JP3139905U - 4 and 6 roots vacuum pumps - Google Patents

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康名 横井
昌史 竹田
義展 伊藤
郁人 横井
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Abstract

【課題】モータ装置から第1ロータ軸及び第2ロータ軸への駆動力の伝達をギヤ方式としたコンパクトな4段及び6段ルーツ式真空ポンプを提供すること。
【解決手段】第1段室a及び第3段室cと、第2段室b及び第4段室dとを平行に配置し、第1段室と第3段室に夫々挿入されるルーツロータを備えた第1ロータ軸21と、第2段室と第4段室に夫々挿入されるルーツロータを備えた第2ロータ軸23とをケーシング1の前後に取付けたハウジング25,29により回転自由に支持した4段ルーツ式真空ポンプにおいて、各第1ロータ軸の端部にタイミングギヤ28を固定すると共に各第2ロータ軸の端部にタイミングギヤ32を固定し、第1ロータ軸の一方のタイミングギヤ28と第2ロータ軸の一方のタイミングギヤ32とに噛合する中間ギヤ36を回転可能に設け、第2ロータ軸の端部にカップリング41を介してモータ装置42の出力軸を連結する。
【選択図】図3
A compact four-stage and six-stage roots vacuum pump using a gear system for transmitting driving force from a motor device to a first rotor shaft and a second rotor shaft is provided.
A roots rotor in which a first stage chamber a and a third stage chamber c, a second stage chamber b and a fourth stage chamber d are arranged in parallel, and are respectively inserted into the first stage chamber and the third stage chamber. 1 and a second rotor shaft 23 having a Roots rotor inserted into the second stage chamber and the fourth stage chamber, respectively, are freely rotatable by housings 25 and 29 attached to the front and rear of the casing 1. In the supported four-stage roots vacuum pump, the timing gear 28 is fixed to the end of each first rotor shaft, and the timing gear 32 is fixed to the end of each second rotor shaft, so that one timing of the first rotor shaft is fixed. An intermediate gear 36 that meshes with the gear 28 and one timing gear 32 of the second rotor shaft is rotatably provided, and an output shaft of the motor device 42 is coupled to the end of the second rotor shaft via a coupling 41.
[Selection] Figure 3

Description

本考案は、真空乾燥装置、真空包装装置、物品を吸着して移送する搬送装置等の真空源として利用される4段及び6段ルーツ式真空ポンプに関する。   The present invention relates to a 4-stage and 6-stage roots type vacuum pump used as a vacuum source for a vacuum drying apparatus, a vacuum packaging apparatus, a conveying apparatus for adsorbing and transferring an article, and the like.

特許文献1には、本件出願人に係る「インタークーラーレス空冷式4段ルーツ型真空ポンプ」が記載されている。その真空ポンプは、吸込口と吐出口を形成したケーシング内に、前側の第1段圧縮室及び後側の第3段圧縮室と、前側の第2段圧縮室及び後側の第4段圧縮室とを平行に配置し、第1段圧縮室と第3段圧縮室に夫々挿入されるルーツロータを備えた第1ロータ軸と、第2段圧縮室と第4段圧縮室に夫々挿入されるルーツロータを備えた第2ロータ軸とをケーシングの前後に夫々取付けたハウジングにより回転自由に支持し、前側のハウジングから突出する各第1ロータ軸の端部に互いに噛合するタイミングギヤを固定すると共に各第2ロータ軸の端部に互いに噛合するタイミングギヤを固定し、後側のハウジングから突出する一方の第1ロータ軸の端部に第1プーリ、一方の第2ロータ軸の端部に第2プーリとを設けると共にモータ側の駆動プーリと第1プーリ及び第2プーリとにVベルトを掛け渡し、モータの駆動により第1ロータ軸及び第2ロータ軸を回転させることによって吸込口から吸引した空気を吐出口から排出する構造とされている。   Patent Document 1 describes an “intercoolerless air-cooled four-stage roots vacuum pump” according to the present applicant. The vacuum pump includes a front-side first-stage compression chamber and a rear-side third-stage compression chamber, a front-side second-stage compression chamber, and a rear-side fourth-stage compression in a casing having a suction port and a discharge port. The chambers are arranged in parallel, and are inserted into the first rotor shaft having a roots rotor inserted into the first stage compression chamber and the third stage compression chamber, respectively, and into the second stage compression chamber and the fourth stage compression chamber, respectively. A second rotor shaft provided with a roots rotor is rotatably supported by housings attached to the front and rear of the casing, and timing gears that mesh with each other are fixed to end portions of the first rotor shafts that protrude from the front housing. A timing gear that meshes with each other is fixed to an end portion of the second rotor shaft, a first pulley is protruded from an end portion of one of the first rotor shafts protruding from the rear housing, and a second gear is connected to an end portion of the one second rotor shaft. A pulley and a motor side drive A structure in which a V-belt is stretched between the pulley and the first pulley and the second pulley, and the air sucked from the suction port is discharged from the discharge port by rotating the first rotor shaft and the second rotor shaft by driving the motor; Has been.

ところが、従来のルーツ式真空ポンプでは、Vベルトを用いる駆動伝達方式であるため、Vベルトが緩んだときのテンション調整やVベルトの取替え作業に手間がかかっている。また、Vベルトとプーリとの摩擦接触によりVベルトが摩耗して微粉末が発生する。かかる微粉末は室内に浮遊すると汚染の要因ともなることから、クリーンルーム等の清浄な雰囲気を要する環境では好ましくない。
特許第2618826号公報
However, since the conventional roots-type vacuum pump is a drive transmission system using a V-belt, it takes time to adjust the tension when the V-belt is loosened and to replace the V-belt. Further, the V belt is worn by frictional contact between the V belt and the pulley, and fine powder is generated. Such a fine powder is not preferable in an environment requiring a clean atmosphere such as a clean room because it causes contamination when it floats in the room.
Japanese Patent No. 2618826

この考案の目的は、モータ装置から第1ロータ軸及び第2ロータ軸への駆動力の伝達をギヤ方式としたコンパクトな4段及び6段ルーツ式真空ポンプを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a compact four-stage and six-stage roots vacuum pump that uses a gear system to transmit driving force from a motor device to a first rotor shaft and a second rotor shaft.

前記目的を達成するために請求項1に記載の考案は、吸込口と吐出口を形成したケーシングの内部に、前側の第1段室及び後側の第3段室と、前側の第2段室及び後側の第4段室とを平行に配置し、第1段室と第3段室に夫々挿入されるルーツロータを備えた第1ロータ軸と、第2段室と第4段室に夫々挿入されるルーツロータを備えた第2ロータ軸とを該ケーシングの前後に夫々取付けたハウジングにより回転自由に支持し、第1ロータ軸及び第2ロータ軸の各々を互いに反対方向に回転させることによって吸込口から吸引した空気を吐出口から排出させるように設けられた4段ルーツ式真空ポンプにおいて、
前記前側のハウジングから突出する各第1ロータ軸の端部に互いに噛合するようにタイミングギヤを固定すると共に各第2ロータ軸の端部に互いに噛合するようにタイミングギヤを固定し、第1ロータ軸の一方のタイミングギヤと第2ロータ軸の一方のタイミングギヤとに噛合する中間ギヤを前側のハウジングに回転可能に設け、後側のハウジングから突出する第1ロータ軸又は第2ロータ軸の端部にカップリングを介してモータ装置の出力軸を連結するように設けたことを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, the device according to claim 1 is characterized in that a front first stage chamber, a rear third stage chamber, and a front second stage are provided in a casing in which a suction port and a discharge port are formed. A first rotor shaft having a root rotor inserted in the first stage chamber and the third stage chamber, respectively, and a second stage chamber and a fourth stage chamber. By rotating the first rotor shaft and the second rotor shaft in directions opposite to each other, the second rotor shaft having the roots rotor to be inserted is rotatably supported by housings attached to the front and rear of the casing, respectively. In the four-stage roots-type vacuum pump provided to discharge the air sucked from the suction port from the discharge port,
The timing gear is fixed so as to mesh with the end portions of the first rotor shafts protruding from the front housing, and the timing gear is fixed so as to mesh with the end portions of the second rotor shafts. An intermediate gear meshing with one timing gear of the shaft and one timing gear of the second rotor shaft is rotatably provided on the front housing, and the end of the first rotor shaft or the second rotor shaft protruding from the rear housing It is characterized in that it is provided so as to connect the output shaft of the motor device to the part via a coupling.

同様の目的を達成するために請求項2に記載の考案は、吸込口と吐出口を形成したケーシングの内部に、前側の第1段室、第3段室及び後側の第5段室と、前側の第2段室、第4段室及び後側の第6段室とを平行に配置し、第1段室、第3段室と第5段室に夫々挿入されるルーツロータを備えた第1ロータ軸と、第2段室、第4段室と第6段室に夫々挿入されるルーツロータを備えた第2ロータ軸とを該ケーシングの前後に夫々取付けたハウジングにより回転自由に支持し、前側のハウジングから突出する各第1ロータ軸の端部に互いに噛合するようにタイミングギヤを固定すると共に各第2ロータ軸の端部に互いに噛合するようにタイミングギヤを固定し、第1ロータ軸の一方のタイミングギヤと第2ロータ軸の一方のタイミングギヤに噛合する中間ギヤを前側のハウジングに回転可能に設け、後側のハウジングから突出する第1ロータ軸又は第2ロータ軸の端部にカップリングを介してモータ装置の出力軸を連結するように設け、そのモータ装置の駆動により第1ロータ軸及び第2ロータ軸の各々を互いに反対方向に回転させることによって吸込口から吸引した空気を吐出口から排出させるように設けたことを特徴とするものである。   In order to achieve the same object, the device according to claim 2 includes a front first stage chamber, a third stage chamber, and a rear fifth stage chamber in a casing in which a suction port and a discharge port are formed. The second stage chamber on the front side, the fourth stage chamber, and the sixth stage chamber on the rear side are arranged in parallel, and the root rotor inserted into the first stage chamber, the third stage chamber, and the fifth stage chamber is provided. A first rotor shaft and a second rotor shaft having a root rotor inserted into the second stage chamber, the fourth stage chamber, and the sixth stage chamber are rotatably supported by housings respectively attached to the front and rear of the casing. The timing gear is fixed so as to mesh with the ends of the first rotor shafts protruding from the front housing, and the timing gear is fixed so as to mesh with the ends of the second rotor shafts. Meshes with one timing gear of the shaft and one timing gear of the second rotor shaft An intermediate gear is rotatably provided in the front housing, and is provided so as to connect the output shaft of the motor device to the end of the first rotor shaft or the second rotor shaft protruding from the rear housing through a coupling, The motor device is driven to rotate the first rotor shaft and the second rotor shaft in opposite directions so that air sucked from the suction port is discharged from the discharge port. .

この4段及び6段ルーツ式真空ポンプは、モータ装置の出力軸を第2ロータ軸(又は第1ロータ軸)にカップリングを介して連結し、第1ロータ軸と第2ロータ軸との駆動力の伝達をギヤ方式とすることによりコンパクトな構造とすることができ、保守管理も行ない易い。そして、従来のVベルトを用いる駆動伝達方式におけるベルトのテンション調整や取替え作業が不要となり、Vベルトの摩耗により生ずる微粉末が周囲に飛散して環境を汚染するような事態を招かないという利点がある。   The four-stage and six-stage roots type vacuum pumps connect the output shaft of the motor device to the second rotor shaft (or the first rotor shaft) via a coupling, and drive the first rotor shaft and the second rotor shaft. By adopting a gear system for power transmission, a compact structure can be achieved and maintenance can be easily performed. And, there is no need for belt tension adjustment and replacement work in the drive transmission system using the conventional V belt, and there is no advantage that the fine powder generated by the wear of the V belt is scattered around and contaminates the environment. is there.

以下に、本考案の最良の形態例を図面に基づいて説明する。図1は第1実施形態に係る4段ルーツ式真空ポンプの側面図、図2は同、正面図、図3は同、要部の横断面図、図4は図3のA−A線断面図、図5はタイミングギヤと中間ギヤの配置を示す説明図、図6は第2実施形態に係る6段ルーツ式真空ポンプの要部の横断面図である。   The best mode of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is a side view of a four-stage roots-type vacuum pump according to the first embodiment, FIG. 2 is a front view of the same, FIG. 3 is a cross-sectional view of the same main part, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. FIG. 5 is an explanatory view showing the arrangement of the timing gear and the intermediate gear, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the main part of the six-stage roots vacuum pump according to the second embodiment.

(実施形態例1)
図1に示すように、第1実施形態に係る4段ルーツ式真空ポンプPは、モータ装置42と共にベース45の上に取り付けられている。この真空ポンプPのケーシング1は、図4に示すように、ベース45に固定するための取付け部3を備えた中央ブロック2の左側面2aに、吸込口6を形成した吸込み側ブロック5を、中央ブロック2の右側面2bに、吐出口9を形成した吐出側ブロック8を取り付けてそれらを一体状に設けている。ケーシング1の内部には、前側の第1段室a及び後側の第3段室cと、前側の第2段室b及び後側の第4段室dとが平行に配置されている(図3)。換言すれば、第1段室a及び後側の第3段室cを通る中心線と、第2段室b及び後側の第4段室dを通る中心線とが平行になるように配置されている。
(Example 1)
As shown in FIG. 1, the four-stage roots-type vacuum pump P according to the first embodiment is mounted on a base 45 together with a motor device 42. As shown in FIG. 4, the casing 1 of this vacuum pump P includes a suction side block 5 in which a suction port 6 is formed on the left side surface 2 a of the central block 2 provided with a mounting portion 3 for fixing to a base 45. A discharge side block 8 having discharge ports 9 is attached to the right side surface 2b of the central block 2 and are provided integrally. Inside the casing 1, a front first stage chamber a and a rear third stage chamber c, and a front second stage chamber b and a rear fourth stage chamber d are arranged in parallel ( FIG. 3). In other words, the center line passing through the first stage chamber a and the rear third stage chamber c and the center line passing through the second stage chamber b and the rear fourth stage chamber d are arranged in parallel. Has been.

吸込み側ブロック5には、吸込口6に連通する接続口12と後記通路19の一部を形成する凹部13が設けられたカバー11を取り付けている。また、吐出側ブロック8には、吐出口9に連通する接続口15と後記通路19の一部を形成する凹部16が設けられたカバー14を取り付けている。18は第1段室aと第2段室bを連通する通路、19は第2段室bと第3段室cを連通する通路、20は第3段室cと第4段室dを連通する通路である。   A cover 11 provided with a connection port 12 communicating with the suction port 6 and a recess 13 that forms a part of a passage 19 described later is attached to the suction side block 5. Further, the discharge side block 8 is provided with a cover 14 provided with a connection port 15 communicating with the discharge port 9 and a recess 16 forming a part of a passage 19 described later. 18 is a passage connecting the first stage chamber a and the second stage chamber b, 19 is a path connecting the second stage chamber b and the third stage chamber c, and 20 is a passage between the third stage chamber c and the fourth stage chamber d. It is a passage that communicates.

第1段室aと第3段室cに夫々挿入される3葉形ルーツロータ22を備えた一対の第1ロータ軸21,21と、第2段室bと第4段室dに夫々挿入される3葉形ルーツロータ24を備えた一対の第2ロータ軸23,23とは、ケーシング1の前部1aに取付けられたギヤ用ハウジング(前側のハウジング)25に装着された軸受26と、ケーシング1の後部1bに取り付けられたモータ側ハウジング(後側のハウジング)29に装着された軸受30により回転自由に支持されている。27はギヤ用ハウジング25の内方に装着された軸封シール、31はモータ側ハウジング29の内方に装着された軸封シールである。   A pair of first rotor shafts 21 and 21 having a trilobe root rotor 22 inserted into the first stage chamber a and the third stage chamber c, respectively, and the second stage chamber b and the fourth stage chamber d, respectively. The pair of second rotor shafts 23, 23 provided with the three-lobe root rotor 24 is a bearing 26 mounted on a gear housing (front housing) 25 attached to the front portion 1 a of the casing 1, and the casing 1. It is rotatably supported by a bearing 30 mounted on a motor side housing (rear housing) 29 attached to the rear portion 1b. A shaft seal seal 27 is mounted on the inner side of the gear housing 25, and a shaft seal seal 31 is mounted on the inner side of the motor side housing 29.

なお、第1段目と第3段目のルーツロータ22及び第2段目と第4段目のルーツロータ24の長さの比は、1:(0.6〜0.7)程度とする。   Note that the ratio of the lengths of the first-stage and third-stage root rotors 22 and the second-stage and fourth-stage root rotors 24 is about 1: (0.6 to 0.7).

各第1ロータ軸21の端部には互いに噛合するようにタイミングギヤ28を夫々固定し、各第2ロータ軸23の端部には互いに噛合するようにタイミングギヤ32を夫々固定している。36は第1ロータ軸21の一方のタイミングギヤ28と第2ロータ軸23の一方のタイミングギヤ32とに噛合する中間ギヤである(図5)。中間ギヤ36を固定する中間軸35は、ギヤ用ハウジング25に装着された2個の軸受34により回転可能に設けられている。38はギヤ用ハウジング25の前部に取り付けられたカバーである。   Timing gears 28 are fixed to end portions of the first rotor shafts 21 so as to mesh with each other, and timing gears 32 are fixed to end portions of the second rotor shafts 23 so as to mesh with each other. Reference numeral 36 denotes an intermediate gear that meshes with one timing gear 28 of the first rotor shaft 21 and one timing gear 32 of the second rotor shaft 23 (FIG. 5). The intermediate shaft 35 for fixing the intermediate gear 36 is rotatably provided by two bearings 34 attached to the gear housing 25. Reference numeral 38 denotes a cover attached to the front portion of the gear housing 25.

図1に示すように、モータ側ハウジング29から突出する第2ロータ軸23の端部23aには、カップリング41を介してモータ装置42の出力軸42aを連結するように設ける。40はケーシング1の接続口15に取り付けたサイレンサーである。   As shown in FIG. 1, the output shaft 42 a of the motor device 42 is connected to the end 23 a of the second rotor shaft 23 protruding from the motor-side housing 29 via a coupling 41. Reference numeral 40 denotes a silencer attached to the connection port 15 of the casing 1.

しかして、モータ装置42の駆動により第2ロータ軸23を直接に回転させ、その回転力をタイミングギヤ32、中間ギヤ36、タイミングギヤ28を介して第1ロータ軸21に伝達して第1ロータ軸21及び第2ロータ軸23を互いに反対方向に回転させることによって吸込口6から吸引した空気を吐出口9から排出させる第1実施形態に係る4段ルーツ式真空ポンプPが構成される。   Thus, the second rotor shaft 23 is directly rotated by driving the motor device 42, and the rotational force is transmitted to the first rotor shaft 21 via the timing gear 32, the intermediate gear 36, and the timing gear 28 to transmit the first rotor. A four-stage roots vacuum pump P according to the first embodiment is configured in which the air sucked from the suction port 6 is discharged from the discharge port 9 by rotating the shaft 21 and the second rotor shaft 23 in opposite directions.

つぎに、第1実施形態に係る4段ルーツ式真空ポンプPの作用について述べる。
モータ装置42の駆動により第2ロータ軸23が回転し、その回転力がタイミングギヤ32、中間ギヤ36、タイミングギヤ28を介して第1ロータ軸21に伝達される。これにより、第1ロータ軸21及び第2ロータ軸23の各々が互いに反対方向に回転することによって第1段室aを負圧に保持するので、周囲の空気が吸込口6から第1段室aに吸引される。その吸引された空気は、第1段室aから通路18〜20を通って第4段室dを通過するまでの間に順次圧縮されて吐出口9を通ってサイレンサー40から大気中へ排出される。
Next, the operation of the four-stage roots vacuum pump P according to the first embodiment will be described.
The second rotor shaft 23 is rotated by driving the motor device 42, and the rotational force is transmitted to the first rotor shaft 21 via the timing gear 32, the intermediate gear 36, and the timing gear 28. As a result, each of the first rotor shaft 21 and the second rotor shaft 23 rotates in the opposite direction to hold the first stage chamber a at a negative pressure, so that the surrounding air passes from the suction port 6 to the first stage chamber. a sucked into a. The sucked air is sequentially compressed from the first stage chamber a through the passages 18 to 20 to the fourth stage chamber d, and is discharged from the silencer 40 to the atmosphere through the discharge port 9. The

(実施形態例2)
第2実施形態に係る6段ルーツ式真空ポンプP´は、前述した4段ルーツ式真空ポンプPの構造を基に第5段室eと第6段室fを加えた構造とされている。
よって、それと同一の主要構成部分については、同4段ルーツ式真空ポンプPの説明に用いた符号を流用して図面に記載して説明を省き、6段ルーツ式真空ポンプP´の特有な構成部分(100番台の符号を付す)についてのみ説明する。
Embodiment 2
The six-stage roots vacuum pump P ′ according to the second embodiment has a structure in which a fifth-stage chamber e and a sixth-stage chamber f are added based on the structure of the above-described four-stage roots vacuum pump P.
Therefore, the same main components as those of the four-stage root-type vacuum pump P are diverted from the description of the four-stage root-type vacuum pump P, and the description is omitted. Only the portion (labeled with 100s) will be described.

即ち、この6段ルーツ式真空ポンプP´のケーシング101は、図6に示すように、中央ブロック102の一側面に、吸込口106を形成した吸込み側ブロック105を、中央ブロック102の他側面に、吐出口109を形成した吐出側ブロック108を取り付けてそれらを一体状に設けている。ケーシング101の内部には、前側の第1段室a、中間の第3段室c及び第5段室eと、前側の第2段室b、中間の第4段室d及び第6段室fとが平行に配置されている。   That is, as shown in FIG. 6, the casing 101 of this six-stage Roots type vacuum pump P ′ has a suction side block 105 formed with a suction port 106 on one side surface of the central block 102, on the other side surface of the central block 102. The discharge side block 108 in which the discharge port 109 is formed is attached and provided integrally. Inside the casing 101 are a front first stage chamber a, an intermediate third stage chamber c and a fifth stage chamber e, a front second stage chamber b, an intermediate fourth stage chamber d and a sixth stage chamber. f is arranged in parallel.

吸込み側ブロック105には、吸込口106に連通する接続口112と後記通路118b、118dの一部を形成する凹部113a,113bが設けられたカバー111を取り付けている。吐出側ブロック108には、吐出口109に連通する接続口115と後記通路118b、118dの一部を形成する凹部116a,116bが設けられたカバー114を取り付けている。118aは第1段室aと第2段室bを連通する通路、118bは第2段室bと第3段室cを連通する通路、118cは第3段室cと第4段室dを連通する通路、118dは第4段室dと第5段室eを連通する通路、118eは第5段室eと第6段室fを連通する通路である。   A cover 111 provided with a connection port 112 communicating with the suction port 106 and recesses 113a and 113b forming part of passages 118b and 118d to be described later is attached to the suction side block 105. The discharge side block 108 is provided with a cover 114 provided with a connection port 115 communicating with the discharge port 109 and recesses 116a and 116b forming part of passages 118b and 118d described later. 118a is a passage connecting the first stage chamber a and the second stage chamber b, 118b is a path connecting the second stage chamber b and the third stage chamber c, and 118c is a passage between the third stage chamber c and the fourth stage chamber d. A passage 118d is a passage that connects the fourth-stage chamber d and the fifth-stage chamber e, and 118e is a passage that connects the fifth-stage chamber e and the sixth-stage chamber f.

第1段室aと第3段室c及び第5段室eに夫々挿入される3葉形ルーツロータ122を備えた一対の第1ロータ軸121と、第2段室bと第4段室d及び第6段室fに夫々挿入される3葉形ルーツロータ124を備えた一対の第2ロータ軸123とは、ケーシング101の前部101aに取付けられたギヤ用ハウジング25に装着された軸受26と、ケーシング101の後部101bに取り付けられたモータ側ハウジング29に装着された軸受30により回転自由に支持されている。   A pair of first rotor shafts 121 having a trilobal root rotor 122 inserted into the first stage chamber a, the third stage chamber c, and the fifth stage chamber e, respectively, the second stage chamber b, and the fourth stage chamber d. And the pair of second rotor shafts 123 having the trilobal roots rotor 124 inserted into the sixth stage chamber f, respectively, and a bearing 26 attached to the gear housing 25 attached to the front portion 101a of the casing 101. The bearings 30 mounted on the motor side housing 29 attached to the rear portion 101b of the casing 101 are rotatably supported.

なお、第1段目、第3段目と第5段目のルーツロータ122及び第2段目、第4段目と第6段目のルーツロータ124の長さの比は、1:(0.7〜0.8):(0.5〜0.6)程度とする。   The ratio of the lengths of the first stage, the third stage and the fifth stage root rotor 122 and the second stage, the fourth stage and the sixth stage root rotor 124 is 1: (0.7 To 0.8): about (0.5 to 0.6).

モータ側ハウジング29から突出する第2ロータ軸123の端部123aには、カップリング41を介してモータ装置42の出力軸42aを連結するように設けられる。   The output shaft 42 a of the motor device 42 is connected to the end 123 a of the second rotor shaft 123 protruding from the motor-side housing 29 via the coupling 41.

かかる構成になる第2実施形態の6段ルーツ式真空ポンプP´の作用については、前記第1実施形態の4段ルーツ式真空ポンプPの作用に準ずるので説明を省略する。   The operation of the six-stage roots vacuum pump P ′ according to the second embodiment having such a configuration is similar to that of the four-stage roots vacuum pump P according to the first embodiment, and thus the description thereof is omitted.

第1実施形態に係る4段ルーツ式真空ポンプの側面図Side view of the four-stage roots-type vacuum pump according to the first embodiment 同、正面図Same front view 同、要部の横断面図Same as above, cross section 図3のA−A線断面図AA line sectional view of FIG. タイミングギヤと中間ギヤの配置を示す説明図Explanatory drawing showing arrangement of timing gear and intermediate gear 第2実施形態に係る6段ルーツ式真空ポンプの要部の横断面図Cross-sectional view of essential parts of a six-stage roots-type vacuum pump according to the second embodiment

符号の説明Explanation of symbols

P・・・4段ルーツ式真空ポンプ
a・・・第1段室
b・・・第2段室
c・・・第3段室
d・・・第4段室
1・・・ケーシング
6・・・吸込口
9・・・吐出口
21・・・第1ロータ軸
22・・・ルーツロータ
23・・・第2ロータ軸
23a・・・端部
24・・・ルーツロータ
25・・・ギヤ用ハウジング(前側のハウジング)
28,32・・・タイミングギヤ
29・・・モータ側ハウジング(後側のハウジング)
36・・・中間ギヤ
41・・・カップリング
42・・・モータ装置
42a・・・出力軸
P´・・・6段ルーツ式真空ポンプ
e・・・第5段室
f・・・第6段室
101・・・ケーシング
106・・・吸込口
109・・・吐出口
121・・・第1ロータ軸
122・・・ルーツロータ
123・・・第2ロータ軸
123a・・・端部
124・・・ルーツロータ
P ... 4 stage root type vacuum pump a ... 1st stage chamber b ... 2nd stage chamber c ... 3rd stage chamber d ... 4th stage chamber 1 ... Casing 6 ... · Suction port 9 ··· Discharge port 21 ··· First rotor shaft 22 · · · Roots rotor 23 · · · Second rotor shaft 23a · · · End 24 · · · Roots rotor 25 · · · Housing for gear (front side) Housing)
28, 32 ... Timing gear 29 ... Motor side housing (rear housing)
36 ... Intermediate gear 41 ... Coupling 42 ... Motor device 42a ... Output shaft P '... Six-stage roots type vacuum pump e ... Fifth stage chamber f ... Sixth stage Chamber 101 ... Casing 106 ... Suction port 109 ... Discharge port 121 ... First rotor shaft 122 ... Roots rotor 123 ... Second rotor shaft 123a ... End 124 ... Roots rotor

Claims (2)

吸込口と吐出口を形成したケーシングの内部に、前側の第1段室及び後側の第3段室と、前側の第2段室及び後側の第4段室とを平行に配置し、第1段室と第3段室に夫々挿入されるルーツロータを備えた第1ロータ軸と、第2段室と第4段室に夫々挿入されるルーツロータを備えた第2ロータ軸とを該ケーシングの前後に夫々取付けたハウジングにより回転自由に支持し、第1ロータ軸及び第2ロータ軸の各々を互いに反対方向に回転させることによって吸込口から吸引した空気を吐出口から排出させるように設けられた4段ルーツ式真空ポンプにおいて、
前記前側のハウジングから突出する各第1ロータ軸の端部に互いに噛合するようにタイミングギヤを固定すると共に各第2ロータ軸の端部に互いに噛合するようにタイミングギヤを固定し、第1ロータ軸の一方のタイミングギヤと第2ロータ軸の一方のタイミングギヤに噛合する中間ギヤを前側のハウジングに回転可能に設け、後側のハウジングから突出する第1ロータ軸又は第2ロータ軸の端部にカップリングを介してモータ装置の出力軸を連結するように設けたことを特徴とする4段ルーツ式真空ポンプ。
Inside the casing forming the suction port and the discharge port, the front first stage chamber and the rear third stage chamber, the front second stage chamber and the rear fourth stage chamber are arranged in parallel, The casing includes a first rotor shaft provided with a root rotor inserted into the first stage chamber and the third stage chamber, and a second rotor shaft provided with a root rotor inserted into the second stage chamber and the fourth stage chamber, respectively. Are provided so as to be freely rotated by housings attached to the front and rear of each of the first and second rotor shafts, and to rotate the first and second rotor shafts in opposite directions to discharge air sucked from the suction ports from the discharge ports. In a four-stage roots vacuum pump,
The timing gear is fixed so as to mesh with the end portions of the first rotor shafts protruding from the front housing, and the timing gear is fixed so as to mesh with the end portions of the second rotor shafts. An intermediate gear meshing with one timing gear of the shaft and one timing gear of the second rotor shaft is rotatably provided in the front housing, and the end portion of the first rotor shaft or the second rotor shaft protruding from the rear housing A four-stage roots-type vacuum pump characterized in that the output shaft of the motor device is connected to the motor through a coupling.
吸込口と吐出口を形成したケーシングの内部に、前側の第1段室、第3段室及び後側の第5段室と、前側の第2段室、第4段室及び後側の第6段室とを平行に配置し、第1段室、第3段室と第5段室に夫々挿入されるルーツロータを備えた第1ロータ軸と、第2段室、第4段室と第6段室に夫々挿入されるルーツロータを備えた第2ロータ軸とを該ケーシングの前後に夫々取付けたハウジングにより回転自由に支持し、前側のハウジングから突出する各第1ロータ軸の端部に互いに噛合するようにタイミングギヤを固定すると共に各第2ロータ軸の端部に互いに噛合するようにタイミングギヤを固定し、第1ロータ軸の一方のタイミングギヤと第2ロータ軸の一方のタイミングギヤに噛合する中間ギヤを前側のハウジングに回転可能に設け、後側のハウジングから突出する第1ロータ軸又は第2ロータ軸の端部にカップリングを介してモータ装置の出力軸を連結するように設け、そのモータ装置の駆動により第1ロータ軸及び第2ロータ軸の各々を互いに反対方向に回転させることによって吸込口から吸引した空気を吐出口から排出させるように設けたことを特徴とする6段ルーツ式真空ポンプ。   Inside the casing formed with the suction port and the discharge port, the front first stage chamber, the third stage chamber and the rear fifth stage chamber, the front second stage chamber, the fourth stage chamber and the rear first stage chamber A six-stage chamber is arranged in parallel, a first rotor shaft having a root rotor inserted into the first-stage chamber, the third-stage chamber, and the fifth-stage chamber, respectively, a second-stage chamber, a fourth-stage chamber, and a first-stage chamber Second rotor shafts having roots rotors respectively inserted into the six-stage chambers are rotatably supported by housings respectively attached to the front and rear of the casing, and are mutually attached to end portions of the first rotor shafts protruding from the front housing. The timing gear is fixed so as to mesh with each other, and the timing gear is fixed so as to mesh with each other at the end of each second rotor shaft, so that one timing gear of the first rotor shaft and one timing gear of the second rotor shaft are fixed to each other. A meshing intermediate gear is rotatably provided in the front housing, The output shaft of the motor device is connected to the end of the first rotor shaft or the second rotor shaft protruding from the housing on the side through a coupling, and the first rotor shaft and the second rotor are driven by driving the motor device. A six-stage roots-type vacuum pump, which is provided so that air sucked from a suction port is discharged from a discharge port by rotating shafts in opposite directions.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020037921A (en) * 2018-09-05 2020-03-12 株式会社宇野澤組鐵工所 Multi-stage root type pump
JP2020037922A (en) * 2018-09-05 2020-03-12 株式会社宇野澤組鐵工所 Multi-stage root type pump
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