JP3178122U - Semiconductor mounting products - Google Patents
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Abstract
【課題】銅イオンの遊離防止が可能な半導体実装品を提供する。
【解決手段】銅を含むバンプ132は、第2接合表面133と環状の表面134からなる。第2接合表面133は、複数個の第2導電性粒子の接触領域133aと複数個の第2非導電性粒子の接触領域133bを有する。導電性粒子121は、第1接合表面113の第1導電性粒子の接触領域113aと第2接合表面133の第2導電性粒子の接触領域133aに位置される。遊離防止材122は、第2接合表面133の第2非導電性粒子の接触領域133bに結合されると共に銅を含むバンプ132の環状の表面134を被覆する。
【選択図】図1CA semiconductor packaging product capable of preventing the liberation of copper ions is provided.
A bump 132 including copper includes a second bonding surface 133 and an annular surface 134. The second bonding surface 133 has a plurality of second conductive particle contact regions 133a and a plurality of second non-conductive particle contact regions 133b. The conductive particles 121 are located in the first conductive particle contact region 113 a of the first bonding surface 113 and the second conductive particle contact region 133 a of the second bonding surface 133. The release preventing material 122 is bonded to the contact region 133 b of the second non-conductive particle of the second bonding surface 133 and covers the annular surface 134 of the bump 132 containing copper.
[Selection] Figure 1C
Description
本考案は、半導体実装品に関し、より詳しくは、銅イオンの遊離防止が可能な半導体実装品に関する。 The present invention relates to a semiconductor mounted product, and more particularly to a semiconductor mounted product capable of preventing the release of copper ions.
近年、電子製品が小型化および軽量化の趨勢にあることから、電子製品内部の回路のレイアウトの間隔もますます小さくなる傾向にある。 In recent years, since electronic products are becoming smaller and lighter, the circuit layout intervals inside the electronic products tend to become smaller and smaller.
しかしながら、前述した従来の技術では、回路配線の間隔が小さいほどショートする確率が上がるといった問題があった。 However, the above-described conventional technique has a problem that the probability of short-circuiting increases as the circuit wiring interval decreases.
本考案は、このような従来の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、銅イオンの遊離防止が可能な半導体実装品を提供することにある。 The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor mounting product capable of preventing the release of copper ions.
上述の課題を解決し、目的を達成するために、本考案に係る半導体実装品は、上表面および前記上表面に設けられた複数個の接点を有し、各前記接点に第1接合表面があり、前記第1接合表面に複数個の第1導電性粒子の接触領域および複数個の第1非導電性粒子の接触領域がある基板を供給するステップと、複数個の導電性粒子および複数個の遊離防止材が混合された導電可能な遊離防止コロイドを前記基板の前記上表面および前記接点上に形成するステップと、主動面および前記主動面に設けられた複数個の銅を含むバンプを備えたチップを前記基板にフリップチップ結合するステップと、を含む。前記主動面は、前記基板の前記上表面に臨む。前記導電可能な遊離防止コロイドは、前記銅を含むバンプを被覆する。前記銅を含むバンプは、各々第2接合表面および環状の表面を有する。前記第2接合表面には、複数個の第2導電性粒子の接触領域および複数個の第2非導電性粒子の接触領域を有する。前記銅を含むバンプは、前記導電性粒子により前記接点に電気的に接続される。前記導電性粒子は、前記第1接合表面と前記第2接合表面との間にあり、且つ前記第1接合表面の前記第1導電性粒子の接触領域と前記第2接合表面の前記第2導電性粒子の接触領域とを電気的に接続する。前記遊離防止材は、近傍の前記導電性粒子の間にあり、且つ、各前記第1接合表面と各前記第2接合表面との間にあり、前記第2接合表面の前記第2非導電性粒子の接触領域に結合して、更に前記銅を含むバンプの前記環状の表面を被覆することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a semiconductor package according to the present invention has an upper surface and a plurality of contacts provided on the upper surface, and each contact has a first bonding surface. Providing a substrate having a plurality of first conductive particle contact areas and a plurality of first non-conductive particle contact areas on the first bonding surface; a plurality of conductive particles and a plurality of conductive particles; Forming a conductive anti-release colloid mixed with an anti-release material on the upper surface and the contact of the substrate, and a main surface and a bump including a plurality of copper provided on the main surface. Flip-chip bonding the chip to the substrate. The main moving surface faces the upper surface of the substrate. The conductive anti-release colloid covers the copper-containing bump. Each of the bumps containing copper has a second bonding surface and an annular surface. The second bonding surface has a contact region of a plurality of second conductive particles and a contact region of a plurality of second nonconductive particles. The bump containing copper is electrically connected to the contact by the conductive particles. The conductive particles are between the first bonding surface and the second bonding surface, and the contact region of the first conductive particles on the first bonding surface and the second conductivity on the second bonding surface. It electrically connects with the contact area of the conductive particles. The release preventing material is between the conductive particles in the vicinity, and is between each of the first bonding surfaces and each of the second bonding surfaces, and the second nonconductive material of the second bonding surface. The annular surface of the bump containing copper is further bonded to the contact area of the particles.
前記導電可能な遊離防止コロイドにある前記遊離防止材が、前記銅を含むバンプの前記環状の表面を被覆することから、前記銅を含むバンプ中の銅イオンが遊離した場合、前記遊離防止材が直ちに銅イオンを捕捉してショートの発生を防止することができる。 Since the release preventing material in the conductive release preventing colloid covers the annular surface of the bump containing copper, when the copper ions in the bump containing copper are released, the release preventing material is It is possible to immediately capture copper ions and prevent the occurrence of a short circuit.
本考案によれば、銅イオンの遊離防止が可能な半導体実装品が得られる。 According to the present invention, it is possible to obtain a semiconductor package capable of preventing the release of copper ions.
以下に図面を参照して、本考案を実施するための形態について、詳細に説明する。なお、本考案は、以下に説明する実施形態に限定されるものではない。まず、本考案の半導体実装品の第1実施形態について説明する。
(第1実施形態)
本考案の第1実施形態の構成を図1Aから図1Cに示す。図1Aから図1Cは、本考案に係る好ましい実施形態における半導体実装方法および半導体実装品を示すものである。該方法は、下記のステップを有する。先ず、図1Aでは、上表面111と前記上表面111に設けられた複数個の接点112を備えた基板110を供給する。前記接点112は、基板110上のピン、又は回路に接続されたバンプのボンドパッドでよい。前記各接点112は、第1接合表面113と側壁114を有する。前記第1接合表面113は、複数個の第1導電性粒子の接触領域113aと複数個の第1非導電性粒子の接触領域113bを有する。
続いて、図1Bでは、導電可能な遊離防止コロイド120を前記基板110の前記上表面111と前記接点112上に形成する。前記導電可能な遊離防止コロイド120は、複数個の導電性粒子121と複数個の遊離防止材122が混合されている。本実施形態では、前記遊離防止材122の材料は、有機はんだ付け保護剤である。前記有機はんだ付け保護剤の材料は、ベンズイミダゾール又はイミダゾール誘導体のうちから選択される。前記イミダゾール誘導体は、ベンゾトリアゾール、フェニルイミダゾール、置換フェニルイミダゾール、若しくはアリールフェニルイミダゾール、又はその混合体のうちの一つでよい。前記ベンズイミダゾールは、ベンゾトリアゾール、フェニルイミダゾール、置換フェニルイミダゾール、若しくはアリールフェニルイミダゾール、又はその混合体のうちの一つでよい。
Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the embodiments described below. First, a first embodiment of a semiconductor package according to the present invention will be described.
(First embodiment)
The configuration of the first embodiment of the present invention is shown in FIGS. 1A to 1C. 1A to 1C show a semiconductor mounting method and a semiconductor mounted product in a preferred embodiment according to the present invention. The method has the following steps. First, in FIG. 1A, a
Subsequently, in FIG. 1B, a conductive
最後に、図1Cでは、主動面131と前記主動面131に設けられた複数個の銅を含むバンプ132を備えたチップ130を前記基板110にフリップチップ結合する。本実施形態では、前記銅を含むバンプ132の材料は、銅/ニッケル、又は銅/ニッケル/金のうちから一つ選択する。前記主動面131は、前記基板110の前記上表面111に臨む。前記導電可能な遊離防止コロイド120は、前記銅を含むバンプ132を被覆する。各前記銅を含むバンプ132には、第2接合表面133と環状の表面134がある。前記第2接合表面133は、複数個の第2導電性粒子の接触領域133aと複数個の第2非導電性粒子の接触領域133bを有する。前記銅を含むバンプ132は、前記導電性粒子121により前記接点112に電気的に接続される。前記導電性粒子121は、前記第1接合表面113と前記第2接合表面133との間にあって、前記第1接合表面113の前記第1導電性粒子の接触領域113aと前記第2接合表面133の前記第2導電性粒子の接触領域133aとを電気的に接続する。前記遊離防止材122は、近傍の導電性粒子121の間にあり、且つ、各前記第1接合表面113と各前記第2接合表面133の間にあり、前記第2接合表面133の前記第2非導電性粒子の接触領域133bに結合して更に前記銅を含むバンプ132の前記環状の表面134を被覆する。また、前記遊離防止材122は前記第1接合表面113の前記第1非導電性粒子の接触領域113bにも結合し、前記接点112の前記側壁114を被覆して、半導体実装品100を形成する。前記導電可能な遊離防止コロイド120にある前記遊離防止材122は、前記銅を含むバンプ132の前記環状の表面134を被覆可能なことから、前記銅を含むバンプ132中の銅イオンが遊離した場合、前記遊離防止材122は直ちに遊離した銅イオンを捕捉してショートの発生を防止し、前記半導体実装品100の歩留りを高めることができる。
Finally, in FIG. 1C, a
図1Cは本考案に係る好ましい実施形態における半導体実装品100であり、基板110、導電可能な遊離防止コロイド120、及びチップ130を備える。前記基板110は、上表面111と前記上表面111に設けられた複数個の接点112を有し、前記各接点112には第1接合表面113があり、前記第1接合表面113には複数個の第1導電性粒子の接触領域113aと複数個の第1非導電性粒子の接触領域113bがある。前記導電可能な遊離防止コロイド120は、前記基板110の前記上表面111と前記接点112上に形成されるが、複数個の導電性粒子121と複数個の遊離防止材122が混合される。前記チップ130は、前記基板110にフリップチップ結合され、主動面131と前記主動面131に設けられた複数個の銅を含むバンプ132を備える。前記主動面131は、前記基板110の前記上表面111に臨む。前記導電可能な遊離防止コロイド120は前記銅を含むバンプ132を被覆する。各前記銅を含むバンプ132には、第2接合表面133と環状の表面134がある。前記第2接合表面133には、複数個の第2導電性粒子の接触領域133aと複数個の第2非導電性粒子の接触領域133bがある。前記銅を含むバンプ132は、前記導電性粒子121により前記接点112に電気的に接続される。前記導電性粒子121は、前記第1接合表面113と前記第2接合表面133との間にあり、前記第1接合表面113の前記第1導電性粒子の接触領域113aと前記第2接合表面133の前記第2導電性粒子の接触領域133aとを電気的に接続する。前記遊離防止材122は、近傍の導電性粒子121の間にあり、且つ、各前記第1接合表面113と前記各第2接合表面133との間にあり、前記第2接合表面133の前記第2非導電性粒子の接触領域133bと前記第1接合表面113の前記第1非導電性粒子の接触領域113bに結合して、更に前記銅を含むバンプ132の前記環状の表面134と前記接点112の前記側壁114を被覆する。
FIG. 1C shows a
以上、本考案は、このような実施形態に限定されるものではなく、考案の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の形態で実施することができる。 As mentioned above, this invention is not limited to such embodiment, In the range which does not deviate from the meaning of invention, it can implement with a various form.
100 ・・・・半導体実装構造
110 ・・・・基板
111 ・・・・上表面
112 ・・・・接点
113 ・・・・第1接合表面
113a ・・・第1導電性粒子の接触領域
113b ・・・第1非導電性粒子の接触領域
114 ・・・・側壁
120 ・・・・導電可能な遊離防止コロイド
121 ・・・・導電性粒子
122 ・・・・遊離防止材
130 ・・・・チップ
131 ・・・・主動面
132 ・・・・銅を含むバンプ
133 ・・・・第2接合表面
133a ・・・第2導電性粒子の接触領域
133b ・・・第2非導電性粒子の接触領域
134 ・・・・環状の表面
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記基板の前記上表面および前記接点上に形成され、複数個の導電性粒子および複数個の遊離防止材が混合された導電可能な遊離防止コロイドと、
前記基板にフリップチップ結合され、主動面および前記主動面に設けられた複数個の銅を含むバンプを備えたチップと、を備え、
前記主動面は、前記基板の前記上表面に臨み、
前記導電可能な遊離防止コロイドは、前記銅を含むバンプを被覆し、
前記銅を含むバンプは、各々第2接合表面および環状の表面を有し、
前記第2接合表面には、複数個の第2導電性粒子の接触領域および複数個の第2非導電性粒子の接触領域を有し、
前記銅を含むバンプは、前記導電性粒子により前記接点に電気的に接続され、
前記導電性粒子は、前記第1接合表面と前記第2接合表面との間にあり、且つ前記第1接合表面の前記第1導電性粒子の接触領域と前記第2接合表面の前記第2導電性粒子の接触領域とを電気的に接続し、
前記遊離防止材は、近傍の前記導電性粒子の間にあり、且つ各前記第1接合表面と各前記第2接合表面との間にあり、前記第2接合表面の前記第2非導電性粒子の接触領域に結合して、更に前記銅を含むバンプの前記環状の表面を被覆することを特徴とする半導体実装品。 An upper surface and a plurality of contacts provided on the upper surface, each contact having a first bonding surface, a plurality of first conductive particle contact areas and a plurality of contacts on the first bonding surface; A substrate with a contact area of first non-conductive particles;
A conductive anti-release colloid formed on the upper surface of the substrate and the contact and mixed with a plurality of conductive particles and a plurality of release prevention materials;
A chip that is flip-chip bonded to the substrate and includes a main moving surface and a plurality of copper-containing bumps provided on the main moving surface;
The main moving surface faces the upper surface of the substrate;
The conductive anti-release colloid covers the copper-containing bump;
Each of the bumps containing copper has a second bonding surface and an annular surface,
The second bonding surface has a contact region of a plurality of second conductive particles and a contact region of a plurality of second non-conductive particles,
The bump containing copper is electrically connected to the contact by the conductive particles,
The conductive particles are between the first bonding surface and the second bonding surface, and the contact region of the first conductive particles on the first bonding surface and the second conductivity on the second bonding surface. Electrically connected to the contact area of the conductive particles,
The release preventing material is between the conductive particles in the vicinity, and between the first bonding surface and the second bonding surface, and the second non-conductive particles on the second bonding surface. A semiconductor mounting product, wherein the annular surface of the bump including copper is further coated with the contact region.
前記遊離防止材は、前記側壁を被覆することを特徴とする請求項1に記載の半導体実装品。 Each said contact has a sidewall,
The semiconductor mounting product according to claim 1, wherein the release preventing material covers the side wall.
前記ベンズイミダゾールは、ベンゾトリアゾール、フェニルイミダゾール、置換フェニルイミダゾール、若しくはアリールフェニルイミダゾール、又はその混合体うちの一つであることを特徴とする請求項5に記載の半導体実装品。 The imidazole derivative is one of benzotriazole, phenylimidazole, substituted phenylimidazole, or arylphenylimidazole, or a mixture thereof,
6. The semiconductor package according to claim 5, wherein the benzimidazole is one of benzotriazole, phenylimidazole, substituted phenylimidazole, arylphenylimidazole, or a mixture thereof.
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