JP3136273B2 - フォトマスクを作成する際のｃａｄデータ変換方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータによ
るプリント板設計支援システム（ＣＡＤ）のデータ変換
方法に関し、特に、プリント板にめっきを施すのに用い
るフォトマスク作成用のＣＡＤデータをプロッタ用のデ
ータに変換する方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】現在広く用いられている多層プリント板
では、表面の層、裏面の層、中間の複数の層にそれぞ
れ、信号線、アース線、電源線等の配線パターン、及
び、ランド等のパターンがプリントされる。これらプリ
ント配線を作成する際には、各層毎にプリント配線のパ
ターンが用意され、この１つの層のプリント配線を作成
するには、各工程別にぞれぞれ異なるパターン（例え
ば、レジスト層を作るためのパターン等）が設計され
る。

【０００３】プリント配線の作成期間を短縮し、また、
労力を軽減するために、現在では、プリント板設計支援
システム（ＣＡＤ）によりプリント板のパターンを設計
することが実用化されている。このようなプリント配線
板用ＣＡＤシステムを用いた場合、フォトマスクの製造
は、次に述べるような手順によって行われている。ま
ず、パターン設計者、或いは、コンピュータが描いた回
路図に基づいて配線図が作成される。次いで、配線図中
の配線パターンやパッド等の位置・形状に関するＣＡＤ
データが、プロッタ用データに変換された後に、プロッ
タ側のメモリに転送される。そして、プロッタが、該デ
ータをレーザ光走査用のデータに展開し、感光性樹脂を
塗布したフィルム上にレーザを露光する。このフィルム
のレーザ未露光部を溶剤で現像処理することによって、
フォトマスクを作成する。

【０００４】ここで、データ変換方法としては、例えば
配線パターンやパッド等に関するデータを特定のアパー
チャ及びガーバーデータに置き換えるという方法が知ら
れている。なお、この場合のガーバーデータとは、アパ
ーチャを特定するデータとそのアパーチャを移動させる
ときの始点及び終点とによって構成されるデータを指
す。

【０００５】従来技術のデータ変換方法について具体的
に述べる。配線図中における配線パターンやパッドの位
置・形状に関するＣＡＤデータは、最初に特定のアパー
チャ及びガーバーデータに置き換えられる。ここでは、
図８（Ａ）に示す塗り潰し領域（パッドＰａ）のＣＡＤ
データを、特定のアパーチャＡ１及びアパーチャの移動
軌跡の座標データ（ガーバーデータ）に変換する場合を
例に挙げる。

【０００６】例えば、該アパーチャＡ１を特定するデー
タとしては、形状が円形で、半径が１２０であることが
規定される。そして、移動軌跡の座標データとして、Ｘ
１５０、Ｙ１５０の位置から、Ｘ１５０，Ｙ４５０の位
置へ（図中軌跡Ｆ１として指示する）、次に、Ｘ３０
０，Ｙ４５０へ（軌跡Ｆ２）、更に、Ｘ３００、Ｙ１５
０を経て（軌跡Ｆ３）、始点であるＸ１５０、Ｙ１５０
（軌跡Ｆ４）に戻る座標データから主として成る。この
座標データは、パッドＰａの外周をなぞっており、一筆
書が可能であると認識される。更に、パッドＰａの内部
を塗り潰すため、このデータに、アパーチャＡ１がＸ１
５０、Ｙ３５０からＸ３００、Ｙ３５０へ移動するデー
タ（軌跡Ｆ５）と、Ｘ１５０、Ｙ２５０からＸ３００、
Ｙ２５０へ移動する（軌跡Ｆ６）のデータとの２行分の
座標データが加えられる。

【０００７】図８（Ａ）の例では、図示及び説明の便宜
から、内部の塗り潰しのための座標データが、Ｘ１５
０、Ｙ３５０からＸ３００、Ｙ３５０への座標データ
（軌跡Ｆ５）と、Ｘ１５０、Ｙ２５０からＸ３００、Ｙ
２５０への座標データ（軌跡Ｆ６）との２行で終わる場
合を示した。しかしながら、高密度化・高精度化した現
在のプリント板には、従来よりも微細なパターンが要求
されているため、アパーチャとして実際には直径の小さ
なものが選択されるため、上記塗り潰しのための座標デ
ータ行数は、非常に多くなっている。従って、例えば、
図８（Ｂ）に示すような複数のパッド（塗り潰し領域）
を有するプリント板の配線パターンのＣＡＤデータをガ
ーバーデータに置き換えた際には、データ量が莫大なも
のとなってしまう。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ここで、プロッタのメ
モリ用のＣＡＤデータの総量が増加すると、プロッタデ
ータに展開されたデータをプロッタに入力するのに時間
がかかってしまう。また、プロッタデータに展開する際
に、データ量が膨大になり、展開できなくなる。

【０００９】この対策として、本出願人は、データ量を
削減する方法を特開平６−１３９３１０号にて提案して
いる。この方法では、図８（Ｂ）に示すパターン配線に
おいて、パッドＰａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄ、Ｐｅの形状が
同じである場合には、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄ、Ｐｅについて
は、パッドＰａに対して図８（Ａ）を参照して上述した
ように作成したデータを流用することにより、即ち、パ
ッドＰａを１つのアパーチャと等価的に概念することで
データ量を削減している。なお、この方法では、パッド
Ｐｆ、パッドＰｇ、Ｐｈ、Ｐｉ、Ｐｊの形状が同じであ
り、パッドＰｋ、Ｐｌ、Ｐｍ、Ｐｎの形状が同じである
際には、同様に処理を行うことでデータ量を更に削減で
きる。

【００１０】上記の方法で同一形状のパッドが複数用い
られているときには、データ量を削減できる。しかしな
がら、図７に示すように実際にはパッドの形状がそれぞ
れ異なっており、データ量を大幅に減少させることはで
きなかった。

【００１１】本発明は、上述した課題を解決するために
なされたものであり、その目的とするところは、プロッ
タのメモリ側へ転送するデータ総量を減少させることが
でき、これによりプロッタのメモリ容量に関わらず高効
率で処理を行い得るフォトマスクを作成する際のＣＡＤ
データ変換方法を提供することにある。

【００１２】

【００１３】

【課題を解決するための手段】 また、上記の目的を達成
するため、請求項１の発明では、ＣＡＤにより作成され
たプリント配線板の設計パターンのＣＡＤデータから、
フォトマスクを作成するためのアパーチャデータとガー
バーデータとから成るプロッタ用のデータに変換する方
法において、ＣＡＤデータで表されているそれぞれの図
形が、塗り潰しを行う領域を有するか否かを判断する工
程と、塗り潰しを行う領域を有する図形について角部を
有するか否かを判断する工程と、角部を有さない図形に
ついて、外周を形成する曲線に内包し得る最大径の円形
のアパーチャを選択してガーバーデータを作成する工程
と、角部を有する矩形図形について、短辺（正方形の一
辺を含む）長以下の辺を有する最大の正方形のアパーチ
ャを選択してガーバーデータを作成する工程と、を有す
ることを技術的特徴とする。

【００１４】請求項２の発明では、請求項１において、
前記角部を有さない図形についてガーバーデータを作成
する工程において、円形及び長円について、外周を形成
する曲線に内包し得る最大径の円形のアパーチャを選択
してガーバーデータを作成することを技術的特徴とす
る。

【００１５】請求項３の発明では、請求項１又は２にお
いて、前記角部を有する図形、及び、有さない図形につ
いて、ガーバーデータを作成する工程において、該図形
と同一の形状及び大きさのアパーチャの有無を判断し、
同一のアパーチャが存在している際には、該アパーチャ
を選択して該図形のガーバーデータを作成する工程を有
することを技術的特徴とする。

【００１６】

【００１７】請求項１の発明では、塗り潰しを行う領域
を有する図形について角部を有するか否かを判断し、角
部を有さない図形について、外周を形成する曲線に内包
し得る最大径の円形のアパーチャを選択してガーバーデ
ータを作成する。他方、角部を有する矩形図形につい
て、短辺（正方形の一辺を含む）長さ以下の辺を有する
最大の正方形のアパーチャを選択してガーバーデータを
作成する。このため、角部を有さない図形に対しても、
また、角部を有する矩形図形に対しても、最もデータ量
が小さくなるようにガーバーデータを作成できる。

【００１８】請求項２の発明では、角部を有さない図形
についてガーバーデータを作成する工程において、円形
及び長円について、外周を形成する曲線に内包し得る最
大径の円形のアパーチャを選択してガーバーデータを作
成する。このため、円形及び長円について、最もデータ
量が小さくなるようにガーバーデータを作成できる。

【００１９】請求項３の発明では、角部を有する図形、
及び、有さない図形について、ガーバーデータを作成す
る工程において、該図形と同一の形状及び大きさのアパ
ーチャの有無を判断し、同一のアパーチャが存在してい
る際には、該アパーチャを選択して該図形のガーバーデ
ータを作成する。このため、同一形状のアパーチャが存
在する際には、最もデータ量が小さくなるようにガーバ
ーデータを作成できる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施態
様について図を参照して説明する。図１は、本発明の一
実施態様に係るプリント板設計支援システム（ＣＡＤ）
による処理の流れを示している。まず、パターン設計者
は、ＣＡＤ用コンピュータを用い回路図に基づいて配線
図を作成する（処理１）。次いで、配線図中の配線パタ
ーンやパッド等の位置・形状に関するＣＡＤデータを、
プロッタのメモリ用データに変換させた後に（処理
２）、プロッタ側のメモリへ転送させる（処理３）。

【００２１】ここで、本実施態様のＣＡＤ用コンピュー
タによるＣＡＤデータのプロッタのメモリ用データへの
変換について、図２乃至図７を参照して説明する。この
コンピュータは、図５に示すような複数のアパーチャを
用いてガーバーデータを作成する。ここで、図５（Ａ）
は、大きさの異なる正方形のアパーチャＳＱＥ０、ＳＱ
Ｅ１、ＡＱＥ２、ＳＱＥ３を示している。また、図５
（Ｂ）は、大きさの異なる円形のアパーチャＣＩＲ０、
ＣＩＲ１、ＣＩＲ２、ＣＩＲ３を示している。図５
（Ｃ）は、大きさ及び形状の異なる長円のアパーチャＬ
ＯＧ１、ＬＯＧ２、ＬＯＧ３を示している。更に、図５
（Ｄ）は、大きさ及び形状の異なる長方形のアパーチャ
ＳＱＥ１、ＡＱＥ２、ＳＱＥ３を示している。ここで
は、説明及び図示の便宜上それぞれの形状について３乃
至４種類のアパーチャを示しているが、実際には、更に
多くのアパーチャが用意されている点に注意されたい。

【００２２】図７は、該コンピュータにより回路図に基
づいて作成された配線図を示している。この配線図中に
は、種々の形状のパッドＰ１、Ｐ２、・・・・の他に、
太さ異なる配線パターンＬ１、Ｌ２・・・が配置されて
いる。本実施態様のコンピュータにおいては、図７に示
す形状のＣＡＤデータから、プロッタのメモリ用データ
に変換させる際、即ち、種々の形状のパッドをアパーチ
ャの始点から終点まで移動させるガーバーデータに変換
する際に、図５を参照して上述した複数のアパーチャの
内で最もデータ量を削減できるアパーチャを用いる。

【００２３】この処理について、図２乃至図４のフロー
チャートを参照して説明する。まず、図７に示すＣＡＤ
データ中からパッドＰ１、Ｐ２、・・・等の塗り潰し領
域を抽出する（Ｓ１０）。ここで、該塗り潰し領域の抽
出は、ＣＡＤデータの作成方法によって異なるが、例え
ば、特開平６−１３９３１０号にて開示されているよう
に、外周がアパーチャで一筆書き可能な領域を抽出する
方法や、或いは、一定の幅（配線パターンの最大幅）以
上を幅を有する形状データを塗り潰し領域と判断する方
法等、種々の方法を用いることができる。

【００２４】その後、未処理の塗り潰し領域の有無を判
断する（Ｓ１２）。ここで、未処理の塗り潰し領域が残
っている場合には（Ｓ１２がＹｅｓ）、該塗り潰し領域
が矩形で角があるか否かを判断する（Ｓ１４）。ここ
で、例えば、判断の対象が図７に示す円形のパッドＰ１
１であって、角が無い場合には（Ｓ１４がＮｏ）、円形
か（Ｓ１６）、長円か（Ｓ２８）、面取り矩形か（Ｓ４
０）が判断される。

【００２５】ここで、円形のパッドＰ１１については、
円形であるため、円形かのステップ１６がＹｅｓとな
り、該パッドＰ１１と同じ直径の円形が存在するかを判
断する（Ｓ１８）。ここで、図５（Ｂ）に示すアパーチ
ャＣＩＲ３が、該パッドＰ１１と同じ直径である場合に
は（Ｓ１８がＹｅｓ）、該ＣＩＲ３が選択され（Ｓ２
０）、パッドＰ１１の中心位置の座標がガーバーデータ
として算出・保持される（Ｓ２２）。

【００２６】他方、該パッドＰ１１よりも直径の大きな
円形のパッドＰ１３について処理され、同一直径のアパ
ーチャが存在しない時には（Ｓ１８がＮｏ）、該パッド
Ｐ１３の直径以下であって、且つ、最大径のアパーチ
ャ、即ち、外周を形成する曲線に内包し得る最大径の円
形のアパーチャ（ここではＣＩＲ３）が選択される（Ｓ
２６）。そして、該アパーチャＣＩＲ３にて、パッドＰ
１３を塗り潰すための軌跡（移動座標）が算出・保持さ
れる（Ｓ２６）。ここでは、図６（Ａ）に示すように、
パッドＰ１３をアパーチャＣＩＲ３にて塗り潰す図中鎖
線で表した軌跡の座標が算出される。この鎖線で示す軌
跡は、アパーチャの中心点の移動を示している。

【００２７】ここで、図７に示す長円形状のパッドＰ１
４について処理される際には、ステップ２８の長円かの
判断がＹｅｓとなり、同形状で同一の大きさの長円があ
るかが判断される（Ｓ３０）。ここで、パッドＰ１４
が、図５（Ｃ）に示すアパーチャＬＯＧ３と同一である
際には（Ｓ３０がＹｅｓ）、該ＬＯＧ３が選択され（Ｓ
２０）、パッドＰ１４の中心位置の座標がガーバーデー
タとして算出・保持される（Ｓ３４）。

【００２８】一方、該パッドＰ１４と異なる形状の長円
のパッドＰ１５について処理され、同一形状で同一の大
きさのアパーチャが存在していない時には（Ｓ３０がＮ
ｏ）、該パッドＰ１５の半円部の直径以下であって、且
つ、最大径のアパーチャ（ここでは、アパーチャＣＩＲ
２）が選択される（Ｓ３６）。そして、該アパーチャＣ
ＩＲ２にて、パッドＰ１５を塗り潰すための軌跡（移動
座標）が算出・保持される（Ｓ３８）。ここでは、図６
（Ｂ）に示すように、パッドＰ１５をアパーチャＣＩＲ
２にて塗り潰す図中鎖線で表した軌跡の座標が算出され
る。

【００２９】例えば、図７に示す角を取った面取り矩形
形状のパッドＰ１０について処理される際には、ステッ
プ４０の面取り矩形かの判断がＹｅｓとなり、該パッド
Ｐ１０の円弧部（図６（Ｃ）参照）を形成する円の直径
以下であって、且つ、最大径のアパーチャ（ここでは、
アパーチャＣＩＲ２）が選択される（Ｓ４２）。そし
て、該アパーチャＣＩＲ２にて、パッドＰ１０を塗り潰
すための軌跡（移動座標）が算出・保持される（Ｓ４
４）。ここでは、図６（Ｃ）に示すように、パッドＰ１
０をアパーチャＣＩＲ２にて塗り潰す図中鎖線で表した
軌跡の座標が算出される。なお、このパッドＰ１０は幅
があるため、外周をなぞる軌跡Ｓ１の他に、内部を塗り
潰すための軌跡Ｓ２、Ｓ３がガーバーデータとして加え
られる。

【００３０】ここで、図７に示す長方形のパッドＰ９が
処理される際には、ステップ１４の角が有るか否かの判
断がＹｅｓとなり、図３に示すステップ５０にて、長方
形かが判断される。このステップ５０の判断がＹｅｓと
なって、同一形状で同一の大きさの長方形が存在するが
判断される（Ｓ５２）。ここで、該パッドＰ９と図５
（Ｄ）に示す長方形のアパーチャＲＥＱ２とが同一形状
且つ同一の大きさである場合には（Ｓ５２がＹｅｓ）、
該ＲＥＱ２が選択され（Ｓ５４）、パッドＰ９の中心位
置の座標がガーバーデータとして算出・保持される（Ｓ
５６）。

【００３１】他方、該パッドＰ９と形状の異なる長方形
のパッドＰ７について処理され、同形状のアパーチャが
存在していない時には（Ｓ５２がＮｏ）、該パッドＰ７
のＸ，Ｙ方向の内の小さい方、即ち、矩形の短辺長以下
であって、且つ、最も一辺の大きな正方形アパーチャ
（ここでは、アパーチャＳＥＱ１）が選択される（Ｓ５
８）。そして、該アパーチャＳＥＱ１にて、パッドＰ７
を塗り潰すための軌跡（移動座標）が算出・保持される
（Ｓ６０）。ここでは、図６（Ｄ）に示すように、パッ
ドＰ７をアパーチャＳＥＱ１にて塗り潰す図中鎖線で表
した軌跡の座標が算出される。

【００３２】ここで、図７に示す正方形のパッドＰ２が
処理される際には、図３に示すステップ６２にて、正方
形かが判断されるが、当該判断がＹｅｓとなって、同一
の大きさの正方形が存在するが判断される（Ｓ６４）。
ここで、該パッドＰ２と図５（Ａ）に示す正方形のアパ
ーチャＳＥＱ２とが同一の大きさである場合には（Ｓ６
４がＹｅｓ）、該ＳＥＱ２が選択され（Ｓ６６）、パッ
ドＰ２の中心位置の座標がガーバーデータとして算出・
保持される（Ｓ６８）。

【００３３】一方、該パッドＰ２と大きさの異なる正方
形のパッドＰ３について処理され、同一の大きさのアパ
ーチャが存在していない時には（Ｓ６４がＮｏ）、該パ
ッドＰ３のＸ軸上の一辺（ここでは、正方形を矩形と概
念する際には、短辺と見做し得る）の長さ以下であっ
て、且つ、最も大きな正方形アパーチャ（ここでは、ア
パーチャＳＥＱ２）が選択される（Ｓ７０）。そして、
該アパーチャＳＥＱ２にて、パッドＰ３を塗り潰すため
の軌跡（移動座標）が算出・保持される（Ｓ７２）。こ
こでは、図６（Ｅ）に示すように、パッドＰ３をアパー
チャＳＥＱ２にて塗り潰す、図中鎖線で表した軌跡の座
標が算出される。

【００３４】例えば、図７に示す三角形のパッドＰ１７
について処理される際には、図２に示す角有りかのステ
ップ１４の判断がＹｅｓとなり、図３に示すステップ５
０へ進むが、該ステップ５０の長方形かの判断がＮｏと
なり、また、ステップ６２の正方形かの判断がＮｏとな
り、図４に示すステップ８０に進む。該ステップ８０で
の「その他の図形」かの判断がＹｅｓとなり、図５
（Ｂ）に示す最小の円形アパーチャＣＩＲ０が選択され
（Ｓ８２）、パッドＰ１７を塗り潰すための軌跡（移動
座標）が算出・保持される（Ｓ８４）。ここでは、図６
（Ｆ）に示すように、パッドＰ１７をアパーチャＣＩＲ
０にて塗り潰す図中鎖線で表した軌跡の座標が算出され
る。本実施態様では、上述したように図形を円形、正方
形、長方形等のカテゴリー分けし、データが最小になる
ようにガーバーデータを作成するが、カテゴリーに入れ
ることができない三角等は、従来技術と同様にしてガー
バーデータを作成する。

【００３５】以上の処理を繰り返し、全ての塗り潰し領
域（パッド）をガーバーデータに変換すると、図２に示
すステップ１２の塗り潰し領域が残っているかの判断が
Ｎｏとなり、図４に示すステップ８８へ移行する。該ス
テップ８８では未処理の配線パターンが残っているかが
判断される。ここで、パッドＰ１５への配線パターンＬ
１が処理される際には（Ｓ８８がＹｅｓ）、まず、配線
パターンＬ１の太さが認識され（Ｓ９０）、そして、図
６（Ｇ）中にクロスマークで示すように、該配線パター
ンＬ１の始点・変換点・終点の座標が算出される。ここ
で、図中に示すように、半円部は多角形として処理さ
れ、それぞれの変化点が抽出される。全ての配線パター
ンについて処理が完了することにより（Ｓ８８がＮ
ｏ）、当該プロッタのメモリ用データへの変換が終了
し、ＣＡＤ用コンピュータのメモリに一旦保持される。

【００３６】この後、該コンピュータのメモリから、上
記変換されたＣＡＤデータがプロッタ側に転送され、該
プロッタ側のメモリに保持される。そして、プロッタ
が、該データをレーザ光走査用のデータに展開し、感光
性樹脂を塗布したフィルム上にレーザを露光する。この
フィルムのレーザ未露光部を溶剤で現像処理することに
よってフォトマスクを作成する。

【００３７】なお、本実施態様では、ＣＡＤデータ上で
角を有する際には正方形、長方形と判断して処理を進め
た。ここで、積極的に面取りされた矩形を「面取り矩
形」と概念し、積極的に面取りされていない矩形を正方
形、長方形と判断して処理を行っている点に注意された
い。これは、プリント板上に形成する上で、厳密に角部
を有するように正方形又は長方形のパットを形成するこ
とは不可能であるからである。

【００３８】また、上述した実施態様では、ＣＡＤデー
タをレーザプロッタによって処理する例を挙げたが、フ
ォトプロッタにて処理する際にも、上述したデータ処理
を好適に用いることができる。更に、本実施態様では、
形状を認識するに際して、先ず角部があるか否かを判断
してから形状を識別したが、かかる判断を行うことなく
直接に形状を識別することも可能である。

【００３９】

【００４０】

【発明の効果】 請求項１の発明では、角部を有さない図
形について、外周を形成する曲線に内包し得る最大径の
円形のアパーチャを選択してガーバーデータを作成す
る。他方、角部を有する矩形図形について、短辺以下の
辺を有する最大の正方形のアパーチャを選択してガーバ
ーデータを作成する。このため、角部を有さない図形に
対しても、また、角部を有する矩形図形に対しても、最
もデータ量が小さくなるようにガーバーデータを作成で
きる。従って、プロッタのメモリ側へ転送するデータの
総量を減少させることが可能となり、プロッタのメモリ
容量に関わらず効率の良いコンピュータ処理を行うこと
ができる。

【００４１】請求項２の発明では、円形及び長円につい
て外周を形成する曲線に内包し得る最大径の円形のアパ
ーチャを選択してガーバーデータを作成するため、円形
及び長円について、最もデータ量が小さくなるようにガ
ーバーデータを作成することが可能となる。

【００４２】請求項３の発明では、角部を有する図形、
及び、有さない図形についてガーバーデータを作成する
工程において、該図形と同一の形状及び大きさのアパー
チャが存在している際には、該アパーチャを選択して該
図形のガーバーデータを作成する。このため、同一形状
のアパーチャが存在する際には、最もデータ量が小さく
なるようにガーバーデータを作成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様に係るＣＡＤデータ作成時
の処理を示す工程図である。

【図２】実施態様に係るＣＡＤデータのプロッタメモリ
用データへの変換処理を示すフローチャートである。

【図３】実施態様に係るＣＡＤデータのプロッタメモリ
用データへの変換処理を示すフローチャートである。

【図４】実施態様に係るＣＡＤデータのプロッタメモリ
用データへの変換処理を示すフローチャートである。

【図５】図５（Ａ）は正方形のアパーチャを示す説明図
であり、図５（Ｂ）は円形のアパーチャを示す説明図で
あり、図５（Ｃ）は長円のアパーチャを示す説明図であ
り、図５（Ｄ）は長方形のアパーチャを示す説明図であ
る。

【図６】図６（Ａ）は円形のパッドを円形のアパーチャ
にてガーバーデータとする際の処理を示す説明図であ
り、図６（Ｂ）は長円のパッドを円形のアパーチャにて
処理する際の説明図であり、図６（Ｃ）は面取り矩形の
パッドを円形のアパーチャにて処理する際の説明図であ
り、図６（Ｄ）は長方形のパッドを正方形のアパーチャ
にて処理する際の説明図であり、図６（Ｅ）は正方形の
パッドを正方形のアパーチャにて処理する際の説明図で
あり、図６（Ｆ）は三角形のパッドを円形のアパーチャ
にて処理する際の説明図であり、図６（Ｇ）は配線パタ
ーンに対する処理を示す説明図である。

【図７】本実施態様の処理対象とされているＣＡＤデー
タにて内容の表示されたプリント板のパターンの平面図
である。

【図８】図８（Ａ）は、円形のパッドを円形のアパーチ
ャにてガーバーデータとする際の従来技術の処理を示す
説明図であり、図８（Ｂ）は従来技術にて処理対象とさ
れたプリント板のパターンの平面図である。

【符号の説明】

Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３ パッド ＳＱＥ１ 正方形アパーチャ ＣＩＲ１ 円形アパーチャ ＬＯＧ１ 長円アパーチャ ＲＥＱ１ 長方形アパーチャ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G06F 17/50 H05K 3/00 G03F 1/08

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＣＡＤ（Computer Aided Design Syste
   m) により作成されたプリント配線板の設計パターンの
   ＣＡＤデータから、フォトマスクを作成するためのアパ
   ーチャデータとガーバーデータとから成るプロッタ用の
   データに変換する方法において、 ＣＡＤデータで表されているそれぞれの図形が、塗り潰
   しを行う領域を有するか否かを判断する工程と、 塗り潰しを行う領域を有する図形について角部を有する
   か否かを判断する工程と、 角部を有さない図形について、外周を形成する曲線に内
   包し得る最大径の円形のアパーチャを選択してガーバー
   データを作成する工程と、 角部を有する矩形図形について、短辺長以下の辺を有す
   る最大の正方形のアパーチャを選択してガーバーデータ
   を作成する工程と、を有することを特徴とするフォトマ
   スクを作成する際のＣＡＤデータ変換方法。
2. 【請求項２】 前記角部を有さない図形についてガーバ
   ーデータを作成する工程において、円形及び長円につい
   て、外周を形成する曲線に内包し得る最大径の円形のア
   パーチャを選択してガーバーデータを作成することを特
   徴とする請求項１に記載のフォトマスクを作成する際の
   ＣＡＤデータ変換方法。
3. 【請求項３】 前記角部を有する図形、及び、有さない
   図形について、ガーバーデータを作成する工程におい
   て、該図形と同一の形状及び大きさのアパーチャの有無
   を判断し、同一のアパーチャが存在している際には、該
   アパーチャを選択して該図形のガーバーデータを作成す
   る工程を有することを特徴とする請求項１又は２のフォ
   トマスクを作成する際のＣＡＤデータ変換方法。