JP3177300B2 - Method for forming color filter on substrate for plasma display - Google Patents

Method for forming color filter on substrate for plasma display

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JP3177300B2
JP3177300B2 JP15413092A JP15413092A JP3177300B2 JP 3177300 B2 JP3177300 B2 JP 3177300B2 JP 15413092 A JP15413092 A JP 15413092A JP 15413092 A JP15413092 A JP 15413092A JP 3177300 B2 JP3177300 B2 JP 3177300B2
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color filter
substrate
plasma display
forming
resin composition
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雅俊 原山
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プラズマディスプレイ
パネル(以下、PDPと略す)を構成するプラズマディ
スプレイ用基板のカラーフィルター形成方法に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a color filter on a substrate for a plasma display constituting a plasma display panel (hereinafter abbreviated as PDP).

【0002】[0002]

【従来の技術】図1は反射型蛍光面を有する従来のDC
型PDPの一構成例を示すもので、ガラスからなる平板
状の前面板11と背面板12が互いに平行にかつ対向し
て配設され、両者はその間に設けられたセル障壁13に
より一定の間隔に保持されている。また、前面板11の
背面には互いに平行な複数のライン状の陽極14が形成
されているとともに、背面板12の前面側には互いに平
行な複数のライン状の陰極15がこの陽極14と直交し
て形成されている。さらにセル障壁13の内面には蛍光
層16が隣接して形成されており、この蛍光層16には
各セル17毎に赤(R)、緑(G)、青(B)の発光色
の蛍光体が所定のパターンで振り分けて設けられてい
る。
2. Description of the Related Art FIG. 1 shows a conventional DC having a reflective phosphor screen.
This is an example of a configuration of a mold PDP, in which a flat front plate 11 and a rear plate 12 made of glass are arranged in parallel and opposed to each other, and both are fixed at a predetermined distance by a cell barrier 13 provided therebetween. Is held in. A plurality of linear anodes 14 parallel to each other are formed on the back surface of the front plate 11, and a plurality of linear cathodes 15 parallel to each other are formed on the front side of the back plate 12. It is formed. Further, a fluorescent layer 16 is formed adjacent to the inner surface of the cell barrier 13, and the fluorescent layer 16 emits red (R), green (G), and blue (B) fluorescent light for each cell 17. The body is provided in a predetermined pattern.

【0003】上記従来のDC型PDPにおいては、陽極
14と陰極15の間に直流電源から所定の電圧を印加し
て電場を形成することにより、前面板11と背面板12
とセル障壁13とで構成される表示要素しての各セル1
7の内部で放電が行われる。そして、この放電により生
じる紫外線が蛍光層16を発光させ、前面板11を透過
する光を観察者が視認するようになっている。
In the above-described conventional DC-type PDP, a front panel 11 and a rear panel 12 are formed by applying a predetermined voltage from a DC power source between an anode 14 and a cathode 15 to form an electric field.
Each cell 1 as a display element composed of a cell and a cell barrier 13
Discharge takes place inside 7. The ultraviolet light generated by the discharge causes the fluorescent layer 16 to emit light, and the light transmitted through the front plate 11 is visually recognized by the observer.

【0004】また、図2は反射型蛍光面を有する従来の
AC型PDPの一構成例を示すもので、このAC型PD
Pにおいても先のDC型PDPと同様に、ガラスからな
る平板状の前面板21と背面板22が互いに平行にかつ
対向して配設され、両者はその間に設けられたセル障壁
23により一定の間隔に保持されている。そして、セル
障壁の下に書込み用の電極24が形成されており、また
前面板21の背面側にはセル25に一対ずつ対応して電
極26,27が平行に形成され、さらにその背面側に誘
電体層28及び保護層29が形成されており、セル障壁
23の内面及び背面板22の前面側に蛍光層30が形成
されている。
FIG. 2 shows an example of the configuration of a conventional AC PDP having a reflective phosphor screen.
Similarly to the DC type PDP, a flat front plate 21 and a rear plate 22 made of glass are arranged in parallel and opposite to each other in P, and both are fixed by a cell barrier 23 provided therebetween. It is kept at intervals. An electrode 24 for writing is formed under the cell barrier, and electrodes 26 and 27 are formed in parallel on the rear side of the front plate 21 so as to correspond to the cells 25 in pairs, and on the rear side thereof. A dielectric layer 28 and a protective layer 29 are formed, and a fluorescent layer 30 is formed on the inner surface of the cell barrier 23 and the front side of the back plate 22.

【0005】上記従来のAC型PDPにおいては、前面
板21に形成された一対の電極26,27間に交流電源
から所定の電圧を印加して電場を形成することにより、
前面板21と背面板22とセル障壁23との間の表示要
素しての各セル25内で放電が行われる。そして、この
放電により生じる紫外線が蛍光層30を発光させ、前面
板21を透過する光を観察者が視認するようになってい
る。
In the above-mentioned conventional AC type PDP, an electric field is formed by applying a predetermined voltage from an AC power source between a pair of electrodes 26 and 27 formed on the front plate 21.
Discharge is performed in each cell 25 as a display element between the front plate 21, the back plate 22, and the cell barrier 23. The ultraviolet light generated by the discharge causes the fluorescent layer 30 to emit light, and the light transmitted through the front plate 21 is visually recognized by the observer.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の如き
カラーPDPでは今までに様々な改良がなされてきた。
しかしながら、PDPの輝度が十分でないためもあって
コントラストが十分とれていないのが現状である。
By the way, various improvements have been made in the color PDP as described above.
However, the current situation is that the contrast is not sufficient due to the insufficient brightness of the PDP.

【0007】ディスプレイを見やすくするには、反射率
を低減しコントラストを向上させることが効果があり、
これを実現するための手段としては、 前面板にND(Neutral Dencity)フィルター特性を持
たせる。 前面板にNd2 3 を入れ、発光体の主要スペクトル
以外のところで吸収特性を持たせる。 蛍光層以外の場所を低反射材料で埋める。すなわち、
ブラックマトリクスを形成する。 蛍光層に顔料を混合する。 蛍光層の前に顔料層を形成する。 赤,緑,青の各セルに対応して、発光スペクトル単一
波長だけ透過させるカラーフィルターを設ける。 等が考えられるが、PDPはCRTと異なり輝度にあま
り余裕がないため、輝度の減少を最低限に抑えてコント
ラストを上げるには、のブラックマトリクスとのカ
ラーフィルターが有効である。そして、カラーPDPに
おいては、視野角の点から考えると、前面板の内側にこ
れらを設ける必要がある。しかし、このために基板作成
の工程上450〜600℃程度、若しくはそれ以上の高
温に耐えるものであること及び出ガスがないことが要求
される。この点において、現在使用されている液晶表示
素子用のカラーフィルターをそのまま使用することはで
きない。
To make the display easier to see, it is effective to reduce the reflectance and improve the contrast.
As a means for achieving this, the front panel is provided with ND (Neutral Density) filter characteristics. Nd 2 O 3 is put in the front plate to give absorption characteristics outside the main spectrum of the luminous body. Fill the area other than the fluorescent layer with a low reflection material. That is,
A black matrix is formed. The pigment is mixed with the fluorescent layer. A pigment layer is formed before the fluorescent layer. A color filter that transmits only a single wavelength of the emission spectrum is provided for each of the red, green, and blue cells. However, unlike a CRT, a PDP does not have much room for luminance. Therefore, a color filter with a black matrix is effective for minimizing luminance decrease and increasing contrast. Then, in the color PDP, it is necessary to provide them inside the front plate in view of the viewing angle. However, for this purpose, it is required that the substrate be able to withstand a high temperature of about 450 to 600 ° C. or higher and that no gas is emitted in the process of forming the substrate. In this regard, the currently used color filters for liquid crystal display elements cannot be used as they are.

【0008】一方、材料をペースト化してスクリーン印
刷によってカラーフィルターを形成する方法が知られて
いるが、膜厚均一性、解像性、加工精度において、特に
大型化を考えた場合に必ずしも満足のいくものではな
い。
On the other hand, a method of forming a color filter by screen printing by converting a material into a paste is known. However, the film thickness uniformity, the resolution, and the processing accuracy are not always satisfactory especially when considering a large size. It doesn't work.

【0009】本発明は、上述のような背景に鑑みてなさ
れたものであり、耐熱性に優れるとともに出ガスがな
く、しかも膜厚均一性、解像性、加工精度においても満
足のいくカラーフィルターを形成できるプラズマディス
プレイ用基板のカラーフィルター形成方法を提供するこ
とを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above background, and has excellent heat resistance, no gas emission, and satisfactory color uniformity, resolution, and processing accuracy. It is an object of the present invention to provide a method for forming a color filter of a substrate for a plasma display capable of forming a color filter.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のプラズマディスプレイ用基板のカラーフ
ィルター形成方法は、カラーフィルターを形成すべきガ
ラス基板上に耐熱性のある着色剤を含有した感光性樹脂
組成物を塗布する塗布工程と、カラーフィルターパター
ンのマスクを介しての露光によりパターニング部分を形
成する露光工程と、非露光部分を現像によって除去する
現像工程と、感光性樹脂組成物の有機分を焼成により焼
失してフィルター部分を形成する焼成工程とからなるこ
とを特徴としている。
In order to achieve the above-mentioned object, a method of forming a color filter for a plasma display substrate according to the present invention comprises a heat-resistant coloring agent on a glass substrate on which a color filter is to be formed. A coating step of applying the photosensitive resin composition thus obtained, an exposure step of forming a patterned portion by exposure through a color filter pattern mask, a development step of removing an unexposed portion by development, and a photosensitive resin composition. And a firing step of forming a filter portion by burning off the organic components of the organic solvent.

【0011】そして、異なる透過波長をもつ複数のフィ
ルターを同一平面上に形成する場合には、異なる透過波
長をもつ複数の着色剤をそれぞれ含有した各感光性樹脂
組成物について、前記の塗布工程、露光工程、現像工程
を繰り返して行った後で焼成工程を行うことにより、基
板上に選択的に各色が配列されたフィルター部分を形成
するようにすればよい。
In the case where a plurality of filters having different transmission wavelengths are formed on the same plane, the above-mentioned coating step may be applied to each photosensitive resin composition containing a plurality of colorants having different transmission wavelengths. The baking step is performed after the exposure step and the developing step are repeatedly performed, so that a filter portion in which each color is selectively arranged may be formed on the substrate.

【0012】さらに、ブラックマトリクスを形成する場
合には、耐熱性の黒色顔料を加えた感光性樹脂組成物に
ついて同様の工程を加えるようにすればよいものであ
る。
Further, when a black matrix is formed, a similar step may be added to a photosensitive resin composition to which a heat-resistant black pigment has been added.

【0013】なお、上記塗布工程をドクターブレードコ
ーティングにより行うことが好ましく、また上記露光工
程をガラス基板の塗布面と反対側の面から行うようにす
ることが好ましい。
It is preferable that the application step is performed by doctor blade coating, and that the exposure step is performed from the surface opposite to the application surface of the glass substrate.

【0014】上記の形成方法において使用する着色剤と
しては、耐熱性顔料又は色ガラスを使用することがで
き、さらには基板ガラス中のアルカリイオンを着色イオ
ンと交換するような材料も使用することができる。
As the coloring agent used in the above-mentioned forming method, a heat-resistant pigment or colored glass can be used, and further, a material which exchanges alkali ions in the substrate glass with colored ions can be used. it can.

【0015】[0015]

【作用】上述の本発明のプラズマディスプレイ用基板の
カラーフィルター形成方法によれば、フォトリソ法によ
り膜厚が均一で、解像性及び加工精度に優れたカラーフ
ィルターが形成される。また、焼成工程により有機分が
焼失せしめられ、出ガスのないカラーフィルターが形成
される。
According to the method for forming a color filter of a substrate for a plasma display of the present invention, a color filter having a uniform film thickness and excellent in resolution and processing accuracy is formed by a photolithography method. In addition, organic components are burned off in the firing step, and a color filter without gas emission is formed.

【0016】[0016]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0017】図3は本発明に係るプラズマディスプレイ
用基板のカラーフィルター形成方法の工程図である。
FIG. 3 is a process chart of a method for forming a color filter on a substrate for a plasma display according to the present invention.

【0018】まず、図3の(a)に示すように、ガラス
からなる平面状の基板1を洗浄してフィルター形成面を
決定する。ここで、フロート方式で形成されたガラス基
板などを使用する時には、使用する着色剤に応じてガラ
ス面を錫面とするか又は非錫面とするかを選択する必要
がある。すなわち、錫面にすると、使用する着色剤の種
類によっては錫のイオンがガラス中に入って悪影響を及
ぼすことがあり、また着色剤として基板ガラス中のアル
カリイオンを着色イオンと交換するような材料を使用す
る場合には、錫面の方がイオン交換がしやすくて発色が
よくなる場合が少なくない。
First, as shown in FIG. 3A, a flat substrate 1 made of glass is washed to determine a filter forming surface. Here, when using a glass substrate or the like formed by a float method, it is necessary to select whether the glass surface is a tin surface or a non-tin surface according to the coloring agent used. In other words, when a tin surface is used, tin ions may enter the glass depending on the type of the coloring agent used and exert an adverse effect, and a material that exchanges alkali ions in the substrate glass with the coloring ions as a coloring agent. In the case of using tin, there are many cases where the tin surface is more easily ion-exchanged and the coloration is improved.

【0019】次に、(b)に示す工程では、基板1上の
カラーフィルターを形成すべき面に着色剤を含有する感
光性樹脂組成物2を全面塗布して乾燥させる。塗布方法
としては、スプレー法、スピンナー法、ディップ法、印
刷法、ブレードコーター法、ロールコーター法など任意
のコーティング方法を採用することができる。
Next, in the step (b), the photosensitive resin composition 2 containing a colorant is applied to the entire surface of the substrate 1 on which the color filter is to be formed and dried. As a coating method, any coating method such as a spray method, a spinner method, a dip method, a printing method, a blade coater method, and a roll coater method can be adopted.

【0020】続いて、(c)に示す工程では、カラーフ
ィルターパターンのマスクMを介してパターン露光して
パターニング部分2aを形成する。この際、パターン形
状がやや劣るものの、塗布膜面とは反対側の面から露光
すると密着性が向上するとともに膜厚均一性が向上す
る。
Subsequently, in a step shown in FIG. 3C, patterning is performed by pattern exposure through a color filter pattern mask M to form a patterning portion 2a. At this time, although the pattern shape is slightly inferior, exposure from the surface opposite to the coating film surface improves the adhesion and the uniformity of the film thickness.

【0021】次いで、(d)に示す工程では、現像にか
けて非露光部分2bを除去した後、パターニング部分2
aを乾燥して硬膜化する。
Next, in the step (d), after the unexposed portion 2b is removed by development, the patterning portion 2b is removed.
a is dried and hardened.

【0022】3色のカラーPDPの場合は、赤,緑,青
の透過波長をもつ着色剤をそれぞれ含有した感光性樹脂
組成物について、(b)の塗布工程、(c)の露光工
程、(d)の現像工程を繰り返すようにする。さらに、
ブラックマトリクスを入れる場合には、耐熱性の黒色顔
料を加えた感光性樹脂組成物について同様の工程を加え
るようにする。
In the case of three color PDPs, a photosensitive resin composition containing a colorant having a transmission wavelength of red, green, and blue, respectively, is applied to the photosensitive resin composition (b), the exposure step (c), and the exposure step (c). The developing step d) is repeated. further,
When a black matrix is provided, the same steps are performed for a photosensitive resin composition to which a heat-resistant black pigment has been added.

【0023】最後に、基板を焼成工程に移し、着色反応
に十分な温度で焼成し、残留する有機分を焼失せしめ
る。以上の工程により、ブラックマトリクスを入れた3
色(R,G,B)のカラーフィルターの場合には、基板
1上に(d)に示すようなパターンのフィルター部分3
とブラックマトリクス4とからなるカラーフィルターが
形成される。
Finally, the substrate is moved to a firing step, where the substrate is fired at a temperature sufficient for a coloring reaction to burn off remaining organic components. Through the above steps, 3 containing the black matrix
In the case of a color filter of colors (R, G, B), a filter portion 3 having a pattern as shown in FIG.
And a black matrix 4 are formed.

【0024】上記のように着色剤を含有する感光性樹脂
組成物を使用したことにより、均一性が高く、解像性及
び寸法精度に優れたカラーフィルターを形成できる。ま
た、焼成工程を通すことにより、出ガスの原因となる有
機分を焼失することができるものである。この際に、着
色剤によっては密着性が高くなり着色反応を促進するこ
とが期待できる。
By using a photosensitive resin composition containing a colorant as described above, a color filter having high uniformity, excellent resolution and dimensional accuracy can be formed. Further, by passing through the firing step, it is possible to burn out the organic components that cause outgassing. At this time, depending on the colorant, it can be expected that the adhesion will be increased and the coloring reaction will be accelerated.

【0025】感光性樹脂組成物に分散させる着色剤とし
ては、耐熱性の顔料であればいずれも使用することがで
きる。この場合、基板の作製工程に依存するが450〜
600℃程度の耐熱性があればよい。また、薄い膜厚で
波長選択性が確保できる色ガラス、基板ガラス中のアル
カリイオンを着色イオンと交換するような材料等も使用
することができる。また、発色とその安定性、耐熱性、
密着性、表面平滑性の向上のために低融点のガラスフリ
ットを混合することも有効である。
As the colorant dispersed in the photosensitive resin composition, any heat-resistant pigment can be used. In this case, although it depends on the manufacturing process of the substrate, 450 to
What is necessary is just to have the heat resistance of about 600 degreeC. In addition, a color glass that can ensure wavelength selectivity with a thin film thickness, a material that exchanges alkali ions in a substrate glass with colored ions, and the like can be used. In addition, color development and its stability, heat resistance,
It is also effective to mix a glass frit having a low melting point to improve adhesion and surface smoothness.

【0026】耐熱性顔料の種類は多いが、代表的なもの
としては、鉄系(赤)、アルミン酸マンガン系(桃
色)、金系(桃色)、アンチモン−チタン−クロム系
(橙色)、鉄−クロム−亜鉛系(褐色)、鉄系(褐
色)、チタン−クロム系(黄褐色)、鉄−クロム−亜鉛
系(黄褐色)、鉄−アンチモン系(黄褐色)、アンチモ
ン−チタン−クロム系(黄色)、亜鉛−バナジウム系
(黄色)、ジルコニウム−バナジュウム系(黄色)、ク
ロム系(緑色)、バナジウム−クロム系(緑色)、コバ
ルト系(青色)、アルミン酸コバルト系(青色)、バナ
ジウム−ジルコニウム系(青色)、コバルト−クロム−
鉄系(黒色)等があり、これらを混合して色調を合わせ
ることも可能である。そして、粒径1μm以上の粒子が
全粒子の10wt%以下であることが望ましい。すなわ
ち、粒径の大きな粒子が多いと透過度が低下して輝度の
低下をもたらすからである。
Although there are many types of heat-resistant pigments, typical ones are iron (red), manganese aluminate (pink), gold (pink), antimony-titanium-chromium (orange), iron -Chromium-zinc (brown), iron (brown), titanium-chromium (yellow-brown), iron-chromium-zinc (yellow-brown), iron-antimony (yellow-brown), antimony-titanium-chromium (Yellow), zinc-vanadium (yellow), zirconium-vanadium (yellow), chromium (green), vanadium-chromium (green), cobalt (blue), cobalt aluminate (blue), vanadium- Zirconium (blue), cobalt-chromium-
There are iron-based (black) and the like, and the color tone can be adjusted by mixing these. It is desirable that particles having a particle size of 1 μm or more account for 10% by weight or less of all particles. That is, if there are many particles having a large particle diameter, the transmittance is reduced and the luminance is reduced.

【0027】色ガラスは着色機構からも種類が非常に多
い。また同じ原料でも条件によって色が変わる。一例を
示すと、フリットは珪酸(SiO2 )、酸化鉛(Pb
O)、酸化カリウム(K2 5 )、硼酸(B2 3 )、
フッ化アルミ(AlF3 )、酸化砒素(As2 3 )等
を含むカリ鉛ガラスが主成分であり、原料としては、珪
石、鉛丹、黄色酸化鉛、鉛白、カリ硝石、硼酸、硼砂、
重炭酸ソーダ、フッ化物等が使用される。これに着色剤
として亜砒酸(白)、酸化錫(白)、酸化銅(緑)、酸
化コバルト(青)、重クロム酸カリ(黄色)、酸化アン
チモン(黄色)、酸化鉄(茶色)、二酸化マンガン(紫
色)、酸化ニッケル(紫色)、塩化金(赤)、ウラン酸
ソーダ(橙色)、セレン赤(朱赤色)等が組み合わされ
て混合される。そして、これらを混合し加熱溶融してガ
ラス化したものを冷却粉砕したものを使用する。
There are many types of colored glass due to the coloring mechanism. Also, the color of the same raw material changes depending on the conditions. As an example, the frit is made of silicic acid (SiO 2 ), lead oxide (Pb).
O), potassium oxide (K 2 O 5 ), boric acid (B 2 O 3 ),
The main component is potassium lead glass containing aluminum fluoride (AlF 3 ), arsenic oxide (As 2 O 3 ), etc. The raw materials are silica stone, lead red, yellow lead oxide, lead white, potassium nitrite, boric acid, borax ,
Sodium bicarbonate, fluoride and the like are used. As coloring agents, arsenous acid (white), tin oxide (white), copper oxide (green), cobalt oxide (blue), potassium dichromate (yellow), antimony oxide (yellow), iron oxide (brown), manganese dioxide (Purple), nickel oxide (purple), gold chloride (red), sodium uranate (orange), selenium red (red) and the like are combined and mixed. Then, a mixture obtained by mixing, heating and melting, vitrifying and cooling and pulverized is used.

【0028】基板ガラス中のアルカリイオンを着色イオ
ンと交換するような材料の代表的なものとしては、赤
(硫酸銅5〜40重量部、アルカリ金属塩40〜90重
量部、無機充填物5〜55重量部)、緑(硫酸銅40〜
90重量部、アルカリ金属塩40〜90重量部、無機充
填物5〜20重量部)、青(硫酸コバルト40〜80重
量部、アルカリ金属塩40〜90重量部、無機充填物5
〜20重量部)等を使用できる。
As a typical material for exchanging alkali ions in the substrate glass with colored ions, red (copper sulfate 5 to 40 parts by weight, alkali metal salt 40 to 90 parts by weight, inorganic filler 5 to 5 parts by weight) is used. 55 parts by weight), green (copper sulfate 40 ~)
90 parts by weight, alkali metal salt 40 to 90 parts by weight, inorganic filler 5 to 20 parts by weight, blue (cobalt sulfate 40 to 80 parts by weight, alkali metal salt 40 to 90 parts by weight, inorganic filler 5)
To 20 parts by weight).

【0029】ここで、アルカリ金属塩は、アルカリ金属
硫酸塩として硫酸リチウム、硫酸ナトリウム、硫酸カリ
ウムを、アルカリ土類金属硫酸塩として硫酸亜鉛、硫酸
カルシウム、硫酸マグネシウム、硫酸バリウムを1種類
若しくは2種類以上混合して用いる。これらは主にガラ
ス表面で溶融してガラス基板表面への密着性を向上して
イオン交換を増進させる働きがあると思われる。
Here, the alkali metal salts are lithium sulfate, sodium sulfate, and potassium sulfate as alkali metal sulfates, and one or two kinds of alkaline earth metal sulfates are zinc sulfate, calcium sulfate, magnesium sulfate, and barium sulfate. The above mixture is used. These are considered to have the function of melting mainly on the glass surface to improve the adhesion to the glass substrate surface and promote ion exchange.

【0030】無機充填物は、焼成時の溶融液の縮み防止
や呈色された色調の濃淡をコントロールする働きを兼ね
備えていると思われ、各種の耐熱性無機物を使用でき
る。例えば、アルミナ(Al2 3 )、酸化チタン(T
iO2 )、ジルコン(ZrO2)、珪酸ジルコニウム
(ZrSiO2 )、炭酸カルシウム(CaO2 )、酸化
鉄(Fe2 3 )等が使用できる。また必要に応じて1
重量部以下の銀塩(AgNO3 ,Ag2 O,Ag2 SO
4 ,Ag2 S)を加えることにより、着色の鮮明さや色
調に変化を与えられる場合があり、より多彩な色調を発
揮できる。
The inorganic filler is considered to have a function of preventing shrinkage of the melt at the time of firing and a function of controlling the density of a color tone, and various kinds of heat-resistant inorganic substances can be used. For example, alumina (Al 2 O 3 ), titanium oxide (T
iO 2 ), zircon (ZrO 2 ), zirconium silicate (ZrSiO 2 ), calcium carbonate (CaO 2 ), iron oxide (Fe 2 O 3 ) and the like can be used. 1 if necessary
Parts by weight or less of silver salt (AgNO 3 , Ag 2 O, Ag 2 SO
By adding 4 , Ag 2 S), the clarity of coloring and the color tone may be changed in some cases, and a wider variety of color tones can be exhibited.

【0031】また、本発明で使用される感光性樹脂組成
物には、分散される物質に影響を受けない、発色に影響
を与えない、焼成時に焼失でき残さを殆ど残さない等の
条件を満たすものであればどのような感光性ポリマーを
用いてもよく、また、どのような光架橋剤を用いてもよ
い。特に、設備の簡便さ、経済性、作業上の安全性を考
慮すると、水溶性(水現像性)の感光性樹脂組成物が扱
いやすい。
Further, the photosensitive resin composition used in the present invention satisfies conditions such as being unaffected by the substance to be dispersed, having no effect on color development, being burnt off during firing and leaving little residue. Any photosensitive polymer may be used, and any photocrosslinking agent may be used. In particular, a water-soluble (water-developable) photosensitive resin composition is easy to handle in view of simplicity of equipment, economy, and operational safety.

【0032】感光性ポリマーとしては、ポリアクリルア
ミド、ポリビニルピロリドン、ポリビニルメチルエーテ
ル、ポリビニルアセタール、ゼラチン、カゼイン、グリ
ュー、ポリエチレンオキシド等の単独重合体、或いはア
クリルアミド−ジアセトアミドの共重合体、マレイン酸
−メチルビニルエーテル共重合体、アクリルアミド−ビ
ニルアルコール共重合体、ポリイソプレン、ポリケイ皮
酸ビニル、ポリビニルアルコール、天然ゴム等が好まし
く用いられる。一方、光架橋剤としては、ジアゾ化合
物、アジド化合物等の有機硬化剤が好ましいが、市販の
レジストを活用してもよいことは言うまでもない。
Examples of the photosensitive polymer include homopolymers such as polyacrylamide, polyvinylpyrrolidone, polyvinyl methyl ether, polyvinyl acetal, gelatin, casein, glue, polyethylene oxide, acrylamide-diacetamide copolymer, and maleic acid-methyl ester. Vinyl ether copolymer, acrylamide-vinyl alcohol copolymer, polyisoprene, polyvinyl cinnamate, polyvinyl alcohol, natural rubber and the like are preferably used. On the other hand, as the photo-crosslinking agent, an organic curing agent such as a diazo compound or an azide compound is preferable, but it goes without saying that a commercially available resist may be used.

【0033】本発明で使用する感光性樹脂組成物は、上
記の成分を必須成分とするが、その他従来公知の添加剤
はいずれも必要に応じて包含し得るものである。また、
使用する溶媒の量は、使用する感光性ポリマーの種類や
着色剤の濃度、塗布方法によって変化するが、一般には
20〜80wt%になる範囲が良好である。また、着色
剤を感光性樹脂組成物に分散させる方法としては、例え
ばボールミル、サンドミル、ロールミル、スピードライ
ンミル等がいずれも使用でき、本発明においてはボール
ミルが特に有用である。
The photosensitive resin composition used in the present invention contains the above-mentioned components as essential components, but may include any other conventionally known additives as necessary. Also,
The amount of the solvent to be used varies depending on the type of the photosensitive polymer to be used, the concentration of the colorant, and the method of application, but is generally preferably in the range of 20 to 80% by weight. Further, as a method of dispersing the colorant in the photosensitive resin composition, for example, any of a ball mill, a sand mill, a roll mill, a speed line mill and the like can be used, and a ball mill is particularly useful in the present invention.

【0034】上記の着色剤を含有する感光性樹脂組成物
をガラス基板上に塗布する方法としては、ドクターブレ
ードコーティング、ミヤアバーコーティング、ロールコ
ーティング、スクリーンコーティング、スクリーン印
刷、スピンナーコーティング等公知のコーティング方法
はいずれも使用できるが、気泡の抱き込み、着色剤の沈
降等の防止、気泡の混入、塗布量の均一性などの点から
ドクターブレードコーティングが最も適している。
As a method for applying the photosensitive resin composition containing the colorant on a glass substrate, known coating methods such as doctor blade coating, miller bar coating, roll coating, screen coating, screen printing, spinner coating and the like can be used. Any of these can be used, but doctor blade coating is most suitable from the viewpoint of prevention of entrapment of air bubbles, sedimentation of a coloring agent, mixing of air bubbles, and uniformity of application amount.

【0035】以上の如くして形成するコーティング膜
は、材料によって膜厚は異なるが、一般的には乾燥時で
5〜50μm程度が好ましい。コーティング膜の乾燥、
パターニング露光による硬化、未露光部分の溶出による
現像、さらには焼成などの各工程及びそれらの条件は既
に述べた通りまた後述する具体例で例示する如く、特に
限定はなく、従来技術におけるのと同様でよい。
The thickness of the coating film formed as described above varies depending on the material, but is generally preferably about 5 to 50 μm when dried. Drying of coating film,
Curing by patterning exposure, development by elution of unexposed portions, and further, each step such as baking and the conditions thereof are not particularly limited as described above and exemplified in the specific examples described later, and are the same as those in the prior art. Is fine.

【0036】[具体例]まず、着色剤を含有する感光性
樹脂組成物(スラリー)を次のようにして作製した。
[Specific Example] First, a photosensitive resin composition (slurry) containing a colorant was prepared as follows.

【0037】赤色フィルター用スラリーとしては、硫酸
銅7.4wt%、硫酸ナトリウム14.7wt%、アル
ミナ7.4wt%、ゼラチン1.7wt%、メタノール
14.7wt%、純水54.1wt%を混合したものを
ボールミルにて分散し、使用時に全量の1.02wt%
のp−ジアゾジフェニルアミンのホルムアルデヒド縮合
物(シンコー技研株式会社製D−014)を混合した。
As a slurry for the red filter, 7.4% by weight of copper sulfate, 14.7% by weight of sodium sulfate, 7.4% by weight of alumina, 1.7% by weight of gelatin, 14.7% by weight of methanol, and 54.1% by weight of pure water were mixed. Dispersed in a ball mill, 1.02wt% of the total amount when used
Was mixed with a formaldehyde condensate of p-diazodiphenylamine (D-014, manufactured by Shinko Giken Co., Ltd.).

【0038】緑色フィルター用スラリーとしては、硫酸
銅0.9wt%、酸化コバルト0.9wt%、酸化クロ
ム0.6wt%、ガラスフリット27.1wt%、ゼラ
チン1.7wt%、メタノール14.7wt%、純水5
4.1wt%を混合したものをボールミルにて分散し、
使用時に全量の1.02wt%のp−ジアゾジフェニル
アミンのホルムアルデヒド縮合物(シンコー技研株式会
社製D−014)を混合した。
The slurry for the green filter includes copper sulfate 0.9 wt%, cobalt oxide 0.9 wt%, chromium oxide 0.6 wt%, glass frit 27.1 wt%, gelatin 1.7 wt%, methanol 14.7 wt%, Pure water 5
The mixture obtained by mixing 4.1 wt% is dispersed in a ball mill,
At the time of use, 1.02 wt% of a total amount of a formaldehyde condensate of p-diazodiphenylamine (D-014 manufactured by Shinko Giken Co., Ltd.) was mixed.

【0039】青色フィルター用スラリーとしては、コバ
ルト系顔料4.4wt%、ガラスフリット25.1wt
%、ゼラチン1.7wt%、メタノール14.7wt
%、純水54.1wt%を混合したものをボールミルに
て分散し、使用時に全量の1.02wt%のp−ジアゾ
ジフェニルアミンのホルムアルデヒド縮合物(シンコー
技研株式会社製D−014)を混合した。
As the slurry for the blue filter, 4.4 wt% of a cobalt pigment and 25.1 wt of a glass frit were used.
%, Gelatin 1.7wt%, methanol 14.7wt
% And pure water 54.1 wt% were dispersed in a ball mill, and 1.02 wt% of a total amount of formaldehyde condensate of p-diazodiphenylamine (D-014 manufactured by Shinko Giken Co., Ltd.) was mixed at the time of use.

【0040】ブラックマトリクス用スラリーとしては、
コバルト−クロム−鉄系耐熱黒色顔料4.4wt%、ガ
ラスフリット25.1wt%、ゼラチン1.7wt%、
メタノール14.7wt%、純水54.1wt%を混合
したものをボールミルにて分散し、使用時に全量の1.
02wt%のp−ジアゾジフェニルアミンのホルムアル
デヒド縮合物(シンコー技研株式会社製D−014)を
混合した。
As the slurry for the black matrix,
Cobalt-chromium-iron heat-resistant black pigment 4.4 wt%, glass frit 25.1 wt%, gelatin 1.7 wt%,
A mixture of 14.7% by weight of methanol and 54.1% by weight of pure water was dispersed in a ball mill, and when used, the total amount of the mixture was 1.
A formaldehyde condensate of p-diazodiphenylamine (D-014, manufactured by Shinko Giken Co., Ltd.) was mixed at 02 wt%.

【0041】次に、ガラス基板1上にブラックマトリク
ス用スラリーをドクターブレードコーティングにより3
0℃で塗布し常温にて乾燥させた後、マスクMを介して
350nm付近に最大波長をもつ紫外線を62mJ/c
2 露光してパターニング部分2aを形成した。次い
で、水によるスプレー現像を行って未露光部分2bを除
去した。続いて、160℃にてパターニング部分2aの
乾燥及び硬膜化を行った後、約580℃で30分間焼成
することによりスラリー中の樹脂分(ゼラチン)及び硬
化剤(p−ジアゾジフェニルアミンのホルムアルデヒド
縮合物)等の有機分を焼失せしめた。
Next, a slurry for a black matrix was coated on the glass substrate 1 by doctor blade coating.
After coating at 0 ° C. and drying at room temperature, an ultraviolet ray having a maximum wavelength around 350 nm is irradiated with 62 mJ / c through a mask M.
Exposure to m 2 formed a patterning portion 2a. Next, the unexposed portion 2b was removed by spray development with water. Subsequently, after drying and hardening of the patterning portion 2a at 160 ° C., the resin component (gelatin) in the slurry and the curing agent (formaldehyde condensation of p-diazodiphenylamine) are baked at about 580 ° C. for 30 minutes. ) Was burned off.

【0042】引き続いて、緑色フィルター用スラリー、
青色フィルター用スラリー、赤色フィルター用スラリー
についても塗布、乾燥、露光、現像を同様に繰り返し、
約580℃で30分間焼成することによりスラリー中の
樹脂分(ゼラチン)及び硬化剤(p−ジアゾフェニルア
ミンのホルムアルデヒド縮合物)等の有機分を焼失せし
め、基板に赤、緑、青に塗り分けられたカラーフィルタ
ーを形成した。
Subsequently, a slurry for a green filter,
For the blue filter slurry and the red filter slurry, coating, drying, exposure and development are repeated in the same manner,
By baking at about 580 ° C. for 30 minutes, organic components such as a resin component (gelatin) and a curing agent (formaldehyde condensate of p-diazophenylamine) in the slurry are burned off, and the substrate is separately coated in red, green and blue. The resulting color filter was formed.

【0043】このようにして形成したカラーフィルター
の上から電極その他を形成し、図4及び図5に示すよう
なDC型カラーPDP、AC型カラーPDPを形成し
た。これにより、コントラストの高いPDPを得ること
ができた。なお、図4及び図5ではフィルター以外の各
部分については図1及び図2のものと同じ符号を付して
いる。
Electrodes and the like were formed on the color filter thus formed, and a DC color PDP and an AC color PDP as shown in FIGS. 4 and 5 were formed. As a result, a PDP with high contrast could be obtained. 4 and 5, the same reference numerals as those in FIGS. 1 and 2 denote parts other than the filter.

【0044】[0044]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、耐熱性のある着色剤を含有した感光性樹脂組
成物を使用してフォトリソ法により所定のパターンを形
成し、さらに焼成を通して有機分を焼失するようにした
ので、耐熱性に優れ、出ガスのない、膜厚均一性、解像
性、加工精度においても満足のいくプラズマディスプレ
イ用基板のカラーフィルターを形成することができる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, a predetermined pattern is formed by a photolithography method using a photosensitive resin composition containing a heat-resistant colorant, and then fired. The organic component is burned off through the process, so it is possible to form a color filter for a plasma display substrate that is excellent in heat resistance, has no outgassing, and is satisfactory in film thickness uniformity, resolution, and processing accuracy. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来のDC型プラズマディスプレイパネルの一
構成例を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing one configuration example of a conventional DC plasma display panel.

【図2】従来のAC型プラズマディスプレイパネルの一
構成例を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a configuration example of a conventional AC plasma display panel.

【図3】本発明に係るプラズマディスプレイ用基板のカ
ラーフィルター形成方法の工程図である。
FIG. 3 is a process diagram of a method for forming a color filter of a plasma display substrate according to the present invention.

【図4】カラーフィルターを形成した基板を前面板に用
いたDC型プラズマディスプレイパネルの断面図であ
る。
FIG. 4 is a cross-sectional view of a DC plasma display panel using a substrate on which a color filter is formed as a front plate.

【図5】カラーフィルターを形成した基板を前面板に用
いたAC型プラズマディスプレイパネルの断面図であ
る。
FIG. 5 is a cross-sectional view of an AC plasma display panel using a substrate on which a color filter is formed as a front plate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 2 着色剤を含有した感光性樹脂組成物 2a パターニング部分 2b 非露光部分 3 フィルター部分 4 ブラックマトリクス M マスク Reference Signs List 1 glass substrate 2 photosensitive resin composition containing colorant 2a patterned portion 2b unexposed portion 3 filter portion 4 black matrix M mask

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−279803(JP,A) 特開 昭60−129707(JP,A) 特開 平4−249032(JP,A) 特開 平1−145603(JP,A) 特開 昭62−150202(JP,A) 特開 昭58−224310(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 9/24 G02B 5/20 H01J 17/49 Continuation of the front page (56) References JP-A-61-279803 (JP, A) JP-A-60-129707 (JP, A) JP-A-4-249032 (JP, A) JP-A-1-145603 (JP) JP-A-62-150202 (JP, A) JP-A-58-224310 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01J 9/24 G02B 5/20 H01J 17/49

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 カラーフィルターを形成すべきガラス基
板上に耐熱性のある着色剤を含有した感光性樹脂組成物
を塗布する塗布工程と、カラーフィルターパターンのマ
スクを介しての露光によりパターニング部分を形成する
露光工程と、非露光部分を現像によって除去する現像工
程と、感光性樹脂組成物の有機分を焼成により焼失して
フィルター部分を形成する焼成工程とからなることを特
徴とするプラズマディスプレイ用基板のカラーフィルタ
ー形成方法。
1. A coating step of applying a photosensitive resin composition containing a heat-resistant colorant onto a glass substrate on which a color filter is to be formed, and a patterning portion formed by exposure through a color filter pattern mask. A plasma display comprising: an exposing step of forming, a developing step of removing an unexposed part by development, and a baking step of forming a filter part by burning off an organic component of the photosensitive resin composition by baking. A method of forming a color filter on a substrate.
【請求項2】 請求項1記載のプラズマディスプレイ用
基板のカラーフィルター形成方法において、異なる透過
波長をもつ複数の着色剤をそれぞれ含有した各感光性樹
脂組成物について、前記の塗布工程、露光工程、現像工
程を繰り返して行った後で焼成工程を行うことにより、
基板上に選択的に各色が配列されたフィルター部分を形
成することを特徴とするプラズマディスプレイ用基板の
カラーフィルター形成方法。
2. The method for forming a color filter of a substrate for a plasma display according to claim 1, wherein the coating step, the exposing step, and the photosensitive resin composition each containing a plurality of coloring agents having different transmission wavelengths. By performing the firing step after repeatedly performing the development step,
A method of forming a color filter for a substrate for a plasma display, comprising: forming a filter portion in which each color is arranged selectively on a substrate.
【請求項3】 請求項1又は2記載のプラズマディスプ
レイ用基板のカラーフィルター形成方法において、耐熱
性の黒色顔料を加えた感光性樹脂組成物について同様の
工程を加えることによりブラックマトリクスを形成する
ことを特徴とするプラズマディスプレイ用基板のカラー
フィルター形成方法。
3. The method for forming a color filter of a substrate for a plasma display according to claim 1, wherein a black matrix is formed by adding a similar step to the photosensitive resin composition to which a heat-resistant black pigment is added. A method for forming a color filter on a substrate for a plasma display, comprising:
【請求項4】 布工程をドクターブレードコーティン
グにより行うことを特徴とする請求項1,2又は3記載
のプラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター形成
方法。
4. A color filter forming method of the plasma display substrate according to claim 1, 2 or 3, wherein the performing the coating cloth step by doctor blade coating.
【請求項5】 光工程をガラス基板の塗布面と反対側
の面から行うことを特徴とする請求項1,2,3又は4
記載のプラズマディスプレイ用基板のカラーフィルター
形成方法。
Claim 1, 2, 3 or 4 wherein EXPOSURE step and performing a surface opposite to the coated surface of the glass substrate
A method for forming a color filter on a substrate for a plasma display according to the above.
【請求項6】 色剤として耐熱性顔料を使用すること
を特徴とする請求項1,2,3,4又は5記載のプラズ
マディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法。
6. The color filter forming method of the plasma display substrate according to claim 1, 2, 3, 4 or 5, wherein the use of heat-resistant pigment as wearing colorant.
【請求項7】 色剤として色ガラスを使用することを
特徴とする請求項1,2,3,4又は5記載のプラズマ
ディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法。
7. The color filter forming method of the plasma display substrate according to claim 1, 2, 3, 4 or 5, wherein the use of colored glass as wearing colorant.
【請求項8】 色剤として基板ガラス中のアルカリイ
オンを着色イオンと交換するような材料を使用すること
を特徴とする請求項1,2,3,4又は5記載のプラズ
マディスプレイ用基板のカラーフィルター形成方法。
8. wearing colorant as a plasma display substrate according to claim 1, 2, 3, 4 or 5, wherein the use of materials such as the alkali ions of the substrate in the glass exchanges with coloring ions Color filter forming method.
【請求項9】 前面板に3色のカラーフィルターを有す9. The front panel has three color filters.
るプラズマディスプレイパネルであって、前記カラーフA plasma display panel,
ィルターは、着色剤として耐熱顔料を含有した感光性樹Filters are photosensitive resins that contain heat-resistant pigments as colorants.
脂組成物を使用してフォトリソ法により所定のパターンPredetermined pattern by photolithography method using fat composition
を形成し、さらに焼成を通して有機分を焼失せしめるこAnd burn off organic components through firing.
とで作成されてなるもので、カラーフィルター中の耐熱The heat resistance in the color filter
顔料は粒径1μm以上の粒子が全粒子の10wt%以下For pigments, particles with a particle size of 1 μm or more are 10 wt% or less of all particles.
であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。A plasma display panel, characterized in that:
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