JP3168687B2 - 回転陽極ｘ線管及び回転陽極ｘ線管の回転バランス調整方法 - Google Patents
回転陽極ｘ線管及び回転陽極ｘ線管の回転バランス調整方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、主として医療用Ｘ線
装置や材料等のＸ線検査装置に用いる回転陽極Ｘ線管及
び回転陽極Ｘ線管の回転バランス調整方法に関する。
装置や材料等のＸ線検査装置に用いる回転陽極Ｘ線管及
び回転陽極Ｘ線管の回転バランス調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線診断装置や、Ｘ線コンピュータ断層
撮影装置（Ｘ線ＣＴ）等でＸ線発生手段として用いられ
る回転陽極Ｘ線管は第６図に示すように真空排気された
ガラスバルブ３４内に熱電子を発生する陰極３０と、こ
の陰極３０から照射された熱電子を受けてＸ線を発生す
る回転陽極であるターゲット３２と、このターゲット３
２に接合されたモータロータ３１から構成される。
撮影装置（Ｘ線ＣＴ）等でＸ線発生手段として用いられ
る回転陽極Ｘ線管は第６図に示すように真空排気された
ガラスバルブ３４内に熱電子を発生する陰極３０と、こ
の陰極３０から照射された熱電子を受けてＸ線を発生す
る回転陽極であるターゲット３２と、このターゲット３
２に接合されたモータロータ３１から構成される。
【０００３】ここでターゲット３２とモータロータ３１
とはターゲット３２の中央部に穿設した貫通穴とモータ
ロータ３１の回転軸であるシャフトを介して接合されて
いる。そしてこれらの接合手段として従来よりナットに
よる接合方法、ロー付け方式による接合方法、及び圧入
方式による接合方法が採用されている。
とはターゲット３２の中央部に穿設した貫通穴とモータ
ロータ３１の回転軸であるシャフトを介して接合されて
いる。そしてこれらの接合手段として従来よりナットに
よる接合方法、ロー付け方式による接合方法、及び圧入
方式による接合方法が採用されている。
【０００４】ナットによる接合方法は第７図に示すよう
にモータロータ１のシャフト１´の中間部に固設したフ
ランジ上に前記シャフト１´に貫通されたターゲット２
を載置しこれらをナット５によって締結することにより
接合する方法である。
にモータロータ１のシャフト１´の中間部に固設したフ
ランジ上に前記シャフト１´に貫通されたターゲット２
を載置しこれらをナット５によって締結することにより
接合する方法である。
【０００５】またロー付け方式による接合方法は第８図
に示すようにモータロータ１のシャフト１´とターゲッ
ト２の隙間にロー材６を挿入してロー付けし、さらに前
記ナット５による接合方法によりこれらを接合する方法
である。
に示すようにモータロータ１のシャフト１´とターゲッ
ト２の隙間にロー材６を挿入してロー付けし、さらに前
記ナット５による接合方法によりこれらを接合する方法
である。
【０００６】さらに圧入方式による接合方法は第９図に
示すようにターゲット２の中央部にモータロータ１のシ
ャフト１´の径より小さめに貫通穴２´を穿設し、この
ターゲットの貫通穴２´にモータロータ１のシャフト１
´を圧入することによりこれらを接合する方法である。
示すようにターゲット２の中央部にモータロータ１のシ
ャフト１´の径より小さめに貫通穴２´を穿設し、この
ターゲットの貫通穴２´にモータロータ１のシャフト１
´を圧入することによりこれらを接合する方法である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ナットによ
る接合方法によれば構造が簡単であるという利点がある
が、フランジとナットでトルクの発生方向と直交した面
のみを締めつけることができるにすぎないためトルクの
発生方向に対しては強い接合は期待できない。このため
熱容量の大きな中型、大型のターゲットの場合、モータ
ロータのシャフトとターゲットに滑りが生じる虞れがあ
り、従ってこの接合方法は比較的小型のターゲットにし
か採用できない。これらの接合を強固にするためモータ
ロータのシャフトとターゲットの間に回り止めピンを配
置しスリップを防止させる方法が提案されているが、こ
の方法によっても回転の加速時と減速時に前記回り止め
ピンを配設した部分に応力集中が生じクラックの発生原
因となるため信頼性の点で問題がある。また、ロー付け
方式による場合には、ターゲットの加速と減速に伴う応
力集中は回避できるが、高温時にロー材がターゲット材
料に拡散し、ターゲットの性質を変えてしまうという問
題がある。したがって、締結力が期待できる圧入方式に
よる方法が望まれる。
る接合方法によれば構造が簡単であるという利点がある
が、フランジとナットでトルクの発生方向と直交した面
のみを締めつけることができるにすぎないためトルクの
発生方向に対しては強い接合は期待できない。このため
熱容量の大きな中型、大型のターゲットの場合、モータ
ロータのシャフトとターゲットに滑りが生じる虞れがあ
り、従ってこの接合方法は比較的小型のターゲットにし
か採用できない。これらの接合を強固にするためモータ
ロータのシャフトとターゲットの間に回り止めピンを配
置しスリップを防止させる方法が提案されているが、こ
の方法によっても回転の加速時と減速時に前記回り止め
ピンを配設した部分に応力集中が生じクラックの発生原
因となるため信頼性の点で問題がある。また、ロー付け
方式による場合には、ターゲットの加速と減速に伴う応
力集中は回避できるが、高温時にロー材がターゲット材
料に拡散し、ターゲットの性質を変えてしまうという問
題がある。したがって、締結力が期待できる圧入方式に
よる方法が望まれる。
【０００８】しかしながら、圧入方式による場合、圧入
時に生じる応力から材料の破壊を回避するため従来から
ターゲットの材料としてある程度の靭性を有するモリブ
デン合金（ＴＺＭ）等の金属が用いられているが、大容
量の大型ターゲットに前記モリブデン合金を用いたもの
ではその比重の大きさから軽量化を図るため直径に比較
してその厚さを薄くしなければならない。一方厚さを薄
くした場合には圧入時に生じる大きな力がターゲット自
体の弾性限界を越える場合があり、亀裂を招く危険があ
る。従って、圧入方式による接合方法にもターゲットの
大容量化には限界がある。このため、軽量であって耐熱
性の高い炭素やセラミックスの採用が望まれるがこれら
の材料は脆性材料であるためモータロータのシャフトの
圧入時に降伏点や極限強さを越えた場合には亀裂が生じ
ることとなる。
時に生じる応力から材料の破壊を回避するため従来から
ターゲットの材料としてある程度の靭性を有するモリブ
デン合金（ＴＺＭ）等の金属が用いられているが、大容
量の大型ターゲットに前記モリブデン合金を用いたもの
ではその比重の大きさから軽量化を図るため直径に比較
してその厚さを薄くしなければならない。一方厚さを薄
くした場合には圧入時に生じる大きな力がターゲット自
体の弾性限界を越える場合があり、亀裂を招く危険があ
る。従って、圧入方式による接合方法にもターゲットの
大容量化には限界がある。このため、軽量であって耐熱
性の高い炭素やセラミックスの採用が望まれるがこれら
の材料は脆性材料であるためモータロータのシャフトの
圧入時に降伏点や極限強さを越えた場合には亀裂が生じ
ることとなる。
【０００９】一方、ロータシャフトによってターゲット
を回転させる場合、正確な動バランスが要求され、焼結
モリブデン等硬度がそれほど高くない材料をターゲット
に用いている場合にはＸ線発生層の裏面の外周に近い部
分の切削を行っていたが、セラミックス等の硬度が高い
材料をターゲットに用いた場合には切削が容易でないこ
とから回転バランス調整が困難となる問題が生じること
となる。
を回転させる場合、正確な動バランスが要求され、焼結
モリブデン等硬度がそれほど高くない材料をターゲット
に用いている場合にはＸ線発生層の裏面の外周に近い部
分の切削を行っていたが、セラミックス等の硬度が高い
材料をターゲットに用いた場合には切削が容易でないこ
とから回転バランス調整が困難となる問題が生じること
となる。
【００１０】このような問題点に鑑み本発明は、軽量で
あって耐熱性の高い炭素やセラミックス等からなるター
ゲットと、モータロータとの接続を圧入方式により行う
場合に、亀裂の発生を防止させることを目的とし、さら
にセラミックス等の硬度が高い材料をターゲットに用い
た場合にも回転バランス調整を容易に行うことを目的と
するものである。
あって耐熱性の高い炭素やセラミックス等からなるター
ゲットと、モータロータとの接続を圧入方式により行う
場合に、亀裂の発生を防止させることを目的とし、さら
にセラミックス等の硬度が高い材料をターゲットに用い
た場合にも回転バランス調整を容易に行うことを目的と
するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明に係る回転陽極Ｘ
線管は陰極から照射された熱電子を受けてＸ線を発生さ
せ、中心部に貫通穴を穿設されたターゲットと、前記タ
ーゲットを回転させるためのモータロータと、外周が前
記ターゲットに穿設された貫通穴と略同径であり中心部
に貫通穴を穿設したブッシュを有し、前記ターゲットに
穿設された貫通穴を介して前記ターゲットと前記ブッシ
ュがＣＶＤ法により接合され、さらに前記ブッシュに穿
設された貫通穴に前記モータロータのシャフトを嵌合さ
せた。
線管は陰極から照射された熱電子を受けてＸ線を発生さ
せ、中心部に貫通穴を穿設されたターゲットと、前記タ
ーゲットを回転させるためのモータロータと、外周が前
記ターゲットに穿設された貫通穴と略同径であり中心部
に貫通穴を穿設したブッシュを有し、前記ターゲットに
穿設された貫通穴を介して前記ターゲットと前記ブッシ
ュがＣＶＤ法により接合され、さらに前記ブッシュに穿
設された貫通穴に前記モータロータのシャフトを嵌合さ
せた。
【００１２】また、本発明にかかる回転陽極Ｘ線管の回
転バランス調整方法によってこのような回転陽極Ｘ線管
の回転バランス調整を前記ブッシュを切削することによ
り行った。
転バランス調整方法によってこのような回転陽極Ｘ線管
の回転バランス調整を前記ブッシュを切削することによ
り行った。
【００１３】
【作用】ターゲットと接合したブッシュに対してモータ
ロータのシャフトを圧入するため、圧入時にプレスが加
える加重による垂直応力は、ブッシュが緩和材の役割を
果たしターゲットにはほとんど加わらない。したがって
炭素あるいはセラミックス等の脆性材料で構成されてい
るターゲットに亀裂が生じることはなく、結果として圧
入法によるモータロータとターゲットの堅固な結合が可
能となる。特に本発明はＣＶＤ法によりターゲットとブ
ッシュとの接合を行うため、ターゲットにブッシュを比
較的緩やかに嵌挿した状態でこれらの接合が可能とな
り、モータロータの圧入時にターゲットに対するブッシ
ュの応力変形の影響を極力避けることが可能となる。加
えてＣＶＤ法での接合は膜蒸着により行われるため、例
えば接着剤等で接合する場合に比べて接合後の収縮、膨
脹がなく精度の高い接合が容易となる。
ロータのシャフトを圧入するため、圧入時にプレスが加
える加重による垂直応力は、ブッシュが緩和材の役割を
果たしターゲットにはほとんど加わらない。したがって
炭素あるいはセラミックス等の脆性材料で構成されてい
るターゲットに亀裂が生じることはなく、結果として圧
入法によるモータロータとターゲットの堅固な結合が可
能となる。特に本発明はＣＶＤ法によりターゲットとブ
ッシュとの接合を行うため、ターゲットにブッシュを比
較的緩やかに嵌挿した状態でこれらの接合が可能とな
り、モータロータの圧入時にターゲットに対するブッシ
ュの応力変形の影響を極力避けることが可能となる。加
えてＣＶＤ法での接合は膜蒸着により行われるため、例
えば接着剤等で接合する場合に比べて接合後の収縮、膨
脹がなく精度の高い接合が容易となる。
【００１４】また、ブッシュの切削により回転バランス
修正を行うため、炭素やセラミックス等の脆性材料をタ
ーゲットに用いた場合であっても、ターゲットの回転バ
ランス取りを容易に行うことが可能となる。
修正を行うため、炭素やセラミックス等の脆性材料をタ
ーゲットに用いた場合であっても、ターゲットの回転バ
ランス取りを容易に行うことが可能となる。
【００１５】
【実施例】第１図は本発明一実施例の回転陽極Ｘ線管の
ターゲット部分を示したもので、１はターゲットを回転
させるためのモータロータ、１´はモータロータのシャ
フト、２は脆性材料例えば炭素、セラミックス（窒化ア
ルミニウム）からなるターゲット、２´はターゲット２
の中心部に穿設された貫通穴、４は圧入プレス、３はモ
リブデン合金からなるブッシュである。ここでブッシュ
の材料としてモリブデン合金を用いたのは炭素、セラミ
ックスのいずれもモリブデン合金と熱膨脹率が広い温度
範囲で近いため高温であっても両者間に熱応力が生じず
優れた接合性があるためである。
ターゲット部分を示したもので、１はターゲットを回転
させるためのモータロータ、１´はモータロータのシャ
フト、２は脆性材料例えば炭素、セラミックス（窒化ア
ルミニウム）からなるターゲット、２´はターゲット２
の中心部に穿設された貫通穴、４は圧入プレス、３はモ
リブデン合金からなるブッシュである。ここでブッシュ
の材料としてモリブデン合金を用いたのは炭素、セラミ
ックスのいずれもモリブデン合金と熱膨脹率が広い温度
範囲で近いため高温であっても両者間に熱応力が生じず
優れた接合性があるためである。
【００１６】本発明に用いるブッシュ３の一実施例を第
２図に示す。図に示すようにブッシュ３はフランジ部３
ａと軸部３ｂからなり軸部３ｂにはモータロータ１のシ
ャフト１´を嵌合するための貫通穴３ｃが穿設されてい
る。そしてその軸径はターゲット２の貫通穴２´の穴径
と略同じ長さとする。これはブッシュ３をターゲット２
に嵌合する際にターゲット２に亀裂が生じるのを防止す
るためである。後述するように本発明ではブッシュ３と
ターゲット２をＣＶＤ（Chemical Vaper Deposition)法
により接合する。また、ブッシュ３の貫通穴の軸径はモ
ータロータ１のシャフト１´よりも所定の圧入代だけ小
さくする。これは嵌合によってモータロータ１のシャフ
ト１´とブッシュ３との滑りを防止するためである。
２図に示す。図に示すようにブッシュ３はフランジ部３
ａと軸部３ｂからなり軸部３ｂにはモータロータ１のシ
ャフト１´を嵌合するための貫通穴３ｃが穿設されてい
る。そしてその軸径はターゲット２の貫通穴２´の穴径
と略同じ長さとする。これはブッシュ３をターゲット２
に嵌合する際にターゲット２に亀裂が生じるのを防止す
るためである。後述するように本発明ではブッシュ３と
ターゲット２をＣＶＤ（Chemical Vaper Deposition)法
により接合する。また、ブッシュ３の貫通穴の軸径はモ
ータロータ１のシャフト１´よりも所定の圧入代だけ小
さくする。これは嵌合によってモータロータ１のシャフ
ト１´とブッシュ３との滑りを防止するためである。
【００１７】ここでＣＶＤ法によってブッシュ３とター
ゲット２とを接合する場合の一実施例を示す。第３図は
ＣＶＤ装置の全体図を示し、１５はＣＶＤ反応管で、こ
の内部にブッシュ３が嵌合されたターゲット２をターゲ
ット挿入棒１６を介して載置する。１７は反応管加熱コ
イルでこれによって反応管内温度を４００℃〜８００℃
に加熱する。２８はＷＦ6 ボンベ、２９はその加熱ヒー
タ、２０はＨ2 ボンベ、２１はＡｒボンベで、各ボンベ
はバルブＶおよびマスフローメータ２２またはフローメ
ータ２３を介して反応管１５に接続される。２４は排気
ガス流路で排気ガス処理装置部２５に接続される。
ゲット２とを接合する場合の一実施例を示す。第３図は
ＣＶＤ装置の全体図を示し、１５はＣＶＤ反応管で、こ
の内部にブッシュ３が嵌合されたターゲット２をターゲ
ット挿入棒１６を介して載置する。１７は反応管加熱コ
イルでこれによって反応管内温度を４００℃〜８００℃
に加熱する。２８はＷＦ6 ボンベ、２９はその加熱ヒー
タ、２０はＨ2 ボンベ、２１はＡｒボンベで、各ボンベ
はバルブＶおよびマスフローメータ２２またはフローメ
ータ２３を介して反応管１５に接続される。２４は排気
ガス流路で排気ガス処理装置部２５に接続される。
【００１８】以上の装置において反応管１５内のターゲ
ット棒１６上にブッシュ３を嵌合したターゲット２を図
のごとくセットし、管内を０．５〜７６０Torr程度の所
定圧力に調圧し、Ｈ2 ボンベ２０のバルブを開いてＨ2
ガスを流しながら、加熱コイル１７に通電して管内を例
えば５００℃程度に設定する。この状態でＷＦ6 ボンベ
２８のバルブを開いてＷＦ6 ガスを管内に流通させる。
ＷＦ6 、Ｈ2 の流量等の調整はマスフローメータ２２、
フローメータ２３により流量等を測定しバルブＶを調整
することにより行う。これにより管内では次式(1) に示
す水素還元反応が起り、ブッシュ３を嵌合したターゲッ
ト２の全体にタングステンの膜が生成される。
ット棒１６上にブッシュ３を嵌合したターゲット２を図
のごとくセットし、管内を０．５〜７６０Torr程度の所
定圧力に調圧し、Ｈ2 ボンベ２０のバルブを開いてＨ2
ガスを流しながら、加熱コイル１７に通電して管内を例
えば５００℃程度に設定する。この状態でＷＦ6 ボンベ
２８のバルブを開いてＷＦ6 ガスを管内に流通させる。
ＷＦ6 、Ｈ2 の流量等の調整はマスフローメータ２２、
フローメータ２３により流量等を測定しバルブＶを調整
することにより行う。これにより管内では次式(1) に示
す水素還元反応が起り、ブッシュ３を嵌合したターゲッ
ト２の全体にタングステンの膜が生成される。
【００１９】 ＷＦ6 ＋３Ｈ2 →Ｗ＋６ＨＦ …………… (1) 生成したＨＦガスは排気ガス流路２４を通って、排気ガ
ス処理装置部２５で処理される。所定時間この反応を継
続させた後、加熱を停止しＷＦ6 ガス、Ｈ2 ガスボンベ
のバルブを閉じ、Ａｒガスボンベ２１のバルブを開いて
反応管内をＡｒガスで置換し、管内を大気圧に戻して冷
却する。その後反応管内からブッシュ３が嵌合されたタ
ーゲット２を取り出す。この状態でターゲット２とブッ
シュ３はタングステンの膜により接合されている。
ス処理装置部２５で処理される。所定時間この反応を継
続させた後、加熱を停止しＷＦ6 ガス、Ｈ2 ガスボンベ
のバルブを閉じ、Ａｒガスボンベ２１のバルブを開いて
反応管内をＡｒガスで置換し、管内を大気圧に戻して冷
却する。その後反応管内からブッシュ３が嵌合されたタ
ーゲット２を取り出す。この状態でターゲット２とブッ
シュ３はタングステンの膜により接合されている。
【００２０】次に第１図に示すようにタングステンの膜
によりブッシュ３を接合したターゲット２に圧入プレス
４によってモータロータのシャフト１を圧入する。この
際フレス４が加える加重による垂直応力は、モリブデン
合金（ＴＺＭ）からなるブッシュ３に加わることになり
ターゲット２自身に対してはほとんど加わらない。これ
によって、ターゲット２が炭素あるいはセラミックス等
の脆性材料で構成されている場合であってもブッシュ３
が緩和材の役割を果たしターゲット２に亀裂が生じるこ
とはない。
によりブッシュ３を接合したターゲット２に圧入プレス
４によってモータロータのシャフト１を圧入する。この
際フレス４が加える加重による垂直応力は、モリブデン
合金（ＴＺＭ）からなるブッシュ３に加わることになり
ターゲット２自身に対してはほとんど加わらない。これ
によって、ターゲット２が炭素あるいはセラミックス等
の脆性材料で構成されている場合であってもブッシュ３
が緩和材の役割を果たしターゲット２に亀裂が生じるこ
とはない。
【００２１】［変形実施例］変形例として第４図に示す
ように前記ブッシュ３の端部にねじ溝３Ｍを設けたブッ
シュ３´にナット５を螺着することによりターゲット２
を締め付けた構造で以上のＣＶＤ法によるターゲット２
とブッシュ３との接合を行うことが考えられる。かかる
場合、ターゲット２にブッシュ３を非常に緩く嵌挿した
状態であってもナットにより、ターゲット２とブッシュ
３との正確な位置決め、即ちターゲット２の中心位置に
ブッシュ３を配置させることができる。そしてこの状態
でＣＶＤ法による接合を行えばターゲット２の中心位置
にブッシュ３を配置しかつターゲット２とブッシュ３と
の間に一定の隙間を開けた状態でこれらの堅固な接続が
可能となる。このようにブッシュ３とターゲット２とを
接合したためモータロータの圧入時にターゲットに対す
るブッシュの応力変形の影響を極力避けることが可能と
なる。
ように前記ブッシュ３の端部にねじ溝３Ｍを設けたブッ
シュ３´にナット５を螺着することによりターゲット２
を締め付けた構造で以上のＣＶＤ法によるターゲット２
とブッシュ３との接合を行うことが考えられる。かかる
場合、ターゲット２にブッシュ３を非常に緩く嵌挿した
状態であってもナットにより、ターゲット２とブッシュ
３との正確な位置決め、即ちターゲット２の中心位置に
ブッシュ３を配置させることができる。そしてこの状態
でＣＶＤ法による接合を行えばターゲット２の中心位置
にブッシュ３を配置しかつターゲット２とブッシュ３と
の間に一定の隙間を開けた状態でこれらの堅固な接続が
可能となる。このようにブッシュ３とターゲット２とを
接合したためモータロータの圧入時にターゲットに対す
るブッシュの応力変形の影響を極力避けることが可能と
なる。
【００２２】以上により構成される回転陽極部において
モータロータ１によってターゲット２を回転させ、回転
バランス修正を行う場合にはブッシュ３またはブッシュ
３´のフランジ部を切削することにより不釣合修正を行
えば良い。かかる場合には第５図に示すようにフランジ
部が少し大きめに設計されたブッシュ３”を用いて回転
陽極部を構成すると回転バランス修正が容易となる。
モータロータ１によってターゲット２を回転させ、回転
バランス修正を行う場合にはブッシュ３またはブッシュ
３´のフランジ部を切削することにより不釣合修正を行
えば良い。かかる場合には第５図に示すようにフランジ
部が少し大きめに設計されたブッシュ３”を用いて回転
陽極部を構成すると回転バランス修正が容易となる。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば圧入法によりモータロー
タと炭素あるいはセラミックス等の脆性材料で構成され
ているターゲットの接合を行う場合であっても、ターゲ
ットに亀裂が生じることはない。したがってモータロー
タとターゲットの接合においてターゲットの破損の危険
を防止し、かつモータロータとターゲットの間に加速と
減速時に発生するトルクにも耐え得る回転陽極Ｘ線管を
提供することが可能となる。特にＣＶＤ法によりターゲ
ットとブッシュとの接合を行ったため、精度の高い接合
が可能となりターゲットの面振れを抑制することができ
る。また、モータロータの圧入時にターゲットに対する
ブッシュの応力変形の影響を極力避けることが可能とな
る。
タと炭素あるいはセラミックス等の脆性材料で構成され
ているターゲットの接合を行う場合であっても、ターゲ
ットに亀裂が生じることはない。したがってモータロー
タとターゲットの接合においてターゲットの破損の危険
を防止し、かつモータロータとターゲットの間に加速と
減速時に発生するトルクにも耐え得る回転陽極Ｘ線管を
提供することが可能となる。特にＣＶＤ法によりターゲ
ットとブッシュとの接合を行ったため、精度の高い接合
が可能となりターゲットの面振れを抑制することができ
る。また、モータロータの圧入時にターゲットに対する
ブッシュの応力変形の影響を極力避けることが可能とな
る。
【００２４】また、本発明によれば前記ブッシュを切削
することにより炭素やセラミックス等硬度が高い脆性材
料をターゲットに用いた場合であっても、回転バランス
取りを容易に行うことが可能となる。とくにターゲット
に直接手を加えないためターゲットの損傷がなく寿命、
信頼性が向上する。
することにより炭素やセラミックス等硬度が高い脆性材
料をターゲットに用いた場合であっても、回転バランス
取りを容易に行うことが可能となる。とくにターゲット
に直接手を加えないためターゲットの損傷がなく寿命、
信頼性が向上する。
【図１】この発明に基づくＸ線管回転陽極の一実施例の
断面図。
断面図。
【図２】この発明に基づくブッシュの一実施例を示す図
である。
である。
【図３】ＣＶＤ装置を示す図である。
【図４】本発明の変形実施例でブッシュにネジ部を設け
てナットでターゲットを締め付けた状態でモータロータ
の圧入を行う場合を示す図である。
てナットでターゲットを締め付けた状態でモータロータ
の圧入を行う場合を示す図である。
【図５】ブッシュのフランジ部切削により動バランスの
修正のためブッシュのフランジ部を少し大きめに設計し
た場合の本発明の一実施例を示す図である。
修正のためブッシュのフランジ部を少し大きめに設計し
た場合の本発明の一実施例を示す図である。
【図６】回転陽極Ｘ線管の全体図を示す図である。
【図７】ターゲットとモータロータとをナットにより接
合したＸ線管回転陽極を示す図である。
合したＸ線管回転陽極を示す図である。
【図８】ターゲットとモータロータとをロー付法により
接合したＸ線管回転陽極を示す図である。
接合したＸ線管回転陽極を示す図である。
【図９】ターゲットとモータロータとを圧入法により接
合する場合を示す図である。
合する場合を示す図である。
１…モータロータ ２…ターゲット ３、３´、３“…ブッシュ ４…ナット ５…ロー材 １５…ＣＶＤ反応管 １７…加熱コイル ２８…ＷＦ6 ボンべ ２０…Ｈ2 ボンベ ２１…Ａｒボンベ
フロントページの続き (72)発明者 山西 圭一 京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式 会社 島津製作所 三条工場内 (72)発明者 土屋 定男 京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式 会社 島津製作所 三条工場内 (56)参考文献 特開 平１−151142（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−48684（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−8838（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−63760（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 35/10 H01J 9/14
Claims (2)
- 【請求項１】 陰極から照射された熱電子を受けてＸ線
を発生させ、中心部貫通穴を穿設されたターゲットと、
前記ターゲットを回転させるためのモータロータと、外
周が前記ターゲットに穿設された貫通穴と略同径であり
中心部に貫通穴を穿設したブッシュを有し、前記ターゲ
ットに穿設された貫通穴を介して前記ターゲットと前記
ブッシュがＣＶＤ法により接合され、さらに前記ブッシ
ュに穿設された貫通穴に前記モータロータのシャフトを
嵌合させたことを特徴とする回転陽極Ｘ線管。 - 【請求項２】 陰極から照射された熱電子を受けてＸ線
を発生させ、中心部貫通穴を穿設されたターゲットと、
前記ターゲットを回転させるためのモータロータと、外
周が前記ターゲットに穿設された貫通穴と略同径であり
中心部に貫通穴を穿設したブッシュを有し、前記ターゲ
ットに穿設された貫通穴を介して前記ターゲットと前記
ブッシュがＣＶＤ法により接合され、さらに前記ブッシ
ュに穿設された貫通穴に前記モータロータのシャフトを
嵌合させた回転陽極Ｘ線管の回転バランス調整方法にお
いて、前記ブッシュを切削することにより前記ターゲッ
トの回転バランス取りを行うことを特徴とする回転陽極
Ｘ線管の回転バランス調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11714092A JP3168687B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 回転陽極ｘ線管及び回転陽極ｘ線管の回転バランス調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11714092A JP3168687B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 回転陽極ｘ線管及び回転陽極ｘ線管の回転バランス調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05314936A JPH05314936A (ja) | 1993-11-26 |
| JP3168687B2 true JP3168687B2 (ja) | 2001-05-21 |
Family
ID=14704452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11714092A Expired - Fee Related JP3168687B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 回転陽極ｘ線管及び回転陽極ｘ線管の回転バランス調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3168687B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5838762A (en) * | 1996-12-11 | 1998-11-17 | General Electric Company | Rotating anode for x-ray tube using interference fit |
| US6173996B1 (en) * | 1997-11-25 | 2001-01-16 | General Electric Company | Compliant joint with a coupling member for interfacing dissimilar metals in X-ray tubes |
| US6925152B2 (en) * | 2003-05-13 | 2005-08-02 | Ge Medical Systems Global Technology Co., Llc | Target attachment assembly |
-
1992
- 1992-05-11 JP JP11714092A patent/JP3168687B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05314936A (ja) | 1993-11-26 |
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