JP3061847B2 - Lattice manufacturing method and lattice - Google Patents
Lattice manufacturing method and latticeInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は格子作製方法及び格子に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a grating manufacturing method and a grating.
［従来の技術］ 基体上に薄層状に形成された磁気記録媒体に記録ヘッ
ドを用いて所望の格子のパターンを書き込み、パターン
に従う磁化パターンを形成し、この磁化パターンのピッ
チに比して十分に粒径の小さい磁性粒子を含む磁性コロ
イド流体を上記磁化パターンに塗布して磁化パターンを
顕像化する格子作製方法が提案されている（特開平１−
308918号公報）。[Prior Art] A desired lattice pattern is written using a recording head on a magnetic recording medium formed in a thin layer on a substrate, and a magnetization pattern according to the pattern is formed. A grating manufacturing method has been proposed in which a magnetic colloid fluid containing magnetic particles having a small particle diameter is applied to the above-mentioned magnetized pattern to visualize the magnetized pattern (Japanese Patent Laid-Open No. Hei 1-1-1.
308918).
［発明が解決しようとする課題］ 上記方法によれば極めてピッチの細かい格子を作製す
ることができるが、磁性コロイド流体により顕像化され
た格子パターンは基体に対する定着力が必ずしも十分に
強くはなく、機械的な接触や衝撃により格子パターンが
損なわれ易いという問題があった。[Problems to be Solved by the Invention] According to the above-described method, a grating with an extremely fine pitch can be produced. However, a grid pattern visualized by a magnetic colloid fluid does not always have a sufficiently high fixing force to a substrate. There is a problem that the lattice pattern is easily damaged by mechanical contact or impact.
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであっ
て、基体側への定着性に優れた新規な格子及び格子作製
方法の提供を目的とする。The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and has as its object to provide a novel lattice and a method for producing the lattice, which have excellent fixability to a substrate.
［課題を解決する手段］ 請求項１乃至４の方法は「格子パターンを有する格子
の作製方法」である。[Means for Solving the Problems] The method according to claims 1 to 4 is a “method for manufacturing a grid having a grid pattern”.
請求項1,2の方法とも「基体上に薄層状に形成された
磁気記録媒体に記録ヘッドを用いて所望の格子のパター
ンを書き込んで上記パターンに従う磁化パターンを形成
し、この磁化パターンを磁性コロイド流体で顕像化す
る」点は従来の方法と同様である。The method according to claim 1 or 2, wherein `` a desired lattice pattern is written using a recording head on a magnetic recording medium formed in a thin layer on a substrate to form a magnetized pattern according to the pattern, and the magnetized pattern is formed of a magnetic colloid. The point of “visualization with a fluid” is the same as the conventional method.
「基体」は金属やガラス、樹脂等で形成できる。 The “substrate” can be formed of metal, glass, resin, or the like.
「磁気記録媒体」はCoCr等の垂直磁化膜やFe3O4等の
内面磁化膜として形成できる。The “magnetic recording medium” can be formed as a perpendicular magnetic film such as CoCr or an inner magnetic film such as Fe 3 O 4 .
「磁性コロイド流体」は酸化鉄等の磁性材の微粉末を
界面活性剤とともに分散媒（石油系の溶剤や水等）中に
分散させたもので、酸化鉄粒子の粒径は磁化パターンの
ピッチに比して十分に小さく（100乃至200Å）設定され
ている。"Magnetic colloid fluid" is a fine powder of magnetic material such as iron oxide dispersed in a dispersion medium (such as a petroleum solvent or water) together with a surfactant. Is set to be sufficiently small (100 to 200 °).
磁化パターンに磁性コロイド流体を塗布すると磁性パ
ターンが顕像化される。When a magnetic colloid fluid is applied to the magnetized pattern, the magnetic pattern is visualized.
即ち、磁性コロイド流体中の磁性粒子により、磁性パ
ターンに従う格子パターンの凹凸が形成される。That is, the magnetic particles in the magnetic colloid fluid form irregularities of the lattice pattern according to the magnetic pattern.
請求項１の方法では「顕像化された格子パターンの上
から、この格子パターンの凹凸に做って薄い金属膜を反
射膜として形成し、この金属膜上に透明な酸化物の層を
形成」する。According to the method of claim 1, "a thin metal film is formed as a reflection film on the visualized grid pattern by considering the unevenness of the grid pattern, and a transparent oxide layer is formed on the metal film. "
反射膜を「格子パターンの凹凸に做って薄い金属膜と
して形成する」とは形成された金属膜の表面に、顕像化
された格子パターンの凹凸がそのまま金属膜の凹凸とし
て現れるような薄さに反射膜を形成することを意味す
る。なお、この反射膜は、格子パターンの全体を覆うよ
うに形成される。"Reflecting film is formed as a thin metal film by assuming the unevenness of the grid pattern" means that the unevenness of the visualized grid pattern appears as the unevenness of the metal film on the surface of the formed metal film. This means that a reflective film is formed. The reflection film is formed so as to cover the entire lattice pattern.
透明な酸化物はSiO2またはInO3とすることができる
（請求項２）。Transparent oxide may be SiO 2 or InO 3 (claim 2).
また反射膜として形成される金属膜の材料は金が好適
である（請求項２）が、外にアルミニウムやクロム、ニ
ッケル等を用いることができる。The material of the metal film formed as the reflection film is preferably gold (claim 2), but aluminum, chromium, nickel or the like can be used outside.
請求項５の格子は上記方法で作製される格子自体であ
る。なお、本明細書に言う格子のパターンは単周期的な
ものに限らずコンピュータホログラムのパターンやコー
ドパターン等をも含む。The grating of claim 5 is the grating itself produced by the above method. Note that the lattice pattern referred to in this specification is not limited to a single periodic pattern, but includes a computer hologram pattern, a code pattern, and the like.
本発明の格子作製方法は、各種エンコーダのスケール
の作製、特に回折による影絵パターンを利用するエンコ
ーダ用のスケールの作製に有効である。The grating manufacturing method of the present invention is effective for manufacturing scales of various encoders, particularly for manufacturing an encoder scale using a shadow pattern by diffraction.
［作用］ 上記のように、本発明では磁性コロイド流体により顕
像化された格子パターンの上に金属膜を介して透明な酸
化物による層が形成される。この層は顕像化された格子
パターンを基体に対して強く定着せしめ、同時に格子パ
ターンに対する強力な保護層として機能する。[Operation] As described above, in the present invention, a layer made of a transparent oxide is formed on a lattice pattern visualized by a magnetic colloid fluid via a metal film. This layer strongly fixes the visualized grid pattern to the substrate and at the same time functions as a strong protective layer for the grid pattern.
［実施例］ 以下、具体的な実施例に即して説明する。[Example] Hereinafter, a description will be given according to a specific example.
第１図乃至第４図はこの発明の基礎となる技術を説明
するための図である。FIG. 1 to FIG. 4 are diagrams for explaining the technology underlying the present invention.
第１図に於いて、符号１は格子形成部材を示してい
る。格子形成部材１は、鉄等の円筒体の周面にCoCr等の
垂直磁化物質をスパッタリング等により厚さ数1000Å程
度の薄層状の磁気記録媒体として形成したもので、図示
されない回転駆動手段により軸の回りに等速回転するよ
うになっている。磁気記録媒体は、その厚み方向の所定
の向きに磁化されている。In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a lattice forming member. The lattice forming member 1 is formed by forming a perpendicular magnetic substance such as CoCr on a peripheral surface of a cylindrical body such as iron as a thin layered magnetic recording medium having a thickness of about 1000 ° by sputtering or the like. It is designed to rotate at a constant speed around. The magnetic recording medium is magnetized in a predetermined direction in the thickness direction.
格子形成部材１を等速回転させつつ、符号２で示す垂
直磁化用の磁気ヘッドにクロック信号３を入力して1,0
に従って格子形成部材１の全周にわたって書き込みを行
うと、一定のピッチを持った格子のパターンを磁化パタ
ーンとして形成できる。While rotating the lattice forming member 1 at a constant speed, the clock signal 3 is inputted to the magnetic head for perpendicular magnetization indicated by reference
When writing is performed over the entire circumference of the grating forming member 1 according to the above, a grating pattern having a constant pitch can be formed as a magnetization pattern.
第２図は、磁化パターンが形成された状態を模式的に
示している。FIG. 2 schematically shows a state where a magnetization pattern is formed.
符号５は基体、符号６は磁気記録媒体を示す。図の左
右方向は格子形成部材１の回転方向に対応する。磁気記
録媒体６には厚み方向の磁化の向きが交互に反転した微
小な磁区の配列により格子のパターンが磁化パターンと
して形成されている。このように垂直磁化により書き込
まれるパターンのピッチは最小で0.1μｍ程度であり、
この実施例の場合は0.1乃至２μｍ程度である。なお第
２図の図面に直行する方向には第２図の状態が有限寸法
続いている。Reference numeral 5 indicates a substrate, and reference numeral 6 indicates a magnetic recording medium. The horizontal direction in the figure corresponds to the rotation direction of the grid forming member 1. On the magnetic recording medium 6, a lattice pattern is formed as a magnetization pattern by an arrangement of minute magnetic domains in which the directions of magnetization in the thickness direction are alternately reversed. Thus, the pitch of the pattern written by perpendicular magnetization is at least about 0.1 μm,
In the case of this embodiment, it is about 0.1 to 2 μm. In the direction perpendicular to the drawing of FIG. 2, the state of FIG. 2 continues for a finite dimension.
このように形成された磁化パターンに対し粒径100乃
至200Åの酸化鉄粒子を含む磁性コロイド流体を塗布す
ると、第３図に示すように磁性コロイド流体７により磁
化パターンが格子パターンとして顕像化される。即ち、
磁性コロイド流体７に含まれる磁性粒子は磁化パターン
における磁区の境界部に集まり磁化パターンに従って分
布し、磁化パターンを顕像化するのである。この状態で
磁性コロイド流体７の分散媒を加熱により蒸発させる。When a magnetic colloid fluid containing iron oxide particles having a particle size of 100 to 200 ° is applied to the thus formed magnetic pattern, the magnetic pattern is visualized as a lattice pattern by the magnetic colloid fluid 7 as shown in FIG. You. That is,
The magnetic particles contained in the magnetic colloid fluid 7 gather at the boundaries of the magnetic domains in the magnetization pattern and are distributed according to the magnetization pattern to visualize the magnetization pattern. In this state, the dispersion medium of the magnetic colloid fluid 7 is evaporated by heating.
続いて、第４図に示すように顕像化された格子パター
ンの上に酸化物による透明な層８を形成する。この例で
は酸化物はSiO2であり層８はスパッタリング等により形
成される。Subsequently, as shown in FIG. 4, a transparent layer 8 of oxide is formed on the visualized lattice pattern. In this example, the oxide is SiO 2 and the layer 8 is formed by sputtering or the like.
酸化物の層８は格子パターン７を磁気記録媒体６上に
強固に定着する。かくして所望の格子を作製できる。The oxide layer 8 firmly fixes the lattice pattern 7 on the magnetic recording medium 6. Thus, a desired grating can be produced.
第５図乃至第８図は、請求項1,2の方法の実施例を説
明するための図である。5 to 8 are diagrams for explaining an embodiment of the method according to the first and second aspects.
格子作製部材1Aは、ガラス等による円板状の基体の片
面にFe3O4等の塗布等により薄層状の磁気記録媒体を厚
み数1000Åの水平磁化膜として形成してなり、図示され
ない回転駆動手段により矢印方向へ等速回転される。The lattice forming member 1A is formed by forming a thin layered magnetic recording medium as a horizontal magnetic film having a thickness of several thousand mm by coating Fe 3 O 4 or the like on one surface of a disk-shaped substrate made of glass or the like, It is rotated at a constant speed in the direction of the arrow by means.
格子形成部材1Aを等速回転させつつ、水平磁化用の磁
気ヘッド2Aにクロック信号３を入力させることにより格
子形成部材1Aの周縁部に1,0に従ったパターンを書き込
んで磁化パターンを形成する。The clock signal 3 is input to the magnetic head 2A for horizontal magnetization while rotating the lattice forming member 1A at a constant speed, thereby writing a pattern according to 1, 0 on the periphery of the lattice forming member 1A to form a magnetization pattern. .
第６図は形成された磁化パターンを模式的に示してい
る。符号5Aは基体、符号6Aが磁気記録媒体を示してお
り、磁化パターンは基体表面に平行な磁化の向き（矢印
で示す）が交互に反転したパターンとして形成される。
第６図の左右方向は格子形成部材1Aの回転方向に対応
し、図面に直交する方向には第６図の状態が有限連続し
ている。この場合の磁化パターンのピッチは１乃至数μ
ｍである。FIG. 6 schematically shows the formed magnetization pattern. Reference numeral 5A indicates a substrate, and reference numeral 6A indicates a magnetic recording medium. The magnetization pattern is formed as a pattern in which the directions of magnetization (indicated by arrows) parallel to the substrate surface are alternately inverted.
The horizontal direction in FIG. 6 corresponds to the rotation direction of the lattice forming member 1A, and the state in FIG. 6 is finitely continuous in a direction orthogonal to the drawing. In this case, the pitch of the magnetization pattern is 1 to several μ.
m.
この磁化パターンに磁性コロイド流体７を塗布するこ
とにより格子パターンとして顕像化できる。第７図は磁
化パターンを顕像化した状態を模式的に示している。The magnetized pattern can be visualized as a lattice pattern by applying the magnetic colloid fluid 7. FIG. 7 schematically shows a state in which the magnetization pattern is visualized.
磁性コロイド流体７の分散媒を蒸発させたのち、反射
率の高い金を蒸着等により反射膜として成膜する。さら
にこの反射膜の上にIn2O3の透明な層をスパッタリング
等により形成する。After evaporating the dispersion medium of the magnetic colloid fluid 7, gold having a high reflectance is formed as a reflective film by vapor deposition or the like. Further, a transparent layer of In 2 O 3 is formed on the reflective film by sputtering or the like.
第８図は、このようにして作製された格子を模式的に
示している。FIG. 8 schematically shows the grating thus produced.
符号９は金により形成された反射膜を示し、符号10は
In2O3による透明な層を示す。反射膜９は、極く薄く形
成し、反射膜９の表面形状が格子パターン７の凹凸をそ
のまま表すようにする。層10の方は適当な厚みにするこ
とができる。Reference numeral 9 denotes a reflective film formed of gold, and reference numeral 10 denotes
Shows a transparent layer of In 2 O 3 . The reflection film 9 is formed to be extremely thin so that the surface shape of the reflection film 9 directly represents the unevenness of the grid pattern 7. Layer 10 can be of any suitable thickness.
かくして所望の格子を得ることができる。 Thus, a desired grating can be obtained.
［発明の効果］ 以上、本発明によれば新規な格子及び格子作製方法を
提供できる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, a novel grating and a grating manufacturing method can be provided.
本発明の方法により作製される格子は格子パターンが
強固に基体側に定着され、また酸化物の層が格子パター
ンを有効に保護するので機械的な接触や衝撃により格子
パターンが損なわれることがない。なお格子パターンを
基体側に定着する方法として分散媒を蒸発させた後の格
子パターンに透明な樹脂を浸漬法やスプレー法でコーテ
ィングして固化する方法も本発明による酸化物の層を形
成するのと同様に有効である。In the lattice produced by the method of the present invention, the lattice pattern is firmly fixed to the substrate side, and the lattice pattern is not damaged by mechanical contact or impact because the oxide layer effectively protects the lattice pattern. . As a method of fixing the lattice pattern on the substrate side, a method of coating a transparent resin on the lattice pattern after evaporating the dispersion medium by a dipping method or a spray method and solidifying the same also forms the oxide layer according to the present invention. Is as effective as
第１図乃至第４図は、この発明の基礎となる技術を説明
するための図、第５図乃至第８図は、請求項1,2の発明
の実施例を説明するための図である。 1,1A……格子形成部材、2,2A……磁気ヘッド、７……磁
性コロイド流体、９……反射膜の層、6,10……酸化物の
層FIGS. 1 to 4 are diagrams for explaining the technology underlying the present invention, and FIGS. 5 to 8 are diagrams for explaining embodiments of the first and second aspects of the present invention. . 1, 1A: lattice forming member, 2, 2A: magnetic head, 7: magnetic colloid fluid, 9: layer of reflective film, 6, 10: layer of oxide
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 明渡 純 東京都新宿区早稲田３丁目18番１号 丸 茂ハイツ203号 (72)発明者 山口 友行 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株 式会社リコー内 (56)参考文献 特開 平１−308918（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−146916（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01D 5/26 - 5/38 G02B 5/32 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Jun Akito 3-18-1 Waseda, Shinjuku-ku, Tokyo 203 Maru Shigeru Heights 203 (72) Inventor Tomoyuki Yamaguchi 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo (56) References JP-A-1-308918 (JP, A) JP-A-62-146916 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01D 5/26-5/38 G02B 5/32
Claims (3)
って、 基体上に薄層状に形成された磁気記録媒体に記録ヘッド
を用いて所望の格子のパターンを書き込み、上記パター
ンに従う磁化パターンを形成し、 上記磁化パターンのピッチに比して十分に粒径の小さい
磁性粒子を含む磁性コロイド流体を上記磁化パターンに
塗布して上記磁化パターンを顕像化し、 顕像化された格子パターンの上から、この格子パターン
の凹凸に做って薄い金属膜を、上記格子パターン全体を
覆う反射膜として形成し、この金属膜上に透明な酸化物
の層を形成することにより、反射型の格子とすることを
特徴とする格子作製方法。1. A method for producing a lattice having a lattice pattern, comprising writing a desired lattice pattern using a recording head on a magnetic recording medium formed in a thin layer on a substrate, and forming a magnetization pattern according to the pattern. Then, a magnetic colloid fluid containing magnetic particles having a sufficiently small particle size compared to the pitch of the magnetization pattern is applied to the magnetization pattern to visualize the magnetization pattern, and from above the visualized lattice pattern By forming a thin metal film as a reflection film that covers the entire lattice pattern, and forming a transparent oxide layer on the metal film, a reflection type lattice is formed. A method for producing a lattice, comprising:
O3であることを特徴とする格子作製方法。2. The method according to claim 1, wherein the material of the metal film is gold, and the transparent oxide is SiO 2 or In.
A method for producing a lattice, comprising O 3 .
製された格子。3. A grating produced by the method of claim 1 or 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27860990A JP3061847B2 (en) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | Lattice manufacturing method and lattice |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
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Publications (2)
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|---|---|
| JPH04155215A JPH04155215A (en) | 1992-05-28 |
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|---|---|---|---|---|
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- 1990-10-17 JP JP27860990A patent/JP3061847B2/en not_active Expired - Lifetime
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| JPH04155215A (en) | 1992-05-28 |
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