層を、内部導体層と
一体化成形し、かつ前記内部導体層間の誘電体層の厚さ
を50μm 以下とした積層セラミックコンデンサを使用
して、直流電圧印加時の容量の経時劣化を防止すること
を特徴とする積層セラミックコンデンサの経時劣化防止
方法。
10. A pentavalent donor ion for replacing Ti and / or a trivalent donor ion for replacing Ba in an amount of 1 to 10 containing barium titanate as a main component and 100 mol% of barium titanate. %, And further contains less than 1 time of the above-mentioned donor ion in terms of the number of atoms of the divalent acceptor ion which substitutes for Ti, has a Curie point of 85 ° C. or more, and has a c-axis at a temperature lower than the Curie point. The ratio c / a of the lattice constant between the a axis and the a axis is 1.
A ceramic dielectric material containing at least 40% by volume of a ferroelectric crystal of 005 or less, and 100 mol% of barium titanate and Nb, respectively.
0.6 to 2 mol% in total in terms of 2 O 5 and Ta 2 O 5
Nb 2 O 5 , in terms of the total molar ratio of niobium oxide and / or tantalum oxide to CoO and / or ZnO
And / or a ceramic dielectric material containing 0.5 to 1 times of cobalt oxide and / or zinc oxide of Ta 2 O 5 and fired in the air, wherein the dielectric layer of the ceramic dielectric material is The use of a multilayer ceramic capacitor formed integrally with the internal conductor layer and having a thickness of the dielectric layer between the internal conductor layers of 50 μm or less to prevent deterioration with time of the capacitance when a DC voltage is applied. To prevent deterioration of laminated ceramic capacitors over time.
【請求項11】 前記直流電圧による電界は、0.02
V/μm 以上である請求項10に記載の積層セラミックス
コンデンサの経時劣化防止方法。
11. The electric field generated by the DC voltage is 0.02
The method for preventing deterioration of a multilayer ceramic capacitor over time according to claim 10, which is not less than V / μm.
【請求項12】 前記セラミック誘電体材料が、その平
均グレインサイズが0.3〜1.5μm であり、130
0〜1400℃で焼成された請求項9ないし11のいず
れかに記載の積層セラミックコンデンサの経時劣化防止
方法。
12. The ceramic dielectric material according to claim 1, wherein the average grain size is 0.3 to 1.5 μm.
The method for preventing deterioration with time of a multilayer ceramic capacitor according to any one of claims 9 to 11, wherein the method is fired at 0 to 1400 ° C.
【請求項13】 チタン酸バリウムを主成分とし、 チタン酸バリウム100モル%に対し、Tiを置換する
5価のドナーイオンおよび/またはBaを置換する3価
のドナーイオンを原子数で1〜10%含有し、 さらにTiを置換する2価のアクセプターイオンを、原
子数で、前記ドナーイオンの1倍未満含有し、 85℃以上のキュリー点を有し、キュリー点より低い温
度において、c軸とa軸との格子定数の比c/aが1.
005以下である強誘電性結晶を体積比で40%以上含
むセラミック誘電体材料を使用した誘電体層を、卑金属
の内部導体層と一体化成形し、かつ中性または還元性雰
囲気中で一体焼成され、 前記内部導体層間の誘電体層の厚さを50μm 以下とし
たことを特徴とする積層セラミックコンデンサ。
13. A pentavalent donor ion for substituting Ti and / or a trivalent donor ion for substituting Ba in an amount of 1 to 10 containing barium titanate as a main component and 100 mol% of barium titanate. %, And further contains less than 1 time of the above-mentioned donor ion in terms of the number of atoms of the divalent acceptor ion which substitutes for Ti, has a Curie point of 85 ° C. or more, and has a c-axis at a temperature lower than the Curie point. The ratio c / a of the lattice constant between the a axis and the a axis is 1.
A dielectric layer using a ceramic dielectric material containing at least 40% by volume of a ferroelectric crystal of 005 or less is integrally formed with an inner conductor layer of a base metal, and integrally fired in a neutral or reducing atmosphere. Wherein the thickness of the dielectric layer between the internal conductor layers is set to 50 μm or less.
【請求項14】 チタン酸バリウム100モル%に対
し、それぞれR23(Rは、Yおよびランタノイド元
素)に換算して、合計で0.6〜4モル%の酸化イット
リウムおよびランタノイド酸化物の1種以上と、それぞ
れM2 O(M2は、Mg、CaおよびCo)に換算し
て、モル比で、酸化イットリウムおよびランタノイド酸
化物の合計の0.5〜1倍の酸化マグネシウム、酸化カ
ルシウムおよび酸化コバルトの1種以上と、酸化チタン
とを含有する請求項13に記載の積層セラミックコンデ
ンサ。
14. A total of 0.6 to 4 mol% of yttrium oxide and lanthanoid oxide in terms of R 2 O 3 (R is Y and a lanthanoid element) with respect to 100 mol% of barium titanate. One or more kinds of magnesium oxide and calcium oxide in a molar ratio of 0.5 to 1 times the sum of yttrium oxide and lanthanoid oxide in terms of M 2 O (M 2 is Mg, Ca and Co). 14. The multilayer ceramic capacitor according to claim 13, comprising one or more of cobalt oxide and titanium oxide.
【請求項15】 前記セラミック誘電体材料が、その平
均グレインサイズが0.3〜1.5μm であり、130
0〜1400℃で焼成された請求項13または14に記
載の積層セラミックコンデンサ。
15. The ceramic dielectric material according to claim 15, wherein said ceramic dielectric material has an average grain size of 0.3 to 1.5 μm.
The multilayer ceramic capacitor according to claim 13, which is fired at 0 to 1400 ° C. 15.
【請求項16】 積層セラミックコンデンサに直流電圧
を印加して使用するに際し、請求項13ないし15のい
ずれかに記載の積層セラミックコンデンサを使用して、
直流電圧印加時の容量の経時劣化を防止することを特徴
とする積層セラミックコンデンサの経時劣化防止方法。
16. When applying a DC voltage to a multilayer ceramic capacitor for use, the multilayer ceramic capacitor according to claim 13 is used.
A method for preventing deterioration of a multilayer ceramic capacitor with the lapse of time, characterized by preventing the deterioration with time of the capacitance when a DC voltage is applied.
【請求項17】 前記直流電圧による電界は、0.02
V/μm 以上である請求項16に記載の積層セラミックス
コンデンサの経時劣化防止方法。
17. The electric field generated by the DC voltage is 0.02
17. The method for preventing deterioration of a multilayer ceramic capacitor over time according to claim 16, which is not less than V / μm.
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