JP3135105B2 - 太陽電池およびその製造方法 - Google Patents

太陽電池およびその製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、化合物半導体を用いた
太陽電池およびその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図3は、CdSTe系膜を光電変換部に
用いた従来の太陽電池の代表的な構成を示したものであ
る。すなわち、透明ガラス基板20の片面に透明導電膜
21を設け、この透明導電膜上に印刷焼成により形成し
たCdS膜22、CdTe膜23、対向電極24、およ
び他の電極25から構成される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記のような構成の太
陽電池は、その光電変換膜部22、23が印刷焼成によ
り形成したものであるために、膜の厚さを50μm以下
にすることが困難である。CdS/CdTe粉末をバイ
ンダと混合し、これを印刷やスピンコート、ロールコー
ティング等を試みても、焼成後の光電変換膜の厚さは5
0μmが限界である。ガラス基板を通して光電変換膜に
達する光は、光電変換膜の表面から入射光の波長程度の
数百nmしか進入しない。従って、光電変換膜の残りの
部分50μm−数百nmは光電変換に全く寄与しない。
さらに、CdS/CdTeを光電変換材料に用いる場
合、公害防止の観点からできる限りCd、Teなどの有
害元素の使用量を少なくしなければならない。このよう
に従来の化合物半導体を用いる太陽電池は、資源の有効
利用と公害防止の点から、これに用いる光電変換膜の厚
さを現在より薄くすることが望まれる。しかしながら、
前述のように、従来の技術では膜の薄膜化が困難であっ
た。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の太陽電池は、透
明基板、透明基板上に支持されたp型半導体層とn型半
導体層を含む光電変換膜、および光電変換膜に接続され
た一対の電極を具備し、前記光電変換膜のp型半導体層
およびn型半導体層がガラス層または無機ゲル層と前記
ガラス層または無機ゲル層のマトリクス中に分散された
化合物半導体の微粒子とから構成されるものである。こ
こで、前記のガラス層または無機ゲル層は、アルカリ元
素を含まず、珪素、酸素、または珪素、ホウ素、酸素を
必須成分とすることが好ましい。また、化合物半導体と
しては、2−6族化合物(または3−5族化合物)が用
いられる。さらに、化合物半導体の微粒子は、粒径50
nm以下であることが好ましい。また、ガラス層または
無機ゲル層の厚さは、1μm以下であることが好まし
い。
【0005】本発明の太陽電池の製造方法は、珪素のア
ルコキシドとその溶剤からなる溶液に化合物半導体の微
粒子を分散するとともに酸を添加した液を透明基板に担
持し、加熱乾燥することにより、前記化合物半導体の微
粒子を分散したガラス層または無機ゲル層を備える光電
変換膜を形成する工程を有する。ここに用いる化合物半
導体の微粒子は、粒径50nm以下であることが好まし
い。
【0006】また、本発明の太陽電池の製造方法は、珪
素のアルコキシド、2族元素と6族元素(または3族元
素と5族元素)の熱分解性化合物、およびこれらを溶解
する溶剤からなる溶液を透明基板上に担持し、加熱して
前記アルコキシドを加水分解するとともに前記熱分解性
化合物を熱分解することにより、2−6族化合物半導体
(または3−5族化合物半導体)が分散されたガラス層
または無機ゲル層を備える光電変換膜を得る工程を有す
る。2族元素(または3族元素)の熱分解性化合物とし
ては、カルボン酸塩、アルコラートおよびメルカプチド
よりなる群から選択される化合物が用いられる。6族元
素(または5族元素)の熱分解性化合物としては、チオ
尿素、硫化水素、亜硫酸ガス、アンモニウム化合物、ア
ンモニアおよび燐酸化合物よりなる群から選択される化
合物が用いられる。
【0007】さらに、本発明の太陽電池の製造方法は、
2族元素と6族元素(または3族元素と5族元素)の熱
分解性または光分解性化合物のペーストを透明基板上に
担持する工程、および担持された前記化合物を熱分解ま
たは光分解して2−6族化合物半導体(または3−5族
化合物半導体)の膜を形成する工程を有する。上記にお
いて、2族元素と6族元素(または3族元素と5族元
素)の熱分解性または光分解性化合物としては、通常は
2族元素(または3族元素)を含む化合物と6族元素
(または5族元素)を含む化合物とが用いられるが、2
族元素と6族元素(または3族元素と5族元素)を含む
1つの化合物を用いることができる。
【0008】また、本発明の太陽電池の製造方法は、2
族元素(または3族元素)を含む熱分解性化合物のペー
ストを透明基板上に担持する工程、および担持された前
記化合物を6族元素(または5族元素)を含むガス雰囲
気中で熱分解して2−6族化合物半導体(または3−5
族化合物半導体)の膜を形成する工程を有する。
【0009】さらにまた、本発明の太陽電池の製造方法
は、2族元素(または3族元素)を含む熱分解性または
光分解性化合物のペーストを透明基板上に担持し、前記
化合物を熱分解または光分解して前記基板上に2族元素
(または3族元素)の膜を形成する工程、および前記膜
を6族元素(または5族元素)を含むガス雰囲気中で加
熱して2−6族化合物半導体(または3−5族化合物半
導体)の膜を形成する工程を有する。
【0010】
【作用】本発明の太陽電池は、前記のように、p型半導
体層とn型半導体層を含む光電変換膜の少なくとも受光
側の半導体層がガラス層または無機ゲル層と前記ガラス
層または無機ゲル層のマトリクス中に分散された化合物
半導体の微粒子とから構成される。従って、少なくとも
受光側の半導体層を非常に薄い膜として構成できるの
で、入射光は光電変換に関与するpn接合部まで充分達
することが可能となる。
【0011】本発明の太陽電池の製造方法によると、光
電変換膜の少なくとも受光側の半導体層を非常に薄い膜
として得ることができる。すなわち、珪素のアルコキシ
ドと化合物半導体の微粒子を用いる方法によれば、アル
コキシドが加水分解するゾルゲル法によりガラス層ない
しゲル層が生成し、この層中に化合物半導体の微粒子が
分散される。また、珪素のアルコキシド、2族元素と6
族元素(または3族元素と5族元素)の熱分解性化合物
を用いる方法によれば、アルコキシドの加水分解により
生成するガラスないしゲル層中に、加水分解と同時に起
こる前記化合物の熱分解により生成する2−6族化合物
半導体(または3−5族化合物半導体)の微粒子が分散
される。
【0012】また、上記の熱分解性または光分解性化合
物を熱分解または光分解して2−6族化合物半導体(ま
たは3−5族化合物半導体)の膜を形成する方法、2族
元素(または3族元素)を含む熱分解性化合物を6族元
素(または5族元素)を含むガス雰囲気中で熱分解して
2−6族化合物半導体(または3−5族化合物半導体)
の膜を形成する方法、および2族元素(または3族元
素)を含む熱分解性または光分解性化合物を熱分解また
は光分解して2族元素(または3族元素)の膜を形成
し、この膜を6族元素(または5族元素)を含むガス雰
囲気中で加熱して2−6族化合物半導体(または3−5
族化合物半導体)の膜を形成する方法のいずれによって
も光電変換膜の少なくとも受光側の半導体層を非常に薄
い膜として得ることができる以上のように本発明によれ
ば、光電変換膜の非常に薄い太陽電池が実現し、光電変
換効率が向上し、資源の利用効率が向上するとともにカ
ドミウムなどの有害物質の使用量を著しく削減できる。
【0013】
【実施例】以下に、本発明の好ましい実施例を説明す
る。本発明に用いられる2ー6族化合物半導体には、以
下の実施例に挙げるCdS、CdTeの他、ZnS、Z
nSe、ZnTeなどがあり、3ー5族化合物半導体に
は、AlP、AlAs、AlN、GaAs、InPなど
がある。2族または3族元素を含む分解性化合物として
は、Cd、Znのカルボン酸塩、アルコキシド、メルカ
プチド、あるいはAl、In、Gaのカルボン酸塩、ア
ルコキシド、さらにはトリメチルガリウムなどのアルキ
ル化合物がある。一方、6族または5族元素の分解性化
合物としては、チオ尿素、硫化水素、亜硫酸ガス、アン
モニウム化合物、アンモニア、燐酸化合物、水素化ヒ
素、水素化リン、テルル化エチル、セレン化エチルなど
のアルキル化合物、塩化テルルなどのテルルのハロゲン
化物などがある。さらには、2族元素と6族元素を含む
分解性化合物としては、例えばメチル基またはメチレン
基の水素原子をTeに置換したカルボン酸のカドミウム
塩、メチル基またはメチレン基の水素原子をTeに置換
したCdのアルコキシド等が利用できる。本発明は、光
電変換膜の少なくとも受光側の半導体層、通常はn型
層、のみでなく、他方の半導体層にも適用するのが好ま
しいことはいうまでもない。
【0014】[実施例1]本実施例による太陽電池の構
成を図1に示す。この太陽電池は以下のようにして作製
した。平均直径を20nmに微粉砕したCdS粉末をテ
トラエトキシシランとエチルアルコールの混合液に分散
する。この液に希塩酸水溶液を攪拌しながら添加し、こ
の液を印刷法により厚さ1.1mmのガラス基板1上に
塗布する。室温で15分間乾燥した後、150℃で2時
間保持し、CdSが均一に分散した厚さ200nmのガ
ラス層3を得る。2はあらかじめ基板上に形成したIT
O透明導電膜である。このCdSを分散したガラス層3
上に、ガラス層3を得る方法と同じ方法で所定のパター
ンのCdTe膜4を得る。さらに、炭素膜を印刷乾燥す
ることにより対向電極5を得る。6はIn−Gaによる
対向電極であり、7、8はリード部である。
【0015】[実施例2]酢酸カドミウム、チオ尿素、
テトラエトキシシランおよびエチルアルコールを混合
し、この混合液に希塩酸水溶液を攪拌しながら添加す
る。この液を印刷法により、表面にITO膜を有するガ
ラス基板上に塗布する。室温で15分間乾燥した後、1
50℃で2時間保持し、CdSが均一に分散した厚さ2
00nmのガラス層を得る。次に、CdTe粉末をプロ
ピレングリコールに分散したペーストを前記ガラス層上
に実施例1と同じパターンで印刷し、酸素濃度100p
pm以下の窒素雰囲気中620℃で焼成してCdTeを
形成する。さらに、実施例1と同じ方法で対向電極およ
びリード部を形成する。
【0016】図2は、上記のようにして得た本発明によ
る太陽電池の光電変換部の拡大模式図である。ガラスま
たはゲルのマトリクス10中にCdS微粒子11が均一
に分散しており、膜全体の厚さは1μm以下であり、光
透過性を有する。一方、従来の光電変換部は、図4に示
すようにCdSそのものの焼結層12であり、ミクロン
オーダの空隙を有するとともに、層全体の厚さは50μ
mであり、可視光を透過しない。
【0017】[実施例3]酢酸カドミウム、酢酸セロソ
ルブおよびターピネオールを混合してペースト状とす
る。このペーストを印刷法により、厚さ1.1mmのガ
ラス基板上に塗布する。室温で15分間乾燥した後、5
00℃で2時間保持し、厚さ200nmのCd層を得
る。引続き、硫化水素雰囲気中において500℃で2時
間保持し、Cd層をCdS層に転化する。同じく同上の
方法で形成したCd膜をTeガス中において500℃で
2時間保持しCdTeとする。これらの膜の太陽電池に
おける全体構成は実施例1の図1と同じである。
【0018】[実施例4]カドミウムのメルカプチド、
酢酸セロソルブおよびターピネオールを混合してペース
ト状とする。このペーストを印刷法により、厚さ1.1
mmのガラス基板上に塗布する。室温で15分間乾燥し
た後、500℃で2時間保持し、厚さ200nmのCd
S層を得る。次に、カドミウムとテルルを含む化合物C
2(Te)COOCd、酢酸セロソルブおよびターピ
ネオールを混合してペースト状とし、このペーストを印
刷法により、前記CdS層上に塗布し、500℃で2時
間保持し、厚さ200nmのCdTe層を得る。これら
の膜の太陽電池における全体構成は実施例1の図1と同
じである。
【0019】[実施例5]酢酸カドミウム、酢酸セロソ
ルブおよびターピネオールを混合しペースト状とする。
このペーストを印刷法により、厚さ1.1mmのガラス
基板上に塗布する。室温で15分間乾燥した後、硫化水
素雰囲気中において500℃で2時間保持し、厚さ20
0nmのCdS層を得る。上記で得たCdS膜上に同上
のペーストを印刷法により塗布する。室温で15分間乾
燥した後、Teガス雰囲気中において500℃で2時間
保持し、厚さ200nmのCdTe層を得る。その他の
構成は、実施例1の図1と同じである。
【0020】[比較例1]図3に示すように、透明導電
膜21を有するガラス基板20上に、粒系が5μmのC
dS粉末をプロピレングリコールに分散させたペースト
を印刷し塗膜とする。500℃で乾燥焼結して厚さが5
0μmのCdS焼結層22を得る。同じくCdTeペー
ストを印刷焼結しCdTe焼結層23を得る。炭素ペー
ストの印刷乾燥により対向電極としての炭素膜24を得
る。25はIn−Ga電極である。
【0021】以上の実施例および比較例の太陽電池の特
性およびCd使用量の比率を表1に示す。
【0022】
【表1】
【0023】なお、実施例では熱分解性化合物について
のみ述べたが、光照射により分解する化合物を用いるこ
とによっても本発明の効果が得られる。
【0024】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、光電変換
膜の非常に薄い太陽電池が実現し、光電変換効率および
資源の利用効率が向上するとともにカドミウム使用量が
著しく削減できることから、自然環境保護の観点からも
優れた太陽電池が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の太陽電池の構成を示す縦断
面図である。
【図2】同太陽電池の光電変換膜の構造を示す模式図で
ある。
【図3】従来の太陽電池の構成例を示す縦断面図であ
る。
【図4】同太陽電池の光電変換部の構成を模式的に示す
図である。
【符号の説明】
1 ガラス基板 2 透明導電膜 3 CdSを分散したガラス層 4 CdTeを分散したガラス層 5 対向電極 6 In−Ga電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 半田 晴彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 水野 康男 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 堀 喜博 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 室園 幹夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平6−29561(JP,A) 特開 昭54−85670(JP,A) 特開 平1−179743(JP,A) 特開 昭58−118171(JP,A) 特開 平1−181477(JP,A) 特開 平6−283738(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 31/04 - 31/078

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明基板、透明基板上に支持されたp型
    半導体層とn型半導体層を含む光電変換膜、および光電
    変換膜に接続された一対の電極を具備し、前記光電変換
    膜のp型半導体層およびn型半導体層がガラス層または
    無機ゲル層と前記ガラス層または無機ゲル層のマトリク
    ス中に分散された化合物半導体とからなることを特徴と
    する太陽電池。
  2. 【請求項2】 ガラス層または無機ゲル層が、アルカリ
    元素を含まず、珪素、酸素、または珪素、ホウ素、酸素
    を必須成分とし、前記化合物半導体が、2−6族化合物
    または3−5族化合物からなる直径50nm以下の微粒
    子であり、前記ガラス層または無機ゲル層の厚さが1μ
    m以下である請求項1記載の太陽電池。
  3. 【請求項3】 珪素のアルコキシドとその溶剤からなる
    溶液に化合物半導体の微粒子を分散するとともに酸を添
    加した液を透明基板に担持し、加熱乾燥することによ
    り、前記化合物半導体の微粒子を分散したガラス層また
    は無機ゲル層を備える光電変換膜を形成する工程を有す
    る太陽電池の製造方法。
  4. 【請求項4】 珪素のアルコキシド、2族元素と6族元
    素(または3族元素と5族元素)の熱分解性化合物、お
    よびこれらを溶解する溶剤からなる溶液を透明基板上に
    担持し、加熱して前記アルコキシドを加水分解するとと
    もに前記熱分解性化合物を熱分解することにより、2−
    6族化合物半導体(または3−5族化合物半導体)が分
    散されたガラス層または無機ゲル層を備える光電変換膜
    を得る工程を有する太陽電池の製造方法。
  5. 【請求項5】 2族元素(または3族元素)の熱分解性
    化合物が、カルボン酸塩、アルコラートおよびメルカプ
    チドよりなる群から選択され、6族元素(または5族元
    素)の熱分解性化合物が、チオ尿素、硫化水素、亜硫酸
    ガス、アンモニウム化合物、アンモニアおよび燐酸化合
    物よりなる群から選択される請求項4記載の太陽電池の
    製造方法。
  6. 【請求項6】 2族元素と6族元素(または3族元素と
    5族元素)の各々の熱分解性または光分解性化合物また
    は2族元素と6族元素(または3族元素と5族元素)を
    含む熱分解性または光分解性化合物のペーストを透明基
    板上に担持する工程、および担持された前記化合物を熱
    分解または光分解して2−6族化合物半導体(または3
    −5族化合物半導体)の膜を形成する工程を有する太陽
    電池の製造方法。
  7. 【請求項7】 2族元素(または3族元素)を含む熱分
    解性化合物のペーストを透明基板上に担持する工程、お
    よび担持された前記化合物を6族元素(または5族元
    素)を含むガス雰囲気中で熱分解して2−6族化合物半
    導体(または3−5族化合物半導体)の膜を形成する工
    程を有する太陽電池の製造方法。
  8. 【請求項8】 2族元素(または3族元素)を含む熱分
    解性または光分解性化合物のペーストを透明基板上に担
    持し、前記化合物を熱分解または光分解して前記基板上
    に2族元素(または3族元素)の膜を形成する工程、お
    よび前記膜を6族元素(または5族元素)を含むガス雰
    囲気中で加熱して2−6族化合物半導体(または3−5
    族化合物半導体)の膜を形成する工程を有する太陽電池
    の製造方法。
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