JP3079922B2 - Solder ball mounting device - Google Patents

Solder ball mounting device

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JP3079922B2
JP3079922B2 JP06292938A JP29293894A JP3079922B2 JP 3079922 B2 JP3079922 B2 JP 3079922B2 JP 06292938 A JP06292938 A JP 06292938A JP 29293894 A JP29293894 A JP 29293894A JP 3079922 B2 JP3079922 B2 JP 3079922B2
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solder ball
head
container
solder
rectifying
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省二 酒見
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3457Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3478Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns

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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半田ボールを基板など
のワークに搭載するための半田ボールの搭載装置に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solder ball mounting apparatus for mounting a solder ball on a work such as a substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】基板やチップなどのワークにバンプ(突
出電極)を形成する手段として、半田材料により形成さ
れた半田ボールをワークに搭載し、この半田ボールを加
熱して溶融固化させることにより、バンプを形成するこ
とが知られている。半田ボールをワークに搭載する半田
ボールの搭載装置は、半田ボールをヘッドの吸着孔に真
空吸着してピックアップし、次いでヘッドをワークの上
方へ移動させて、半田ボールをワークに移載するように
なっている。
2. Description of the Related Art As means for forming bumps (protruding electrodes) on a work such as a substrate or a chip, a solder ball formed of a solder material is mounted on the work, and the solder ball is heated and melted and solidified. It is known to form bumps. The solder ball mounting device that mounts the solder ball on the work is such that the solder ball is vacuum-adsorbed to the suction hole of the head and picked up, and then the head is moved above the work to transfer the solder ball to the work. Has become.

【0003】図4は、従来の半田ボールの搭載装置のピ
ックアップ時の要部断面図である。1は半田ボールであ
り、容器2に大量に貯溜されている。3は容器2の受台
であり、コンプレッサ4からエアが圧送される。容器2
の下面には孔部5が開孔されており、受台3内に圧送さ
れたエアがこの孔部5から容器2内に吹き上がることに
より、容器2内の半田ボール1は流動化する。6はヘッ
ドであって、その下面には半田ボール1を真空吸着する
吸着孔7が多数個形成されている。ヘッド6はバキュー
ム装置(図外)に接続されており、バキューム装置が駆
動することにより、吸着孔7に半田ボール1を真空吸着
する。またヘッド6は移動手段(図示せず)に保持され
ており、移動手段が駆動することにより、半田ボール1
の貯溜部である容器2と、位置決め部(図外)に位置決
めされたワークである基板の間を往復移動する。
FIG. 4 is a sectional view of a main part of a conventional solder ball mounting device at the time of pickup. Reference numeral 1 denotes a solder ball, which is stored in a large amount in the container 2. Reference numeral 3 denotes a receiving stand for the container 2, and air is pressure-fed from the compressor 4. Container 2
A hole 5 is opened in the lower surface of the solder ball 1, and the air blown into the container 2 from the hole 5 pressurizes the solder ball 1 in the container 2. Reference numeral 6 denotes a head, on the lower surface of which are formed a large number of suction holes 7 for sucking the solder ball 1 by vacuum. The head 6 is connected to a vacuum device (not shown), and drives the vacuum device to vacuum-suck the solder ball 1 into the suction hole 7. The head 6 is held by a moving means (not shown).
Reciprocate between the container 2 which is the storage part of the above and the substrate which is the work positioned at the positioning part (not shown).

【0004】上記構成において、容器2内にエアを吹き
上げることにより、半田ボール1を容器2内で流動化さ
せる。そこでヘッド6を下降・上昇させることにより、
吸着孔7に半田ボール1を真空吸着してピックアップ
し、続いてヘッド6はワークの上方へ移動し、そこで再
度下降・上昇動作をすることにより、吸着孔7に真空吸
着した半田ボール1をワークに搭載する。
In the above configuration, the air is blown up into the container 2 so that the solder balls 1 are fluidized in the container 2. Therefore, by lowering and raising the head 6,
The solder ball 1 is vacuum-adsorbed to the suction hole 7 and picked up. Subsequently, the head 6 moves above the work, and then descends and rises again, so that the solder ball 1 vacuum-adsorbed to the suction hole 7 is moved to the work. To be mounted on.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記従来装置では、容
器2の下部空間にエアを送り込み、このエアを孔部5か
ら上方へ吹き上げさせて半田ボール1を流動化させるこ
とにより、多数個の吸着孔7に半田ボール1を真空吸着
しやすくしている。ところが上記従来装置では、吸着孔
5から容器2内に送り込まれたエアは容器2内を均一に
は吹き上げず、場所的に風量がばらつきやすい。このた
め、図示するように容器2に貯溜された半田ボール1の
層の上面は水平にはならず、凹凸を生じやすい。このよ
うに半田ボール1の層の上面に凹凸が生じると、ヘッド
6のすべての吸着孔7に半田ボール1を真空吸着でき
ず、半田ボール1が欠落した吸着孔7が生じやすいとい
う問題点があった。
In the above-mentioned conventional apparatus, air is sent into the lower space of the container 2, and this air is blown up from the hole 5 to fluidize the solder balls 1, thereby forming a large number of suction balls. The holes 7 facilitate the vacuum suction of the solder balls 1. However, in the above-described conventional apparatus, the air sent into the container 2 from the suction hole 5 does not uniformly blow up the inside of the container 2, and the amount of air tends to vary locally. For this reason, as shown in the figure, the upper surface of the layer of the solder balls 1 stored in the container 2 does not become horizontal, and irregularities are likely to occur. If the upper surface of the layer of the solder ball 1 is uneven, the solder ball 1 cannot be vacuum-sucked in all the suction holes 7 of the head 6, and the suction hole 7 in which the solder ball 1 is missing tends to be generated. there were.

【0006】そこで本発明は、ヘッドのすべての吸着孔
に半田ボールを真空吸着してピックアップできる半田ボ
ールの搭載装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a solder ball mounting apparatus capable of vacuum-sucking and picking up solder balls in all suction holes of a head.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】このために本発明は、半
田ボールの貯溜部を、容器と、この容器の上部に配設さ
れて半田ボールが載置される通風シートと、この通風シ
ートの下方に配設された整流手段と、この整流手段の下
部空間にガスを送り込むガス供給手段とから構成した。
SUMMARY OF THE INVENTION To this end, the present invention provides a container for storing solder balls, a container, a ventilation sheet disposed above the container and on which solder balls are placed, The rectifier is provided below and gas supply means for feeding gas into a space below the rectifier.

【0008】また望ましくは、半田ボールが載置される
通風シートを伸縮性を有するシートとしたものである。
Preferably, the ventilation sheet on which the solder balls are placed is a stretchable sheet.

【0009】[0009]

【作用】上記構成において、整流手段の下部空間に送り
込まれたガスは、整流手段によって整流された後、通風
シートを通って容器内を均一に吹き上げるので、容器内
を通過するガスの風量が場所的にばらつくことはない。
したがって通風シート上の半田ボールの層の上面は水平
面を保つので、ヘッドのすべての吸着孔に半田ボールを
確実に真空吸着してピックアップできる。
In the above construction, the gas sent into the lower space of the rectifying means is rectified by the rectifying means and then blows up the inside of the container uniformly through the ventilation sheet. There is no variation.
Therefore, since the upper surface of the solder ball layer on the ventilation sheet keeps a horizontal surface, the solder ball can be reliably sucked and picked up in all the suction holes of the head.

【0010】またヘッドの下面を半田ボールの層の上面
レベル以下まで下降させてこの下面をこの層にまで埋入
させた方が、すべての吸着孔に半田ボールを真空吸着し
やすいが、この場合、ヘッドから半田ボールの層に加え
られる圧力は流動化した半田ボールで吸収され、さらに
通風シートが下方へ伸びることにより吸収される。した
がってヘッドの下面が半田ボールに強く当って半田ボー
ルを痛めるのを解消できる。
If the lower surface of the head is lowered below the upper surface level of the solder ball layer and the lower surface is embedded in this layer, the solder balls are more easily vacuum-adsorbed to all the suction holes. The pressure applied from the head to the solder ball layer is absorbed by the fluidized solder balls, and further absorbed by the ventilation sheet extending downward. Therefore, it is possible to prevent the lower surface of the head from hitting the solder ball strongly and damaging the solder ball.

【0011】[0011]

【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図1は本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置
の側面図、図2は同半田ボールの搭載装置の貯溜部の断
面図、図3は同半田ボールの搭載装置のピックアップ時
の要部断面図である。図1において、11は基台であ
り、半田ボール1の貯溜部12が設けられている。20
は基板の位置決め部であって、Xテーブル21、Yテー
ブル22を段積して構成されている。23,24はXテ
ーブル21とYテーブル22の駆動用モータである。Y
テーブル22上にはクランパ25が設けられている。ク
ランパ25は基板26を左右からクランプして固定して
いる。したがってXテーブル21とYテーブル22が駆
動すると、基板26はX方向やY方向へ水平移動し、そ
の位置が調整される。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view of a solder ball mounting device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of a storage portion of the solder ball mounting device, and FIG. It is sectional drawing. In FIG. 1, reference numeral 11 denotes a base, on which a reservoir 12 for the solder balls 1 is provided. 20
Is a positioning part of the substrate, which is configured by stacking an X table 21 and a Y table 22. Reference numerals 23 and 24 denote driving motors for the X table 21 and the Y table 22. Y
A clamper 25 is provided on the table 22. The clamper 25 clamps and fixes the substrate 26 from right and left. Therefore, when the X table 21 and the Y table 22 are driven, the substrate 26 moves horizontally in the X direction and the Y direction, and the position is adjusted.

【0012】30はヘッドであって、上ケース31と下
ケース32から成っている。図1において、ヘッド30
はシャフト36を介してブロック37に保持されてい
る。38は支持フレームであって、その前面には垂直な
ガイドレール39が設けられている。ブロック37はガ
イドレール39に昇降自在に装着されている。ブロック
37にはナット40が結合されている。ナット40には
垂直な送りねじ41が螺合している。モータ42が駆動
して送りねじ41が回転すると、ブロック37はガイド
レール39に沿って昇降し、ヘッド30も昇降する。4
3はバキューム装置であって、チューブ44を介してヘ
ッド30に接続されている。バキューム装置43が駆動
することにより、下ケース32の下面に多数形成された
吸着孔35(図2)に半田ボール1を真空吸着する。
Reference numeral 30 denotes a head, which comprises an upper case 31 and a lower case 32. In FIG. 1, the head 30
Is held by a block 37 via a shaft 36. Reference numeral 38 denotes a support frame, on the front of which a vertical guide rail 39 is provided. The block 37 is mounted on a guide rail 39 so as to be able to move up and down. A nut 40 is connected to the block 37. A vertical feed screw 41 is screwed into the nut 40. When the motor 42 is driven and the feed screw 41 rotates, the block 37 moves up and down along the guide rail 39, and the head 30 also moves up and down. 4
A vacuum device 3 is connected to the head 30 via a tube 44. When the vacuum device 43 is driven, the solder balls 1 are vacuum-sucked into a large number of suction holes 35 (FIG. 2) formed on the lower surface of the lower case 32.

【0013】50は横長のフレームであって、その前面
には水平なボールねじ51が設けられている。支持フレ
ーム38の背面に設けられたナット(図示せず)はこの
ボールねじ51に螺合している。モータ52が駆動して
ボールねじ51が回転すると、支持フレーム38はボー
ルねじ51に沿ってX方向に水平移動し、これによりヘ
ッド30は貯溜部12と基板26の間を往復移動する。
すなわち、ボールねじ51やモータ52はヘッド30を
水平移動させる移動手段を構成している。
Reference numeral 50 denotes a horizontally long frame, on the front of which a horizontal ball screw 51 is provided. A nut (not shown) provided on the back surface of the support frame 38 is screwed to the ball screw 51. When the motor 52 is driven to rotate the ball screw 51, the support frame 38 moves horizontally in the X direction along the ball screw 51, whereby the head 30 reciprocates between the storage section 12 and the substrate 26.
That is, the ball screw 51 and the motor 52 constitute a moving unit for moving the head 30 horizontally.

【0014】次に図2を参照して半田ボール1の貯溜部
12について説明する。14は容器であり、その内部の
上部には通風シート15が水平に配設されている。本実
施例の通風シート15は伸縮性を有するメッシュであ
る。また通風シート15の下方には整流用シート16,
17が上下に間隔をおいて2枚水平に配設されている。
この整流用シート16,17も通風性を有するメッシュ
である。通気シート15や整流用シート16,17とし
ては、メッシュ以外にも、多孔板でもよいが、その場
合、孔はできるだけ高密度で細かく形成されていること
が望ましい。また整流用シート16,17の枚数は任意
であるが、2枚以上配設することが整流効果上望まし
い。
Next, the storage portion 12 of the solder ball 1 will be described with reference to FIG. Reference numeral 14 denotes a container, and a ventilation sheet 15 is horizontally disposed at an upper portion inside the container. The ventilation sheet 15 of this embodiment is a mesh having elasticity. A rectifying sheet 16 is provided below the ventilation sheet 15.
17 are horizontally arranged at an interval vertically.
The rectifying sheets 16 and 17 are also meshes having ventilation. The ventilation sheet 15 and the flow regulating sheets 16 and 17 may be perforated plates other than the mesh, but in this case, the holes are desirably formed as densely and as finely as possible. The number of rectifying sheets 16 and 17 is arbitrary, but it is preferable to arrange two or more rectifying sheets in terms of rectifying effect.

【0015】上記基台11の内部には空気または窒素ガ
ス等のガスを吐き出すガスの吐出部13が設けられてい
る。この吐出部13は、図1に示すようにチューブ27
を通してガス供給部28に接続されている。ガス供給部
28から供給されるガスは、チューブ27を通って吐出
部13から容器14の下部空間18に吹き出す。吹き出
されたガスは、整流用シート16,17を通過しながら
容器14内でその風量は均一化され(破線矢印参照)、
通風シート15を通って半田ボール1の層中に送り込ま
れ、上方へ吹き上げる。これにより半田ボール1は流動
化されるが、ガスは均一に吹き上げるので、半田ボール
1の上面は水平面を保つ。本実施例では、整流用シート
16,17が吐出部13から吐出されたガスを整流する
整流手段を構成している。
A gas discharge portion 13 for discharging a gas such as air or nitrogen gas is provided inside the base 11. As shown in FIG.
Through to the gas supply unit 28. The gas supplied from the gas supply unit 28 blows out from the discharge unit 13 into the lower space 18 of the container 14 through the tube 27. The blown gas passes through the rectifying sheets 16 and 17 and has a uniform air volume in the container 14 (see the dashed arrow).
It is fed into the layer of the solder ball 1 through the ventilation sheet 15 and blows up. As a result, the solder ball 1 is fluidized, but the gas is blown up uniformly, so that the upper surface of the solder ball 1 keeps a horizontal surface. In the present embodiment, the rectifying sheets 16 and 17 constitute rectifying means for rectifying the gas discharged from the discharge unit 13.

【0016】この半田ボールの搭載装置は上記のような
構成より成り、次に全体の動作を説明する。図1に示す
ように、ヘッド30を貯溜部12の上方に位置させ、モ
ータ42を正駆動する。すると送りねじ41は正回転
し、ヘッド30は下降する。図3は、ヘッド30が、そ
の下ケース32の下面が半田ボール1の層の上面レベル
以下まで下降して、半田ボール1の層の内部にまで若干
埋入した状態を示している。このように、ヘッド30は
その下面が半田ボール1の層の上面以下になるまで下降
させた方が、半田ボール1を吸着孔35に真空吸着しや
すい。さてこのとき、ガスが吹き上げて半田ボール1は
流動化しており、したがってすべての吸着孔35に半田
ボール1が真空吸着される。またヘッド30が上記埋入
位置まで下降することにより、半田ボール1の層には圧
力が加えられるが、この圧力は流動化した半田ボール1
で吸収され、さらに図において鎖線で示すように通風シ
ート15が下方へたわむように伸びることにより吸収さ
れる。したがって半田ボール1がヘッド30の下面に強
くこすられて半田ボール1が痛むことはない。
This solder ball mounting apparatus has the above-described configuration. Next, the overall operation will be described. As shown in FIG. 1, the head 30 is positioned above the storage unit 12 and the motor 42 is driven forward. Then, the feed screw 41 rotates forward and the head 30 descends. FIG. 3 shows a state in which the lower surface of the lower case 32 of the head 30 is lowered to a level lower than the upper surface level of the layer of the solder ball 1 and is slightly embedded in the layer of the solder ball 1. As described above, when the head 30 is lowered until the lower surface thereof is lower than or equal to the upper surface of the layer of the solder ball 1, the solder ball 1 is more easily vacuum-adsorbed to the suction hole 35. At this time, the gas is blown up and the solder balls 1 are fluidized, so that the solder balls 1 are vacuum-sucked in all the suction holes 35. When the head 30 descends to the embedding position, pressure is applied to the layer of the solder ball 1, and this pressure is applied to the fluidized solder ball 1.
The air is further absorbed by the ventilation sheet 15 extending downward so as to be bent as shown by a chain line in the figure. Therefore, the solder ball 1 is not strongly rubbed against the lower surface of the head 30 and the solder ball 1 is not damaged.

【0017】次にモータ42は逆駆動してヘッド30は
上昇し、半田ボール1をピックアップする。次に図1に
おいて、モータ52は正回転し、ボールねじ51は正回
転して、ヘッド30は基板26に上方へ移動する。そこ
でモータ42を正駆動してヘッド30を下降させ、半田
ボール1を基板26の電極上に着地させた後、バキュー
ム装置43による半田ボール1の真空吸着状態を解除
し、続いてモータ42を逆駆動してヘッド30を上昇さ
せ、半田ボール1を基板26に搭載する。このようにし
て半田ボール1を基板26に搭載したならば、ヘッド3
0を図1に示す貯溜部12の上方へ復帰させ、上述した
動作を繰り返す。
Next, the motor 42 is driven in reverse to raise the head 30 to pick up the solder ball 1. Next, in FIG. 1, the motor 52 rotates forward, the ball screw 51 rotates forward, and the head 30 moves upward to the substrate 26. Then, the motor 42 is driven forward, the head 30 is lowered, and the solder balls 1 are landed on the electrodes of the substrate 26. Then, the vacuum suction state of the solder balls 1 by the vacuum device 43 is released. The head 30 is raised by driving, and the solder ball 1 is mounted on the substrate 26. When the solder ball 1 is mounted on the substrate 26 in this manner, the head 3
0 is returned above the storage section 12 shown in FIG. 1, and the above-described operation is repeated.

【0018】なお、本発明は種々の変更を加えて実施し
てもよく、例えば整流手段は整流用シート16,17に
代えて、複数枚の羽根板を使用して構成してもよく、要
は吐出部13から吹き出したガスの流れをほぼ均一に整
流できるものであればよい。
The present invention may be embodied with various modifications. For example, the rectifying means may be constituted by using a plurality of blades instead of the rectifying sheets 16 and 17. Any material can be used as long as it can rectify the flow of the gas blown out from the discharge unit 13 substantially uniformly.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、整
流用シートの下部空間に送り込まれたガスは、整流用シ
ートによって整流された後、通風シートを通って容器内
を均一に吹き上げるので、容器内を通過するガスの風量
が場所的にばらつくことはなく、したがって通風シート
上の半田ボールの層の上面は水平面を保つので、ヘッド
のすべての吸着孔に半田ボールを確実に真空吸着してピ
ックアップできる。
As described above, according to the present invention, the gas sent into the lower space of the rectifying sheet is rectified by the rectifying sheet and then blown up uniformly in the container through the ventilation sheet. Therefore, the air volume of the gas passing through the container does not vary from place to place, so the upper surface of the solder ball layer on the ventilation sheet keeps a horizontal plane, so that the solder balls are securely vacuum-sucked in all the suction holes of the head. Can be picked up.

【0020】またヘッドの下面を半田ボールの層の上面
レベル以下まで下降させてこの下面をこの層にまで埋入
させた方が、すべての吸着孔に半田ボールを真空吸着し
やすいが、この場合、ヘッドから半田ボールの層に加え
られる圧力は流動化した半田ボールで吸収され、さらに
通風シートが下方へ伸びることにより吸収され、したが
ってヘッドの下面が半田ボールに強く当って半田ボール
を痛めるのを解消できる。
If the lower surface of the head is lowered to a level lower than the upper surface level of the solder ball layer and the lower surface is embedded in this layer, the solder balls are more easily vacuum-sucked in all the suction holes. Therefore, the pressure applied to the solder ball layer from the head is absorbed by the fluidized solder ball, and further absorbed by the airflow sheet extending downward, so that the lower surface of the head strongly contacts the solder ball and damages the solder ball. Can be resolved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置の側
面図
FIG. 1 is a side view of a solder ball mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置の貯
溜部の断面図
FIG. 2 is a sectional view of a storage portion of the solder ball mounting device according to one embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置のピ
ックアップ時の要部断面図
FIG. 3 is a sectional view of a main part of the solder ball mounting device according to one embodiment of the present invention at the time of pickup.

【図4】従来の半田ボールの搭載装置のピックアップ時
の要部断面図
FIG. 4 is a cross-sectional view of a main part of a conventional solder ball mounting device during pickup.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 半田ボール 12 貯溜部 13 吐出部 14 容器 15 通風シート 16,17 整流用シート 18 下部空間 20 位置決め部 26 基板 30 ヘッド 35 吸着孔 51 ボールねじ 52 モータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Solder ball 12 Storage part 13 Discharge part 14 Container 15 Ventilation sheet 16, 17 Rectification sheet 18 Lower space 20 Positioning part 26 Substrate 30 Head 35 Suction hole 51 Ball screw 52 Motor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 3/34 B23K 3/06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H05K 3/34 B23K 3/06

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】半田ボールを貯溜する貯溜部と、ワークの
位置決め部と、半田ボールを真空吸着する吸着孔が下面
に複数個形成されたヘッドと、このヘッドを前記貯溜部
と前記位置決め部の間を往復移動させる移動手段とを備
えた半田ボールの搭載装置であって、前記貯溜部が、容
器と、この容器の上部に配設されて半田ボールが載置さ
れる通風シートと、この通風シートの下方に配設された
整流手段と、この整流手段の下部空間にガスを送り込む
ガス供給手段とを備えたことを特徴とする半田ボールの
搭載装置。
A head having a plurality of suction holes formed on a lower surface thereof for vacuum-sucking the solder balls; And a moving means for reciprocating between the containers, wherein the storage portion is a container, a ventilation sheet disposed on an upper portion of the container and on which the solder balls are placed, and An apparatus for mounting a solder ball, comprising: a rectifying means disposed below a seat; and a gas supply means for feeding gas into a space below the rectifying means.
【請求項2】前記半田ボールが載置される通風シートが
伸縮性を有することを特徴とする請求項1記載の半田ボ
ールの搭載装置。
2. The solder ball mounting apparatus according to claim 1, wherein the ventilation sheet on which the solder balls are mounted has elasticity.
【請求項3】前記整流手段は、少なくとも1枚の通気性
の整流シートであることを特徴とする請求項1記載の半
田ボールの搭載装置。
3. The solder ball mounting apparatus according to claim 1, wherein said rectifying means is at least one air-permeable rectifying sheet.
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