JP3135359U

JP3135359U - Handling device

Info

Publication number: JP3135359U
Application number: JP2007005033U
Authority: JP
Inventors: 栄小野
Original assignee: ホーエイテック株式会社
Priority date: 2007-07-02
Filing date: 2007-07-02
Publication date: 2007-09-13
Anticipated expiration: 2017-07-02

Abstract

【課題】容易に被ハンドリング体の向きを変えることができ、利便性の高いハンドリング装置を提供すること。
【解決手段】一対のアームと、各アームの先端側にそれぞれ設けられた被ハンドリング体を挟持する挟持部と、挟持部間の距離が接近あるいは離間するよう一対のアームを可動操作する可動操作部と、を備えたハンドリング装置であって、各挟持部が設けられた各アームの先端側がそれぞれアーム本体側に対して屈曲可動可能なよう、各アームを形成した。
【選択図】図１
An object of the present invention is to provide a highly convenient handling device that can easily change the direction of an object to be handled.
SOLUTION: A pair of arms, a sandwiching part for sandwiching a to-be-handled body provided on the tip side of each arm, and a movable operation part for moving the pair of arms so that the distance between the sandwiching parts approaches or separates. Each arm is formed so that the distal end side of each arm provided with each clamping portion can be bent and moved with respect to the arm main body side.
[Selection] Figure 1

Description

本考案は、ハンドリング装置にかかり、特に、フォトマスク基板等の板状部材を教示して搬送する際に用いるハンドリング装置に関する。 The present invention relates to a handling device, and more particularly to a handling device used when teaching and transporting a plate-like member such as a photomask substrate.

半導体プロセスで使用されるフォトマスク用ガラス基板は、透明基板上に微細加工された遮光膜パターンが形成されたものが代表的である。そして、半導体プロセスにおいて、フォトマスク用ガラス基板は、遮光膜を成膜する成膜装置、遮光膜上にレジストを塗布する塗布装置、レジスト膜にパターン描画を施す描画装置、レジストを現像する現像装置、遮光膜をエッチングするエッチング装置、洗浄装置、各種検査装置など、多数の装置を経由する。このとき、各装置は、処理部へ移送するための移送手段（ローダー）を備えているのが一般的であるが、装置どうしを連結する連結移送手段を備えていない場合がある。かかる場合には、作業者が、ハンドリング治具を用いてフォトマスク用ガラス基板を保持して移動させ、各装置の移送手段に配置している。また、フォトマスク用ガラス基板がケースなどに収納されている場合には、かかるケースから取り出す際にもハンドリング治具が用いられる。 A typical glass substrate for a photomask used in a semiconductor process is one in which a light-shielding film pattern finely processed is formed on a transparent substrate. In a semiconductor process, a glass substrate for a photomask is a film forming apparatus for forming a light shielding film, a coating apparatus for applying a resist on the light shielding film, a drawing apparatus for pattern drawing on the resist film, and a developing apparatus for developing the resist. It passes through a number of devices such as an etching device for etching the light shielding film, a cleaning device, and various inspection devices. At this time, each apparatus is generally provided with a transfer means (loader) for transferring to the processing unit, but may not be provided with a connected transfer means for connecting the apparatuses. In such a case, the operator holds and moves the photomask glass substrate using a handling jig and arranges it on the transfer means of each apparatus. When the glass substrate for photomask is stored in a case or the like, a handling jig is also used when taking out from the case.

そして、上記フォトマスク用ガラス基板は、例えば、縦寸法×横寸法×厚さが、約１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×７ｍｍであり、重量が約３００ｇである。このフォトマスク基板を、ハンドリング治具を用いて保持し移動させる際、通常、作業者は、フォトマスク基板が保持されたハンドリング治具を片手で持つこととなる。また、保持されたフォトマスク基板を移送手段に配置する際には、フォトマスク基板を位置決めする必要があり、ハンドリング治具は、被ハンドリング体を保持した状態において、操作性に優れている必要がある。以上のことから、様々なハンドリング治具が開発されている。 The photomask glass substrate has, for example, a vertical dimension × horizontal dimension × thickness of about 150 mm × 150 mm × 7 mm and a weight of about 300 g. When this photomask substrate is held and moved using a handling jig, the operator usually holds the handling jig holding the photomask substrate with one hand. Further, when the held photomask substrate is placed on the transfer means, it is necessary to position the photomask substrate, and the handling jig needs to be excellent in operability in the state where the object to be handled is held. is there. From the above, various handling jigs have been developed.

例えば、特許文献１には、略正方形のフォトマスク基板の端面を、２本のアームにて幅方向に挟持するハンドリング治具が開示されている。このハンドリング治具は、各アームの先端に、アームの長手方向に対して垂直な溝を有する保持部を備えている。これにより、アームの長手方向に対して垂直に、つまり、保持部の溝に沿ってフォトマスク基板といった被ハンドリング体を保持して、搬送することができる。また、特許文献２には、アームが途中で湾曲して形成されたハンドリング治具が開示されている。 For example, Patent Document 1 discloses a handling jig for holding an end face of a substantially square photomask substrate in the width direction by two arms. This handling jig includes a holding portion having a groove perpendicular to the longitudinal direction of the arm at the tip of each arm. Accordingly, the object to be handled such as the photomask substrate can be held and transported perpendicular to the longitudinal direction of the arm, that is, along the groove of the holding portion. Patent Document 2 discloses a handling jig in which an arm is curved in the middle.

特開２００６−１０８１５６号公報JP 2006-108156 A 特開２０００−１７４１０７号公報JP 2000-174107 A

しかしながら、上述した特許文献に開示のハンドリング装置では、水平な平面上に載置されている状態の被ハンドリング体を保持したり、あるいは、保持している被ハンドリング体を水平な平面上に載置する場合に特に適しているものの、保持した状態から搬送する際に被ハンドリング体の向きを変える場合には、被ハンドリング体を保持した状態でハンドリング治具の向きを変えなければならない。例えば、ケースなどに収容されていて、垂直状態に位置している被ハンドリング体を取り出した後に、水平面上に載置するような場合には、作業者がハンドリング治具を把持している手をひねって治具自体の向きを変えることで被ハンドリング体の向きを変える必要がある。すると、操作に手間がかかると共に、かかる操作によって被ハンドリング体の把持状態が変化するため、被ハンドリング体の載置時の位置のずれや、治具からの脱落、といった問題が生じる。 However, in the handling device disclosed in the above-described patent document, the object to be handled that is placed on a horizontal plane is held, or the object to be handled that is held is placed on a horizontal plane. However, when the direction of the object to be handled is changed when transporting from the held state, the direction of the handling jig must be changed while the object to be handled is held. For example, when the object to be handled that is housed in a case or the like and is placed in a vertical state is taken out and placed on a horizontal surface, the operator holds the hand holding the handling jig. It is necessary to change the direction of the object to be handled by twisting and changing the direction of the jig itself. Then, the operation takes time and the gripping state of the object to be handled is changed by such an operation, which causes problems such as displacement of the position of the object to be handled and dropping from the jig.

このため、本考案では、容易に被ハンドリング体の向きを変えることができ、利便性の高いハンドリング装置を提供することをその目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a highly convenient handling device that can easily change the orientation of the object to be handled.

そこで、本考案の一形態は、
一対のアームと、各アームの先端側にそれぞれ設けられた被ハンドリング体を挟持する挟持部と、挟持部間の距離が接近あるいは離間するよう一対のアームを可動操作する可動操作部と、を備えたハンドリング装置であって、各挟持部が設けられた各アームの先端側がそれぞれアーム本体側に対して屈曲可動可能なよう、各アームを形成した、という構成を採っている。そして、本考案では、特に、各挟持部が設けられた各アームの先端側が、一対のアームが位置する面に対して少なくとも９０度以上屈曲可動可能なよう、各アームを形成した、という構成を採る。 Therefore, one form of the present invention is
A pair of arms; a sandwiching portion that sandwiches a to-be-handled body provided on each distal end side of each arm; and a movable operation unit that movably operates the pair of arms so that the distance between the sandwiching portions approaches or separates. The handling device is configured such that each arm is formed such that the distal end side of each arm provided with each clamping portion can be bent with respect to the arm main body side. In the present invention, in particular, the configuration is such that each arm is formed so that the distal end side of each arm provided with each clamping portion can be bent at least 90 degrees or more with respect to the surface on which the pair of arms are located. take.

上記構成のハンドリング装置によると、まず、可動操作部を操作することで一対のアームを可動し、各アームの先端側に設けられた各挟持部を近接させることで、被ハンドリング体を挟持する。これにより、ハンドリング装置にて被ハンドリング体を保持して搬送することができる。そして、搬送先などにおいて各アームの先端側を屈曲可動することで、挟持部間で挟持している被ハンドリング体の向きを変えることができる。例えば、被ハンドリング体の向きを、水平状態から当該水平に対して垂直状態に、あるいは、水平に対して垂直状態から水平状態にと、容易に９０度変えることができる。従って、作業者の利便性の向上、及び、被ハンドリング体に対する作業効率の向上を図ることができる。 According to the handling device having the above-described configuration, first, the pair of arms is moved by operating the movable operation unit, and the to-be-handled body is held by bringing the holding units provided on the distal end side of each arm close to each other. Thereby, a to-be-handled body can be hold | maintained and conveyed with a handling apparatus. And the direction of the to-be-handled body clamped between clamping parts can be changed by bending-moving the front end side of each arm in a conveyance destination etc. For example, the orientation of the object to be handled can be easily changed by 90 degrees from a horizontal state to a state perpendicular to the horizontal, or from a state perpendicular to the horizontal to a horizontal state. Therefore, it is possible to improve the convenience of the worker and improve the working efficiency for the object to be handled.

また、本考案では、上記各アームは、屈曲箇所にて相互に回動可能に軸支された、アーム本体側に位置するアーム本体部と、挟持部が設けられた回動部と、をそれぞれ備えると共に、アーム本体部と回動部との相互間に引張り力を付勢する引張り力付勢部材を各アームに設けた、という構成を採る。これにより、アームの先端側を屈曲させる際に、挟持部が設けられた回動部が引張り力付勢部材にてアーム本体側に引張られ、これにより、回動部が軸支箇所を支点に回動する。従って、アームの屈曲可動動作が円滑となる。 Further, in the present invention, each of the arms includes an arm main body portion located on the arm main body side that is pivotally supported at a bending portion, and a rotating portion provided with a clamping portion, respectively. In addition, a configuration is adopted in which each arm is provided with a tensile force urging member that urges a tensile force between the arm main body portion and the rotating portion. Thereby, when bending the distal end side of the arm, the rotating part provided with the clamping part is pulled to the arm main body side by the pulling force urging member, so that the rotating part uses the pivot point as a fulcrum. Rotate. Therefore, the bending movement operation of the arm becomes smooth.

また、本考案では、少なくとも一方のアームに、当該アームを構成するアーム本体部に対する回動部の位置を固定するアーム固定手段を備えた、という構成を採る。これにより、アームを屈曲させていない状態、あるいは、屈曲させた状態で固定することができ、被ハンドリング体の挟持、搬送、開放などの操作の安定化を図ることができる。 Moreover, in this invention, the structure that the arm fixing means which fixes the position of the rotation part with respect to the arm main-body part which comprises the said arm was provided in at least one arm. As a result, the arm can be fixed in an unbent state or a bent state, and operations such as clamping, transporting, and opening of the object to be handled can be stabilized.

また、本考案では、少なくとも一方のアームに、当該アームを構成する回動部に連結すると共に当該回動部から突出し、外部から操作することによって当該回動部に屈曲させる力を付勢することが可能な屈曲操作部を備えた、という構成を採る。これにより、アームから突出して回動部に連結している屈曲操作部を操作することで、容易にアームを屈曲させることができ、屈曲操作が容易となる。 Further, in the present invention, at least one arm is connected to the rotating portion constituting the arm, protrudes from the rotating portion, and biases a force for bending the rotating portion by operating from the outside. A configuration is provided in which a bending operation unit is provided. Thereby, by operating the bending operation part which protrudes from the arm and is connected to the rotating part, the arm can be easily bent, and the bending operation becomes easy.

また、本考案では、可動操作部は、各アームにそれぞれ連結し一対のアームを可動する一対のレバー部と、この一対のレバー部の相互間の相対位置を固定する固定手段と、を備えた、という構成を採る。これにより、固定手段にて一対のレバー部の相互間の位置を固定することで、連結している各アームの先端側、つまり、挟持部間の距離が固定される。従って、アームによる被ハンドリング体の挟持状態を安定させることができ、アームの先端側を曲折させる操作を安定かつ容易に行うことができる。 Further, in the present invention, the movable operation unit includes a pair of lever portions that are respectively connected to the respective arms to move the pair of arms, and a fixing unit that fixes a relative position between the pair of lever portions. The configuration is taken. Thereby, the position between the pair of lever portions is fixed by the fixing means, so that the distance between the distal end sides of the connected arms, that is, the holding portions is fixed. Therefore, it is possible to stabilize the sandwiched state of the object to be handled by the arm, and it is possible to stably and easily perform the operation of bending the distal end side of the arm.

さらに、本考案では、可動操作部は、各アームにそれぞれ連結し当該各アームを可動する一対のレバー部を備え、一方のアームに連結する一方のレバー部に、一方のアームを固定装備可能であり他方のアームに対する距離が異なる複数の固定装着箇所を形成した、という構成を採る。このとき、一対のアームの間に位置する固定装着箇所に、当該一対のアームにて挟持される被ハンドリング体の周囲の一部が当接する支持部材を設けた、という構成を採る。これにより、複数設けられた固定装着箇所のうち１箇所に一方のアームを固定することで、一対のアーム間の基本的な距離を変化させることができ、あらゆる大きさの基板に対応することができる。また、一対のアーム間に位置する空いた固定装着箇所に、被ハンドリング体が当接する支持部材を装備することで、ハンドリング時の被ハンドリング体をアーム以外で支持することができ、挟持状態の安定化を図ることができる。 Further, according to the present invention, the movable operation unit includes a pair of lever portions that are connected to each arm and movable, and one arm can be fixedly installed on one lever portion that is connected to one arm. A configuration is adopted in which a plurality of fixed mounting portions having different distances from the other arm are formed. At this time, a configuration is adopted in which a support member with which a part of the periphery of the object to be handled held by the pair of arms abuts is provided at a fixed mounting position located between the pair of arms. This makes it possible to change the basic distance between a pair of arms by fixing one arm to one of a plurality of fixed mounting locations, and to support substrates of all sizes. it can. In addition, by installing a support member that contacts the object to be handled at the vacant fixed mounting position located between the pair of arms, the object to be handled can be supported by other than the arm at the time of handling. Can be achieved.

本考案は、以上のように構成されているため、これによると、保持している被ハンドリング体の向きを容易に変えることができ、作業者の利便性の向上、及び、被ハンドリング体に対する作業効率の向上を図ることができる、という従来にない優れた効果を有する。 Since the present invention is configured as described above, according to the present invention, the orientation of the object to be handled can be easily changed, the convenience of the operator is improved, and the work on the object to be handled is performed. It has an unprecedented excellent effect that the efficiency can be improved.

本考案のハンドリング装置は、被ハンドリング体を保持するアームの先端側が屈曲可能に形成されており、これにより、被ハンドリング体の向きを変えることができる、という点に特徴を有する。以下、ハンドリング装置の具体的な構成及び動作を実施例にて説明する。なお、実施例では、被ハンドリング体の一例としてフォトマスク用ガラス基板（以下、「フォトマスク基板」と呼ぶ）を挙げて説明するが、被ハンドリング体はこれに限定されず、シリコンウエハなど他の部材であってもよい。 The handling device of the present invention is characterized in that the distal end side of the arm that holds the object to be handled is formed to be able to bend, whereby the direction of the object to be handled can be changed. Hereinafter, a specific configuration and operation of the handling device will be described with reference to examples. In the embodiment, a glass substrate for a photomask (hereinafter referred to as “photomask substrate”) will be described as an example of the object to be handled. It may be a member.

本考案の第１の実施例を、図１乃至図５を参照して説明する。図１乃至２は、ハンドリング装置を示す斜視図である。図３乃至図４は、ハンドリング装置の正面図であり、図５は図４の左側面図を示す。 A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2 are perspective views showing a handling device. 3 to 4 are front views of the handling device, and FIG. 5 is a left side view of FIG.

［構成］
図１、図３に示すように、本実施例におけるハンドリング装置は、棒状部材の組み合わせにて構成されている。具体的には、主に、略直線状のベース部材３と、このベース部材３の先端側に固定装着される第一のアーム１と、ベース部材３に交差して相互に軸支された第二のアーム部材２と、を備えている。以下、詳述する。 [Constitution]
As shown in FIGS. 1 and 3, the handling device in the present embodiment is configured by a combination of rod-shaped members. Specifically, mainly, a substantially linear base member 3, a first arm 1 fixedly mounted on the distal end side of the base member 3, and a first arm 1 that is pivotally supported across the base member 3. And two arm members 2. Details will be described below.

ベース部材３は、保持対象となるフォトマスク基板５の一辺よりも長い直線状の角棒部材にて形成されている。そして、ベース部材３の一面には、そのほぼ中央付近から一端側（図３で左端部側）にかけて、任意の間隔で複数の凹部３１（固定装着箇所）が形成されている。これら凹部３１は、角棒部材であるベース部材３の一辺（図３で下側の面）上に、長手方向に垂直な方向に沿って略コ字状の溝を彫ることで形成されている。また、これら凹部３１の底面（図３では上側の面）には、反対側に貫通するねじ穴がそれぞれ形成されている。これにより、凹部３１には、後述するように第一のアーム１を構成する第一アーム本体部１１の端部が嵌合してねじ止め可能となる。特に、ベース部材３の一端側に近い凹部３１には第一アーム本体部１１が装着され、それ以外の凹部３１、つまり、第一のアーム１と第二のアーム２との間に位置する凹部３１には、当該凹部３１から少しだけ突出する略直方体形状の突出片３２（支持部材）がねじ止めされて固定装着される。なお、この突出片３２は、後述するように、ハンドリング装置にて保持するフォトマスク基板５の周囲の一部に当接して、保持状態を安定させる機能を有する（図３参照）。 The base member 3 is formed of a linear square bar member that is longer than one side of the photomask substrate 5 to be held. A plurality of concave portions 31 (fixed mounting locations) are formed on one surface of the base member 3 at an arbitrary interval from approximately the center to one end side (left end portion side in FIG. 3). These recesses 31 are formed by carving a substantially U-shaped groove on one side (the lower surface in FIG. 3) of the base member 3 that is a square bar member along a direction perpendicular to the longitudinal direction. . In addition, screw holes penetrating to the opposite side are formed in the bottom surfaces (upper surfaces in FIG. 3) of the recesses 31, respectively. Thereby, the edge part of the 1st arm main-body part 11 which comprises the 1st arm 1 is fitted to the recessed part 31, and it becomes screwable so that it may mention later. In particular, the first arm main body 11 is mounted on the recess 31 close to one end of the base member 3, and the other recess 31, that is, the recess positioned between the first arm 1 and the second arm 2. A substantially rectangular parallelepiped protruding piece 32 (supporting member) that protrudes slightly from the recess 31 is fixedly attached to 31 by screwing. As will be described later, this protruding piece 32 has a function of abutting a part of the periphery of the photomask substrate 5 held by the handling device and stabilizing the holding state (see FIG. 3).

また、ベース部材３の中央よりも他端側（図３で右端部側）には、第二のアーム部材２がほぼ直交して軸支されている。なお、この軸支部分は、ベース部材３及び第二のアーム部材２共に、その幅（厚さ）が半分に形成されており、相互に重ね合わせて軸支されている。そして、ベース部材３の軸支部分よりも他端側（図３で右端部側）は、作業者にて把持される第一のレバー部３０（一方のレバー部）として機能する。 Further, the second arm member 2 is pivotally supported substantially orthogonally to the other end side (right end side in FIG. 3) from the center of the base member 3. It should be noted that both the base member 3 and the second arm member 2 have half the width (thickness) of the shaft support portion, and are supported by being overlapped with each other. The other end side (the right end portion side in FIG. 3) of the base member 3 functions as a first lever portion 30 (one lever portion) held by the operator.

また、第一のアーム１は、ベース部材３の先端付近に形成された凹部３１にほぼ直角に一端が固定装着された第一アーム本体部１１と、このアーム本体部１１の他端に回動可能に軸支された第一回動部１２と、により構成されている。具体的には、図１及び図３に示すように、第一アーム本体部１１と第一回動部１２とは、ほぼ同じ長さの角棒部材にて形成されており、一直線状に各端部で連結されている。このとき、第一アーム本体部１１及び第一回動部１２の各端部は、その厚さが相互に半分に形成されており、この厚みが薄く形成された部分が重なり合って軸支され、連結されている。これにより、この軸支箇所によって、第一回動部１２が第一アーム本体部１１に対して屈曲可能となっている。特に、ベース部材３と第一アーム本体部１１とによって形成される平面に対して少なくとも直角となる位置まで回動するよう軸支されている。さらに、第一アーム本体部１１と第一回動部１２との外側、つまり、第二のアーム２とは反対側に位置する面には、引張りバネ１５（引張り力付勢部材）が連結されており、第一アーム本体部１１と第一回動部１２との相互間に引張り力を付勢している。 In addition, the first arm 1 is pivoted to the first arm main body 11 having one end fixedly mounted at a substantially right angle to a recess 31 formed near the tip of the base member 3 and the other end of the arm main body 11. And a first turning portion 12 that is pivotally supported. Specifically, as shown in FIGS. 1 and 3, the first arm main body 11 and the first rotating portion 12 are formed by square bar members having substantially the same length, and are arranged in a straight line. It is connected at the end. At this time, the end portions of the first arm main body 11 and the first rotating portion 12 are formed in half in thickness, and the portions formed to be thin are overlapped and pivotally supported. It is connected. As a result, the first rotating portion 12 can be bent with respect to the first arm main body portion 11 by the pivot support portion. In particular, it is pivotally supported so as to rotate to a position that is at least perpendicular to the plane formed by the base member 3 and the first arm body 11. Further, a tension spring 15 (tensile force urging member) is connected to the outer side of the first arm main body 11 and the first rotating part 12, that is, the surface located on the opposite side to the second arm 2. A tensile force is applied between the first arm main body 11 and the first rotating portion 12.

また、第二のアーム２は、上述したようにベース部材３とほぼ直交して軸支された角棒部材のうち軸支部分よりも一端側（図３の下方側）に形成された第二アーム本体部２１と、この第二アーム本体部２１の一端に回動可能に軸支された第二回動部２２と、により構成されている。具体的には、図１及び図３に示すように、第二アーム本体部２１と第二回動部２２とはほぼ同じ長さに形成されており、一直線状に各端部で連結されている。このとき、上述した第一のアーム１と同様に、各部材２１，２２の端部は、その厚さが相互に半分に形成されており、この厚みが薄く形成された部分が重なり合って軸支さえることで、連結されている。これにより、この軸支箇所によって、第二回動部２２が第二アーム本体部２１に対して屈曲可能となっている。特に、ベース部材３と第二アーム本体部２１とによって形成される平面、つまり、上述した第一及び第二アーム１，２とが位置する平面に対して、少なくとも直角となる位置まで回動するよう軸支されている。さらに、第二アーム本体部２１と第二回動部２２との外側に位置する面には、引張りバネ引張りバネ２５（引張り力付勢部材）が連結されており、第二アーム本体部２１と第二回動部２２との相互間に引張り力を付勢している。 Further, the second arm 2 is formed on the one end side (lower side in FIG. 3) of the shaft support portion of the square bar member that is supported substantially orthogonally to the base member 3 as described above. The arm main body portion 21 and a second rotation portion 22 pivotally supported at one end of the second arm main body portion 21 are configured. Specifically, as shown in FIGS. 1 and 3, the second arm main body 21 and the second rotating portion 22 are formed to have substantially the same length, and are connected at each end in a straight line. Yes. At this time, similarly to the first arm 1 described above, the end portions of the members 21 and 22 are formed to be halved in thickness, and the thin portions overlap each other to support the shaft. It is connected by holding. As a result, the second rotating portion 22 can be bent with respect to the second arm main body portion 21 by the pivot support portion. In particular, it rotates to a position that is at least perpendicular to the plane formed by the base member 3 and the second arm body 21, that is, the plane on which the first and second arms 1 and 2 are located. It is supported like this. Further, a tension spring tension spring 25 (tensile force urging member) is connected to the surfaces of the second arm main body portion 21 and the second rotation portion 22 that are located outside the second arm main body portion 21 and the second arm main body portion 21. A tensile force is applied between the second rotating portion 22 and the second rotating portion 22.

また、第二のアーム２の屈曲部分、つまり、第二アーム本体部２１と第二回動部２２との軸支部分は、アーム固定ネジ２４（アーム固定手段）にて軸支されており、締め付け可能なよう構成されている。このとき、アーム固定ネジ２４の頭の部分、つまり、アーム２の屈曲部分から突出した部分は、径が大きく形成されていて、作業者が回して締め付ける作業が容易となるよう構成されている。さらに、第二のアーム２の第二回動部２２には、その外側つまり第一のアーム１とは反対側に突出する突出部２６（屈曲操作部）が設けられている。具体的に、突出部２６は、略長方形状の板状部材にて形成されており、その約半分が第二回動部２２の一面に当接してネジ止めされ、残りの半分が第二回動部２２から突出している。これにより、まず、第二回動部２２を回動させたい方向に作業者が突出部２６を押すなど操作することで、第二回動部２２に回転力を付勢することができ、第二アーム本体部２１に対して回動させることができる。そして、特に、上記回動操作を上記ネジ２４をある程度締め付けた状態で行うことで、回動後の第二回動部２２と第二アーム本体部２１との相対位置関係を固定することができる。 Further, the bent portion of the second arm 2, that is, the shaft support portion of the second arm main body portion 21 and the second rotating portion 22 is pivotally supported by an arm fixing screw 24 (arm fixing means). It is configured to be tightenable. At this time, the head portion of the arm fixing screw 24, that is, the portion protruding from the bent portion of the arm 2 is formed with a large diameter so that the operator can easily turn and tighten it. Further, the second rotating portion 22 of the second arm 2 is provided with a protruding portion 26 (bending operation portion) that protrudes to the outside, that is, the side opposite to the first arm 1. Specifically, the protruding portion 26 is formed of a substantially rectangular plate-like member, about half of which is in contact with one surface of the second rotating portion 22 and screwed, and the other half is the second turn. It protrudes from the moving part 22. Thereby, first, when an operator operates the protrusion 26 in a direction in which the second rotation unit 22 is desired to be rotated, a rotational force can be applied to the second rotation unit 22. The two-arm main body 21 can be rotated. In particular, by performing the rotation operation with the screw 24 tightened to some extent, the relative positional relationship between the rotated second rotation portion 22 and the second arm main body portion 21 can be fixed. .

さらに、第二のアーム２のベース部材３との軸支箇所に対して反対側の他端側（図３の上側）は、ほぼ直角に折れ曲がっており、ベース部材３の他端側である第一のレバー部３０とほぼ平行に位置する第二のレバー部２０を形成している。そして、これら第一及び第二のレバー部３０，２０の端部付近における相互間には、圧縮ばね４０が介装されている。この圧縮ばね４０により、一対のレバー部３０，２０には常に離間しようとする力が作用している。また、一対のレバー部３０，２０の間には、一端が第一のレバー部３０に固定され、他端側が第二のレバー部２０と摺動自在に係合したガイド４（固定手段）が装備されている。このガイド４の他端側（第二のレバー部２０側）には長孔４１が形成されており、この長孔４１に第二のレバー部２０に装備されたネジ４２が挿通されている。これにより、長孔４１に沿って、第二のレバー部２０が第一のレバー部３０に対してベース部材３との軸支箇所を支点として回動する。そして、第二のレバー部２０に装備されたネジ４２を締めることで、第二のレバー部２０とガイド４とを固定することができる。これにより、第一のレバー部３０と第二のレバー部２０との相互間の相対位置を固定することができる。 Further, the other end side (the upper side in FIG. 3) of the second arm 2 opposite to the pivot support position with the base member 3 is bent substantially at a right angle, and is the second end side of the base member 3. A second lever portion 20 is formed that is positioned substantially parallel to the one lever portion 30. A compression spring 40 is interposed between the end portions of the first and second lever portions 30 and 20. Due to the compression spring 40, a force that always attempts to separate the pair of lever portions 30 and 20 is acting. Further, between the pair of lever portions 30, 20, a guide 4 (fixing means) having one end fixed to the first lever portion 30 and the other end slidably engaged with the second lever portion 20. Equipped. A long hole 41 is formed in the other end side (second lever portion 20 side) of the guide 4, and a screw 42 provided in the second lever portion 20 is inserted into the long hole 41. Thereby, along the long hole 41, the 2nd lever part 20 rotates centering on the axial support location with the base member 3 with respect to the 1st lever part 30. As shown in FIG. And the 2nd lever part 20 and the guide 4 can be fixed by tightening the screw | thread 42 with which the 2nd lever part 20 was equipped. Thereby, the relative position between the 1st lever part 30 and the 2nd lever part 20 is fixable.

そして、上述したように、第一のレバー部３０が形成されたベース部材３の一端側（図３の左側）に第一のアーム１が連結しており、また、第二のレバー部３０にはその一端側（図３の下側）に第二のアーム２が連結しているため、一対のレバー部３０，２０を開閉操作することで（図３の矢印Ｂ参照）、一対のアーム１，２を開閉可動させることができる（図３の矢印Ｃ参照）。具体的には、作業者が一対のレバー部３０，２０を握って相互間の距離を近づけることで、一対のアーム１，２の先端側の距離も近づく。このように、一対のレバー部３０，２０は、一対のアーム１，２の距離を接近あるいは離間させるよう可動操作する可動操作部として機能する。 As described above, the first arm 1 is connected to one end side (the left side in FIG. 3) of the base member 3 on which the first lever portion 30 is formed. Since the second arm 2 is connected to one end thereof (the lower side in FIG. 3), the pair of arms 1 can be opened and closed by opening and closing the pair of lever portions 30 and 20 (see arrow B in FIG. 3). , 2 can be opened and closed (see arrow C in FIG. 3). Specifically, when the operator holds the pair of lever portions 30 and 20 and brings the distance between them closer, the distance on the distal end side of the pair of arms 1 and 2 also approaches. As described above, the pair of lever portions 30 and 20 function as a movable operation unit that is movable so that the distance between the pair of arms 1 and 2 approaches or separates.

さらに、上述したように可動する各アーム１，２の先端側の相互に対向する面には、フォトマスク基板５を挟持するために挟持部１３，２３がそれぞれ設けられている。この挟持部１３，２３は、略直方体にて形成されており、アーム１，２の先端の内側、つまり、相互に対向する位置に、各アーム１，２の回動部１２，２２にネジで固定されている。そして、各挟持部１３，２３の内側の面、つまり、対向面には、それぞれアーム１，２の長手方向に沿った凹状の溝部、具体的には略Ｖ時状の溝部が形成されており（図１及び図４参照）、後述するようにフォトマスク基板５が嵌合可能なよう構成されている。 Further, as described above, sandwiching portions 13 and 23 are provided on the mutually facing surfaces of the movable arms 1 and 2 to sandwich the photomask substrate 5, respectively. The sandwiching portions 13 and 23 are formed in a substantially rectangular parallelepiped, and are screwed to the rotating portions 12 and 22 of the arms 1 and 2 at the inner sides of the ends of the arms 1 and 2, that is, at positions facing each other. It is fixed. Then, concave grooves along the longitudinal direction of the arms 1 and 2, specifically, substantially V-shaped grooves are formed on the inner surfaces of the sandwiching portions 13 and 23, that is, the opposing surfaces, respectively. (Refer FIG.1 and FIG.4) and it is comprised so that the photomask board | substrate 5 can be fitted so that it may mention later.

［動作］
次に、上記構成のハンドリング装置の動作を説明する。まず、図３に示すように、ケース５０内に立てて収容されたフォトマスク基板５を取り出す場合を説明する。事前準備として、フォトマスク基板５の幅に対して一対のアーム１，２の距離がやや広くなるよう、第一のアーム１の位置を設定して、ベース部材３の所定の凹部３１に固定装着する。また、一対のアーム１，２の間に位置する凹部３１には突出片３２を固定装着する。 [Operation]
Next, the operation of the handling device having the above configuration will be described. First, as shown in FIG. 3, the case where the photomask substrate 5 stood in the case 50 is taken out will be described. As a preliminary preparation, the position of the first arm 1 is set so that the distance between the pair of arms 1 and 2 is slightly larger than the width of the photomask substrate 5, and is fixedly attached to a predetermined recess 31 of the base member 3. To do. Further, a protruding piece 32 is fixedly attached to the recess 31 positioned between the pair of arms 1 and 2.

続いて、図１及び図３に示すように、各アーム１，２が屈曲せずにそれぞれ直線状に伸びている状態にして、第二のアーム２の屈曲部分に設けられたアーム固定ネジ２４を適度に締めておく。このとき、作業者はレバー部３０，２０を握らずに各レバー部３０，２０を離間させておくことで（図３の矢印Ｂ参照）、各アーム１，２の先端側に位置する挟持部１３，２３が開いた状態にする（図３の矢印Ｃ参照）。この状態で、ケース５０から約上半分が露出したフォトマスク基板５の両側端に沿ってそれぞれ各アーム１，２を位置させて、フォトマスク基板５の上端が突出片３２に当接するまでアーム１，２の位置を下方向に移動する。 Subsequently, as shown in FIGS. 1 and 3, the arms 1 and 2 are provided in the bent portion of the second arm 2 in a state in which the arms 1 and 2 are not bent and extend linearly. Tighten properly. At this time, the operator holds the lever portions 30 and 20 apart from each other without holding the lever portions 30 and 20 (see arrow B in FIG. 3), so that the holding portions located on the distal ends of the arms 1 and 2 13 and 23 are opened (see arrow C in FIG. 3). In this state, the arms 1 and 2 are respectively positioned along both side edges of the photomask substrate 5 where the upper half is exposed from the case 50, and the arms 1 until the upper end of the photomask substrate 5 contacts the protruding piece 32. , 2 is moved downward.

その後、作業者が一対のレバー部３０，２０を握って圧縮ばね４０の反発力に抗してレバー部３０，２０間の距離を近づけることで（図３の矢印Ｂ）、これに連動して一対のアーム１，２の先端側に位置する挟持部１３，２３が相互に近づく（図３の矢印Ｃ）。すると、両挟持部１３，２３の内側に形成された溝にフォトマスク基板５の両側端が嵌合し、当該フォトマスク基板５を両側端にて挟持することができる。これにより、ハンドリング装置を持ち上げることで、挟持しているフォトマスク基板５をケース５０から取り出すことができ、所定の場所に搬送することができる。このとき、フォトマスク基板５の上端は突出片３２に当接しているため、保持状態が安定する。さらに、このとき、第二のレバー部２０に設けられたネジ４２を締めて、第二のレバー部２０とガイド４とを固定することで、一対のレバー部３０，２０間の距離が固定され、作業者が一対のレバー部３０，２０を握る力を弱めても一対のアーム１，２が開くことなく、さらに安定してフォトマスク基板５を保持することができる。 Thereafter, the operator grasps the pair of lever portions 30 and 20 and approaches the distance between the lever portions 30 and 20 against the repulsive force of the compression spring 40 (arrow B in FIG. 3). The clamping parts 13 and 23 located on the distal end side of the pair of arms 1 and 2 approach each other (arrow C in FIG. 3). Then, both side ends of the photomask substrate 5 are fitted into the grooves formed inside the both sandwiching portions 13 and 23, and the photomask substrate 5 can be sandwiched between the both side ends. Thus, by lifting the handling device, the sandwiched photomask substrate 5 can be taken out from the case 50 and can be transported to a predetermined place. At this time, since the upper end of the photomask substrate 5 is in contact with the protruding piece 32, the holding state is stabilized. Further, at this time, the distance between the pair of lever portions 30 and 20 is fixed by tightening the screw 42 provided on the second lever portion 20 and fixing the second lever portion 20 and the guide 4. The photomask substrate 5 can be held more stably without opening the pair of arms 1 and 2 even if the operator weakens the force for gripping the pair of lever portions 30 and 20.

続いて、フォトマスク基板５を水平に載置させる場合を説明する。まず、第二のアーム２の屈曲部分に設けられたアーム固定ネジ２４がゆるい場合には、適度に締めておく。その後、作業者が、第二のアーム２の第二回動部２２から突出する突出部２６を図３の紙面手前方向に向かって移動するよう操作することで、各アーム１，２の各回動部１２，２２が紙面手前方向に向かって回動する。つまり、各アーム１，２の先端側が図１の矢印Ａに示すように、アーム本体部１１，１２に対して９０度の角度を成すまで回動する（図２参照）。なお、アーム２の回動操作を、作業者がアーム固定ネジ２４の頭を回すことで行ってもよい。このとき、回動部１２，２２はアーム本体部１１，１２に対してアーム固定ネジ２４で締められているため、回動しにくい状態であるが、回動部１２，２２は、アーム本体部１１，１２に向かって引張りバネ１５，２５にて引張られているため、多少は円滑に回動する。一方で、アーム本体部１１，１２と回動部１２，２２とはアーム固定ネジ２４にて締められているため、これらの相対角度が９０度になった後もかかる状態が固定される。必要であれば、アーム１，２を屈曲させたのちに、さらにアーム固定ネジ２４を締めてもよい。すると、図４及び図５に示すように、フォトマスク基板５を安定して水平に位置させることができる。なお、図４は、各回動部１２，２２を回転させた後のハンドリング装置を正面から見た図であり、図５は、図４の左側面図である。 Next, the case where the photomask substrate 5 is placed horizontally will be described. First, when the arm fixing screw 24 provided at the bent portion of the second arm 2 is loose, it is tightened appropriately. Thereafter, the operator operates the protruding portion 26 protruding from the second rotating portion 22 of the second arm 2 so as to move toward the front side of the sheet of FIG. The parts 12 and 22 rotate toward the front side of the page. That is, the distal ends of the arms 1 and 2 rotate until they form an angle of 90 degrees with respect to the arm main bodies 11 and 12 as shown by the arrow A in FIG. Note that the rotation operation of the arm 2 may be performed by the operator turning the head of the arm fixing screw 24. At this time, since the rotating portions 12 and 22 are fastened to the arm main body portions 11 and 12 by the arm fixing screw 24, the rotating portions 12 and 22 are in a state of being difficult to rotate. Since they are pulled by the tension springs 15 and 25 toward 11 and 12, they rotate somewhat smoothly. On the other hand, since the arm main body parts 11 and 12 and the rotating parts 12 and 22 are fastened by the arm fixing screw 24, such a state is fixed even after the relative angle becomes 90 degrees. If necessary, the arm fixing screw 24 may be further tightened after the arms 1 and 2 are bent. Then, as shown in FIGS. 4 and 5, the photomask substrate 5 can be stably positioned horizontally. FIG. 4 is a view of the handling device as viewed from the front after rotating the rotating portions 12 and 22, and FIG. 5 is a left side view of FIG.

その後、水平状態のフォトマスク基板５を所望の位置に搬送して載置し、第二のレバー部２０とガイド４とを固定するネジ４２を緩め、一対のレバー部３０，２０の距離を離間させる。すると、一対のアーム１，２の先端側も開くため、フォトマスク基板５の挟持状態を解除することができ、これにより、フォトマスク基板５の搬送が完了する。 Thereafter, the photomask substrate 5 in a horizontal state is transported and placed at a desired position, the screw 42 for fixing the second lever portion 20 and the guide 4 is loosened, and the distance between the pair of lever portions 30 and 20 is increased. Let As a result, the distal end sides of the pair of arms 1 and 2 are also opened, so that the sandwiched state of the photomask substrate 5 can be released, thereby completing the conveyance of the photomask substrate 5.

以上により、本実施例におけるハンドリング装置によると、被ハンドリング体の向きを、簡易な操作で、かつ、安定した保持状態にて、水平状態から当該水平に対して垂直状態に、あるいは、水平に対して垂直状態から水平状態にと、９０度変えることができる。従って、作業者の利便性の向上、及び、被ハンドリング体に対する作業効率の向上を図ることができる。 As described above, according to the handling device in the present embodiment, the orientation of the object to be handled can be changed from the horizontal state to the vertical state with respect to the horizontal state or with respect to the horizontal state with a simple operation and a stable holding state. 90 degrees from the vertical state to the horizontal state. Therefore, it is possible to improve the convenience of the worker and improve the working efficiency for the object to be handled.

次に、本考案の第２の実施例を、図６を参照して説明する。図６は、実施例２におけるハンドリング装置の構成を示す斜視図である。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a perspective view illustrating the configuration of the handling device according to the second embodiment.

本実施例におけるハンドリング装置は、上記実施例１に開示したものとほぼ同様の構成を採っており、一対のアーム１，２を屈曲させる力を付勢するための構造が若干異なる。具体的には、図６に示すように、第二のアーム２は、第二アーム本体部２１と、当該第二アーム本体部２１の一端に回動可能に軸支された第二回動部２２と、により構成されている。そして、これらを回動可能に軸支するアーム固定ネジ２４’のアーム２から突出した部分は、棒状部材がほぼ直角に曲折してＬ字状に形成されている。なお、アーム固定ネジ２４’は、実施例１のものと同様に、第二アーム本体部２１と第二回動部２２とを締め付け可能なよう軸支しており、締め付けることで、回動後の第二回動部２２と第二アーム本体部２１との相対位置関係を固定する機能を有する（アーム固定手段）。また、アーム固定ネジ’２４’は、回動部２２に連結しており、アーム２から突出したＬ字状部分を第二回動部２２を回動させたい方向に作業者が押すなど操作することで、当該第二回動部２２に回転力を付勢することができ、第二アーム本体部２１に対して回動させる機能を有する（屈曲操作部）。つまり、作業者は、一方の手で一対のレバー部２０，３０を把持して、一対のアーム１，２間でフォトマスク基板５を挟持した状態で、他方の手でアーム固定ネジ２４’のＬ字状部分を回転操作することで、一対のアーム１，２の先端側を回動させてフォトマスク基板５の姿勢を変化させることができる。このとき、アーム固定ネジ２４’の締め付け力によって適度にアーム２の姿勢が固定されうる。 The handling device according to the present embodiment has substantially the same configuration as that disclosed in the first embodiment, and the structure for biasing the force for bending the pair of arms 1 and 2 is slightly different. Specifically, as shown in FIG. 6, the second arm 2 includes a second arm main body portion 21 and a second rotation portion pivotally supported by one end of the second arm main body portion 21. 22. And the part which protruded from the arm 2 of the arm fixing screw 24 'which pivotally supports these is formed in the L-shape by bending the rod-like member substantially at a right angle. The arm fixing screw 24 ′ is pivotally supported so that the second arm main body portion 21 and the second rotating portion 22 can be tightened in the same manner as in the first embodiment. The second rotating part 22 and the second arm main body part 21 have a function of fixing the relative positional relationship (arm fixing means). Further, the arm fixing screw '24' is connected to the rotating portion 22, and an operator operates the L-shaped portion protruding from the arm 2 in a direction in which the second rotating portion 22 is to be rotated. Thus, a rotational force can be applied to the second rotating portion 22 and the second arm main body portion 21 has a function of rotating (bending operation portion). That is, the operator holds the pair of lever portions 20 and 30 with one hand and holds the photomask substrate 5 between the pair of arms 1 and 2, and the arm fixing screw 24 ′ with the other hand. By rotating the L-shaped part, the tip side of the pair of arms 1 and 2 can be rotated to change the posture of the photomask substrate 5. At this time, the posture of the arm 2 can be appropriately fixed by the tightening force of the arm fixing screw 24 ′.

なお、上記実施例にて説明したハンドリング装置の構成は一例であって、本考案におけるハンドリング装置は、他の構成を採っていてもよい。 The configuration of the handling device described in the above embodiment is an example, and the handling device according to the present invention may adopt other configurations.

本考案であるハンドリング装置は、フォトマスク基板等の各種基板を搬送する場合に利用することができ、産業上の利用可能性を有する。 The handling device according to the present invention can be used for transporting various substrates such as a photomask substrate, and has industrial applicability.

実施例１におけるハンドリング装置の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the handling apparatus in Example 1. FIG. 実施例１におけるハンドリング装置の構成を示す斜視図であり、アームの先端側を屈曲させたときの様子を示す。It is a perspective view which shows the structure of the handling apparatus in Example 1, and shows a mode when the front end side of an arm is bent. 実施例１におけるハンドリング装置の構成を示す正面図である。It is a front view which shows the structure of the handling apparatus in Example 1. FIG. 実施例１におけるハンドリング装置の構成を示す正面図であり、アームの先端側を屈曲させたときの様子を示す。It is a front view which shows the structure of the handling apparatus in Example 1, and shows a mode when the front end side of an arm is bent. 図４の左側面図を示す。The left view of FIG. 4 is shown. 実施例２におけるハンドリング装置の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the handling apparatus in Example 2. FIG.

Explanation of symbols

１，２アーム
３ベース部材
４ガイド
１１，２１アーム本体部
１２，２２回動部
１３，２３挟持部
２４，２４’ アーム固定ネジ
２０，３０レバー部
1, 2 Arm 3 Base member 4 Guide 11, 21 Arm main body 12, 22 Rotating part 13, 23 Holding part 24, 24 'Arm fixing screw 20, 30 Lever part

Claims

A pair of arms, a sandwiching part for sandwiching a to-be-handled body provided on the tip side of each arm, a movable operation part for moving the pair of arms so that the distance between the sandwiching parts approaches or separates, A handling device comprising:
Each arm is formed such that the tip side of each arm provided with each clamping part can be bent and moved with respect to the arm body side,
A handling device characterized by that.

Each arm is formed such that the distal end side of each arm provided with each clamping portion can be bent and moved at least 90 degrees or more with respect to the surface on which the pair of arms are located.
The handling device according to claim 1.

Each of the arms includes an arm main body portion located on the arm main body side that is pivotally supported at a bending portion so as to be rotatable relative to each other, and a rotation portion provided with the clamping portion, respectively.
Each arm is provided with a tensile force biasing member that biases a tensile force between the arm main body portion and the rotating portion.
The handling apparatus according to claim 1 or 2, wherein

At least one of the arms is provided with arm fixing means for fixing the position of the rotating portion with respect to the arm main body constituting the arm.
The handling device according to claim 3.

A bend capable of energizing at least one of the arms to be connected to the rotating portion constituting the arm, projecting from the rotating portion, and bending the rotating portion by operating from the outside. With an operation unit,
The handling device according to claim 3 or 4, characterized in that.

The movable operation portion includes a pair of lever portions that are respectively connected to the arms to move the pair of arms, and a fixing unit that fixes a relative position between the pair of lever portions.
6. The handling device according to claim 1, 2, 3, 4 or 5.

The movable operation portion includes a pair of lever portions that are connected to the arms and move the arms,
One lever portion connected to one arm can be fixedly equipped with the one arm, and a plurality of fixed mounting positions with different distances to the other arm are formed.
The handling device according to claim 1, 2, 3, 4, 5, or 6.

A support member that a part of the periphery of the to-be-handled body held by the pair of arms comes into contact with the fixed mounting position located between the pair of arms is provided.
The handling device according to claim 7.