JP3135607U - Magnetic bearing type turbo molecular pump - Google Patents
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Abstract
【課題】モータロータの磁極位置と回転検出用ターゲットの位置とを、正確にかつ容易に位置決めすることができる磁気軸受式ターボ分子ポンプの提供。
【解決手段】アキシャル電磁石によりアキシャル方向に吸引されるロータディスク7は、回転軸3に着脱可能に取り付けられる。ロータディスク7の回転センサと対向する面には、回転検出用ターゲットである溝71と、溝71の位置を示すマーキング74とが形成されている。また、モータロータ41には、磁極位置を示すマーキング400が形成されている。マーキング74とマーキング400との位相が一致するようにロータディスク7を位置決めし、ナットで回転軸3に固定することにより、磁極位置と溝71の位置とを正確に位置合わせすることができ、演算による位相ズレの補正を行う必要がない。
【選択図】図5A magnetic bearing turbo molecular pump capable of accurately and easily positioning a magnetic pole position of a motor rotor and a position of a rotation detection target.
A rotor disk that is attracted in an axial direction by an axial electromagnet is detachably attached to a rotary shaft. On the surface of the rotor disk 7 facing the rotation sensor, a groove 71 as a rotation detection target and a marking 74 indicating the position of the groove 71 are formed. The motor rotor 41 is formed with a marking 400 indicating the magnetic pole position. By positioning the rotor disk 7 so that the phase of the marking 74 and the marking 400 are in phase and fixing the rotor disk 7 to the rotary shaft 3 with a nut, the position of the magnetic pole and the position of the groove 71 can be accurately aligned. There is no need to correct the phase shift due to.
[Selection] Figure 5
Description
本考案は、インダクタンス式ギャップセンサにより回転検出を行う磁気軸受式ターボ分子ポンプに関する。 The present invention relates to a magnetic bearing type turbo molecular pump that detects rotation by an inductance type gap sensor.
ターボ分子ポンプ(TMP)は、固定翼に対して回転翼が形成されたロータを高速回転することにより真空排気を行っている。ロータを回転駆動するモータとしては、DCブラシレスモータが知られている。一般的に、DCブラシレスモータでは、ロータの磁極を検知してロータの回転位置を検出するためにホール素子が用いられる。しかし、ホール素子は耐放射線性能および耐熱性がポンプ本体の他の部品に比べて劣るため、ホール素子に代えてインダクタンス式のギャップセンサを用いる技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。 The turbo molecular pump (TMP) performs evacuation by rotating at high speed a rotor on which rotor blades are formed with respect to fixed blades. A DC brushless motor is known as a motor for rotating the rotor. In general, in a DC brushless motor, a Hall element is used to detect the magnetic position of the rotor and detect the rotational position of the rotor. However, since the Hall element is inferior to other components of the pump body in terms of radiation resistance and heat resistance, a technique using an inductance type gap sensor instead of the Hall element has been proposed (for example, see Patent Document 1). .
この方式では、モータロータの磁極を直接検出する代わりに、回転軸に凹凸面を有するナットを回転軸の下端に装着し、その凹凸面と対向配置されたギャップセンサでギャップ変化を検出して回転位置を取得するようにしている。この場合、ナットの締め具合によって、モータロータの磁極位置に対して凹凸の位置(位相)がずれてしまうことがある。 In this method, instead of directly detecting the magnetic pole of the motor rotor, a nut having a concavo-convex surface on the rotating shaft is attached to the lower end of the rotating shaft, and a gap change is detected by a gap sensor arranged opposite to the concavo-convex surface to detect the rotational position. Like to get. In this case, the position (phase) of the unevenness may be deviated from the magnetic pole position of the motor rotor due to the tightening degree of the nut.
そのため、特許文献1に記載の技術では、モータロータの回転と同期して得られる凹凸検出信号を、回転速度情報および位相差情報に基づいて位相のズレを補正することにより回転位置信号を算出し、その回転位置信号によりモータ駆動信号を生成するようにしている。
Therefore, in the technique described in
しかしながら、従来技術のものでは、上述したように補正演算を行うため、信号処理が複雑になるとともに演算部への負荷が増大する。また、回路部のコストアップも招く。 However, in the prior art, since the correction calculation is performed as described above, the signal processing becomes complicated and the load on the calculation unit increases. In addition, the cost of the circuit unit is increased.
本考案は、磁気軸受により磁気浮上支持されたロータをDCブラスレスモータで回転駆動する磁気軸受式ターボ分子ポンプに適用され、ロータをその軸方向に支持するアキシャル電磁石と、ロータの回転軸に着脱可能に取り付けられるとともに、回転検出用ターゲットと該回転検出用ターゲットの位置を示すターゲット位置マークとが形成され、アキシャル電磁石によりアキシャル方向に吸引されるロータディスクと、DCブラスレスモータのモータロータに形成され、該モータロータの磁極位置を示す磁極位置マークと、ターゲット位置マークと磁極位置マークとの位相が一致するようにロータディスクを位置決めして回転軸に固定する固定手段と、ロータディスクの回転検出用ターゲットが形成された面に対向するように配置されたインダクタンス式ギャップセンサとを備え、ギャップセンサの出力に基づいてモータロータの磁極位置を検出し、DCブラシレスモータを回転駆動することを特徴とする。
回転検出用ターゲットに起因するロータディスクのアンバランスを補償するダミーターゲットを、ロータディスクに設けるのが好ましい。
また、回転検出用ターゲットを、ロータディスクの表面に設けた回転検出用段差で構成しするようにしても良い。
その場合、ダミーターゲットを、ロータディスクの回転検出用段差が形成された面と反対側の面に180degだけ位相をずらして形成し、回転検出用段差と同一形状の段差で構成するようにしても良い。
また、回転検出用ターゲットを、ロータディスクと透磁率が異なる部材で形成しても良い。
The present invention is applied to a magnetic bearing type turbo molecular pump in which a rotor that is magnetically levitated and supported by a magnetic bearing is driven to rotate by a DC brassless motor. The rotation detection target and the target position mark indicating the position of the rotation detection target are formed and formed on the rotor disk attracted in the axial direction by the axial electromagnet and the motor rotor of the DC brassless motor. A magnetic pole position mark indicating the magnetic pole position of the motor rotor, a fixing means for positioning the rotor disk so that the phases of the target position mark and the magnetic pole position mark coincide with each other and fixing the rotor disk to the rotating shaft, and a target for detecting the rotation of the rotor disk The ins are arranged to face the surface where the And a reactance-type gap sensor to detect the magnetic pole position of the motor rotor based on the output of the gap sensor, characterized by rotating the DC brushless motor.
The rotor disk is preferably provided with a dummy target that compensates for the rotor disk imbalance caused by the rotation detection target.
Further, the rotation detection target may be constituted by a rotation detection step provided on the surface of the rotor disk.
In that case, the dummy target may be formed by shifting the phase by 180 degrees on the surface opposite to the surface on which the rotation detection step of the rotor disk is formed, and having a step having the same shape as the rotation detection step. good.
Further, the rotation detection target may be formed of a member having a magnetic permeability different from that of the rotor disk.
本考案によれば、モータロータの磁極位置と回転検出用ターゲットの位置とを、正確にかつ容易に位置決めすることができ、磁極位置と回転検出用ターゲットとの位相ズレを補正演算することなくモータロータの磁極位置を検出することができる。 According to the present invention, the magnetic pole position of the motor rotor and the position of the rotation detection target can be accurately and easily positioned, and the correction of the phase deviation between the magnetic pole position and the rotation detection target can be corrected without calculation. The magnetic pole position can be detected.
以下、図を参照して本考案による真空ポンプの実施の形態について説明する。図1は、磁気軸受式ターボ分子ポンプのポンプユニット1の概略構成を示す断面図である。本実施の形態におけるターボ分子ポンプは、図1に示すポンプユニット1と、それを駆動制御するコントロールユニット(不図示)とで構成される。
Embodiments of a vacuum pump according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a
図1に示すターボ分子ポンプは広域型ターボ分子ポンプと称されるものであって、上流側のタービン翼部Tと下流側のモレキュラードラッグポンプ部Dとを備えている。モレキュラードラッグポンプ部Dは、ネジ溝ポンプ部とも呼ばれている。タービン翼部Tは、図示上下方向に設けられた複数段の回転翼20および固定翼21により構成される。回転翼20と固定翼21とは交互に配設されており、各固定翼21は、スペーサ22によって上下に挟持されるように保持されている。スペーサ22は、固定翼21を保持する機能とともに、固定翼21間のギャップを所定間隔に維持する機能を有している。
The turbo molecular pump shown in FIG. 1 is called a wide-area turbo molecular pump, and includes an upstream turbine blade portion T and a downstream molecular drag pump portion D. The molecular drag pump part D is also called a thread groove pump part. The turbine blade portion T is composed of a plurality of stages of rotating
一方、モレキュラードラッグポンプ部Dは、回転円筒部23と固定円筒部24とにより構成される。回転円筒部23は固定円筒部24の内周面に近接して設けられており、固定円筒部24の内周面には螺旋溝が形成されている。モレキュラードラッグポンプ部Dでは、固定円筒部24の螺旋溝と高速回転する回転円筒部23とにより、粘性流による排気機能が発生する。
On the other hand, the molecular drag pump part D is composed of a rotating
上述した回転翼20および回転円筒部23は、高速回転するロータ2に形成されている。ロータ2は、回転軸3に取り付けられている。回転軸3にはDCブラシレスモータ4のモータロータ41が装着されており、モータロータ41には永久磁石が設けられている。一方、ポンプベース5側には、回転磁界を形成するためのU相巻線,V相巻線およびW相巻線を有するモータステータ42が設けられている。
The
また、回転軸3は電磁石61,62,63によって磁気浮上支持される。電磁石61,62はラジアル磁気軸受を構成し、電磁石63はアキシャル磁気軸受を構成している。回転軸3の下端部には円形のロータディスク7が設けられており、電磁石63はロータディスク7を上下から挟むように設けられている。このロータディスク7を電磁石63で吸引することにより、回転軸3がアキシャル方向に浮上する。
Further, the rotating
ロータディスク7はナット8により回転軸3の下端部に固定されており、回転軸3と一体で回転する。回転軸3の浮上位置は、ラジアル変位センサ91,92およびアキシャル変位センサ93によって検出される。ロータディスク7と対向する位置には、回転軸3の回転を検出するための回転センサ10が設けられている。なお、ポンプ停止時(磁気浮上停止時)や停電時には、回転軸3は保護用のメカニカルベアリング11,12によって支持される。
The
図2は、ロータディスク7の形状を示す図であり、(a)はメカニカルベアリング11,12側の面(以下、裏面と呼ぶ)を、(b)は断面を、(c)は回転センサ10に対向する面(以下、ターゲット面と呼ぶ)をそれぞれ示している。ロータディスク7のターゲット面の回転センサ10が対向する領域には、回転検出用ターゲットとして半円状の溝71が形成されている。一方、ロータディスク7の裏面には、ロータディスク7の重心がディスク中央に位置するように、溝71と同一形状の溝72が位相差180degで形成されている。また、裏面側には、孔73に回転軸3を通してロータディスク7を装着する際の、位置決め用のマーキング74が設けられている。例えば、裏面の所定位置にケガキ線を付けて、マーキング74とする。
2A and 2B are diagrams showing the shape of the
図3は回転センサ10とロータディスク7を示す図である。回転センサ10はロータディスク7とのギャップを検出して回転軸3の回転数を検出するためのセンサであり、本実施の形態ではインダクタンス式のセンサが用いられている。回転センサ10は、珪素鋼板やフェライトなどの透磁率の大きなコアとその周囲に巻かれたコイルとで構成される。
FIG. 3 is a view showing the
回転センサ10のコイルには、一定周波数・一定振幅の高周波電圧が搬送波として印加される。回転センサ10のコアから出た磁力線は、対向配置されたロータディスク7を通ってコアへと戻る。そのため、ロータディスク7と回転センサ10と間のギャップ寸法が変化すると、その変化によって回転センサ10のインダクタンスが変化する。
A high frequency voltage having a constant frequency and a constant amplitude is applied to the coil of the
ロータディスク7のターゲット面には角度範囲180degの溝71が形成されているので、回転センサ10が溝71に対向したときのインダクタンスは、溝71の無い面と対向した場合に比べて小さくなる。そのため、回転軸3と一体にロータディスク7が回転すると、インダクタンス変化によって搬送波は振幅変調され、図4に示すようなAM変調波が回転信号として回転センサ10から出力される。このAM変調波を復調処理することで、太い実線で示すような復調波が得られる。
Since the
そして、復調波を所定の閾値を用いてHigh−Low判定することにより、溝71に対応する信号(Low信号)と溝でない部分に対応する信号(High信号)が交互に現れる、矩形波信号が得られる。この矩形波信号の立ち上がりおよび立ち下がりを利用して、モータ4のステータコイルの励磁パターンを生成し、モータ4を回転駆動制御する。このように、ロータディスク7の溝71を検出して回転軸3の回転位置を検出して磁極位置を推定しているので、モータロータ41の磁極位置に対して溝71の位置を正確に位置決めしておく必要がある。
A rectangular wave signal in which a signal corresponding to the groove 71 (Low signal) and a signal corresponding to a non-groove portion (High signal) appear alternately by making a high-low determination using a predetermined threshold for the demodulated wave can get. Using the rising and falling edges of the rectangular wave signal, an excitation pattern of the stator coil of the
図5は、ロータディスク7の回転軸3への装着手順を説明する図である。まず、モータロータ41を回転軸3に取り付ける前に、磁極確認のためのマーキング400をモータロータ41に施す。例えば、N極のピーク位相となる位置にケガキ線を施す。次に、回転軸31にモータロータ41を取り付けた後に、回転軸3にもマーキング400と同位相のマーキング31を施す。例えば、図4に示すように、回転軸3の下端のナット取り付け用ネジ部の端面にポンチを打つ。
FIG. 5 is a diagram for explaining a procedure for mounting the
一方、ロータディスク7には、図3で示したようなマーキング74を予め施しておく(図5の破線で示す)。このマーキング74は、モータロータ41のマーキング400と同位相となるべき位置に形成される。ロータディスク7を回転軸3に挿入する際には、マーキング74が回転軸3のマーキング31と一致するように挿入し、さらに、モータロータ41のマーキング400と一致するように位置決めし、ナット8で固定する(図1参照)。
On the other hand, the marking 74 as shown in FIG. 3 is applied to the
従来は、ナット8に段差を形成して、それを回転センサ10で検出するようにしていたため、ナット8の締め具合によって段差の位相がずれてしまい、制御側で複雑な信号処理をすることで補正していた。そのため、演算負荷の増大という問題があった。一方、本実施の形態では、ロータディスク7に溝71を形成して回転センサ10のターゲットとして使用したので、ロータディスク7を回転軸3に固定する際に溝71とモータロータ41の磁極位置とを正確に位置決めすることができる。
Conventionally, since a step is formed in the
その際、マーキング400およびマーキング74を施すことにより、位置決めを簡単に行うことができる。さらに、ロータディスク7に溝71を形成するようにしたので、回転センサ10のターゲットとして新たな部品を回転軸3に付加する必要がないので、コストアップを抑えるとともに、ロータ軸の大型化を防止することができる。さらに、従来の回転検出回路を変更することなく、そのまま適用することができる。
At this time, the positioning can be easily performed by applying the marking 400 and the marking 74. Furthermore, since the
また、モータロータ41を回転軸3に取り付ける場合には圧入等が用いられるので、回転軸3に対して磁極位置が正確に位置決めされるようにモータロータ41を取り付けるのは難しい。本実施の形態では、ロータディスク7を回転軸3に取り付ける際に角度調整が可能なので、磁極位置と溝71の位置とを正確に合わせることができる。
In addition, when the
なお、上述した実施の形態では、回転検出用ターゲットとしてロータディスク7に溝71を形成したが、図6に示すように凸部75を形成しても良い。この場合も、回転時のバランスを考慮して、裏面側に180deg位相をずらした凸部76を形成する。ロータディスク7の他の例としては、ロータディスク7と透磁率の異なるターゲット部材を、ロータディスク7のターゲット面に埋め込むように設けても良い。また、本考案の特徴を損なわない限り、本考案は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。
In the above-described embodiment, the
1 ポンプユニット
2 ロータ
3 回転軸
4 モータ
7 ロータディスク
8 ナット
10 回転センサ
31,74,400 マーキング
41 モータロータ
42 モータステータ
71,72 溝
75,76 凸部
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記ロータをその軸方向に支持するアキシャル電磁石と、
前記ロータの回転軸に着脱可能に取り付けられるとともに、回転検出用ターゲットと該回転検出用ターゲットの位置を示すターゲット位置マークとが形成され、前記アキシャル電磁石によりアキシャル方向に吸引されるロータディスクと、
前記DCブラスレスモータのモータロータに形成され、該モータロータの磁極位置を示す磁極位置マークと、
前記ターゲット位置マークと前記磁極位置マークとの位相が一致するように前記ロータディスクを位置決めして前記回転軸に固定する固定手段と、
前記ロータディスクの前記回転検出用ターゲットが形成された面に対向するように配置されたインダクタンス式ギャップセンサとを備え、
前記ギャップセンサの出力に基づいて前記モータロータの磁極位置を検出し、前記DCブラシレスモータを回転駆動することを特徴とする磁気軸受式ターボ分子ポンプ。 In a magnetic bearing type turbo molecular pump that rotationally drives a rotor supported magnetically levitated by a magnetic bearing by a DC brassless motor
An axial electromagnet that supports the rotor in its axial direction;
A rotor disk that is detachably attached to the rotation shaft of the rotor, a rotation detection target and a target position mark indicating the position of the rotation detection target are formed, and is attracted in the axial direction by the axial electromagnet;
A magnetic pole position mark formed on a motor rotor of the DC brassless motor and indicating a magnetic pole position of the motor rotor;
Fixing means for positioning the rotor disk and fixing it to the rotating shaft so that the phase of the target position mark and the magnetic pole position mark match;
An inductance type gap sensor arranged so as to face the surface on which the rotation detection target of the rotor disk is formed;
A magnetic bearing type turbo molecular pump that detects a magnetic pole position of the motor rotor based on an output of the gap sensor and rotationally drives the DC brushless motor.
前記回転検出用ターゲットに起因する前記ロータディスクのアンバランスを補償するダミーターゲットを、前記ロータディスクに設けたことを特徴とする磁気軸受式ターボ分子ポンプ。 In the magnetic bearing type turbo molecular pump according to claim 1,
A magnetic bearing type turbo molecular pump, wherein a dummy target that compensates for an unbalance of the rotor disk caused by the rotation detection target is provided on the rotor disk.
前記回転検出用ターゲットを、前記ロータディスクの表面に設けた回転検出用段差で構成したことを特徴とする磁気軸受式ターボ分子ポンプ。 In the magnetic bearing type turbo molecular pump according to claim 2,
A magnetic bearing type turbo molecular pump, wherein the rotation detection target is constituted by a rotation detection step provided on a surface of the rotor disk.
前記ダミーターゲットを、前記ロータディスクの前記回転検出用段差が形成された面と反対側の面に180degだけ位相をずらして形成され、前記回転検出用段差と同一形状の段差で構成したことを特徴とする磁気軸受式ターボ分子ポンプ。 In the magnetic bearing type turbo molecular pump according to claim 3,
The dummy target is formed of a step having the same shape as the step for rotation detection, formed on the surface opposite to the surface on which the step for rotation detection of the rotor disk is formed with a phase shift of 180 deg. Magnetic bearing type turbo molecular pump.
前記回転検出用ターゲットを、前記ロータディスクと透磁率が異なる部材で形成したことを特徴とする磁気軸受式ターボ分子ポンプ。 In the magnetic bearing type turbo molecular pump according to claim 1 or 2,
A magnetic bearing turbomolecular pump, wherein the rotation detection target is formed of a member having a magnetic permeability different from that of the rotor disk.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007005362U JP3135607U (en) | 2007-07-12 | 2007-07-12 | Magnetic bearing type turbo molecular pump |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007005362U JP3135607U (en) | 2007-07-12 | 2007-07-12 | Magnetic bearing type turbo molecular pump |
Publications (1)
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JP (1) | JP3135607U (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010096098A (en) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Shimadzu Corp | Vacuum pump |
-
2007
- 2007-07-12 JP JP2007005362U patent/JP3135607U/en not_active Expired - Fee Related
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