JP3154074B2 - Optical disk inspection device - Google Patents
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Description
【0001】[0001]
【目次】以下の順序で本発明を説明する。 産業上の利用分野 従来の技術(図4) 発明が解決しようとする課題(図4) 課題を解決するための手段(図1〜図3) 作用(図1〜図3) 実施例(図1〜図3) 発明の効果[Table of Contents] The present invention will be described in the following order. Industrial application Conventional technology (FIG. 4) Problems to be solved by the invention (FIG. 4) Means for solving the problems (FIGS. 1 to 3) Operation (FIGS. 1 to 3) Example (FIG. 1) 3) Effect of the invention
【0002】[0002]
【産業上の利用分野】本発明は光デイスク検査装置に関
し、例えばコンパクトデイスク製造時にデイスク表面の
欠陥を検査するものに適用し得る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical disk inspection apparatus, and can be applied to, for example, an apparatus for inspecting a disk surface for defects during manufacturing of a compact disk.
【0003】[0003]
【従来の技術】従来、コンパクトデイスクを製造する際
には、出来上がつたコンパクトデイスクが商品として出
荷可能か否かを判断する必要があり、このため光デイス
ク表面欠陥検査機(以下光デイスク検査機と呼ぶ)が用
いられている。この光デイスク検査機は、コンパクトデ
イスクの表面をレーザービームでスキヤンして、主に光
デイスク表面の傷や偏光欠陥に注目することにより、光
デイスクを検査するようになされている。2. Description of the Related Art Conventionally, when manufacturing a compact disk, it is necessary to determine whether or not the finished compact disk can be shipped as a product. For this reason, an optical disk surface defect inspection machine (hereinafter referred to as an optical disk inspection) is required. Machine). This optical disk inspection machine inspects an optical disk by scanning the surface of the compact disk with a laser beam and focusing mainly on scratches and polarization defects on the surface of the optical disk.
【0004】図4に示すように、光デイスク検査機1を
用いた検査工程においては、被検査対象のコンパクトデ
イスク2が光デイスク検査機1に装填され、この結果光
デイスク検査機1がこのコンパクトデイスク2につい
て、傷や偏光欠陥等の有無を検査し、この検査結果によ
りコンパクトデイスク2をA品、B品又はC品に分類す
る。As shown in FIG. 4, in an inspection process using the optical disk inspection machine 1, a compact disk 2 to be inspected is loaded into the optical disk inspection machine 1, and as a result, the optical disk inspection machine 1 The disc 2 is inspected for the presence of scratches, polarization defects, and the like, and the compact disc 2 is classified into an A product, a B product, or a C product based on the inspection result.
【0005】A品とはコンパクトデイスク2に傷や偏光
欠陥が無い場合であり良品として出荷工程3に廻され、
逆にC品とはコンパクトデイスク2に偏光欠陥が存在す
る場合であり、不良品として除外される。またB品とは
コンパクトデイスク2に傷のみが存在する場合であり目
視検査工程4に廻される。[0005] Product A is a case where the compact disk 2 has no scratches or polarization defects, and is sent to the shipping process 3 as a good product.
Conversely, the C product is a case where a polarization defect exists in the compact disk 2 and is excluded as a defective product. In addition, the product B is a case where only a scratch is present on the compact disk 2 and is sent to the visual inspection step 4.
【0006】目視検査工程4ではコンパクトデイスク2
の表面を人間が目視検査し、傷の程度によつて良品であ
るか不良品であるかを判断する。この結果良品と判断さ
れたコンパクトデイスク2はA品と同様に出荷工程3に
廻され、不良品と判断されたコンパクトデイスク2はC
品と同様に除外される。In the visual inspection step 4, the compact disk 2
A human inspects the surface of the sample visually to determine whether it is good or defective according to the degree of the scratch. As a result, the compact disk 2 determined to be good is sent to the shipping process 3 in the same manner as the product A, and the compact disk 2 determined to be defective is replaced by C
Excluded as well as goods.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところが上述の検査工
程においては、光デイスク検査機1によつてB品と判断
されたコンパクトデイスク2を目視検査工程4で目視検
査するため、経験と熟練を有する人間が必要であること
に加えて、人間が判断する分検査時間が長くなつてしま
う問題があつた。However, in the above-described inspection process, the compact disk 2 determined to be a B-product by the optical disk inspection machine 1 is visually inspected in the visual inspection process 4, so that it has experience and skill. In addition to the necessity of humans, there is a problem that the inspection time becomes longer by human judgment.
【0008】この問題を解決するため光デイスク検査機
1自体で、傷のみでB品として分類されたコンパクトデ
イスク2が良品であるか不良品であるかを判断すれば良
いと考えられるが、この判断のためには多くのパラメー
タを設定又は調整する必要があり、実現が困難であつ
た。In order to solve this problem, it is considered that the optical disk inspection machine 1 itself should judge whether the compact disk 2 classified as a product B based on only the scratches is a good product or a defective product. Many parameters have to be set or adjusted for the determination, which is difficult to realize.
【0009】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、簡易な構成で光デイスクの検査工程を自動化し得る
光デイスク検査装置を提案しようとするものである。The present invention has been made in view of the above points, and it is an object of the present invention to propose an optical disk inspection apparatus which can automate an optical disk inspection process with a simple configuration.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め第1の発明においては、装填された光デイスク2を光
学的に検査し、その検査結果として光デイスク2が良品
(A品)か、不良品(C品)か又は傷のみの光デイスク
2(B品)かを出力する光デイスク検査機11と、その
光デイスク検査機11によつて検出された傷のみの光デ
イスク2(B品)について、光デイスク検査機11の光
学的なデイスク検査情報OPTが入力され、傷のみの光
デイスク2(B品)のデイスク検査情報OPT及び良品
か不良品かの判断(NG/OK)を教師データとして繰
り返された学習に基づいて、傷のみの光デイスク2(B
品)が良品(OK)か又は不良品(NG)かを判断する
ニユーラルネツトワーク12とを設けるようにした。According to a first aspect of the present invention, a loaded optical disc 2 is optically inspected, and as a result of the inspection, whether the optical disc 2 is a good product (A product) or not. An optical disc inspection machine 11 for outputting a defective product (C product) or an optical disc 2 only for scratches (B product); and an optical disc 2 only for scratches detected by the optical disc inspection machine 11 (B product) ), The optical disk inspection information OPT of the optical disk inspection machine 11 is input, and the teacher instructs the disk inspection information OPT of the optical disk 2 having only the scratches (B product) and the judgment of good or defective (NG / OK). Based on the learning repeated as data, the optical disk 2 (B
And a neural network 12 for judging whether the product is a good product (OK) or a defective product (NG).
【0011】また第2の発明において、光デイスク検査
機11は、レーザー光源20から射出されたレーザービ
ームLで光デイスク2の表面上を走査し、その光デイス
ク2で反射された0次光L0のP波成分、S波成分及び
光デイスク2で反射された1次光L1に基づいて、デイ
スク検査情報OPTを発生するようにした。In the second invention, the optical disk inspection device 11 scans the surface of the optical disk 2 with the laser beam L emitted from the laser light source 20, and the zero-order light L0 reflected by the optical disk 2 The disk inspection information OPT is generated based on the P-wave component, the S-wave component, and the primary light L1 reflected by the optical disk 2.
【0012】[0012]
【作用】光デイスク検査機11で装填された光デイスク
2を光学的に検査し、その検査結果として光デイスク2
が良品(A品)か、不良品(C品)か又は傷のみの光デ
イスク2(B品)かを出力すると共に、傷のみの光デイ
スク2(B品)のデイスク検査情報OPT及び良品か不
良品かの判断を教師データとして学習を繰り返したニユ
ーラルネツトワーク12に、傷のみの光デイスク2(B
品)について光デイスク検査機11の光学的なデイスク
検査情報OPTを入力して、傷のみの光デイスク2(B
品)が良品(OK)か又は不良品(NG)かを判断する
ようにしたことにより、簡易な構成で光デイスク2の検
査工程を自動化し得る。The optical disk 2 loaded by the optical disk inspection machine 11 is optically inspected, and as a result of the inspection, the optical disk 2 is inspected.
Outputs the non-defective (A product), the defective product (C product), or the optical disc 2 with only the scratch (B product), and the disc inspection information OPT of the optical disc 2 with only the scratch and the non-defective product (B product). An optical disk 2 (B
The optical disk inspection information OPT of the optical disk inspection machine 11 is input for the optical disk 2 and the optical disk 2 (B
The inspection process of the optical disk 2 can be automated with a simple configuration by judging whether the product is a good product (OK) or a defective product (NG).
【0013】[0013]
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG.
【0014】図4との対応部分に同一符号を付した図1
において、10は全体として本発明による光デイスク検
査装置を示し、被検査対象のコンパクトデイスク2が光
デイスク検査機11に装填され、この結果光デイスク検
査機11がこのコンパクトデイスク2について、傷や偏
光欠陥等の有無を検査する。FIG. 1 in which parts corresponding to those in FIG.
Numeral 10 denotes an optical disk inspection apparatus according to the present invention as a whole, in which a compact disk 2 to be inspected is loaded on an optical disk inspection machine 11, and as a result, the optical disk inspection machine 11 Inspect for defects.
【0015】この実施例の場合も従来と同様に光デイス
ク検査機11は、検査結果に応じてコンパクトデイスク
2をA品、B品又はC品に分類し、A品は良品として出
荷工程3に廻し、逆にC品は不良品として除外する。な
おこの実施例の場合B品は、ニユーラルネツトワーク1
2において再度検査される。In this embodiment, as in the prior art, the optical disk inspection machine 11 classifies the compact disk 2 into A, B or C according to the inspection result. It is turned around and conversely, the product C is excluded as a defective product. In the case of this embodiment, the product B is the neural network 1
Tested again at 2.
【0016】このニユーラルネツトワーク12は、図2
に示すように、光デイスク検査機11がB品として分類
したコンパクトデイスク2について、光学的なデイスク
検査情報OPTと目視検査工程4による目視検査結果と
しての良品か不良品か判断情報OK/NGとが教育デー
タとして入力され、この教育データについての学習を繰
り返す。This neural network 12 is shown in FIG.
As shown in the figure, the optical disk inspection machine 11 classifies the compact disk 2 as a product B into the optical disk inspection information OPT and the OK / NG determination information OK / NG as the result of the visual inspection performed by the visual inspection step 4 as to whether the product is good or defective. Is input as educational data, and learning on the educational data is repeated.
【0017】この後このニユーラルネツトワーク12
は、光デイスク検査機11がB品として分類したコンパ
クトデイスク2について、光学的なデイスク検査情報O
PTに基づいて熟練した人間による目視確認と同様の判
断を自動的に実行し、B品として分類されたコンパクト
デイスク2が良品として出荷可能か又は不良品として出
荷が不可能かを判断する。After that, the neural network 12
Is the optical disk inspection information O on the compact disk 2 classified by the optical disk inspection machine 11 as a B product.
Based on the PT, a judgment similar to the visual check by a skilled person is automatically executed, and it is judged whether the compact disk 2 classified as a B product can be shipped as a good product or cannot be shipped as a defective product.
【0018】ここでこの実施例の場合、光デイスク検査
機11は図3に示すように構成されており、レーザー光
源20から射出されたレーザービームLが第1の偏光ビ
ームスプリツタ(PBS)21で反射されて直線偏光の
レーザー光になる。続いてこのレーザー光は1/4波長
板22を通過して円偏光のレーザー光となり、これが対
物レンズ23で集光されてコンパクトデイスク2を照射
する。この結果コンパクトデイスク2で反射する反射光
は、正反射する0次光ビームL0とピツトにより反射す
る1次光ビームL1に分かれる。In the case of this embodiment, the optical disk inspection device 11 is configured as shown in FIG. 3, and a laser beam L emitted from a laser light source 20 is applied to a first polarizing beam splitter (PBS) 21. And is converted into a linearly polarized laser beam. Subsequently, this laser light passes through the quarter-wave plate 22 to become circularly polarized laser light, which is condensed by the objective lens 23 and irradiates the compact disk 2. As a result, the reflected light reflected by the compact disk 2 is split into a zero-order light beam L0 that is regularly reflected and a primary light beam L1 that is reflected by a pit.
【0019】このうち0次光ビームL0は対物レンズ2
3に戻り集光レンズ24で集光されて、第2の偏光ビー
ムスプリツタ25でP波成分及びS波成分に分光され、
それぞれ第1及び第2の0次光フオトダイオード26及
び27に入射するようになされ、1次光ビームL1は対
物レンズ23の周辺に配置された1次光フオトダイオー
ド28に集光する。Of these, the zero-order light beam L0 is
3, the light is condensed by the condensing lens 24, and is split into a P-wave component and an S-wave component by the second polarizing beam splitter 25.
The primary light beam L1 is incident on the first and second zero-order optical photodiodes 26 and 27, respectively, and is focused on the primary light photodiode 28 disposed around the objective lens 23.
【0020】第1及び第2の0次光フオトダイオード2
6及び27の受光出力PA及びPBは、それぞれ第1の
加算回路29及び減算回路30に入力され、この結果得
られる第1の加算信号PA+PBが特徴抽出処理計算回
路31、第2の加算回路32、第1及び第2の割り算回
路33及び34に入力され、また減算回路30から得ら
れる減算信号PA−PBが第2の割り算回路34に入力
される。First and second zero-order optical photodiodes 2
The light receiving outputs PA and PB of 6 and 27 are input to a first addition circuit 29 and a subtraction circuit 30, respectively, and the resulting first addition signal PA + PB is converted into a feature extraction processing calculation circuit 31, a second addition circuit 32 , The first and second division circuits 33 and 34, and the subtraction signal PA-PB obtained from the subtraction circuit 30 is input to the second division circuit 34.
【0021】また1次光フオトダイオード28の受光出
力P1は、特徴抽出処理計算回路31、第2の加算回路
32及び第1の割り算回路33に入力される。第2の加
算回路32は第1の加算回路29の第1の加算信号PA
+PB及び1次光フオトダイオード28の受光出力P1
を加算し、この結果得られる第2の加算信号PA+PB
+P1が特徴抽出処理計算回路31に入力される。The received light output P1 of the primary optical photodiode 28 is input to a feature extraction processing calculation circuit 31, a second addition circuit 32, and a first division circuit 33. The second addition circuit 32 outputs the first addition signal PA of the first addition circuit 29.
+ PB and the light receiving output P1 of the primary optical photodiode 28
, And the resulting second addition signal PA + PB
+ P1 is input to the feature extraction processing calculation circuit 31.
【0022】第1の割り算回路33は、1次光フオトダ
イオード28の受光出力P1を第1の加算信号PA+P
Bで割り、この結果得られる割り算信号P1/PA+P
Bが特徴抽出処理計算回路31に入力され、また第2の
割り算回路34は、減算信号PA−PBを第1の加算信
号PA+PBで割り、この結果得られる割り算信号PA
−PB/PA+PBが特徴抽出処理計算回路31に入力
される。The first dividing circuit 33 converts the light receiving output P1 of the primary optical photodiode 28 into a first addition signal PA + P.
B and the resulting division signal P1 / PA + P
B is input to the feature extraction processing calculation circuit 31, and the second division circuit 34 divides the subtraction signal PA-PB by the first addition signal PA + PB, and obtains the resulting division signal PA
−PB / PA + PB is input to the feature extraction processing calculation circuit 31.
【0023】この特徴抽出処理回路31は、入力される
0次光の受光出力でなる第1の加算信号PA+PBや1
次光の受光出力P1、第2の加算信号PA+PB+P
1、第1及び第2の割り算信号P1/PA+PB及びP
A−PB/PA+PBに基づいて、コンパクトデイスク
2の欠陥を判断するようになされている。The feature extraction processing circuit 31 receives a first addition signal PA + PB or 1
Next light receiving output P1, second addition signal PA + PB + P
1, first and second division signals P1 / PA + PB and P
The defect of the compact disk 2 is determined based on A-PB / PA + PB.
【0024】特徴抽出処理計算回路31は、コンパクト
デイスク2上に傷、異物、コールドスラツジ、汚れ、黒
点、ピンホール等が存在するため、1周当たりの0次光
の受光出力でなる第1の加算信号PA+PBが、連続し
て所定個以上のポイントでしきい値を越えた場合、反射
率が落ちるためしきい値に応じてB品又はC品と分類し
これを出力する。The feature extraction processing calculation circuit 31 has a first output consisting of the light receiving output of the zero-order light per one round because the compact disk 2 has scratches, foreign matter, cold sludge, dirt, black spots, pinholes and the like. If the sum signal PA + PB continuously exceeds the threshold value at a predetermined number or more points, the reflectivity falls, so that the product is classified as a B product or a C product according to the threshold value and output.
【0025】また特徴抽出処理計算回路31は、コンパ
クトデイスク2上に転写不良によるピツト落ちやオイル
によるピツト潰れ等が存在し、1周当たりの1次光の受
光出力P1が所定のしきい値を越えた場合、ピツト不良
としてしきい値に応じてB品又はC品と分類しこれを出
力する。The feature extraction processing calculation circuit 31 indicates that a pit drop due to improper transfer or a pit crush due to oil is present on the compact disk 2, and the received light output P1 of the primary light per one round is a predetermined threshold value. If it exceeds, it is classified as a B product or a C product according to the threshold value as a pit defect and is output.
【0026】さらに特徴抽出処理計算回路31は、コン
パクトデイスク2上にコールド、ウエルド、剥離ムラが
存在し、0次光のP波とS波の各受光出力PA、PBの
差/和の絶対値が所定のしきい値を越えた場合、偏光欠
陥としてC品と分類しこれを出力する。Further, the feature extraction processing calculation circuit 31 calculates that the absolute value of the difference / sum of the light-receiving outputs PA and PB of the P-wave and S-wave of the 0th-order light when cold, weld, and peeling unevenness exist on the compact disk 2 Exceeds a predetermined threshold value, it is classified as a polarization product as a C product and is output.
【0027】またこの実施例の場合特徴抽出処理計算回
路31は、このように分類結果としてコンパクトデイス
ク2がA品か、B品か又はC品かを出力することに加え
て、分類結果がB品の場合には、0次光の受光出力でな
る第1の加算信号PA+PBや1次光の受光出力P1、
第2の加算信号PA+PB+P1、第1及び第2の割り
算信号P1/PA+PB及びPA−PB/PA+PBを
光学的なデイスク検査情報OPTとしニユーラルネツト
ワーク12に送出するようになされている。In the case of this embodiment, the feature extraction processing calculation circuit 31 outputs the classification result as to whether the compact disk 2 is an A product, a B product, or a C product as well as the classification result as B In the case of a product, the first addition signal PA + PB, which is the light receiving output of the zero-order light, the light receiving output P1, of the primary light
The second addition signal PA + PB + P1, the first and second division signals P1 / PA + PB, and PA-PB / PA + PB are sent to the network 12 as optical disk inspection information OPT.
【0028】以上の構成において、この光デイスク検査
装置10でコンパクトデイスク2を検査する場合の工程
としては、被検査対象のコンパクトデイスク2を光デイ
スク検査機11に装填するのみで良い。このようにすれ
ば光デイスク検査機11の検査結果に応じて、A品のコ
ンパクトデイスク2は良品として出荷工程3に廻され、
逆にC品は不良品として除外される。In the above-described configuration, the process of inspecting the compact disk 2 by the optical disk inspection apparatus 10 only requires loading the compact disk 2 to be inspected into the optical disk inspection machine 11. In this way, according to the inspection result of the optical disk inspection machine 11, the compact disk 2 of the product A is sent to the shipping process 3 as a non-defective product,
Conversely, the C product is excluded as a defective product.
【0029】またB品はニユーラルネツトワーク12に
おいて学習結果に基づいて、同時に入力される光学的な
デイスク検査情報OPTを用いて良品か不良品かが判断
され、良品の場合には出荷工程に廻され、不良品の場合
には除外される。The B product is judged to be non-defective or non-defective by using the optical disk inspection information OPT input at the same time on the basis of the learning result in the neural network 12. It will be rejected if it is defective.
【0030】このようにしてこの光デイスク検査装置1
0の場合、人手による目視検査工程等を経ることなく自
動的にコンパクトデイスク2を検査し、良品として出荷
工程に廻すか、不良品として除外するかを判断し得るよ
うになされており、検査時間を格段的に短縮化し得ると
共に、検査のために熟練した人間が不要になることによ
り、使い勝手を格段的に向上することができる。In this way, the optical disk inspection device 1
In the case of 0, the compact disk 2 is automatically inspected without going through a manual inspection process or the like, and it can be determined whether the compact disk 2 should be sent to the shipping process as a good product or excluded as a defective product. Can be significantly shortened, and since a skilled person is not required for the inspection, usability can be significantly improved.
【0031】以上の構成によれば、光デイスク検査機1
1で装填されたコンパクトデイスク2を光学的に検査
し、その検査結果としてコンパクトデイスク2が良品
か、不良品か又は傷のみのコンパクトデイスク2かを出
力すると共に、傷のみのコンパクトデイスク2のデイス
ク検査情報OPT及び良品か不良品かの判断OK/NG
を教師データとして学習を繰り返したニユーラルネツト
ワーク12に、傷のみのコンパクトデイスク2について
光デイスク検査機11の光学的なデイスク検査情報OP
Tを入力して、傷のみのコンパクトデイスク2が良品か
又は不良品かを判断するようにしたことにより、簡易な
構成でコンパクトデイスク2の検査工程を自動化し得る
光デイスク検査装置10を実現できる。According to the above configuration, the optical disk inspection machine 1
The compact disc 2 loaded in 1 is optically inspected, and as a result of the inspection, the compact disc 2 is output as a good product, a defective product, or a compact disc 2 having only scratches, and the disc of the compact disc 2 having only scratches is outputted. Inspection information OPT and judgment of OK / NG
The optical disk inspection information OP of the optical disk inspection machine 11 for the scratch-only compact disk 2
By inputting T and judging whether the compact disc 2 having only scratches is good or defective, it is possible to realize the optical disc inspection apparatus 10 that can automate the inspection process of the compact disc 2 with a simple configuration. .
【0032】なお上述の実施例においては、本発明をコ
ンパクトデイスクの製造工程において、コンパクトデイ
スクを検査するものに適用したが、これに限らず、ビデ
オレーザーデイスクや光磁気デイスク等他の光デイスク
を検査する場合の光デイスク検査装置に広く適用して好
適なものである。In the above-mentioned embodiment, the present invention is applied to the inspection of a compact disk in the manufacturing process of the compact disk. However, the present invention is not limited to this, and other optical disks such as a video laser disk and a magneto-optical disk may be used. It is suitable for wide application to an optical disk inspection device for inspection.
【0033】[0033]
【発明の効果】上述のように本発明によれば、光デイス
ク検査機で装填された光デイスクを光学的に検査し、そ
の検査結果として光デイスクが良品か、不良品か又は傷
のみの光デイスクかを出力すると共に、傷のみの光デイ
スクのデイスク検査情報及び良品か不良品かの判断を教
師データとして学習を繰り返したニユーラルネツトワー
クに、傷のみの光デイスクについて光デイスク検査機の
光学的なデイスク検査情報を入力して、傷のみの光デイ
スクが良品か又は不良品かを判断させるようにしたこと
により、簡易な構成で光デイスクの検査工程を自動化し
得る光デイスク検査装置を実現できる。As described above, according to the present invention, an optical disk loaded by an optical disk inspection machine is optically inspected, and as a result of the inspection, the optical disk is determined to be a non-defective product, a defective product, or a light having only scratches. In addition to outputting the information on the disc, the optical disc of the optical disc inspection machine is used for the neural network that has repeatedly learned the disc inspection information of the optical disc with only scratches and the judgment of good or defective as teacher data as teacher data. Optical disk inspection device that can automate the optical disk inspection process with a simple configuration by inputting basic disk inspection information and determining whether an optical disk with only scratches is good or defective it can.
【図1】本発明による光デイスク検査装置の一実施例を
示すブロツク図である。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an optical disk inspection apparatus according to the present invention.
【図2】図1の光デイスク検査装置におけるニユーラル
ネツトワークの学習の説明に供するブロツク図である。FIG. 2 is a block diagram for explaining learning of a neural network in the optical disk inspection device of FIG. 1;
【図3】図1の光デイスク検査装置における光デイスク
検査機の構成を示すブロツク図である。FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of an optical disk inspection machine in the optical disk inspection device of FIG.
【図4】従来の光デイスク検査機による検査工程を示す
ブロツク図である。FIG. 4 is a block diagram showing an inspection process by a conventional optical disk inspection machine.
1、11……光デイスク検査機、2……コンパクトデイ
スク、3……出荷工程、4……目視検査工程、12……
ニユーラルネツトワーク、20……レーザー光源、2
1、25……PBS、22……1/4波長板、23、2
4……レンズ、26、27、28……フオトダイオー
ド、29、32……加算回路、30……減算回路、31
……特徴抽出処理計算回路、33、34……割り算回
路。1, 11 optical disc inspection machine, 2 compact disk, 3 shipping process, 4 visual inspection process, 12
Neural network, 20 laser light source, 2
1, 25 ... PBS, 22 ... 1/4 wavelength plate, 23, 2
4. Lens, 26, 27, 28 Photodiode, 29, 32 Addition circuit, 30 Subtraction circuit, 31
... Feature extraction processing calculation circuit, 33, 34... Division circuit.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 21/84 - 21/958 G01B 11/00 - 11/30 G11B 7/26 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01N 21/84-21/958 G01B 11/00-11/30 G11B 7/26
Claims (2)
当該検査結果として上記光デイスクが良品か、不良品か
又は傷のみの光デイスクかを出力する光デイスク検査機
と、 当該光デイスク検査機によつて検出された上記傷のみの
光デイスクについて、上記光デイスク検査機の光学的な
デイスク検査情報が入力され、上記傷のみの光デイスク
の上記デイスク検査情報及び良品か不良品かの判断を教
師データとして繰り返された学習に基づいて、上記傷の
みの光デイスクが良品か又は不良品かを判断するニユー
ラルネツトワークとを具えることを特徴とする光デイス
ク検査装置。1. The optical disk loaded is optically inspected.
The optical disk inspection machine that outputs whether the optical disk is a good product, a defective product, or an optical disk with only a scratch as the inspection result, and the optical disk with only the scratch detected by the optical disk inspection machine, are as described above. Optical disk inspection information of the optical disk inspection machine is input, and based on the disk inspection information of the optical disk with only the scratches and the learning in which the judgment as to whether the optical disk is good or defective is repeated as teacher data, only the scratches are determined. An optical disk inspection apparatus, comprising: a network for determining whether an optical disk is good or defective.
ら射出されたレーザービームで上記光デイスクの表面上
を走査し、当該光デイスクで反射された0次光のP波成
分、S波成分及び上記光デイスクで反射された1次光に
基づいて、上記デイスク検査情報を発生するようにした
ことを特徴とする請求項1に記載の光デイスク検査装
置。2. The optical disk inspection apparatus scans a surface of the optical disk with a laser beam emitted from a laser light source, and detects a P-wave component, an S-wave component, and a 0-order light reflected by the optical disk. 2. The optical disk inspection apparatus according to claim 1, wherein the disk inspection information is generated based on primary light reflected by the optical disk.
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP18756092A JP3154074B2 (en) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | Optical disk inspection device |
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JPH063280A JPH063280A (en) | 1994-01-11 |
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JP18756092A Expired - Fee Related JP3154074B2 (en) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | Optical disk inspection device |
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