JP3171437B1 - 液体漏洩検知センサー - Google Patents
液体漏洩検知センサーInfo
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- JP3171437B1 JP3171437B1 JP35813499A JP35813499A JP3171437B1 JP 3171437 B1 JP3171437 B1 JP 3171437B1 JP 35813499 A JP35813499 A JP 35813499A JP 35813499 A JP35813499 A JP 35813499A JP 3171437 B1 JP3171437 B1 JP 3171437B1
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
確実に行い、またコストも低減できる液体漏洩検知セン
サーを提供する。 【解決手段】 水の比重よりも小さく、検知すべき液体
の比重よりも大きな比重の主フロート1と、この主フロ
ート1に浮沈自在に取り付けられ、検知すべき液体の比
重よりも小さな比重の副フロート2とを備え、この副フ
ロート2の浮動を電気信号に変換する手段を備えた液体
漏洩検知センサー。この副フロート2は、主フロート1
に設けたガイドパイプ3に対して昇降可能に設置し、副
フロート2にマグネット5を、ガイドパイプ3にマグネ
ット5の近接により作動するリードスイッチ6等の磁気
センサーを設置し、排水ピット等に溜まった、水より比
重の軽い油等の液体の検知を確実に行う。
Description
周囲に設置される排水ピットなどの液体溜めにおける液
体漏洩検知センサーに関する。
ント、ポンプヤードに近い排水ピットに設置して、油漏
れを日夜を問わず常時監視することを目的として、油漏
れ検知センサーが設置されるが、排水ピットには雨水な
どが溜まるので、単にピット内の液体のレベルを監視し
ても、油漏れの検知をしたことにはならない。
式のセンサーが提供されている。その構造を図3に示
す。図中、11は水の比重よりも軽いフロート本体、1
2は検出プローブ、13はマイクロスイッチ、14は補
助プローブ、15は測定信号伝達ケーブルである。その
検出原理は、水と油の静電容量の相違を検出プローブ1
2で検出するものである。
ロート本体11は、通常は検出プローブ12により水の
静電容量を測定している。水面上に油層が形成される
と、フロート本体11は油面に浮き上がり、検出プロー
ブ12は相対的に水から引き抜かれた形となって、測定
している静電容量は減少する。この変化が電流信号とし
てケーブルを介して遠隔の変換器に伝えられ、リレーを
作動させて油漏れを検出する。
体11の下端から飛び出している補助プローブ14が押
し上げられ、マイクロスイッチ13が作動し、検出プロ
ーブ12の出力と短絡される。電気的にはこの短絡によ
り、水の静電容量を測定しているのと同一信号が得られ
る。この状態で水がピットに入ってくれば短絡が外れて
も水の静電容量を測定しているため、警報は発しない。
油が入ってくると、短絡が外れたときに測定している静
電容量が大きく減少し、警報を発する。
来のフロート式センサーは、構造が複雑であり、また電
気回路も複雑であるため、かなりのコストが掛かってお
り、製品価格が非常に高い。また、静電容量式は検知部
分にゴミ等が付着すると誤動作が生じやすく、信頼性に
乏しい。そこで、本発明が解決しようとする課題は、簡
単な構造で水より比重の軽い液体の検知を確実に行い、
またコストも低減できる液体漏洩検知センサーを提供す
ることにある。
りも小さく、検知すべき液体の比重よりも大きな比重を
有する主フロートと、検知すべき液体の比重よりも小さ
な比重を有する副フロートとを備え、前記主フロートは
リング状をなし、その側面にガイドリングを備え、測定
すべき液体が水を含むときには液体を収納した施設の支
柱に沿って浮沈自在自在であり、前記副フロートは、リ
ング状主フロートの中央部に設けたガイドパイプに沿っ
て昇降自在に取り付けられており、さらに、副フロート
にはマグネットが設けられており、前記ガイドパイプに
は磁気センサーが設けられており、前記マグネットの近
接により副フロートの浮動を電気信号に変換する液体漏
洩検知センサーである。
面に示す実施例に基づいて説明する。図1は本発明の実
施例を示すものであり、(a)は断面図、(b)は平面
図、(c)はセンサ部の断面図である。
比重よりも小さいが、油の比重よりも大きい比重、例え
ば0.9に設定されている。この主フロート1の側部に
はガイドリング7が設けられており、排水ピットなどに
設けられた支柱10に沿って浮沈自在に構成されてい
る。主フロート1の中央部にはガイドパイプ3が設けら
れており、このガイドパイプ3に、油の比重(0.85
〜0.75)よりも軽い、例えば0.5の比重の油フロ
ート2が昇降自在に取り付けられている。油フロート2
の内部には、マグネット5が固定されており、またガイ
ドパイプ3の内部には、リードスイッチ6が取り付けら
れている。リードスイッチ6の開閉の信号は、ケーブル
4を経由して遠隔の制御盤等に伝送される。
て説明する。図2(a)はピットP内に水のみが溜まっ
た場合を示しており、ピットP内に水Wが溜まると主フ
ロート1が浮き上がる。このとき、主フロート1のレベ
ルよりも油フロート2のレベルは上にあるので、警報は
発しない。
合を示しており、油OがピットP内に入ると、油Oは水
Wの上に溜まっていき、一定量溜まると油フロート2が
浮き上がり、ガイドパイプ3内に組み込まれたリードス
イッチ6が、油フロート2内のマグネット5の磁界の影
響を受けて接点が入り、信号が発せられる。
た場合を示しており、この場合主フロート1は全く浮き
上がらず、一定量油が溜まると、油フロート2が浮き上
がり、ガイドパイプ3内に組み込まれたリードスイッチ
6が入り、信号が発せられる。
る手段として、構造が簡単なリードスイッチを用いた
が、マグネットダイオードや、ホール素子などの半導体
式磁気センサーを用いてもよい。また、以上は、比重の
異なる水と油の場合について説明したが、比重の異な
る、互いに混じり合わない二種類の液体の場合も同様に
検知することができる。
効果を奏する。 (1)簡単な構造で確実な水より比重の軽い液体の検知
が可能になった。 (2)構造・電気回路の両面でコストが抑えられている
ので、安価に提供できる。 (3)ゴミ等の付着による作動への影響は全く無く、ま
た構造が簡単であるため故障が少なく信頼性が大きく向
上する。
断面図、(b)は平面図、(c)はセンサ部の断面図で
ある。
欠正面図である。
ガイドパイプ、4 ケーブル、5 マグネット、6 リ
ードスイッチ、7 ガイドリング、10 支柱、P ピ
ット、W 水、O 油、11 フロート本体、12 検
出プローブ、13 マイクロスイッチ、14 補助プロ
ーブ、15 測定信号伝達ケーブル
Claims (2)
- 【請求項1】 水の比重よりも小さく、検知すべき液体
の比重よりも大きな比重を有する主フロートと、検知す
べき液体の比重よりも小さな比重を有する副フロートと
を備え、前記主フロートはリング状をなし、その側面にガイドリ
ングを備え、測定すべき液体が水を含むときには液体を
収納した施設の支柱に沿って浮沈自在自在であり、 前記副フロートは、リング状主フロートの中央部に設け
たガイドパイプに沿って昇降自在に取り付けられてお
り、 さらに、副フロートにはマグネットが設けられており、
前記ガイドパイプには磁気センサーが設けられており、
前記マグネットの近接により 副フロートの浮動を電気信
号に変換する液体漏洩検知センサー。 - 【請求項2】 磁気センサーはリードスイッチである請
求項1記載の液体漏洩検知センサー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35813499A JP3171437B1 (ja) | 1999-12-16 | 1999-12-16 | 液体漏洩検知センサー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP35813499A JP3171437B1 (ja) | 1999-12-16 | 1999-12-16 | 液体漏洩検知センサー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3171437B1 true JP3171437B1 (ja) | 2001-05-28 |
JP2001174317A JP2001174317A (ja) | 2001-06-29 |
Family
ID=18457728
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35813499A Expired - Lifetime JP3171437B1 (ja) | 1999-12-16 | 1999-12-16 | 液体漏洩検知センサー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3171437B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008151692A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Showa Kiki Kogyo Co Ltd | 液体検知装置 |
CN112588691A (zh) * | 2020-12-10 | 2021-04-02 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体清洗设备 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015078838A (ja) * | 2013-10-15 | 2015-04-23 | 株式会社タツノ | 漏洩検知装置 |
JP5995149B2 (ja) * | 2013-10-16 | 2016-09-21 | 株式会社タツノ | 漏洩検知装置 |
-
1999
- 1999-12-16 JP JP35813499A patent/JP3171437B1/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008151692A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Showa Kiki Kogyo Co Ltd | 液体検知装置 |
CN112588691A (zh) * | 2020-12-10 | 2021-04-02 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体清洗设备 |
CN112588691B (zh) * | 2020-12-10 | 2023-02-14 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体清洗设备 |
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---|---|
JP2001174317A (ja) | 2001-06-29 |
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