JP3085589B2 - Method for bonding silicon carbide molded body - Google Patents

Method for bonding silicon carbide molded body

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JP3085589B2
JP3085589B2 JP7140891A JP7140891A JP3085589B2 JP 3085589 B2 JP3085589 B2 JP 3085589B2 JP 7140891 A JP7140891 A JP 7140891A JP 7140891 A JP7140891 A JP 7140891A JP 3085589 B2 JP3085589 B2 JP 3085589B2
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silicon carbide
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広志 田代
久広 寺西
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東芝セラミックス株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、炭化珪素質成形体の
接着方法に関し、さらに詳しく言えば、接着強度が大き
いと共にその接着強度が高温下においても低下しない炭
化珪素質成形体の接着方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for bonding a silicon carbide-based molded product, and more particularly, to a method for bonding a silicon carbide-based molded product having a high adhesive strength and its adhesive strength does not decrease even at a high temperature. .

【0002】[0002]

【従来の技術】炭化珪素(以下、SiCという)の成形
体は、形状が複雑な場合や嵩が大きい場合には、一体物
として製作するには高コストとなることが多く、形状や
大きさによっては成形・加工が不可能であることもあ
る。そこで、従来より、成形体を接着剤によって互いに
接着する技術が開発され、実用されている。
2. Description of the Related Art When a silicon carbide (hereinafter referred to as SiC) molded body has a complicated shape or a large bulk, it is often expensive to manufacture it as an integral body. Depending on the case, molding and processing may not be possible. Therefore, a technique for bonding molded articles to each other with an adhesive has been conventionally developed and put to practical use.

【0003】SiCの成形体同士を接着する接着剤とし
ては、エポキシ系等の有機系接着剤およびシリカやアル
ミナを主成分とする無機系接着剤が知られている。これ
らの接着剤を用いてSiC成形体同士を接着するときに
は、両成形体の接着面に接着剤を塗布してから両接合面
を互いに加圧・密着し、その後、接着剤を硬化させて接
着する。
As adhesives for bonding SiC molded bodies to each other, an organic adhesive such as an epoxy adhesive and an inorganic adhesive mainly containing silica or alumina are known. When bonding SiC compacts using these adhesives, apply an adhesive to the bonding surfaces of both compacts, then press and adhere both bonding surfaces together, and then cure the adhesive to bond. I do.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の接着剤でS
iC成形体同士を接着した場合、十分に高い接着剤密度
が得られないため、乾燥・焼成等の熱処理時にクラック
が生ずる問題があり、また、バルクのSiC成形体の強
度に比べて低い接着強度しか得られず、しかも高温下で
その接着強度が低下するという問題がある。
SUMMARY OF THE INVENTION With the above conventional adhesive, S
When the iC compacts are bonded to each other, a sufficiently high adhesive density cannot be obtained, so that there is a problem that cracks occur during heat treatment such as drying and baking, and the bonding strength is lower than the strength of the bulk SiC compacts. However, there is a problem that the adhesive strength is lowered at a high temperature.

【0005】そこで、この発明の目的は、接着時にクラ
ックが生じないと共にバルクのSiC成形体の強度に近
い接着強度が得られ、しかもその接着強度が高温下にお
いてもほとんど低下しないSiC質成形体の接着方法を
提供することである。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a SiC-based molded article which is free from cracks at the time of bonding and has an adhesive strength close to the strength of a bulk SiC molded article, and whose adhesive strength hardly decreases even at a high temperature. It is to provide a bonding method.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明のSiC質成形
体の接着方法は、焼結助剤を含むSiC粉末に有機バイ
ンダーと溶媒を加えて混練および脱気処理をし、粘度を
103〜105 Poiseに調整してなる接着剤を用い
るSiC質成形体の接着方法であって、接着しようとす
る複数のSiC質成形体の各接着面間に上記接着剤を介
在させ、その接着剤を加圧した後あるいは加圧しながら
加熱処理を施すことを特徴とする。
According to the method of bonding a SiC-based molded body of the present invention, an organic binder and a solvent are added to a SiC powder containing a sintering aid, and the mixture is kneaded and deaerated to obtain a viscosity of 10 3 to 10 3 . A method for bonding an SiC-based molded body using an adhesive adjusted to 10 5 Poise, wherein the adhesive is interposed between the bonding surfaces of a plurality of SiC-based molded bodies to be bonded, and the adhesive is applied. The heat treatment is performed after or during pressurization.

【0007】SiC粉末の粒径は、任意に設定できる
が、接着しようとするSiC質成形体のそれと同じにす
るのが好ましい。
The particle size of the SiC powder can be arbitrarily set, but is preferably the same as that of the SiC material to be bonded.

【0008】焼結助剤としては、硼素(B)、炭素
(C)、アルミナ(AlO2)を使用することができ、
好ましくは接着しようとするSiC質成形体の焼結助剤
と同じものにする。焼結助剤の配合量は、SiC粉末の
粒径等に応じて適宜調整するが、接着しようとするSi
C質成形体のそれと同じにするのが好ましい。
As a sintering aid, boron (B), carbon (C), and alumina (AlO 2 ) can be used.
Preferably, it is the same as the sintering aid of the SiC material to be bonded. The mixing amount of the sintering aid is appropriately adjusted according to the particle size of the SiC powder, etc.
It is preferably the same as that of the C-shaped molded body.

【0009】有機バインダーとしては、水溶性および有
機溶媒溶解性のいずれも使用可能である。水溶性のバイ
ンダーには、例えば、ヒドロキシエチルセルロース、ヒ
ドロキシプロピルメチルセルロース、カルボキシメチル
セルロース、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラ
ート、ポリエチレングリコール、グリコースがある。有
機溶媒溶解性のバインダーには、例えば、エチルセルロ
ース、アセチルセルロース、ポリビニルアセテート、エ
チルシリケート、流動パラフィン、フェノール樹脂があ
る。
As the organic binder, both water-soluble and organic solvent-soluble binders can be used. Examples of the water-soluble binder include hydroxyethylcellulose, hydroxypropylmethylcellulose, carboxymethylcellulose, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyrate, polyethylene glycol, and glucose. Examples of the organic solvent-soluble binder include ethyl cellulose, acetyl cellulose, polyvinyl acetate, ethyl silicate, liquid paraffin, and phenol resin.

【0010】水溶性のバインダーの方が、揮発性の高い
有機溶媒に比べて接着剤の粘度調整が容易であるため、
好ましい。また、水溶性のバインダーの中では、コスト
の関係からメチルセルロースが好ましい。
A water-soluble binder is easier to adjust the viscosity of an adhesive than a highly volatile organic solvent.
preferable. Among the water-soluble binders, methyl cellulose is preferable from the viewpoint of cost.

【0011】バインダーの配合量は、SiC粉末100
重量%に対して5〜15重量%が好ましく、10重量%
が特に好ましい。5重量%未満であると、バインダー量
が充分でなく混練後のSiC粒子表面のバインダーコー
トが不均一となり、熱処理後に充分な強度が得られな
い。15重量%を超えると、バインダー量が過剰とな
り、偏析が生じて熱処理後の密度が却って小さくなる。
The compounding amount of the binder is 100% of SiC powder.
5-15% by weight, preferably 10% by weight
Is particularly preferred. If the amount is less than 5% by weight, the amount of the binder is not sufficient, the binder coat on the surface of the SiC particles after kneading becomes uneven, and sufficient strength cannot be obtained after heat treatment. If it exceeds 15% by weight, the amount of the binder becomes excessive, segregation occurs, and the density after the heat treatment becomes rather small.

【0012】溶媒としては、使用するバインダーに応じ
て公知のものを任意に使用できるが、水またはアルコー
ルが好ましい。溶媒の配合量は、混練および脱気処理後
に接着剤の粘度が103〜105Poiseになるように
適宜調整する。
As the solvent, any known solvent may be used depending on the binder used, but water or alcohol is preferred. The compounding amount of the solvent is appropriately adjusted so that the viscosity of the adhesive becomes 10 3 to 10 5 Poise after the kneading and degassing treatment.

【0013】焼結助剤を含むSiC粉末と有機バインダ
ーと溶媒との混練および脱気処理は、例えば真空中で公
知の混練機により行なうことができる。真空中で混練す
ることにより、これらの混合物に含まれている空気は脱
気される。混練時の容器内の気圧は、脱気状況や粘度等
を考慮して適宜設定するが、1〜20Torrであるの
が好ましい。また、容器内の温度は10゜C以下とする
のが好ましい。処理時間等については適宜設定する。
The kneading and deaeration of the SiC powder containing the sintering aid, the organic binder and the solvent can be performed, for example, by a known kneader in a vacuum. By kneading in a vacuum, the air contained in these mixtures is degassed. The pressure in the container during kneading is appropriately set in consideration of the degassing situation, viscosity, and the like, and is preferably 1 to 20 Torr. Further, the temperature in the container is preferably set to 10 ° C. or less. The processing time and the like are appropriately set.

【0014】混練・脱気処理の間に、接着剤の粘度を1
3〜105Poise、好ましくは103〜104Poi
seの範囲に調整する。粘度を103〜105Poise
に限定するのは、105より大きくあるいは103より小
さいと、バルクのSiC成形体と同程度あるいはそれに
近い接着強度が得られなかったり、乾燥時あるいは焼成
時にSiC成形体にクラックが生じたりするからであ
る。
During the kneading and deaeration, the viscosity of the adhesive is adjusted to 1
0 3 to 10 5 Poise, preferably 10 3 to 10 4 Poi
Adjust to the range of se. Viscosity of 10 3 to 10 5 Poise
If it is larger than 10 5 or smaller than 10 3 , the same or similar adhesive strength as that of the bulk SiC molded body cannot be obtained, or cracks occur in the SiC molded body during drying or firing. Because.

【0015】混練・脱気処理により、この発明に使用す
る接着剤が生成される。生成された接着剤は、塑性を持
つ固体であり、液状の接着剤に比べて取り扱いが容易で
ある。しかし、接着作業をいっそう容易にするため、真
空中でその固形接着剤を接着作業に適した形状(例えば
シート状)に形成するのが好ましい。
By the kneading and degassing treatment, the adhesive used in the present invention is produced. The generated adhesive is a plastic solid, and is easier to handle than a liquid adhesive. However, in order to further facilitate the bonding operation, it is preferable to form the solid adhesive into a shape (for example, a sheet) suitable for the bonding operation in a vacuum.

【0016】例えばシート状に形成した接着剤を用いて
SiC成形体を接着する場合、その接着剤の表面に接着
剤生成に使用したのと同じ溶媒(異なる溶媒でもよい)
を塗布してから、接着しようとするSiC成形体の各接
着面に密着させる。その後、SiC成形体に一軸方向の
押圧力を加えてその接着剤を加圧する。なお、加圧は、
CIP(Cold Isostatical Press)によって加圧しても
よい。一軸加圧の場合は、SiC成形体の各接着面毎に
接着剤を貼り付けるのが好ましい。CIP加圧の場合
は、接着剤は1つの接着箇所に対して1個で足りる。
For example, when bonding an SiC molded body using an adhesive formed in the form of a sheet, the same solvent (a different solvent may be used) on the surface of the adhesive as used for forming the adhesive.
Is applied, and is brought into close contact with each bonding surface of the SiC molded body to be bonded. Thereafter, a uniaxial pressing force is applied to the SiC molded body to press the adhesive. In addition, pressurization is
Pressurization may be performed by CIP (Cold Isostatical Press). In the case of uniaxial pressing, it is preferable to apply an adhesive to each bonding surface of the SiC molded body. In the case of CIP pressurization, only one adhesive is required for one bonding point.

【0017】接着剤の加熱処理は、上記のようにして加
圧した後に行なってもよいし、加圧しながら行なっても
よい。加熱処理により、接着剤の乾燥、硬化および焼成
が行なわれる。
The heat treatment of the adhesive may be performed after pressurizing as described above, or may be performed while pressurizing. By the heat treatment, the adhesive is dried, cured and fired.

【0018】接着剤の乾燥工程で、接着剤に含まれてい
る溶媒が除去される。加熱温度および加熱時間は、接着
剤の量等を考慮して設定する。加熱温度は、容媒の種類
に応じて適宜設定するが、容媒として水を用いた場合に
は約100゜C、加熱時間は4時間程度とするのがよ
い。
In the adhesive drying step, the solvent contained in the adhesive is removed. The heating temperature and the heating time are set in consideration of the amount of the adhesive and the like. The heating temperature is appropriately set according to the type of the medium. When water is used as the medium, the heating temperature is preferably about 100 ° C., and the heating time is preferably about 4 hours.

【0019】接着剤の硬化工程では、乾燥工程よりも少
し高い温度でそれらのSiC成形体を加熱する。この工
程で、接着剤が硬化し、SiC成形体同士の接着が行な
われる。加熱温度および加熱時間は、接着剤の量等を考
慮して適宜設定するが、加熱温度は100゜〜200゜
C、加熱時間は4時間程度とするのがよい。
In the step of curing the adhesive, the SiC compacts are heated at a slightly higher temperature than in the drying step. In this step, the adhesive is cured, and the SiC molded bodies are bonded to each other. The heating temperature and the heating time are appropriately set in consideration of the amount of the adhesive and the like, and it is preferable that the heating temperature is 100 to 200 ° C. and the heating time is about 4 hours.

【0020】接着剤の焼成工程では、硬化工程よりもず
っと高い温度でそれらのSiC成形体を加熱する。加熱
温度および加熱時間は、接着剤の量等を考慮して適宜設
定するが、加熱温度は1850゜〜2300゜C、加熱
時間は5時間程度とするのがよい。
In the step of firing the adhesive, the SiC compacts are heated at a much higher temperature than in the curing step. The heating temperature and the heating time are appropriately set in consideration of the amount of the adhesive and the like, and it is preferable that the heating temperature is 1850 to 2300 ° C. and the heating time is about 5 hours.

【0021】なお、接着剤の焼成後の密度が、接着した
SiC質成形体の密度と同じになるようにするのが好ま
しい。これは、焼結後の接着剤の組織が、接着しようと
するSiC質成形体の組織に似ているほど接着強度が向
上するからである。焼結後の接着剤の組織が、接着した
SiC質成形体の組織に一致するのが最良である。
It is preferable that the density of the adhesive after firing is the same as the density of the bonded SiC material. This is because the adhesive strength increases as the structure of the adhesive after sintering resembles the structure of the SiC material to be bonded. It is best that the structure of the adhesive after sintering matches the structure of the bonded SiC compact.

【0022】[0022]

【作用】この発明のSiC質成形体の接着方法では、接
着剤の生成時に脱気処理を施しているため、接着時の接
着剤中に気孔が生じ難くなる。また、接着剤の主成分が
SiCであるため、接着剤の材質が成形体の材質と同じ
である。そこで、この方法で接着すると、バルクのSi
C成形体に近い接着強度が得られ、またその接着強度が
高温下において低下する恐れがほとんどなくなる。
According to the method of bonding an SiC-based molded body of the present invention, since the degassing process is performed at the time of generation of the adhesive, pores are not easily generated in the adhesive at the time of bonding. Since the main component of the adhesive is SiC, the material of the adhesive is the same as the material of the molded body. Therefore, by bonding in this manner, bulk Si
Adhesive strength close to that of the C molded body is obtained, and the adhesive strength is hardly reduced at high temperatures.

【0023】[0023]

【実施例】以下、この発明の実施例を示すが、この発明
はこれらに限定されるものではない。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.

【0024】(実施例1)図1(a)は接着剤生成工程
を示すフローチャート、図1(b)はその接着剤を用い
る接着工程を示すフローチャートである。
(Embodiment 1) FIG. 1A is a flowchart showing an adhesive generation step, and FIG. 1B is a flowchart showing an adhesion step using the adhesive.

【0025】まず、SiC粉末(粒径0.5mm)10
0重量%に、焼結助剤として0.8重量%の硼素粉末お
よび3.5重量%の炭素粉末を添加し、混合した。他
方、有機バインダーとして10重量%のヒドロキシプロ
ピルメチルセルロースを水に溶解させ、水分が27.5
重量%となるように調整した。
First, a SiC powder (particle size: 0.5 mm) 10
To 0% by weight, 0.8% by weight of boron powder and 3.5% by weight of carbon powder were added as sintering aids and mixed. On the other hand, 10% by weight of hydroxypropyl methylcellulose was dissolved in water as an organic binder, and the water content was 27.5%.
It adjusted so that it might become weight%.

【0026】次に、硼素粉末および炭素粉末を添加した
上記SiC粉末に上記ヒドロキシプロピルメチルセルロ
ースの水溶液を加え、常温で真空中で混練して混合物の
粘度を105Poiseに調整した。混練時間は15
分、混練時の気圧は約10Torrとした。
Next, the aqueous solution of hydroxypropylmethylcellulose was added to the SiC powder to which the boron powder and the carbon powder had been added, and the mixture was kneaded in a vacuum at room temperature to adjust the viscosity of the mixture to 10 5 Poise. Kneading time is 15
And the pressure during kneading was about 10 Torr.

【0027】次に、得られた混合物を同じ真空下で厚さ
約0.2mmのシート状に形成し、接着剤シートを得
た。
Next, the obtained mixture was formed into a sheet having a thickness of about 0.2 mm under the same vacuum to obtain an adhesive sheet.

【0028】そこで、得られた接着剤シートを用いて、
以下のようにしてSiC成形体の接着を行なった。ま
ず、接着剤シートを2枚用意し、それらシートの両面を
水で濡らした後、接着しようとする2個のSiC成形体
の接着面にそれぞれ密着させた。そして、2枚の接着剤
シートのSiC成形体に密着されていない側の面を互い
に密着させた後、接着剤シートに直交する方向にSiC
成形体に押圧力を加えることにより、接着剤シートを加
圧した。押圧力の大きさは、5kg/cm2とした。
Then, using the obtained adhesive sheet,
Bonding of the SiC molded body was performed as follows. First, two adhesive sheets were prepared, and both surfaces of the sheets were wetted with water, and then they were brought into close contact with the bonding surfaces of the two SiC molded bodies to be bonded. Then, the surfaces of the two adhesive sheets that are not in close contact with the SiC molded body are brought into close contact with each other, and then the SiC is placed in a direction orthogonal to the adhesive sheet.
The adhesive sheet was pressed by applying a pressing force to the molded body. The magnitude of the pressing force was 5 kg / cm 2 .

【0029】次に、接着剤シートを間に介在させたSi
C成形体を、上記加圧状態を維持しながら100゜Cで
4時間加熱し、接着剤シートに残っている水分を除去し
た。次に、同SiC成形体を200゜Cでさらに4時間
加熱し、水分を除去した接着剤シートを硬化させた。最
後に、同SiC成形体を常圧で1850〜2300゜C
の温度で5時間加熱し、接着剤シートを焼成した。こう
して、SiC成形体の接着を完了した。
Next, an Si sheet with an adhesive sheet interposed is used.
The C molded body was heated at 100 ° C. for 4 hours while maintaining the above-mentioned pressurized state to remove water remaining on the adhesive sheet. Next, the SiC molded body was further heated at 200 ° C. for 4 hours to cure the adhesive sheet from which moisture was removed. Finally, the SiC molded body is subjected to a pressure of 1850-2300 ° C. at normal pressure.
For 5 hours to fire the adhesive sheet. Thus, the bonding of the SiC molded body was completed.

【0030】以上のようにして接着したSiC成形体の
接着強度を測定するため、試験を行なった。その試験
は、JIS R 1601の常温曲げ試験方法の3点曲
げ法で行なった。試験片としては、5×5×50mmの
直方体状の2個のSiC成形体の端面を上記接着方法で
接着したものを用い、接着剤層の厚さは0.2〜0.6
mmとした。また、2個の支点間のスパンは30mmと
し、荷重点は試験片の接着剤層の上に設定した。
A test was conducted to measure the adhesive strength of the SiC compact bonded as described above. The test was performed by the three-point bending method of the room temperature bending test method of JIS R 1601. As the test piece, one obtained by bonding the end faces of two 5 × 5 × 50 mm rectangular parallelepiped SiC molded bodies by the bonding method described above was used, and the thickness of the adhesive layer was 0.2 to 0.6.
mm. The span between the two fulcrums was 30 mm, and the load point was set on the adhesive layer of the test piece.

【0031】その結果、接着強度は420MPaであっ
た。バルク(接着部が存在しないもの)のSiC成形体
の常温曲げ強度は、通常400〜450MPaであるか
ら、この接着強度はバルクのSiC成形体のそれに匹敵
することが判明した。また、1200゜Cにおいて空気
中で同様の接着強度試験を行なったところ、その接着強
度は430MPaであった。
As a result, the adhesive strength was 420 MPa. Since the room-temperature bending strength of a bulk (those having no bonded portion) SiC molded article is usually 400 to 450 MPa, it has been found that this adhesive strength is comparable to that of a bulk SiC molded article. When the same adhesive strength test was performed in air at 1200 ° C., the adhesive strength was 430 MPa.

【0032】なお、得られた接着剤層を光学顕微鏡で観
察すると、接着したSiC成形体の組織とほぼ同じ組織
であり、密度もほぼ同じであった。バインダーを、ヒド
ロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロー
ス、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラート、ポ
リエチレングリコール、グリコース、エチルセルロー
ス、アセチルセルロース、ポリビニルアセテート、エチ
ルシリケート、流動パラフィン、フェノール樹脂に変え
て同様に接着を行なったが、ほぼ同様の結果が得られ
た。
When the obtained adhesive layer was observed with an optical microscope, the structure was almost the same as the structure of the bonded SiC compact, and the density was also substantially the same. The binder was changed to hydroxyethyl cellulose, carboxymethyl cellulose, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyrate, polyethylene glycol, glycolose, ethyl cellulose, acetyl cellulose, polyvinyl acetate, ethyl silicate, liquid paraffin, and phenol resin, and the same adhesion was performed. Was obtained.

【0033】(実施例2〜6)実施例1と同様に、Si
C粉末(粒径0.5mm)100重量%に、焼結助剤と
して0.8重量%の硼素粉末および3.5重量%の炭素
粉末を添加し、混合した。他方、有機バインダーとして
ヒドロキシプロピルメチルセルロースを表1に示す量だ
け水に溶解させ、水分が表1に示す量となるように調整
した。
(Examples 2 to 6) As in Example 1, Si
0.8% by weight of boron powder and 3.5% by weight of carbon powder as sintering aids were added to 100% by weight of the C powder (particle size: 0.5 mm) and mixed. On the other hand, hydroxypropylmethylcellulose as an organic binder was dissolved in water in the amount shown in Table 1, and the water content was adjusted to the amount shown in Table 1.

【0034】次に、硼素粉末および炭素粉末を添加した
上記SiC粉末に上記ヒドロキシプロピルメチルセルロ
ースの水溶液を加え、常温で真空中で混練して混合物の
粘度を表1に示す値に調整した。混練時間および混練時
の気圧は、実施例1と同じとした。
Next, the aqueous solution of hydroxypropylmethylcellulose was added to the SiC powder to which the boron powder and the carbon powder had been added, and the mixture was kneaded in a vacuum at room temperature to adjust the viscosity of the mixture to the value shown in Table 1. The kneading time and the pressure during kneading were the same as in Example 1.

【0035】次に、この混合物を用いて実施例1と同様
の接着剤シートを生成し、実施例1と同様にしてSiC
成形体を接着した。接着強度試験の結果、実施例2〜6
の常温での接着強度および高温(1200゜C)での接
着強度は表1に示す通りであり、実施例1とほぼ同等の
結果が得られた。
Next, using this mixture, an adhesive sheet similar to that of Example 1 was formed.
The molded body was adhered. As a result of the adhesive strength test, Examples 2 to 6
The adhesive strength at room temperature and the adhesive strength at high temperature (1200 ° C.) are as shown in Table 1, and almost the same results as in Example 1 were obtained.

【0036】(比較例1〜2)実施例1と同じバインダ
ーを用いてバインダー量、水分量および粘性を表2のよ
うに調整し、他は実施例1と同様にして接着剤シートを
生成した。そして、その接着剤シートを用いて実施例1
と同様にしてSiC成形体を接着した。比較例1では、
乾燥時に接着剤シートにクラックが生じた。比較例2で
は、常温での接着強度は表2に示す通りであり、実施例
1〜6に比べてかなり低いものであった。
(Comparative Examples 1-2) Using the same binder as in Example 1, the amount of binder, the amount of water and the viscosity were adjusted as shown in Table 2, and the other conditions were the same as in Example 1 to produce an adhesive sheet. . Then, using the adhesive sheet, Example 1
The SiC molded body was bonded in the same manner as described above. In Comparative Example 1,
Cracks occurred in the adhesive sheet during drying. In Comparative Example 2, the adhesive strength at room temperature was as shown in Table 2, and was considerably lower than Examples 1 to 6.

【0037】[0037]

【表1】 [Table 1]

【0038】[0038]

【表2】 [Table 2]

【0039】[0039]

【発明の効果】この発明のSiC質成形体の接着方法
は、接着時にクラックが生じないと共にバルクのSiC
成形体の強度に近い接着強度が得られ、しかもその接着
強度が高温下においてもほとんど低下しないという効果
を有する。
According to the bonding method of the present invention, cracks do not occur during bonding and bulk SiC
It has an effect that an adhesive strength close to the strength of the molded article can be obtained, and the adhesive strength hardly decreases even at a high temperature.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明のSiC成形体の接着方法の一実施例
を示すもので、(a)はその方法に用いる接着剤の生成
工程を示すフローチャート、(b)は(a)で得た接着
剤を用いて行なうSiC成形体の接着工程を示すフロー
チャートである。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 shows one embodiment of a bonding method for a SiC molded body of the present invention, in which (a) is a flowchart showing a process of generating an adhesive used in the method, and (b) is a bonding obtained in (a) 5 is a flowchart showing a bonding step of a SiC molded body performed using an agent.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−149476(JP,A) 特開 昭63−139070(JP,A) 特開 昭62−138370(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C04B 37/00 B28B 11/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-2-149476 (JP, A) JP-A-63-139070 (JP, A) JP-A-62-138370 (JP, A) (58) Investigation Field (Int. Cl. 7 , DB name) C04B 37/00 B28B 11/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 焼結助剤を含む炭化珪素粉末に有機バイ
ンダーと溶媒を加えて混練および脱気処理をし、粘度を
103〜105 Poiseに調整してなる接着剤を用い
る炭化珪素質成形体の接着方法であって、接着しようと
する複数の炭化珪素質成形体の各接着面間に上記接着剤
を介在させ、その接着剤を加圧した後あるいは加圧しな
がら加熱処理を施すことを特徴とする炭化珪素質成形体
の接着方法。
1. A silicon carbide material using an adhesive whose viscosity is adjusted to 10 3 to 10 5 Poise by adding an organic binder and a solvent to silicon carbide powder containing a sintering aid, kneading and degassing the mixture. A method of bonding molded articles, wherein the adhesive is interposed between respective adhesive surfaces of a plurality of silicon carbide molded articles to be adhered, and a heat treatment is performed after or while the adhesive is pressed. A method for bonding a silicon carbide-based molded body, characterized by comprising:
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