JP3170495B2 - 油の不足を検出する軸受飛行高度測定方法および装置 - Google Patents
油の不足を検出する軸受飛行高度測定方法および装置Info
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- G01B7/14—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
- G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
- G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般に、ハード・
ディスク・ドライブに利用されるようなモータ用の流体
力学的流体軸受に関し、より詳細には、軸受追従アセン
ブリ内に十分な油があるかどうかを判定する方法に関す
る。
ディスク・ドライブに利用されるようなモータ用の流体
力学的流体軸受に関し、より詳細には、軸受追従アセン
ブリ内に十分な油があるかどうかを判定する方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】流体力学的流体軸受モータは、ハード・
ディスク・ドライブなどの高速で信頼性の高い性能を必
要とする用途に利用される。この種のモータは、公差が
小さく、製造中に流体力学的流体軸受内に十分な量の流
体を注入する必要がある。製造工程で軸受に流体が十分
に注入されないと、モータの動作寿命が大幅に短くなる
ことがある。しかしながら、そのようなモータは、流体
注入段階の後で封止されるため、モータの封止後に、モ
ータ内に十分な油が注入されているかどうかを判定する
すべがなかった。したがって、そのようなモータの品質
管理評価の重要な段階は、製造中に流体力学的流体軸受
内に十分な流体が注入されたどうかを判定する段階を含
むべきであるが、この判定を行う方法はこれまでなかっ
た。
ディスク・ドライブなどの高速で信頼性の高い性能を必
要とする用途に利用される。この種のモータは、公差が
小さく、製造中に流体力学的流体軸受内に十分な量の流
体を注入する必要がある。製造工程で軸受に流体が十分
に注入されないと、モータの動作寿命が大幅に短くなる
ことがある。しかしながら、そのようなモータは、流体
注入段階の後で封止されるため、モータの封止後に、モ
ータ内に十分な油が注入されているかどうかを判定する
すべがなかった。したがって、そのようなモータの品質
管理評価の重要な段階は、製造中に流体力学的流体軸受
内に十分な流体が注入されたどうかを判定する段階を含
むべきであるが、この判定を行う方法はこれまでなかっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、流体力学的
流体軸受の飛行高度が軸受内の流体の量の影響を受ける
ことを認識し、流体力学的流体軸受の飛行高度を決定す
る装置および方法を開発することにより、この問題に対
する解決策を提供する。その結果、本発明は、軸受の飛
行高度をその中の油の充足率の測度として、したがって
モータの品質の測度として決定する装置および方法を提
供する。
流体軸受の飛行高度が軸受内の流体の量の影響を受ける
ことを認識し、流体力学的流体軸受の飛行高度を決定す
る装置および方法を開発することにより、この問題に対
する解決策を提供する。その結果、本発明は、軸受の飛
行高度をその中の油の充足率の測度として、したがって
モータの品質の測度として決定する装置および方法を提
供する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】流体力学的流体軸受モー
タ内の流体の充足率を決定する方法では、流体力学的流
体軸受内に十分な量の流体を有するモータと、流体力学
的流体軸受内に不十分な量の流体を有するモータの流体
軸受飛行高度の範囲をまず決定する。その後、特定の流
体力学的流体軸受モータの飛行高度を決定し、それを流
体力学的流体軸受飛行高度の範囲と比較して、特定の流
体力学的流体軸受モータ内の流体の充足率を決定するこ
とができる。特定の流体力学的流体軸受モータの飛行高
度を決定する段階は、非接触変位プローブを利用して、
回転部品が最大飛行高度で回転するときの軸受の回転部
品の変位を示す第１の信号を生成する段階を含む。次
に、このプローブは、前記部品が流体力学的軸受内で飛
行を中止したときの回転部品の変位を示す第２の信号を
生成する。第１の信号と第２の信号の差が、前記特定の
モータの前記流体力学的流体軸受の飛行高度を示す。
タ内の流体の充足率を決定する方法では、流体力学的流
体軸受内に十分な量の流体を有するモータと、流体力学
的流体軸受内に不十分な量の流体を有するモータの流体
軸受飛行高度の範囲をまず決定する。その後、特定の流
体力学的流体軸受モータの飛行高度を決定し、それを流
体力学的流体軸受飛行高度の範囲と比較して、特定の流
体力学的流体軸受モータ内の流体の充足率を決定するこ
とができる。特定の流体力学的流体軸受モータの飛行高
度を決定する段階は、非接触変位プローブを利用して、
回転部品が最大飛行高度で回転するときの軸受の回転部
品の変位を示す第１の信号を生成する段階を含む。次
に、このプローブは、前記部品が流体力学的軸受内で飛
行を中止したときの回転部品の変位を示す第２の信号を
生成する。第１の信号と第２の信号の差が、前記特定の
モータの前記流体力学的流体軸受の飛行高度を示す。
【０００５】本発明の１つの利点は、流体力学的流体軸
受モータの品質を決定する方法が提供されることであ
る。
受モータの品質を決定する方法が提供されることであ
る。
【０００６】本発明のもう１つの利点は、流体力学的流
体軸受内の流体の充足率が決定できることである。
体軸受内の流体の充足率が決定できることである。
【０００７】本発明の他の利点は、流体力学的流体軸受
の部品の飛行高度が決定できることである。
の部品の飛行高度が決定できることである。
【０００８】本発明の他の利点は、改善された流体力学
的流体軸受モータが作成されることである。
的流体軸受モータが作成されることである。
【０００９】本発明の他の利点は、改善されたハード・
ディスク・ドライブのモータが作成されることである。
ディスク・ドライブのモータが作成されることである。
【００１０】
【発明の実施の形態】流体力学的流体軸受モータは、長
年製造されてきた。そのようなモータは、静止シャフト
・モータと回転シャフト・モータの２つのタイプに大別
することができる。どちらのタイプのモータでも、回転
部品の適切な飛行特性が得られるように流体力学的流体
軸受部品の製造公差がきわめて小さく、そのような公差
は、一般に、回転部品と固定部品の間に約３〜１０ミク
ロンのギャップを含む。軸受部品が、適切な公差の範囲
内で適切に製造されている場合でも、そのようなモータ
の適切な動作の他の要因は、適切な軸受ギャップに適切
な量の流体を注入することである。一般に、様々なモー
タ部品が組み立てられ流体力学的流体がモータに注入さ
れた後で、モータは封止される。重要なことであるが、
モータは、封止してからでないと試験することはでき
ず、封止した後に、モータに流体力学的流体を追加する
ことはできない。組立て中にモータに十分な流体が注入
されないと、モータは、一般に、その寿命サイクルの早
期に故障する。しかしながら、これまで、製造中にモー
タ内に十分な油が注入されたかどうかを判定する手段が
なく、したがって封止したモータが流体の不足による欠
陥があるかどうかを判定するすべがなかった。
年製造されてきた。そのようなモータは、静止シャフト
・モータと回転シャフト・モータの２つのタイプに大別
することができる。どちらのタイプのモータでも、回転
部品の適切な飛行特性が得られるように流体力学的流体
軸受部品の製造公差がきわめて小さく、そのような公差
は、一般に、回転部品と固定部品の間に約３〜１０ミク
ロンのギャップを含む。軸受部品が、適切な公差の範囲
内で適切に製造されている場合でも、そのようなモータ
の適切な動作の他の要因は、適切な軸受ギャップに適切
な量の流体を注入することである。一般に、様々なモー
タ部品が組み立てられ流体力学的流体がモータに注入さ
れた後で、モータは封止される。重要なことであるが、
モータは、封止してからでないと試験することはでき
ず、封止した後に、モータに流体力学的流体を追加する
ことはできない。組立て中にモータに十分な流体が注入
されないと、モータは、一般に、その寿命サイクルの早
期に故障する。しかしながら、これまで、製造中にモー
タ内に十分な油が注入されたかどうかを判定する手段が
なく、したがって封止したモータが流体の不足による欠
陥があるかどうかを判定するすべがなかった。
【００１１】本発明者は、油の充足率と流体力学的流体
軸受の飛行高度との間に関係があることを発見した。す
なわち、適切な量の流体が注入されている流体力学的流
体軸受は、所定の飛行高度範囲内で飛行するが、流体注
入が不十分な状態で製造されたモータは、それよりも低
い飛行高度で飛行する。この発見と関連して、流体力学
的軸受の飛行高度を測定するシステムも開発された。し
たがって、本発明の流体力学的軸受の飛行高度測定シス
テムを利用し、適切に製造されたモータの飛行高度範
囲、および流体が不十分な不適切に製造されたモータの
飛行高度範囲の所定の知識を利用すると、本発明を利用
して、封止されたモータを試験し、モータの流体力学的
流体軸受に十分な流体が注入されているかどうかを判定
することができる。したがって、流体力学的流体軸受の
品質管理試験が実施できる。次に、本発明の詳細を説明
する。
軸受の飛行高度との間に関係があることを発見した。す
なわち、適切な量の流体が注入されている流体力学的流
体軸受は、所定の飛行高度範囲内で飛行するが、流体注
入が不十分な状態で製造されたモータは、それよりも低
い飛行高度で飛行する。この発見と関連して、流体力学
的軸受の飛行高度を測定するシステムも開発された。し
たがって、本発明の流体力学的軸受の飛行高度測定シス
テムを利用し、適切に製造されたモータの飛行高度範
囲、および流体が不十分な不適切に製造されたモータの
飛行高度範囲の所定の知識を利用すると、本発明を利用
して、封止されたモータを試験し、モータの流体力学的
流体軸受に十分な流体が注入されているかどうかを判定
することができる。したがって、流体力学的流体軸受の
品質管理試験が実施できる。次に、本発明の詳細を説明
する。
【００１２】図１は、ハード・ディスク・ドライブ・ハ
ウジングなどの装置ハウジングの下側プレート１６と上
側プレート２０の間に配置された標準的な従来技術の流
体力学的軸受モータ１２の断面図であり、モータ１２
が、それに取り付けられた複数のハード・ディスク（図
示せず）を回転させるために利用される。モータ部品に
関する理解を助けるために、静止している部品は実際の
部分として示し、回転する部品は断面で示し、例外とし
て、ハウジング・プレート１６および２０は、回転しな
いが断面で示してある。
ウジングなどの装置ハウジングの下側プレート１６と上
側プレート２０の間に配置された標準的な従来技術の流
体力学的軸受モータ１２の断面図であり、モータ１２
が、それに取り付けられた複数のハード・ディスク（図
示せず）を回転させるために利用される。モータ部品に
関する理解を助けるために、静止している部品は実際の
部分として示し、回転する部品は断面で示し、例外とし
て、ハウジング・プレート１６および２０は、回転しな
いが断面で示してある。
【００１３】図１に示したように、モータ１２は、軸方
向に配置されたねじ切りした係合孔２８および３２が形
成された静止シャフト２４を含む。静止モータ・シャフ
ト２４を下側１６と上側２０のハウジング・プレートに
係合するために係合ねじ３６が利用される。当業者には
周知のように、流体力学的軸受の回転中に流体を制御す
るために、シャフト２４の表面には、複数の「Ｖ」字形
シェブロン４０が形成される。水平軸受面にモータ１２
の流体力学的軸受特性を与えるために、スラスト板４４
がシャフト２４に固定され、また、流体力学的軸受の回
転中に流体制御を行うために、スラスト板４４の上側と
下側の軸受面にシェブロン（図示せず）が同じように形
成される。シャフト２４の中央部分５０には凹部が形成
され、やはり当業者に周知のように、軸受内の流体の表
面張力と毛管作用を利用して動的流体シールが形成され
る。当業者に周知のように、シャフト２４には、空気圧
力平衡孔５４も設けられ、軸穴２８を介して第２の空気
圧力平衡孔６０と連絡する。固定子８８は、静止シャフ
ト２４に係合された固定子取付け部材８４に固定され
る。モータを駆動する電界を提供するために、電気コイ
ル巻線８０が固定子に巻かれる。
向に配置されたねじ切りした係合孔２８および３２が形
成された静止シャフト２４を含む。静止モータ・シャフ
ト２４を下側１６と上側２０のハウジング・プレートに
係合するために係合ねじ３６が利用される。当業者には
周知のように、流体力学的軸受の回転中に流体を制御す
るために、シャフト２４の表面には、複数の「Ｖ」字形
シェブロン４０が形成される。水平軸受面にモータ１２
の流体力学的軸受特性を与えるために、スラスト板４４
がシャフト２４に固定され、また、流体力学的軸受の回
転中に流体制御を行うために、スラスト板４４の上側と
下側の軸受面にシェブロン（図示せず）が同じように形
成される。シャフト２４の中央部分５０には凹部が形成
され、やはり当業者に周知のように、軸受内の流体の表
面張力と毛管作用を利用して動的流体シールが形成され
る。当業者に周知のように、シャフト２４には、空気圧
力平衡孔５４も設けられ、軸穴２８を介して第２の空気
圧力平衡孔６０と連絡する。固定子８８は、静止シャフ
ト２４に係合された固定子取付け部材８４に固定され
る。モータを駆動する電界を提供するために、電気コイ
ル巻線８０が固定子に巻かれる。
【００１４】モータの可動部品には、中心に配置された
スリーブ部分１０８と、フレア形の外縁１１８を有する
外側に配置された壁部分１１４とを有するほぼ円筒形の
ハブ１００が含まれる。スリーブ部分１０８と外側壁部
分１１４の間のハブ１００内に環状空間１２２が形成さ
れ、固定子８８を取り囲む。磁石１３０は、ハブ１００
の外側壁１１４の内面に係合された受け部材１３４に係
合される。ハブ１００のスリーブ部分１０８には軸穴１
４０が形成され、大きな直径の穴部１５２を有する肩部
１４８が、スラスト板４４と回転可能に係合する。カバ
ー板１６０は、スラスト板４４の外側でハブ１００に固
定される。
スリーブ部分１０８と、フレア形の外縁１１８を有する
外側に配置された壁部分１１４とを有するほぼ円筒形の
ハブ１００が含まれる。スリーブ部分１０８と外側壁部
分１１４の間のハブ１００内に環状空間１２２が形成さ
れ、固定子８８を取り囲む。磁石１３０は、ハブ１００
の外側壁１１４の内面に係合された受け部材１３４に係
合される。ハブ１００のスリーブ部分１０８には軸穴１
４０が形成され、大きな直径の穴部１５２を有する肩部
１４８が、スラスト板４４と回転可能に係合する。カバ
ー板１６０は、スラスト板４４の外側でハブ１００に固
定される。
【００１５】当業者には周知のように、流体力学的軸受
の製造公差は厳密である。一般に、シャフト２４とスリ
ーブ穴１４０との間のギャップ１６４は、２〜５ミクロ
ン程度であり、スラスト板の軸受面を囲むギャップ１６
８は、それよりも少し大きい。モータ１２を製造すると
き、油などの軸受流体がモータ内に注入され、スリーブ
のギャップ１６４とスラスト板のギャップ１６８を適度
に埋める。その後、カバー板１６０が、ハブ１００に嵌
め込まれる。カバー板１６０をハブ１００に嵌め込んだ
後は、モータの流体力学的軸受面が有効に封止され、前
に油が十分に注入されていない場合でも、流体力学的軸
受に油を追加することはできない。油が不十分な場合、
モータ１２は適切に動作せず、すなわち寿命サイクルの
早期に故障する。これまで、モータを封止した後に、十
分な油が中にあるかどうかを判定することは不可能であ
った。本発明は、次に考察するように、この問題に対す
る解決策を提供する。
の製造公差は厳密である。一般に、シャフト２４とスリ
ーブ穴１４０との間のギャップ１６４は、２〜５ミクロ
ン程度であり、スラスト板の軸受面を囲むギャップ１６
８は、それよりも少し大きい。モータ１２を製造すると
き、油などの軸受流体がモータ内に注入され、スリーブ
のギャップ１６４とスラスト板のギャップ１６８を適度
に埋める。その後、カバー板１６０が、ハブ１００に嵌
め込まれる。カバー板１６０をハブ１００に嵌め込んだ
後は、モータの流体力学的軸受面が有効に封止され、前
に油が十分に注入されていない場合でも、流体力学的軸
受に油を追加することはできない。油が不十分な場合、
モータ１２は適切に動作せず、すなわち寿命サイクルの
早期に故障する。これまで、モータを封止した後に、十
分な油が中にあるかどうかを判定することは不可能であ
った。本発明は、次に考察するように、この問題に対す
る解決策を提供する。
【００１６】実験により、油が十分でないモータが、動
作中に低い飛行高度を有することが判明した。したがっ
て、本発明は、油不足の指標として軸方向の軸受の飛行
高度を求める方法を提供する。図１に示したように、本
発明において、上側ハウジング・プレート２０に、２つ
のアクセス孔２００および２０４が形成され、孔２００
と２０４内にそれぞれ、非接触式変位測定プローブ２１
０および２１４が配置される。プローブ２１０および２
１４は、スリーブ部材２１８によって適切な場所に保持
されるが、他の取付け手段を使用することもできる。２
つのプローブ２１０および２１４が、シャフト２４の中
心線から半径方向で等距離に配置され、１８０°離れて
いることに十分に留意されたい。プローブ２１０および
２１４は、プローブ端部と回転ハブ１００の上面２３２
との間のギャップ２２４および２２８を測定するために
設けられる。プローブ２１０および２１４として十分に
機能する適切な装置には、容量プローブ、うず電流プロ
ーブ、光学プローブなど、任意の非接触式距離測定装置
が含まれる。好ましい実施形態では、容量プローブを利
用する。
作中に低い飛行高度を有することが判明した。したがっ
て、本発明は、油不足の指標として軸方向の軸受の飛行
高度を求める方法を提供する。図１に示したように、本
発明において、上側ハウジング・プレート２０に、２つ
のアクセス孔２００および２０４が形成され、孔２００
と２０４内にそれぞれ、非接触式変位測定プローブ２１
０および２１４が配置される。プローブ２１０および２
１４は、スリーブ部材２１８によって適切な場所に保持
されるが、他の取付け手段を使用することもできる。２
つのプローブ２１０および２１４が、シャフト２４の中
心線から半径方向で等距離に配置され、１８０°離れて
いることに十分に留意されたい。プローブ２１０および
２１４は、プローブ端部と回転ハブ１００の上面２３２
との間のギャップ２２４および２２８を測定するために
設けられる。プローブ２１０および２１４として十分に
機能する適切な装置には、容量プローブ、うず電流プロ
ーブ、光学プローブなど、任意の非接触式距離測定装置
が含まれる。好ましい実施形態では、容量プローブを利
用する。
【００１７】したがって、ギャップ２２４および２２８
は、モータ１２が動作しハブ１００が回転するときに変
化することを理解されたい。特に、モータ１２が、本明
細書で「正立」構成と呼ぶ図１に示したような配置のと
き、ギャップ２２４および２２８は、モータが止まって
いるときに最大の値となる。その後、モータ１２が最高
速度で回転するとき、カバー板１６０と回転ハブ１００
が、スラスト板４４の表面から浮上し、モータ１２の動
作飛行高度を達成する。これが起きたとき、ギャップ２
２４および２２８は小さくなり、プローブによる距離測
定値の差（Δ）が、モータの飛行高度を表す。モータの
飛行高度が、組立て前の設計パラメータよりもかなり小
さい場合は、モータの組立てに問題があることが分か
り、この問題は、一般に、組立て中にモータの軸受表面
に十分な油が注入されなかったということである。この
場合は、組み立てたモータに欠陥があることが分かる。
は、モータ１２が動作しハブ１００が回転するときに変
化することを理解されたい。特に、モータ１２が、本明
細書で「正立」構成と呼ぶ図１に示したような配置のと
き、ギャップ２２４および２２８は、モータが止まって
いるときに最大の値となる。その後、モータ１２が最高
速度で回転するとき、カバー板１６０と回転ハブ１００
が、スラスト板４４の表面から浮上し、モータ１２の動
作飛行高度を達成する。これが起きたとき、ギャップ２
２４および２２８は小さくなり、プローブによる距離測
定値の差（Δ）が、モータの飛行高度を表す。モータの
飛行高度が、組立て前の設計パラメータよりもかなり小
さい場合は、モータの組立てに問題があることが分か
り、この問題は、一般に、組立て中にモータの軸受表面
に十分な油が注入されなかったということである。この
場合は、組み立てたモータに欠陥があることが分かる。
【００１８】図２は、信号検出解析コンピュータ回路２
６０がプローブ２１０および２１４から受け取るアナロ
グ信号を示すグラフであり、信号２５０は、プローブ２
１０から受け取り、信号２５４は、プローブ２１４から
受け取ったものである。信号は、モータ１２が動作速度
（約１０，０００ｒｐｍ）で回転しているときに取った
ものである。各信号は、正弦波であり、これは、ハブの
上側面２３２がほぼ平らではあるが、一般に、静止シャ
フト２４に対して真の垂直から公差の範囲内で少しずれ
て組み立てられたことを反映している。また、信号２５
０および２５４が正弦波の性質をもつことが、真の垂直
でないシャフト２４にスラスト板４４が取り付けられて
いることから生じることもある。組み立てたモータの製
造公差が与えられた場合、一般に、１回転中に生じる山
と谷のギャップの測定値は約６０ミクロンになることが
ある。この示差測定値は、トータル・インジケータ・ラ
ンアウト（ＴＩＲ）と呼ばれ、一般に測定される４〜９
ミクロンの軸方向飛行高度値よりも実際に１桁大きいの
で、大きな測定値である。すなわち、プローブ２１０な
どの１つのプローブを静止シャフト・モータ１２の軸方
向飛行高度の測定に利用する場合、ＴＩＲは、一般に、
軸方向の飛行高度変位の測定値を覆い隠してしまうほど
大きい。この問題を解決するために、２つのプローブ２
１０および２１４を利用して回転ハブ・モータ１２の測
定を行い、前に示したように、プローブ２１０および２
１４を静止シャフト２４から半径方向に等距離で１８０
°離して配置する。
６０がプローブ２１０および２１４から受け取るアナロ
グ信号を示すグラフであり、信号２５０は、プローブ２
１０から受け取り、信号２５４は、プローブ２１４から
受け取ったものである。信号は、モータ１２が動作速度
（約１０，０００ｒｐｍ）で回転しているときに取った
ものである。各信号は、正弦波であり、これは、ハブの
上側面２３２がほぼ平らではあるが、一般に、静止シャ
フト２４に対して真の垂直から公差の範囲内で少しずれ
て組み立てられたことを反映している。また、信号２５
０および２５４が正弦波の性質をもつことが、真の垂直
でないシャフト２４にスラスト板４４が取り付けられて
いることから生じることもある。組み立てたモータの製
造公差が与えられた場合、一般に、１回転中に生じる山
と谷のギャップの測定値は約６０ミクロンになることが
ある。この示差測定値は、トータル・インジケータ・ラ
ンアウト（ＴＩＲ）と呼ばれ、一般に測定される４〜９
ミクロンの軸方向飛行高度値よりも実際に１桁大きいの
で、大きな測定値である。すなわち、プローブ２１０な
どの１つのプローブを静止シャフト・モータ１２の軸方
向飛行高度の測定に利用する場合、ＴＩＲは、一般に、
軸方向の飛行高度変位の測定値を覆い隠してしまうほど
大きい。この問題を解決するために、２つのプローブ２
１０および２１４を利用して回転ハブ・モータ１２の測
定を行い、前に示したように、プローブ２１０および２
１４を静止シャフト２４から半径方向に等距離で１８０
°離して配置する。
【００１９】好ましい実施形態においては、プローブ２
１０からの信号２５０を、プローブ２１４からの信号２
５４に加算する。プローブ２１０および２１４（１８０
°離れた）の位置により、２つの信号２５０および２５
４は、位相が１８０°ずれる。したがって、信号を加算
することにより、一方の信号のＴＩＲが、他方の信号の
ＴＩＲを打ち消す。その結果得られる加算信号２５６を
図３に示す。
１０からの信号２５０を、プローブ２１４からの信号２
５４に加算する。プローブ２１０および２１４（１８０
°離れた）の位置により、２つの信号２５０および２５
４は、位相が１８０°ずれる。したがって、信号を加算
することにより、一方の信号のＴＩＲが、他方の信号の
ＴＩＲを打ち消す。その結果得られる加算信号２５６を
図３に示す。
【００２０】図３に示したように、時間０のとき（グラ
フの横軸が時間を表す）、モータ１２が、１０，０００
ｒｐｍで最大軸方向飛行高度（縦軸が飛行高度を表す）
で回転している。モータへの電力が、時間０で遮断さ
れ、ハブ１００の回転速度が低下する。ハブの回転速度
が低下するにつれて、軸方向飛行高度が下がり、約６７
秒のときにモータの回転が止まり、軸方向飛行高度の測
定値が約７ミクロンになる。図３において、時間０での
回転軸方向の飛行高度が、任意に値０に指定されている
ことに留意されたい。実際には、ギャップは、モータの
回転速度が低下するにつれて大きくなる正の初期値を有
する。最後のギャップ信号値から始動時のギャップ値を
減算すると、飛行高度７ミクロンが得られるので、初期
値を算術的に省略することができる。次に、本発明の信
号処理について考察する。
フの横軸が時間を表す）、モータ１２が、１０，０００
ｒｐｍで最大軸方向飛行高度（縦軸が飛行高度を表す）
で回転している。モータへの電力が、時間０で遮断さ
れ、ハブ１００の回転速度が低下する。ハブの回転速度
が低下するにつれて、軸方向飛行高度が下がり、約６７
秒のときにモータの回転が止まり、軸方向飛行高度の測
定値が約７ミクロンになる。図３において、時間０での
回転軸方向の飛行高度が、任意に値０に指定されている
ことに留意されたい。実際には、ギャップは、モータの
回転速度が低下するにつれて大きくなる正の初期値を有
する。最後のギャップ信号値から始動時のギャップ値を
減算すると、飛行高度７ミクロンが得られるので、初期
値を算術的に省略することができる。次に、本発明の信
号処理について考察する。
【００２１】図４は、図１に示した装置の信号処理の概
要を示す。図４に示したように、プローブ２１０からの
信号２５０とプローブ２１４からの信号２５４が、信号
加算器２７０に送られる。これらの信号は、図２の位相
が１８０°ずれた正弦波信号であり、その加算により、
図３に示した値が得られる。初期加算信号値（Ｙ）２７
８（動作飛行高度）は、メモリ記憶装置の適当な場所に
記憶される。その後、モータが飛行を停止したとき、最
終加算値（Ｚ）２８４が、やはりメモリ記憶装置の適当
な場所に記憶される。その後、初期加算値と最終加算値
が、減算器２９０に送られる。減算器の出力｜Ｙ−Ｚ｜
の絶対値が、軸方向の軸受飛行高度Δである。
要を示す。図４に示したように、プローブ２１０からの
信号２５０とプローブ２１４からの信号２５４が、信号
加算器２７０に送られる。これらの信号は、図２の位相
が１８０°ずれた正弦波信号であり、その加算により、
図３に示した値が得られる。初期加算信号値（Ｙ）２７
８（動作飛行高度）は、メモリ記憶装置の適当な場所に
記憶される。その後、モータが飛行を停止したとき、最
終加算値（Ｚ）２８４が、やはりメモリ記憶装置の適当
な場所に記憶される。その後、初期加算値と最終加算値
が、減算器２９０に送られる。減算器の出力｜Ｙ−Ｚ｜
の絶対値が、軸方向の軸受飛行高度Δである。
【００２２】したがって、前述の装置と方法を利用し
て、流体力学的流体軸受の飛行高度と、軸受内の油の充
足率との間の系統的な関係を求めることができる。すな
わち、製造した複数のモータに、前述の流体力学的流体
軸受の飛行高度測定装置と方法を利用することにより、
図５に示したように、特定のタイプの製造モータのグラ
フを作成することができる。図５に示したように、縦軸
は、特定のタイプのモータの流体力学的軸受の飛行高度
Δを表し、横軸は、軸受内の流体の充足率を表す。特定
タイプのモータに関して、４ミクロン未満の飛行高度Δ
は、流体が不十分であることを示し、７ミクロンを超え
る飛行高度Δは、流体が十分であることを示し、４ミク
ロン〜７ミクロンの飛行高度は、限界性能のモータを示
すことが分かる。したがって、本明細書で説明する代表
的なディスク・ドライブ・モータの場合、７〜９ミクロ
ンの軸方向軸受飛行高度Δは、寿命動作に十分な油を有
する適切に製造されたモータの指標と見なされ、一方４
ミクロン未満のΔは、不合格な部品となる、油が不十分
な不適切に製造されたモータを示す。飛行高度が４〜７
ミクロンのモータは疑わしい。
て、流体力学的流体軸受の飛行高度と、軸受内の油の充
足率との間の系統的な関係を求めることができる。すな
わち、製造した複数のモータに、前述の流体力学的流体
軸受の飛行高度測定装置と方法を利用することにより、
図５に示したように、特定のタイプの製造モータのグラ
フを作成することができる。図５に示したように、縦軸
は、特定のタイプのモータの流体力学的軸受の飛行高度
Δを表し、横軸は、軸受内の流体の充足率を表す。特定
タイプのモータに関して、４ミクロン未満の飛行高度Δ
は、流体が不十分であることを示し、７ミクロンを超え
る飛行高度Δは、流体が十分であることを示し、４ミク
ロン〜７ミクロンの飛行高度は、限界性能のモータを示
すことが分かる。したがって、本明細書で説明する代表
的なディスク・ドライブ・モータの場合、７〜９ミクロ
ンの軸方向軸受飛行高度Δは、寿命動作に十分な油を有
する適切に製造されたモータの指標と見なされ、一方４
ミクロン未満のΔは、不合格な部品となる、油が不十分
な不適切に製造されたモータを示す。飛行高度が４〜７
ミクロンのモータは疑わしい。
【００２３】図１に示した正立の向きのモータと、図１
を１８０°を回転させて示された上下逆向きのモータの
両方を試験することが望ましい。ただし、上下逆向きで
は、スラスト板の下側が油軸受面になるが、プローブ２
１０および２１４で行われる測定とプローブ信号２５０
および２５４の信号処理はそれぞれ、同じままである。
すなわち、図４に示したように、上下逆向きの構成のモ
ータの場合、信号２５０と２５４が加算され、最高速度
のモータから始まり、モータが停止して終わる。初期加
算値信号（Ｙ）２７８と最終加算値信号（Ｚ）２８４
が、減算器２９０に送られ、減算された信号の絶対値｜
Ｙ−Ｚ｜が、軸方向の軸受飛行高度Δを表す。正立のΔ
と上下逆向きのΔは等しいと思われるかも知れないが、
そのようなケースはまれである。モータが合格であるた
めには、モータが正立のときとモータが上下逆向きのと
きの軸方向の軸受飛行高度が、共に７〜１０ミクロンの
許容範囲内になければならない。
を１８０°を回転させて示された上下逆向きのモータの
両方を試験することが望ましい。ただし、上下逆向きで
は、スラスト板の下側が油軸受面になるが、プローブ２
１０および２１４で行われる測定とプローブ信号２５０
および２５４の信号処理はそれぞれ、同じままである。
すなわち、図４に示したように、上下逆向きの構成のモ
ータの場合、信号２５０と２５４が加算され、最高速度
のモータから始まり、モータが停止して終わる。初期加
算値信号（Ｙ）２７８と最終加算値信号（Ｚ）２８４
が、減算器２９０に送られ、減算された信号の絶対値｜
Ｙ−Ｚ｜が、軸方向の軸受飛行高度Δを表す。正立のΔ
と上下逆向きのΔは等しいと思われるかも知れないが、
そのようなケースはまれである。モータが合格であるた
めには、モータが正立のときとモータが上下逆向きのと
きの軸方向の軸受飛行高度が、共に７〜１０ミクロンの
許容範囲内になければならない。
【００２４】本発明は、また、ハブが固定された回転シ
ャフト型の流体力学的軸受モータにも適用できる。当業
者には周知のように、そのようなモータでは、回転シャ
フトは、回転するときにそれを所定の飛行高度で飛行さ
せる流体力学的軸受を含む。そのようなモータでは、１
つの非接触式変位プローブが、飛行高度を測定するため
に回転シャフトの中心軸に配置される。図６は、そのよ
うな単一のプローブによって生成された信号３１０を示
すグラフである。最初、プローブがシャフトの回転中心
にあるため、プローブ信号３１０が、図１に示した実施
形態による信号２５０および２５４のような正弦波では
なく、半径方向に配置されたプローブ２１０および２１
４のＴＩＲの影響を受けないことに留意されたい。図７
の概略図に、単一のプローブ信号３１０の信号処理を示
す。第１の実施形態の２つのプローブに必要とされたよ
うな加算器は必要でなく、最高速度で回転する際の初期
信号（Ｖ）３１４が、ある記憶場所に記憶され、０ｒｐ
ｍのときの最終信号（Ｗ）３１８も、ある記憶場所に記
憶される。その後、これらの信号が、減算器３２４に送
られ、減算器出力の絶対値｜Ｖ−Ｗ｜が、軸の飛行高度
Δを表す。前の実施形態と同様に、Δの値が許容可能で
あるとき、モータに十分な油が注入されていることを示
し、Δの値が小さいときは、油が不十分であり、したが
って不合格の部品であることを示す。当然ながら、モー
タ１２の信号処理に関して前に示したように、モータを
十分に評価するためには、モータの軸方向の飛行高度を
正立の向きと上下逆向きで測定しなければならない。
ャフト型の流体力学的軸受モータにも適用できる。当業
者には周知のように、そのようなモータでは、回転シャ
フトは、回転するときにそれを所定の飛行高度で飛行さ
せる流体力学的軸受を含む。そのようなモータでは、１
つの非接触式変位プローブが、飛行高度を測定するため
に回転シャフトの中心軸に配置される。図６は、そのよ
うな単一のプローブによって生成された信号３１０を示
すグラフである。最初、プローブがシャフトの回転中心
にあるため、プローブ信号３１０が、図１に示した実施
形態による信号２５０および２５４のような正弦波では
なく、半径方向に配置されたプローブ２１０および２１
４のＴＩＲの影響を受けないことに留意されたい。図７
の概略図に、単一のプローブ信号３１０の信号処理を示
す。第１の実施形態の２つのプローブに必要とされたよ
うな加算器は必要でなく、最高速度で回転する際の初期
信号（Ｖ）３１４が、ある記憶場所に記憶され、０ｒｐ
ｍのときの最終信号（Ｗ）３１８も、ある記憶場所に記
憶される。その後、これらの信号が、減算器３２４に送
られ、減算器出力の絶対値｜Ｖ−Ｗ｜が、軸の飛行高度
Δを表す。前の実施形態と同様に、Δの値が許容可能で
あるとき、モータに十分な油が注入されていることを示
し、Δの値が小さいときは、油が不十分であり、したが
って不合格の部品であることを示す。当然ながら、モー
タ１２の信号処理に関して前に示したように、モータを
十分に評価するためには、モータの軸方向の飛行高度を
正立の向きと上下逆向きで測定しなければならない。
【００２５】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。
の事項を開示する。
【００２６】（１）流体力学的流体軸受モータ内の流体
の充足率を決定する方法であって、流体力学的流体軸受
内に十分な量の流体を有するモータと、流体力学的流体
軸受内に不十分な量の流体を有するモータの流体軸受の
飛行高度の範囲を決定する段階と、特定の流体力学的流
体軸受モータの飛行高度を決定する段階と、前記特定の
モータの飛行高度を、流体軸受飛行高度の前記範囲と比
較して、前記特定の流体力学的流体軸受モータ内の流体
の充足率を決定する段階とを含む方法。 （２）特定の流体力学的流体軸受モータの飛行高度を決
定する前記段階が、回転部品が最大飛行高度で回転して
いるときの前記モータの前記回転部品の変位を示す第１
の信号を生成する段階と、前記回転部品が流体力学的軸
受内の飛行を停止したときの前記回転部品の変位を示す
第２の信号を生成する段階と、前記特定のモータの前記
流体力学的流体軸受の飛行高度の指標として、前記第１
の信号と第２の信号の差を求める段階とを含む上記
（１）に記載の方法。 （３）前記流体力学的流体軸受が、静止シャフト部分と
回転ハブ部分を含む、上記（２）に記載の方法。 （４）２つの変位プローブを利用して前記第１の信号を
獲得し、前記２つの変位プローブを利用して前記第２の
信号を獲得する、上記（３）に記載の方法。 （５）前記第１の変位プローブが第１のプローブ信号を
生成し、前記第２の変位プローブが第２のプローブ信号
を生成し、前記第１のプローブ信号が、前記第２のプロ
ーブ信号と位相が１８０°ずれている、上記（４）に記
載の方法。 （６）前記第１のプローブからの信号と前記第２のプロ
ーブからの信号を加算して、前記第１の信号を生成す
る、上記（５）に記載の方法。 （７）前記第１のプローブからの信号と前記第２のプロ
ーブからの信号を加算して、前記第２の信号を生成す
る、上記（６）に記載の方法。 （８）前記流体力学的流体軸受が、回転シャフト部分と
静止ハブ部分を含む、上記（２）に記載の方法。 （９）前記段階が、前記モータが正立の向きの状態で行
われ、前記段階が、前記モータが上下逆向きの状態で行
われる、上記（１）に記載の方法。 （１０）流体力学的流体軸受の飛行高度を決定する方法
であって、前記部品が最大飛行高度で回転しているとき
の前記モータの回転部品の変位を示す第１の信号を生成
する段階と、前記部品がその流体力学的軸受内で飛行を
停止したときの前記回転部品の変位を示す第２の信号を
生成する段階と、前記特定のモータの前記流体力学的流
体軸受の飛行高度の指標として、前記第１と第２の信号
の差を求める段階とを含む方法。 （１１）前記流体力学的流体軸受が、静止シャフト部分
と回転ハブ部分とを含む、上記（１０）に記載の方法。 （１２）２つの変位プローブを利用して前記第１の信号
を獲得し、前記２つの変位プローブを利用して前記第２
の信号を獲得する、上記（１１）に記載の方法。 （１３）前記第１の変位プローブが第１のプローブ信号
を生成し、前記第２の変位プローブが第２のプローブ信
号を生成し、前記第１のプローブ信号が、前記第２のプ
ローブ信号と位相が１８０°ずれている、上記（１２）
に記載の方法。 （１４）前記第１のプローブからの信号と前記第２のプ
ローブからの信号を加算して、前記第１の信号を生成す
る、上記（１３）に記載の方法。 （１５）前記第１のプローブからの信号と前記第２のプ
ローブからの信号を加算して、前記第２の信号を生成す
る、上記（１４）に記載の方法。 （１６）回転による飛行高度を達成する前記流体力学的
流体軸受の部品に対して固定された関係で配置され、前
記プローブと前記部品の距離に関係する変位信号を出力
する、少なくとも１つの非接触変位プローブと、前記プ
ローブに動作可能に係合され、前記部品が最大飛行高度
のときに前記プローブから第１の変位信号を受け取って
記憶し、前記部品が最小飛行高度に配置されたときに前
記プローブからの第２の変位信号を受け取って記憶する
信号プロセッサとを含み、前記信号プロセッサが、前記
流体力学的流体軸受の前記飛行高度の目安として、前記
記憶された信号の差を求めて出力信号を提供する、流体
力学的流体軸受の飛行高度測定装置。 （１７）前記プローブが容量プローブである、上記（１
６）に記載の装置。 （１８）前記プローブがうず電流プローブである、上記
（１６）に記載の装置。 （１９）前記プローブが光学プローブである、上記（１
６）に記載の装置。 （２０）前記流体力学的流体軸受が、静止シャフト部材
と回転ハブ部材の間に形成され、前記２つのプローブ
が、前記回転ハブ部材と前記シャフト部材に対して１８
０°離れた角度で配置され、前記２つのプローブが前記
シャフト部材から等しい半径距離に配置される、上記
（１６）に記載の装置。 （２１）前記２つのプローブからの変位信号を加算して
前記第１の変位信号を求め、前記２つのプローブからの
変位信号を加算して前記第２の変位信号を求める、上記
（２０）に記載の装置。
の充足率を決定する方法であって、流体力学的流体軸受
内に十分な量の流体を有するモータと、流体力学的流体
軸受内に不十分な量の流体を有するモータの流体軸受の
飛行高度の範囲を決定する段階と、特定の流体力学的流
体軸受モータの飛行高度を決定する段階と、前記特定の
モータの飛行高度を、流体軸受飛行高度の前記範囲と比
較して、前記特定の流体力学的流体軸受モータ内の流体
の充足率を決定する段階とを含む方法。 （２）特定の流体力学的流体軸受モータの飛行高度を決
定する前記段階が、回転部品が最大飛行高度で回転して
いるときの前記モータの前記回転部品の変位を示す第１
の信号を生成する段階と、前記回転部品が流体力学的軸
受内の飛行を停止したときの前記回転部品の変位を示す
第２の信号を生成する段階と、前記特定のモータの前記
流体力学的流体軸受の飛行高度の指標として、前記第１
の信号と第２の信号の差を求める段階とを含む上記
（１）に記載の方法。 （３）前記流体力学的流体軸受が、静止シャフト部分と
回転ハブ部分を含む、上記（２）に記載の方法。 （４）２つの変位プローブを利用して前記第１の信号を
獲得し、前記２つの変位プローブを利用して前記第２の
信号を獲得する、上記（３）に記載の方法。 （５）前記第１の変位プローブが第１のプローブ信号を
生成し、前記第２の変位プローブが第２のプローブ信号
を生成し、前記第１のプローブ信号が、前記第２のプロ
ーブ信号と位相が１８０°ずれている、上記（４）に記
載の方法。 （６）前記第１のプローブからの信号と前記第２のプロ
ーブからの信号を加算して、前記第１の信号を生成す
る、上記（５）に記載の方法。 （７）前記第１のプローブからの信号と前記第２のプロ
ーブからの信号を加算して、前記第２の信号を生成す
る、上記（６）に記載の方法。 （８）前記流体力学的流体軸受が、回転シャフト部分と
静止ハブ部分を含む、上記（２）に記載の方法。 （９）前記段階が、前記モータが正立の向きの状態で行
われ、前記段階が、前記モータが上下逆向きの状態で行
われる、上記（１）に記載の方法。 （１０）流体力学的流体軸受の飛行高度を決定する方法
であって、前記部品が最大飛行高度で回転しているとき
の前記モータの回転部品の変位を示す第１の信号を生成
する段階と、前記部品がその流体力学的軸受内で飛行を
停止したときの前記回転部品の変位を示す第２の信号を
生成する段階と、前記特定のモータの前記流体力学的流
体軸受の飛行高度の指標として、前記第１と第２の信号
の差を求める段階とを含む方法。 （１１）前記流体力学的流体軸受が、静止シャフト部分
と回転ハブ部分とを含む、上記（１０）に記載の方法。 （１２）２つの変位プローブを利用して前記第１の信号
を獲得し、前記２つの変位プローブを利用して前記第２
の信号を獲得する、上記（１１）に記載の方法。 （１３）前記第１の変位プローブが第１のプローブ信号
を生成し、前記第２の変位プローブが第２のプローブ信
号を生成し、前記第１のプローブ信号が、前記第２のプ
ローブ信号と位相が１８０°ずれている、上記（１２）
に記載の方法。 （１４）前記第１のプローブからの信号と前記第２のプ
ローブからの信号を加算して、前記第１の信号を生成す
る、上記（１３）に記載の方法。 （１５）前記第１のプローブからの信号と前記第２のプ
ローブからの信号を加算して、前記第２の信号を生成す
る、上記（１４）に記載の方法。 （１６）回転による飛行高度を達成する前記流体力学的
流体軸受の部品に対して固定された関係で配置され、前
記プローブと前記部品の距離に関係する変位信号を出力
する、少なくとも１つの非接触変位プローブと、前記プ
ローブに動作可能に係合され、前記部品が最大飛行高度
のときに前記プローブから第１の変位信号を受け取って
記憶し、前記部品が最小飛行高度に配置されたときに前
記プローブからの第２の変位信号を受け取って記憶する
信号プロセッサとを含み、前記信号プロセッサが、前記
流体力学的流体軸受の前記飛行高度の目安として、前記
記憶された信号の差を求めて出力信号を提供する、流体
力学的流体軸受の飛行高度測定装置。 （１７）前記プローブが容量プローブである、上記（１
６）に記載の装置。 （１８）前記プローブがうず電流プローブである、上記
（１６）に記載の装置。 （１９）前記プローブが光学プローブである、上記（１
６）に記載の装置。 （２０）前記流体力学的流体軸受が、静止シャフト部材
と回転ハブ部材の間に形成され、前記２つのプローブ
が、前記回転ハブ部材と前記シャフト部材に対して１８
０°離れた角度で配置され、前記２つのプローブが前記
シャフト部材から等しい半径距離に配置される、上記
（１６）に記載の装置。 （２１）前記２つのプローブからの変位信号を加算して
前記第１の変位信号を求め、前記２つのプローブからの
変位信号を加算して前記第２の変位信号を求める、上記
（２０）に記載の装置。
【図１】本発明の一実施形態を示す流体力学的流体軸受
モータの断面図である。
モータの断面図である。
【図２】２つの変位プローブ信号を示すグラフである。
【図３】減速中の２つのプローブ信号の合計のグラフで
ある。
ある。
【図４】本発明の信号処理論理の概略図である。
【図５】流体力学的流体軸受の飛行高度（Δ）と流体力
学的流体軸受内の流体の充足率の関係を示すグラフであ
る。
学的流体軸受内の流体の充足率の関係を示すグラフであ
る。
【図６】回転シャフト流体力学的軸受モータの単一のプ
ローブ信号を示すグラフである。
ローブ信号を示すグラフである。
【図７】図６に示した信号の信号処理論理の概略図であ
る。
る。
１２ モータ １６ 下側プレート ２０ 上側プレート ２４ 静止シャフト ２８ 軸穴 ３６ 係合ねじ ４０ Ｖ字形シェブロン ４４ スラスト板 ５０ 中央部分 ５４ 空気圧力平衡孔 ６０ 空気圧力平衡孔 ８０ 電気コイル巻線 ８８ 固定子 １００ 回転ハブ １０８ スリーブ部分 １１４ 外側壁 １１８ 外縁 １２２ 環状空間 １３０ 磁石 １４０ 軸穴 １４８ 肩部 １５２ 穴部 １６０ カバー板 １６４ ギャップ １６８ ギャップ ２００ アクセス孔 ２１０ プローブ ２１４ プローブ ２１８ スリーブ部材 ２２４ ギャップ ２２８ ギャップ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 13/04
Claims (21)
- 【請求項１】流体力学的流体軸受モータ内の流体の充足
率を決定する方法であって、 流体力学的流体軸受内に十分な量の流体を有するモータ
と、流体力学的流体軸受内に不十分な量の流体を有する
モータの流体軸受の飛行高度の範囲を決定する段階と、 特定の流体力学的流体軸受モータの飛行高度を決定する
段階と、 前記特定のモータの飛行高度を、流体軸受飛行高度の前
記範囲と比較して、前記特定の流体力学的流体軸受モー
タ内の流体の充足率を決定する段階とを含む方法。 - 【請求項２】特定の流体力学的流体軸受モータの飛行高
度を決定する前記段階が、 回転部品が最大飛行高度で回転しているときの前記モー
タの前記回転部品の変位を示す第１の信号を生成する段
階と、 前記回転部品が流体力学的軸受内の飛行を停止したとき
の前記回転部品の変位を示す第２の信号を生成する段階
と、 前記特定のモータの前記流体力学的流体軸受の飛行高度
の指標として、前記第１の信号と第２の信号の差を求め
る段階とを含む請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】前記流体力学的流体軸受が、静止シャフト
部分と回転ハブ部分を含む、請求項２に記載の方法。 - 【請求項４】２つの変位プローブを利用して前記第１の
信号を獲得し、前記２つの変位プローブを利用して前記
第２の信号を獲得する、請求項３に記載の方法。 - 【請求項５】前記第１の変位プローブが第１のプローブ
信号を生成し、前記第２の変位プローブが第２のプロー
ブ信号を生成し、前記第１のプローブ信号が、前記第２
のプローブ信号と位相が１８０°ずれている、請求項４
に記載の方法。 - 【請求項６】前記第１のプローブからの信号と前記第２
のプローブからの信号を加算して、前記第１の信号を生
成する、請求項５に記載の方法。 - 【請求項７】前記第１のプローブからの信号と前記第２
のプローブからの信号を加算して、前記第２の信号を生
成する、請求項６に記載の方法。 - 【請求項８】前記流体力学的流体軸受が、回転シャフト
部分と静止ハブ部分を含む、請求項２に記載の方法。 - 【請求項９】前記段階が、前記モータが正立の向きの状
態で行われ、前記段階が、前記モータが上下逆向きの状
態で行われる、請求項１に記載の方法。 - 【請求項１０】流体力学的流体軸受の飛行高度を決定す
る方法であって、 前記部品が最大飛行高度で回転しているときの前記モー
タの回転部品の変位を示す第１の信号を生成する段階
と、 前記部品がその流体力学的軸受内で飛行を停止したとき
の前記回転部品の変位を示す第２の信号を生成する段階
と、 前記特定のモータの前記流体力学的流体軸受の飛行高度
の指標として、前記第１と第２の信号の差を求める段階
とを含む方法。 - 【請求項１１】前記流体力学的流体軸受が、静止シャフ
ト部分と回転ハブ部分とを含む、請求項１０に記載の方
法。 - 【請求項１２】２つの変位プローブを利用して前記第１
の信号を獲得し、前記２つの変位プローブを利用して前
記第２の信号を獲得する、請求項１１に記載の方法。 - 【請求項１３】前記第１の変位プローブが第１のプロー
ブ信号を生成し、前記第２の変位プローブが第２のプロ
ーブ信号を生成し、前記第１のプローブ信号が、前記第
２のプローブ信号と位相が１８０°ずれている、請求項
１２に記載の方法。 - 【請求項１４】前記第１のプローブからの信号と前記第
２のプローブからの信号を加算して、前記第１の信号を
生成する、請求項１３に記載の方法。 - 【請求項１５】前記第１のプローブからの信号と前記第
２のプローブからの信号を加算して、前記第２の信号を
生成する、請求項１４に記載の方法。 - 【請求項１６】回転による飛行高度を達成する前記流体
力学的流体軸受の部品に対して固定された関係で配置さ
れ、前記プローブと前記部品の距離に関係する変位信号
を出力する、少なくとも１つの非接触変位プローブと、 前記プローブに動作可能に係合され、前記部品が最大飛
行高度のときに前記プローブから第１の変位信号を受け
取って記憶し、前記部品が最小飛行高度に配置されたと
きに前記プローブからの第２の変位信号を受け取って記
憶する信号プロセッサとを含み、 前記信号プロセッサが、前記流体力学的流体軸受の前記
飛行高度の目安として、前記記憶された信号の差を求め
て出力信号を提供する、流体力学的流体軸受の飛行高度
測定装置。 - 【請求項１７】前記プローブが容量プローブである、請
求項１６に記載の装置。 - 【請求項１８】前記プローブがうず電流プローブであ
る、請求項１６に記載の装置。 - 【請求項１９】前記プローブが光学プローブである、請
求項１６に記載の装置。 - 【請求項２０】前記流体力学的流体軸受が、静止シャフ
ト部材と回転ハブ部材の間に形成され、前記２つのプロ
ーブが、前記回転ハブ部材と前記シャフト部材に対して
１８０°離れた角度で配置され、前記２つのプローブが
前記シャフト部材から等しい半径距離に配置される、請
求項１６に記載の装置。 - 【請求項２１】前記２つのプローブからの変位信号を加
算して前記第１の変位信号を求め、前記２つのプローブ
からの変位信号を加算して前記第２の変位信号を求め
る、請求項２０に記載の装置。
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