JP3055190B2 - Gas chromatograph / mass spectrometer - Google Patents
Gas chromatograph / mass spectrometerInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ガスクロマトグラフ/
質量分析装置に係り、特には、質量分析計の真空ハウジ
ングのベーキングと電源部の発熱素子の放熱の技術に関
する。The present invention relates to a gas chromatograph /
The present invention relates to a mass spectrometer, and more particularly to a technique for baking a vacuum housing of a mass spectrometer and radiating heat from a heating element of a power supply unit.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のガスクロマトグラフ/質量分析装
置は、図2に示す構成のものがある。同図において、符
号1は試料ガスを成分分離するガスクロマトグラフ、2
はガスクロマトグラフ1で分離された各成分ガスのイオ
ンを質量分離する質量分析計、4はガスクロマトグラフ
1と質量分析計とを結ぶインターフェイス、6はPFT
BA等の標準試料を導入するための標準試料導入部であ
る。2. Description of the Related Art A conventional gas chromatograph / mass spectrometer has a configuration shown in FIG. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a gas chromatograph for separating a sample gas into components;
Is a mass spectrometer for mass-separating ions of each component gas separated by the gas chromatograph 1, 4 is an interface connecting the gas chromatograph 1 and the mass spectrometer, 6 is PFT
A standard sample introduction unit for introducing a standard sample such as BA.
【0003】上記の質量分析計2は、真空ハウジング8
を有し、この真空ハウジング8内に、成分ガスをイオン
化するイオン源10、このイオン源10からの各成分の
イオンを質量分離する質量分離部12、およびこの質量
分離部12で質量分離されたイオンを検出する二次電子
増倍管等の検出器がともに配置される一方、真空ハウジ
ング8の外部には、上記のイオン源10、質量分離部1
2、検出器14にそれぞれ電力を供給する電源部16,
18,20が設けられており、さらに、真空ハウジング
8の外壁には、この真空ハウジング8をベーキングする
ためのヒータ22が密着して取り付けられ、このヒータ
22に専用の電源24が接続されている。The above-mentioned mass spectrometer 2 comprises a vacuum housing 8
In the vacuum housing 8, an ion source 10 for ionizing a component gas, a mass separation unit 12 for mass separating ions of each component from the ion source 10, and mass separation by the mass separation unit 12 While a detector such as a secondary electron multiplier for detecting ions is disposed together, the ion source 10 and the mass separation unit 1 are provided outside the vacuum housing 8.
2. a power supply unit 16, which supplies power to the detector 14,
A heater 22 for baking the vacuum housing 8 is closely attached to an outer wall of the vacuum housing 8, and a dedicated power supply 24 is connected to the heater 22. .
【0004】真空ハウジング8に対してヒータ22を設
けてベーキングをしているのは、次の理由による。The baking is performed by providing the heater 22 to the vacuum housing 8 for the following reason.
【0005】真空ハウジング8の内壁には、分析前に測
定系の調整をするために導入される標準試料や、ガスク
ロマトグラフから流入される溶媒、あるいは、試料ガス
の残りが吸着し易く、これらが存在すると、分析の際の
バックグラウンドとなって、検出感度を劣化させる。そ
のため、真空ハウジング8をヒータ22で常時ベーキン
グしてガス成分の吸着を防止する。この場合のベーキン
グ温度は、真空シールのOリングの耐熱性を考慮して1
00℃以下に設定されている。On the inner wall of the vacuum housing 8, a standard sample introduced for adjusting the measurement system before analysis, a solvent introduced from a gas chromatograph, or a residual sample gas is easily adsorbed. If present, it becomes a background during the analysis and deteriorates the detection sensitivity. Therefore, the vacuum housing 8 is always baked by the heater 22 to prevent adsorption of gas components. The baking temperature in this case is set to 1 in consideration of the heat resistance of the O-ring of the vacuum seal.
It is set to 00 ° C or lower.
【0006】一方、各電源部16,18,20は、パワ
ートランジスタ等の回路素子16a,18a,20aを有
しており、これらの回路素子16a,18a,20aから
は熱が発生するので、各回路素子16a,18a,20a
に近接してラジエタ16b,18b,20bを設けて熱を
放散させている。On the other hand, each of the power supply sections 16, 18, and 20 has circuit elements 16a, 18a, and 20a such as power transistors, and heat is generated from these circuit elements 16a, 18a, and 20a. Circuit elements 16a, 18a, 20a
The radiators 16b, 18b, 20b are provided close to the radiator to dissipate heat.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】このように、従来装置
では、真空ハウジング8のベーキングのためのヒータ2
2およびその電源24と、質量分析計2の電源部16,
18,20の回路素子16a,18a,20aの放熱のた
めのラジエタ16b,18b,20bとがそれぞれ別個独
立して設けられており、そのため、装置全体の部品点数
が多くなってコストアップとなるばかりか、消費電力が
多く、さらに、装置の小型化が図れない等の不具合があ
った。As described above, in the conventional apparatus, the heater 2 for baking the vacuum housing 8 is used.
2 and its power supply 24, and the power supply section 16 of the mass spectrometer 2,
Radiators 16b, 18b, and 20b for heat radiation of the circuit elements 16a, 18a, and 20a of 18, 20 are provided separately and independently, so that the number of parts of the entire apparatus increases and the cost increases. In addition, there is a problem that power consumption is large and the size of the apparatus cannot be reduced.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するためになされたものであって、従来のように専
用のヒータやその電源を特に設けなくても、真空ハウジ
ングのベーキングを行えるようにして、装置の部品点数
を減らし、無駄な消費電力を削減し、装置の小型化が図
れるようにするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is possible to perform baking of a vacuum housing without providing a special heater or a power source as in the prior art. It is intended to reduce the number of parts of the device, reduce unnecessary power consumption, and reduce the size of the device.
【0009】そのため、本発明では、試料ガスを成分分
離するガスクロマトグラフと、このガスクロマトグラフ
で分離された各成分ガスのイオンを質量分離する質量分
析計とを備え、この質量分析計は、真空ハウジングを有
し、この真空ハウジング内に、成分ガスをイオン化する
イオン源、イオン源からの各成分ガスのイオンを質量分
離する質量分離部、および質量分離部で質量分離された
イオンを検出する検出器がともに配置される一方、前記
真空ハウジングの外部には、前記イオン源、質量分離
部、検出器にそれぞれ電力を供給する電源部が設けられ
ているガスクロマトグラフ/質量分析装置において、次
の構成を採る。For this purpose, the present invention comprises a gas chromatograph for separating components of a sample gas and a mass spectrometer for mass separating ions of each component gas separated by the gas chromatograph. In the vacuum housing, an ion source for ionizing a component gas, a mass separation unit for mass-separating ions of each component gas from the ion source, and a detector for detecting ions separated by mass in the mass separation unit In the gas chromatograph / mass spectrometer, a power supply unit for supplying power to the ion source, the mass separation unit, and the detector is provided outside the vacuum housing. take.
【0010】すなわち、本発明では、真空ハウジング
を、この真空ハウジングが放熱のためのラジエータとし
て作用しうる程度の熱伝導性を有する材料で形成する一
方、この真空ハウジングの外壁に、電源部を構成しかつ
発熱源となる回路素子を密着して取り付けている。That is, according to the present invention, the vacuum housing is formed of a material having thermal conductivity to such an extent that the vacuum housing can act as a radiator for heat dissipation, while a power supply section is formed on the outer wall of the vacuum housing. And a circuit element serving as a heat source is closely attached.
【0011】[0011]
【作用】上記構成において、真空ハウジングに対して
は、電源部を構成する回路素子がベーキングのための発
熱源として作用する。In the above construction, the circuit elements constituting the power supply section act as a heat source for baking with respect to the vacuum housing.
【0012】一方、上記の回路素子にとっては、真空ハ
ウジングが放熱のためのラジエタとして作用する。On the other hand, for the above-mentioned circuit element, the vacuum housing acts as a radiator for heat radiation.
【0013】したがって、従来のヒータやその電源が不
要となる。Therefore, the conventional heater and its power source are not required.
【0014】[0014]
【実施例】図1は、本発明の実施例に係るガスクロマト
グラフ/質量分析装置の全体構成を示すブロック図であ
り、図2に示した従来例に対応する部分には同一の符号
を付す。FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of a gas chromatograph / mass spectrometer according to an embodiment of the present invention, and portions corresponding to those of the conventional example shown in FIG.
【0015】図1において、1はガスクロマトグラフ、
2は質量分析計、4はインターフェイス、6は標準試料
導入部、8は真空ハウジング、10はイオン源、12は
質量分離部、14は検出器、16,18,20は各電源
であり、これらの基本的な構成は従来例の場合と同じで
ある。In FIG. 1, 1 is a gas chromatograph,
2 is a mass spectrometer, 4 is an interface, 6 is a standard sample inlet, 8 is a vacuum housing, 10 is an ion source, 12 is a mass separator, 14 is a detector, and 16, 18, and 20 are power supplies. Is basically the same as that of the conventional example.
【0016】この実施例の特徴は、真空ハウジング8が
アルミ合金、銅合金などのこの真空ハウジング8が放熱
のためのラジエータとして作用しうる程度の熱伝導性を
有する材料で形成されており、この真空ハウジング8の
外壁に、電源部16,18,20を構成しかつ発熱源と
なるパワートランジスタなどの回路素子16a,18
a,20aが密着して取り付けられており、この各回路
素子16a,18a,20aと電源部16,18,20
の残りの回路素子(図示省略)とがケーブル22で互いに
接続されていることである。The feature of this embodiment is that the vacuum housing 8 is made of a material having heat conductivity such as an aluminum alloy or a copper alloy, which has such a degree that the vacuum housing 8 can function as a radiator for heat radiation. On the outer wall of the vacuum housing 8, circuit elements 16a, 18 such as power transistors, which constitute power sources 16, 18, 20 and serve as heat sources, are provided.
a, 20a are attached in close contact with each other, and each of the circuit elements 16a, 18a, 20a and the power supply sections 16, 18, 20
Are connected to each other by a cable 22.
【0017】上記構成において、真空ハウジング8に対
しては、電源部16,18,20を構成する各回路素子
16a,18a,20aがベーキングのための発熱源とし
て作用する。In the above configuration, the circuit elements 16a, 18a, and 20a constituting the power supply sections 16, 18, and 20 function as heat sources for baking with respect to the vacuum housing 8.
【0018】一方、上記の回路素子16a,18a,20
aにとっては、真空ハウジング8が放熱のためのラジエ
タとして作用する。On the other hand, the circuit elements 16a, 18a, 20
For a, the vacuum housing 8 acts as a radiator for heat dissipation.
【0019】したがって、従来のヒータやその電源は不
要となる。Therefore, the conventional heater and its power source are not required.
【0020】[0020]
【発明の効果】本発明によれば、従来のように専用のヒ
ータやその電源を特に設けなくても、真空ハウジングの
ベーキングを行うことができるので、装置の部品点数が
減り、また、無駄な電力消費が削減されるとともに、装
置からの発熱量も減らすことができる。しかも、装置の
小型化が図れる等の実用上の優れた効果を奏する。According to the present invention, the vacuum housing can be baked without providing a special heater or its power source as in the prior art, so that the number of parts of the apparatus is reduced, and the waste is reduced. Power consumption can be reduced, and the amount of heat generated from the device can be reduced. In addition, the present invention has excellent practical effects such as downsizing of the apparatus.
【図1】本発明の実施例に係るガスクロマトグラフ/質
量分析装置の全体構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of a gas chromatograph / mass spectrometer according to an embodiment of the present invention.
【図2】従来のガスクロマトグラフ/質量分析装置の全
体構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing the overall configuration of a conventional gas chromatograph / mass spectrometer.
1…ガスクロマトグラフ、2…質量分析計、8…真空ハ
ウジング、10…イオン源、12…質量分離部、14…
検出器、16,18,20…電源部、16a,18a,2
0a…回路素子。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Gas chromatograph, 2 ... Mass spectrometer, 8 ... Vacuum housing, 10 ... Ion source, 12 ... Mass separation part, 14 ...
Detector, 16, 18, 20 ... power supply section, 16a, 18a, 2
0a: Circuit element.
Claims (1)
ラフ(1)と、このガスクロマトグラフ(1)で分離さ
れた各成分ガスのイオンを質量分離する質量分析計
(2)とを備え、この質量分析計(2)は、真空ハウジ
ング(8)を有し、この真空ハウジング(8)内に、成
分ガスをイオン化するイオン源(10)、このイオン源
(10)からの各成分ガスのイオンを質量分離する質量
分離部(12)、および質量分離部(12)で質量分離
されたイオンを検出する検出器(14)がともに配置さ
れる一方、前記真空ハウジング(8)の外部には、前記
イオン源(10)、質量分離部(12)、および検出器
(14)にそれぞれ電力を供給する電源部(16),
(18),(20)が設けられているガスクロマトグラ
フ/質量分析装置において、 前記真空ハウジング(8)を、この真空ハウジングが放
熱のためのラジエータとして作用しうる程度の熱伝導性
を有する材料で形成する一方、 この真空ハウジング(8)の外壁に、前記電源部(1
6),(18),(20)を構成しかつ発熱源となる回
路素子(16a),(18a),(20a)を密着して取
り付けたことを特徴とするガスクロマトグラフ/質量分
析装置。1. A gas chromatograph (1) for separating components of a sample gas and a mass spectrometer (2) for separating mass of ions of each component gas separated by the gas chromatograph (1). The meter (2) has a vacuum housing (8), and in the vacuum housing (8), an ion source (10) for ionizing a component gas, and mass of ions of each component gas from the ion source (10). mass separation unit for separating (12), and the mass separation unit (12) in the mass separate detector for detecting ions (14) while the Gat also disposed, outside of the vacuum housing (8), A power supply unit (16) for supplying power to the ion source (10), the mass separation unit (12), and the detector (14),
In the gas chromatograph / mass spectrometer provided with (18) and (20), the vacuum housing (8) is made of a material having thermal conductivity to such an extent that the vacuum housing can act as a radiator for heat radiation. On the other hand, the power supply unit (1) is formed on the outer wall of the vacuum housing (8).
6) A gas chromatograph / mass spectrometer comprising the circuit elements (16a), (18a), and (20a) constituting (18) and (20) and serving as a heat source, which are closely attached.
Priority Applications (1)
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JP3048072A JP3055190B2 (en) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | Gas chromatograph / mass spectrometer |
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JPH04283657A JPH04283657A (en) | 1992-10-08 |
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WO1999067763A1 (en) * | 1998-06-23 | 1999-12-29 | Yukio Ito | Smell communication system in multimedia |
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- 1991-03-13 JP JP3048072A patent/JP3055190B2/en not_active Expired - Fee Related
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