JP3172730B2 - 不純物溶出の少ない熱交換器 - Google Patents
不純物溶出の少ない熱交換器Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超純水を処理する不純物
溶出の少ない熱交換器、特に超純水を加熱して温超純水
を製造するのに適したプレート型熱交換器に関するもの
である。
溶出の少ない熱交換器、特に超純水を加熱して温超純水
を製造するのに適したプレート型熱交換器に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】図４は温超純水製造装置のフロー図であ
り、図において、３１は熱回収用熱交換器、３２は加熱
用熱交換器、３３は限外濾過膜装置、３４はユースポイ
ントである。温超純水の製造方法は、超純水を熱回収用
熱交換器３１でリターン純水と熱交換して熱回収し、加
熱用熱交換器３２で蒸気により加熱し、限外濾過膜装置
３３で不純物を除去して製造され、ユースポイント３４
に送り使用される。
り、図において、３１は熱回収用熱交換器、３２は加熱
用熱交換器、３３は限外濾過膜装置、３４はユースポイ
ントである。温超純水の製造方法は、超純水を熱回収用
熱交換器３１でリターン純水と熱交換して熱回収し、加
熱用熱交換器３２で蒸気により加熱し、限外濾過膜装置
３３で不純物を除去して製造され、ユースポイント３４
に送り使用される。
【０００３】上記の熱交換器３１、３２はプレート型熱
交換器が用いられており、その熱交換材として、従来は
ステンレス鋼、チタン、フッ素樹脂などからなる熱交換
器が用いられている。
交換器が用いられており、その熱交換材として、従来は
ステンレス鋼、チタン、フッ素樹脂などからなる熱交換
器が用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが超純水は、イ
オン交換装置等を含む一次純水システムにより塩類等の
不純物を除去した一次純水を、さらに二次純水システム
により有機物その他の不純物を除去した高純度の純水で
あるため、熱交換器における熱交換材から不純物が溶出
すると、純度が低下する。従来の熱交換器ではステンレ
ス鋼、チタンの場合は鉄、ニッケル、マンガン、チタン
等の金属が、またフッ素樹脂の場合はフッ素および有機
物等が溶出し、温超純水の水質を低下させるという問題
点があった。またフッ素樹脂は熱伝導性が低く、熱交換
効率が低いという問題点があった。
オン交換装置等を含む一次純水システムにより塩類等の
不純物を除去した一次純水を、さらに二次純水システム
により有機物その他の不純物を除去した高純度の純水で
あるため、熱交換器における熱交換材から不純物が溶出
すると、純度が低下する。従来の熱交換器ではステンレ
ス鋼、チタンの場合は鉄、ニッケル、マンガン、チタン
等の金属が、またフッ素樹脂の場合はフッ素および有機
物等が溶出し、温超純水の水質を低下させるという問題
点があった。またフッ素樹脂は熱伝導性が低く、熱交換
効率が低いという問題点があった。
【０００５】本発明の目的は、不純物の溶出が少なく、
かつ熱交換効率の高い超純水の熱交換器を提供すること
である。
かつ熱交換効率の高い超純水の熱交換器を提供すること
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は次の不純物溶出
が少ない熱交換器である。 （１） 超純水と接触する熱交換器であって、熱伝導性
金属からなる伝熱層と、この伝熱層の超純水側の面に形
成されたポリエーテルエーテルケトン樹脂からなるコー
ティング層とを有する熱交換材を備えていることを特徴
とする不純物溶出の少ない熱交換器。 （２） 熱交換器が超純水を加熱して温超純水を製造す
るため熱交換器である上記（１）記載の熱交換器。
が少ない熱交換器である。 （１） 超純水と接触する熱交換器であって、熱伝導性
金属からなる伝熱層と、この伝熱層の超純水側の面に形
成されたポリエーテルエーテルケトン樹脂からなるコー
ティング層とを有する熱交換材を備えていることを特徴
とする不純物溶出の少ない熱交換器。 （２） 熱交換器が超純水を加熱して温超純水を製造す
るため熱交換器である上記（１）記載の熱交換器。
【０００７】本発明において熱交換材の伝熱層に用いる
熱伝導性金属としてはステンレス鋼、チタン、アルミニ
ウム、銅など従来から熱交換材として用いられていたも
のを使用することができる。これらの伝熱層はプレート
型、チューブ型など、熱交換器の型式に対応して、任意
の形状、構造のものが使用できる。伝導層の厚さは用途
に応じて、伝熱性と強度から任意に決めることができる
が、一般的には０．１〜１０ｍｍ、好ましくは０．２〜
１ｍｍのものが適当である。
熱伝導性金属としてはステンレス鋼、チタン、アルミニ
ウム、銅など従来から熱交換材として用いられていたも
のを使用することができる。これらの伝熱層はプレート
型、チューブ型など、熱交換器の型式に対応して、任意
の形状、構造のものが使用できる。伝導層の厚さは用途
に応じて、伝熱性と強度から任意に決めることができる
が、一般的には０．１〜１０ｍｍ、好ましくは０．２〜
１ｍｍのものが適当である。
【０００８】コーティング層として用いられるポリエー
テルエーテルケトン樹脂（以下、ＰＥＥＫという）は、
式
テルエーテルケトン樹脂（以下、ＰＥＥＫという）は、
式
【化１】 の繰返し単位を有する結晶性の樹脂であり、ＡＳＴＭ
Ｄ１２３８による３６０℃、２．１６ｋｇ荷重における
メルトフローレートが１〜５kg／10minのものが好まし
い。
Ｄ１２３８による３６０℃、２．１６ｋｇ荷重における
メルトフローレートが１〜５kg／10minのものが好まし
い。
【０００９】本発明の熱交換器は、高純度液と接触する
熱交換器であり、前記伝熱層の超純水側をＰＥＥＫから
なるコーティング層で被覆した熱交換材を備えたもので
ある。ＰＥＥＫによるコーティング層の形成は、ＰＥＥ
Ｋを溶融して塗布し、あるいは粉末を塗布して溶融さ
せ、冷却して固化させることにより形成することができ
る。コーティング層は伝熱層上に直接形成してもよい
が、接着性を付与するために、伝熱層を表面処理した
り、プライマー層を形成してもよい。コーティング層の
厚さは特に制限されないが、１０〜１００μｍとするの
が好ましい。
熱交換器であり、前記伝熱層の超純水側をＰＥＥＫから
なるコーティング層で被覆した熱交換材を備えたもので
ある。ＰＥＥＫによるコーティング層の形成は、ＰＥＥ
Ｋを溶融して塗布し、あるいは粉末を塗布して溶融さ
せ、冷却して固化させることにより形成することができ
る。コーティング層は伝熱層上に直接形成してもよい
が、接着性を付与するために、伝熱層を表面処理した
り、プライマー層を形成してもよい。コーティング層の
厚さは特に制限されないが、１０〜１００μｍとするの
が好ましい。
【００１０】コーティング層を形成する伝熱層の超純水
側は、前記加熱用熱交換器３２のように、一方が超純水
で他方が蒸気の場合には、片側が超純水側となり、伝熱
層の片側にコーティング層が形成される。熱回収用熱交
換器３１のように両側に純水が接する場合は両側が超純
水側となり、両面にコーティング層が形成される。
側は、前記加熱用熱交換器３２のように、一方が超純水
で他方が蒸気の場合には、片側が超純水側となり、伝熱
層の片側にコーティング層が形成される。熱回収用熱交
換器３１のように両側に純水が接する場合は両側が超純
水側となり、両面にコーティング層が形成される。
【００１１】
【作用】本発明の不純物溶出の少ない熱交換器は、熱交
換材のコーティング層を形成した側に、不純物の溶出を
防止する超純水を通し、反対側に蒸気その他の熱（冷
却）源となる熱媒体を通して熱交換を行う。これにより
熱媒体または高純度液中の熱は、熱交換器材の伝熱層お
よびコーティング層を通して伝導し、熱交換が行われ
る。
換材のコーティング層を形成した側に、不純物の溶出を
防止する超純水を通し、反対側に蒸気その他の熱（冷
却）源となる熱媒体を通して熱交換を行う。これにより
熱媒体または高純度液中の熱は、熱交換器材の伝熱層お
よびコーティング層を通して伝導し、熱交換が行われ
る。
【００１２】この場合、熱交換材を構成する金属からな
る伝熱層はＰＥＥＫからなるコーティング層で被覆され
ているため、金属の溶出は少ない。またＰＥＥＫは溶出
または分解が少なく、全体として無機物、有機物等の不
純物の溶出は少ない。またＰＥＥＫはフッ素樹脂等の他
の樹脂より熱伝導性に優れており、しかもコーティング
層は薄くすることができるため、熱伝導性の低下は少な
く、熱交換効率は高く維持される。
る伝熱層はＰＥＥＫからなるコーティング層で被覆され
ているため、金属の溶出は少ない。またＰＥＥＫは溶出
または分解が少なく、全体として無機物、有機物等の不
純物の溶出は少ない。またＰＥＥＫはフッ素樹脂等の他
の樹脂より熱伝導性に優れており、しかもコーティング
層は薄くすることができるため、熱伝導性の低下は少な
く、熱交換効率は高く維持される。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面により説明す
る。図１は実施例の熱交換器における熱交換材を示し、
（ａ）は正面図、（ｂ）はそのＡ−Ｄ断面図、図２およ
び図３はこの熱交換材を積層した熱交換器を示し、図２
は図１（ａ）のＡ−Ｂ断面図、図３はＣ−Ｄ断面図であ
る。この実施例は図４の加熱用熱交換器３２に適用した
例を示す。
る。図１は実施例の熱交換器における熱交換材を示し、
（ａ）は正面図、（ｂ）はそのＡ−Ｄ断面図、図２およ
び図３はこの熱交換材を積層した熱交換器を示し、図２
は図１（ａ）のＡ−Ｂ断面図、図３はＣ−Ｄ断面図であ
る。この実施例は図４の加熱用熱交換器３２に適用した
例を示す。
【００１４】図において、１はプレート型の熱交換材
で、ステンレス鋼等の熱伝導性金属からなる伝熱層２の
超純水側Ｌに、ＰＥＥＫからなるコーティング層３が被
覆されている。熱交換材１は片側の隅に超純水通過口
４、５が設けられ、反対側の隅に熱媒体通過口６、７が
設けられている。コーティング層３は、超純水側Ｌで
は、熱媒体通過口６、７の周囲に伝熱層２が露出する部
分を除いて全面に形成され、さらに超純水通過口４の内
周面を介して、熱媒体側Ｍの超純水通過口４、５の周囲
を覆うように形成されている。コーティング層３と伝熱
層２の露出部の境界は８で表される。
で、ステンレス鋼等の熱伝導性金属からなる伝熱層２の
超純水側Ｌに、ＰＥＥＫからなるコーティング層３が被
覆されている。熱交換材１は片側の隅に超純水通過口
４、５が設けられ、反対側の隅に熱媒体通過口６、７が
設けられている。コーティング層３は、超純水側Ｌで
は、熱媒体通過口６、７の周囲に伝熱層２が露出する部
分を除いて全面に形成され、さらに超純水通過口４の内
周面を介して、熱媒体側Ｍの超純水通過口４、５の周囲
を覆うように形成されている。コーティング層３と伝熱
層２の露出部の境界は８で表される。
【００１５】熱交換材１は中間部にＶ字状の凹凸部９
ａ、９ｂが両面に形成されており、両面の凹凸部９ａ、
９ｂは互いに交差する方向に形成されている。また熱交
換材１の超純水側Ｌには、超純水通過口４、５から中間
部の凹凸部９ａに向かって広がるように、末広がり状の
ガイド凹凸部１１ａ、１１ｂが設けられている。また熱
媒体側Ｍには、熱媒体通過口６、７から凹凸部９ｂに向
かって広がるように末広がり状のガイド凹凸部１２ａ、
１２ｂが設けられている。
ａ、９ｂが両面に形成されており、両面の凹凸部９ａ、
９ｂは互いに交差する方向に形成されている。また熱交
換材１の超純水側Ｌには、超純水通過口４、５から中間
部の凹凸部９ａに向かって広がるように、末広がり状の
ガイド凹凸部１１ａ、１１ｂが設けられている。また熱
媒体側Ｍには、熱媒体通過口６、７から凹凸部９ｂに向
かって広がるように末広がり状のガイド凹凸部１２ａ、
１２ｂが設けられている。
【００１６】熱交換材１は、ほぼ同じ構成の超純水側熱
交換材１ａと、熱媒体側熱交換材１ｂの２種類のものが
準備されている。両者は同じ熱交換材１を裏返しにした
構造であり、両者の相違点は、ガスケット１３を位置決
めするための溝状の位置決め凹部１４ａ、１４ｂが、超
純水側熱交換材１ａではコーティング層３側に形成さ
れ、熱媒体用熱交換材１ｂでは伝熱層２側に形成されて
いる。位置決め凹部１４ａ、１４ｂの反体側は凸部１５
ａ、１５ｂとなり、ガスケット１３を押圧するようにな
っている。
交換材１ａと、熱媒体側熱交換材１ｂの２種類のものが
準備されている。両者は同じ熱交換材１を裏返しにした
構造であり、両者の相違点は、ガスケット１３を位置決
めするための溝状の位置決め凹部１４ａ、１４ｂが、超
純水側熱交換材１ａではコーティング層３側に形成さ
れ、熱媒体用熱交換材１ｂでは伝熱層２側に形成されて
いる。位置決め凹部１４ａ、１４ｂの反体側は凸部１５
ａ、１５ｂとなり、ガスケット１３を押圧するようにな
っている。
【００１７】熱交換器２０は、ガスケット１３を挟んで
熱交換材１ａ、１ｂを交互に積層した状態で構成されて
いる。ガスケット１３は、交互に形成される超純水通路
２１および熱媒体通路２２を、それぞれ超純水通過口
４、５、および熱媒体通過口６、７に連通させるよう
に、交互に裏返して積層される。
熱交換材１ａ、１ｂを交互に積層した状態で構成されて
いる。ガスケット１３は、交互に形成される超純水通路
２１および熱媒体通路２２を、それぞれ超純水通過口
４、５、および熱媒体通過口６、７に連通させるよう
に、交互に裏返して積層される。
【００１８】上記の熱交換器２０は、熱交換材１ａ、１
ｂを位置決め凹部１４ａ、１４ｂにガスケット１３を挟
んで積層し、締付けて形成される。この状態で超純水を
超純水通過口５から供給し、超純水通路２１を通して超
純水通過口４から排出し、また蒸気等の熱媒体を熱媒体
通過口６から供給し、熱媒体通路２２を通して熱媒体通
過口７から排出し、熱交換を行う。
ｂを位置決め凹部１４ａ、１４ｂにガスケット１３を挟
んで積層し、締付けて形成される。この状態で超純水を
超純水通過口５から供給し、超純水通路２１を通して超
純水通過口４から排出し、また蒸気等の熱媒体を熱媒体
通過口６から供給し、熱媒体通路２２を通して熱媒体通
過口７から排出し、熱交換を行う。
【００１９】これにより、熱媒体または超純水中の熱
は、熱交換材１ａ、１ｂの伝熱層２およびコーティング
層３を通して伝導し、熱交換が行われる。これにより超
純水は温超純水等の熱交換超純水となり、また蒸気等の
熱媒体はドレン等の排熱媒体となって排出される。
は、熱交換材１ａ、１ｂの伝熱層２およびコーティング
層３を通して伝導し、熱交換が行われる。これにより超
純水は温超純水等の熱交換超純水となり、また蒸気等の
熱媒体はドレン等の排熱媒体となって排出される。
【００２０】この場合熱交換材１ａ、１ｂを構成する金
属からなる伝熱層２はＰＥＥＫからなるコーティング層
３で被覆されているため、金属の溶出は少ない。またＰ
ＥＥＫは溶出または分解が少なく、全体として無機物、
有機物等の不純物の溶出は少ない。またＰＥＥＫはフッ
素樹脂等の他の樹脂より熱伝導性に優れており、しかも
コーティング層３は薄くすることができるため、熱伝導
性の低下は少なく、熱交換効率は高く維持される。
属からなる伝熱層２はＰＥＥＫからなるコーティング層
３で被覆されているため、金属の溶出は少ない。またＰ
ＥＥＫは溶出または分解が少なく、全体として無機物、
有機物等の不純物の溶出は少ない。またＰＥＥＫはフッ
素樹脂等の他の樹脂より熱伝導性に優れており、しかも
コーティング層３は薄くすることができるため、熱伝導
性の低下は少なく、熱交換効率は高く維持される。
【００２１】この実施例では、図４の温超純水製造装置
の加熱用熱交換器３２として上記の熱交換器２０を用い
て超純水を供給し、熱媒体として蒸気を供給して加熱
し、熱交換高純度液として８０〜８５℃の温超純水を製
造した。
の加熱用熱交換器３２として上記の熱交換器２０を用い
て超純水を供給し、熱媒体として蒸気を供給して加熱
し、熱交換高純度液として８０〜８５℃の温超純水を製
造した。
【００２２】次に試験結果について説明する。実施例１
として厚さ０．４ｍｍのステンレス鋼ＳＵＳ３０４から
なる伝熱層の片面に、４０μｍのＰＥＥＫからなるコー
ティング層を形成した熱交換材を、８０℃の超純水に３
０日間浸漬し、溶出試験を行った。
として厚さ０．４ｍｍのステンレス鋼ＳＵＳ３０４から
なる伝熱層の片面に、４０μｍのＰＥＥＫからなるコー
ティング層を形成した熱交換材を、８０℃の超純水に３
０日間浸漬し、溶出試験を行った。
【００２３】比較例１として、厚さ０．４ｍｍのステン
レス鋼ＳＵＳ３１６、比較例２として同じ厚さのチタ
ン、比較例３として厚さ０．７ｍｍのフッ素樹脂（ＰＦ
Ａ）チューブを用いて、同様の試験を行った。結果を表
１に示す。
レス鋼ＳＵＳ３１６、比較例２として同じ厚さのチタ
ン、比較例３として厚さ０．７ｍｍのフッ素樹脂（ＰＦ
Ａ）チューブを用いて、同様の試験を行った。結果を表
１に示す。
【表１】
【００２４】表１の結果より、実施例１のものは金属お
よびフッ素の溶出はなく、比較例１のステンレス鋼ＳＵ
Ｓ３１６よりも品質が劣る低コストのＳＵＳ３０４を用
いても、金属溶出量は少なくなることがわかる。またＴ
ＯＣの溶出は比較例３のフッ素樹脂よりも大幅に少ない
ことがわかる。
よびフッ素の溶出はなく、比較例１のステンレス鋼ＳＵ
Ｓ３１６よりも品質が劣る低コストのＳＵＳ３０４を用
いても、金属溶出量は少なくなることがわかる。またＴ
ＯＣの溶出は比較例３のフッ素樹脂よりも大幅に少ない
ことがわかる。
【００２５】上記各熱交換材の総括伝熱係数（kcal／m2
・ｈ・℃）は、実施例１が１８６４、比較例１および２
がいずれも２４８６、比較例３が２７０であり、実施例
１の総括伝熱係数は比較例３のフッ素樹脂に比べてはる
かに高く、また比較例１および２の金属板の約７５％で
あり、熱伝導性が高いことがわかる。
・ｈ・℃）は、実施例１が１８６４、比較例１および２
がいずれも２４８６、比較例３が２７０であり、実施例
１の総括伝熱係数は比較例３のフッ素樹脂に比べてはる
かに高く、また比較例１および２の金属板の約７５％で
あり、熱伝導性が高いことがわかる。
【００２６】上記実施例は伝熱層２の片面にコーティン
グ層３を形成して、加熱用熱交換器３２に適用した例を
示したが、両面にコーティング層３を形成して、熱回収
用熱交換器として使用することもできる。また上記実施
例は温超純水製造装置に適用したが、冷超純水を製造す
るために使用することもできる。さらにドレンの汚染が
問題となる場合には、ドレンを超純水として、ドレン側
にコーティング層を形成することもできる。このほか熱
交換材の形式、構造、形状等は任意に変更可能である。
グ層３を形成して、加熱用熱交換器３２に適用した例を
示したが、両面にコーティング層３を形成して、熱回収
用熱交換器として使用することもできる。また上記実施
例は温超純水製造装置に適用したが、冷超純水を製造す
るために使用することもできる。さらにドレンの汚染が
問題となる場合には、ドレンを超純水として、ドレン側
にコーティング層を形成することもできる。このほか熱
交換材の形式、構造、形状等は任意に変更可能である。
【００２７】
【発明の効果】本発明の熱交換器は、熱伝導性金属から
なる伝熱層の超純水側にＰＥＥＫからなるコーティング
層を形成したので、低コストの伝熱層を用いても不純物
の溶出が少なく、かつ熱伝導性に優れ、熱交換効率が高
い超純水の熱交換に適した熱交換器が得られる。
なる伝熱層の超純水側にＰＥＥＫからなるコーティング
層を形成したので、低コストの伝熱層を用いても不純物
の溶出が少なく、かつ熱伝導性に優れ、熱交換効率が高
い超純水の熱交換に適した熱交換器が得られる。
【図１】（ａ）は実施例の熱交換材を示す正面図、
（ｂ）はそのＡ−Ｄ断面図である。
（ｂ）はそのＡ−Ｄ断面図である。
【図２】熱交換器を示す図１（ａ）のＡ−Ｂ断面図であ
る。
る。
【図３】熱交換器を示す図１（ａ）のＣ−Ｄ断面図であ
る。
る。
【図４】温超純水製造装置のフロー図である。
１、１ａ、１ｂ 熱交換材 ２ 伝熱層 ３ コーティング層 ４、５ 超純水通過口 ６、７ 熱媒体通過口 ９ａ、９ｂ 凹凸部 １１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂ ガイド凹凸部 １３ ガスケット １４ａ、１４ｂ 位置決め凹部 １５ａ、１５ｂ 凸部 ２０、３１、３２ 熱交換器 ２１ 超純水通路 ２２ 熱媒体通路 ３３ 限外濾過膜装置 ３４ ユ−スポイント
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F28F 19/04 F25F 19/02 F28F 21/08
Claims (2)
- 【請求項１】 超純水と接触する熱交換器であって、 熱伝導性金属からなる伝熱層と、 この伝熱層の超純水側の面に形成されたポリエーテルエ
ーテルケトン樹脂からなるコーティング層とを有する熱
交換材を備えていることを特徴とする不純物溶出の少な
い熱交換器。 - 【請求項２】 熱交換器が超純水を加熱して温超純水を
製造するための熱交換器である請求項１記載の熱交換
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03983993A JP3172730B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 不純物溶出の少ない熱交換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03983993A JP3172730B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 不純物溶出の少ない熱交換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06257987A JPH06257987A (ja) | 1994-09-16 |
| JP3172730B2 true JP3172730B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=12564137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03983993A Expired - Fee Related JP3172730B2 (ja) | 1993-03-01 | 1993-03-01 | 不純物溶出の少ない熱交換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3172730B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008139021A (ja) * | 2008-01-24 | 2008-06-19 | Kurita Water Ind Ltd | 食品プロセス用熱交換器 |
Families Citing this family (6)
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|---|---|---|---|---|
| JP2001167782A (ja) | 1999-09-28 | 2001-06-22 | Calsonic Kansei Corp | 燃料電池用循環水熱交換器の製造方法 |
| JP2013202581A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Kurita Water Ind Ltd | 超純水製造装置 |
| JP6149993B1 (ja) * | 2016-09-14 | 2017-06-21 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置 |
| JP6149992B1 (ja) * | 2016-09-14 | 2017-06-21 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置 |
| JP6350718B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2018-07-04 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置 |
| JP6350719B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2018-07-04 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置 |
-
1993
- 1993-03-01 JP JP03983993A patent/JP3172730B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008139021A (ja) * | 2008-01-24 | 2008-06-19 | Kurita Water Ind Ltd | 食品プロセス用熱交換器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06257987A (ja) | 1994-09-16 |
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