JP3178990B2 - Frequency adjustment method for multilayer electronic components - Google Patents

Frequency adjustment method for multilayer electronic components

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、積層型電子部品の周波
数調整方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for adjusting the frequency of a multilayer electronic component.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層型電子部品としては、例えば図8に
示すようなバンドパスフィルタ51がある。このバンド
パスフィルタ51は誘電体層52の表裏両面にパターン
電極53が形成され、このパターン電極53上には電極
53側から順に第1シート層54とシールド電極膜55
と第2シート層56とが積層されている。
2. Description of the Related Art As a laminated electronic component, for example, there is a band pass filter 51 as shown in FIG. In the bandpass filter 51, a pattern electrode 53 is formed on both front and back surfaces of a dielectric layer 52, and a first sheet layer 54 and a shield electrode film 55 are formed on the pattern electrode 53 in this order from the electrode 53 side.
And the second sheet layer 56 are laminated.

【0003】ところで、上記バンドパスフィルタ51の
周波数特性(中心周波数)は設計値と同一となる必要が
あるが、製造工程における環境等により設計値と異なる
ことがある。そこで、従来は、積層体内部のパターン電
極53をトリミングすることによりバンドパスフィルタ
51の中心周波数の調整を行っていた。
Incidentally, the frequency characteristic (center frequency) of the band-pass filter 51 needs to be the same as the design value, but may differ from the design value depending on the environment in the manufacturing process. Therefore, conventionally, the center frequency of the bandpass filter 51 has been adjusted by trimming the pattern electrode 53 inside the laminate.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方法では、バンドパスフィルタ51表面(第2シー
ト層56表面)とパターン電極53との距離が大きい
(即ち、トリミング穴57が深い)ため、トリミング時
の出力を上げる必要がある。このため、トリミング穴か
らクラックを生じることがある。加えてトリミング穴に
おけるパターン電極53が露出しているため、パターン
電極53が酸化することがある。これらのことから、バ
ンドパスフィルタ51の特性が劣化するという課題を有
していた。
However, in the above-mentioned conventional method, the distance between the surface of the band-pass filter 51 (the surface of the second sheet layer 56) and the pattern electrode 53 is large (that is, the trimming hole 57 is deep). It is necessary to increase the output during trimming. For this reason, cracks may occur from the trimming holes. In addition, since the pattern electrode 53 in the trimming hole is exposed, the pattern electrode 53 may be oxidized. For these reasons, there is a problem that the characteristics of the bandpass filter 51 are deteriorated.

【0005】そこで、本発明は上記課題を考慮してなさ
れたものであり、トリミング穴からクラックが生じた
り、パターン電極が酸化するのを防止することにより、
積層型電子部品の特性を飛躍的に向上させうる周波数調
整方法の提供を目的とする。
Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and prevents cracks from being generated from trimming holes and oxidation of pattern electrodes by preventing the trimming holes.
An object of the present invention is to provide a frequency adjustment method capable of dramatically improving the characteristics of a multilayer electronic component.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、複数の誘電体層間にインダクターを構成する
パターン電極とコンデンサを構成するパターン電極が形
成されて前記インダクターと前記コンデンサーにより決
定される周波数を持つ誘電体共振器本体を内蔵した積層
型電子部品の周波数調整方法であって、前記誘電体共振
器本体上には順に第1シート層と銅または銀からなる展
性のある材料からできているシールド電極膜と第2シー
ト層が形成され、上記シールド電極膜を第2のシートと
ともに物理的にトリミング除去することにより周波数の
調整を行うことを特徴としている。
In order to achieve the above object, the present invention is directed to a method for forming a pattern electrode forming an inductor and a pattern electrode forming a capacitor between a plurality of dielectric layers, wherein the pattern electrode is determined by the inductor and the capacitor. A method for adjusting the frequency of a laminated electronic component having a built-in dielectric resonator body having a predetermined frequency, wherein a first sheet layer and a malleable material made of copper or silver are sequentially formed on the dielectric resonator body. A shield electrode film and a second sheet layer are formed, and the frequency is adjusted by physically trimming and removing the shield electrode film together with the second sheet.

【0007】[0007]

【作用】上記の構成であれば、シールド電極膜と積層型
電子部品表面との距離は、パターン電極と積層型電子部
品表面との距離より小さい。したがって、トリミングの
出力を余り大きくすることなくトリミング可能であるの
で、フィルタにクラックが生じるのを抑制することがで
きる。
With the above arrangement, the distance between the shield electrode film and the surface of the multilayer electronic component is smaller than the distance between the pattern electrode and the surface of the multilayer electronic component. Therefore, since the trimming can be performed without increasing the trimming output too much, generation of cracks in the filter can be suppressed.

【0008】加えて、パターン電極が露出することがな
いので、パターン電極が酸化するのを防止することがで
きる。
In addition, since the pattern electrode is not exposed, it is possible to prevent the pattern electrode from being oxidized.

【0009】[0009]

【実施例】本発明の一実施例を、図1乃至図7に基づい
て、以下に説明する。図1は本発明を適用したバンドパ
スフィルタの外観斜視図であり、図2は図1のII−II線
断面である。このバンドパスフィルタは、誘電体層2
と、この誘電体層2の表裏両面に形成されたパターン電
極3・4とから成る本体部5を有している。この本体部
5の両面には、誘電体又は絶縁体から成る第1シート層
6・7と、銅または銀からなる展性のある材料からでき
ているシールド電極膜8・9と、誘電体又は絶縁体から
成る第2シート層10・11とが本体部5側から順に形
成されている。また、バンドパスフィルタの両側面に
は、入力端子電極13と出力端子電極14とアース電極
15・16とが形成されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is an external perspective view of a bandpass filter to which the present invention is applied, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. This bandpass filter has a dielectric layer 2
And a main body 5 comprising pattern electrodes 3 and 4 formed on both front and back surfaces of the dielectric layer 2. Both surfaces of the main body 5 are made of first sheet layers 6 and 7 made of a dielectric or an insulator and a malleable material made of copper or silver.
And the shield electrode films 8, 9 and a second sheet layer 10, 11 made of a dielectric or insulator is formed in this order from the main body 5 side. Input terminal electrodes 13, output terminal electrodes 14, and ground electrodes 15 and 16 are formed on both side surfaces of the bandpass filter.

【0010】前記パターン電極3は、図3に示すよう
に、略コ字状のパターン電極31と略L字状のパターン
電極32とから構成される一方、前記パターン電極4は
略L字状のパターン電極41と略コ字状のパターン電極
42とから構成される。上記4つのパターン電極31・
32・41・42のうち図中左側のパターン電極31・
41は、1つのコンデンサ電極パターン31a・41a
(C1 )に各々コイルパターン31b(L1 ,L2 )、
或いはコイルパターン41b(L3 )を接続した構造で
ある。上記コンデンサ電極パターン31a・41aは、
前記誘電体層2の表裏方向において対向しており、また
上記コイルパターン31b・41bは誘電体層2を貫通
するVIAホール21aを介して接続されている。更
に、パターン電極3の端部に形成された舌片31cは前
記出力端子電極14と接続され、パターン電極3の端部
に形成された舌片31dは前記アース電極15と接続さ
れている。
As shown in FIG. 3, the pattern electrode 3 comprises a substantially U-shaped pattern electrode 31 and a substantially L-shaped pattern electrode 32, while the pattern electrode 4 has a substantially L-shaped pattern electrode. It comprises a pattern electrode 41 and a substantially U-shaped pattern electrode. The above four pattern electrodes 31
32, 41, and 42 of the pattern electrode 31
41 is one capacitor electrode pattern 31a 41a
(C 1 ) has coil patterns 31b (L 1 , L 2 ),
Alternatively, it has a structure in which the coil patterns 41b (L 3 ) are connected. The capacitor electrode patterns 31a and 41a are:
The coil patterns 31b and 41b are opposed to each other in the front and back directions of the dielectric layer 2, and are connected via a VIA hole 21a penetrating the dielectric layer 2. Further, a tongue piece 31c formed at an end of the pattern electrode 3 is connected to the output terminal electrode 14, and a tongue piece 31d formed at an end of the pattern electrode 3 is connected to the ground electrode 15.

【0011】一方、右側のパターン電極32・42は、
上記と同様に1つのコンデンサ電極パターン32a・4
2a(C2 )に各々コイルパターン32b(L6 )或い
はコイルパターン42b(L4 ,L5 )を接続した構造
であり、上記コイルパターン32b・42bは誘電体層
2を貫通するVIAホール21bを介して接続されてい
る。また、パターン電極3の端部に形成された舌片32
cは前記アース電極16と接続され、パターン電極4の
端部に形成された舌片41cは前記入力端子電極13と
接続されている。更に、パターン電極31の内方に形成
された舌片31eとパターン電極42の内方に形成され
た舌片42eとは前記誘電体層2を挟んで対向してお
り、これによってコンデンサC3 を構成している。
On the other hand, the right pattern electrodes 32 and 42 are
One capacitor electrode pattern 32a, 4
2a (C 2) to a respective connecting the coil pattern 32b (L 6), or coil pattern 42b (L 4, L 5) structure, the coil pattern 32 b · 42b is a VIA hole 21b which penetrates the dielectric layer 2 Connected through. Also, a tongue piece 32 formed at the end of the pattern electrode 3
“c” is connected to the ground electrode 16, and a tongue piece 41 c formed at an end of the pattern electrode 4 is connected to the input terminal electrode 13. Furthermore, the tongue 42e formed inwardly of the tongue 31e and the pattern electrodes 42 formed on the inside of the pattern electrode 31 are opposed across the dielectric layer 2, whereby the capacitor C 3 Make up.

【0012】上記の構造であれば、図4の等価回路に示
すようなバンドパスフィルタを構成する。ここで、上記
バンドパスフィルタの中心周波数の調整を行う場合に
は、図5及び図6に示すように、シールド電極膜8のト
リミングを行う。そうすると、シールド電極膜8の面積
が減少するので、コイルパターンに対する磁気的影響が
小さくなりコイルパターンのインダクタンスが大きくな
る。このため、図7に示すようにバンドパスフィルタの
中心周波数が低下する。
With the above structure, a bandpass filter as shown in the equivalent circuit of FIG. 4 is formed. Here, when adjusting the center frequency of the bandpass filter, the shield electrode film 8 is trimmed as shown in FIGS. Then, since the area of the shield electrode film 8 is reduced, the magnetic influence on the coil pattern is reduced and the inductance of the coil pattern is increased. Therefore, the center frequency of the band-pass filter decreases as shown in FIG.

【0013】この際、シールド電極膜8・9とバンドパ
スフィルタ表面との距離は20〜40μmであるので、
トリミング穴45の深さは約50μmでよい。したがっ
て、トリミングの出力を余り大きくすることなくトリミ
ング可能であるため、バンドパスフィルタにクラックが
生じるのを抑制することができる。加えて、パターン電
極3・4が露出することがないので、パターン電極3・
4が酸化するのを防止することができる。
At this time, since the distance between the shield electrode films 8 and 9 and the surface of the bandpass filter is 20 to 40 μm,
The depth of the trimming hole 45 may be about 50 μm. Therefore, the trimming can be performed without increasing the output of the trimming, so that the occurrence of cracks in the bandpass filter can be suppressed. In addition, since the pattern electrodes 3 and 4 are not exposed, the pattern electrodes 3 and 4 are not exposed.
4 can be prevented from being oxidized.

【0014】尚、トリミング穴45の径を余り大きくす
るとシールド効果が悪化するので、シールド効果が悪化
しない程度の径にする必要がある。また、上記実施例に
おいては6箇所にトリミングを施したが、これに限定す
るものではなく、中心周波数が余りズレていない場合に
はトリミング数を少なくする一方、中心周波数が大きく
ズレている場合にはトリミング数を更に多くして調整す
ることが可能である。
If the diameter of the trimming hole 45 is too large, the shielding effect is deteriorated. Therefore, it is necessary to make the diameter such that the shielding effect is not deteriorated. In the above embodiment, the trimming is performed at six places. However, the present invention is not limited to this. When the center frequency is not largely shifted, the number of trimmings is reduced. Can be adjusted by further increasing the number of trimmings.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上説明したように請求項1の発明によ
れば、積層型電子部品の外表面に近いシールド電極をト
リミングして周波数調整するので、トリミングの出力を
あまり大きくすることなくトリミングが可能であり、積
層型電子部品にクラックが生じるのを抑制することがで
きると共に、調整によっては共振器本体のパターン電極
が露出することがなく、従ってパターン電極の酸化を防
止した状態で周波数調整が可能であるという効果があ
る。
As described above, according to the first aspect of the present invention, since the frequency is adjusted by trimming the shield electrode near the outer surface of the multilayer electronic component, the trimming can be performed without increasing the trimming output too much. It is possible to suppress the occurrence of cracks in the multilayer electronic component, and it is possible to adjust the frequency without exposing the pattern electrode of the resonator body by the adjustment, thereby preventing the pattern electrode from being oxidized. The effect is that it is possible.

【0016】請求項2の発明によれば、シールド電極膜
を第2のシートと共に機械的にトリミング除去するの
で、シールド電極膜が銅や銀等の展性のある材料ででき
ていたとしても正確に所望量のトリミング除去が可能と
なり周波数調整の精度が高くなる。
According to the second aspect of the present invention, since the shield electrode film is mechanically trimmed and removed together with the second sheet, even if the shield electrode film is made of a malleable material such as copper or silver, it is accurate. Thus, a desired amount of trimming can be removed, and the accuracy of frequency adjustment can be increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】バンドパスフィルタの外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view of a bandpass filter.

【図2】図1のII─II線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.

【図3】バンドパスフィルタ本体の平面図である。FIG. 3 is a plan view of a bandpass filter main body.

【図4】バンドパスフィルタの等価回路図である。FIG. 4 is an equivalent circuit diagram of a bandpass filter.

【図5】図1のバンドパスフィルタの周波数調整を行っ
た後の外観斜視図である。
FIG. 5 is an external perspective view of the bandpass filter of FIG. 1 after frequency adjustment.

【図6】図5のVI−VI線断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line VI-VI of FIG. 5;

【図7】本発明により調整したバンドパスフィルタの周
波数特性を示すグラフである。
FIG. 7 is a graph showing frequency characteristics of a band-pass filter adjusted according to the present invention.

【図8】従来の方法で周波数調整を行った場合の断面図
である。
FIG. 8 is a cross-sectional view when frequency adjustment is performed by a conventional method.

【符合の説明】[Description of sign]

2 誘電体層 3・4 パターン電極 6・7 第1シート層 8・9 シールド電極膜 10・11 第2シート層 45 トリミング穴 2 Dielectric layer 3.4 Pattern electrode 6.7 First sheet layer 8.9 Shield electrode film 10.11 Second sheet layer 45 Trimming hole

フロントページの続き (72)発明者 谷口 哲夫 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株 式会社 村田製作所内 (56)参考文献 特開 昭61−121409(JP,A) 特開 昭64−48304(JP,A) 特開 昭56−104430(JP,A) 特開 昭59−52804(JP,A)Continuation of front page (72) Inventor Tetsuo Taniguchi 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto Murata Manufacturing Co., Ltd. (56) References JP-A-61-121409 (JP, A) JP-A-64-48304 (JP, A) JP-A-56-104430 (JP, A) JP-A-59-52804 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 複数の誘電体層間にインダクターを構成
するパターン電極とコンデンサを構成するパターン電極
が形成されて前記インダクターと前記コンデンサーによ
り決定される周波数を持つ誘電体共振器本体を内蔵した
積層型電子部品の周波数調整方法であって 前記共振器本体がコンデンサとインダクタが並列接続さ
れた並列共振回路であり、 前記積層型電子部品がこの共振器本体複数個が結合した
バンドパスフィルタであり、 記誘電体共振器本体上には順に第1シート層と銅また
は銀からなる展性のある材料からできているシールド電
極膜と第2シート層が形成され、上記シールド電極膜を
第2のシートとともに物理的にトリミング除去すること
により周波数の調整を行うことを特徴とする積層型電子
部品の周波数調整方法。
1. A laminated type in which a pattern electrode forming an inductor and a pattern electrode forming a capacitor are formed between a plurality of dielectric layers, and a dielectric resonator main body having a frequency determined by the inductor and the capacitor is built in. A method for adjusting the frequency of an electronic component , wherein the resonator body includes a capacitor and an inductor connected in parallel.
Parallel resonant circuit, wherein the multilayer electronic component has a plurality of resonator main bodies coupled thereto.
A band-pass filter, before Symbol dielectric resonator sequentially first sheet layer on the body and the copper or shield electrode film and the second sheet layers are made from malleable a material of silver is formed, the shield A frequency adjustment method for a multilayer electronic component, wherein the frequency is adjusted by physically trimming and removing an electrode film together with a second sheet.
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