JP3149310B2 - レーザ光観察装置 - Google Patents
レーザ光観察装置Info
- Publication number
- JP3149310B2 JP3149310B2 JP09953294A JP9953294A JP3149310B2 JP 3149310 B2 JP3149310 B2 JP 3149310B2 JP 09953294 A JP09953294 A JP 09953294A JP 9953294 A JP9953294 A JP 9953294A JP 3149310 B2 JP3149310 B2 JP 3149310B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser light
- light
- monitor
- laser
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 19
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 18
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 25
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000004021 metal welding Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、モニタレーザ光を観察
することで、大出力レーザ光の集光状態を擬似的に観察
するレーザ光観察装置に関する。
することで、大出力レーザ光の集光状態を擬似的に観察
するレーザ光観察装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ＹＡＧレーザ、エキシマレー
ザ、ヨウ素レーザなどの大出力レーザ光は、非可視波長
域にあるために目視できないが、半導体レーザに比べて
極めて強い光を出すことが可能であり、金属などの切
断、穴あけ等の精密加工、溶接等に使用される。
ザ、ヨウ素レーザなどの大出力レーザ光は、非可視波長
域にあるために目視できないが、半導体レーザに比べて
極めて強い光を出すことが可能であり、金属などの切
断、穴あけ等の精密加工、溶接等に使用される。
【０００３】ところで、このようなＹＡＧレーザ等の大
出力レーザ光をファイバを介して加工現場等にまで導く
ためには、大出力レーザ光を集光して精度良く光ファイ
バのコア内に入射させることが不可欠である。
出力レーザ光をファイバを介して加工現場等にまで導く
ためには、大出力レーザ光を集光して精度良く光ファイ
バのコア内に入射させることが不可欠である。
【０００４】すなわち、大出力レーザ光を集光するため
には、通常、集光レンズが使用されるが、この集光レン
ズの光軸と光ファイバの光軸とが互いにずれていると、
大出力レーザ光が光ファイバのコア内に効率良く入射さ
れないために、大出力レーザ光が熱に変わって光ファイ
バ端面が破壊されたり、加工や溶接等を行う上での所期
の光強度が得られない等の不都合を生じる。
には、通常、集光レンズが使用されるが、この集光レン
ズの光軸と光ファイバの光軸とが互いにずれていると、
大出力レーザ光が光ファイバのコア内に効率良く入射さ
れないために、大出力レーザ光が熱に変わって光ファイ
バ端面が破壊されたり、加工や溶接等を行う上での所期
の光強度が得られない等の不都合を生じる。
【０００５】したがって、大出力レーザ光が精度良く光
ファイバのコア内に入射しているか否かをモニタするこ
とが必要となる。
ファイバのコア内に入射しているか否かをモニタするこ
とが必要となる。
【０００６】そこで、従来は、大出力レーザ光が光ファ
イバ端面へ入射する位置をモニタするために、たとえ
ば、図４に示すように、波長選択ミラーＭ、集光レンズ
Ｌ、および接眼レンズＬ′を組み合わせた光学系Ｋを設
け、大出力レーザ光の光ファイバＦ端面への入射状態
を、可視波長域にあるモニタレーザ光を使用して模擬的
に観察できるようにしたレーザー光観察装置が提供され
ている。
イバ端面へ入射する位置をモニタするために、たとえ
ば、図４に示すように、波長選択ミラーＭ、集光レンズ
Ｌ、および接眼レンズＬ′を組み合わせた光学系Ｋを設
け、大出力レーザ光の光ファイバＦ端面への入射状態
を、可視波長域にあるモニタレーザ光を使用して模擬的
に観察できるようにしたレーザー光観察装置が提供され
ている。
【０００７】たとえば、ここでは大出力レーザ光が非可
視波長域のＹＡＧレーザ(波長：１０６４nm)であると
き、モニタレーザ光として可視波長域のＨe-Ｎeレーザ
(波長：６３３nm)が使用される。
視波長域のＹＡＧレーザ(波長：１０６４nm)であると
き、モニタレーザ光として可視波長域のＨe-Ｎeレーザ
(波長：６３３nm)が使用される。
【０００８】また、上記の波長選択ミラーＭは、図５に
示すように、ＹＡＧレーザ光を略全反射するとともに、
Ｈe−Ｎeレーザ光の一部(図５では約１０％)を反射し残
り(図５では約９０％)を透過する波長選択性を有するも
のが適用される。
示すように、ＹＡＧレーザ光を略全反射するとともに、
Ｈe−Ｎeレーザ光の一部(図５では約１０％)を反射し残
り(図５では約９０％)を透過する波長選択性を有するも
のが適用される。
【０００９】そして、光ファイバＦの端面へのレーザ光
の入射状態をモニタするには、波長選択ミラーＭに対し
て、ＹＡＧレーザの光軸に一致させてＨe-Ｎeレーザ光
を照射する。
の入射状態をモニタするには、波長選択ミラーＭに対し
て、ＹＡＧレーザの光軸に一致させてＨe-Ｎeレーザ光
を照射する。
【００１０】すると、このＨe-Ｎeレーザ光の大部分は
そのまま波長選択ミラーＭを透過するが、一部は反射さ
れて、集光レンズＬで集光された後、光ファイバＦ端面
に照射される。そして、光ファイバＦの端面に照射され
たＨe-Ｎeレーザ光の一部は、この端面で反射された
後、集光レンズＬを通って再び波長選択ミラーＭに向か
うが、その光の大部分はこのミラーＭを透過して接眼レ
ンズＬ'で集光される。
そのまま波長選択ミラーＭを透過するが、一部は反射さ
れて、集光レンズＬで集光された後、光ファイバＦ端面
に照射される。そして、光ファイバＦの端面に照射され
たＨe-Ｎeレーザ光の一部は、この端面で反射された
後、集光レンズＬを通って再び波長選択ミラーＭに向か
うが、その光の大部分はこのミラーＭを透過して接眼レ
ンズＬ'で集光される。
【００１１】そこで、ＴＶカメラＣで接眼レンズＬ'を
通して見られる光ファイバＦ端面におけるＨe-Ｎeレー
ザ光の照射パターンの位置および形状を観察すること
で、光ファイバＦ端面における光入射の良否を判断す
る。
通して見られる光ファイバＦ端面におけるＨe-Ｎeレー
ザ光の照射パターンの位置および形状を観察すること
で、光ファイバＦ端面における光入射の良否を判断す
る。
【００１２】このように、図４に示したレーザ光観察装
置を用いれば、大出力レーザ光(上記の例ではＹＡＧレ
ーザ光)の光ファイバＦ端面への入射状態の良否を、モ
ニタレーザ光(上記の例ではＨe-Ｎeレーザ光)を利用し
て判断することができる。
置を用いれば、大出力レーザ光(上記の例ではＹＡＧレ
ーザ光)の光ファイバＦ端面への入射状態の良否を、モ
ニタレーザ光(上記の例ではＨe-Ｎeレーザ光)を利用し
て判断することができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】上述の波長選択性を有
する波長選択ミラーＭは、一種の干渉膜フィルタであっ
て、従来、図６に示すように、ガラス基板Ｇの片側の面
上に、互いに屈折率の異なるインデックス層を複数積層
してなる波長選択層Ｈを設けることにより構成されてい
る。
する波長選択ミラーＭは、一種の干渉膜フィルタであっ
て、従来、図６に示すように、ガラス基板Ｇの片側の面
上に、互いに屈折率の異なるインデックス層を複数積層
してなる波長選択層Ｈを設けることにより構成されてい
る。
【００１４】そして、この波長選択ミラーＭに対して、
大出力レーザ光(上記の例ではＹＡＧレーザ光)を入射し
た場合には、波長選択層Ｈによって略全反射されるので
何等問題はないが、モニタレーザ光(上記の例ではＨe-
Ｎeレーザ光)を入射した場合には、次の問題が生じる。
大出力レーザ光(上記の例ではＹＡＧレーザ光)を入射し
た場合には、波長選択層Ｈによって略全反射されるので
何等問題はないが、モニタレーザ光(上記の例ではＨe-
Ｎeレーザ光)を入射した場合には、次の問題が生じる。
【００１５】すなわち、モニタレーザ光の一部は、図
中、実線で示すように波長選択層Ｈによって反射される
が、残りはこの波長選択層Ｈを通過し、ガラス基板Ｇに
入射する。そして、ガラス基板Ｇに入射したモニタレー
ザ光の大部分は、このガラス基板Ｇを透過して大気中に
出射されるが、一部のモニタレーザ光は、図中、破線で
示すように、ガラス基板Ｇと大気中との界面で反射さ
れ、波長選択層Ｈで反射されたモニタレーザ光と同様
に、集光レンズＬで集光されて、光ファイバＦの端面に
照射される。
中、実線で示すように波長選択層Ｈによって反射される
が、残りはこの波長選択層Ｈを通過し、ガラス基板Ｇに
入射する。そして、ガラス基板Ｇに入射したモニタレー
ザ光の大部分は、このガラス基板Ｇを透過して大気中に
出射されるが、一部のモニタレーザ光は、図中、破線で
示すように、ガラス基板Ｇと大気中との界面で反射さ
れ、波長選択層Ｈで反射されたモニタレーザ光と同様
に、集光レンズＬで集光されて、光ファイバＦの端面に
照射される。
【００１６】このため、光ファイバＦの端面には、波長
選択層Ｈで反射された光Ｂと、ガラス基板Ｇと大気中と
の界面で反射された光Ｂ'とに基づく２つのスポット
Ｐ，Ｐ'が生じ、いずれのスポットＰ，Ｐ'を基準にし
て、集光レンズＬと光ファイバＦの両光軸を一致させれ
ばよいか判断に迷うことになり、光軸調整に手間取って
いた。
選択層Ｈで反射された光Ｂと、ガラス基板Ｇと大気中と
の界面で反射された光Ｂ'とに基づく２つのスポット
Ｐ，Ｐ'が生じ、いずれのスポットＰ，Ｐ'を基準にし
て、集光レンズＬと光ファイバＦの両光軸を一致させれ
ばよいか判断に迷うことになり、光軸調整に手間取って
いた。
【００１７】本発明は、上記の問題点を解決するために
なされたもので、波長選択ミラーにおけるモニタレーザ
光の二重反射を無くし、光ファイバのコアにレーザ光を
入射させるような場合の光軸調整を正確かつ容易に行え
るようにすることを課題とする。
なされたもので、波長選択ミラーにおけるモニタレーザ
光の二重反射を無くし、光ファイバのコアにレーザ光を
入射させるような場合の光軸調整を正確かつ容易に行え
るようにすることを課題とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するため、次の構成を採る。
解決するため、次の構成を採る。
【００１９】すなわち、本発明のレーザ光観察装置は、
ＹＡＧレーザ等の大出力レーザ光にＨe−Ｎeレーザ等の
モニタレーザ光を混合したうえでこの混合光を光ファイ
バの入射端に集光させ、当該入射端で反射した前記モニ
タレーザ光を観察することで、前記大出力レーザ光の集
光状態を擬似的に観察するレーザ光観察装置であって、
前記混合光の光源と前記光ファイバとの間にレーザ波長
選択ミラーを設け、このレーザ光波長選択ミラーを、ガ
ラス基板と、前記ガラス基板の前記光源側に位置する一
方面に設けられて前記大出力レーザ光を前記入射端に向
けて略全反射するとともに、前記モニタレーザ光の一部
のみを前記入射端に向けて反射し残りを透過する波長選
択膜と、前記ガラス基板の他方面に設けられて前記モニ
タレーザ光の反射を防止する反射防止膜とを有すること
に特徴がある。
ＹＡＧレーザ等の大出力レーザ光にＨe−Ｎeレーザ等の
モニタレーザ光を混合したうえでこの混合光を光ファイ
バの入射端に集光させ、当該入射端で反射した前記モニ
タレーザ光を観察することで、前記大出力レーザ光の集
光状態を擬似的に観察するレーザ光観察装置であって、
前記混合光の光源と前記光ファイバとの間にレーザ波長
選択ミラーを設け、このレーザ光波長選択ミラーを、ガ
ラス基板と、前記ガラス基板の前記光源側に位置する一
方面に設けられて前記大出力レーザ光を前記入射端に向
けて略全反射するとともに、前記モニタレーザ光の一部
のみを前記入射端に向けて反射し残りを透過する波長選
択膜と、前記ガラス基板の他方面に設けられて前記モニ
タレーザ光の反射を防止する反射防止膜とを有すること
に特徴がある。
【００２０】
【作用】上記構成において、この波長選択ミラーに対し
て、大出力レーザ光を照射した場合には、このレーザ光
は、その波長選択層によって略全反射される。
て、大出力レーザ光を照射した場合には、このレーザ光
は、その波長選択層によって略全反射される。
【００２１】また、モニタレーザ光を照射した場合に
は、このモニタレーザ光の一部は、波長選択層Ｈによっ
て反射されるが、残りはこの波長選択層Ｈを通過し、ガ
ラス基板Ｇに入射する。ガラス基板Ｇの他方面には、反
射防止膜が形成されているので、このガラス基板に入射
したモニタレーザ光は、このガラス基板Ｇの界面で反射
されることなく、反射防止膜をそのまま透過して大気中
に出射される。
は、このモニタレーザ光の一部は、波長選択層Ｈによっ
て反射されるが、残りはこの波長選択層Ｈを通過し、ガ
ラス基板Ｇに入射する。ガラス基板Ｇの他方面には、反
射防止膜が形成されているので、このガラス基板に入射
したモニタレーザ光は、このガラス基板Ｇの界面で反射
されることなく、反射防止膜をそのまま透過して大気中
に出射される。
【００２２】つまり、この波長選択ミラーで反射される
モニタレーザ光は、波長選択層で反射される光だけとな
り、従来のような二重反射は生じなくなる。
モニタレーザ光は、波長選択層で反射される光だけとな
り、従来のような二重反射は生じなくなる。
【００２３】
【実施例】図１は、大出力レーザ光の光ファイバのコア
内への入射状態をモニタする本発明のレーザ光観察装置
の要部の構成図である。
内への入射状態をモニタする本発明のレーザ光観察装置
の要部の構成図である。
【００２４】同図において、Ｍは本発明の波長選択ミラ
ー、Ｌは集光レンズ、Ｆは光ファイバであり、波長選択
ミラーは、集光レンズＬの光軸に対して４５°傾斜して
配置される。
ー、Ｌは集光レンズ、Ｆは光ファイバであり、波長選択
ミラーは、集光レンズＬの光軸に対して４５°傾斜して
配置される。
【００２５】この実施例のレーザ光観察装置が有する波
長選択ミラーＭは、一種の干渉膜フィルタであって、図
２に示すように、ガラス基板Ｇを挟む一方面(図では下
方面)に、Ａl2Ｏ3からなる保護層Ｑおよび波長選択層Ｈ
が、他方面(図では上方面)に反射防止膜Ｊがそれぞれ形
成されてなる。
長選択ミラーＭは、一種の干渉膜フィルタであって、図
２に示すように、ガラス基板Ｇを挟む一方面(図では下
方面)に、Ａl2Ｏ3からなる保護層Ｑおよび波長選択層Ｈ
が、他方面(図では上方面)に反射防止膜Ｊがそれぞれ形
成されてなる。
【００２６】波長選択膜Ｈは、本例では、屈折率が互い
に異なるインデックス層Ｒ1，Ｒ2を蒸着等によって交互
に多層積層してなるもので、図５に示すように、大出力
レーザ光としてのＹＡＧレーザ光(波長：１０６４nm)を
略全反射(９９.５％以上反射)するとともに、モニタレ
ーザ光としてのＨe-Ｎeレーザ(波長：６３３nm)の一部
(約１０％)を反射し、残り(約９０％)を透過する波長選
択性を有するように設定されている。
に異なるインデックス層Ｒ1，Ｒ2を蒸着等によって交互
に多層積層してなるもので、図５に示すように、大出力
レーザ光としてのＹＡＧレーザ光(波長：１０６４nm)を
略全反射(９９.５％以上反射)するとともに、モニタレ
ーザ光としてのＨe-Ｎeレーザ(波長：６３３nm)の一部
(約１０％)を反射し、残り(約９０％)を透過する波長選
択性を有するように設定されている。
【００２７】すなわち、高屈折率のインデックス層Ｒ1
としては、たとえばＺrＯ2(屈折率：１.９５)やＴiＯ
2(屈折率：２.０〜２.３)等が使用され、低屈折率のイ
ンデックス層Ｒ2としては、たとえばＳiＯ2(屈折率：
１.４６)やＭgＦ2(屈折率：１.３)が使用される。そし
て、各インデックス層Ｒ1，Ｒ2の膜厚、組数、両者
Ｒ1，Ｒ2の屈折率差などを選定することによって、図５
に示すような波長選択性を有するものとされる。
としては、たとえばＺrＯ2(屈折率：１.９５)やＴiＯ
2(屈折率：２.０〜２.３)等が使用され、低屈折率のイ
ンデックス層Ｒ2としては、たとえばＳiＯ2(屈折率：
１.４６)やＭgＦ2(屈折率：１.３)が使用される。そし
て、各インデックス層Ｒ1，Ｒ2の膜厚、組数、両者
Ｒ1，Ｒ2の屈折率差などを選定することによって、図５
に示すような波長選択性を有するものとされる。
【００２８】一方、反射防止膜Ｊは、本例では、屈折率
が互いに異なる３つのインデックス層Ｓ1，Ｓ2，Ｓ3を
蒸着等によって順次積層してなるもので、図３に示すよ
うに、Ｈe-Ｎeレーザ光の波長においては、その反射率
が略零となるように設定されている。
が互いに異なる３つのインデックス層Ｓ1，Ｓ2，Ｓ3を
蒸着等によって順次積層してなるもので、図３に示すよ
うに、Ｈe-Ｎeレーザ光の波長においては、その反射率
が略零となるように設定されている。
【００２９】すなわち、反射防止膜Ｊを構成するインデ
ックス層Ｓ1〜Ｓ3の内、第１層目Ｓ1は、屈折率の低い
ＭgＦ2(屈折率：１.３７８)、第２層目Ｓ2は、屈折率が
高いＺrＯ2(屈折率：１.９５)、第３層目Ｓ3は、屈折率
が低いＣeＦ3(屈折率：１.３５)が使用される。そし
て、各インデックス層Ｓ1〜Ｓ3の膜厚を選定すること
で、図３に示すような波長選択性を有するものとされ
る。
ックス層Ｓ1〜Ｓ3の内、第１層目Ｓ1は、屈折率の低い
ＭgＦ2(屈折率：１.３７８)、第２層目Ｓ2は、屈折率が
高いＺrＯ2(屈折率：１.９５)、第３層目Ｓ3は、屈折率
が低いＣeＦ3(屈折率：１.３５)が使用される。そし
て、各インデックス層Ｓ1〜Ｓ3の膜厚を選定すること
で、図３に示すような波長選択性を有するものとされ
る。
【００３０】上記構成において、この波長選択ミラーＭ
に対して、大出力レーザ光(本例ではＹＡＧレーザ光)を
照射した場合には、このレーザ光は、その波長選択層Ｈ
によって略全反射される。
に対して、大出力レーザ光(本例ではＹＡＧレーザ光)を
照射した場合には、このレーザ光は、その波長選択層Ｈ
によって略全反射される。
【００３１】また、モニタレーザ光(本例ではＨe-Ｎeレ
ーザ光)を照射した場合には、このモニタレーザ光の一
部は、波長選択層Ｈによって反射されるが、残りはこの
波長選択層Ｈおよび保護層Ｑを通過し、ガラス基板Ｇに
入射する。ガラス基板Ｇの他方面には、反射防止膜Ｊが
形成されているので、このガラス基板Ｇに入射したモニ
タレーザ光は、このガラス基板Ｇの界面で反射されるこ
となく、反射防止膜Ｊをそのまま透過して大気中に出射
される。
ーザ光)を照射した場合には、このモニタレーザ光の一
部は、波長選択層Ｈによって反射されるが、残りはこの
波長選択層Ｈおよび保護層Ｑを通過し、ガラス基板Ｇに
入射する。ガラス基板Ｇの他方面には、反射防止膜Ｊが
形成されているので、このガラス基板Ｇに入射したモニ
タレーザ光は、このガラス基板Ｇの界面で反射されるこ
となく、反射防止膜Ｊをそのまま透過して大気中に出射
される。
【００３２】つまり、この波長選択ミラーＭで反射され
るモニタレーザ光は、波長選択層Ｈによって反射される
光だけとなり、従来のような二重反射は生じなくなる。
るモニタレーザ光は、波長選択層Ｈによって反射される
光だけとなり、従来のような二重反射は生じなくなる。
【００３３】これにより、波長選択ミラーＭで反射され
たモニタレーザ光は、集光レンズＬで集光されて光ファ
イバ８端面に照射されるが、この場合のレーザ光のスポ
ットＰは、一つだけとなるから、このスポットＰを基準
にして、集光レンズＬと光ファイバＦの両光軸が一致す
るように、光軸調整を行うことができる。
たモニタレーザ光は、集光レンズＬで集光されて光ファ
イバ８端面に照射されるが、この場合のレーザ光のスポ
ットＰは、一つだけとなるから、このスポットＰを基準
にして、集光レンズＬと光ファイバＦの両光軸が一致す
るように、光軸調整を行うことができる。
【００３４】すなわち、光ファイバＦ端面のスポットＰ
位置で反射したモニタレーザ光は、集光レンズＬを通っ
て再び波長選択ミラーＭに向かうが、その光の大部分は
このミラーＭを透過するので、この透過したモニタレー
ザ光をＴＶカメラＣで撮像して、光ファイバＦ端面にお
けるモニタレーザ光のスポットＰの位置および形状を観
察することで、光ファイバＦ端面における光入射の良否
を判断することができる。
位置で反射したモニタレーザ光は、集光レンズＬを通っ
て再び波長選択ミラーＭに向かうが、その光の大部分は
このミラーＭを透過するので、この透過したモニタレー
ザ光をＴＶカメラＣで撮像して、光ファイバＦ端面にお
けるモニタレーザ光のスポットＰの位置および形状を観
察することで、光ファイバＦ端面における光入射の良否
を判断することができる。
【００３５】なお、この実施例では、非可視波長域の大
出力レーザ光がＹＡＧレーザ光で、可視波長域のモニタ
レーザ光がＨe-Ｎeレーザ光の場合について説明した
が、これに限定されるものではなく、たとえば、非可視
波長域の大出力レーザ光がエキシマレーザ光やヨウ素レ
ーザ光等で、可視波長域のモニタレーザ光がアルゴンレ
ーザ光のようなものである場合には、これらのレーザ光
の波長に適合するように波長選択ミラーＭの波長選択性
を設定すればよい。
出力レーザ光がＹＡＧレーザ光で、可視波長域のモニタ
レーザ光がＨe-Ｎeレーザ光の場合について説明した
が、これに限定されるものではなく、たとえば、非可視
波長域の大出力レーザ光がエキシマレーザ光やヨウ素レ
ーザ光等で、可視波長域のモニタレーザ光がアルゴンレ
ーザ光のようなものである場合には、これらのレーザ光
の波長に適合するように波長選択ミラーＭの波長選択性
を設定すればよい。
【００３６】
【発明の効果】本発明によれば、波長選択ミラーにおけ
るモニタレーザ光の二重反射が無くなるので、たとえ
ば、光ファイバのコアにレーザ光を入射させるような場
合の光軸調整を正確かつ容易に行えるようになる。
るモニタレーザ光の二重反射が無くなるので、たとえ
ば、光ファイバのコアにレーザ光を入射させるような場
合の光軸調整を正確かつ容易に行えるようになる。
【図１】本発明のレーザ光観察装置の構成図である。
【図２】本発明のレーザ光観察装置が有する波長選択ミ
ラーの断面図である。
ラーの断面図である。
【図３】波長選択ミラーの反射防止膜の波長選択性を示
す特性図である。
す特性図である。
【図４】従来のレーザ光観察装置の構成図である。
【図５】従来のレーザ光観察装置が有する波長選択ミラ
ーの波長選択膜の波長選択性を示す特性図である。
ーの波長選択膜の波長選択性を示す特性図である。
【図６】従来のレーザ光観察装置によりモニタレーザ光
が二重反射を起こす状態を示す説明図である。
が二重反射を起こす状態を示す説明図である。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−162001（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−204702（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−341121（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−76788（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−170591（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−106369（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−196608（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−53891（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−137092（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−257407（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−150145（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 1/10 - 1/12 G02B 5/08 - 5/10 G02B 5/20 - 5/28 G02B 6/26 G02B 6/30 - 6/35 G02B 6/42 - 6/43 B23K 26/00 - 26/18
Claims (1)
- 【請求項１】 ＹＡＧレーザ等の大出力レーザ光にＨe
−Ｎeレーザ等のモニタレーザ光を混合したうえでこの
混合光を光ファイバの入射端に集光させ、当該入射端で
反射した前記モニタレーザ光を観察することで、前記大
出力レーザ光の集光状態を擬似的に観察するレーザ光観
察装置であって、 前記混合光の光源と前記光ファイバとの間にレーザ波長
選択ミラーを設け、 このレーザ光波長選択ミラーを、 ガラス基板と、 前記ガラス基板の前記光源側に位置する一方面に設けら
れて前記大出力レーザ光を前記入射端に向けて略全反射
するとともに、前記モニタレーザ光の一部のみを前記入
射端に向けて反射し残りを透過する波長選択膜と、 前記ガラス基板の他方面に設けられて前記モニタレーザ
光の反射を防止する反射防止膜と、 を有して構成することを特徴とするレーザ光観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09953294A JP3149310B2 (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | レーザ光観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09953294A JP3149310B2 (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | レーザ光観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07306313A JPH07306313A (ja) | 1995-11-21 |
| JP3149310B2 true JP3149310B2 (ja) | 2001-03-26 |
Family
ID=14249832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09953294A Expired - Fee Related JP3149310B2 (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | レーザ光観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3149310B2 (ja) |
-
1994
- 1994-05-13 JP JP09953294A patent/JP3149310B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07306313A (ja) | 1995-11-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4673795A (en) | Integrated robotic laser material processing and imaging system | |
| US8427633B1 (en) | Laser beam analysis apparatus | |
| CN116456942B (zh) | 眼科激光系统的激光束递送路径中的多用途光束采样器 | |
| JPS6338654B2 (ja) | ||
| CN115121938B (zh) | 激光头监测模组、多波段激光光路系统及激光加工设备 | |
| JP3149310B2 (ja) | レーザ光観察装置 | |
| CN219113160U (zh) | 一种光斑可调的激光加工系统 | |
| JPH0875947A (ja) | 光ファイバの結合方法及びその結合系 | |
| JP3038196B1 (ja) | レーザ光集光器 | |
| JP3462262B2 (ja) | レーザ光入射モニタ装置 | |
| JPH09216087A (ja) | レーザ加工装置およびこれを用いたレーザ加工方法 | |
| JP2008506146A (ja) | 光ファイバ位置合わせ装置及び方法 | |
| JP2000126886A (ja) | レーザ光照射装置 | |
| HK35794A (en) | Method and apparatus for simultaneously observing a transparent object from two directions | |
| JP2003285189A (ja) | レーザ加工装置 | |
| TWI364889B (en) | Laser device and laser system using the same | |
| JP3746554B2 (ja) | レーザ加工装置およびこれを用いたレーザ加工方法 | |
| JP2002328259A (ja) | 光学素子 | |
| US5353090A (en) | Camera | |
| US5076685A (en) | Apparatus for ophthalmological laser-therapy instruments | |
| JP2025116921A (ja) | 減光装置、レーザ加工装置、及びレーザビーム計測装置 | |
| JP7157450B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2942419B2 (ja) | レーザ加工装置、レーザ発振器およびレーザ加工方法 | |
| JP2996010B2 (ja) | 光ファイバ結合装置 | |
| JPS60150025A (ja) | レ−ザビ−ム重ね合わせ光学系 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080119 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090119 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100119 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110119 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110119 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120119 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120119 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130119 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130119 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140119 Year of fee payment: 13 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |