JP3056899B2 - Method of forming blind through hole - Google Patents

Method of forming blind through hole

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JP3056899B2 JP29057392A JP29057392A JP3056899B2 JP 3056899 B2 JP3056899 B2 JP 3056899B2 JP 29057392 A JP29057392 A JP 29057392A JP 29057392 A JP29057392 A JP 29057392A JP 3056899 B2 JP3056899 B2 JP 3056899B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、多層プリント配線板に
おける内層のパターンと外層の導体部との接続等に用い
られるブラインドスルーホール(BTH)の形成方法に
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of forming a blind through hole (BTH) used for connecting a pattern of an inner layer and a conductor of an outer layer in a multilayer printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、例えばサブトラクティブ法にて形
成された内層パターンを有する基材を外層側に配置し、
層間絶縁材としてのプリプレグを内層側に配置して積層
プレスしてなる多層プリント配線板が実用化されてい
る。そして、この種の基板では、外層の導体層と内層パ
ターンとをBTH等を介して電気的に接続させている。
2. Description of the Related Art In recent years, a substrate having an inner layer pattern formed by, for example, a subtractive method is arranged on an outer layer side,
2. Description of the Related Art A multilayer printed wiring board in which a prepreg as an interlayer insulating material is arranged on the inner layer side and laminated and pressed has been put to practical use. In this type of substrate, the outer conductor layer and the inner layer pattern are electrically connected via BTH or the like.

【0003】従来より、内層パターン21とスルーホー
ル22とを形成した基材20の内層側にプリプレグ23
を積層プレスすることにより、スルーホール22の片側
を閉塞するというBTH24の形成方法が知られている
(図5参照)。この第一の方法では樹脂フローの少ない
プリプレグ23、いわゆるノンフロータイプのものを使
用することにより、BTH24からの樹脂のオーバーフ
ローを防止している。
Conventionally, a prepreg 23 is provided on the inner layer side of a substrate 20 in which an inner layer pattern 21 and a through hole 22 are formed.
There is known a method of forming a BTH 24 in which one side of a through hole 22 is closed by performing a lamination press (see FIG. 5). In the first method, overflow of resin from the BTH 24 is prevented by using a prepreg 23 having a small resin flow, that is, a non-flow type.

【0004】また、これとは異なる第二の方法として、
内層パターン31を形成した基材30に通常のプリプレ
グ33を積層プレスしてからBTH34となる非貫通孔
32を形成しかつめっきを行うという方法が知られてい
る(図6参照)。この場合、前記非貫通孔32の形成
は、例えばドリル加工やざぐり加工等によって行われ
る。
[0004] Also, as a second method different from this,
A method is known in which a normal prepreg 33 is laminated and pressed on the base material 30 on which the inner layer pattern 31 is formed, and then the non-through holes 32 serving as the BTH 34 are formed and plated (see FIG. 6). In this case, the non-through hole 32 is formed by, for example, drilling or counterboring.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した二
種の方法には、それぞれ以下のような問題がある。例え
ば、第一の方法にて使用されるノンフロータイプのプリ
プレグ23は樹脂のフロー性に乏しいため、プリプレグ
を23を凹凸の多い内層面に充分に追従させることが難
しい。そのため、内層パターン21の付近などには図5
に示すようなボイド25が発生し易くなる。このような
ボイド25が発生した場合には耐熱性や耐湿性等が悪く
なり、信頼性に優れた配線板が得られなくなってしま
う。また、ノンフロータイプのプリプレグ23には、保
管条件や製造条件に厳しい制約があるばかりでなく、コ
スト的にも高くなるという不利益がある。
However, the above two methods have the following problems, respectively. For example, the non-flow type prepreg 23 used in the first method has poor flowability of the resin, so that it is difficult for the prepreg 23 to sufficiently follow the inner layer surface having many irregularities. Therefore, FIG.
The void 25 shown in FIG. When such voids 25 are generated, heat resistance, moisture resistance and the like are deteriorated, and a wiring board excellent in reliability cannot be obtained. Further, the non-flow prepreg 23 has disadvantages in that not only storage conditions and manufacturing conditions are severely restricted but also the cost is increased.

【0006】一方、信頼性を向上させることを優先して
フロータイプのプリプレグ23aを用いると、樹脂がB
TH24を介してオーバーフローし、外層の導体部26
を部分的に被覆してしまう(図7参照)。このため、前
記導体部26上における必要な部分のみにエッチングレ
ジストを形成することが困難になる。それゆえ、外層パ
ターンを形成する前に予め樹脂を除去する作業が必須と
なる。
On the other hand, when the flow type prepreg 23a is used with priority on improving the reliability, the resin becomes B
Overflowing through the TH 24, the outer conductor portion 26
Is partially covered (see FIG. 7). For this reason, it becomes difficult to form an etching resist only on a necessary portion on the conductor portion 26. Therefore, it is necessary to remove the resin before forming the outer layer pattern.

【0007】第二の方法の問題点としては、例えば非貫
通孔32を形成するときの正確な深さ制御は極めて難し
いということが挙げられる。そして、深さ制御が不適切
であると、加工具の先端がプリプレグ33を突き抜けた
り、逆にプリプレグ33まで到達しなかったりするなど
の不都合が生じ易くなる。ゆえに、加工具の突き抜け等
を未然に防止するためには厚めのプリプレグを選択せざ
るを得なく、結果として配線板の薄層化が達成され難く
なる。
As a problem of the second method, for example, it is extremely difficult to accurately control the depth when forming the non-through hole 32. If the depth control is inappropriate, inconveniences such as the tip of the processing tool penetrating the prepreg 33 or not reaching the prepreg 33 easily occur. Therefore, a thicker prepreg must be selected in order to prevent the penetration of the processing tool, and as a result, it is difficult to achieve a thinner wiring board.

【0008】また、第二の方法では、外層の導体部26
と内層パターン21との電気的な接続を図るために、積
層プレス後において非貫通孔32内へめっきを施すこと
が要求される。しかし、片側が閉塞されている非貫通孔
32に対してめっき液を処理したとしても、めっき液を
充分に循環させることは難しい。また、非貫通孔32内
にエアが溜まり易くなり、めっきの付き回り性も悪化す
る。
In the second method, the outer conductor portion 26 is formed.
In order to achieve an electrical connection between the inner layer pattern 21 and the inner layer pattern 21, it is required to perform plating in the non-through hole 32 after the lamination press. However, it is difficult to sufficiently circulate the plating solution even if the plating solution is treated for the non-through hole 32 whose one side is closed. Further, air easily accumulates in the non-through holes 32, and the throwing power of the plating is also deteriorated.

【0009】更に、上述のような非貫通孔32を形成す
る工程は、例えば貫通スルーホール等を形成する工程と
は別に行われるため、必然的に工程数が多くなるという
問題も生じる。
Further, since the step of forming the non-through holes 32 as described above is performed separately from, for example, the step of forming the through-holes and the like, there is a problem that the number of steps inevitably increases.

【0010】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、BTHからの樹脂のオーバーフロ
ーを確実に防止でき、かつ内層におけるボイドの発生を
確実に回避できるBTHの形成方法を提供することにあ
る。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a method for forming a BTH capable of reliably preventing resin from overflowing from the BTH and reliably avoiding generation of voids in an inner layer. To provide.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明では、内層となるべき側に形成されたパタ
ーンと外層側の導体部とがスルーホールによって電気的
に接続された基材における内層側の少なくともスルーホ
ール付近にソルダーレジストを塗布し、かつ前記ソルダ
ーレジスト塗布面に接着シートを貼着した後、前記接着
シート貼着面側にフロータイプのプリプレグを積層プレ
スしている。
In order to solve the above-mentioned problems, according to the present invention, a pattern formed on a side to be an inner layer and a conductor portion on an outer layer side are electrically connected by through holes. After applying a solder resist to at least the vicinity of the through hole on the inner layer side of the material and attaching an adhesive sheet to the solder resist applied surface, a flow type prepreg is laminated and pressed on the adhesive sheet attachment surface side.

【0012】[0012]

【作用】本発明の方法によると、基材の内層側における
凹凸がソルダーレジストによって解消されるため、接着
シート及びプリプレグの基材に対する追従性が向上す
る。よって、内層においてのボイドの発生は確実に回避
される。また、接着シートによってBTHとなる部分が
閉塞されるため、プリプレグ側からBTH側への樹脂の
オーバーフローも阻止される。
According to the method of the present invention, the unevenness on the inner layer side of the substrate is eliminated by the solder resist, so that the followability of the adhesive sheet and the prepreg to the substrate is improved. Therefore, generation of voids in the inner layer is reliably avoided. In addition, since the portion that becomes BTH is closed by the adhesive sheet, overflow of the resin from the prepreg side to the BTH side is also prevented.

【0013】[0013]

【実施例】以下、本発明を多層プリント配線板に具体化
した一実施例を図1〜図4に基づき詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment in which the present invention is embodied in a multilayer printed wiring board will be described in detail with reference to FIGS.

【0014】まず、絶縁性の基材1の両面に銅箔を貼着
した銅張積層板を用意した。その銅張積層板に対してド
リル加工を行い、所定部分に貫通孔2を形成した。次
に、前記銅張積層板を無電解銅めっき等のめっき液に浸
漬した。前記めっきによって前記貫通孔2内に銅を析出
させ、貫通孔2を基材1両面の導体部を接続するスルー
ホール3とした。なお、このスルーホール3は後工程に
おいてBTH4となるものである。次いで、通常のサブ
トラクティブ法の手法に従ってエッチング等を行い、基
材1片面側の所定部分に内層パターン5を形成した。
First, a copper-clad laminate in which copper foil was adhered to both sides of an insulating substrate 1 was prepared. Drilling was performed on the copper-clad laminate to form through holes 2 in predetermined portions. Next, the copper-clad laminate was immersed in a plating solution such as electroless copper plating. Copper was deposited in the through-hole 2 by the plating, and the through-hole 2 was used as a through-hole 3 for connecting conductors on both surfaces of the substrate 1. The through hole 3 becomes BTH4 in a later step. Next, the inner layer pattern 5 was formed on a predetermined portion on one side of the substrate 1 by performing etching or the like according to a usual subtractive method.

【0015】図1に示すように、スクリーン印刷によっ
て前記基材1の内層側にソルダーレジスト6を塗布する
ことにより、内層パターン5による凹凸を解消して基材
1の内層側を均一な平面状にした。この場合、ソルダー
レジスト6の厚さは、内層パターン5の厚さとほぼ同じ
かまたはそれより若干厚めにすることが良い。なお、本
工程を経ることによって、スルーホール3の開口3a,
3bのうち、内層側の開口3aがソルダーレジスト6に
よりいくぶん穴埋めされた状態となる。
As shown in FIG. 1, a solder resist 6 is applied to the inner layer side of the base material 1 by screen printing, thereby eliminating irregularities due to the inner layer pattern 5 and forming the inner layer side of the base material 1 in a uniform planar shape. I made it. In this case, the thickness of the solder resist 6 is preferably substantially the same as or slightly larger than the thickness of the inner layer pattern 5. Note that, through this step, the openings 3a of the through holes 3 are formed.
3b, the opening 3a on the inner layer side is somewhat filled with the solder resist 6.

【0016】続いて、図2に示すように、ソルダーレジ
スト6の塗布面に対して接着シート4を貼着することに
より、前記スルーホール3の片方の開口3aを完全に穴
埋めした。つまり、この工程を経ることによって、前記
スルーホール3が非貫通のBTH4になる。また、本実
施例ではこのような接着シート7として、シート状のコ
ア材7aの両面に接着剤層7bを有するものを用いた。
Subsequently, as shown in FIG. 2, an adhesive sheet 4 was adhered to the surface to which the solder resist 6 was applied, thereby completely filling one opening 3a of the through hole 3. That is, through this step, the through hole 3 becomes a non-penetrating BTH 4. Further, in this embodiment, a sheet-like core material 7a having an adhesive layer 7b on both surfaces is used as such an adhesive sheet 7.

【0017】更に、図3に示すように、接着シート7の
貼着面に対してフロータイプのプリプレグ8を積層プレ
スした。引き続いて、貫通スルーホール9の形成、無電
解銅めっき、外層パターン10の形成及びソルダーレジ
スト11の塗布等を行うことにより、図4のような多層
プリント配線板12を作製した。
Further, as shown in FIG. 3, a flow type prepreg 8 was laminated and pressed on the bonding surface of the adhesive sheet 7. Subsequently, by forming a through hole 9, electroless copper plating, forming an outer layer pattern 10, and applying a solder resist 11, a multilayer printed wiring board 12 as shown in FIG. 4 was produced.

【0018】さて、上述したこの実施例の方法による
と、内層パターン5による凹凸はソルダーレジスト3の
塗布によって解消され、基材1の内層側は均一な平面状
になる。このため、基材1の内層側に対する接着シート
7及びプリプレグ8の追従性が向上し、内層パターン5
の側壁等におけるボイドの発生が確実に防止される。従
って、耐熱性及び耐湿性等が向上し、ひいては配線板の
信頼性も向上する。
According to the method of this embodiment described above, the unevenness due to the inner layer pattern 5 is eliminated by the application of the solder resist 3, and the inner layer side of the base material 1 has a uniform planar shape. For this reason, the followability of the adhesive sheet 7 and the prepreg 8 to the inner layer side of the base material 1 is improved, and the inner layer pattern 5
The generation of voids in the side walls and the like is reliably prevented. Therefore, heat resistance and moisture resistance are improved, and the reliability of the wiring board is also improved.

【0019】そして、この方法によると、スルーホール
3の片方の開口3aがソルダーレジスト6及び接着シー
ト7によって閉塞されるため、プリプレグ8側からBT
H4側への樹脂のオーバーフローは確実に阻止される。
それゆえ、比較的安価でありかつ取り扱い性に優れたフ
ロータイプのプリプレグ8を使用できるという利点が生
じる。
According to this method, one opening 3a of the through hole 3 is closed by the solder resist 6 and the adhesive sheet 7, so that the BT
Overflow of the resin to the H4 side is reliably prevented.
Therefore, there is an advantage that a flow-type prepreg 8 which is relatively inexpensive and excellent in handleability can be used.

【0020】また、この方法ではプリプレグ8の積層プ
レス前にスルーホール3が形成されるため、従来方法と
は異なり、積層状態にてドリル加工等による非貫通孔の
形成は行われることはない。よって、ドリル先端の突き
抜けを未然に防止するために正確な深さ制御を要求され
ることもなく、また予めプリプレグ8を厚めにしておく
必要もない。
Further, in this method, since the through holes 3 are formed before the prepreg 8 is laminated, unlike the conventional method, no non-through holes are formed in the laminated state by drilling or the like. Therefore, accurate depth control is not required to prevent penetration of the tip of the drill beforehand, and it is not necessary to thicken the prepreg 8 in advance.

【0021】更に、この方法によると、スルーホール3
へのめっき液の供給は両開口3a,3bを介して行われ
る。従って、めっき液の循環が良くなり、めっきの付き
回り性が向上する。
Furthermore, according to this method, through holes 3
The plating solution is supplied to both the openings 3a and 3b. Therefore, the circulation of the plating solution is improved, and the throwing power of the plating is improved.

【0022】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
ることはなく、以下のように変更することが可能であ
る。例えば、 (a)ソルダーレジスト6や接着シート7は必ずしも基
材1全面に対して設ける必要はない。これら6,7を少
なくともスルーホール3の周辺部分に設けた場合でも、
上述した実施例と同様の作用・効果を奏する。
The present invention is not limited to the above embodiment, but can be modified as follows. For example, (a) the solder resist 6 and the adhesive sheet 7 do not necessarily need to be provided on the entire surface of the substrate 1. Even if these 6 and 7 are provided at least in the peripheral portion of the through hole 3,
The same operation and effect as those of the above-described embodiment can be obtained.

【0023】(b)ソルダーレジスト6を塗布する場
合、スクリーン印刷以外の手段を用いても勿論良い。 (c)スルーホール3が極めて小径である場合には、接
着シート7を貼着することなくソルダーレジスト6のみ
によって対応することも可能である。
(B) When applying the solder resist 6, means other than screen printing may of course be used. (C) When the diameter of the through-hole 3 is extremely small, it is possible to cope with only the solder resist 6 without attaching the adhesive sheet 7.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明のBTHの
形成方法によれば、BTHからの樹脂のオーバーフロー
を確実に防止でき、かつ内層におけるボイドの発生を確
実に回避できるという優れた効果を奏する。
As described above in detail, according to the method for forming BTH of the present invention, an excellent effect that overflow of resin from BTH can be reliably prevented and generation of voids in the inner layer can be reliably avoided. To play.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】基材にソルダーレジストを塗布した状態を示す
部分拡大正断面図である。
FIG. 1 is a partially enlarged front sectional view showing a state where a solder resist is applied to a base material.

【図2】ソルダーレジスト塗布面に接着シートを貼着し
た状態を示す部分拡大正断面図である。
FIG. 2 is a partially enlarged front sectional view showing a state where an adhesive sheet is adhered to a solder resist applied surface.

【図3】接着シート貼着面にフロータイプのプリプレグ
を積層プレスした状態を示す部分拡大正断面図である。
FIG. 3 is a partially enlarged front sectional view showing a state in which a flow type prepreg is laminated and pressed on an adhesive sheet attaching surface.

【図4】多層プリント配線板を示す部分拡大正断面図で
ある。
FIG. 4 is a partially enlarged front sectional view showing a multilayer printed wiring board.

【図5】従来のBTHの形成方法(第一の方法)を示す
部分拡大正断面図である。
FIG. 5 is a partially enlarged front sectional view showing a conventional BTH forming method (first method).

【図6】従来のBTHの形成方法(第二の方法)を示す
部分拡大正断面図である。
FIG. 6 is a partially enlarged front sectional view showing a conventional BTH forming method (second method).

【図7】従来のBTHの形成方法を示す部分拡大正断面
図である。
FIG. 7 is a partially enlarged front sectional view showing a conventional BTH forming method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基材、3 スルーホール、6 ソルダーレジスト、
7 接着シート、8(フロータイプの)プリプレグ、4
ブラインドスルーホール(BTH)。
1 base material, 3 through holes, 6 solder resist,
7 adhesive sheet, 8 (flow type) prepreg, 4
Blind through hole (BTH).

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−171890(JP,A) 特開 平3−175696(JP,A) 特開 平4−206690(JP,A) 特開 平4−298098(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H05K 3/46 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-4-171890 (JP, A) JP-A-3-175696 (JP, A) JP-A-4-206690 (JP, A) JP-A-4- 298098 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H05K 3/46

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】内層となるべき側に形成されたパターンと
外層側の導体部とがスルーホールによって電気的に接続
された基材における内層側の少なくともスルーホール付
近にソルダーレジストを塗布し、かつ前記ソルダーレジ
スト塗布面に接着シートを貼着した後、前記接着シート
貼着面側にフロータイプのプリプレグを積層プレスする
ことを特徴としたブラインドスルーホールの形成方法。
1. A solder resist is applied to at least a vicinity of a through hole on an inner layer side of a substrate in which a pattern formed on a side to be an inner layer and a conductor portion on an outer layer side are electrically connected by the through hole; A method of forming a blind through-hole, comprising: adhering an adhesive sheet to the solder resist application surface; and laminating and pressing a flow type prepreg on the adhesive sheet application surface.
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