JP3106798B2 - メンブレンバーの装着ギャップ計測装置、および計測加工システム - Google Patents

メンブレンバーの装着ギャップ計測装置、および計測加工システム

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JP3106798B2
JP3106798B2 JP05239002A JP23900293A JP3106798B2 JP 3106798 B2 JP3106798 B2 JP 3106798B2 JP 05239002 A JP05239002 A JP 05239002A JP 23900293 A JP23900293 A JP 23900293A JP 3106798 B2 JP3106798 B2 JP 3106798B2
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文隆 早田
英夫 小出
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日立プラント建設株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、火力ボイラ等の火炉の
外壁面構造部材であるスパイラルチューブ壁の構築に際
して、スパイラルチューブ同志をフラットバーで連結し
たモジュールを現地で構築する場合に、当該モジュール
同志をスパイラルチューブの溶接によって接続した部分
のチューブ間の開口部幅埋めに用いるメンブレンバーの
適応サイズを計測し、加工するための装置およびシステ
に関する。
【0002】
【従来の技術】火力発電所の火炉外壁面は多管構造とさ
れ、図9(1)に模式的に示したように、火炉燃焼によ
り炉が破壊しないように水管をスパイラルに巻き付ける
とともに、スパイラル管相互はフラットバーによって幅
埋めされている。このようなスパイラルチューブ壁は現
地での直接構築が困難であるため、通常、縦割り4分割
してモジュール化し、この分割モジュールを予め工場で
製作し、これを現地に搬入してモジュール同志を溶接結
合することによって火炉外壁面を構築している。各モジ
ュールは、図9(2)に示すごとく、分割されたスパイ
ラルチューブ1同志の間をフラットバー2によって幅埋
めして相互に溶接された構造となるが、分割端部でのチ
ューブ同志の溶接接続のため、チューブ分割先端がフラ
ットバー2の端部より突出するようにフラットバー端部
を意図的に欠損させた構造とし、円周溶接空間を確保で
きるようにしている。そして、現地構築に際してモジュ
ール同志をまず、モジュール端部で突出しているチュー
ブ相互の開先合せと溶接を行い、しかる後、図10に示
しているように、溶接作業のために空けられていた空間
にメンブレンバー3を装着して幅埋めし、周縁部を溶接
することによって密閉されたスパイラルチューブ壁とし
て構成される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、分割モジュ
ールの現地組み立てに際し、スパイラルチューブの溶接
後に幅埋めされるメンブレンバーは、予め設計された図
面仕様に準拠したチューブ間のギャップ幅に合せてプレ
ハブ加工された上下開先加工済みのものが用いられ、こ
れをモジュール上段から順次下方に向けて幅埋めされ
る。このような作業では、メンブレンバー幅埋め溶接作
業前の段取りとして、メンブレンバーのサイズを実際の
ギャップに適応させる現物合せ加工作業を必要としてい
る。この作業は、図面仕様に準拠し製作されたメンブレ
ンバー素材の表面に現物ギャップに合せて目視でケガキ
針を用いてケガキを入れ、手持ち電動サンダーによって
摺り加工し、現物合せと摺り加工を繰り返して、ギャッ
プにメンブレンバーがピッタリ一致するまで行ってい
る。しかし、このような摺り加工量は最大3〜4mmに
も達し、しかも長さ方向でうねった形状等もあって一様
ではなく、しかもスパイラルチューブ開先合せ溶接部分
の溶接肉盛もあるため、この部分の摺り加工も必要とす
る。チューブ溶接箇所は強度上の関係から上下で位置が
異なり、個々のギャップに合せて調節しなければならな
い。更に、このようなメンブレンバーの加工は、ボイラ
プラントの規模によっても異なるが、7000〜200
00本程度の加工を要するため、多数の作業従事者と多
くの作業時間が必要となっていた。
【0004】このような作業工程で、半分以上占めてい
るのがスパイラルチューブ間のギャップ形状をメンブレ
ンバー素材表面に写し取るケガキ作業で、このケガキ作
業の合理化が強く望まれていた。この場合において、先
にメンブレンバーの寸法を予め計測しておいて、屋外で
事前加工してから火炉内に持込み、溶接することが考え
られるが、メンブレンバーの取付ギャップは、モジュー
ル接合部で隣接して何箇所もあるので、上段のメンブレ
ンバーの溶接による熱歪みが下段のギャップに影響し、
ギャップサイズが変化してしまうため、再度の摺り加工
を要するので現実的でない。したがって、組み立て現場
でギャップを計測しつつ直接加工できることができれ
ば、上述した問題がなくなり、作業の合理化を達成でき
る。
【0005】本発明は、上記問題点に着目してなされた
もので、第1に現場でのスパイラルチューブモジュール
の接合時に、チューブ溶接に後続して行われるメンブレ
ンバー装着のためのチューブギャップを簡単に計測する
装置を提供することにある。第2にはメンブレンバーを
ギャップに適応するサイズに直接加工できるシステム
提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るメンブレンバーの装着ギャップ計測装
置は、火力ボイラの火炉外壁を構成するスパイラルチュ
ーブモジュールにおける溶接チューブ間に形成されメン
ブレンバーにより幅埋めされるギャップを計測する装置
であって、チューブを固定部材として間隔調整可能とさ
れた磁石ブロックにより磁着されチューブ軸方向に沿う
移動ガイドを設け、このガイドに搭載されるスライダに
長さセンサ並びに前記ギャップ幅の変動に追随するよう
チューブに接触されるギャップセンサを取り付け、前記
移動ガイドを測定基準としてギャップ変動を計測する
位検出器を取り付けたものである。
【0007】ここで前記ギャップセンサと前記長さセン
サの検出信号を取り込むデータ処理部と、前記長さセン
サからの距離信号に同期したギャップ信号から生成され
るシーケンスデータを記録媒体に保持させるシーケンサ
とを有するようにしてもよい。
【0008】更に、メンブレンバーの計測加工システム
は、火力ボイラの火炉外壁を構成するスパイラルチュー
ブモジュールにおける溶接チューブ間に形成されメンブ
レンバーにより幅埋めされるギャップに適応するサイズ
に前記メンブレンバーを加工する装置であって、前記ギ
ャップの計測手段とメンブレンバーの加工手段とを有
し、前記計測手段はチューブを固定部材として設置され
チューブ軸方向に沿う移動ガイドと、このガイドに搭載
されるスライダに長さセンサ並びに前記ギャップ幅の変
動に追随するようチューブに接触されるギャップセンサ
と、当該センサの前記ガイドに対する変位の検出器とに
より構成され、前記加工手段はメンブレンバー素材の搬
送手段と該搬送手段に沿って素材縁片に対向する幅加工
部とからなり、前記計測手段の変位検出器による検出信
号を入力し前記スライダの移動位置に対応するギャップ
変位を算出するとともに、この変位データに基づき前記
加工手段の搬送手段および幅加工部を駆動制御するコン
トローラを設けたものである。
【0009】
【作用】上記メンブレンバーの装着ギャップ計測装置
よれば、スパイラルチューブモジュールの接合作業では
先行してスパイラルチューブ同志の開先合せと溶接が行
われる。このチューブ同志の溶接によって上下チューブ
の間にメンブレンバーの装着隙間が形成され、この隙間
にはギャップ変化がある。このギャップを測定する場合
には測定基準となるものがないため、本発明では、移動
ガイドをチューブに固定するようにしている。そして、
このガイドにスライダを搭載しスライダの移動開始点を
設定することにより移動位置とギャップ変位との関係を
正確に測定できる。移動量は長さセンサによりギャップ
変位はギャップセンサにより測定され、移動ガイドを基
準にしたギャップ変動を正確に計測することができるの
である。
【0010】
【0011】更に、メンブレンバーの計測加工システム
によれば、ギャップ変化を移動ガイドを基準として計測
されたデータがコントローラにて加工データに演算され
る。加工データはギャップの長さ方向に対するギャップ
幅の変動として捉らえられ、したがって加工手段ではメ
ンブレンバー素材の搬送速度に合せて幅加工部の切削加
工刃を上下操作を対応させ、ギャップサイズに適応した
サイズのメンブレンバーをギャップ計測と同時あるいは
別途に加工でき、計測のみならず摺り加工までも行うた
め、実際の作業はチューブ間ギャップに加工されたメン
ブレンバーを溶接結合させるだけでよくなり、大幅な作
業改善とすることができる。
【0012】
【実施例】以下に、本発明に係るメンブレンバーの装着
ギャップ計測装置、および計測加工システムの具体的実
施例を図面を参照して詳細に説明する。
【0013】図1はメンブレンバー計測加工システムの
全体構成ブロック図を示している。このシステムはスパ
イラルチューブモジュール同志の接合部にて、一対のス
パイラルチューブ10の間に形成される幅埋め隙間12
のギャップ計測装置14を有しており、これは基本的に
は一対のギャップ倣いローラ16を隙間12に沿って移
動させ、長さ計測用のロータリエンコーダ18とギャッ
プ幅計測用のマイクロメータ20とによって長さおよび
幅データを検出するようにしている。計測データはデー
タ処理部22によってフロッピディスクのごとき記憶媒
体24に格納するようにしている。
【0014】上記計測装置14によって計測されたデー
タに基づきメンブレンバー素材26を加工する加工装置
28が設けられ、これは基本的にメンブレンバー素材2
6を所定長さに切断し、切断端面に開先加工を施す切断
処理部30と、所定の長さとなった素材26を計測ギャ
ップ幅に合せて側縁を切削加工する幅加工処理部32、
および加工側縁に開先加工を施す側縁開先加工処理部3
4とから構成されている。そして、これらの加工処理部
を最適制御するためのコントローラ部36が設けられて
おり、これは計測データが格納されている記憶媒体24
からデータを読み出し、データに基づいて各処理部に作
動信号を出力するものである。
【0015】まず、計測装置14はモジュール幅埋め隙
間12を計測するものであるが、モジュール接合部では
スパイラスチューブ10同志が正確に軸心一致で溶接さ
れているとは限らない。したがって、ギャップ計測に際
しては測定基準となるものがないため、図2〜3に示し
た移動ガイドを構成する支持用型枠38を基準設定のた
めに用いている。支持用型枠38は、図示のように、一
対のスパイラルチューブ10に跨がって幅埋め隙間12
を中央部に臨むように矩形フレーム状に形成され、チュ
ーブ表面部に装着固定できるようになっている。すなわ
ち、平行ガイドシャフト40とその両端に位置する連結
フレーム42を有し、各連結フレーム42には一対のチ
ューブ10の各表面部に吸着接合する電磁石ブロック4
4と永久磁石ブロック46が間隔調整可能に取り付けら
れている。ブロック間隔調整機構は、両ブロック44、
46に貫通螺着され逆ネジが切られた調整スクリュー4
8を連結フレーム42に回転自在に取り付けており、ブ
ロック44、46のナットヘッド44A、46Aをスク
リュー48の回転により螺進させて相互に近接あるいは
離反移動させ、間隔調整するものとしている。ブロック
44、46の吸着本体44B、46Bはナットヘッド4
4A、46Aに対して水平回転可能とされ、その下端面
はチューブ10に適合する円弧溝面とされて磁着作用に
よりチューブ外表面に吸着される。電磁石ブロック46
は通電により吸着され、永久磁石ブロック46は図示し
ない操作摘みにより内蔵磁石を90度回転することで吸
着と非吸着状態を切換えるようにしている。また、特に
永久磁石ブロック46は図3に示しているように、ナッ
トヘッド46Aと吸着本体46Bの間にダンパ部46C
が設けられ、これによって上下偏差を吸収できるように
構成されている。したがって、支持用型枠38は一対の
スパイラルチューブ10に対して磁石ブロック44、4
6が吸着され、所定高さを維持して平行ガイドシャフト
40を固定保持するのである。
【0016】上記支持用型枠38には計測主体となるス
ライダ50が搭載されている。このスライダ50は、図
4〜5に示すように、平行ガイドシャフト40に跨がる
ように配置され、シャフト40を走行案内レールとし
て、幅埋め隙間12の長手方向に移動可能となってい
る。このため、スライダ50の下面には平行ガイドシャ
フト40が嵌入される一対のガイド溝52が形成されて
いる。スライダ50の上面には取っ手54が取り付けら
れ、手によりスライダ50を横行操作することにより任
意に移動できるものとされている。このようなスライダ
50には対象の隙間12のサイズを計測するためのセン
サが装備され、これはギャップセンサ56と隙間12の
長さを計測する長さセンサ58から構成される。
【0017】ギャップセンサ56はスライダ50の中央
下面に配置され、一対のスパイラルチューブ10の間に
挿入され当該チューブ10の対向側面に各々独立して転
接可能な一対の倣いローラ16を有している。各倣いロ
ーラ16はリニアガイド62によってスライダ50の移
動方向と直交する方向に案内されるとともに、おのおの
スプリング64によってチューブ10との接触方向に付
勢されている。これにより一対の倣いローラ16の間隔
が可変となり、隙間12のギャップ変化によって倣いロ
ーラ16はリニアガイド62に沿って移動変位し、ギャ
ップ幅の変化として捉らえることができる。各倣いロー
ラ16の変位を検出するため、図5に示されているよう
に、リニアゲージとしてのマイクロメータ20が設けら
れ、ローラ16の位置変化を接触ピン66の伸縮量によ
って検出し、電気量として出力可能となっている。
【0018】一方、スライダ50に設けられた長さセン
サ58は、前記平行ガイドシャフト40の片方のシャフ
トの外側面に形成したラック歯68に噛み合うピニオン
ギヤ70を有している。スライダ50にはピニオンギヤ
70の回転を入力するロータリエンコーダ18が設置さ
れ、したがって、スライダ50の移動量を回転量として
検出し、これを電気量として出力させるものとしてい
る。
【0019】上記ギャップセンサ56と長さセンサ58
からの検出信号はデータ処理部22に入力され、ここで
計測データに基づいてギャップ形状計測結果を求めるよ
うにしている。データ処理部22は前記センサ56、5
8からの信号が入力されるシーケンサ72を有し、ここ
で長さセンサ58からの距離信号と同期させたギャップ
信号ををギャップセンサ56から取り込んたシーケンス
データを生成させている。この生成データはRS232
C等により演算装置74に送出され、ここで計測データ
としてフロッピディスク等の記憶媒体24に格納保持さ
れる。
【0020】このような計測装置14の動作手順は次の
ようになる。メンブレンバーの取り付け作業面は垂直面
となるが、計測治具支持用型枠38を幅埋め隙間12の
周囲の上下スパイラルチューブ10の表面に磁着させ
る。これは磁石ブロック44、46の間隔を調整し、電
源を入れ、また永久磁石を磁極をチューブ面側に回転操
作することで簡単に行うことができる。この後、型枠3
8の平行ガイドシャフト40にスライダ50をセットす
るが、これは一対の倣いローラ16を隙間12に向けて
挿入し、スライダ50のガイド溝52を平行ガイドシャ
フト40に嵌着させればよい。この状態で計測準備が完
了し、スライダ50を計測開始位置である隙間12の左
端側に移動する。この状態は図6(1)となる。そし
て、照合用のID番号をデータ処理部22のサムスイッ
チ76でセットし、スタートスイッチ78を入れる。こ
れにより、隙間12の計測開始点1、2の基準位置が入
力され、これが基準ギャップとなる。そして、スライダ
50を右方に手動掃引することにより、ロータリエンコ
ーダ18からの検出信号に同期したギャップセンサ56
からのギャップ信号が計測される。特にこの実施例で
は、チューブ10の溶接肉盛り部80の前後でスタート
スイッチ78と共用されているサンプリングスイッチを
入れ(図6(1)の3、4、5、6)、溶接肉盛り部8
0の位置を特定するようにしている。スライダ50がギ
ャップ右端7、8に達して計測を終了する。このように
して計測されたデータは処理部22にて記憶媒体24に
格納されるが、この格納データは図6(2)に示すよう
に、メンブレンバー素材26を切削加工すべき形状とし
てのギャップ形状が再現可能となる。
【0021】このようにギャップ計測装置14によって
計測されたデータは記憶媒体24にて保持されるが、こ
れはメンブレンバー素材26を加工する装置28の制御
用コントローラ部36にて読み込まれるようになってい
る。まず、加工装置28は、前述したように、定尺メン
ブレンバー素材26の長さを幅埋め隙間12の長さに合
せて切断する切断処理部30と、ギャップ変化に合せて
素材26の側縁を切削する幅加工処理部32、およびそ
の開先加工処理部34から構成されているが、これらは
各々モジュール化され、手持ち搬入できるようになって
いる。具体的な加工装置28の構成を図7に示す。素材
26は第1工程の切断処理部30に供給されるものとな
っており、これは送りローラチャック機構82、カッタ
84、および両端開先加工機86によって順次処理され
るようになっている。カッタ84は詳細には示さないが
切断位置を可変とし、素材26の先端からの位置がコン
トローラ部36の演算処理装置にて読み込まれたデータ
制御指令に基づき、シーケンサ87からの出力信号によ
って変更される。もちろんテンキー入力により直接変更
も可能とされる。
【0022】次いで、ギャップ長さに一致するように切
断された素材26は両端に開先加工が施されて、次工程
の幅加工処理部32に搬出される。次工程での処理を行
うため搬送ラインが設けられ、これは搬送ラインに沿っ
て設置された搬送スクリュー88を搬送用サーボモータ
90にて回転させるとともに、前記スクリュー88に螺
合され素材26をチャッキングする送りユニット92か
ら構成されている。送りユニット92は前工程から搬出
された素材26を受入れてチャッキングし、加工側の縁
部を上部から露出させて、加工可能に保持する。したが
って、素材26は片側縁毎に幅加工が施されるようにな
っているが、片側加工の終了後に反転させるために、反
転機構94が設けられている。最初に搬出されてくるメ
ンブレンバー素材26は搬出位置に待機している送りユ
ニット92に受入れられ、ここでエアシリンダ等によっ
てチャッキングされ、幅加工処理部32の下部に搬送さ
れる。幅加工処理部32はエンドミル96を有し、これ
を昇降サーボ機構98により昇降駆動可能にして構成さ
れている。そして、搬送用サーボモータ90による搬送
と昇降サーボ機構98を計測データにマッチングさせて
駆動し、所定の幅加工をエンドミル96によって行わせ
るのである。マッチング処理のために、コントローラ部
36にはNCサーボユニット100(図1参照)が設け
られ、コンピュータ102によって記憶媒体24から読
み込まれた計測データを入力し、素材26の端部からの
距離に応じてエンドミル96の昇降駆動量を制御し、溶
接肉盛り部80に対応するノッチ加工とともに、所定の
幅寸法となるように加工するのである。
【0023】このようにメンブレンバー素材26の片側
幅加工が終了すると、次いで側縁開先加工処理部34に
搬送されるが、これは縁部稜線の片側を連続して加工す
るように一対の加工ユニット104R、104Lによっ
て構成される。これらは各々傾斜配置されたエンドミル
106を有し、その両側に倣いローラ108(図1参
照)を設けており、幅加工された縁部に倣って開先加工
が施される。
【0024】片側の幅加工が終了したメンブレンバー素
材26は次いで反転機構98の下部までシフトバックさ
れ、ここで反転されて未加工の側縁が上部となるように
設定され、再度チャッキングを行って同様の工程をたど
る。この結果、最終的に計測した幅埋め隙間12に適合
するメンブレンバーとして加工される。このような材料
はスパイラルチューブモジュールの接合箇所にて直接溶
接することができ、ギャップ幅調整加工を要しないもの
となる。このような加工工程でのメンブレンバー素材2
6の形状変化工程を図8に示す。
【0025】なお、上記加工装置28では、切断や幅加
工等を刃やミルによって行う例を示しているが、レーザ
加工あるいはプラズマ加工等の適宜の加工手段を利用で
きるのはいうまでもない。
【0026】
【0027】
【0028】
【0029】
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の計測装置
によれば、火力ボイラの火炉外壁をスパイラルチューブ
モジュールの接合によって構築する際に、スパイラルチ
ューブの溶接後に幅埋め隙間に適合させるようメンブレ
ンバーを加工する必要があるが、幅埋め隙間のギャップ
変化をチューブ溶接肉盛りを含んで迅速に計測できる。
また、計測加工システムでは、計測データを加工装置に
利用して作業現場で直接加工することができるため、モ
ジュール幅埋め作業を大幅に改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例に係るメンブレンバー計測加工システム
の全体構成を示すブロック図である。
【図2】治具支持用型枠の平面図である。
【図3】同断面図である。
【図4】ギャップ計測装置の平面図および側面図であ
る。
【図5】同装置の断面図である。
【図6】ギャップ計測作業の説明図である。
【図7】加工装置の全体側面図である。
【図8】加工装置によるメンブレンバーの加工工程の説
明図である。
【図9】火力ボイラの水管外壁の説明図およびスパイラ
ルチューブモジュールの接合説明図である。
【図10】モジュール接合部の拡大図である。
【符号の説明】
10 スパイラルチューブ 12 幅埋め隙間 14 ギャップ計測装置 16 倣いローラ 18 ロータリエンコーダ 20 マイクロメータ 22 データ処理部 24 記憶媒体 26 メンブレンバー素材 28 加工装置 30 切断処理部 32 幅加工処理部 34 側縁開先加工処理部 36 コントローラ部 38 支持用型枠(移動ガイド) 40 平行ガイドシャフト 42 連結フレーム 44 電磁石ブロック 46 永久磁石ブロック 48 調整スクリュー 44A、46A ナットヘッド 44B、46B 吸着本体 46C ダンパ部 50 スライダ 52 ガイド溝 54 取っ手 56 ギャップセンサ 58 長さセンサ 62 リニアガイド 64 スプリング 66 接触ピン 68 ラック歯 70 ピニオンギヤ 72 計測用シーケンサ 74 演算装置 76 サムスイッチ 78 スタートスイッチ 80 溶接肉盛り部 82 ローラチャック機構 84 カッタ 86 両端開先加工機 87 シーケンサ 88 搬送スクリュー 90 搬送用サーボモータ 92 送りユニット 94 反転機構 96 エンドミル 98 昇降サーボ機構 100 NCサーボユニット 102 コンピュータ 104R、104L 加工ユニット 106 エンドミル 108 倣いローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−8998(JP,A) 特開 昭50−62662(JP,A) 実開 昭52−103647(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 5/00 - 5/30

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 火力ボイラの火炉外壁を構成するスパイ
    ラルチューブモジュールにおける溶接チューブ間に形成
    されメンブレンバーにより幅埋めされるギャップを計測
    する装置であって、チューブを固定部材として間隔調整
    可能とされた磁石ブロックにより磁着されチューブ軸方
    向に沿う移動ガイドを設け、このガイドに搭載されるス
    ライダに長さセンサ並びに前記ギャップ幅の変動に追随
    するようチューブに接触されるギャップセンサを取り付
    け、前記移動ガイドを測定基準としてギャップ変動を計
    測する変位検出器を取り付けたことを特徴とするメンブ
    レンバーの装着ギャップ計測装置。
  2. 【請求項2】 前記ギャップセンサと前記長さセンサの
    検出信号を取り込むデータ処理部と、前記長さセンサか
    らの距離信号に同期したギャップ信号から生成されるシ
    ーケンスデータを記録媒体に保持させるシーケンサとを
    有したことを特徴とする請求項1に記載のメンブレンバ
    ーの装着ギャップ計測装置。
  3. 【請求項3】 火力ボイラの火炉外壁を構成するスパイ
    ラルチューブモジュールにおける溶接チューブ間に形成
    されメンブレンバーにより幅埋めされるギャップに適応
    するサイズに前記メンブレンバーを加工する装置であっ
    て、前記ギャップの計測手段とメンブレンバーの加工手
    段とを有し、前記計測手段はチューブを固定部材として
    設置されチューブ軸方向に沿う移動ガイドと、このガイ
    ドに搭載されるスライダに長さセンサ並びに前記ギャッ
    プ幅の変動に追随するようチューブに接触されるギャッ
    プセンサと、当該センサの前記ガイドに対する変位の検
    出器とにより構成され、前記加工手段はメンブレンバー
    素材の搬送手段と該搬送手段に移動する素材縁片の幅加
    工部とからなり、前記計測手段の変位検出器による検出
    信号を入力し前記スライダの移動位置に対応するギャッ
    プ変位を算出するとともに、この変位データに基づき前
    記加工手段の搬送手段および幅加工部を駆動制御するコ
    ントローラを設けたことを特徴とするメンブレンバー計
    測加工システム。
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