JP3075050B2 - Rubbing treatment method and device for liquid crystal display element - Google Patents

Rubbing treatment method and device for liquid crystal display element

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JP3075050B2 JP30105193A JP30105193A JP3075050B2 JP 3075050 B2 JP3075050 B2 JP 3075050B2 JP 30105193 A JP30105193 A JP 30105193A JP 30105193 A JP30105193 A JP 30105193A JP 3075050 B2 JP3075050 B2 JP 3075050B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示素子(以下L
CDという)のラビング処理方法およびその装置の改良
に関する。
The present invention relates to a liquid crystal display (hereinafter referred to as L
(Hereinafter referred to as CD) rubbing method and an improvement of the apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、LCDセル中の液晶分子を特定方
向へ配向させる方法の一つとして、ラビング法がある。
このラビング法は、透明電極を被覆する配向膜をガラス
基板上に形成した後、起毛布等のラビング材を巻装して
成る円筒状のラビングロールを高速回転させることによ
り、前記ラビング材で前記配向膜を擦り(ラビング)、
もって、液晶分子の長軸をラビング方向と平行する方向
へ配向されるようにしたものである。ところで、このよ
うなラビング工程においては、ラビング材の摩耗、ラビ
ング材とガラス基板間の距離や平行度のバラツキ、ある
いは異物の付着等が原因で、配向不良を招来することが
ある。そこで従来は、ラビング処理を完了した任意のガ
ラス基板に液晶を滴下して配向状態を調べる等抜取り検
査を行ない、配向不良が発見された場合には直ちにラビ
ング工程を中断させ、ラビング材の交換や異物の除去等
の必要な措置を講じていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, there is a rubbing method as one of methods for aligning liquid crystal molecules in an LCD cell in a specific direction.
This rubbing method comprises forming an alignment film covering a transparent electrode on a glass substrate, and then rotating a cylindrical rubbing roll formed by winding a rubbing material such as a brushed cloth at a high speed, whereby the rubbing material is used. Rubbing the alignment film,
Thus, the long axis of the liquid crystal molecules is oriented in a direction parallel to the rubbing direction. Incidentally, in such a rubbing process, poor alignment may be caused due to abrasion of the rubbing material, variation in the distance or parallelism between the rubbing material and the glass substrate, or adhesion of foreign matter. Therefore, conventionally, a sampling inspection was performed by dropping liquid crystal onto an arbitrary glass substrate having completed the rubbing treatment and examining the alignment state, and when an alignment defect was found, the rubbing process was immediately interrupted, and the rubbing material was replaced or replaced. Necessary measures such as removal of foreign substances were taken.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、抜取り検査で
配向不良を発見するという従来の工程管理では、検査の
インターバルが長いと不良品を量産してしまうという危
険性があり、これを回避するために抜取り検査を頻繁に
行なうと、作業が煩雑になる上に検査用として無駄にな
るガラス基板が増えるため、生産性が著しく損なわれて
しまうなどの問題があった。本発明は上記の事情に鑑み
てなされたもので、ガラス基板の抜取り検査によること
なく、ラビング材の摩耗、ラビング材とガラス基板間の
距離や平行度のバラツキ、あるいは異物の付着等による
異常の有無を容易かつ確実に検出することが可能な方法
およびその装置を提供することを目的とする。
However, in the conventional process management in which a defective alignment is found by a sampling inspection, if the inspection interval is long, there is a danger that defective products will be mass-produced. If the sampling inspection is frequently performed, the work becomes complicated and more glass substrates are wasted for the inspection, so that there is a problem that productivity is significantly impaired. The present invention has been made in view of the above circumstances, and is not based on a sampling inspection of a glass substrate, but is based on abrasion of a rubbing material, a variation in the distance and parallelism between the rubbing material and the glass substrate, or an abnormality caused by adhesion of a foreign substance or the like. It is an object of the present invention to provide a method and a device capable of easily and reliably detecting the presence or absence.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明における液晶表示素子のラビング処理方法
は、ラビング材を巻装して成るラビングロールを駆動モ
ータで回転駆動することにより、前記ラビング材でガラ
ス基板上の配向膜をラビングする液晶表示素子のラビン
グ処理方法において、前記ガラス基板をこのガラス基板
より熱伝導率の小さいテーブル上にセットしてラビング
処理し、ラビング処理直後の前記ガラス基板表面を赤外
線ビジコンカメラにより撮影して画像信号を出力し、こ
の画像信号を処理して前記ガラス基板表面の温度分布パ
ターンを検出し、この検出された測定温度分布パターン
とあらかじめ設定された目標温度分布パターンとを比較
し、この比較結果に基づいて前記異常の有無を判定する
ことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a rubbing method for a liquid crystal display device according to the present invention is characterized in that a rubbing roll formed by winding a rubbing material is rotationally driven by a driving motor. In a rubbing method for a liquid crystal display element, in which an alignment film on a glass substrate is rubbed with a rubbing material, the glass substrate is set on a table having a lower thermal conductivity than the glass substrate, rubbing is performed, and the glass immediately after the rubbing is processed. The substrate surface is photographed by an infrared vidicon camera to output an image signal, and the image signal is processed to detect a temperature distribution pattern on the glass substrate surface, and the detected measured temperature distribution pattern and a preset target temperature It is characterized in that the distribution pattern is compared with the distribution pattern, and the presence or absence of the abnormality is determined based on the comparison result.

【0005】[0005]

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面に基づ
き詳細に説明する。概略正面図である図1に示すよう
に、基台1の左側上方位置に、ラビング材2を巻装して
成るラビングロール3が図示しない駆動モータを介して
垂直面内で高速回転可能にして配設してある。また、前
記基台1の右側上方位置には、ラビング処理後のガラス
基板表面における温度分布を撮影して画像信号を出力す
る赤外線ビジコンカメラ4が配設してあり、この赤外線
ビジコンカメラ4には、赤外線ビジコンカメラ4からの
画像信号を画像処理して前記ラビング処理後のガラス基
板表面の温度分布パターンを検出する画像処理装置5が
電気的に接続してある。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. As shown in FIG. 1 which is a schematic front view, a rubbing roll 3 wrapped with a rubbing material 2 is rotatable at a high speed in a vertical plane via a drive motor (not shown) at an upper left position of the base 1. It is arranged. Further, an infrared vidicon camera 4 for photographing the temperature distribution on the glass substrate surface after the rubbing process and outputting an image signal is disposed at the upper right position of the base 1. An image processing apparatus 5 for image-processing an image signal from the infrared vidicon camera 4 and detecting a temperature distribution pattern on the glass substrate surface after the rubbing processing is electrically connected.

【0006】また、前記画像処理装置5には制御盤6が
電気的に接続してあり、この制御盤6には、前記ラビン
グ処理直後のガラス基板表面に係る目標温度分布パター
ンを記憶する記憶手段7と、前記画像処理装置5による
画像処理によって検出された測定温度分布パターンとあ
らかじめ設定された目標温度分布パターンとを比較して
前記ラビング処理後のガラス基板表面の異常の有無を判
定する判定手段8とが設けてあり、これら記憶手段7お
よび判定手段8は、マイクロコンピュータにより構成さ
れている。そして、前記制御盤6にはモニター9が電気
的に接続してある。
Further, a control panel 6 is electrically connected to the image processing apparatus 5, and the control panel 6 has a storage means for storing a target temperature distribution pattern on the surface of the glass substrate immediately after the rubbing process. 7 and a determination means for comparing the measured temperature distribution pattern detected by the image processing by the image processing device 5 with a preset target temperature distribution pattern to determine whether or not the glass substrate surface after the rubbing processing is abnormal. The storage means 7 and the determination means 8 are constituted by a microcomputer. A monitor 9 is electrically connected to the control panel 6.

【0007】また、前記基台1上には、ガラス基板Gを
載せて矢印方向へ移動させる台車10が左右方向へ移動
自在に設けてあり、台車10は、縦断面図である図2に
示すように、上面に凹み11aを有する台車本体11
と、台車本体11上に装着されかつガラス基板Gより小
さい熱伝導率および通気性を有するセラミックス製のテ
ーブル12とで構成されている。なお、テーブル12の
熱伝導率がガラス基板Gのそれよりも小さくしたのは、
ラビング処理により加熱されたガラス基板の熱が短時間
のうちに逃げないようにするためである。そして、前記
台車本体11の凹み11aとテーブル12とが画成する
中空室は、図示しない真空ポンプに連通されていて、こ
の中空室を減圧することにより、テーブル12上に載せ
たガラス基板Gを大気圧との圧力差をもって吸着固定す
ることができるようになっている。
On the base 1, a carriage 10 on which the glass substrate G is placed and moved in the direction of the arrow is provided movably in the left-right direction. The carriage 10 is shown in FIG. Bogie body 11 having recess 11a on the upper surface
And a ceramic table 12 mounted on the carriage body 11 and having a lower thermal conductivity and air permeability than the glass substrate G. The reason why the thermal conductivity of the table 12 is smaller than that of the glass substrate G is as follows.
This is for preventing the heat of the glass substrate heated by the rubbing treatment from escaping in a short time. The hollow chamber defined by the recess 11a of the bogie main body 11 and the table 12 is communicated with a vacuum pump (not shown), and the pressure in the hollow chamber is reduced, so that the glass substrate G placed on the table 12 is reduced. It can be fixed by suction with a pressure difference from the atmospheric pressure.

【0008】このように構成された装置は、ラビング処
理すべきガラス基板Gを台車10のテーブル12上に載
せた後、台車10の中空室を減圧してテーブル12上の
ガラス基板Gをテーブル12上に固定し、続いて、ラビ
ングロール3を高速回転させながら台車10を介してガ
ラス基板Gを右方向へ遅い速度で移動させてガラス基板
Gをラビング処理する。次いで、ラビング処理したガラ
ス基板Gを台車10をもって赤外線ビジコンカメラ4の
直下方位置に移動させたのち直ちにガラス基板Gの処理
面を赤外線ビジコンカメラ4により撮影すると、この画
像は画像処理装置5により画像処理されて前記ガラス基
板Gの処理面の温度分布パターンが検出される。
[0008] In the apparatus configured as described above, after the glass substrate G to be rubbed is placed on the table 12 of the carriage 10, the hollow chamber of the carriage 10 is depressurized and the glass substrate G on the table 12 is moved to the table 12. The glass substrate G is rubbed by moving the glass substrate G rightward at a low speed via the carriage 10 while rotating the rubbing roll 3 at a high speed. Next, the rubbed glass substrate G is moved to a position directly below the infrared vidicon camera 4 with the carriage 10 and immediately after the processed surface of the glass substrate G is photographed by the infrared vidicon camera 4, the image is processed by the image processing device 5. After the processing, the temperature distribution pattern on the processing surface of the glass substrate G is detected.

【0009】なお、ガラス基板Gの処理面はラビング処
理により摩擦熱が発生するが、この摩擦熱の量や分布
は、ラビング材2とガラス基板Gとの接触状態、ラビン
グ材2の押圧力、ラビング材2の接触速度・接触時間等
に左右され、さらに、その摩擦熱は温度に依るスペクト
ルを形成し、このスペクトルは温度分布パターンを構成
する。
The rubbing treatment generates frictional heat on the processing surface of the glass substrate G. The amount and distribution of the frictional heat depends on the contact state between the rubbing material 2 and the glass substrate G, the pressing force of the rubbing material 2, and the like. It depends on the contact speed and contact time of the rubbing material 2 and the frictional heat forms a spectrum depending on the temperature, and this spectrum forms a temperature distribution pattern.

【0010】したがって、この測定温度分布パターンが
画像処理装置5から制御盤6に入力されて、あらかじめ
設定された目標温度分布パターンと比較され、この比較
結果に基づいて異常の有無が判定されることになる。そ
して、この結果をモニター9により目視することができ
る。この結果、ラビング材2の摩耗、ラビング材2とガ
ラス基板G間の距離や平行度のバラツキ、あるいは異物
の付着等による異常の有無を容易かつ確実に判定するこ
とが可能になる。なお、上記の実施例ではテーブル12
が水平移動するようにしてあるが、赤外線ビジコンカメ
ラ4を水平移動させるようにしてもよいのはもちろんで
ある。
Therefore, the measured temperature distribution pattern is input from the image processing device 5 to the control panel 6 and compared with a preset target temperature distribution pattern, and it is determined whether there is any abnormality based on the comparison result. become. Then, the result can be visually observed on the monitor 9. As a result, it is possible to easily and reliably determine the presence or absence of an abnormality due to wear of the rubbing material 2, variation in the distance and parallelism between the rubbing material 2 and the glass substrate G, or adhesion of foreign matter. In the above embodiment, the table 12
Is moved horizontally, but it goes without saying that the infrared vidicon camera 4 may be moved horizontally.

【0011】[0011]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明
は、ガラス基板をこのガラス基板より熱伝導率の小さい
テーブル上にセットしてラビング処理し、ラビング処理
直後のガラス基板表面を赤外線ビジコンカメラにより撮
影して画像信号を出力し、この画像信号を処理して前記
ガラス基板表面の温度分布パターンを検出し、この検出
された測定温度分布パターンとあらかじめ設定された目
標温度分布パターンとを比較し、この比較結果に基づい
て異常の有無を判定するようにしたから、ラビング材の
摩耗、ラビング材とガラス基板間の距離や平行度のバラ
ツキ、あるいは異物の付着等による異常の有無を容易か
つ確実に検出することが可能になるなどの優れた効果を
奏する。
As is apparent from the above description, according to the present invention, a glass substrate is set on a table having a lower thermal conductivity than this glass substrate, rubbed, and the surface of the glass substrate immediately after the rubbing is processed by an infrared vidicon camera. And outputs an image signal, processes the image signal to detect a temperature distribution pattern on the surface of the glass substrate, and compares the detected measured temperature distribution pattern with a preset target temperature distribution pattern. Since the presence or absence of an abnormality is determined based on the comparison result, it is easy and reliable to determine the presence or absence of an abnormality due to wear of the rubbing material, variation in the distance and parallelism between the rubbing material and the glass substrate, or adhesion of foreign matter. It has an excellent effect such that it is possible to detect in a short time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す概略正面図である。FIG. 1 is a schematic front view showing one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施に用いる台車の縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a bogie used for carrying out the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

4 赤外線ビジコンカメラ 5 画像処理装置 7 記憶手段 8 判定手段 12 テーブル 4 Infrared vidicon camera 5 Image processing device 7 Storage means 8 Judgment means 12 Table

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ラビング材を巻装して成るラビングロー
ルを駆動モータで回転駆動することにより、前記ラビン
グ材でガラス基板上の配向膜をラビングする液晶表示素
子のラビング処理方法において、前記ガラス基板をこの
ガラス基板より熱伝導率の小さいテーブル上にセットし
てラビング処理し、ラビング処理直後の前記ガラス基板
表面を赤外線ビジコンカメラにより撮影して画像信号を
出力し、この画像信号を処理して前記ガラス基板表面の
温度分布パターンを検出し、この検出された測定温度分
布パターンとあらかじめ設定された目標温度分布パター
ンとを比較し、この比較結果に基づいて異常の有無を判
定することを特徴とする液晶表示素子のラビング処理方
法。
1. A rubbing treatment method for a liquid crystal display element, wherein a rubbing roll formed by winding a rubbing material is rotatively driven by a driving motor to rub an alignment film on a glass substrate with the rubbing material. Is set on a table having a smaller thermal conductivity than this glass substrate and subjected to rubbing treatment, an image signal is output by photographing the surface of the glass substrate immediately after the rubbing treatment with an infrared vidicon camera, and the image signal is processed. Detecting a temperature distribution pattern on the surface of the glass substrate, comparing the detected temperature distribution pattern with a preset target temperature distribution pattern, and determining whether there is an abnormality based on the comparison result. Rubbing treatment method for liquid crystal display element.
【請求項2】 ラビング材を巻装して成るラビングロー
ルを駆動モータで回転駆動することにより、前記ラビン
グ材でガラス基板上の配向膜をラビングする液晶表示素
子のラビング処理装置において、前記ラビング処理すべ
きガラス基板を水平状態に載置可能でありかつガラス基
板より熱伝導率の小さいテーブル9と、前記ラビング処
理後のガラス基板表面を撮影して画像信号を出力する赤
外線ビジコンカメラ4と、画像信号を処理して前記ラビ
ング処理後のガラス基板表面の温度分布パターンを検出
する画像処理装置5と、前記ラビング処理直後のガラス
基板表面の目標温度分布パターンを記憶する記憶手段7
と、前記画像処理装置5で検出された測定温度分布パタ
ーンと前記記憶手段7の目標温度分布パターンとを比較
して異常の有無を判定する判定手段8と、を具備したこ
とを特徴とする液晶表示素子のラビング処理装置。
2. A rubbing treatment apparatus for a liquid crystal display element, wherein a rubbing material wound around a rubbing material is rotatively driven by a drive motor to rub the alignment film on a glass substrate with the rubbing material. A table 9 on which a glass substrate to be mounted can be placed horizontally and having a lower thermal conductivity than the glass substrate; an infrared vidicon camera 4 for photographing the glass substrate surface after the rubbing process and outputting an image signal; An image processing device 5 for processing a signal to detect a temperature distribution pattern on the glass substrate surface after the rubbing process, and a storage unit 7 for storing a target temperature distribution pattern on the glass substrate surface immediately after the rubbing process.
And a determining means 8 for comparing the measured temperature distribution pattern detected by the image processing device 5 with the target temperature distribution pattern in the storage means 7 to determine the presence or absence of an abnormality. Rubbing processing device for display element.
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