JP3112572B2 - Optical fiber tip processing method - Google Patents

Optical fiber tip processing method

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JP3112572B2 JP04200429A JP20042992A JP3112572B2 JP 3112572 B2 JP3112572 B2 JP 3112572B2 JP 04200429 A JP04200429 A JP 04200429A JP 20042992 A JP20042992 A JP 20042992A JP 3112572 B2 JP3112572 B2 JP 3112572B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光半導体素子に結合する
光ファイバに係り、詳細には光ファイバの先端部の球面
加工方法の技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical fiber to be coupled to an optical semiconductor device, and more particularly, to a technique of a method for processing a spherical end of an optical fiber.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ファイバと光回路や光モジュールのカ
ップリングにおける光伝搬において、光ファイバの光伝
搬は、光の入射角に応じたコア部とクラッド部の境界面
における屈折率に依存(コア部の屈折率はクラッド部の
屈折率よりも高い)する。このためにファイバ先端部に
微小レンズ系が用いられる。しかし、光ファイバに対す
る微小レンズ系の製造や実装が難しいため、従来はレン
ズ系を用いた光ファイバに比べ小型化で経済化に適する
先球ファイバが用いられる。この先球ファイバは、光フ
ァイバ先端部を球面加工することで光学系をシンプル化
し、ファイバそのもの小型化・経済化を図っている。
従来の先球ファイバの加工方法として、J.App1.
Phys.,Vol.44,No.6,pp2756〜
2758(1973)に示される技術が開示されてい
る。この技術を図3を参照して説明すると、グラスファ
イバ10はシリカからなるコア部10aとクラッド部1
0bを有し、このグラスファイバ10の先端部10cを
バーナ12からの火炎11で溶融し、融解したガラスの
表面張力により先端部10cを先球化する。また、グラ
スファイバ10の先端部10cを溶融する方法として炭
酸ガスレーザによる放電加工等が知られている。
2. Description of the Related Art In the light propagation in the coupling between an optical fiber and an optical circuit or an optical module, the light propagation in the optical fiber depends on the refractive index at the interface between the core and the clad in accordance with the incident angle of the light. The refractive index of the portion is higher than the refractive index of the cladding portion). For this purpose, a microlens system is used at the tip of the fiber. However, since it is difficult to manufacture and mount a microlens system for an optical fiber, conventionally, a spherical fiber that is more compact and more economical than an optical fiber using a lens system is used. This spherical fiber has a simplified optical system by processing the tip of the optical fiber into a spherical surface, thereby reducing the size and cost of the fiber itself.
As a conventional method of processing a spherical fiber, J. App1.
Phys. , Vol. 44, no. 6, pp2756 ~
2758 (1973). This technique will be described with reference to FIG. 3. The glass fiber 10 includes a core portion 10 a made of silica and a clad portion 1.
0b, the tip 10c of the glass fiber 10 is melted by the flame 11 from the burner 12, and the tip 10c is made spherical by the surface tension of the molten glass. Further, as a method for melting the tip portion 10c of the glass fiber 10, electric discharge machining using a carbon dioxide gas laser or the like is known.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の先
球ファイバの加工方法は、単にファイバ先端部を溶融し
その表面張力で先球化する方法であるため、先端部分の
微小な体積を火炎の規模およびその熱量を制御すること
で溶融し、ファイバ先端部の球面加工を行わなければな
らなかった。このように、ファイバ先端部の先球化その
ものの精度を火炎の制御のみで決定してしまうため、先
球化された部分の曲率半径にバラツキが生じやすく、先
球化された部分の精度が悪かった。さらに、先球ファイ
バを大量生産する場合においても、先球ファイバの個々
の曲率半径が一定化しないという不都合があり、生産性
が極めて悪いという不都合があった。
As described above, the conventional method of processing a front-end fiber is a method of simply melting the front end portion of the fiber and forming the front end portion by the surface tension. By controlling the size of the flame and the amount of heat, it melted, and the fiber tip had to be spherically machined. As described above, since the accuracy of the spherical tip of the fiber itself is determined only by controlling the flame, the radius of curvature of the spherical part is likely to vary, and the precision of the spherical part is reduced. It was bad. Furthermore, even in the case of mass-producing the spherical fiber, there is a disadvantage that the radius of curvature of each of the spherical fibers is not constant, and the productivity is extremely low.

【0004】そこで、本発明の目的は、光ファイバの先
端部の球面加工の精度を高めると共に、加工精度に伴う
生産性を向上することができる光ファイバ先端部の球面
加工方法を提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a method of processing a spherical surface of an optical fiber tip which can improve the accuracy of the spherical processing of the distal end of the optical fiber and improve the productivity accompanying the processing accuracy. is there.

【0005】[0005]

【課題が解決するための手段】請求項1記載の発明で
は、光ファイバ先端部の球面加工方法として、光ファイ
バ先端部の端面から所定の位置に、光ファイバ表面から
所定の深さの溝を形成し、前記光ファイバ先端部を局部
的に加熱溶融し、光ファイバ先端部に球面加工を施す。
請求項2記載の発明では、請求項1記載の光ファイバ先
端部の球面加工方法として、光ファイバ先端部の全体を
所定の深さに除去し、光ファイバ先端部を局部的に加熱
溶融し、光ファイバ先端部に球面加工を施す。請求項3
記載の発明では、請求項1記載の光ファイバ先端部の球
面加工方法として、光ファイバ先端部の端面から所定の
位置に、フォトリソグラフィの手法を用い露光マスクを
通して、露光マスクと光ファイバとの相対位置を一定に
保ちながら光ファイバを回転しつつエッチング用のマス
クを形成し、エッチングにより光ファイバ先端部から所
定の位置に溝を形成し、この光ファイバ先端部を局部的
に加熱溶融して光ファイバ先端部に球面加工を施す。
According to the first aspect of the present invention, as a method for processing a spherical surface of an optical fiber tip, a groove having a predetermined depth from the surface of the optical fiber is provided at a predetermined position from the end face of the optical fiber tip. The optical fiber tip is locally heated and melted, and the optical fiber tip is subjected to spherical processing.
According to the second aspect of the present invention, as the spherical surface processing method of the optical fiber tip portion according to the first aspect, the entirety of the optical fiber tip portion is removed to a predetermined depth, and the optical fiber tip portion is locally heated and melted, Apply spherical processing to the tip of the optical fiber. Claim 3
According to the invention described above, as a method for processing the spherical surface of the optical fiber tip portion according to the first aspect, a relative position between the exposure mask and the optical fiber is passed through an exposure mask using a photolithography technique at a predetermined position from the end surface of the optical fiber tip portion. A mask for etching is formed while rotating the optical fiber while keeping the position constant, a groove is formed at a predetermined position from the tip of the optical fiber by etching, and the tip of the optical fiber is locally heated and melted to form a light. Apply spherical processing to the fiber tip.

【0006】[0006]

【作用】この発明の光ファイバ先端部の球面加工方法
は、光ファイバ先端部の端面から所定の位置に、光ファ
イバ表面から所定の深さの溝を形成し、前記光ファイバ
先端部を局部的に加熱溶融する。
According to the method of the present invention, a groove having a predetermined depth from the surface of an optical fiber is formed at a predetermined position from an end surface of the distal end of the optical fiber. Heat and melt.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明の光ファイバ先端部の球面加工
方法の一実施例を図1および図2を参照して詳細に説明
する。図1は本発明の光ファイバ先端部の球面加工方法
による光ファイバ先端部を概念的に表したものである。
この図1において、光ファイバ1は石英系、多成分ガラ
ス系等のファイバで形成されている。この光ファイバ1
は、主材料が近赤外波長領域で最も低損失であるシリカ
などからなるコア1aと、クラッド1bから構成されて
おり、コア1aの屈折率はクラッド1bの屈折率よりも
高いため、入射光がコア1aとクラッド1bの境界面で
全反射されるようになっている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a method for processing a spherical surface of an optical fiber tip according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 1 conceptually shows an optical fiber tip portion by a spherical surface processing method of the optical fiber tip portion of the present invention.
In FIG. 1, an optical fiber 1 is formed of a fiber such as a quartz-based or multi-component glass-based fiber. This optical fiber 1
Is composed of a core 1a made of silica or the like whose main material has the lowest loss in the near-infrared wavelength region and a clad 1b, and the refractive index of the core 1a is higher than that of the clad 1b. Is totally reflected at the boundary surface between the core 1a and the cladding 1b.

【0008】光ファイバ1の先端部1cの球面加工方法
について次に説明する。まず、光ファイバ1の先端部1
c端面から所定の位置に、光ファイバ1の外周表面か
ら、所定深さの溝1dを形成する。この溝1dは精密加
工機器等によって、クラッド1bの肉厚の中間程度まで
の深さに、断面略U字状に形成する。このようにして溝
1dを形成した光ファイバ1の先端部1cを、その前方
から、炭酸ガスレーザ加工機等の放電加工機の放電によ
って溶融する。この溶融により、先端部1cは、滑らか
に精度よく球面加工される。
Next, a method for processing the spherical surface of the distal end portion 1c of the optical fiber 1 will be described. First, the tip 1 of the optical fiber 1
A groove 1d having a predetermined depth is formed at a predetermined position from the end face c from the outer peripheral surface of the optical fiber 1. The groove 1d is formed in a substantially U-shaped cross section by a precision processing device or the like at a depth up to about the middle of the thickness of the clad 1b. The distal end portion 1c of the optical fiber 1 having the groove 1d formed in this way is melted from the front thereof by the discharge of an electric discharge machine such as a carbon dioxide laser machine. Due to this melting, the tip portion 1c is smoothly and accurately spherically processed.

【0009】このように、光ファイバ1の先端部1cの
端面から所定の位置に溝1dを形成することによって、
先端部1cの体積を予め調整することができる。そし
て、球面加工時の熱の拡散を抑え、球面加工を行う先端
部1cに効率良く熱を閉じ込めつつ、光ファイバ1の先
端部1cの溶融と球面加工を行うことができる。従っ
て、球面加工を施した球面1eの曲率半径を一定に調整
することができると共に、優れた加工精度に伴う生産能
力を上げることができ、全体的に生産性の向上とコスト
低減を図ることができる。
As described above, by forming the groove 1d at a predetermined position from the end face of the distal end portion 1c of the optical fiber 1,
The volume of the tip 1c can be adjusted in advance. Then, the diffusion of heat during spherical processing can be suppressed, and the distal end 1c of the optical fiber 1 can be melted and spherically processed while efficiently confining the heat to the distal end 1c for performing spherical processing. Therefore, the radius of curvature of the spherical surface 1e having been subjected to spherical processing can be adjusted to be constant, and the production capacity associated with excellent processing accuracy can be increased, so that overall improvement in productivity and cost reduction can be achieved. it can.

【0010】図2は、フォトリソグラフにより光ファイ
バ先端部の球面加工を行う他の実施例における各工程を
表したものである。工程aで、光ファイバ1の先端部1
c全体をを覆うようにして、先端部1cの表面にフォト
レジスト3を所定(一定)の厚さに塗布する。このフォ
トレジスト3を、光学的に透明で微小なパターン4aが
形成された露光マスク4の下方に配置する。そして、こ
の露光マスク4の上方に配置された紫外線光源(ブラッ
クライト)5から紫外線5aを、パターン4aを通し
て、光ファイバ1の先端部1cを覆ったフォトレジスト
3に照射する。この時、光ファイバ1と露光マスク3の
相対位置を一定に保ちつつ光ファイバ1を支持しながら
図中矢印方向に回転させる。これによって、光ファイバ
1の先端部1cの端面から所定の位置に、エッチング用
の開口部3aが露光形成される。
FIG. 2 shows each step in another embodiment in which the spherical end of the optical fiber tip is processed by photolithography. In step a, the tip 1 of the optical fiber 1
A photoresist 3 is applied to the surface of the tip portion 1c to a predetermined (constant) thickness so as to cover the entirety of the tip c. This photoresist 3 is disposed below the exposure mask 4 on which the optically transparent fine pattern 4a is formed. Then, ultraviolet rays 5a are radiated from the ultraviolet light source (black light) 5 disposed above the exposure mask 4 to the photoresist 3 covering the tip 1c of the optical fiber 1 through the pattern 4a. At this time, the optical fiber 1 is rotated in the direction of the arrow while supporting the optical fiber 1 while keeping the relative position of the optical fiber 1 and the exposure mask 3 constant. As a result, an opening 3a for etching is formed at a predetermined position from the end face of the tip 1c of the optical fiber 1 by exposure.

【0011】そして、現像の後、工程bにおいて、開口
部3aを含む光ファイバ1の先端部1cを、緩衝ふっ酸
等のエッチング液6で満たされた容器7に浸す。これに
よって、露光によって形成された開口部3a部分の光フ
ァイバ1をエッチング除去し、溝1dを形成する。な
お、この工程bの後に、工程b′として、工程aで形成
したフォトレジストを剥離し、更に容器7中のエッチン
グ液6で、先端部1cを一定量除去するようにしてもよ
い。これにより、球面加工の微小化が可能となり、微小
な球面加工を安定して行うことができる。
After the development, in step b, the tip 1c of the optical fiber 1 including the opening 3a is immersed in a container 7 filled with an etching solution 6 such as buffered hydrofluoric acid. As a result, the optical fiber 1 in the opening 3a formed by the exposure is removed by etching to form a groove 1d. After the step b, as a step b ', the photoresist formed in the step a may be peeled off, and a certain amount of the tip 1c may be removed with the etching solution 6 in the container 7. This makes it possible to miniaturize the spherical processing, and it is possible to stably perform the fine spherical processing.

【0012】次に、工程cにおいて、溝1dをエッチン
グ加工した光ファイバ1の先端部1cを、放電加工機等
の電極8,8間に配置する。そして、この電8,8の
放電によって、先端部1cを溶融する。工程dにおい
て、溶融した先端部1cはその表面張力により球面加工
され、この球面1eの曲率半径の大きさは溶融した体積
によって決定される。
Next, in step c, the tip 1c of the optical fiber 1 having the groove 1d etched is disposed between the electrodes 8, 8 of an electric discharge machine or the like. Then, the discharge of the electrodes 8,8, melting the tip 1c. In step d, the melted tip portion 1c is spherically machined by its surface tension, and the radius of curvature of the spherical surface 1e is determined by the volume of the melted portion.

【0013】このように、光ファイバ1の先端部1cの
端面から所定の位置に溝1dを形成することによって、
この溝1dにより先端部1cの体積を予め調整し、球面
加工時の熱の拡散を抑えて、先端部1cに熱を閉じ込め
つつ効率良く球面加工を行うことができる。従って、光
ファイバ1の先端部1cを滑らかに精度よく球面加工す
ることができると共に、球面加工を施した球面1eの曲
率半径を一定にすることができ、優れた加工精度に伴う
生産性の向上とコスト低減を図ることができる。
As described above, by forming the groove 1d at a predetermined position from the end surface of the tip 1c of the optical fiber 1,
The groove 1d adjusts the volume of the distal end portion 1c in advance, suppresses the diffusion of heat during spherical processing, and can efficiently perform spherical processing while confining heat to the distal end portion 1c. Therefore, the tip portion 1c of the optical fiber 1 can be smoothly and accurately spherically processed, and the radius of curvature of the spherically processed spherical surface 1e can be made constant, thereby improving productivity due to excellent processing accuracy. And cost reduction.

【0014】本発明の光ファイバ1の先端部1cの球面
加工方法は、上記実施例に限らず種々の変形が可能であ
る。例えば、光ファイバ1の先端部1cの溶融方法に
は、上記実施例における放電加工の他に火炎やレーザ光
を用いることも可能である。また、先端部1cに形成す
る溝1dは外周の全部でなく一部でも良い。そして、溝
1d部分の光ファイバを除去する方法として、精密加工
機器以外に、カッターなどを使用した機械加工によって
もよい。
The method for processing the spherical surface of the distal end portion 1c of the optical fiber 1 according to the present invention is not limited to the above embodiment, but can be variously modified. For example, a flame or a laser beam can be used for the melting method of the distal end portion 1c of the optical fiber 1 in addition to the electric discharge machining in the above embodiment. Further, the groove 1d formed in the tip 1c may be a part of the outer periphery instead of the whole. Then, as a method of removing the optical fiber in the groove 1d portion, machining using a cutter or the like may be used instead of precision machining equipment.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上説明した光ファイバ先端部の球面加
工方法によれば、光ファイバ先端部の端面から所定の位
置に、光ファイバ表面から所定の深さの溝を形成し、前
記光ファイバ先端部を局部的に加熱溶融するので、光フ
ァイバの先端部の球面加工の精度を高めると共に、加工
精度に伴う生産性を向上することができる。
According to the above-described method for processing a spherical surface of an optical fiber tip, a groove having a predetermined depth from the surface of the optical fiber is formed at a predetermined position from the end face of the optical fiber tip. Since the portion is locally heated and melted, it is possible to improve the accuracy of the spherical processing of the distal end portion of the optical fiber and to improve the productivity accompanying the processing accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の光ファイバ先端部の球面加工方法の一
実施例に係る光ファイバ先端部の概念図である。
FIG. 1 is a conceptual diagram of an optical fiber tip according to an embodiment of a method for processing a spherical surface of an optical fiber tip according to the present invention.

【図2】本発明の光ファイバ先端部の球面加工方法の一
実施例に係る工程図である。
FIG. 2 is a process chart according to one embodiment of a method for processing a spherical surface of an optical fiber tip portion according to the present invention.

【図3】従来の光ファイバ先端部の球面加工方法の従来
図である。
FIG. 3 is a conventional diagram of a conventional method for processing a spherical surface of an optical fiber tip.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光ファイバ 1a コア 1b クラッド 1c 先端部 1d 溝 1e 球面 2 発光素子 3 フォトレジスト 4 露光マスク 5 紫外線光源 6 エッチング液 Reference Signs List 1 optical fiber 1a core 1b clad 1c tip 1d groove 1e spherical surface 2 light emitting element 3 photoresist 4 exposure mask 5 ultraviolet light source 6 etching solution

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光ファイバ先端部の端面から所定の位置
に、光ファイバ表面から所定の深さの溝を形成し、 この光ファイバ先端部を局部的に加熱溶融して光ファイ
バ先端部に球面加工を施すことを特徴とする光ファイバ
先端部の球面加工方法。
A groove having a predetermined depth from the surface of the optical fiber is formed at a predetermined position from the end surface of the front end of the optical fiber, and the front end of the optical fiber is locally heated and melted to form a spherical surface on the front end of the optical fiber. A spherical surface processing method for an optical fiber tip portion, wherein the spherical surface is processed.
【請求項2】 光ファイバ先端部の全体を所定の深さに
除去し、光ファイバ先端部を局部的に加熱溶融し、光フ
ァイバ先端部に球面加工を施すことを特徴とする請求項
1記載の光ファイバ先端部の球面加工方法。
2. The optical fiber according to claim 1, wherein the optical fiber tip is entirely removed to a predetermined depth, the optical fiber tip is locally heated and melted, and the optical fiber tip is subjected to spherical processing. Method of spherical surface processing of optical fiber tip part.
【請求項3】 光ファイバ先端部の端面から所定の位置
に、フォトリソグラフィの手法を用い露光マスクを通し
て、露光マスクと光ファイバとの相対位置を一定に保ち
ながら光ファイバを回転しつつエッチング用のマスクを
形成し、 エッチングにより光ファイバ先端部から所定の位置に溝
を形成し、 この光ファイバ先端部を局部的に加熱溶融して光ファイ
バ先端部に球面加工を施すことを特徴とする請求項1記
載の光ファイバ先端部の球面加工方法。
3. An etching method for rotating an optical fiber while maintaining a relative position between the exposure mask and the optical fiber at a predetermined position from an end surface of an optical fiber tip portion by using a photolithography technique while maintaining a relative position between the exposure mask and the optical fiber. A mask is formed, a groove is formed at a predetermined position from the tip of the optical fiber by etching, and the tip of the optical fiber is locally heated and melted to perform spherical processing on the tip of the optical fiber. 2. The method for processing a spherical surface of an optical fiber tip according to claim 1.
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