JP3132394B2 - Liquid crystal display test equipment - Google Patents

Liquid crystal display test equipment

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JP3132394B2
JP3132394B2 JP08211283A JP21128396A JP3132394B2 JP 3132394 B2 JP3132394 B2 JP 3132394B2 JP 08211283 A JP08211283 A JP 08211283A JP 21128396 A JP21128396 A JP 21128396A JP 3132394 B2 JP3132394 B2 JP 3132394B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示体の各
端子に接触させて電気的なテストを行うための装置に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for performing an electrical test by contacting each terminal of a liquid crystal display.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、液晶表示体の電気的なテストを行
うには液晶表示体テスト装置が用いられており、この従
来の液晶表示体テスト装置1は、図14の斜視図に示さ
れるように、コンタクトプローブ挟持体3と、このコン
タクトプローブ挟持体3を額縁状フレーム19に固定し
てなる構造を有しており、コンタクトプローブ挟持体3
から突出したコンタクピン4の先端が液晶表示体20の
端子(図示せず)に接触するようになっている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a liquid crystal display test apparatus has been used to conduct an electrical test of a liquid crystal display. The conventional liquid crystal display test apparatus 1 is shown in a perspective view of FIG. The contact probe holder 3 has a structure in which the contact probe holder 3 is fixed to a frame 19.
The tip of the contact pin 4 protruding from the terminal comes into contact with a terminal (not shown) of the liquid crystal display 20.

【0003】この従来の液晶表示体テスト装置の額縁状
フレームに固定されるコンタクトプローブ挟持体の分解
斜視図を図12に示す。図12に示されるように、ボト
ムクランプ8は傾斜板15、取り付け板16および底板
17から構成されており、一方、トップクランプ7はコ
ンタクトピン4の先端を押さえる第一突起9、TABI
C11側の端子12を押さえる第二突起13およびリー
ドを押さえる第三突起14を有している。
FIG. 12 is an exploded perspective view of a contact probe holder fixed to a frame of the conventional liquid crystal display test apparatus. As shown in FIG. 12, the bottom clamp 8 includes an inclined plate 15, a mounting plate 16, and a bottom plate 17, while the top clamp 7 includes a first protrusion 9 for pressing the tip of the contact pin 4, and a TABI.
It has a second projection 13 for holding the terminal 12 on the C11 side and a third projection 14 for holding the lead.

【0004】ボトムクランプ8の傾斜板15の上に液晶
表示体テスト用コンタクトプローブ10´を載置し、さ
らにTABIC11側の端子12が液晶表示体テスト用
コンタクトプロ−ブ10´の第一層非導電性樹脂フィル
ム5と5の間に来るように乗せたのち、トップクランプ
7をトップクランプ7の第一突起9が第一層非導電性樹
脂フィルム5の上にかつ第二突起13がTABIC11
側の端子12に接触するように乗せ、ボルトにより組み
立てる。図13は液晶表示体テスト用コンタクトプロー
ブ10´を組み込み、ボルト18によりトップクランプ
7とボトムクランプ8が組み合わして組み立てられたコ
ンタクトプローブ挟持体3の斜視図である。
A contact probe 10 'for testing a liquid crystal display is placed on the inclined plate 15 of the bottom clamp 8, and a terminal 12 on the TABIC 11 side is connected to the first layer of the contact probe 10' for testing the liquid crystal display. After the top clamp 7 is placed between the conductive resin films 5 and 5, the first projection 9 of the top clamp 7 is placed on the first non-conductive resin film 5 and the second projection 13 is placed on the TABIC 11.
Put it in contact with the terminal 12 on the side and assemble it with bolts. FIG. 13 is a perspective view of the contact probe holder 3 in which the contact probe 10 ′ for testing the liquid crystal display body is assembled, and the top clamp 7 and the bottom clamp 8 are assembled by bolts 18.

【0005】この様にして組み立てられたコンタクトプ
ローブ挟持体3は額縁状フレーム19に図14のB−B
断面図の図15に示されるように、ボルト2により固定
され、液晶表示体テスト装置1に組み立てられる。液晶
表示体テスト装置1を用いて液晶表示体20の電気的な
テストを行うには、液晶表示体テスト装置1のコンタク
トピン4の先端を液晶表示体20の端子(図示せず)に
接触させた状態で、コンタクトピン4から得られた信号
をTABIC11を通して外部に取り出すことにより行
われる。
[0005] The contact probe holding body 3 assembled as described above is mounted on a frame 19 in a frame BB of FIG.
As shown in the sectional view of FIG. 15, the liquid crystal display device is fixed by the bolts 2 and assembled into the liquid crystal display test apparatus 1. In order to perform an electrical test of the liquid crystal display 20 using the liquid crystal display test device 1, the tip of the contact pin 4 of the liquid crystal display test device 1 is brought into contact with a terminal (not shown) of the liquid crystal display 20. In this state, the signal obtained from the contact pin 4 is taken out to the outside through the TABIC 11.

【0006】この従来の液晶表示体テスト用コンタクト
プローブ10´は、図10の斜視図に示されるように、
ポリイミド樹脂フィルムなどからなる第一層非導電性樹
脂フィルム5の片面に、NiもしくはNi合金またはこ
れにAuメッキを施した金属で構成されている平行に配
列されたコンタクトピン4を、第一層非導電性樹脂フィ
ルム5の片面に第一層非導電性樹脂フィルム5の長手方
向に直角に張り付けた構造になっており、第一層非導電
性樹脂フィルム5の端部からコンタクトピン4の一部が
突出した構成となっている。図10に図11の液晶表示
体テスト用コンタクトプロ−ブ10´のA−A断面図を
示した。
As shown in a perspective view of FIG. 10, this conventional liquid crystal display test contact probe 10 'has
On one surface of a first layer non-conductive resin film 5 made of a polyimide resin film or the like, contact pins 4 arranged in parallel made of Ni or a Ni alloy or a metal obtained by applying Au plating to the first layer are attached to the first layer. One side of the non-conductive resin film 5 has a structure in which it is stuck at right angles to the longitudinal direction of the first-layer non-conductive resin film 5. The part has a protruding configuration. FIG. 10 is a sectional view taken along the line AA of the contact probe 10 'for the liquid crystal display test of FIG.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the invention]

(イ)前記従来の液晶表示体テスト用コンタクトプロ−
ブ10´は、図10および図11に示されるように、N
iもしくはNi合金またはこれにAuメッキを施した金
属で構成されているコンタクトピン4をポリイミド樹脂
からなる第一層非導電性樹脂フィルム5の片面に張り付
けた構造になっているが、コンタクトピン4の先端部
は、図16の断面図に示されるように、正常な先端Sの
他に上に弯曲した先端S1および下に弯曲した先端S2
が生じることがあり、かかる弯曲した先端S1および先
端S2を有する液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブ
10´のコンタクトピン4を、図17の断面図に示され
るように、トップクランプ7の第一突起9および傾斜板
15で挟み、コンタクトピン4を液晶表示体20に押し
付けても、正常な先端Sおよび下に弯曲した先端S2は
液晶表示体20の端子に接触するが、上に弯曲した先端
S1は接触しても十分な接触圧が得られないことがあ
り、コンタクトピン4の液晶表示体に対する接触不良が
発生し、正確な電気的測定ができないことがある、
(ロ)テスト時に所望の接触圧を得るためにコンタクト
ピン4の押し付け量を増減させるが、大きな接触圧を得
るためには大きな押し付け量が必要となるものの、針の
形状からその量には限度があり、大きな接触圧が得られ
ないことがある、(ハ)ポリイミド樹脂からなる第一層
非導電性樹脂フィルム5は水分を吸収して伸びが生じ、
そのために従来の液晶表示体テスト用コンタクトプロ−
ブ10´は、図10のC方向から見た正面図の図18に
示されるように、コンタクトピン4とコンタクトピン4
の間の間隔tが変化し、そのためにコンタクトピン4の
先端部分が正確に液晶表示体端子の所定の位置に接触さ
せることができず、正確な電気的なテストを行うことが
できないことがある、などの課題があった。
(A) The conventional contact probe for liquid crystal display test
As shown in FIG. 10 and FIG.
A contact pin 4 made of an i or Ni alloy or a metal plated with Au is attached to one surface of a first layer non-conductive resin film 5 made of a polyimide resin. As shown in the cross-sectional view of FIG. 16, a tip S1 that is curved upward and a tip S2 that is curved downward in addition to the normal tip S
As shown in the sectional view of FIG. 17, the contact pin 4 of the liquid crystal display test contact probe 10 'having the curved tip S1 and the tip S2 may be Even when the contact pin 4 is pressed against the liquid crystal display body 20 by being sandwiched between the projection 9 and the inclined plate 15, the normal tip S and the downwardly curved tip S 2 contact the terminal of the liquid crystal display 20, but the upwardly curved tip In S1, there is a case where a sufficient contact pressure cannot be obtained even if the contact is made, a contact failure of the contact pin 4 with the liquid crystal display body occurs, and an accurate electrical measurement may not be performed.
(B) The pressing amount of the contact pin 4 is increased or decreased in order to obtain a desired contact pressure at the time of the test, but a large pressing amount is required in order to obtain a large contact pressure, but the amount is limited due to the shape of the needle. (C) the first layer non-conductive resin film 5 made of a polyimide resin absorbs moisture and elongates;
For this purpose, a conventional contact pro
As shown in FIG. 18 of the front view seen from the direction C in FIG.
, The leading end of the contact pin 4 cannot be accurately brought into contact with a predetermined position of the liquid crystal display terminal, and an accurate electrical test may not be performed. And other issues.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
かかる課題を解決すべく研究を行った結果、(a)コン
タクトピン4の上に弯曲した先端S1および下に弯曲し
た先端S2が共に正常な先端Sと整列させるためには、
従来の液晶表示体テスト用コンタクトプローブ10´
を、図1に示されるように、第一層非導電性樹脂フィル
ム5の上に有機または無機材料からなる強弾性フィルム
22を、コンタクトピン4の先端部が第一層非導電性樹
脂フィルム5から突出する側に、コンタクトピン4より
も短く突出するように重ね合わせ、この状態でコンタク
トプローブ10´および強弾性フィルム22をコンタク
トプローブ挟持体3のトップクランプ7の第一突起9と
ボトムクランプ8の傾斜板15で挟み、コンタクトプロ
ーブ挟持体3を額縁状フレームに固定してなる構造の液
晶表示体テスト装置を作製し、コンタクトピン4を液晶
表示体20に押し付けると、コンタクトプロ−ブ10´
に設けられた強弾性フィルム22はコンタクトピン4の
先端部を上から押さえるところから、図17に示される
上に弯曲した先端S1も液晶表示体20の端子に接触す
るようになり、各ピンに均一な接触圧が得られ、コンタ
クトピン4の液晶表示体20に対する接触不良による測
定ミスがなくなり、さらに強弾性フィルム22からのコ
ンタクトピン4の突出し量を変えることにより、コンタ
クトピン4を押し付けた時にコンタクトピン4を上から
押さえるタイミングを変えることが可能となり、所望の
押し付け量で所望の接触圧を得ることができる、(b)
図18に示されるコンタクトピン4の間の間隔tが一定
間隔を有する液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブを
得るには、図2の断面図に示されるように、第一層非導
電性樹脂フィルム5の上に、さらに金属フィルム21を
張り付けた液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブを作
製すると、湿度が変化してもコンタクトピン4とコンタ
クトピン4の間の間隔tの変化が少なくなり、もって、
正確にコンタクトピン先端部を液晶表示体に接触させる
ことができ、この金属フィルムを有する液晶表示体テス
ト用コンタクトプロ−ブの上に前記強弾性フィルム22
を重ね、コンタクトプローブ挟持体3のトップクランプ
7の第一突起9とボトムクランプ8の傾斜板15で挟ん
だ構造にすると、前記上に弯曲した先端S1も液晶表示
体20の端子に他のコンタクトピンと同様の接触圧で接
触するようになると共にコンタクトピン4の間の間隔t
が変化することがないところから、液晶表示体20の電
気的測定を一層正確に行うことができる、という知見を
得てこの発明に至ったものである。なお、この発明の液
晶表示体テスト装置を図1〜図9により説明するが、図
1〜図9において、額縁状フレーム、TABIC側のリ
ードなどの図示は省略してある。
Means for Solving the Problems Accordingly, the present inventors have
As a result of conducting research to solve such a problem, (a) in order for both the tip S1 curved above the contact pin 4 and the tip S2 curved below to align with the normal tip S,
Conventional contact probe 10 'for liquid crystal display test
As shown in FIG. 1, a ferroelastic film 22 made of an organic or inorganic material is provided on the first layer nonconductive resin film 5, and the tip of the contact pin 4 is provided with the first layer nonconductive resin film 5. The contact probe 10 ′ and the ferroelastic film 22 are attached to the first protrusion 9 and the bottom clamp 8 of the top clamp 7 of the contact probe holding body 3 in such a state that they protrude shorter than the contact pins 4. A liquid crystal display test device having a structure in which the contact probe holding body 3 is fixed to a frame-shaped frame is manufactured by sandwiching the contact probe holding body 3 with a frame frame, and the contact pins 4 are pressed against the liquid crystal display 20 to obtain a contact probe 10 '.
Since the ferroelastic film 22 provided on the upper surface presses the distal end of the contact pin 4 from above, the upwardly curved distal end S1 shown in FIG. 17 also comes into contact with the terminal of the liquid crystal display body 20. A uniform contact pressure is obtained, measurement errors due to poor contact of the contact pins 4 with the liquid crystal display 20 are eliminated, and furthermore, when the contact pins 4 are pressed by changing the amount of protrusion of the contact pins 4 from the ferroelastic film 22. The timing of pressing the contact pin 4 from above can be changed, and a desired contact pressure can be obtained with a desired amount of pressing (b).
In order to obtain a contact probe for testing a liquid crystal display having a constant interval t between the contact pins 4 shown in FIG. 18, a first layer non-conductive resin as shown in the sectional view of FIG. When a contact probe for testing a liquid crystal display body in which a metal film 21 is further adhered on the film 5 is manufactured, the change in the distance t between the contact pins 4 becomes small even when the humidity changes. So,
The tip of the contact pin can be accurately brought into contact with the liquid crystal display.
To form a structure sandwiched between the first projection 9 of the top clamp 7 of the contact probe holding body 3 and the inclined plate 15 of the bottom clamp 8, the tip S 1 curved upward also contacts another terminal of the liquid crystal display 20. The contact is made with the same contact pressure as the pins, and the distance t between the contact pins 4 is increased.
Since there is no change, the present inventors have found that the electrical measurement of the liquid crystal display body 20 can be performed more accurately, and have reached the present invention. The liquid crystal display test apparatus of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 9, but in FIGS. 1 to 9, illustration of a frame-like frame, TABIC-side leads, and the like is omitted.

【0009】前記(a)の知見に基づいてなされたこの
発明は、図1に示されるように、(1)平行に配列され
たコンタクトピン4を第一層非導電性樹脂フィルム5に
対して直交するようにかつコンタクトピン4の先端部が
第一層非導電性樹脂フィルム5から突出するように第一
層非導電性樹脂フィルム5の片面に張り付けてなる図1
1に示される従来の液晶表示体テスト用コンタクトプロ
ーブ10´と、前記液晶表示体テスト用コンタクトプロ
ーブの第一層非導電性樹脂フィルム5の上にコンタクト
ピン4よりも短く突出するように重ねた有機または無機
材料からなる強弾性フィルム22と、前記液晶表示体テ
スト用コンタクトプローブの上に有機または無機材料か
らなる強弾性フィルム22を重ねた状態で挟持するため
のトップクランプ7およびボトムクランプ8を有するコ
ンタクトプローブ挟持体と、前記コンタクトプローブ挟
持体を固定支持するための額縁状フレーム19と、から
なる液晶表示体テスト装置、に特徴を有するものであ
る。
As shown in FIG. 1, the present invention based on the knowledge of the above (a) provides (1) contact pins 4 arranged in parallel with respect to a first layer non-conductive resin film 5; FIG. 1 shows a state in which the contact pins 4 are attached to one surface of the first layer non-conductive resin film 5 so as to be orthogonal to each other and the tips of the contact pins 4 project from the first layer non-conductive resin film 5.
1 and a conventional liquid crystal display test contact probe 10 ′ as shown in FIG. A ferroelastic film 22 made of an organic or inorganic material, and a top clamp 7 and a bottom clamp 8 for holding the ferroelastic film 22 made of an organic or inorganic material on the contact probe for testing a liquid crystal display body in an overlapping state. The liquid crystal display test apparatus comprises a contact probe holding body having the above structure and a frame 19 for fixing and supporting the contact probe holding body.

【0010】前記(b)の知見に基づいてなされたこの
発明は、図2〜図9に示されており、前記(b)の知見
に基づいてなされたこの発明の内の1つの発明は、図2
に示される金属フィルムを張り付けた新規な液晶表示体
テスト用コンタクトプローブ10を使用するものであっ
て、図3に示されるように、(2)平行に配列されたコ
ンタクトピン4を第一層非導電性樹脂フィルム5に対し
て直交するようにかつコンタクトピン4の先端部が第一
層非導電性樹脂フィルム5から突出するように第一層非
導電性樹脂フィルム5の片面に張り付け、前記第一層非
導電性樹脂フィルム5の上に金属フィルム21を張り付
けてなる図2に示される液晶表示体テスト用コンタクト
プローブ10と、前記液晶表示体テスト用コンタクトプ
ローブの金属フィルム21の上にコンタクトピン4より
も短く突出するように重ねた有機または無機材料からな
る強弾性フィルム22と、前記液晶表示体テスト用コン
タクトプローブの上に有機または無機材料からなる強弾
性フィルム22を重ねた状態で挟持するためのトップク
ランプ7およびボトムクランプ8を有するコンタクトプ
ローブ挟持体3と、前記コンタクトプローブ挟持体を固
定支持するための額縁状フレームと、からなる液晶表示
体テスト装置に特徴を有するものである。
The invention made based on the knowledge of the above (b) is shown in FIGS. 2 to 9, and one of the inventions made based on the knowledge of the above (b) is: FIG.
In this method, a new contact probe 10 for testing a liquid crystal display body to which a metal film is attached as shown in FIG. 3 is used. As shown in FIG. Affixed to one surface of the first layer non-conductive resin film 5 so as to be orthogonal to the conductive resin film 5 and so that the tip of the contact pin 4 projects from the first layer non-conductive resin film 5, A liquid crystal display test contact probe 10 shown in FIG. 2 in which a metal film 21 is adhered on a non-conductive resin film 5 and a contact pin is provided on the metal film 21 of the liquid crystal display test contact probe. A ferroelastic film 22 made of an organic or inorganic material stacked so as to protrude shorter than 4; And a contact probe holding body 3 having a top clamp 7 and a bottom clamp 8 for holding the ferroelastic film 22 made of an organic or inorganic material in a stacked state, and a frame-shaped frame for fixing and supporting the contact probe holding body And a liquid crystal display test apparatus comprising:

【0011】この発明の液晶表示体テスト装置は、図2
に示されるような構造の液晶表示体テスト用コンタクト
プロ−ブ10の上に、図3に示されるように、有機また
は無機材料からなる強弾性フィルム22を重ねた状態で
トップクランプ7とボトムクランプ8を有するコンタク
トプロ−ブ挟持体に挟み、コンタクトピン4を液晶表示
体20に押し付けると、液晶表示体テスト用コンタクト
プロ−ブ10の上に重ねた強弾性フィルム22はコンタ
クトピン4の先端部を上から押さえるので、上に弯曲し
たコンタクトピン4の先端S1も液晶表示体20の端子
に他のコンタクトピンと同様の接触圧で接触するように
なり、さらに金属フィルム21を張り付けることにより
湿度などが変化しても従来のコンタクトプロ−ブ10´
よりもコンタクトピン4とコンタクトピン4の間の間隔
tの変化が少なく、もって、一層正確にコンタクトプロ
−ブのコンタクトピン先端部を液晶表示体に接触させる
ことができるのである。
FIG. 2 shows a liquid crystal display test apparatus according to the present invention.
As shown in FIG. 3, a top clamp 7 and a bottom clamp 7 are formed in such a manner that a ferroelastic film 22 made of an organic or inorganic material is superimposed on a contact probe 10 for a liquid crystal display test as shown in FIG. When the contact pin 4 is pressed against the liquid crystal display 20, the ferroelastic film 22 superimposed on the contact probe 10 for testing the liquid crystal display becomes the tip of the contact pin 4. Is pressed down from above, the tip S1 of the contact pin 4 bent upward comes into contact with the terminal of the liquid crystal display 20 at the same contact pressure as the other contact pins. The conventional contact probe 10 '
The change in the interval t between the contact pins 4 is smaller than that of the contact pins 4, so that the tip of the contact pin of the contact probe can be more accurately brought into contact with the liquid crystal display.

【0012】さらにこの発明で使用する液晶表示体テス
ト用コンタクトプロ−ブ10は、図4の断面図に示され
るように、第一層非導電性樹脂フィルム5上に金属フィ
ルム21を張り付け、この金属フィルム21の上にさら
に第二層非導電性樹脂フィルム5´を張り付けてなる構
造の物であっても良い。この第二層非導電性樹脂フィル
ム5´の上に有機または無機材料からなる強弾性フィル
ム22を、コンタクトピン4の先端部が第一層非導電性
樹脂フィルム5から突出する側に、コンタクトピン4よ
りも短く突出するように重ね、この状態でトップクラン
プ7とボトムクランプ8を有するコンタクトプロ−ブ挟
持体に挟み、コンタクトピン4を液晶表示体20に押し
付けると、上に弯曲したコンタクトピン4の先端S1も
液晶表示体20の端子に他のコンタクトピンと同様の接
触圧で接触するようになり、さらに湿度などが変化して
も従来のコンタクトプロ−ブ10´よりもコンタクトピ
ン4とコンタクトピン4の間の間隔tの変化が少なく、
もって、一層正確にコンタクトピン先端部を液晶表示体
に接触させることができるのである。
Further, in the contact probe 10 for testing a liquid crystal display used in the present invention, as shown in the cross-sectional view of FIG. The structure may be such that the second layer non-conductive resin film 5 ′ is further attached on the metal film 21. A ferroelastic film 22 made of an organic or inorganic material is placed on the second layer non-conductive resin film 5 ′, and the contact pin 4 has a contact pin protruding from the first layer non-conductive resin film 5. When the contact pin 4 is pressed against the liquid crystal display 20, the contact pin 4 is bent upward. Of the liquid crystal display 20 at the same contact pressure as the other contact pins. Even if the humidity or the like changes, the contact pin 4 and the contact pin 4 of the conventional contact probe 10 'are more likely to contact. The change in the interval t during 4 is small,
Thus, the tip of the contact pin can be more accurately brought into contact with the liquid crystal display.

【0013】従って、この発明は、図5の断面図に示さ
れるように、(3)平行に配列されたコンタクトピン4
を第一層非導電性樹脂フィルム5に対して直交するよう
にかつコンタクトピン4の先端部が第一層非導電性樹脂
フィルム5から突出するように第一層非導電性樹脂フィ
ルム5の片面に張り付け、前記第一層非導電性樹脂フィ
ルム5の上に金属フィルム21を張り付け、この金属フ
ィルム21の上にさらに第二層非導電性樹脂フィルム5
´を張り付けてなる図4に示される液晶表示体テスト用
コンタクトプロ−ブ10と、液晶表示体テスト用コンタ
クトプロ−ブ10の第二層非導電性樹脂フィルム5´の
上にコンタクトピンよりも短く突出するように重ねた有
機または無機材料からなる強弾性フィルム22と、前記
液晶表示体テスト用コンタクトプローブ10の上に有機
または無機材料からなる強弾性フィルム22を重ねた状
態で挟持するためのトップクランプ7およびボトムクラ
ンプ8を有するコンタクトプローブ挟持体3と、前記コ
ンタクトプローブ挟持体を固定支持するための額縁状フ
レームと、からなる液晶表示体テスト装置に特徴を有す
るものである。
Therefore, as shown in the sectional view of FIG. 5, the present invention provides (3) contact pins 4 arranged in parallel.
On one surface of the first layer non-conductive resin film 5 so that it is perpendicular to the first layer non-conductive resin film 5 and the tip of the contact pin 4 projects from the first layer non-conductive resin film 5. And a metal film 21 is attached on the first layer non-conductive resin film 5, and a second layer non-conductive resin film 5 is further attached on the metal film 21.
The liquid crystal display test contact probe 10 shown in FIG. 4 and the second layer non-conductive resin film 5 'of the liquid crystal display test contact probe 10 shown in FIG. A ferroelastic film 22 made of an organic or inorganic material, which is stacked so as to protrude shortly, and a ferroelastic film 22 made of an organic or inorganic material, which is overlapped on the contact probe 10 for testing a liquid crystal display, is sandwiched. The present invention is characterized in a liquid crystal display test apparatus including a contact probe holding body 3 having a top clamp 7 and a bottom clamp 8 and a frame-shaped frame for fixing and supporting the contact probe holding body.

【0014】前記(1)〜(3)記載のこの発明の液晶
表示体テスト装置は、上述のように優れた効果を奏する
ものであるが、図1、図3および図5に示されるよう
に、使用中は強弾性フィルム22がコンタクトピン4に
押圧接触しており、この発明のコンタクトプロ−ブとい
えども何回も繰り返し使用すると、強弾性フィルム22
とコンタクトピン4の押圧接触が繰り返され、この摩擦
が繰り返されて歪みが蓄積すると、コンタクトピン4が
左右に曲り、接触点がずれることがある。
The liquid crystal display test apparatus of the present invention described in the above (1) to (3) has excellent effects as described above. As shown in FIGS. 1, 3 and 5, During use, the ferroelastic film 22 is in pressure contact with the contact pins 4, and even if the contact probe of the present invention is used repeatedly, the ferroelastic film 22 is
When the contact between the contact pin 4 and the contact pin 4 is repeated, and the friction is repeated and the distortion is accumulated, the contact pin 4 may bend left and right, and the contact point may be shifted.

【0015】これを改善するために、図6の断面図に示
されるように、コンタクトピン4に接着する第一層非導
電性樹脂フィルムを従来より幅広なフィルムとし、この
幅広第一層非導電性樹脂フィルム51を接着したのち、
幅広第一層非導電性樹脂フィルム51の上に金属フィル
ム21を張り付けた構造を有する液晶表示体テスト用コ
ンタクトプロ−ブ10を作製する。この液晶表示体テス
ト用コンタクトプロ−ブ10のコンタクトピン4の金属
フィルム21からの突出長さをX1 、幅広第一層非導電
性樹脂フィルム51の金属フィルム21からの突出長さ
をX2 とすると、X1 >X2 の関係にあるようにする。
In order to improve this, as shown in the sectional view of FIG. 6, the first layer non-conductive resin film adhered to the contact pin 4 is made wider than the conventional one, and this wide first layer non-conductive resin film is used. After bonding the conductive resin film 51,
A contact probe 10 for a liquid crystal display test having a structure in which a metal film 21 is adhered on a wide first layer nonconductive resin film 51 is produced. The projecting length of the contact pins 4 of the contact probe 10 for liquid crystal display test from the metal film 21 is X 1 , and the projecting length of the wide first layer non-conductive resin film 51 from the metal film 21 is X 2. Then, the relationship of X 1 > X 2 is set.

【0016】かかる図6に示されるX1 >X2 の関係に
あるコンタクトピン4および幅広第一層非導電性樹脂フ
ィルム51を有し、さらに幅広第一層非導電性樹脂フィ
ルム51の上に金属フィルム21を張り付けた液晶表示
体テスト用コンタクトプロ−ブ10の金属フィルム21
の上に、図7に示されるように、この液晶表示体テスト
用コンタクトプロ−ブに対して、強弾性フィルム22を
幅広第一層非導電性樹脂フィルム51よりも短く突出す
るように重ね、トップクランプ7およびボトムクランプ
8を有するコンタクトプロ−ブ挟持体に挟み、コンタク
トピン4を液晶表示体20に押し付けると、コンタクト
プロ−ブ10に設けられた強弾性フィルム22は柔らか
い幅広第一層非導電性樹脂フィルム51に接触し、コン
タクトピン4と直接接触しないためコンタクトピン4の
左右への曲りがなくなり、さらにコンタクトピン4の強
弾性フィルム22の接触による摩耗が少なくなってコン
タクトピン4を損傷することがない。
The contact pins 4 and the wide first-layer non-conductive resin film 51 in the relationship of X 1 > X 2 shown in FIG. 6 are provided. Metal film 21 of liquid crystal display test contact probe 10 with metal film 21 attached
As shown in FIG. 7, the ferroelastic film 22 is superposed on the contact probe for liquid crystal display test so as to protrude shorter than the wide first layer nonconductive resin film 51, as shown in FIG. When the contact pin 4 is pressed against the liquid crystal display body 20 by sandwiching the contact pin between the contact probe holding body having the top clamp 7 and the bottom clamp 8, the ferroelastic film 22 provided on the contact probe 10 becomes softer and wider than the first layer. The contact pin 4 is not in direct contact with the conductive resin film 51 and does not directly contact the contact pin 4, so that the contact pin 4 does not bend left and right, and the contact pin 4 is less worn due to contact with the ferroelastic film 22, thereby damaging the contact pin 4. Never do.

【0017】従って、この発明は、図7に示されるよう
に、(4)平行に配列されたコンタクトピン4を幅広第
一層非導電性樹脂フィルム51に対して直交するように
かつコンタクトピンの先端部が幅広第一層非導電性樹脂
フィルム51から突出するように幅広第一層非導電性樹
脂フィルム51の片面に張り付け、前記幅広第一層非導
電性樹脂フィルム51の上に金属フィルム21を張り付
けてなる図6に示される液晶表示体テスト用コンタクト
プローブ10と、前記液晶表示体テスト用コンタクトプ
ローブ10の金属フィルム21の上に幅広第一層非導電
性樹脂フィルム51よりも短く突出するように重ねた有
機または無機材料からなる強弾性フィルム22と、前記
液晶表示体テスト用コンタクトプローブ10の上に有機
または無機材料からなる強弾性フィルム22を重ねた状
態で挟持するためのトップクランプ7およびボトムクラ
ンプ8を有するコンタクトプローブ挟持体3と、前記コ
ンタクトプローブ挟持体を固定支持するための額縁状フ
レームと、からなる液晶表示体テスト装置に特徴を有す
るものである。
Therefore, as shown in FIG. 7, the present invention provides (4) the contact pins 4 arranged in parallel so as to be orthogonal to the wide first layer non-conductive resin film 51 and the contact pins 4 One end of the wide first layer non-conductive resin film 51 is attached to one side of the wide first layer non-conductive resin film 51 so that the tip protrudes from the wide first layer non-conductive resin film 51, and the metal film 21 is placed on the wide first layer non-conductive resin film 51. 6. The contact probe 10 for testing a liquid crystal display body shown in FIG. 6 and a metal layer 21 of the contact probe 10 for testing a liquid crystal display body, which is shorter than the wide first layer non-conductive resin film 51. A ferroelastic film 22 made of an organic or inorganic material and an organic or inorganic material on the contact probe 10 for testing the liquid crystal display. A liquid crystal display comprising: a contact probe holding body 3 having a top clamp 7 and a bottom clamp 8 for holding the ferroelastic film 22 in a stacked state; and a frame-shaped frame for fixing and supporting the contact probe holding body. The body test apparatus has features.

【0018】さらに、この発明の液晶表示体テスト装置
を構成する液晶表示体テスト用コンタクトプローブ10
は、図8に示されるように、金属フィルム21の上に第
二層非導電性樹脂フィルム5´を張り付けたものであっ
ても良い。その場合のコンタクトピン4の金属フィルム
21からの突出長さをX1 、幅広第一層非導電性樹脂フ
ィルム51の金属フィルム21からの突出長さをX2
すると、X1 >X2 の関係にあることが必要である。そ
して第二層非導電性樹脂フィルム5´の上に重ねる強弾
性フィルム22は幅広第一層非導電性樹脂フィルム51
よりも短く突出するように重ねることが必要である。
Further, a contact probe 10 for testing a liquid crystal display constituting the liquid crystal display test apparatus of the present invention.
As shown in FIG. 8, a second layer non-conductive resin film 5 ′ may be attached on a metal film 21. In this case, assuming that the length of the contact pin 4 protruding from the metal film 21 is X 1 and the length of the wide first non-conductive resin film 51 protruding from the metal film 21 is X 2 , X 1 > X 2 You need to be in a relationship. The ferroelastic film 22 overlaid on the second layer non-conductive resin film 5 ′ is a wide first layer non-conductive resin film 51.
It is necessary to overlap them so that they project shorter.

【0019】従って、この発明は、図9に示されるよう
に、(5)平行に配列されたコンタクトピン4を幅広第
一層非導電性樹脂フィルム51に対して直交するように
かつコンタクトピンの先端部が幅広第一層非導電性樹脂
フィルム51から突出するように幅広第一層非導電性樹
脂フィルム51の片面に張り付け、前記幅広第一層非導
電性樹脂フィルム51の上に金属フィルム21を張り付
け、この金属フィルム21の上にさらに第二層非導電性
樹脂フィルム5´を張り付けてなる図8に示される液晶
表示体テスト用コンタクトプロ−ブと、前記液晶表示体
テスト用コンタクトプローブ10の第二層非導電性樹脂
フィルムの上に幅広第一層非導電性樹脂フィルム51よ
りも短く突出するように重ねた有機または無機材料から
なる強弾性フィルム22と、前記液晶表示体テスト用コ
ンタクトプローブ10の上に有機または無機材料からな
る強弾性フィルム22を重ねた状態で挟持するためのト
ップクランプ7およびボトムクランプ8を有するコンタ
クトプローブ挟持体3と、前記コンタクトプローブ挟持
体を固定支持するための額縁状フレームと、からなる液
晶表示体テスト装置に特徴を有するものである。
Therefore, as shown in FIG. 9, the present invention (5) arranges the contact pins 4 arranged in parallel so as to be orthogonal to the wide first-layer nonconductive resin film 51 and the contact pins 4 One end of the wide first layer non-conductive resin film 51 is attached to one side of the wide first layer non-conductive resin film 51 so that the tip protrudes from the wide first layer non-conductive resin film 51, and the metal film 21 is placed on the wide first layer non-conductive resin film 51. A liquid crystal display test contact probe shown in FIG. 8 in which a second layer non-conductive resin film 5 'is further bonded on the metal film 21, and the liquid crystal display test contact probe 10 shown in FIG. A ferroelastic film made of an organic or inorganic material which is superposed on the second layer non-conductive resin film so as to protrude shorter than the wide first layer non-conductive resin film 51 A contact probe holding body 3 having a top clamp 7 and a bottom clamp 8 for holding a ferroelastic film 22 made of an organic or inorganic material on the contact probe 10 for testing a liquid crystal display body; The present invention is characterized in that a liquid crystal display body test device comprises a frame-shaped frame for fixing and supporting the contact probe holding body.

【0020】この発明の液晶表示体テスト装置を構成す
る液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブで使用する金
属フィルムは、Ni、Ni合金、CuおよびCu合金の
内のいずれかの金属フィルムからなることが好ましい。
さらに、有機からなる強弾性フィルムはポリエチレンテ
レフタレートフィルムからなり、また無機材料からなる
強弾性フィルムはセラミック、特にアルミナ製フィルム
からなることが好ましい。
The metal film used in the liquid crystal display test contact probe constituting the liquid crystal display test apparatus of the present invention comprises any one of Ni, Ni alloy, Cu and Cu alloy. Is preferred.
Further, it is preferable that the ferroelastic film made of an organic material be made of a polyethylene terephthalate film, and the ferroelastic film made of an inorganic material be made of a ceramic, particularly a film made of alumina.

【0021】そして、この発明の液晶表示体テスト装置
を構成する液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブの第
一層非導電性樹脂フィルムおよび第二層非導電性樹脂フ
ィルムはいずれもポリイミド樹脂膜からなり、コンタク
トピン4はNiもしくはNi合金またはこれにAuメッ
キを施した金属で構成されることが好ましい。
The first non-conductive resin film and the second non-conductive resin film of the liquid crystal display test contact probe constituting the liquid crystal display test apparatus of the present invention are both made of a polyimide resin film. Thus, the contact pins 4 are preferably made of Ni or a Ni alloy or a metal obtained by plating the Ni or Ni alloy with Au.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

実施例1 ピッチ:100μm、ピン数:180ピンのNi製コン
タクトピンの上に厚さ:40μmのポリイミド樹脂製第
一層非導電性樹脂フィルムを張り付けることにより液晶
表示体テスト用コンタクトプロ−ブを作製し、この液晶
表示体テスト用コンタクトプロ−ブの前記ポリイミド樹
脂製第一層非導電性樹脂フィルムの上に厚さ:250μ
mのポリエチレンテレフタレートからなる強弾性フィル
ムをNi製コンタクトピンよりも0.5mm短く突出す
るように重ね、この状態でトップクランプおよびボトム
クランプで挟持することによりコンタクトプローブ挟持
体を作製し、このコンタクトプローブ挟持体を額縁状フ
レームに固定することにより本発明液晶表示体テスト装
置1を作製した。
Example 1 A contact probe for testing a liquid crystal display body by attaching a first layer non-conductive resin film made of a polyimide resin having a thickness of 40 μm on a Ni contact pin having a pitch of 100 μm and the number of pins of 180 pins. A contact probe for testing a liquid crystal display was formed on the first layer non-conductive resin film made of polyimide resin in a thickness of 250 μm.
The contact probe holding body is manufactured by stacking a ferroelastic film made of polyethylene terephthalate having a thickness of 0.5 m so as to protrude 0.5 mm shorter than the Ni contact pin, and holding the contact probe with a top clamp and a bottom clamp in this state. The liquid crystal display test apparatus 1 of the present invention was manufactured by fixing the holding body to the frame.

【0023】実施例2 ピッチ:80μm、ピン数:250ピンのNi製コンタ
クトピンの上に厚さ:50μmのポリイミド樹脂製第一
層非導電性樹脂フィルムを張り付け、さらに前記ポリイ
ミド樹脂製第一層非導電性樹脂フィルムの上に厚さ:5
0μmのベリリウム銅製金属フィルムを張り付けること
により液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブを作製
し、この液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブのベリ
リウム銅製金属フィルムの上に厚さ:300μmのポリ
エチレンテレフタレートからなる強弾性フィルムをNi
製コンタクトピンよりも0.6mm短く突出するように
重ね、この状態でトップクランプおよびボトムクランプ
で挟持することによりコンタクトプローブ挟持体を作製
し、このコンタクトプローブ挟持体を額縁状フレームに
固定することにより本発明液晶表示体テスト装置2を作
製した。
Example 2 A first non-conductive resin film made of a polyimide resin having a thickness of 50 μm was attached on Ni contact pins having a pitch of 80 μm and a number of pins of 250, and the first layer made of the polyimide resin was further attached. Thickness on non-conductive resin film: 5
A 0 .mu.m beryllium copper metal film is adhered to form a liquid crystal display test contact probe, and a 300 .mu.m thick polyethylene terephthalate is formed on the beryllium copper metal film of the liquid crystal display test contact probe. Ni film
The contact pins are stacked so that they protrude 0.6 mm shorter than the contact pins made from the contact pins. In this state, a contact probe holding body is manufactured by holding the top and bottom clamps, and the contact probe holding body is fixed to a frame-shaped frame. A liquid crystal display test apparatus 2 of the present invention was manufactured.

【0024】実施例3 ピッチ:75μm、ピン数:200ピンのNi製コンタ
クトピンの上に厚さ:40μmのポリイミド樹脂製第一
層非導電性樹脂フィルムを張り付け、さらに前記ポリイ
ミド樹脂製第一層非導電性樹脂フィルムの上に厚さ:3
5μmの純銅製金属フィルムを張り付け、この純銅製金
属フィルムの上に厚さ:40μmの前記ポリイミド樹脂
製第二層非導電性樹脂フィルムを張り付けることにより
液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブを作製し、この
液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブのポリイミド樹
脂製第二層非導電性樹脂フィルムの上に厚さ:200μ
mのアルミナからなる強弾性フィルムをNi製コンタク
トピンよりも0.4mm短く突出するように重ね、この
状態でトップクランプおよびボトムクランプで挟持する
ことによりコンタクトプローブ挟持体を作製し、このコ
ンタクトプローブ挟持体を額縁状フレームに固定するこ
とにより本発明液晶表示体テスト装置3を作製した。
Example 3 A first layer of a non-conductive resin film made of a polyimide resin having a thickness of 40 μm was adhered on Ni contact pins having a pitch of 75 μm and the number of pins of 200 pins. Thickness on non-conductive resin film: 3
A 5 μm pure copper metal film is adhered, and a second non-conductive resin film made of the polyimide resin having a thickness of 40 μm is adhered on the pure copper metal film to prepare a contact probe for a liquid crystal display test. The thickness of the contact probe for testing the liquid crystal display was 200 μm on the second non-conductive resin film made of polyimide resin.
A ferroelastic film made of alumina with a thickness of 0.4 m is stacked so as to protrude 0.4 mm shorter than the Ni contact pin, and in this state, clamped by a top clamp and a bottom clamp to produce a contact probe clamp body. The liquid crystal display test device 3 of the present invention was manufactured by fixing the body to a frame-shaped frame.

【0025】実施例4 ピッチ:65μm、ピン数:260ピンのNi製コンタ
クトピン、厚さ:40μmのポリイミド樹脂製幅広第一
層非導電性樹脂フィルムおよび厚さ:18μmの純銅製
金属フィルムからなり、純銅製金属フィルム端から突出
するNi製コンタクトピンの長さ:1.5mm、純銅製
金属フィルム端から突出するポリイミド樹脂製幅広第一
層非導電性樹脂フィルムの長さ:1.0mmを有する液
晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブを作製し、この液
晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブの純銅製金属フィ
ルムの上に厚さ:250μmのポリエチレンテレフタレ
ートからなる強弾性フィルムをポリイミド樹脂製第一層
非導電性樹脂フィルムよりも0.1mm短く突出するよ
うに重ね、この状態でトップクランプおよびボトムクラ
ンプで挟持することによりコンタクトプローブ挟持体を
作製し、このコンタクトプローブ挟持体を額縁状フレー
ムに固定することにより本発明液晶表示体テスト装置4
を作製した。
Example 4 A Ni contact pin having a pitch of 65 μm and a pin count of 260 pins, a wide non-conductive resin film made of a polyimide resin having a thickness of 40 μm, and a pure copper metal film having a thickness of 18 μm. The length of the Ni contact pin protruding from the end of the pure copper metal film: 1.5 mm, and the length of the polyimide resin wide first layer non-conductive resin film protruding from the end of the pure copper metal film: 1.0 mm A contact probe for testing a liquid crystal display was prepared. A ferroelastic film made of polyethylene terephthalate having a thickness of 250 μm was formed on a pure copper metal film of the contact probe for testing a liquid crystal display by a first layer made of a polyimide resin. Lay it so that it protrudes 0.1 mm shorter than the non-conductive resin film. To produce a contact probe holding member by clamping in amplifier, the present invention a liquid crystal display element testing apparatus 4 by fixing the contact probe holding member in a frame shape frame
Was prepared.

【0026】実施例5 ピッチ:100μm、ピン数:320ピンのNi製コン
タクトピン、厚さ:40μmのポリイミド樹脂製幅広第
一層非導電性樹脂フィルム、厚さ:18μmの純銅製金
属フィルムおよび厚さ:40μmのポリイミド樹脂製第
二層非導電性樹脂フィルムからなり、ポリイミド樹脂製
第二層非導電性樹脂フィルム端から突出するNi製コン
タクトピンの長さ:1.5mm、ポリイミド樹脂製第二
層非導電性樹脂フィルム端から突出するポリイミド樹脂
製幅広第一層非導電性樹脂フィルムの長さ:1.2mm
を有する液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブを作製
し、この液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブのポリ
イミド樹脂製第二層非導電性樹脂フィルムの上に厚さ:
250μmのポリエチレンテレフタレートからなる強弾
性フィルムをポリイミド樹脂製第二層非導電性樹脂フィ
ルムよりも0.2mm短く突出するように重ね、この状
態でトップクランプおよびボトムクランプで挟持するこ
とによりコンタクトプローブ挟持体を作製し、このコン
タクトプローブ挟持体を額縁状フレームに固定すること
により本発明液晶表示体テスト装置5を作製した。
Example 5 Ni contact pins having a pitch of 100 μm and the number of pins: 320 pins, a wide non-conductive resin film made of polyimide resin having a thickness of 40 μm, a pure copper metal film having a thickness of 18 μm, and a thickness of 18 μm The length of the Ni contact pin, which is composed of a polyimide resin second layer non-conductive resin film of 40 μm and protrudes from the end of the polyimide resin second layer non-conductive resin film: 1.5 mm, the polyimide resin second layer Length of polyimide resin wide first layer non-conductive resin film protruding from the end of layer non-conductive resin film: 1.2 mm
A contact probe for testing a liquid crystal display having the following is prepared. The thickness of the contact probe for testing a liquid crystal display is formed on a polyimide resin second layer non-conductive resin film.
A contact probe holding body is formed by stacking a ferroelastic film made of 250 μm polyethylene terephthalate so as to protrude 0.2 mm shorter than the second non-conductive resin film made of a polyimide resin, and holding the top and bottom clamps in this state. The liquid crystal display test device 5 of the present invention was manufactured by fixing the contact probe holding body to a frame frame.

【0027】従来例 ピッチ:75μm、ピン数:210ピンのNi製コンタ
クトピンに、厚さ:50μmのポリイミド樹脂製第一層
非導電性樹脂フィルムを張り付けた構造を有する液晶表
示体テスト用コンタクトプロ−ブを作製し、強弾性フィ
ルムのないコンタクトプローブ挟持体を作製し、このコ
ンタクトプローブ挟持体を額縁状フレームに固定するこ
とにより従来液晶表示体テスト装置を作製した。
Conventional Example A contact probe for testing a liquid crystal display having a structure in which a first non-conductive resin film made of polyimide resin having a thickness of 50 μm is adhered to Ni contact pins having a pitch of 75 μm and a number of pins of 210 pins. A conventional liquid crystal display test apparatus was manufactured by fabricating a contact probe holding body without a ferroelastic film and fixing the contact probe holding body to a frame-shaped frame.

【0028】これら本発明液晶表示体テスト装置1〜5
および従来液晶表示体テスト装置を使用し、コンタクト
ピンを液晶表示体に押し付けたところ、本発明液晶表示
体テスト装置1〜5は強弾性フィルムがコンタクトピン
の先端部を上から押さえるので、いずれのコンタクトピ
ンも液晶表示体の端子に接触するようになり、電気的測
定のミスをなくすことができたが、従来液晶表示体テス
ト装置では電気的測定ミスが発生した。
These liquid crystal display device test apparatuses 1 to 5 of the present invention
When the contact pins were pressed against the liquid crystal display using a conventional liquid crystal display test apparatus, the liquid crystal display test apparatuses 1 to 5 of the present invention showed that the ferroelastic film pressed the top end of the contact pin from above. Although the contact pins also came into contact with the terminals of the liquid crystal display, it was possible to eliminate an electrical measurement error. However, in the conventional liquid crystal display test apparatus, an electrical measurement error occurred.

【0029】特に、本発明液晶表示体テスト装置4およ
び5は、10万回繰り返し使用してもコンタクトピンの
左右への曲りの発生がなく、接触点がずれて電気的測定
を阻害することはなかった。
In particular, the liquid crystal display test devices 4 and 5 of the present invention do not cause bending of the contact pins to the left and right even after repeated use of 100,000 times, so that the contact points are displaced and hinder the electrical measurement. Did not.

【0030】[0030]

【発明の効果】上述のように、この発明の液晶表示体テ
スト装置は、コンタクトピンの先端部を正確に液晶表示
体の所定の位置に正確に接触させることができ、液晶表
示体の検査のミスが皆無になるなど半導体産業の発展に
大いに貢献しうるものである。
As described above, the liquid crystal display test apparatus according to the present invention allows the tip of the contact pin to contact the predetermined position of the liquid crystal display accurately and accurately. It can greatly contribute to the development of the semiconductor industry, such as eliminating errors.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の液晶表示体テスト装置の断面概略説
明図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional explanatory view of a liquid crystal display test apparatus of the present invention.

【図2】この発明の液晶表示体テスト装置に使用する液
晶表示体コンタクトプロ−ブの断面概略説明図である。
FIG. 2 is a schematic sectional view of a liquid crystal display contact probe used in the liquid crystal display test apparatus of the present invention.

【図3】図2の液晶表示体コンタクトプロ−ブを組み込
んだこの発明の液晶表示体テスト装置の断面概略説明図
である。
FIG. 3 is a schematic sectional view of a liquid crystal display test apparatus of the present invention incorporating the liquid crystal display contact probe of FIG. 2;

【図4】この発明の液晶表示体テスト装置に使用する液
晶表示体コンタクトプロ−ブの断面概略説明図である。
FIG. 4 is a schematic sectional view of a liquid crystal display contact probe used in the liquid crystal display test apparatus of the present invention.

【図5】図4の液晶表示体コンタクトプロ−ブを組み込
んだこの発明の液晶表示体テスト装置の断面概略説明図
である。
FIG. 5 is a schematic sectional view of a liquid crystal display test apparatus of the present invention incorporating the liquid crystal display contact probe of FIG.

【図6】この発明の液晶表示体テスト装置に使用する液
晶表示体コンタクトプロ−ブの断面概略説明図である。
FIG. 6 is a schematic sectional view of a liquid crystal display contact probe used in the liquid crystal display test apparatus of the present invention.

【図7】図6の液晶表示体コンタクトプロ−ブを組み込
んだこの発明の液晶表示体テスト装置の断面概略説明図
である。
FIG. 7 is a schematic sectional view of a liquid crystal display test apparatus of the present invention incorporating the liquid crystal display contact probe of FIG.

【図8】この発明の液晶表示体テスト装置に使用する液
晶表示体コンタクトプロ−ブの断面概略説明図である。
FIG. 8 is a schematic sectional view of a liquid crystal display contact probe used in the liquid crystal display test apparatus of the present invention.

【図9】図8の液晶表示体コンタクトプロ−ブを組み込
んだこの発明の液晶表示体テスト装置の断面概略説明図
である。
FIG. 9 is a schematic sectional view of a liquid crystal display test apparatus of the present invention incorporating the liquid crystal display contact probe of FIG.

【図10】従来の液晶表示体コンタクトプロ−ブの斜視
概略説明図である。
FIG. 10 is a schematic perspective view illustrating a conventional liquid crystal display contact probe.

【図11】図10のA−A断面図である。11 is a sectional view taken along line AA of FIG.

【図12】液晶表示体テスト装置を取り付けるコンタク
トプロ−ブ挟持体の分解斜視図である。
FIG. 12 is an exploded perspective view of a contact probe holding body to which a liquid crystal display body test device is attached.

【図13】液晶表示体テスト装置を取り付けるコンタク
トプロ−ブ挟持体の組み立てた斜視図である。
FIG. 13 is an assembled perspective view of a contact probe holding body to which a liquid crystal display body test device is attached.

【図14】液晶表示体テスト装置の斜視図である。FIG. 14 is a perspective view of a liquid crystal display test apparatus.

【図15】図14のB−B断面図である。FIG. 15 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 14;

【図16】従来の液晶表示体テスト用コンタクトプロ−
ブの断面図である。
FIG. 16 shows a conventional contact probe for testing a liquid crystal display.
FIG.

【図17】液晶表示体テスト用コンタクトプロ−ブを組
み込んだコンタクトプロ−ブ挟持体の断面図である。
FIG. 17 is a cross-sectional view of a contact probe sandwiching member incorporating a liquid crystal display test contact probe.

【図18】図10のD方向から見た正面図である。FIG. 18 is a front view as viewed from a direction D in FIG. 10;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 液晶表示体テスト装置 2 ボルト 3 コンタクトプロ−ブ挟持体 4 コンタクトピン 5 第一層非導電性樹脂フィルム 5´ 第二層非導電性樹脂フィルム 51 幅広第一層非導電性樹脂フィルム 7 トップクランプ 8 ボトムクランプ 9 第一突起 10 液晶表示体テスト用コンタクトプローブ 10´ 液晶表示体テスト用コンタクトプローブ 11 TABIC 12 端子 13 第二突起 14 第三突起 15 傾斜板 16 取り付け板 17 底板 19 額縁状フレーム 20 液晶表示体 21 金属フィルム 22 強弾性フィルム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal display test device 2 Bolt 3 Contact probe holding body 4 Contact pin 5 First layer non-conductive resin film 5 'Second layer non-conductive resin film 51 Wide first layer non-conductive resin film 7 Top clamp Reference Signs List 8 bottom clamp 9 first protrusion 10 contact probe for liquid crystal display test 10 ′ contact probe for liquid crystal display test 11 TABIC 12 terminal 13 second protrusion 14 third protrusion 15 inclined plate 16 mounting plate 17 bottom plate 19 picture frame 20 liquid crystal Display 21 Metal film 22 Strong elastic film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石井 利昇 兵庫県三田市テクノパ−ク12−6 三菱 マテリアル株式会社 三田工場内 (72)発明者 吉田 秀昭 兵庫県三田市テクノパ−ク12−6 三菱 マテリアル株式会社 三田工場内 (72)発明者 中村 忠司 兵庫県三田市テクノパ−ク12−6 三菱 マテリアル株式会社 三田工場内 (56)参考文献 特開 平7−270817(JP,A) 特開 平7−209335(JP,A) 特開 平4−363671(JP,A) 特開 平7−321170(JP,A) 特開 平6−334006(JP,A) 特開 昭63−206671(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 1/073 H01L 21/66 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Toshiho Ishii 12-6 Technopark, Mita-shi, Hyogo Mitsubishi Materials Corporation Mita Plant (72) Inventor Hideaki Yoshida 12-6 Technopark, Mita-shi, Hyogo Mitsubishi Material Co., Ltd. Mita Plant (72) Inventor Tadashi Nakamura 12-6 Technopark, Mita City, Hyogo Prefecture Mitsubishi Materials Co., Ltd. Mita Plant (56) References JP-A-7-270817 (JP, A) JP-A-7 JP-A-209335 (JP, A) JP-A-4-363671 (JP, A) JP-A-7-321170 (JP, A) JP-A-6-334006 (JP, A) JP-A-63-206671 (JP, A) (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01R 1/073 H01L 21/66

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】平行に配列されたコンタクトピンを第一層
非導電性樹脂フィルムに対して直交するようにかつコン
タクトピンの先端部が第一層非導電性樹脂フィルムから
突出するように第一層非導電性樹脂フィルムの片面に張
り付けてなる液晶表示体テスト用コンタクトプローブ
と、 前記液晶表示体テスト用コンタクトプローブの第一層非
導電性樹脂フィルムの上にコンタクトピンよりも短く突
出するように重ねた有機または無機材料からなる強弾性
フィルムと、 前記液晶表示体テスト用コンタクトプローブの上に有機
または無機材料からなる強弾性フィルムを重ねた状態で
挟持するためのトップクランプおよびボトムクランプを
有するコンタクトプローブ挟持体と、 前記コンタクトプローブ挟持体を固定支持するための額
縁状フレームと、からなることを特徴とする液晶表示体
テスト装置。
A first contact pin arranged in parallel with the first non-conductive resin film so as to be perpendicular to the first non-conductive resin film and a tip of the contact pin protrudes from the first non-conductive resin film. A liquid crystal display body test contact probe attached to one side of a layer non-conductive resin film, and a contact probe protruding shorter than a contact pin above the first layer non-conductive resin film of the liquid crystal display body test contact probe. A contact having a superelastic film made of a stacked organic or inorganic material, and a top clamp and a bottom clamp for sandwiching the ferroelastic film made of an organic or inorganic material on the contact probe for testing a liquid crystal display body in a stacked state. A probe holder, a frame-shaped frame for fixedly supporting the contact probe holder, Liquid crystal layer test device, characterized in that Ranaru.
【請求項2】平行に配列されたコンタクトピンを第一層
非導電性樹脂フィルムに対して直交するようにかつコン
タクトピンの先端部が第一層非導電性樹脂フィルムから
突出するように第一層非導電性樹脂フィルムの片面に張
り付けられ、さらに前記第一層非導電性樹脂フィルム上
に金属フィルムを張り付けてなる液晶表示体テスト用コ
ンタクトプローブと、 前記液晶表示体テスト用コンタクトプローブの金属フィ
ルムの上にコンタクトピンよりも短く突出するように重
ねた有機または無機材料からなる強弾性フィルムと、 前記液晶表示体テスト用コンタクトプローブの上に有機
または無機材料からなる強弾性フィルムを重ねた状態で
挟持するためのトップクランプおよびボトムクランプを
有するコンタクトプローブ挟持体と、 前記コンタクトプローブ挟持体を固定支持するための額
縁状フレームと、からなることを特徴とする液晶表示体
テスト装置。
2. The contact pins arranged in parallel with each other so that the contact pins are orthogonal to the first layer non-conductive resin film and the tips of the contact pins project from the first layer non-conductive resin film. A contact probe for a liquid crystal display test, which is attached to one surface of a layer non-conductive resin film, and further has a metal film attached to the first layer non-conductive resin film; and a metal film for the contact probe for the liquid crystal display test. A ferroelastic film made of an organic or inorganic material stacked so as to protrude shorter than a contact pin on the liquid crystal display, and a ferroelastic film made of an organic or inorganic material stacked on the contact probe for testing the liquid crystal display. A contact probe holding body having a top clamp and a bottom clamp for holding the contact probe; Liquid crystal layer test device comprising a frame-shaped frame for fixedly supporting the probe holding member, in that it consists of.
【請求項3】平行に配列されたコンタクトピンを第一層
非導電性樹脂フィルムに対して直交するようにかつコン
タクトピンの先端部が第一層非導電性樹脂フィルムから
突出するように第一層非導電性樹脂フィルムの片面に張
り付けられ、前記第一層非導電性樹脂フィルム上に金属
フィルムを張り付け、この金属フィルムの上にさらに第
二層非導電性樹脂フィルムを張り付けてなる液晶表示体
テスト用コンタクトプローブと、 前記液晶表示体テスト用コンタクトプローブの第二層非
導電性樹脂フィルムの上にコンタクトピンよりも短く突
出するように重ねた有機または無機材料からなる強弾性
フィルムと、 前記液晶表示体テスト用コンタクトプローブの上に有機
または無機材料からなる強弾性フィルムを重ねた状態で
挟持するためのトップクランプおよびボトムクランプを
有するコンタクトプローブ挟持体と、 前記コンタクトプローブ挟持体を固定支持するための額
縁状フレームと、からなることを特徴とする液晶表示体
テスト装置。
3. The first contact pins arranged in parallel with each other so that the contact pins are orthogonal to the first layer non-conductive resin film and the tips of the contact pins project from the first layer non-conductive resin film. A liquid crystal display body which is attached to one surface of a layer non-conductive resin film, a metal film is attached on the first layer non-conductive resin film, and a second layer non-conductive resin film is further attached on the metal film. A contact probe for testing; a ferroelastic film made of an organic or inorganic material stacked on the second layer nonconductive resin film of the contact probe for liquid crystal display test so as to protrude shorter than contact pins; A top plate for sandwiching a ferroelastic film made of an organic or inorganic material on a contact probe for display test Liquid crystal layer test device for the contact probe holding member, and a frame-shaped frame for fixing and supporting the contact probe holding member, characterized in that it consists of having a pump and bottom clamps.
【請求項4】平行に配列されたコンタクトピンを幅広第
一層非導電性樹脂フィルムに対して直交するようにかつ
コンタクトピンの先端部が幅広第一層非導電性樹脂フィ
ルムから突出するように幅広第一層非導電性樹脂フィル
ムの片面に張り付け、さらに幅広第一層非導電性樹脂フ
ィルムの上に金属フィルムを張り付けてなる液晶表示体
テスト用コンタクトプローブと、 前記液晶表示体テスト用コンタクトプローブの金属フィ
ルムの上に幅広第一層非導電性樹脂フィルムよりも短く
突出するように重ねた有機または無機材料からなる強弾
性フィルムと、 前記液晶表示体テスト用コンタクトプローブの上に有機
または無機材料からなる強弾性フィルムを重ねた状態で
挟持するためのトップクランプおよびボトムクランプを
有するコンタクトプローブ挟持体と、 前記コンタクトプローブ挟持体を固定支持するための額
縁状フレームと、からなることを特徴とする液晶表示体
テスト装置。
4. The contact pins arranged in parallel with each other so as to be orthogonal to the wide first layer non-conductive resin film and so that the tips of the contact pins protrude from the wide first layer non-conductive resin film. A contact probe for testing a liquid crystal display body, which is attached to one side of a wide first layer non-conductive resin film and further adheres a metal film on the wide first layer non-conductive resin film; and A ferroelastic film made of an organic or inorganic material stacked so as to protrude shorter than the wide first layer non-conductive resin film on the metal film, and an organic or inorganic material on the liquid crystal display test contact probe. Having a top clamp and a bottom clamp for holding a ferroelastic film made of Bed and holding member, and a frame-shaped frame for fixing and supporting the contact probe holding member, a liquid crystal display element test apparatus characterized by comprising a.
【請求項5】 平行に配列されたコンタクトピンを幅広
第一層非導電性樹脂フィルムに対して直交するようにか
つコンタクトピンの先端部が幅広第一層非導電性樹脂フ
ィルムから突出するように幅広第一層非導電性樹脂フィ
ルムの片面に張り付け、さらに前記幅広第一層非導電性
樹脂フィルム上に金属フィルムを張り付け、この金属フ
ィルムの上にさらに第二層非導電性樹脂フィルムを張り
付けてなる液晶表示体テスト用コンタクトプローブと、 前記液晶表示体テスト用コンタクトプローブの第二層非
導電性樹脂フィルムの上に幅広第一層非導電性樹脂フィ
ルムよりも短く突出するように重ねた有機または無機材
料からなる強弾性フィルムと、 前記液晶表示体テスト用コンタクトプローブの上に有機
または無機材料からなる強弾性フィルムを重ねた状態で
挟持するためのトップクランプおよびボトムクランプを
有するコンタクトプローブ挟持体と、 前記コンタクトプローブ挟持体を固定支持するための額
縁状フレームと、からなることを特徴とする液晶表示体
テスト装置。
5. The contact pins arranged in parallel so as to be orthogonal to the wide first layer non-conductive resin film, and so that the tips of the contact pins protrude from the wide first layer non-conductive resin film. Attach to one side of the wide first layer non-conductive resin film, further paste a metal film on the wide first layer non-conductive resin film, further paste the second layer non-conductive resin film on this metal film A liquid crystal display body test contact probe, and an organic or organic layer that is overlapped on the second layer nonconductive resin film of the liquid crystal display body test contact probe so as to project shorter than the wide first layer nonconductive resin film. A ferroelastic film made of an inorganic material, and a ferroelastic film made of an organic or inorganic material on the contact probe for liquid crystal display test. Liquid crystal layer test device comprising a contact probe holding member, and a frame-shaped frame for fixing and supporting the contact probe holding member, in that it consists of having a top clamp and the bottom clamp for clamping in topping state.
【請求項6】 前記金属フィルムは、Ni、Ni合金、
CuまたはCu合金の内のいずれかの金属フィルムから
なることを特徴とする請求項1、2、3、4または5記
載の液晶表示体テスト装置。
6. The metal film, wherein the metal film is Ni, a Ni alloy,
6. The liquid crystal display test apparatus according to claim 1, comprising a metal film of any one of Cu and Cu alloy.
【請求項7】 前記有機または無機材料からなる強弾性
フィルムは、セラミックまたはポリエチレンテレフタレ
ートからなることを特徴とする請求項1、2、3、4ま
たは5記載の液晶表示体テスト装置。
7. The liquid crystal display test apparatus according to claim 1, wherein the ferroelastic film made of an organic or inorganic material is made of ceramic or polyethylene terephthalate.
【請求項8】 前記コンタクトピンは、NiまたはNi
合金にAuメッキを施した金属からなることを特徴とす
る請求項1、2、3、4または5記載の液晶表示体テス
ト装置。
8. The contact pin is made of Ni or Ni.
6. The liquid crystal display test apparatus according to claim 1, wherein the test apparatus is made of a metal obtained by plating an alloy with Au.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102085293B1 (en) * 2018-05-10 2020-03-06 원광보건대학교 산학협력단 Dual control system and device of radiation generator using speech recognition

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