JP3145199B2 - Circuit fault pseudo test apparatus and circuit fault pseudo test method - Google Patents

Circuit fault pseudo test apparatus and circuit fault pseudo test method

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JP3145199B2 JP22850092A JP22850092A JP3145199B2 JP 3145199 B2 JP3145199 B2 JP 3145199B2 JP 22850092 A JP22850092 A JP 22850092A JP 22850092 A JP22850092 A JP 22850092A JP 3145199 B2 JP3145199 B2 JP 3145199B2
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【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】〔目次〕 産業上の利用分野 従来の技術(図14〜17) 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段(図1,2) 作用 実施例(図3〜13) 発明の効果[Contents] Industrial application field Conventional technology (FIGS. 14 to 17) Problems to be solved by the invention Means for solving the problems (FIGS. 1 and 2) Action Embodiment (FIGS. 3 to 13) Effect

【0002】[0002]

【産業上の利用分野】本発明は、回路故障擬似試験装置
及び回路故障試験方法に関するものであり、更に詳しく
言えば、故障点が設定された被試験半導体装置(以下被
試験LSIという)にテストデータを供給して故障シミ
ュレーションをする装置及び方法の改善に関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a circuit failure simulation test apparatus and a circuit failure test method, and more particularly, to a method for testing a semiconductor device under test (hereinafter referred to as an LSI under test) in which a failure point is set. The present invention relates to an improvement of an apparatus and a method for performing a failure simulation by supplying data.

【0003】近年、半導体集積回路装置の超高集積化,
超高密度化に伴いLSI自動設計分野では、論理ゲート
が組まれた設計途中の被試験LSIの故障シミュレーシ
ョンが大型計算機を用いて行われている。
In recent years, ultra-high integration of semiconductor integrated circuit devices,
In the field of LSI automatic design along with ultra-high density, a failure simulation of an LSI under test in which a logic gate is assembled is being performed using a large computer.

【0004】これによれば、被試験LSI内部に設定さ
れた故障を含む論理ゲートをテストデータに基づき、一
つずつの故障について故障シミュレーションを行うこと
により、その故障検出率や未検出故障等の情報が得られ
る。また、記憶素子を含む複数の論理ゲートが組み込ま
れた被試験LSIの故障シミュレーションをする簡易型
の回路故障擬似試験装置が開発されている。
According to this, a fault simulation is performed for each fault on a logic gate including a fault set inside the LSI under test on the basis of test data, so that the fault detection rate and the undetected fault and the like are determined. Information is obtained. Further, a simple circuit failure pseudo test apparatus for performing a failure simulation of an LSI under test in which a plurality of logic gates including a storage element are incorporated has been developed.

【0005】しかし、被試験LSIの記憶素子の実際動
作状態が十分に回路故障擬似試験に採り入れられていな
いため、該記憶素子を含む複数の論理ゲートの故障検出
精度が低下をするという問題がある。
However, since the actual operation state of the storage element of the LSI under test has not been sufficiently incorporated in the circuit failure pseudo test, there is a problem that the accuracy of failure detection of a plurality of logic gates including the storage element is reduced. .

【0006】そこで、故障検出評価の簡易化を図りつ
つ、記憶素子の実際動作状態を十分に考慮に入れて、該
記憶素子を含む複数の論理ゲートの故障検出精度の向上
を図ることができる装置及び方法が望まれている。
Therefore, an apparatus capable of improving the fault detection accuracy of a plurality of logic gates including the storage element while sufficiently considering the actual operation state of the storage element while simplifying the fault detection evaluation. And methods are desired.

【0007】[0007]

【従来の技術】図14〜17は、従来例に係る説明図であ
る。図14は従来例に係る回路故障擬似試験装置の説明図
であり、図15,16は、回路故障擬似試験の処理フローチ
ャート(その1,2)であり、図17はその補足説明図を
それぞれ示している。
2. Description of the Related Art FIGS. 14 to 17 are explanatory views according to a conventional example. FIG. 14 is an explanatory diagram of a circuit failure pseudo test apparatus according to a conventional example, FIGS. 15 and 16 are processing flowcharts (parts 1 and 2) of a circuit failure pseudo test, and FIG. 17 is a supplementary explanatory diagram thereof. ing.

【0008】例えば、記憶素子MEMを含む複数の論理ゲ
ートLG1, LG2,LGi…LGnが組み込まれた被試験LS
I12の故障シミュレーションをする装置は、先に本発
明者らが特許出願(特願平3−193005)した「回路故障
擬似試験装置」に見られるように、図14において、回路
故障擬似試験部1及びメモリ部2から成る。
For example, a LS under test in which a plurality of logic gates LG1, LG2, LGi...
As shown in the "circuit failure pseudo test device" of the present inventors' patent application (Japanese Patent Application No. 3-193005), a circuit failure pseudo test unit 1 shown in FIG. And a memory unit 2.

【0009】当該装置の機能は、例えば、設計途中の被
試験LSI12の故障シミュレーションを行なう場合、
制御データD,テストデータDT及び予め定義された故
障モード情報Sa0, Sa1や任意に設定された故障点に基
づいて記憶素子MEMを含む複数の論理ゲートLG1, LG
2,LGi…LGnでの故障伝幡に関する計算が行われる。
The function of the device is, for example, when performing a failure simulation of the LSI under test 12 during design.
A plurality of logic gates LG1 and LG including the storage element MEM based on the control data D, the test data DT, the failure mode information Sa0 and Sa1 defined in advance, and an arbitrarily set failure point.
2. Calculation is performed on the failure propagation at LGi ... LGn.

【0010】なお、その際の記憶素子MEMに保持される
故障伝幡に関する計算は、被試験LSI12の論理ゲー
トLG1, LG2,LGi…LGnの故障情報fSa0,fSa1 毎に
係る伝幡予定時刻ts0,ts1,当該テストデータDTの
一周期前の最終の故障検出判定時刻T1に係る最新の故
障情報fSa0,fSa1 及び当該最終の故障検出判定時刻T
1から当該テストデータDTの現在周期に係る任意の故
障検出判定時刻TXに至るまでの故障情報fSa0,fSa1
とに基づく故障情報MSa0,MSa1 である。
In this case, the calculation relating to the fault propagation held in the storage element MEM is performed at the scheduled propagation time ts0, fs0, fSa1 for each of the failure information fSa0, fSa1 of the logic gates LG1, LG2, LGi. ts1, the latest failure information fSa0, fSa1 relating to the last failure detection determination time T1 one cycle before the test data DT, and the last failure detection determination time T
1 to failure information fSa0, fSa1 from an arbitrary failure detection determination time TX related to the current cycle of the test data DT.
And failure information MSa0 and MSa1 based on the above.

【0011】これにより、被試験LSI12の内部に設
定された故障検出の対象とする全故障点に係る故障シミ
ュレーションを行なうことができ、被試験LSI12に
係る故障検出率や未検出故障等の情報が得られる。
As a result, it is possible to perform a failure simulation for all the failure points to be detected in the LSI 12 to be detected set in the LSI under test 12, and to obtain information such as the failure detection rate and the undetected failure of the LSI 12 to be tested. can get.

【0012】また、従来例に係る回路故障擬似試験方法
について、例えば、記憶素子MEMを含む複数の論理ゲー
トLG1, LG2,LGi…LGnが組み込まれた被試験LSI
12の故障シミュレーションをする場合、先に本発明者
らが特許出願(特願平3−193005)した「回路故障擬似
試験方法」に見られるように、図15において、予め、ス
テップP1で被試験LSI12の故障モードM0,M1
を定義して故障伝幡を示す故障情報fSa0,fSa1 の設定
処理をする。
[0012] In addition, for a circuit failure pseudo test method according to a conventional example, for example, an LSI under test incorporating a plurality of logic gates LG1, LG2, LGi ... LGn including a storage element MEM.
In the case of performing the failure simulation of No. 12, as shown in the “simulation test method of circuit failure” previously filed by the present inventors in Japanese Patent Application No. 3-193005, in FIG. Failure mode M0, M1 of LSI 12
Is set and the failure information fSa0, fSa1 indicating the failure propagation is set.

【0013】ここで、被試験LSI12の入力ネットA
に故障点FLT〔fSa1 =1〕が設定され、故障モードM
0,M1や故障伝幡を示す故障情報fSa0,fSa1 が定義
される。
Here, the input net A of the LSI under test 12
A fault point FLT [fSa1 = 1] is set in the
0, M1 and fault information fSa0, fSa1 indicating fault propagation are defined.

【0014】次に、ステップP2で被試験LSI12の
信号入力部INにテストデータDTの供給処理をし、次
いで、ステップP3で当該被試験LSI12のテストデ
ータDTの一周期前の最終の故障検出判定時刻T1に係
る最新の故障情報fSa0,fSa1 と最終の故障検出判定時
刻T1から当該テストデータDTの現在周期に係る任意
の故障検出判定時刻TXに至るまでの故障情報fSa0,f
Sa1 の記憶処理をする(図17(a)参照)。
Next, in step P2, the test data DT is supplied to the signal input section IN of the LSI under test 12 and then, in step P3, the last failure detection judgment of one cycle before the test data DT of the LSI under test 12 is performed. The latest failure information fSa0, fSa1 at time T1 and failure information fSa0, f from the last failure detection determination time T1 to any failure detection determination time TX according to the current cycle of the test data DT.
The storage process of Sa1 is performed (see FIG. 17A).

【0015】この際に、図17(b)の被試験LSIのタ
イムチャートにおいて、最終の故障検出判定時刻T1に
係る入力ネット(A,B,C,D)の信号値(1,0,
1,1)に基づく各ネットの故障情報fSa0,fSa1 がメ
モリ部2に記憶され、同様に任意の故障検出判定時刻T
2に係る入力ネット(A,B,C,D)の信号値(1,
1,0,1)に基づく各ネットの故障情報fSa0,fSa1
がメモリ部2に記憶される。
At this time, in the time chart of the LSI under test in FIG. 17B, the signal values (1, 0, and 0) of the input net (A, B, C, and D) relating to the last failure detection determination time T1 are shown.
The failure information fSa0, fSa1 of each net based on (1, 1) is stored in the memory unit 2, and the failure detection determination time T
The signal value (1, 1) of the input net (A, B, C, D) according to
Failure information fSa0, fSa1 of each net based on (1, 0, 1)
Is stored in the memory unit 2.

【0016】次に、ステップP4で最終の故障検出判定
時刻T1から任意の故障検出判定時刻TXに至る間の故
障情報fSa0,fSa1 と最終の故障検出判定時刻T1に係
る最新の故障情報fSa0,fSa1 との論理和演算処理をす
る。例えば、故障検出判定時刻T1の最新の故障情報f
sa1 ,fsa0 と、故障検出判定時刻T1からn+1番目
のテストパターン周期に係る故障検出判定時刻T2の間
で一度でも該故障情報fsa1 ,fsa0 が「1」となった
ことのある故障情報fsa1 ,fsa0 との論理和を演算す
る。
Next, in step P4, the failure information fSa0, fSa1 from the last failure detection determination time T1 to an arbitrary failure detection determination time TX and the latest failure information fSa0, fSa1 relating to the last failure detection determination time T1. And OR operation with For example, the latest failure information f at the failure detection determination time T1
The fault information fsa1 and fsa0 in which the fault information fsa1 and fsa0 have become “1” at least once between sa1 and fsa0 and the fault detection determination time T2 related to the (n + 1) th test pattern cycle from the fault detection determination time T1. Calculate the logical sum with

【0017】この論理和に係る故障情報fsa1 ,fsa0
が当該テストデータDTの最終の故障検出判定時刻T2
に係る故障情報Msa1 ,Msa0 と定義され、同様に、故
障検出判定時刻T3の故障検出判定処理時におけるメモ
リ部2には、故障検出判定時刻T1の最新のfsa1 ,f
sa0 と故障検出判定時刻T1から故障検出判定時刻T3
の間で一度でも「1」となったことのある故障情報fsa
1 ,fsa0 との論理和に係る故障情報Msa1 ,Msa0 が
記憶される。
The failure information fsa1 and fsa0 relating to the logical sum
Is the last failure detection determination time T2 of the test data DT.
Similarly, the memory unit 2 at the time of the failure detection determination processing at the failure detection determination time T3 stores the latest fsa1 and fsa at the failure detection determination time T1.
sa0 and failure detection determination time T1 to failure detection determination time T3
Failure information fsa that has been "1" at least once between
The fault information Msa1 and Msa0 relating to the logical sum with 1 and fsa0 are stored.

【0018】なお、ステップP5で被試験LSI12の
信号出力部OUTからFF回路12Aに至るまでの第1の検
索処理をする。この際に、図17(b)の被試験LSIの
タイムチャートの故障判定時刻T2において、故障検出
判定処理が行われたものとすれば、第1の検索処理によ
りFF回路12Aより外部出力端子側Aのネットにおける
最新の故障情報fsa1 ,fsa0 が検索される。
In step P5, a first search process from the signal output OUT of the LSI under test 12 to the FF circuit 12A is performed. At this time, assuming that the failure detection determination processing has been performed at the failure determination time T2 in the time chart of the LSI under test in FIG. The latest failure information fsa1 and fsa0 in the net A is searched.

【0019】これにより、ネットJ,Kに存在する1縮
退故障sa1とネットLに存在する0縮退故障sa0が
検出可能とされる。さらに、ステップP6でFF回路12
Aの入力部から被試験LSI12の信号入力部INに至
るまでの第2の検索処理をする。この際に、図17(b)
の被試験LSIのタイムチャートの故障判定時刻T1に
おいて、故障検出判定処理が行われたものとすれば、第
2の検索処理によりFF回路12Aの外部入力端子(信号
入力部IN)側Bのネットについては、故障情報メモリ
23に保持された最新と最新以外の故障情報Msa1 ,M
sa0 を検出する第2の検索処理をする。
Thus, the stuck-at-1 fault sa1 existing in the nets J and K and the stuck-at-0 fault sa0 existing in the net L can be detected. Further, at step P6, the FF circuit 12
A second search process from the input section A to the signal input section IN of the LSI under test 12 is performed. At this time, FIG.
Assuming that the failure detection / determination processing is performed at the failure determination time T1 in the time chart of the LSI under test described above, the network on the external input terminal (signal input section IN) side B of the FF circuit 12A is obtained by the second search processing. Are the latest and other than the latest failure information Msa1 and Msa held in the failure information memory 23.
A second search process for detecting sa0 is performed.

【0020】例えば、図17(b)の被試験LSIのタイ
ムチャートにおいて、n番目のテストパターン周期に係
る故障検出判定時刻T1におけるメモリ部2に保持され
た最新と最新以外の故障情報fsa1 ,fsa0 を検索す
る。
For example, in the time chart of the LSI under test in FIG. 17B, the latest and non-latest failure information fsa1 and fsa0 stored in the memory unit 2 at the failure detection determination time T1 relating to the nth test pattern cycle. Search for.

【0021】その後に、ステップP7で当該テストデー
タDTの一周期前の最終の故障検出判定時刻T1に係る
最新の故障情報fSa0,fSa1 と、最終の故障検出判定時
刻T1から当該テストデータDTの現在周期に係る任意
の故障検出判定時刻TXに至るまでの故障情報MSa0,M
Sa1 とを一致させる計算処理をする。なお、故障検出判
定時刻T3の故障検出判定処理の終了時におけるメモリ
部2の内容は、n+2番目のテストパターン周期に係る
故障検出判定処理に使用される。
Thereafter, in step P7, the latest failure information fSa0, fSa1 relating to the last failure detection determination time T1 one cycle before the test data DT and the current time of the test data DT from the last failure detection determination time T1. Failure information MSa0, M up to a failure detection determination time TX related to the cycle
Perform calculation processing to match with Sa1. Note that the contents of the memory unit 2 at the end of the failure detection determination processing at the failure detection determination time T3 are used for the failure detection determination processing relating to the (n + 2) th test pattern cycle.

【0022】次いで、ステップP8で故障情報fSa0,f
Sa1 のいずれかが「1」及びfSa0,fSa1 のいずれも
「1」であるか又はfSa0,fSa1 のいずれもが「0」及
び信号入力部INに到達するか否かの判断処理をする。
この際に、故障情報fSa0,fSa1 のいずれかが「1」及
びfSa0,fSa1 のいずれも「1」である場合(YES)に
は、ステップP9に移行する。
Next, in step P8, the failure information fSa0, f
It is determined whether any one of Sa1 is "1" and both fSa0 and fSa1 are "1", or whether both fSa0 and fSa1 are "0" and reach the signal input unit IN.
At this time, if any one of the failure information fSa0, fSa1 is "1" and both fSa0, fSa1 are "1" (YES), the process shifts to Step P9.

【0023】また、故障情報fSa0,fSa1 のいずれもが
「0」及び信号入力部INに到達する場合(NO)に
は、ステップP10に移行して、故障情報fSa0,fSa1 の
検出処理を中断して「テストデータDTでは故障検出で
きない」と判定する。これにより、外部出力端子側Aの
ネットにおける最新の故障情報fsa1 ,fsa0 が検索さ
れ、該故障情報fsa1 ,fsa0 をチェックすることによ
り、ネットBに存在する1縮退故障sa1が検出可能と
なる。
If both of the failure information fSa0 and fSa1 reach "0" and reach the signal input section IN (NO), the process shifts to step P10 to interrupt the detection processing of the failure information fSa0 and fSa1. It is determined that “failure cannot be detected with test data DT”. As a result, the latest fault information fsa1 and fsa0 in the net on the external output terminal side A is searched, and by checking the fault information fsa1 and fsa0, the 1 stuck-at fault sa1 existing in the net B can be detected.

【0024】[0024]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来例によ
れば、被試験LSI12の記憶素子MEMの実際動作状態
が十分に回路故障擬似試験に採り入れられていないた
め、記憶素子MEMを含む複数の論理ゲートLG1, LG2,
LGi…LGnの故障検出精度が低下をするという問題があ
る。
According to the conventional example, since the actual operation state of the storage element MEM of the LSI under test 12 has not been sufficiently incorporated in the circuit failure pseudo test, a plurality of logic elements including the storage element MEM are required. Gates LG1, LG2,
There is a problem that the accuracy of detecting LGi... LGn is reduced.

【0025】 すなわち、図15の処理フローチャート
のステップP1で被試験LSI12の故障モードM0,
M1を定義し、その故障伝幡を示す故障情報fSa0,fSa
1 の設定する際に、被試験LSI12の記憶素子MEMの
入力部が常にSa0又はSa1に固定された状態に基づい
て、その故障伝播に関する算出根拠としている。
That is, in step P 1 of the processing flowchart of FIG. 15, the failure modes M 0,
M1 is defined, and failure information fSa0, fSa indicating the failure propagation thereof.
At the time of setting 1, based on the state where the input part of the storage element MEM of the LSI under test 12 is always fixed to Sa0 or Sa1, it is used as the basis for calculating the fault propagation.

【0026】しかし、記憶素子MEMの入力部から外部信
号入力部INに至る論理ゲートLGnの故障,例えば、そ
の縮退故障による影響が、記憶素子MEMの入力部に常に
影響しているとは限らない。これにより、記憶素子MEM
の入力部から記憶素子MEMの出力部に伝播する故障の伝
播性の設定が実際動作とは異なる場合が生ずる。
However, the failure of the logic gate LGn from the input section of the storage element MEM to the external signal input section IN, for example, the effect of the stuck-at fault, does not always affect the input section of the storage element MEM. . Thereby, the storage element MEM
Of the fault propagating from the input unit to the output unit of the storage element MEM may differ from the actual operation.

【0027】これは、記憶素子MEMの入力側の論理ゲー
トがSa0又はSa1に固定された場合には、記憶素子MEM
の入力部に、常に、その故障の影響として故障情報fSa
0,fSa1 が伝播する。しかし、その入力側の論理ゲート
から外部信号入力部INに至るまでのネットの故障につ
いては、それが記憶素子MEMの入力部に伝播したり、伝
播しなかったりすることによる。
This is because when the logic gate on the input side of the storage element MEM is fixed at Sa0 or Sa1,
Input of the fault information fSa as the effect of the fault.
0, fSa1 propagates. However, the failure of the net from the logic gate on the input side to the external signal input portion IN depends on whether it propagates to the input portion of the storage element MEM or not.

【0028】 また、図15の処理フローチャートのス
テップP4で最終の故障検出判定時刻T1から任意の故
障検出判定時刻TXに至る間の故障情報fSa0,fSa1 と
最終の故障検出判定時刻T1に係る最新の故障情報fSa
0,fSa1 との論理和演算処理をしている。
Further, in step P4 of the processing flowchart of FIG. 15, the failure information fSa0, fSa1 from the last failure detection determination time T1 to any failure detection determination time TX and the latest failure detection determination time T1 Failure information fSa
The logical OR operation with 0, fSa1 is performed.

【0029】しかし、別の時刻で設定された故障情報f
Sa0,fSa1 も同じメモリ部2に保持されることを示し、
これにより、各ゲート間の故障伝播性の設定が実際動作
と異なる場合を生ずる。
However, the failure information f set at another time
Sa0 and fSa1 are also stored in the same memory unit 2,
This may cause a case where the setting of the fault propagation between the gates is different from the actual operation.

【0030】 さらに、図16の処理フローチャートの
ステップP7で当該テストデータDTの一周期前の最終
の故障検出判定時刻T1に係る最新の故障情報fSa0,f
Sa1と、最終の故障検出判定時刻T1から当該テストデ
ータDTの現在周期に係る任意の故障検出判定時刻TX
に至るまでの故障情報MSa0,MSa1 とを一致させる計算
処理をしている。
Further, in step P7 of the processing flowchart of FIG. 16, the latest failure information fSa0, f relating to the last failure detection determination time T1 one cycle before the test data DT.
Sa1 and any failure detection determination time TX related to the current cycle of the test data DT from the last failure detection determination time T1.
Is performed to make the failure information MSa0 and MSa1 coincide with each other.

【0031】しかし、故障検出判定時刻T1に係る記憶
素子MEMの最新の故障情報fSa0,fSa1 がテストパター
ン1周期分のみについて、回路故障擬似試験装置のメモ
リ部2に保持されているに過ぎないため、該記憶素子M
EMの内部ステートに1周期以上留まる故障情報fSa0,f
Sa1 を検出することができない。
However, the latest failure information fSa0 and fSa1 of the storage element MEM at the failure detection determination time T1 is only stored in the memory unit 2 of the circuit failure simulation test apparatus for one cycle of the test pattern. , The storage element M
Failure information fSa0, f that stays in the internal state of EM for more than one cycle
Sa1 cannot be detected.

【0032】これ等により、記憶素子MEMを含む複数の
論理ゲートLG1, LG2,LGi…LGnの故障検出精度を低
下させる原因と考えられる。本発明は、かかる従来例の
問題点に鑑み創作されたものであり、故障検出評価の簡
易化を図りつつ、記憶素子の実際動作状態を十分に考慮
に入れて、該記憶素子を含む複数の論理ゲートの故障検
出精度の向上を図ることが可能となる回路故障擬似試験
装置及び回路故障試験方法の提供を目的とする。
This is considered to be a cause of lowering the fault detection accuracy of the plurality of logic gates LG1, LG2, LGi... LGn including the storage element MEM. The present invention has been made in view of the problems of the conventional example, and while taking into account the actual operation state of the storage element while simplifying the fault detection evaluation, a plurality of storage elements including the storage element are provided. It is an object of the present invention to provide a circuit failure pseudo test device and a circuit failure test method that can improve the detection accuracy of a failure of a logic gate.

【0033】[0033]

【課題を解決するための手段】図1は、本発明に係る回
路故障擬似試験装置の原理図であり、図2は、本発明に
係る回路故障試験方法の原理図をそれぞれ示している。
FIG. 1 is a diagram showing the principle of a circuit fault pseudo test apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing the principle of a circuit fault test method according to the present invention.

【0034】本発明の回路故障擬似試験装置は、図1に
例示するように、被試験半導体装置12内にある記憶素
子MEMの入力部から該記憶素子に設定された内部ステ
ートに故障信号が伝搬するかしないかを示す第1の故障
情報と、前記記憶素子に設定された内部ステートから該
記憶素子の出力部に故障信号が伝搬するかしないかを示
す第2の故障情報と、前記記憶素子の入力部から該記憶
素子の出力部に故障信号が伝搬するかしないかを第3の
故障情報と、前記第1の故障情報、前記第2の故障情報
又は前記第3の故障情報の少なくとも何れか一つの故障
情報に基づいて求められる、前記記憶素子内に故障があ
るかないかを示す故障モード情報(Sa0,Sa1)と
を記憶する記憶手段11を備え、前記故障モード情報
(Sa0,Sa1)に基づいて故障の伝搬を観測するこ
とを特徴とする。
In the circuit failure pseudo test apparatus of the present invention, as shown in FIG. 1, a failure signal propagates from an input portion of a storage element MEM in a semiconductor device under test 12 to an internal state set in the storage element. First failure information indicating whether or not a failure signal propagates from an internal state set in the storage element to an output section of the storage element; and The third failure information and whether at least one of the first failure information, the second failure information, or the third failure information indicates whether a failure signal propagates from the input unit to the output unit of the storage element. Storage means 11 for storing failure mode information (Sa0, Sa1) indicating whether or not there is a failure in the storage element, which is determined based on the one failure information, and the failure mode information (Sa0, Sa1) Based characterized by observing the propagation of failure.

【0035】上記した回路故障擬似試験装置において、
前記故障の伝搬の観測は、前記被試験半導体装置の出力
部から入力部に向かって前記故障モード情報を検出する
ことにより行われることを特徴とする。
In the above-described circuit failure pseudo test apparatus,
The observation of the propagation of the fault is performed by detecting the fault mode information from the output unit to the input unit of the semiconductor device under test.

【0036】[0036]

【0037】[0037]

【0038】また、本発明の回路故障擬似試験方法は、
図1及び図2に例示するように、被試験半導体装置12
内にある記憶素子MEMの入力部から該記憶素子MEM
に設定された内部ステートに故障信号が伝搬するかしな
いかを示す第1の故障情報を記憶手段11に記憶し、前
記記憶素子MEMに設定された内部ステートから該記憶
素子の出力部に故障信号が伝搬すかしないかを示す第2
の故障情報を前記記憶手段11に記憶し、前記記憶素子
MEMの入力部から該記憶素子の出力部に故障信号が伝
搬するかしないかを示す第3の故障情報を前記記憶手段
11に記憶し、前記第1の故障情報、前記第2の故障情
報又は前記第3の故障情報の少なくとも何れか一つの故
障情報に基づいて前記記憶素子内に故障があるかないか
を検出し、故障モード情報(Sa0,Sa1)として前
記記憶手段11に記憶し、前記故障モード情報(Sa
0,Sa1)に基づいて前記被試験半導体装置12の出
力部から入力部に向かって故障の伝搬を観測することを
特徴とする。
Further, the circuit failure pseudo test method of the present invention
As illustrated in FIG. 1 and FIG.
From the input of the storage element MEM
The first failure information indicating whether the failure signal propagates to the internal state set in the storage element MEM is stored in the storage unit 11, and the failure signal is output from the internal state set in the storage element MEM to the output unit of the storage element. The second indicates whether or not
Is stored in the storage means 11, and third failure information indicating whether or not a failure signal propagates from the input of the storage element MEM to the output of the storage element is stored in the storage means 11. Detecting whether or not there is a failure in the storage element based on at least one of the first failure information, the second failure information, and the third failure information, and providing failure mode information ( (Sa0, Sa1) in the storage means 11, and stores the failure mode information (Sa
0, Sa1), the propagation of a fault is observed from the output to the input of the semiconductor device under test 12.

【0039】なお、本発明の回路故障擬似試験方法にお
いて、前記計算記憶処理の際に、図2の処理フローチャ
ートのステップP3Aで被試験半導体装置12の記憶素子
MEMのデータ入力部DTから内部ステートMや該記憶素
子MEMの出力部Qに伝播する故障モード情報Sa0,Sa1
の計算記憶をする第1の計算記憶処理や、ステップP3B
で前記被試験半導体装置12の記憶素子MEMの制御信号
入力部CKから内部ステートMや該記憶素子MEMの出力
部Qに伝播する故障モード情報Sa0,Sa1の計算記憶を
する第2の計算記憶処理をすることを特徴とする。
In the circuit failure pseudo test method of the present invention, at the time of the calculation and storage processing, the internal state M from the data input unit DT of the storage element MEM of the semiconductor device under test 12 is determined in step P3A of the processing flowchart of FIG. And the failure mode information Sa0 and Sa1 propagated to the output section Q of the storage element MEM.
The first calculation storage process for calculating and storing
A second calculation and storage process for calculating and storing the failure mode information Sa0 and Sa1 propagating from the control signal input section CK of the storage element MEM of the semiconductor device under test 12 to the internal state M and the output section Q of the storage element MEM. It is characterized by doing.

【0040】さらに、本発明の回路故障擬似試験方法に
おいて、前記検出処理の際に、図2の処理フローチャー
トのステップP4Aで被試験半導体装置12の記憶素子M
EMの有無の判定処理をすることを特徴とする。
Further, in the circuit failure pseudo test method of the present invention, at the time of the detection processing, the storage element M of the semiconductor device under test 12 is determined in step P4A of the processing flowchart of FIG.
It is characterized by performing a process of determining the presence or absence of EM.

【0041】また、本発明の回路故障擬似試験方法にお
いて、前記検出処理の際に、当該被試験半導体装置12
に記憶素子MEMが含まれない場合には、図2の処理フロ
ーチャートのステップP4Bで該被試験半導体装置12の
信号出力部OUTから前記信号入力部INに向かって故障
情報fSa0,fSa1 を検出する第1の情報検索処理をし、
前記被試験半導体装置12に記憶素子MEMが含まれる場
合には、ステップP4Cで該被試験半導体装置12の記憶
素子MEMに係る故障モード情報Sa0,Sa1を検出する第
2の情報検索処理をすることを特徴とし、上記目的を達
成する。
In the circuit failure pseudo test method of the present invention, the semiconductor device under test 12
Does not include the storage element MEM, the failure information fSa0, fSa1 is detected from the signal output unit OUT of the semiconductor device under test 12 toward the signal input unit IN in step P4B of the processing flowchart of FIG. Perform the information retrieval process of 1.
If the semiconductor device under test 12 includes the storage element MEM, a second information search process for detecting the failure mode information Sa0 and Sa1 relating to the storage element MEM of the semiconductor device under test 12 in step P4C. To achieve the above object.

【0042】[0042]

【作用】本発明の回路故障擬似試験装置によれば、図1
に示すように故障情報fSa0,fSa1 ,mfSa0, mfSa1,
qfSa0,qfSa1に基づいて被試験半導体装置12の記憶
素子MEMに保持される故障モード情報Sa0,Sa1を記憶
する第1〜第3の記憶手段11A〜11Cから成る記憶手段
11が設けられる。
According to the circuit failure pseudo test apparatus of the present invention, FIG.
As shown in the figure, the failure information fSa0, fSa1, mfSa0, mfSa1,
A storage means 11 comprising first to third storage means 11A to 11C for storing failure mode information Sa0 and Sa1 held in the storage element MEM of the semiconductor device under test 12 based on qfSa0 and qfSa1 is provided.

【0043】このため、複数の論理ゲートLG1, LG2,
LGi…LGnが組み込まれた被試験半導体装置12に故障
点FLTを設定して、回路故障シミュレーションをする場
合、予め定義された被試験半導体装置12の故障モード
情報Sa0, Sa1,制御データD及びテストデータDTに
基づいて、各論理ゲートLG1, LG2,LGi…LGnでの故
障伝幡に関する故障情報fSa0,fSa1 や記憶素子MEMに
保持される故障モード情報Sa0,Sa1の計算記憶処理を
することにより、記憶素子MEMを含む複数の論理ゲート
LG1, LG2,LGi…LGnの故障検出精度につき、従来例
に比べてその向上を図ることが可能となる。
For this reason, a plurality of logic gates LG1, LG2,
When a fault point FLT is set in the semiconductor device under test 12 into which LGi... LGn are incorporated and a circuit fault simulation is performed, the failure mode information Sa0, Sa1, control data D and test data of the predefined semiconductor device 12 under test are defined. Based on the data DT, the calculation and storage of the failure information fSa0, fSa1 relating to the failure propagation at each of the logic gates LG1, LG2, LGi... LGn and the failure mode information Sa0, Sa1 held in the storage element MEM are performed. The fault detection accuracy of the plurality of logic gates LG1, LG2, LGi... LGn including the storage element MEM can be improved as compared with the conventional example.

【0044】例えば、被試験半導体装置12の記憶素子
MEMの入力部DT,CKから内部ステートMに伝播する
故障モード情報Sa0,Sa1が第1の記憶手段11Aに記憶
され、該内部ステートMから記憶素子MEMの出力部Qに
伝播する故障モード情報Sa0,Sa1が第2の記憶手段11
Bに記憶され、該記憶素子MEMの入力部DT,CKから
直接,該記憶素子MEMの出力部Qに伝播する故障モード
情報Sa0,Sa1が第3の記憶手段11Cに記憶される。
For example, failure mode information Sa0 and Sa1 propagating from the input sections DT and CK of the storage element MEM of the semiconductor device under test 12 to the internal state M are stored in the first storage means 11A, and stored from the internal state M. The failure mode information Sa0 and Sa1 propagating to the output section Q of the element MEM are stored in the second storage unit 11.
The failure mode information Sa0 and Sa1 stored in B and transmitted directly from the input sections DT and CK of the storage element MEM to the output section Q of the storage element MEM are stored in the third storage means 11C.

【0045】この際に、被試験半導体装置12の記憶素
子MEMに保持される故障モード情報Sa0,Sa1が該記憶
素子MEM毎に記憶手段11に記憶されたり、また、被試
験半導体装置12の記憶素子MEMの状態変化に基づいて
記憶手段11に記憶された故障モード情報Sa0,Sa1が
書込み/読出し複写処理される。
At this time, the failure mode information Sa0, Sa1 held in the storage element MEM of the semiconductor device under test 12 is stored in the storage means 11 for each storage element MEM, or the storage mode of the semiconductor device 12 under test is stored. The failure mode information Sa0 and Sa1 stored in the storage means 11 are written / read / copied based on the state change of the element MEM.

【0046】これにより、故障検出評価の簡易化を図り
つつ、記憶素子の実際動作状態を十分に考慮に入れた被
試験半導体装置12の故障シミュレーションをすること
が可能となる。
As a result, it is possible to perform a failure simulation of the semiconductor device under test 12 while sufficiently considering the actual operation state of the storage element while simplifying the failure detection evaluation.

【0047】また、本発明の回路故障擬似試験方法によ
れば、図2の処理フローチャートに示すように、ステッ
プP3でテストデータDTに基づいて各論理ゲートLG
1, LG2,LGi…LGnでの故障伝幡に関する故障情報fS
a0,fSa1 や記憶素子MEMに保持される故障モード情報
Sa0,Sa1の計算記憶処理をしている例えば、図2の処
理フローチャートのステップP3Aで被試験半導体装置1
2の記憶素子MEMのデータ入力部DTから内部ステート
Mや該記憶素子MEMの出力部Qに伝播する故障モード情
報Sa0,Sa1が計算記憶(第1の計算記憶処理)された
り、ステップP3Bで被試験半導体装置12の記憶素子M
EMの制御信号入力部CKから内部ステートMや該記憶素
子MEMの出力部Qに伝播する故障モード情報Sa0,Sa1
が計算記憶(第2の計算記憶処理)される。
Further, according to the circuit fault pseudo test method of the present invention, as shown in the processing flowchart of FIG. 2, each logic gate LG based on the test data DT in step P3.
1, LG2, LGi ... Fn failure information fS on failure propagation at LGn
a0, fSa1 and the failure mode information Sa0, Sa1 held in the storage element MEM are calculated and stored. For example, in step P3A of the processing flowchart of FIG.
The failure mode information Sa0 and Sa1 propagating from the data input section DT of the second storage element MEM to the internal state M and the output section Q of the storage element MEM are calculated and stored (first calculation and storage processing), or received in step P3B. Storage element M of test semiconductor device 12
Failure mode information Sa0, Sa1 propagated from the control signal input CK of the EM to the internal state M and the output Q of the storage element MEM.
Is calculated and stored (second calculation storage processing).

【0048】このため、被試験半導体装置12の記憶素
子MEMのデータ入力部DTや制御信号入力部CKから外
部信号入力部INに至る論理ゲートLGnの故障,例え
ば、その縮退故障が記憶素子MEMのデータ入力部DTに
常に影響している場合,それが断続的に影響している場
合や、その制御信号入力部CKに影響している場合を含
めて、該記憶素子MEMに伝播する故障の伝播性をより実
際動作状態に近い形で、模擬把握することが可能とな
る。
For this reason, a failure of the logic gate LGn from the data input section DT or the control signal input section CK to the external signal input section IN of the storage element MEM of the semiconductor device 12 under test, for example, a stuck-at fault thereof, causes a failure of the storage element MEM. Propagation of a fault that propagates to the storage element MEM, including a case where the fault always affects the data input portion DT, a case where the fault affects the data input portion DT intermittently, and a case where the fault affects the control signal input portion CK. It is possible to simulate and grasp the characteristics in a form closer to the actual operation state.

【0049】また、ステップP4で被試験半導体装置1
2の信号出力部OUTから信号入力部INに向かって故障
情報fSa0,fSa1 や故障モード情報Sa0,Sa1が検出処
理される。
In step P4, the semiconductor device under test 1
The failure information fSa0, fSa1 and the failure mode information Sa0, Sa1 are detected and processed from the second signal output OUT to the signal input IN.

【0050】例えば、図2の処理フローチャートのステ
ップP4Aで被試験半導体装置12の記憶素子MEMの有無
が判定処理されると、当該被試験半導体装置12に記憶
素子MEMが含まれない場合には、図2の処理フローチャ
ートのステップP4Bで該被試験半導体装置12の信号出
力部OUTから信号入力部INに向かって故障情報fSa0,
fSa1 が検出(第1の情報検索処理)され、また、被試
験半導体装置12に記憶素子MEMが含まれる場合には、
ステップP4Cで該被試験半導体装置12の記憶素子MEM
に保持される故障モード情報Sa0,Sa1が検出(第2の
情報検索処理)される。
For example, if the presence / absence of the storage element MEM of the semiconductor device under test 12 is determined in step P4A of the processing flowchart of FIG. 2, if the storage element MEM is not included in the semiconductor device under test 12, In step P4B of the processing flowchart of FIG. 2, the failure information fSa0,
If fSa1 is detected (first information search processing), and the semiconductor device under test 12 includes the storage element MEM,
In step P4C, the storage element MEM of the semiconductor device under test 12
Is detected (second information search process).

【0051】このため、記憶素子MEMのデータ入力部D
Tや制御信号入力部CKから外部信号入力部INに至る
論理ゲートLGnの故障が記憶素子MEMに保持されること
から、記憶素子MEMのデータ入力部DTや制御信号入力
部CKから記憶素子MEMの出力部Qに伝播する故障モー
ド情報Sa0,Sa1を検索することにより、従来例のよう
に被試験半導体装置12に記憶素子MEMが含まれた場合
であって、該被試験半導体装置12の記憶素子MEMのデ
ータ入力部DTや制御信号入力部CKから被試験半導体
装置12の信号入力部INに至るまでの検索処理を省略
することが可能となる。
For this reason, the data input section D of the storage element MEM
Since the failure of the logic gate LGn from T or the control signal input unit CK to the external signal input unit IN is held in the storage element MEM, the data input unit DT of the storage element MEM or the control signal input unit CK to the storage element MEM By searching for the failure mode information Sa0 and Sa1 propagating to the output unit Q, the memory device MEM is included in the semiconductor device under test 12 as in the conventional example. It is possible to omit a search process from the data input unit DT and control signal input unit CK of the MEM to the signal input unit IN of the semiconductor device under test 12.

【0052】これにより、従来例に比べて記憶素子MEM
を含む被試験半導体装置12の高精度な故障シミュレー
ションを行うことが可能となる。
Thus, as compared with the conventional example, the storage element MEM
, It is possible to perform a highly accurate failure simulation of the semiconductor device 12 under test.

【0053】[0053]

【実施例】次に図を参照しながら本発明の実施例につい
て説明をする。図3〜図13は、本発明の実施例に係る回
路故障擬似試験装置及び回路故障試験方法を説明する図
であり、図3は、本発明の実施例に係る故障シミュレー
ションシステムの構成図であり、図4,5はその補足説
明図を示している。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIGS. 3 to 13 are diagrams illustrating a circuit fault pseudo test apparatus and a circuit fault test method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a configuration diagram of a fault simulation system according to the embodiment of the present invention. 4 and 5 show supplementary explanatory diagrams thereof.

【0054】例えば、図5(a)に示すような複数の論
理ゲートLG1〜LG4が組み込まれた被試験半導体装置
(以下被試験LSIという)12の故障シミュレーショ
ンをする装置は、図3において、故障シミュレーション
制御メモリ21,テストデータファイルメモリ22,故
障情報メモリ23,データ検索エディタ24,CPU2
5,ディスプレイ26,キーボード27及びこれらの間
のデータを伝送するシステムバス28から成る。
For example, an apparatus for simulating a failure of a semiconductor device under test (hereinafter referred to as LSI under test) 12 incorporating a plurality of logic gates LG1 to LG4 as shown in FIG. Simulation control memory 21, test data file memory 22, failure information memory 23, data search editor 24, CPU 2
5, a display 26, a keyboard 27, and a system bus 28 for transmitting data therebetween.

【0055】すなわち、故障シミュレーション制御メモ
リ21は予め故障モードM0,M1に基づいて定義され
た被試験LSI12の故障モード情報Sa0 ,Sa1,故障情
報fSa0 ,fSa1 ,mfSa0 ,mfSa1 ,qfSa0 ,q
fSa1 や制御データDを記憶するものである。
That is, the failure simulation control memory 21 stores the failure mode information Sa0, Sa1, the failure information fSa0, fSa1, mfSa0, mfSa1, qfSa0, q of the LSI under test 12 defined in advance based on the failure modes M0, M1.
fSa1 and control data D are stored.

【0056】テストデータファイルメモリ22は被試験
LSI12の故障シミュレーションをするテストデータ
DTを記憶するものである。故障情報メモリ23は記憶
手段11の一実施例であり、被試験LSI12の記憶素
子MEMに保持される故障モード情報Sa0,Sa1を記憶す
るものである。例えば、故障情報メモリ23は被試験L
SI12の記憶素子MEMに保持される故障モード情報S
a0,Sa1を該記憶素子MEM毎に記憶する。
The test data file memory 22 stores test data DT for performing a failure simulation of the LSI under test 12. The failure information memory 23 is an embodiment of the storage unit 11 and stores failure mode information Sa0 and Sa1 held in the storage element MEM of the LSI under test 12. For example, the failure information memory 23 stores
Failure mode information S held in storage element MEM of SI12
a0 and Sa1 are stored for each storage element MEM.

【0057】また、故障情報メモリ23にはPMテーブ
ル23A(以下単にPMTBLともいう),MQテーブル
23B(以下単にPQTBLともいう)及びPQテーブル
23C(以下単にMQTBLともいう)が設けられる。
In the failure information memory 23, a PM table 23A (hereinafter also simply referred to as PMTBL), an MQ table
23B (hereinafter simply referred to as PQTBL) and PQ table
23C (hereinafter simply referred to as MQTBL) is provided.

【0058】PMTBLは第1の記憶手段11Aの一例で
あり、予め設定された故障情報mfSa0, mfSa1に基づい
て被試験LSI12の記憶素子MEMのデータ入力部DT
や制御信号入力部CKから内部ステートMに伝播する故
障モード情報Sa0,Sa1を記憶するメモリ領域である。
The PMTBL is an example of the first storage means 11A, and the data input section DT of the storage element MEM of the LSI under test 12 is based on preset failure information mfSa0 and mfSa1.
And a memory area for storing failure mode information Sa0 and Sa1 propagated from the control signal input unit CK to the internal state M.

【0059】また、MQTBLは第2の記憶手段11Bの
一例であり、予め設定された故障情報qfSa0, qfSa1に
基づいて記憶素子MEMの内部ステートMからその出力部
Qに伝播する故障モード情報Sa0,Sa1を記憶する。
MQTBL is an example of the second storage means 11B, and based on failure information qfSa0 and qfSa1 set in advance, failure mode information Sa0, which propagates from the internal state M of the storage element MEM to its output Q. Sa1 is stored.

【0060】MQTBLは第3の記憶手段11Cの一例で
あり、予め設定された故障情報mfSa0, mfSa1に基づい
て記憶素子MEMの入力部から直接,その出力部Qに伝播
する故障モード情報Sa0,Sa1を記憶するメモリ領域で
ある。なお、PMTBL,MQTBL及びMQTBLは
被試験LSI12の記憶素子MEMの状態変化に基づいて
書込み/読出し複写処理される。
MQTBL is an example of the third storage means 11C, and failure mode information Sa0, Sa1 which propagates directly from the input section of the storage element MEM to its output section Q based on preset failure information mfSa0, mfSa1. Is a memory area for storing. The PMTBL, MQTBL and MQTBL are written / read / copied based on a change in the state of the storage element MEM of the LSI under test 12.

【0061】また、データ検索エディタ24は、記憶素
子MEMに係る故障情報mfSa0, mfSa1,qfSa0,qfSa1
や各論理ゲートゲートLG1, LG2,LGi…LGnでの故障
伝幡に関し計算された故障情報fSa0,fSa1 の検出をす
るものである。
The data search editor 24 outputs failure information mfSa0, mfSa1, qfSa0, qfSa1 relating to the storage element MEM.
And fault information fSa0, fSa1 calculated for the fault propagation at each of the logic gates LG1, LG2, LGi... LGn.

【0062】CPU25は故障シミュレーション制御メ
モリ21,テストデータファイルメモリ22,故障情報
メモリ23,データ検索エディタ24及びディスプレイ
26等の入出力を制御するものである。
The CPU 25 controls the input and output of the failure simulation control memory 21, the test data file memory 22, the failure information memory 23, the data search editor 24, the display 26 and the like.

【0063】なお、ディスプレイ26は表示データD3
に基づいて設計途中の被試験LSI12の表示等をする
ものである。キーボード27は、故障シミュレーション
をする際に、オペレータ等が故障点FLTに係る入力デー
タD2を入力するものである。例えば、論理ゲートLG1
の信号入力部INに故障点FLTが設定される。
The display 26 displays the display data D3.
The LSI 12 to be tested is displayed during the design based on the above. The keyboard 27 is used by an operator or the like to input input data D2 related to the failure point FLT when performing a failure simulation. For example, the logic gate LG1
The fault point FLT is set to the signal input unit IN of the first embodiment.

【0064】図4(a)〜(c)は、本発明の実施例に
係る記憶素子に保持される故障情報の説明図を示してい
る。図4(a)において、記憶素子MEMに保持される故
障モード情報Sa0,Sa1はデータ入力部DTと制御信号
入力部CKに起因する故障の影響により記憶内容が異な
る。
FIGS. 4A to 4C are explanatory diagrams of the failure information held in the storage element according to the embodiment of the present invention. 4A, the failure mode information Sa0 and Sa1 stored in the storage element MEM have different storage contents due to the influence of a failure caused by the data input unit DT and the control signal input unit CK.

【0065】すなわち、記憶素子MEMの前段の論理ゲー
トが正常回路であって、その信号値がデータ入力部DT
について、故障情報fSa0,fSa1 =0,mfSa0=0,m
fSa1=1が設定され、制御信号入力部CKについて、故
障情報fSa0 =0,fSa1 =1,mfSa0=0,mfSa1=
1が設定された場合に、各入力部DT,CKと内部ステ
ートMに故障モード情報Sa0,Sa1を設定し、これを演
算すると、記憶素子MEMの故障伝播性を示す図4(a)
の真理値表100 が得られる。
That is, the logic gate preceding the memory element MEM is a normal circuit, and its signal value is
, Failure information fSa0, fSa1 = 0, mfSa0 = 0, m
fSa1 = 1 is set, and the fault information fSa0 = 0, fSa1 = 1, mfSa0 = 0, mfSa1 =
When 1 is set, failure mode information Sa0 and Sa1 are set in each of the input units DT and CK and the internal state M, and when this is calculated, the failure propagation information of the storage element MEM is shown in FIG.
Is obtained.

【0066】ここで、記憶素子MEMの出力部Qの出力値
が該記憶素子MEMの前段に接続された正常回路の出力値
と異なれば、該記憶素子MEMに係る故障情報mfSa0, m
fSa1,qfSa0,qfSa1を「1」に設定し、その内部ステ
ートMの信号値が正常回路と異なれば、記憶素子MEMに
係る故障情報mfSa0, mfSa1のみを「1」に設定する。
Here, if the output value of the output section Q of the storage element MEM is different from the output value of the normal circuit connected in front of the storage element MEM, the failure information mfSa0, m
fSa1, qfSa0, and qfSa1 are set to "1", and if the signal value of the internal state M is different from that of the normal circuit, only the failure information mfSa0 and mfSa1 relating to the storage element MEM is set to "1".

【0067】これは、図4(b)において、記憶素子M
EMの前段の論理ゲートの故障の影響がデータ入力部DT
と制御信号入力部CKを介して起因する場合があるから
である。なお、記憶素子MEMの前段の論理ゲートの故障
は、正常回路と同じタイミングによりデータ入力部DT
→内部ステートM→出力部Q→外部出力部OUTと伝播を
する(ディレイによる影響を考慮しない)。
This is because the memory element M shown in FIG.
The effect of the failure of the logic gate in the previous stage of EM is
This may be caused by the control signal input unit CK. Note that the failure of the logic gate in the preceding stage of the storage element MEM is caused by the same timing as in the normal circuit at the data input section DT
→ internal state M → output section Q → external output section OUT (the influence of delay is not considered).

【0068】また、記憶素子MEMの前段の論理ゲートの
故障の影響が制御信号入力部CKを介して起因した場合
には、図4(c)に示すように3つの故障伝播状態が考
えられる。
When the influence of the failure of the logic gate at the preceding stage of the storage element MEM is caused via the control signal input unit CK, three failure propagation states are considered as shown in FIG.

【0069】すなわち、図4(c)において、記憶素子
MEMへ制御信号入力部CKを介してデータを取り込む場
合やそれを出力する場合に、正常回路と同じタイミング
により故障の影響が制御信号入力部CKに伝播され、ま
た、その出力時には、正常回路と異なったタイミングに
より、それが内部ステートMから出力部Qに伝播をす
る。
That is, in FIG. 4C, when data is taken into the memory element MEM via the control signal input unit CK or when it is output, the influence of the failure is controlled by the same timing as in the normal circuit. At the time of output, the signal propagates from the internal state M to the output section Q at a timing different from that of the normal circuit.

【0070】また、正常回路と異なったタイミングによ
り故障の影響が制御信号入力部CKに伝播され、また、
その出力時には、正常回路と同じタイミングにより、そ
れが内部ステートMから出力部Qに伝播をする。さら
に、正常回路と異なったタイミングにより故障の影響が
制御信号入力部CKに伝播され、また、その出力時に
も、正常回路と異なったタイミングにより、それが内部
ステートMから出力部Qに伝播をする状態が考えられ
る。
The influence of the fault is transmitted to the control signal input unit CK at a timing different from that of the normal circuit.
At the time of the output, it propagates from the internal state M to the output section Q at the same timing as the normal circuit. Further, the influence of the fault is propagated to the control signal input unit CK at a timing different from that of the normal circuit, and at the time of its output, it propagates from the internal state M to the output unit Q at a timing different from that of the normal circuit. State is possible.

【0071】従って、記憶素子MEMの入力部から内部ス
テートMに伝播する故障モード情報Sa0,Sa1をPMT
BLに記憶し、また、記憶素子MEMの内部ステートMか
らその出力部Qに伝播する故障モード情報Sa0,Sa1を
MQTBLに記憶し、さらに、記憶素子MEMの入力部か
ら直接,その出力部Qに伝播する故障モード情報 Sa0,
Sa1をPQTBLに記憶することにより、記憶素子MEM
の入力部を介して伝播する故障の影響を故障検出判定時
刻により検索することができる。
Therefore, the failure mode information Sa0 and Sa1 propagating from the input section of the storage element MEM to the internal state M are
The failure mode information Sa0 and Sa1 stored in the BL and propagated from the internal state M of the storage element MEM to the output Q thereof are stored in the MQTBL. Further, the failure mode information Sa0 and Sa1 are directly transmitted from the input of the storage element MEM to the output Q thereof. Propagating failure mode information Sa0,
By storing Sa1 in PQTBL, the storage element MEM
The effect of a fault propagating through the input unit can be searched by the fault detection determination time.

【0072】このようにして、本発明の実施例に係る故
障シミュレーションシステムによれば、図3に示すよう
に故障シミュレーション制御メモリ21,テストデータ
ファイルメモリ22,故障情報メモリ23,データ検索
エディタ24,CPU25等が具備され、該故障情報メ
モリ23にPMTBL,PQTBL及びMQTBLが設
けられている。
As described above, according to the failure simulation system according to the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 3, a failure simulation control memory 21, a test data file memory 22, a failure information memory 23, a data search editor 24, The failure information memory 23 includes a PMTBL, a PQTBL, and an MQTBL.

【0073】このため、複数の論理ゲートLG1, LG2,
LGi…LGnが組み込まれた被試験LSI12に故障点F
LTを設定して、回路故障シミュレーションをする場合、
予め定義された被試験LSI12の故障モード情報Sa
0,Sa1,制御データD及びテストデータDTに基づい
て、各論理ゲートLG1, LG2,LGi…LGnでの故障伝幡
に関する故障情報fSa0,fSa1 や記憶素子MEMに保持さ
れる故障情報fSa0,fSa1 ,mfSa0, mfSa1,qfSa0,
qfSa1の計算記憶処理をすることにより、記憶素子MEM
を含む複数の論理ゲートLG1, LG2,LGi…LGnの故障
検出精度につき、従来例に比べてその向上を図ることが
可能となる。
For this reason, a plurality of logic gates LG1, LG2,
LGi ... A failure point F is present in the LSI under test 12 in which LGn is incorporated.
When performing circuit failure simulation by setting LT,
Failure mode information Sa of the LSI under test 12 defined in advance
0, Sa1, the control data D, and the test data DT, the failure information fSa0, fSa1 relating to the failure propagation at each of the logic gates LG1, LG2, LGi... LGn and the failure information fSa0, fSa1, held in the storage element MEM. mfSa0, mfSa1, qfSa0,
By performing the calculation storage processing of qfSa1, the storage element MEM
., LGn, the plurality of logic gates LG1, LG2, LGi... LGn can be improved as compared with the conventional example.

【0074】例えば、複数の論理ゲートLG1, LG2,L
Gi…LGnが組み込まれた被試験LSI12に故障点FLT
を設定して、故障シミュレーションをする場合、予め定
義された被試験LSI12の故障モード情報Sa0,Sa1
が故障シミュレーション制御メモリ21により記憶さ
れ、被試験LSI12の故障シミュレーションをするテ
ストデータDTがテストデータファイルメモリ22によ
り記憶される。
For example, a plurality of logic gates LG1, LG2, L
Gi… LGn built-in LSI under test 12 with fault point FLT
Is set and the failure simulation is performed, the failure mode information Sa0, Sa1 of the LSI under test 12 defined in advance is set.
Is stored in the failure simulation control memory 21, and test data DT for performing a failure simulation of the LSI under test 12 is stored in the test data file memory 22.

【0075】また、テストデータDTに基づいて各論理
ゲートLG1,LG2,LGi・・・LGnから出力さ
れる故障情報fSa0,fSa1がCPUを介して故障
情報メモリー23の第4の記憶手段(図示ぜす)により
記憶され、定義処理に基づく故障情報(fSa0,fS
a1,mfSa0,mfSa1,qfSa0,qfSa
1)がデータ検索エディタ24により検出される。
Further, the failure information fSa0, fSa1 output from each of the logic gates LG1, LG2, LGi... LGn based on the test data DT is stored in the fourth storage means of the failure information memory 23 via the CPU (see FIG. Failure information (fSa0, fS
a1, mfSa0, mfSa1, qfSa0, qfSa
1) is detected by the data search editor 24.

【0076】ここで、図5(a)において、例えば、被
試験LSI12の入力ネットA,B,C,Dの入力信号
が(0,1,1,1)から(0,1,1,0)に変化し
たものとすれば、各ネットの故障情報fSa0,fSa1 と記
憶素子MEMに保持される故障情報fSa0,fSa1 ,mfSa
0, mfSa1とが図5(a)に示され、その検索処理前に
故障点が設定されていると、被試験LSI12の記憶素
子MEMのデータ入力部DTと制御信号入力部CKから内
部ステートMに伝播するネットD,H,Gの故障モード
情報H(SaO),G(SaO),D(SaO)がPMTBL
に記憶される。
In FIG. 5A, for example, the input signals of the input nets A, B, C, and D of the LSI under test 12 change from (0, 1, 1, 1) to (0, 1, 1, 0). ), The failure information fSa0, fSa1 of each net and the failure information fSa0, fSa1, mfSa held in the storage element MEM.
0 and mfSa1 are shown in FIG. 5A, and if a fault point has been set before the search processing, the internal state M from the data input section DT and the control signal input section CK of the storage element MEM of the LSI under test 12 will be described. Mode information H (SaO), G (SaO), and D (SaO) of nets D, H, and G propagated to PMTBL
Is stored.

【0077】なお、記憶素子MEMの入力部に変化があっ
たことから、その入力部毎に内部ステートMを観測点と
してPMTBLに記憶されている故障モード情報H(S
aO),G(SaO),D(SaO)の検索を開始する。この
際に、その検索処理後のPMTBLに記憶される故障モ
ード情報は、先に故障点が設定されていることから、H
(Sa1),E(Sa1),A(SaO),G(SaO,Sa
1),D(SaO,Sa1)となる。なお、それがデータ入
力部DTに係る故障モード情報SaO,Sa1の場合には、
PMTBLに記憶されている故障モード情報H(SaO)
を一旦クリアする。
Since the input section of the storage element MEM has changed, the failure mode information H (S) stored in the PMTBL with the internal state M as the observation point for each input section.
a), G (SaO), and D (SaO) search are started. At this time, the failure mode information stored in the PMTBL after the search processing indicates H
(Sa1), E (Sa1), A (SaO), G (SaO, Sa
1), D (SaO, Sa1). In the case of the failure mode information SaO, Sa1 relating to the data input unit DT,
Failure mode information H (SaO) stored in PMTBL
Is cleared once.

【0078】また、図5(b)において、入力ネット
A,B,C,Dの入力信号が(0,1,1,0)から
(0,1,1,1)に変化したものとすれば、各ネット
の故障情報fSa0,fSa1 と記憶素子MEMに係る故障情報
qfSa0, qfSa1とが図5(b)に示され、被試験LSI
12の記憶素子MEMのデータ入力部DTと制御信号入力
部CKから内部ステートMに伝播するネットG,Dの故
障モード情報G(SaO),D(SaO)がMQTBLに記
憶される。
In FIG. 5B, it is assumed that the input signals of the input nets A, B, C, and D have changed from (0, 1, 1, 0) to (0, 1, 1, 1). For example, FIG. 5B shows the fault information fSa0, fSa1 of each net and the fault information qfSa0, qfSa1 relating to the storage element MEM,
The failure mode information G (SaO) and D (SaO) of the nets G and D transmitted from the data input section DT and the control signal input section CK of the twelve storage elements MEM to the internal state M are stored in the MQTBL.

【0079】なお、記憶素子MEMの入力部に変化があっ
たことから、その入力部毎に該記憶素子MEMの出力部Q
を観測点としてPMTBLに記憶されている故障モード
情報G(SaO),D(SaO)の検索を開始する。この際
に、内部ステートMの故障情報qfSa1が,例えば、
「1」となる場合には、PMTBLに記憶されている故
障モード情報G(SaO),D(SaO)がPQTBLに複
写される。
Since there is a change in the input section of the storage element MEM, the output section Q of the storage element MEM is changed for each input section.
, The search for the failure mode information G (SaO) and D (SaO) stored in the PMTBL is started. At this time, the failure information qfSa1 of the internal state M is, for example,
When it becomes "1", the failure mode information G (SaO) and D (SaO) stored in the PMTBL are copied to the PQTBL.

【0080】これにより、信号出力部OUTから信号入力
部INに向かって単一縮退故障M0の伝幡可能性を示す
第1の故障情報fSa0 =1又は0や単一縮退故障M1の
伝幡可能性を示す第2の故障情報fSa1 =1又0の検出
処理をすることにより、故障検出評価の簡易化を図りつ
つ、記憶素子の実際動作状態を十分に考慮に入れた被試
験LSI12の故障シミュレーションをすることが可能
となる。
Thus, the first fault information fSa0 = 1 or 0 indicating the possibility of transmission of the single stuck-at fault M0 from the signal output OUT to the signal input IN, and the transmission of the single stuck-at fault M1 can be performed. A fault simulation of the LSI under test 12 in which the actual operation state of the storage element is sufficiently taken into consideration while simplifying the fault detection evaluation by performing the detection processing of the second fault information fSa1 = 1 or 0 indicating the fault property. It becomes possible to do.

【0081】次に、本発明の実施例に係る回路故障擬似
試験方法について当該装置の動作を補足しながら説明を
する。図6,7は、本発明の実施例に係る回路故障擬似
試験の処理フローチャート(その1,2)であり、図
8,9はそのデータ入力部に起因する故障伝播性の補足
説明図(その1,2)であり、図10〜12は、その制御信
号入力部に起因する故障伝播性の補足説明図(その1〜
3)であり、図13はその被試験LSIの構成例及び故障
情報検索の説明図をそれぞれ示している。
Next, a circuit failure pseudo test method according to an embodiment of the present invention will be described while supplementing the operation of the apparatus. 6 and 7 are processing flowcharts (parts 1 and 2) of the circuit failure pseudo test according to the embodiment of the present invention, and FIGS. 8 and 9 are supplementary explanatory diagrams of the fault propagation caused by the data input unit (part 1). 1, 2), and FIGS. 10 to 12 are supplementary explanatory diagrams (parts 1 to 5) of the fault propagation caused by the control signal input unit.
FIG. 13 shows an example of the configuration of the LSI under test and an explanatory diagram of the failure information search.

【0082】例えば、図8(a)に示すような論理ゲー
トLG1〜LG5に記憶素子MEMが組み込まれた被試験LS
I12の故障シミュレーションをする場合、図6におい
て、予め、ステップP1で被試験LSI12の故障モー
ドM0,M1を定義して故障伝幡を示す故障情報fSa0,
fSa1 ,mfSa0,mfSa1 ,qfSa0,qfSa1 の設定処
理をする。なお、本発明の実施例では被試験LSI12
の入力ネットBに故障点FLT〔fSa1 =1〕を設定する
ものとする。
For example, the test LS in which the storage element MEM is incorporated in the logic gates LG1 to LG5 as shown in FIG.
In the case of performing the failure simulation of I12, in FIG. 6, failure information fSa0, which indicates failure propagation by defining failure modes M0 and M1 of the LSI under test 12 in step P1 in advance.
A setting process of fSa1, mfSa0, mfSa1, qfSa0, qfSa1 is performed. In the embodiment of the present invention, the LSI under test 12
A fault point FLT [fSa1 = 1] is set in the input net B of FIG.

【0083】ここで、故障信号である故障モードM0,
M1は2つの単一縮退故障に分類される。単一縮退故障
M0は、被試験LSI12に故障点FLTが設定された
場合に、論理ゲートLG1,LG2,LGi・・・LG
nの出力信号又は入力信号が論理「0」に固定する第1
の縮退故障であって、第1の縮退故障が被試験LSI1
2に一つだけ存在する故障モードをいう。
Here, failure modes M0,
M1 is classified into two single stuck-at faults. The single stuck-at fault M0 is generated when the fault point FLT is set in the LSI under test 12 and the logic gates LG1, LG2, LGi,.
n whose output signal or input signal is fixed to logic “0”.
Of the LSI under test 1
2 means a failure mode that exists only once.

【0084】例えば、第1の縮退故障は論理ゲートLGi
の出力値が論理「0」に固定するモードであり、この故
障モード情報をSaOと定義する。また、fSaOは単一縮
退故障M0の伝幡性を示す故障情報である。例えば、単
一縮退故障M0が次段の論理ゲートLGiに伝幡しない場
合をfSaO=0と定義し、該単一縮退故障M0が次段の
論理ゲートLGiに伝幡する場合をfSaO=1と定義す
る。
For example, the first stuck-at fault is the logic gate LGi
Is a mode in which the output value is fixed to logic "0", and this failure mode information is defined as SaO. Further, fSaO is failure information indicating the propagation property of the single stuck-at fault M0. For example, a case where the single stuck-at fault M0 does not propagate to the next-stage logic gate LGi is defined as fSaO = 0, and a case where the single stuck-at fault M0 propagates to the next-stage logic gate LGi is defined as fSaO = 1. Define.

【0085】さらに、単一縮退故障M1は、被試験LS
I12に故障点FLTが設定された場合に、論理ゲートL
G1,LG2,LGi…LGnの出力信号又は入力信号が論理
「1」に固定する第2の縮退故障であって、第2の縮退
故障が被試験LSI12に一つだけ存在する故障モード
をいう。例えば、論理ゲートLGiの出力値が論理「1」
に固定するモードであり、この故障モード情報をSa1と
定義する。
Further, the single stuck-at fault M1 is the LS under test
When the fault point FLT is set in I12, the logic gate L
This is a second stuck-at fault in which the output signal or input signal of G1, LG2, LGi... LGn is fixed to logic "1", and refers to a failure mode in which only one second stuck-at fault exists in the LSI under test 12. For example, the output value of the logic gate LGi is logic “1”.
The failure mode information is defined as Sa1.

【0086】また、fSa1は単一縮退故障M1の伝幡性
を示す故障情報である。例えば、単一縮退故障M1が次
段の論理ゲートLGiに伝幡しない場合をfSa1=0と定
義し、該単一縮退故障M1が次段の論理ゲートLGiに伝
幡する場合をfSa1=1と定義する。なお、予め定義さ
れた被試験LSI12の故障モード情報Sa0,Sa1や第
1,第2の故障情報fSa0,fSa1等の制御データDが
故障シミュレーション制御メモリ21に格納される。
Further, fSa1 is failure information indicating the propagation property of the single stuck-at fault M1. For example, a case where the single stuck-at fault M1 does not propagate to the next-stage logic gate LGi is defined as fSa1 = 0, and a case where the single stuck-at fault M1 propagates to the next-stage logic gate LGi is defined as fSa1 = 1. Define. It should be noted that control data D such as predefined failure mode information Sa0 and Sa1 of the LSI under test 12 and first and second failure information fSa0 and fSa1 are stored in the failure simulation control memory 21.

【0087】また、記憶素子MEMに係る故障伝幡を示す
故障情報mfSa0,mfSa1 ,qfSa0,qfSa1 の定義処
理は、単一縮退故障M0については、記憶素子MEMのデ
ータ入力部DTや制御信号入力部CKから内部ステート
Mへの伝播性を示す故障情報をmfSa0 =1又は0と定
義をする。さらに、単一縮退故障M1については、記憶
素子MEMのデータ入力部DTや制御信号入力部CKから
内部ステートMへの伝播性を示す故障情報mfSa1 =1
又は0と定義をする。
The process of defining the fault information mfSa0, mfSa1, qfSa0, qfSa1 indicating the fault propagation related to the storage element MEM is performed for the single stuck-at fault M0 by the data input section DT and the control signal input section of the storage element MEM. The fault information indicating the propagability from CK to the internal state M is defined as mfSa0 = 1 or 0. Further, for the single stuck-at fault M1, fault information mfSa1 = 1 indicating the propagating property from the data input unit DT or the control signal input unit CK of the storage element MEM to the internal state M.
Or, it is defined as 0.

【0088】さらに、単一縮退故障M0について、内部
ステートMから出力部Qへの伝播性を示す故障情報はq
fSa0 =1又は0と定義をし、単一縮退故障M1につい
ては、内部ステートMから出力部Qへの伝播性を示す故
障情報はqfSa1 =1又は0とそれぞれ定義をする。
Further, with respect to the single stuck-at fault M0, the fault information indicating the propagation from the internal state M to the output unit Q is q
fSa0 = 1 or 0, and for a single stuck-at fault M1, fault information indicating the propagation from the internal state M to the output unit Q is defined as qfSa1 = 1 or 0, respectively.

【0089】次に、ステップP2で被試験LSI12の
信号入力部INにテストデータDTの供給処理をする。
この際に、被試験LSI12の故障シミュレーションを
するテストデータDT,例えば、「0,1,1,1」が
テストデータファイルメモリ22によりCPU25を介
して読み出される。
Next, in step P2, a process of supplying test data DT to the signal input section IN of the LSI under test 12 is performed.
At this time, test data DT for performing a failure simulation of the LSI under test 12, for example, “0, 1, 1, 1” is read by the test data file memory 22 via the CPU 25.

【0090】次いで、ステップP3で順次,信号入力部
INから信号出力部OUTに向かって被試験LSI12の
記憶素子MEMや論理ゲートLGiを選別計算処理を実行す
る。この際に、論理ゲートLGiに係る計算記憶処理をす
る場合(NO)には、ステップP4に移行し、記憶素子
MEMに係る計算記憶処理をする場合(YES)には、ステ
ップP5,6に移行する。
Next, in step P3, a selection calculation process is sequentially performed on the storage element MEM and the logic gate LGi of the LSI under test 12 from the signal input section IN to the signal output section OUT. At this time, when performing the calculation and storage process related to the logic gate LGi (NO), the process proceeds to step P4, and when performing the calculation and storage process related to the storage element MEM (YES), the process proceeds to steps P5 and P6. I do.

【0091】例えば、論理ゲートLGiに係る計算記憶処
理をする場合(NO)には、ステップP4でテストデー
タDTに基づいて各論理ゲートLG2〜LG5で故障伝幡に
関する故障情報fSa0,fSa1 を計算記憶処理する。この
際に、テストデータDTに基づいて各論理ゲートLG1,
LG2,LG3で計算された故障情報fSa0,fSa1 がCPU
25を介して故障情報メモリ23により記憶される。
For example, in the case of performing the calculation and storage processing relating to the logic gate LGi (NO), the failure information fSa0 and fSa1 relating to the failure propagation is calculated and stored in each of the logic gates LG2 to LG5 based on the test data DT in step P4. To process. At this time, each of the logic gates LG1,
The failure information fSa0, fSa1 calculated by LG2, LG3 is
The stored information is stored in the failure information memory 23 through the memory 25.

【0092】また、記憶素子MEMに係る計算記憶処理を
する場合(YES)には、ステップP5で,例えば、該記
憶素子MEMのデータ入力部DTに起因する故障伝播性の
故障計算をする。ここで、被試験LSI12の記憶素子
MEMのデータ入力部DTから内部ステートMや該記憶素
子MEMの出力部Qに伝播する故障モード情報Sa0,Sa1
の計算記憶をする(第1の計算記憶処理)。
If the calculation and storage processing relating to the storage element MEM is to be performed (YES), in step P5, for example, a failure calculation of a failure propagation property caused by the data input section DT of the storage element MEM is performed. Here, failure mode information Sa0, Sa1 propagated from the data input section DT of the storage element MEM of the LSI under test 12 to the internal state M and the output section Q of the storage element MEM.
(First calculation storage processing).

【0093】なお、図8(a)において、初期状態時に
は、故障情報メモリ23のPMTBLやMQTBLがク
リアされ、記憶素子MEMの故障モード情報Sa0,Sa1の
複写(トレース)時は、被試験LSI12の記憶素子M
EMのデータ入力部DTから内部ステートMに伝播する故
障モード情報Sa0,Sa1が正常回路の信号伝播と同じタ
イミングによりDT→M→Q→外部出力部OUTと伝播す
る。
In FIG. 8A, in the initial state, PMTBL and MQTBL in the failure information memory 23 are cleared, and when the failure mode information Sa0 and Sa1 of the storage element MEM is copied (traced), the LSI under test 12 Storage element M
The failure mode information Sa0 and Sa1 propagating from the data input section DT of the EM to the internal state M propagates from the DT → M → Q → external output OUT at the same timing as the signal propagation of the normal circuit.

【0094】従って、正常回路の記憶素子MEMがデータ
入力部DTの信号値を取り込むタイミングと故障点FLT
が設定された場合のデータ入力部DTから内部ステート
Mに故障モード情報Sa0,Sa1が伝播するタイミングは
同じである。
Therefore, the timing at which the storage element MEM of the normal circuit takes in the signal value of the data input section DT and the fault point FLT
Is set, the timings at which the failure mode information Sa0 and Sa1 propagate from the data input unit DT to the internal state M are the same.

【0095】なお、正常回路の取り込み時にPMTBL
の故障モード情報Sa0,Sa1をクリアした後、論理回路
LG3からその信号入力部INに検索(以下バックトレー
スという)を行い、データ入力部DTから内部ステート
Mに伝播する故障モード情報Sa0,Sa1をPMTBLに
記憶される。
It should be noted that the PMTBL
After clearing the failure mode information Sa0 and Sa1, the logic circuit LG3 performs a search (hereinafter referred to as a back trace) on the signal input section IN, and outputs the failure mode information Sa0 and Sa1 transmitted from the data input section DT to the internal state M. Stored in PMTBL.

【0096】また、図8(c)において、記憶素子MEM
の内部ステートMから出力部Qへ伝播する状態について
は、正常回路の内部ステートMの故障モード情報Sa0,
Sa1が出力部Qへ伝播するタイミングと、内部ステート
Mに伝播した故障モード情報Sa0,Sa1が出力部Qに伝
播するタイミングとは同様になる(ディレイによる影響
は考慮しない)。
In FIG. 8C, the storage element MEM
Are propagated from the internal state M to the output unit Q of the normal circuit, the failure mode information Sa0, Sa0,
The timing at which Sa1 propagates to the output unit Q is the same as the timing at which the failure mode information Sa0, Sa1 propagates to the internal state M propagates to the output unit Q (the effects of the delay are not considered).

【0097】従って、正常回路の内部ステートMの出力
時に、図8(c)に示すように、PMTBLに記憶され
ている故障モード情報Sa0,Sa1をMQTBLに複写す
る。これにより、データ入力部DTからその出力部Qに
故障モード情報Sa0,Sa1が伝播した状態となる。
Therefore, when the internal state M of the normal circuit is output, the failure mode information Sa0 and Sa1 stored in the PMTBL are copied to the MQTBL as shown in FIG. 8C. As a result, the failure mode information Sa0 and Sa1 propagates from the data input unit DT to the output unit Q.

【0098】なお、データ入力部DT以外に故障モード
情報Sa0,Sa1が伝播した場合,例えば、プリセット,
クリアピン等の制御信号入力部CKに故障モード情報S
a0,Sa1が伝播した場合には、内部ステートMに伝播さ
れた故障モード情報Sa0,Sa1をクリアすることからP
MTBL及びMQTBLの内容をクリアする。
When the failure mode information Sa0, Sa1 propagates to other than the data input section DT, for example, a preset,
The failure mode information S is input to the control signal input section CK such as a clear pin.
When a0 and Sa1 are propagated, the failure mode information Sa0 and Sa1 propagated to the internal state M are cleared.
Clear the contents of MTBL and MQTBL.

【0099】また、図6の処理フローチャートに戻っ
て、その後、ステップP6で該記憶素子MEMの制御信号
入力部CKに起因する故障伝播性の故障計算をする。こ
こで、被試験LSI12の記憶素子MEMの制御信号入力
部CKから内部ステートMや該記憶素子MEMの出力部Q
に伝播する故障モード情報Sa0,Sa1の計算記憶をする
(第2の計算記憶処理)。
Returning to the processing flow chart of FIG. 6, after that, in step P6, a fault propagation fault due to the control signal input portion CK of the storage element MEM is calculated. Here, the internal state M and the output Q of the storage element MEM of the storage element MEM of the LSI under test 12 are transmitted from the control signal input section CK of the storage element MEM.
Of the failure mode information Sa0 and Sa1 propagated to the second memory (second calculation storage processing).

【0100】なお、図10(a)において、初期状態時に
は、故障情報メモリ23のPMTBL,PQTBLやM
QTBLがクリアされる。また、被試験LSI12の記
憶素子MEMの制御信号入力部CKから内部ステートMに
伝播する故障モード情報Sa0,Sa1が正常回路と故障回
路との場合で異なる。
In FIG. 10A, in the initial state, PMTBL, PQTBL, M
QTBL is cleared. Further, the failure mode information Sa0 and Sa1 propagating from the control signal input section CK of the storage element MEM of the LSI under test 12 to the internal state M are different between the normal circuit and the failed circuit.

【0101】例えば、図10(b)において、記憶素子M
EMの制御信号入力部CKが変化した場合であって、図11
(a)のテストパターンのクリア周期タイムチャートに
示すように、時刻Aでデータ入力部DT以外の入力ピン
から内部ステートMに故障モード情報Sa0,Sa1(故障
A)が伝播し、その記憶素子MEM毎にトレースを行い、
次の時刻Bでもデータ入力部DT以外の入力ピンから内
部ステートMに故障モード情報Sa0,Sa1が伝播するよ
うな場合には、時刻AでPMTBLに記憶した故障モー
ド情報Sa0,Sa1(故障A)はクリアせずに、時刻Bで
PMTBLに記憶すべき故障モード情報Sa0,Sa1(故
障B)と同時に、それをPMTBLに記憶(重ね書き)
する。
For example, in FIG.
FIG. 11 shows a case where the control signal input unit CK of the EM changes.
As shown in the test pattern clear cycle time chart of (a), at time A, failure mode information Sa0, Sa1 (failure A) propagates from an input pin other than the data input unit DT to the internal state M, and the storage element MEM thereof. Trace every time,
If the failure mode information Sa0, Sa1 propagates from the input pins other than the data input unit DT to the internal state M even at the next time B, the failure mode information Sa0, Sa1 stored in the PMTBL at the time A (fault A) Is not cleared, and failure mode information Sa0, Sa1 (failure B) to be stored in PMTBL at time B is simultaneously stored in PMTBL (overwriting).
I do.

【0102】なお、記憶した故障モード情報Sa0,Sa1
(故障A+故障B)をクリアするのは、図11(a)にお
いて、正常回路の内部ステートMの故障モード情報Sa
0,Sa1が出力部Qに伝播する時刻Cであることから、
時刻Dから時刻Cまで内部ステートMに伝播する故障モ
ード情報Sa0,Sa1が時刻CまでPMTBLに記憶され
る状態となる。
The stored failure mode information Sa0, Sa1
(Fault A + Fault B) is cleared by the failure mode information Sa of the internal state M of the normal circuit in FIG.
Since 0 and Sa1 are the times C when they propagate to the output unit Q,
From the time D to the time C, the failure mode information Sa0 and Sa1 propagating to the internal state M is stored in the PMTBL until the time C.

【0103】また、図11(b)において、他の制御信号
入力部PRから記憶素子MEMの内部ステートMへ伝播す
る状態については、被試験LSI12の記憶素子MEMの
制御信号入力部CKから内部ステートMに伝播する故障
モード情報Sa0,Sa1が正常回路と故障回路との場合で
異なることから、他の制御信号入力部PRに伝播する故
障モード情報Sa0,Sa1をPQTBLに記憶する。この
際に、既に記憶されている故障モード情報Sa0,Sa1は
クリアする。
In FIG. 11B, the state of propagation from another control signal input portion PR to the internal state M of the storage element MEM is described from the control signal input portion CK of the storage element MEM of the LSI under test 12 to the internal state. Since the failure mode information Sa0, Sa1 propagating to M differs between the normal circuit and the failure circuit, the failure mode information Sa0, Sa1 propagating to the other control signal input unit PR is stored in the PQTBL. At this time, the failure mode information Sa0 and Sa1 already stored are cleared.

【0104】さらに、図12(a)において、記憶素子M
EMの内部ステートMから出力部Qへ伝播する状態につい
ては、データ入力部DTの場合と同様に、正常回路の内
部ステートMの出力時に、PMTBLに記憶されている
故障モード情報Sa0,Sa1をMQTBLに複写をする。
なお、記憶内容のクリア動作は、データ入力部DTの場
合と異なり、PMTBLに記憶されている故障モード情
報Sa0,Sa1を同時にクリアする。これにより、制御信
号入力部CKや他の制御信号入力部PRからその出力部
Qに故障モード情報Sa0,Sa1が伝播した状態となる。
Further, in FIG. 12A, the storage element M
As for the state propagating from the internal state M of the EM to the output section Q, the failure mode information Sa0 and Sa1 stored in the PMTBL are output to the MQTBL when the internal state M of the normal circuit is output, as in the case of the data input section DT. Make a copy at
The clearing operation of the stored contents is different from the case of the data input section DT, in which the failure mode information Sa0 and Sa1 stored in the PMTBL are simultaneously cleared. As a result, the failure mode information Sa0 and Sa1 propagates from the control signal input unit CK or another control signal input unit PR to the output unit Q.

【0105】また、図6の処理フローチャートに戻っ
て、そのステップP7で被試験LSI12の記憶素子M
EMの有無の判定処理に基づいて順次,信号出力部OUTか
ら信号入力部INに向かって被試験LSI12の故障情
報fSa0,fSa1 ,mfSa0,mfSa1 qfSa0,qfSa1 の
情報検索処理を実行する。
Returning to the processing flowchart of FIG. 6, at step P7, the storage element M
Based on the determination processing of the presence / absence of EM, information search processing of failure information fSa0, fSa1, mfSa0, mfSa1, qfSa0, qfSa1 of the LSI under test 12 is sequentially executed from the signal output unit OUT to the signal input unit IN.

【0106】この際に、情報検索領域に記憶素子MEMが
含まれない場合(NO)には、ステップP8に移行し、
そこに記憶素子MEMが含まれる場合(YES)には、ステ
ップP9に移行する。
At this time, if the storage element MEM is not included in the information search area (NO), the processing shifts to Step P8,
If the storage element MEM is included therein (YES), the flow shifts to Step P9.

【0107】例えば、情報検索領域に記憶素子MEMが含
まれない場合(NO)には、ステップP8で被試験LS
I12の信号出力部OUTから前記信号入力部INに向か
って故障情報fSa0,fSa1 の検出処理をする(第1の情
報検索処理)。この際に、定義処理に基づく故障情報f
Sa0,fSa1 がデータ検索エディタ24により検出され
る。
For example, if the storage element MEM is not included in the information retrieval area (NO), the LS
Detection processing of the failure information fSa0, fSa1 is performed from the signal output OUT of I12 to the signal input IN (first information search processing). At this time, the failure information f based on the definition process
Sa0 and fSa1 are detected by the data search editor 24.

【0108】ここで、予め設定された故障検出判定時刻
において回路内部に信号変化が存在するか否かがチェッ
クされ、故障検出判定点となる信号出力部OUTから各ネ
ット毎に故障情報fSa0,fSa1 の追跡が開始される。例
えば、図13に示した被試験LSIの構成例及びその故障
情報検索の説明図おいて、観測点を外部信号出力部Bに
設定した場合には、該被試験LSI12の外部信号出力
部Bから論理回路LG4→LG5→信号入力部INに向かっ
て故障情報fSa0,fSa1 を検出する。
At this time, it is checked whether or not a signal change exists in the circuit at a preset failure detection determination time, and failure information fSa0, fSa1 is output for each net from a signal output unit OUT serving as a failure detection determination point. Tracking is started. For example, when the observation point is set to the external signal output unit B in the configuration example of the LSI under test shown in FIG. The fault information fSa0, fSa1 is detected from the logic circuit LG4 → LG5 → signal input unit IN.

【0109】その後、ステップP10に移行して故障情報
fSa0,fSa1 のいずれかが「1」及びfSa0,fSa1 のい
ずれも「1」であるか又はfSa0,fSa1 のいずれもが
「0」及び信号入力部INに到達するか否かの判断処理
をする。この際に、故障情報fSa0,fSa1 のいずれかが
「1」及びfSa0,fSa1 のいずれも「1」である場合
(YES)には、ステップP12に移行する。
Thereafter, the flow shifts to step P10, where any of the failure information fSa0, fSa1 is "1" and both fSa0, fSa1 are "1", or both fSa0, fSa1 are "0" and the signal input A determination process is performed to determine whether or not to reach the unit IN. At this time, if any one of the failure information fSa0, fSa1 is "1" and both fSa0, fSa1 are "1" (YES), the routine goes to Step P12.

【0110】また、故障情報fSa0,fSa1 のいずれもが
「0」及び信号入力部INに到達する場合(NO)に
は、ステップP13に移行して、故障情報fSa0,fSa1 の
検出処理を中断して「テストデータDTでは故障検出で
きない」と判定する。
If both of the failure information fSa0 and fSa1 reach "0" and reach the signal input unit IN (NO), the flow shifts to step P13 to interrupt the detection processing of the failure information fSa0 and fSa1. It is determined that “failure cannot be detected with test data DT”.

【0111】なお、ステップP12では、「テストデータ
DTによって、故障点FLTの影響が観測できる」と判定
する。すなわち、図5に示したテストデータDT=
「0,1,1,1」により故障検出判定点から入力ネッ
トA,B,C,Dの「0」縮退故障等が観測することが
可能となる。
In Step P12, it is determined that "the influence of the fault point FLT can be observed by the test data DT". That is, the test data DT shown in FIG.
“0, 1, 1, 1” makes it possible to observe “0” stuck-at faults or the like of the input nets A, B, C, D from the fault detection determination point.

【0112】また、ステップP7で記憶素子MEMが含ま
れる場合(YES)には、ステップP9で被試験LSI1
2の記憶素子MEMに係る故障モード情報Sa0,Sa1を検
出する(第2の情報検索処理)。ここで、図9(a)や
図13において、記憶素子MEMのデータ入力部DTに起因
する故障について、被試験LSI12の信号出力部OUT
から故障情報fSa0,fSa1 ,mfSa0,mfSa1 を追跡す
る。
If the memory element MEM is included in step P7 (YES), the LSI under test 1
The failure mode information Sa0 and Sa1 relating to the second storage element MEM are detected (second information retrieval processing). Here, in FIG. 9A and FIG. 13, regarding the failure caused by the data input unit DT of the storage element MEM, the signal output unit OUT of the LSI under test 12
, The failure information fSa0, fSa1, mfSa0, mfSa1 is tracked.

【0113】なお、図9(b)や図13において、被試験
LSI12に2つの記憶素子MEM1,MEM2が含まれた
場合であって、被試験LSI12の記憶素子MEM1のト
レースの際に、他の記憶素子MEM2を通過する場合に、
他の記憶素子MEM2以降,信号入力部INまでのバック
トレースを行わず、他の記憶素子MEM2の各PMTB
L,MQTBL,PQTBLに記憶してある故障E,
B,Cを記憶素子MEM1のPMTBL,MQTBL,P
QTBLに記憶してある故障Aに重ね書きをする。
In FIG. 9B and FIG. 13, when the LSI under test 12 includes two storage elements MEM1 and MEM2, when the storage element MEM1 of the LSI under test 12 is traced, When passing through the storage element MEM2,
The backtrace from the other storage element MEM2 to the signal input unit IN is not performed, and each of the PMTBs of the other storage element MEM2 is not traced.
Faults E stored in L, MQTBL, PQTBL,
B and C are stored in PMTBL, MQTBL, and P of the storage element MEM1.
Overwrite failure A stored in QTBL.

【0114】さらに、ステップP11で記憶素子MEMを通
過する場合であって、MQTBLに故障モード情報Sa
0,Sa1が記憶されているか否かを確認する。この際
に、MQTBLに故障モード情報Sa0,Sa1が記憶され
ている場合(YES)には、該記憶素子MEM以降,信号入
力部INまでのバックトレースを行わず、そこに記憶さ
れている故障モード情報Sa0,Sa1をそのまま検出故障
とする。
Further, in the case where the data passes through the storage element MEM in step P11, the failure mode information Sa is stored in the MQTBL.
It is confirmed whether 0 and Sa1 are stored. At this time, if the failure mode information Sa0 and Sa1 are stored in the MQTBL (YES), the back trace from the storage element MEM to the signal input unit IN is not performed, and the failure mode stored there is not performed. The information Sa0 and Sa1 are directly set as detection failures.

【0115】さらに、図12(b)において、制御信号入
力部CKやリセット端子PRに起因する故障について
は、データ入力部DTの場合と同様に、該記憶素子MEM
以降,信号入力部INまでのバックトレースを行わず、
MQTBL,PQTBLに記憶されている故障モード情
報Sa0,Sa1をそのまま検出故障とする。
Further, in FIG. 12B, as for the failure caused by the control signal input portion CK and the reset terminal PR, the storage element MEM is used as in the case of the data input portion DT.
Thereafter, the back trace to the signal input section IN is not performed,
The failure mode information Sa0 and Sa1 stored in the MQTBL and PQTBL are directly detected failures.

【0116】従って、MQTBLに故障モード情報Sa
0,Sa1が記憶されている場合には、ステップP12で
「テストデータDTによって、故障点FLTの影響が観測
できる」と判定をし、該故障モード情報Sa0,Sa1がM
QTBLに記憶されていない場合(NO)には、ステッ
プP13に移行して故障情報fSa0,fSa1 の検出処理を中
断して「テストデータDTでは故障検出できない」と判
定する。
Therefore, the failure mode information Sa is stored in the MQTBL.
If 0 and Sa1 are stored, it is determined in step P12 that "the influence of the failure point FLT can be observed by the test data DT", and the failure mode information Sa0 and Sa1 is set to M.
If it is not stored in the QTBL (NO), the process shifts to step P13 to interrupt the process of detecting the failure information fSa0, fSa1, and determines that "failure cannot be detected with the test data DT".

【0117】その後、ステップP14で被試験LSI12
の全回路について故障計算が終了したか否かの判断をす
る。この際に、全回路について故障計算が終了していな
い場合(NO)には、ステップP7に戻って、ステップ
P8〜P13をそれぞれ実行し、それが全て終了した場合
(YES)には、回路故障擬似試験を終了する。
Thereafter, in step P14, the LSI under test 12
It is determined whether or not the failure calculation has been completed for all the circuits. At this time, if the failure calculation has not been completed for all the circuits (NO), the process returns to step P7 to execute steps P8 to P13, respectively, and if all of them have been completed (YES), the circuit failure has occurred. The dummy test ends.

【0118】これにより、論理ゲートLG1〜LG5に記憶
素子MEMが含まれた被試験LSI12の故障シミュレー
ションを行うことができ、故障検出の対象とする全故障
点に係る故障検出率や未検出故障等の情報が得られる。
なお、この故障シミュレーション結果は、実際に被試験
LSI12が製造された際に、内部に故障点が存在して
いた場合に、当該テストデータDTを供給することで故
障点の存在を確認することが可能となる。
As a result, it is possible to perform a failure simulation of the LSI under test 12 in which the memory elements MEM are included in the logic gates LG1 to LG5. Information is obtained.
It should be noted that this failure simulation result indicates that the existence of a failure point can be confirmed by supplying the test data DT when a failure point exists inside the LSI under test 12 when it is actually manufactured. It becomes possible.

【0119】このようにして、本発明の実施例に係る回
路故障擬似試験方法によれば、図6の処理フローチャー
トに示すように、ステップP4でテストデータDTに基
づいて各論理ゲートLG1, LG2,LGi…LGnでの故障伝
幡に関する故障情報fSa0,fSa1 やステップP5,P6
記憶素子MEMに保持される故障モード情報Sa0,Sa1の
計算記憶処理をしている例えば、ステップP5で被試験
LSI12の記憶素子MEMのデータ入力部DTから内部
ステートMや該記憶素子MEMの出力部Qに伝播する故障
モード情報Sa0,Sa1が計算記憶(第1の計算記憶処
理)されたり、ステップP6で被試験LSI12の記憶
素子MEMの制御信号入力部CKから内部ステートMや該
記憶素子MEMの出力部Qに伝播する故障モード情報Sa
0,Sa1が計算記憶(第2の計算記憶処理)される。
As described above, according to the circuit failure pseudo test method according to the embodiment of the present invention, as shown in the processing flowchart of FIG. 6, in step P4, based on the test data DT, each of the logic gates LG1, LG2, LGi: Failure information fSa0, fSa1 relating to failure propagation at LGn and steps P5, P6
In the process of calculating and storing the failure mode information Sa0 and Sa1 held in the storage element MEM, for example, in step P5, the data input section DT of the storage element MEM of the LSI under test 12 outputs the internal state M and the output section of the storage element MEM. The failure mode information Sa0 and Sa1 propagating to the Q are calculated and stored (first calculation and storage processing), or the internal state M and the storage state of the storage element MEM of the storage element MEM of the LSI under test 12 are transmitted from the control signal input unit CK of the storage element MEM of the LSI under test 12 in step P6. Failure mode information Sa propagated to the output unit Q
0 and Sa1 are calculated and stored (second calculation storage processing).

【0120】このため、被試験LSI12の記憶素子M
EMのデータ入力部DTや制御信号入力部CKから外部信
号入力部INに至る論理ゲートLGnの故障,例えば、そ
の縮退故障が記憶素子MEMのデータ入力部DTに常に影
響している場合,それが断続的に影響している場合や、
その制御信号入力部CKに影響している場合を含めて、
該記憶素子MEMに伝播する故障の伝播性をより実際動作
状態に近い形で模擬把握することが可能となる。
Therefore, the memory element M of the LSI under test 12
If a failure of the logic gate LGn from the data input section DT or the control signal input section CK of the EM to the external signal input section IN, for example, its stuck-at fault always affects the data input section DT of the storage element MEM, this is If it ’s intermittent,
Including the case of affecting the control signal input unit CK,
It is possible to simulate and grasp the propagability of a fault that propagates to the storage element MEM in a manner closer to the actual operation state.

【0121】また、故障検出判定時刻になると被試験L
SI12の信号出力部OUTから信号入力部INに向かっ
て故障情報fSa0,fSa1 や故障モード情報Sa0,Sa1が
検出処理される。
At the failure detection determination time, the L
The failure information fSa0, fSa1 and the failure mode information Sa0, Sa1 are detected and processed from the signal output OUT of the SI 12 to the signal input IN.

【0122】例えば、図7の処理フローチャートのステ
ップP7で被試験LSI12の記憶素子MEMの有無が判
定処理されると、当該被試験LSI12に記憶素子MEM
が含まれない場合には、そのステップP8で該被試験L
SI12の信号出力部OUTから信号入力部INに向かっ
て故障情報fSa0,fSa1 が検出(第1の情報検索処理)
される。
For example, when the presence or absence of the storage element MEM of the LSI under test 12 is determined in step P7 of the processing flowchart of FIG.
Is not included, the test target L
Failure information fSa0, fSa1 is detected from signal output OUT of SI12 toward signal input IN (first information search processing).
Is done.

【0123】また、被試験LSI12に記憶素子MEMが
含まれる場合には、ステップP9で該被試験LSI12
の記憶素子MEMに保持される故障モード情報Sa0,Sa1
が検出(第2の情報検索処理)される。
If the LSI under test 12 includes the storage element MEM, the LSI 12 under test
Failure mode information Sa0, Sa1 held in the storage element MEM
Is detected (second information search process).

【0124】このため、記憶素子MEMのデータ入力部D
Tや制御信号入力部CKから外部信号入力部INに至る
論理ゲートLGnの故障が記憶素子MEMに保持されること
から、記憶素子MEMのデータ入力部DTや制御信号入力
部CKから記憶素子MEMの出力部Qに伝播する故障モー
ド情報Sa0,Sa1を検索することにより、従来例のよう
に被試験LSI12に記憶素子MEMが含まれた場合であ
って、該被試験LSI12の記憶素子MEMのデータ入力
部DTや制御信号入力部CKから被試験LSI12の信
号入力部INに至るまでの検索処理を省略することが可
能となる。
For this reason, the data input section D of the storage element MEM
Since the failure of the logic gate LGn from T or the control signal input unit CK to the external signal input unit IN is held in the storage element MEM, the data input unit DT of the storage element MEM or the control signal input unit CK to the storage element MEM By retrieving the failure mode information Sa0 and Sa1 propagating to the output section Q, the data input of the storage element MEM of the LSI under test 12 is performed in a case where the storage element MEM is included in the LSI under test 12 as in the conventional example. It is possible to omit a search process from the section DT or the control signal input section CK to the signal input section IN of the LSI under test 12.

【0125】例えば、図13において、観測点が外部信号
出力部Bに設定された場合には、当該処理フローチャー
トのステップP8,P10にしたがって被試験LSI12
の外部信号出力部Bから論理回路LG4→LG5→信号入力
部INに向かって故障情報fSa0,fSa1 を検出する。
For example, in FIG. 13, when the observation point is set to the external signal output unit B, the LSI under test 12 is set in accordance with steps P8 and P10 of the processing flowchart.
The fault information fSa0, fSa1 is detected from the external signal output section B to the logic circuit LG4 → LG5 → signal input section IN.

【0126】また、観測点が外部信号出力部Aに設定さ
れた場合であって、論理回路LG1に係る故障検出につい
ては、当該処理フローチャートのステップP8,P10に
従い、さらに、論理回路LG2〜LG5に係る故障検出につ
いては、ステップP9,P11にしたがって記憶素子MEM
に係るMQTBL,PQTBLの情報検索処理をする。
In the case where the observation point is set to the external signal output unit A and the failure detection relating to the logic circuit LG1 is performed, the logic circuits LG2 to LG5 are further subjected to steps P8 and P10 in the processing flowchart. For such failure detection, the storage element MEM is performed according to steps P9 and P11.
The information retrieval process of MQTBL and PQTBL according to.

【0127】なお、論理回路LG2,LG4に係る故障検出
については、ステップP8,P10にしたがって故障情報
fSa0,fSa1 の情報検索処理をし、論理回路LG3に係る
故障検出については、ステップP9,P11にしたがって
記憶素子MEM2が保持するべき、MQTBLやPQTB
Lに格納される故障モード情報Sa0, Sa1の情報検索処
理をする。また、論理回路LG5については、ステップP
8,P10にしたがって故障情報fSa0,fSa1 と、ステッ
プP9,P11にしたがって記憶素子MEM2が保持するべ
き、MQTBLやPQTBLに格納される故障モード情
報Sa0, Sa1との情報検索処理をする。
Note that, for the failure detection related to the logic circuits LG2 and LG4, information retrieval processing of the failure information fSa0 and fSa1 is performed in accordance with steps P8 and P10, and for the failure detection related to the logic circuit LG3, the processing proceeds to steps P9 and P11. Therefore, MQTBL or PQTB to be held by the storage element MEM2
An information search process of the failure mode information Sa0 and Sa1 stored in L is performed. Also, for the logic circuit LG5, step P
8, P10, and failure mode information Sa0, Sa1 stored in MQTBL or PQTBL to be held by the storage element MEM2 according to steps P9, P11.

【0128】これにより、任意の故障検出判定時刻に伝
播された故障モード情報Sa0,Sa1をが,例えば、PM
TBLからMQTBLに複写されることから、実際動作
状態を模擬した各ゲート間の故障伝播性の設定すること
ができ、従来例のような最終の故障検出判定時刻から任
意の故障検出判定時刻に至る間の故障情報fSa0,fSa1
と最終の故障検出判定時刻に係る最新の故障情報fSa0,
fSa1 との論理和演算処理を省略することができる。
As a result, the failure mode information Sa0 and Sa1 propagated at an arbitrary failure detection determination time is stored in, for example, PM
Since the data is copied from the TBL to the MQTBL, it is possible to set the fault propagation between the gates simulating the actual operation state, and from the final failure detection determination time as in the conventional example to an arbitrary failure detection determination time. Fault information fSa0, fSa1 between
And the latest failure information fSa0,
The OR operation with fSa1 can be omitted.

【0129】また、故障検出判定時刻に係る記憶素子M
EMの最新の故障情報fSa0,fSa1 がテストパターン1周
期分のみならず、その2周期にわたる時刻D,A,B,
Cに係る故障モード情報Sa0,Sa1がPMTBL,PQ
TBL及びMQTBLに記憶されることから、該記憶素
子MEMの内部ステートに1周期以上留まる故障情報fSa
0,fSa1 の情報検索をすることが可能となる。
The storage element M related to the failure detection determination time
The latest failure information fSa0, fSa1 of EM is not only for one cycle of the test pattern, but also for times D, A, B,
The failure mode information Sa0 and Sa1 relating to C are PMTBL and PQ.
The failure information fSa that is stored in the internal state of the storage element MEM for at least one cycle because it is stored in the TBL and the MQTBL.
It is possible to search for information of 0, fSa1.

【0130】このため、当該テストデータDTの一周期
前の最終の故障検出判定時刻に係る最新の故障情報fSa
0,fSa1 と、最終の故障検出判定時刻から当該テストデ
ータDTの現在周期に係る任意の故障検出判定時刻に至
るまでの従来例のような故障情報MSa0,MSa1 とを一致
させる計算処理が不要となる。
For this reason, the latest failure information fSa relating to the last failure detection determination time one cycle before the test data DT.
This eliminates the need for a calculation process that matches 0, fSa1 with the failure information MSa0, MSa1 as in the conventional example from the last failure detection determination time to any failure detection determination time according to the current cycle of the test data DT. Become.

【0131】これにより、従来例に比べて記憶素子MEM
を含む被試験LSI12の高精度な故障シミュレーショ
ンを行うことが可能となる。
Thus, as compared with the conventional example, the storage element MEM
, It is possible to perform a highly accurate failure simulation of the LSI under test 12.

【0132】[0132]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の回路故障
擬似試験装置によれば、故障情報に基づいて被試験半導
体装置の記憶素子に保持される故障モード情報を記憶す
る第1〜第3の記憶手段から成る記憶手段が設けられ
る。
As described above, according to the circuit failure pseudo test apparatus of the present invention, the first to third memories for storing the failure mode information held in the storage element of the semiconductor device under test based on the failure information. Is provided.

【0133】このため、複数の論理ゲートが組み込まれ
た被試験半導体装置に故障点を設定して、回路故障シミ
ュレーションをする場合、予め定義された被試験半導体
装置の故障モード情報,制御データ及びテストデータに
基づいて、各論理ゲートでの故障伝幡に関する故障情報
や記憶素子に保持される故障モード情報の計算記憶処理
をし、それを第1〜第3の記憶手段に書込み/読出し複
写することにより、該記憶素子を含む複数の論理ゲート
の故障検出精度につき、従来例に比べてその向上を図る
ことが可能となる。
For this reason, when a failure point is set in a semiconductor device under test in which a plurality of logic gates are incorporated and a circuit failure simulation is performed, failure mode information, control data and test data of the semiconductor device under test defined in advance are set. Based on the data, calculate and store failure information relating to failure propagation in each logic gate and failure mode information held in a storage element, and write / read / copy them to first to third storage means. Accordingly, it is possible to improve the fault detection accuracy of a plurality of logic gates including the storage element as compared with the conventional example.

【0134】また、本発明の回路故障擬似試験方法によ
れば、被試験半導体装置の記憶素子のデータ入力部から
内部ステートや出力部に伝播する故障モード情報が計算
記憶(第1の計算記憶処理)されたり、その制御信号入
力部から内部ステートや該記憶素子MEMの出力部に伝播
する故障モード情報が計算記憶(第2の計算記憶処理)
される。
Further, according to the circuit fault pseudo test method of the present invention, the failure mode information propagating from the data input portion to the internal state or the output portion of the storage element of the semiconductor device under test is calculated and stored (the first calculation and storage process). ) Or the failure mode information transmitted from the control signal input section to the internal state or the output section of the storage element MEM is calculated and stored (second calculation storage processing).
Is done.

【0135】このため、第1,第2の計算記憶処理によ
り記憶素子のデータ入力部や制御信号入力部から外部信
号入力部に至る論理ゲートの故障が記憶素子のデータ入
力部に常に影響している場合,それが断続的に影響して
いる場合や、その制御信号入力部に影響している場合を
含めて、該記憶素子に伝播する故障の伝播性をより実際
動作状態に近い形で、模擬把握することが可能となる。
For this reason, the failure of the logic gate from the data input portion or the control signal input portion of the storage element to the external signal input portion always affects the data input portion of the storage element by the first and second calculation storage processes. In the case where the fault is intermittently affected or the control signal input section is affected, the fault propagation property to the storage element is increased in a manner closer to the actual operating state. It becomes possible to simulate and grasp.

【0136】また、被試験半導体装置の信号出力部から
信号入力部に向かって故障情報が検出処理をする際に、
当該被試験半導体装置に記憶素子が含まれない場合に
は、その信号出力部から信号入力部に向かって故障情報
が検出(第1の情報検索処理)され、また、そこに記憶
素子が含まれる場合には、該被試験半導体装置の記憶素
子に保持される故障情報が検出(第2の情報検索処処
理)される。
When fault information is detected from the signal output unit to the signal input unit of the semiconductor device under test,
If the storage device is not included in the semiconductor device under test, failure information is detected from the signal output section toward the signal input section (first information search processing), and the storage element is included therein. In this case, the failure information held in the storage element of the semiconductor device under test is detected (second information search processing).

【0137】このため、記憶素子のデータ入力部や制御
信号入力部から外部信号入力部に至る論理ゲートの故障
が記憶素子に保持されることから、そのデータ入力部や
制御信号入力部から記憶素子の出力部に伝播する故障情
報を検索することにより、従来例のように被試験半導体
装置の記憶素子のデータ入力部や制御信号入力部からそ
の信号入力部に至るまでの検索処理を省略することが可
能となる。
For this reason, since the failure of the logic gate from the data input portion or the control signal input portion of the storage element to the external signal input portion is held in the storage element, the storage element is connected to the data input portion or the control signal input portion. By searching for fault information that propagates to the output unit of the semiconductor device under test, search processing from the data input unit or control signal input unit to the signal input unit of the storage element of the semiconductor device under test as in the conventional example is omitted. Becomes possible.

【0138】これにより、記憶素子の実際動作状態を十
分に考慮に入れた被試験半導体装置の高精度な故障シミ
ュレーションを小型計算機を用いて行うことが可能とな
る。このことで、記憶素子を含む数十万ゲートの半導体
集積回路装置を製造要求があった場合でも、故障検出評
価の簡易化が図られ、その論理ゲートの設計期間の短期
化に寄与するところが大きい。
As a result, it is possible to perform a highly accurate failure simulation of the semiconductor device under test with sufficient consideration of the actual operation state of the storage element using a small computer. As a result, even when there is a request for manufacturing a semiconductor integrated circuit device having several hundred thousand gates including a memory element, the failure detection evaluation can be simplified, which greatly contributes to shortening the design period of the logic gate. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る回路故障擬似試験装置の原理図で
ある。
FIG. 1 is a principle diagram of a circuit failure pseudo test apparatus according to the present invention.

【図2】本発明に係る回路故障擬似試験方法の原理図で
ある。
FIG. 2 is a principle diagram of a circuit failure pseudo test method according to the present invention.

【図3】本発明の実施例に係る故障シミュレーションシ
ステムの構成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram of a failure simulation system according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施例に係る記憶素子に保持される故
障モード情報の説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram of failure mode information held in a storage element according to the embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施例に係る故障情報メモリの記憶内
容の説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram of storage contents of a failure information memory according to the embodiment of the present invention.

【図6】本発明の実施例に係る回路故障擬似試験の処理
フローチャート(その1)である。
FIG. 6 is a flowchart (part 1) of a circuit failure pseudo test according to the embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施例に係る回路故障擬似試験の処理
フローチャート(その2)である。
FIG. 7 is a flowchart (part 2) of a circuit failure pseudo test according to the embodiment of the present invention.

【図8】本発明の実施例に係るデータ入力部に起因する
故障伝播性の補足説明図(その1)である。
FIG. 8 is a supplementary explanatory diagram (part 1) of the fault propagation caused by the data input unit according to the embodiment of the present invention.

【図9】本発明の実施例に係るデータ入力部に起因する
故障伝播性の補足説明図(その2)である。
FIG. 9 is a supplementary explanatory diagram (part 2) of fault propagation caused by the data input unit according to the embodiment of the present invention.

【図10】本発明の実施例に係る制御信号入力部に起因す
る故障伝播性の補足説明図(その1)である。
FIG. 10 is a supplementary explanatory diagram (part 1) of the fault propagation caused by the control signal input unit according to the embodiment of the present invention.

【図11】本発明の実施例に係る制御信号入力部に起因す
る故障伝播性の補足説明図(その2)である。
FIG. 11 is a supplementary explanatory diagram (part 2) of the fault propagation caused by the control signal input unit according to the embodiment of the present invention.

【図12】本発明の実施例に係る制御信号入力部に起因す
る故障伝播性の補足説明図(その3)である。
FIG. 12 is a supplementary explanatory diagram (part 3) of the fault propagation caused by the control signal input unit according to the embodiment of the present invention.

【図13】本発明の実施例に係る被試験LSIの構成例及
びその故障情報検索の説明図である。
FIG. 13 is an explanatory diagram of a configuration example of an LSI under test according to an embodiment of the present invention and a search for failure information thereof.

【図14】従来例に係る回路故障擬似試験装置の説明図で
ある。
FIG. 14 is an explanatory diagram of a circuit failure pseudo test apparatus according to a conventional example.

【図15】従来例に係る回路故障擬似試験の処理フローチ
ャート(その1)である。
FIG. 15 is a processing flowchart (part 1) of a circuit failure pseudo test according to a conventional example.

【図16】従来例に係る回路故障擬似試験の処理フローチ
ャート(その2)である。
FIG. 16 is a flowchart (part 2) of a circuit failure pseudo test according to the conventional example.

【図17】従来例に係る回路故障擬似試験方法の補足説明
図である。
FIG. 17 is a supplementary explanatory diagram of the circuit failure pseudo test method according to the conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11…記憶手段、 11A…第1の記憶手段、 11B…第2の記憶手段、 11C…第3の記憶手段、 LG1, LG2, LGi, LGn…論理ゲート、 MEM…記憶素子、 DT…テストデータ、 D…制御データ、 Sa0, Sa1…故障モード情報、 fSa0,fSa1 ,mfSa0, mfSa1,qfSa0, qfSa1…故障
情報、 FLT…故障点、 IN…信号入力部、 OUT…信号出力部。
11: storage means, 11A: first storage means, 11B: second storage means, 11C: third storage means, LG1, LG2, LGi, LGn: logic gate, MEM: storage element, DT: test data, D: control data, Sa0, Sa1: failure mode information, fSa0, fSa1, mfSa0, mfSa1, qfSa0, qfSa1: failure information, FLT: failure point, IN: signal input unit, OUT: signal output unit.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 津田 英隆 神奈川県川崎市高津区坂戸3丁目2番1 号 富士通エルエスアイテクノロジ株式 会社内 (72)発明者 多田 幸子 神奈川県川崎市高津区坂戸3丁目2番1 号 富士通エルエスアイテクノロジ株式 会社内 (56)参考文献 特開 平3−286260(JP,A) 特開 平3−179565(JP,A) 特開 平5−151300(JP,A) 特開 平2−204842(JP,A) 特開 平2−114338(JP,A) 特開 平1−140245(JP,A) 特開 昭63−75576(JP,A) 特開 昭63−739(JP,A) 特開 昭60−43755(JP,A) 特開 昭58−92045(JP,A) 康、外3名、”双方向素子を含む順序 回路の高速故障シミュレータ”、電子情 報通信学会技術研究報告(SDM91− 50)、電子情報通信学会、平成3年、V ol.91、No.100、p.19〜26 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G06F 17/50 670 JICSTファイル(JOIS)──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Hidetaka Tsuda 3-2-1 Sakado, Takatsu-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Fujitsu LSI Technology Co., Ltd. (72) Inventor Sachiko Tada 3-chome Sakado, Takatsu-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa No. 2 Fujitsu LSI Technology Co., Ltd. (56) References JP-A-3-286260 (JP, A) JP-A-3-179565 (JP, A) JP-A-5-151300 (JP, A) JP-A-2-204842 (JP, A) JP-A-2-114338 (JP, A) JP-A-1-140245 (JP, A) JP-A-63-75576 (JP, A) JP-A-63-739 (JP-A) JP, A) JP-A-60-43755 (JP, A) JP-A-58-92045 (JP, A) Yasushi and three others, "High-speed failure simulator of sequential circuit including bidirectional elements", Electronic Information Communication Study Technical Report (SDM91- 50), Institute of Electronics, Information and Communication Engineers, 1991, V ol. 91, No. 100, p. 19-26 (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G06F 17/50 670 JICST file (JOIS)

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 被試験半導体装置の故障シュミレーショ
ンを行う回路故障擬似試験装置において、 前記被試験半導体装置内にある記憶素子の入力部から該
記憶素子に設定された内部ステートに故障信号が伝搬す
るかしないかを示す第1の故障情報と、前記記憶素子に
設定された内部ステートから該記憶素子の出力部に故障
信号が伝搬するかしないかを示す第2の故障情報と、前
記記憶素子の入力部から該記憶素子の出力部に故障信号
が伝搬するかしないかを第3の故障情報と、前記第1の
故障情報、前記第2の故障情報又は前記第3の故障情報
の少なくとも何れか一つの故障情報に基づいて求められ
る、前記記憶素子内に故障があるかないかを示す故障モ
ード情報とを記憶する記憶手段を備え、 前記故障モード情報に基づいて故障の伝搬を観測するこ
とを特徴とする回路故障擬似試験装置。
1. A circuit fault simulation test apparatus for performing a fault simulation of a semiconductor device under test, wherein a fault signal propagates from an input section of a storage element in the semiconductor device under test to an internal state set in the storage element. First failure information indicating whether or not a failure signal propagates from an internal state set in the storage element to an output unit of the storage element; and The third failure information and whether at least one of the first failure information, the second failure information, or the third failure information indicates whether or not the failure signal propagates from the input unit to the output unit of the storage element. Storage means for storing failure mode information indicating whether or not there is a failure in the storage element, which is obtained based on one piece of failure information; and observing propagation of the failure based on the failure mode information. Circuit failure pseudo test apparatus characterized by.
【請求項2】 前記故障の伝搬の観測は、 前記被試験半導体装置の出力部から入力部に向かって前
記故障モード情報を検出することにより行われることを
特徴とする請求項1に記載の回路故障擬似試験装置。
2. The circuit according to claim 1, wherein the observation of the propagation of the fault is performed by detecting the fault mode information from an output unit to an input unit of the semiconductor device under test. Failure simulation test equipment.
【請求項3】 記憶素子ではない素子の入力部から該素
子の出力部に故障信号が伝搬するかしないかを示す第4
の故障情報を記憶する、前記記憶手段とは別の記憶手段
をさらに備えていることを特徴とする請求項1又は2に
記載の回路故障擬似試験装置。
3. A fourth signal indicating whether a fault signal propagates from an input of an element other than a storage element to an output of the element.
3. The circuit failure pseudo test apparatus according to claim 1, further comprising a storage unit that is different from the storage unit and stores the failure information.
【請求項4】 前記故障モード情報は、前記記憶素子の
入力部から前記被試験半導体装置の入力部に向かって、
前記第2の故障情報、前記第3の故障情報又は前記第4
の故障情報の少なくとも何れか一つの故障情報を検出す
ることにより求められることを特徴とする請求項3に記
載の回路故障擬似試験装置。
4. The method according to claim 1, wherein the failure mode information is transmitted from an input unit of the storage element to an input unit of the semiconductor device under test.
The second failure information, the third failure information, or the fourth failure information;
4. The circuit failure pseudo test apparatus according to claim 3, wherein the failure information is obtained by detecting at least one of the pieces of failure information.
【請求項5】 前記故障信号は、 素子の入力信号が0に固定される第1の縮退故障又は素
子の入力信号が1に固定される第2の縮退故障に基づく
信号であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1
項に記載の回路故障擬似試験装置。
5. The fault signal is a signal based on a first stuck-at fault where an input signal of an element is fixed to 0 or a second stuck-at fault where an input signal of an element is fixed at 1. Any one of claims 1 to 4
The circuit failure pseudo test device according to the paragraph.
【請求項6】 被試験半導体装置内にある記憶素子の入
力部から該記憶素子に設定された内部ステートに故障信
号が伝搬するかしないかを示す第1の故障情報を記憶手
段に記憶し、 前記記憶素子に設定された内部ステートから該記憶素子
の出力部に故障信号が伝搬すかしないかを示す第2の故
障情報を前記記憶手段に記憶し、 前記記憶素子の入力部から該記憶素子の出力部に故障信
号が伝搬するかしないかを示す第3の故障情報を前記記
憶手段に記憶し、 前記第1の故障情報、前記第2の故障情報又は前記第3
の故障情報の少なくとも何れか一つの故障情報に基づい
て前記記憶素子内に故障があるかないかを検出し、故障
モード情報として前記記憶手段に記憶し、 前記故障モード情報に基づいて前記被試験半導体装置の
出力部から入力部に向かって故障の伝搬を観測すること
を特徴とする回路故障擬似試験方法。
6. A first failure information indicating whether a failure signal propagates from an input portion of a storage element in a semiconductor device under test to an internal state set in the storage element is stored in storage means, A second failure information indicating whether or not a failure signal propagates from an internal state set to the storage element to an output unit of the storage element is stored in the storage unit, and an input unit of the storage element stores the second failure information. A third failure information indicating whether or not a failure signal propagates to an output unit is stored in the storage unit, and the first failure information, the second failure information, or the third failure information is stored in the storage unit.
Detecting whether there is a failure in the storage element based on at least one of the pieces of failure information, storing the failure in the storage unit as failure mode information, and storing the semiconductor device under test based on the failure mode information. A circuit fault simulated test method characterized by observing propagation of a fault from an output unit to an input unit of a device.
【請求項7】 記憶素子ではない素子の入力部から該素
子の出力部に故障信号が伝搬するかしないかを示す第4
の故障情報を前記記憶手段とは別の記憶手段に記憶し、 前記故障モード情報を、前記記憶素子の入力部から前記
被試験半導体装置の入力部に向かって前記第2の故障情
報、前記第3の故障情報又は第4の故障情報の少なくと
も何れか一つの故障情報を検出することにより求めるこ
とを特徴とする請求項6に記載の回路故障擬似試験方
法。
7. A fourth signal indicating whether a fault signal propagates from an input of an element other than a storage element to an output of the element.
The failure mode information is stored in a storage unit separate from the storage unit, and the failure mode information is stored in the second failure information from the input unit of the storage element toward the input unit of the semiconductor device under test. 7. The circuit failure pseudo test method according to claim 6, wherein the circuit failure is determined by detecting at least one of the failure information of the third and fourth failure information.
【請求項8】 被試験半導体装置内にある記憶素子の入
力部から該記憶素子に設定された内部ステートに故障信
号が伝搬するかしないかを示す第1の故障情報を記憶手
段に記憶し、 前記記憶素子に設定された内部ステートから該記憶素子
の出力部に故障信号が伝搬するかしないかを示す第2の
故障情報を前記記憶手段に記憶し、 前記記憶素子の入力部から該記憶素子の出力部に故障信
号が伝搬するかしないかを示す第3の故障情報を前記記
憶手段に記憶し、 前記第1の故障情報、前記第2の故障情報又は前記第3
の故障情報の少なくとも何れか一つの故障情報に基づい
て前記記憶素子内に故障があるかないかを検出し、故障
モード情報として前記記憶手段に記憶し、 記憶素子ではない素子の入力部から該記憶素子の出力部
に故障信号が伝搬するかしないかを示す第4の故障情報
を前記記憶手段とは別の記憶手段に記憶し、 前記故障モード情報又は前記第4の故障情報に基づいて
前記被試験半導体装置の出力部から入力部に向かって故
障の伝搬を観測することを特徴とする回路故障擬似試験
装置。
8. A first failure information indicating whether a failure signal propagates from an input portion of a storage element in a semiconductor device under test to an internal state set in the storage element is stored in storage means, A second failure information indicating whether or not a failure signal propagates from an internal state set in the storage element to an output unit of the storage element is stored in the storage unit. Storing in the storage means third failure information indicating whether or not a failure signal is propagated to an output unit of the first failure information, the second failure information, or the third failure information.
Detecting whether there is a failure in the storage element based on at least one of the pieces of failure information, and storing the same in the storage means as failure mode information; Fourth failure information indicating whether or not a failure signal propagates to an output section of the element is stored in a storage unit separate from the storage unit, and the failure information is stored based on the failure mode information or the fourth failure information. A circuit fault pseudo test apparatus for observing propagation of a fault from an output section to an input section of a test semiconductor device.
【請求項9】 前記故障モード情報を、前記記憶素子の
入力部から前記被試験半導体装置の入力部に向かって前
記第2の故障情報、前記第3の故障情報又は前記第4の
故障情報の少なくとも何れか一つの故障情報を検出する
ことにより求めることを特徴とする請求項8に記載の回
路故障擬似試験方法。
9. The method according to claim 1, wherein the failure mode information is transmitted from an input section of the storage element to an input section of the semiconductor device under test, from the second failure information, the third failure information, or the fourth failure information. 9. The circuit fault simulation test method according to claim 8, wherein the circuit fault is determined by detecting at least one piece of fault information.
【請求項10】 前記故障信号は、 素子の入力信号が0に固定される第1の縮退故障又は素
子の入力信号が1に固定される第2の縮退故障に基づく
信号であることを特徴とする請求項6乃至9の何れか1
項に記載の回路故障擬似試験方法。
10. The fault signal is a signal based on a first stuck-at fault where an input signal of an element is fixed to 0 or a second stuck-at fault where an input signal of the element is fixed at 1. Any one of claims 6 to 9
The circuit failure simulation test method described in the paragraph.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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康、外3名、"双方向素子を含む順序回路の高速故障シミュレータ"、電子情報通信学会技術研究報告(SDM91−50)、電子情報通信学会、平成3年、Vol.91、No.100、p.19〜26

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